KR101139970B1 - 플렉서블 인쇄회로기판 및 그 제조방법 - Google Patents

플렉서블 인쇄회로기판 및 그 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101139970B1
KR101139970B1 KR1020090095839A KR20090095839A KR101139970B1 KR 101139970 B1 KR101139970 B1 KR 101139970B1 KR 1020090095839 A KR1020090095839 A KR 1020090095839A KR 20090095839 A KR20090095839 A KR 20090095839A KR 101139970 B1 KR101139970 B1 KR 101139970B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pattern
metal layer
flexible printed
circuit pattern
manufacturing
Prior art date
Application number
KR1020090095839A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20110038520A (ko
Inventor
이성원
김재범
김화진
Original Assignee
엘지이노텍 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지이노텍 주식회사 filed Critical 엘지이노텍 주식회사
Priority to KR1020090095839A priority Critical patent/KR101139970B1/ko
Publication of KR20110038520A publication Critical patent/KR20110038520A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101139970B1 publication Critical patent/KR101139970B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/108Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by semi-additive methods; masks therefor
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/18Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
    • H05K3/181Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0393Flexible materials
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/05Flexible printed circuits [FPCs]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

본 발명은 연성회로기판의 제조방법 및 그 구조에 관한 것으로, 제조공정은 제1금속층이 형성된 절연기판 상에 회로패턴을 형성하는 1단계와 상기 회로패턴을 둘러싸는 보호패턴을 형성하는 2단계, 상기 제1금속층을 제거하는 3단계; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 플렉서블 인쇄회로기판을 형성함에 있어서, 회로패턴을 보호하는 보호패턴을 감광물질의 패터닝을 통해 형성한 후, 시드층을 에칭하는 공정을 수행할 수 있도록 하여, 회로의 용적(dimension)감소의 문제를 해소하며, 회로보호를 통한 설계 대비 최종 패턴의 보정 값이 줄어드는 효과가 있다.
Flexible Printed Circuits Board, 보호패턴, 언더컷

Description

플렉서블 인쇄회로기판 및 그 제조방법{Flexible Printed Circuits Board and Manufacturing method of the same}
본 발명은 연성회로기판의 제조방법 및 그 구조에 대한 것이다.
연성회로기판(Flexible Printed Circuits Board; 이하 "FPCB"라 한다)은 전자제품이 소형화 및 경량화하면서 개발된 전자부품으로 작업성이 뛰어나고, 내열성 및 내곡성, 내약품성이 강하며, 열에 강하여 모든 전자제품의 핵심부품으로서 카메라, 컴퓨터R 및 주변기기, 휴대폰, 영상 오디오기기, 캠코더, 프린터, 디브이디(DVD), TFT 엘시디, 위성장비, 군사장비, 의료장비 등에서 널리 사용되고 있다. 상기 FPCB는 단독으로 3차원 배선이 가능하고 기기의 소형화 및 경량화가 가능하며 반복 굴곡에의 높은 내구성을 갖고 있으며, 고밀도 배선이 가능하고(0.1mm/pitch) 배선의 오류가 없고 조립이 양호하며 신뢰성이 높기 때문에 또한, 연속생산 방식이 가능하기 때문이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 이는 종래의 연성회로기판의 제조방법을 도시한 순서도 및 공정 개념도이다.
구체적으로는, 우선 절연기판(10) 상에 무전해 도금층인 시드층(20)이 형성 되며, 그 상부에 감광물질(DFR)을 도포하고, 이를 노광, 현상하여 도금레지스트패턴(30)을 형성한다(P 1단계). 이후, 상기 도금레지스트패턴(30) 상에 전해도금을 통해 패턴도금(40)을 형성한다(P 2단계). 그리고 이후에는 상기 도금레지스트패턴을 박리하고(P 3단계), 이후에는 상기 시드층(20)을 에칭한다(P 4단계). 이러한 시드층(20)을 에칭하는 공정을 통해 제조공정이 완료된다.
그러나 도 1c를 참조하여 보면, 상기 시드층(20)을 에칭하는 단계를 수행하게 된 후, 남게 되는 시드층(21)과, 상기 시드층(20)상에 형성되던 패턴도금으로 형성된 회로패턴(40)이 시드층 에칭 후 남게 되는 회로패턴(41)을 비교하여 보면, 전체적인 에칭으로 인해 회로패턴의 높이와 폭이 감소하며, 특히 시드층 상에는 언더컷이 발생하게 된다.즉, Cu로 형성되는 일반적인 시드층과 회로패턴의 경우, 시드층을 에칭하기 위해 에칭액을 사용하게 되는데, 이 경우 상기 에칭액에 회로패턴이 함께 식각영향을 받아 에칭되어 회로의 용적(dimension), 나아가 회로패턴의 하면에 형성된 시드층의 측면부는 에칭속도가 빨라져 언더컷이 더욱 크게 나타나게 되는 문제가 발생하게 된다.
본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 플렉서블 인쇄회로기판을 형성함에 있어서, 회로패턴을 보호하는 보호패턴을 감광물질의 패터닝을 통해 형성한 후, 시드층을 에칭하는 공정을 수행할 수 있도록 하여, 회로의 용적(dimension)감소의 문제를 해소하며, 회로보호를 통한 설계 대비 최종 패턴의 보정 값을 감소시킬 수 있는 제조공정을 제공하는 데 있다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 구성은, 제1금속층이(시드층) 형성된 절연기판상에 회로패턴을 형성하는 1단계; 상기 회로패턴을 둘러싸는 보호패턴을 형성하는 2단계; 상기 제1금속층을 제거하는 3단계;를 포함하는 플렉서블 인쇄회로기판의 제조방법을 제공한다.
특히, 상술한 제조공정에서 상기 1단계는, 상기 절연기판상에 제1금속층의 형성은, 폴리이미드 필름의 단면 또는 양면에 도금 또는 스퍼터링으로 제조된 압연동박 또는 전해동박을 형성시킨 구조물을 이용하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서는, 상술한 제조공정에서 상기 제1단계의 공정에서의 상기 제1금속층은 Cu, Ni, Cr, Pd, Au, Sn, Ag, Co 중 어느 하나로 형성되는 금속층이거나, 이들 중 선택되는 물질로 이루어진 복층구조의 금속층으로 구현할 수 있도록 한다.
또한, 본 발명의 상기 1단계의 제조공정에서의 상기 제1금속층은 Cu 층이거 나, Cu층, Cr층, Ni층의 순차 적층구조로 형성할 수도 있다.
상기 제1금속층 상에 형성되는 상기 1단계의 상기 회로패턴의 형성물질은 Cu, Ni, Pd, Au, Sn, Ag, Co 중 선택되는 어느 하나, 또는 이들의 합금으로 형성할 수 있다.
상술한 제조공정 단계에서의 회로패턴의 형성은, 구체적으로는 상기 절연기판의 일면 또는 양면에 제1금속층이 형성되며, 1a) 상기 제1금속층 상에 제1감광물질을 도포하는 단계; 1b) 상기 제1감광물질은 노광, 현상하여 도금패턴을 형성하는 단계; 1c) 상기 도금패턴에 전해 또는 무전해 도금을 통해 회로패턴을 형성하는 단계; 를 포함하여 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명의 상기 2단계는, 상기 회로패턴 상에 제2감광물질을 노광, 현상하여 보호패턴을 형성하는 단계로 형성할 수 있으며, 특히 상기 제2감광물질은 액상 또는 필름형 감광제를 이용함이 바람직하다.
본 발명에 따른 제조공정에서의 상기 3단계 이후에 보호패턴을 박리하는 4단계를 더 포함할 수 있다.
상술한 제조공정에 의해 제조되는 본 발명에 따른 플렉서블 인쇄회로기판은 절연기판의 단면 또는 양면에 형성되는 특정 패턴의 제1금속층과, 상기 제1금속층 패턴의 상면에 형성되는 회로패턴; 을 포함하여 형성되되, 상기 제1금속층의 상부면의 폭(W1)이 상기 회로패턴의 하부면의 폭(W2) 이상으로 형성되는 구조를 구비하도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 구조의 인쇄회로기판을 구성하는 상기 제1금속층은 Cu, Ni, Cr, Pd, Au, Sn, Ag, Co 중 어느 하나로 형성되는 금속층이거나, 이들 중 선택되는 물질로 이루어진 복층구조의 금속층으로 구현될 수 있으며, 특히 바람직하게는 상기 제1금속층은 Cu 층이거나, Cu층, Cr층, Ni층의 순차 적층구조로 형성될 수 있다.
아울러 상기 구조의 인쇄회로기판의 회로패턴은, Cu, Ni, Pd, Au, Sn, Ag, Co 중 선택되는 어느 하나, 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 플렉서블 인쇄회로기판을 형성함에 있어서, 회로패턴을 보호하는 보호패턴을 감광물질의 패터닝을 통해 형성한 후, 시드층을 에칭하는 공정을 수행할 수 있도록 하여, 회로의 용적(dimension)감소의 문제를 해소하며, 회로보호를 통한 설계 대비 최종 패턴의 보정 값이 줄어드는 효과가 있다.
또한, 제조공정에서 시드층을 에칭시 발생하는 언더컷 현상을 최소화함으로써, 절곡 및 굴곡 신뢰성을 향상시킬 수 있게 되며, 현재 공정에서 적용중인 소재를 활용할 수 있는바, 기존의 생산라인을 그대로 응용할 수 있게 되어 공적 적용성 면에서도 범용적인 적용이 가능한 장점이 있다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다. 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성요소는 동일한 참조부여를 부여하고, 이에 대한 중복설명은 생략하기로 한다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요 소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 발명은 회로패턴을 보호하는 보호패턴을 감광물질의 패터닝을 통해 형성한 후, 시드층을 에칭하는 공정을 수행할 수 있도록 하여, 회로의 용적(dimension)감소의 문제를 해소하며, 회로보호를 구현하여 신뢰성 있는 제품을 제조할 수 있는 것을 그 요지로 한다.
도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 제조공정에 따른 순서도 및 개념도이며, 도 2c는 본 발명의 제조공정에 의해 제조된 인쇄회로기판의 요부단면도를 도시한 것이다.
본 발명은 제1금속층이(시드층) 형성된 절연기판상에 회로패턴을 형성하는 1단계와 상기 회로패턴을 둘러싸는 보호패턴을 형성하는 2단계, 그리고 상기 제1금속층을 제거하는 3단계를 포함하여 이루어진다.
구체적으로는 상기 제1단계는 절연기판(110)상에 시드층, 즉 제1금속층(120)을 형성하는 S 1단계와 상기 제1금속층 상에 감광물질(130)을 도포하여 패터닝 후 패턴도금을 통해 회로패턴(140)을 형성하는 S 2단계를 포함하여 구성될 수 있다. 이 경우 상기 절연기판은 폴리이미드 필름을 이용할 수 있으며, 상기 제1금속층은 폴리이미드 필름의 단면 또는 양면에 도금 또는 스퍼터링으로 제조된 압연동박 또는 전해동박을 형성한 구조로 형성시킬 수 있다.
특히 상기 제1금속층은 Cu, Ni, Cr, Pd, Au, Sn, Ag, Co 중 어느 하나로 형성되는 금속층이거나, 이들 중 선택되는 물질로 이루어진 복층구조의 금속층으로 구현할 수 있다. 회로패턴 도금 후에는 감광물질을 박리하는 공정이 이어질 수 있 다. 회로패턴의 형성물질은 Cu, Ni, Pd, Au, Sn, Ag, Co 중 선택되는 어느 하나, 또는 이들의 합금으로 형성시킬 수 있다. 도금 방식은 전해도금 또는 무전해 도금을 이용할 수 있다.
상기 감광물질은 다양한 종류의 감광성 물질이 이용될 수 있으며, 특히 본 발명에서의 일 실시예로서는 액상 또는 필름형 감광제를 도포할 수 있다.
다음으로, 상기 제2단계는 상기 회로패턴(140) 상에 보호패턴을 형성시키는 단계가 이어지며, 이를 위한 구체적인 공정으로는 회로패턴 상에 보호패턴용 제2감광물질을 도포한다. 그리고 노광 현상을 통해 상기 회로패턴의 상부면과 측면을 둘러싸는 구조의 보호패턴을 형성한다(S 3단계). 상기 제2감광물질은 다양한 종류의 감광성 물질이 이용될 수 있으며, 특히 본 발명에서의 일 실시예로서는 액상 또는 필름형 감광제를 사용할 수 있다. 상기 회로패턴의 상부면과 측면 전체를 둘러싸는 보호패턴을 형성함으로써, 추후 제1금속층 에칭시 회로패턴을 보호할 수 있게 된다.
이후, 제3단계로 상기 제1금속층을 에칭하고 이후에 상기 보호패턴을 제거한다(S 4단계). 이 경우 상기 제1금속층을 에칭시에 상기 보호패턴은 회로패턴을 보호하여 회로의 손실 없이 시드층인 제1금속층만을 제거하게 된다. 아울러 언더컷의 발생도 현저하게 감소시킬 수 있는 장점이 있다.
도 2c를 참조하면, 상술한 본 발명에 따른 제조공정 후 기판상에 형성되는 제1금속층 및 제2금속층의 구조를 도시한 요부 단면도이다.
도 2c의 (a)는 종래기술의 문제에서 상술한 것처럼, 종래의 시드층 에칭으로 회로패턴의 용적(dimention)감소 및 손실과 시드층의 언더컷이 발생되는 문제가 발생함은 상술한 바와 같다. 반면, 본 발명에 따른 제조공정에 의하면 (b)에 도시된 것처럼, 기판(110) 상에 형성되는 제1금속층(120; 폭 W1)과 회로패턴(140; 폭 W2))이 형성된 구조에서 에칭 후에도 회로패턴(141)의 용적 변화를 거의 없으며, 제1금속층(121)의 에칭 후의 언더컷도 발생하지 않게 된다. 이는 본 발명에 따른 보호패턴의 존재로 인해 제2금속층의 상부면과 측면이 보호됨과 동시에, 제1금속층과 제2금속층이 인접하는 부분에 보호패턴이 존재하여 불필요한 에칭이 진행되는 것을 방지할 수 있게 되기 때문이다. 따라서 에칭 후의 회로패턴의 하부면의 폭(W2')과 에칭 전의 폭(W2)의 차이가 거의 없으며, 제1금속층의 에칭 후 제1금속층(121)의 상부면의 폭(W1')이 상기 회로패턴의 하부면의 폭(W2')보다 크거나 같게 형성할 수 있게 된다.
상술한 제조공정에 따라 제조되는 본 발명에 따른 플렉서블 인쇄회로기판은 다음과 같은 구조를 구비할 수 있다.
구체적으로는 절연기판의 단면 또는 양면에 형성되는 특정 패턴의 제1금속층이 구비되며, 특히 상기 제1금속층 패턴의 상면에 형성되는 회로패턴이 형성되며, 특히 상기 제1금속층의 상부면의 폭(W1')이 상기 회로패턴의 하부면의 폭(W2') 이상으로 형성되는 구조의 플렉서블 인쇄회로기판을 구현할 수 있다.
이 경우 상기 제1금속층은 Cu, Ni, Cr, Pd, Au, Sn, Ag, Co 중 어느 하나로 형성되는 금속층이거나, 이들 중 선택되는 물질로 이루어진 복층구조의 금속층으로 구현될 수 있으며, 일례로는 상기 제1금속층을 Cu 층 단층으로 형성하거나, Cu층, Cr층, Ni층의 순차 적층구조로 형성하는 것을 고려할 수 있다. 또한, 상기 제1금속층상에 형성되는 상기 회로패턴은, Cu, Ni, Pd, Au, Sn, Ag, Co 중 선택되는 어느 하나, 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있음은 상술한 바와 같다. 상기 제1금속층은 상대적으로 회로패턴에 대비하여 두께가 얇을수록 바람직하며, 전제적인 제조공정의 효율을 높일 수 있게 된다.
아울러 상기 절연기판은 상기 절연기판은 폴리이미드필름으로 형성할 수 있다.
전술한 바와 같은 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였다. 그러나 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능하다. 본 발명의 기술적 사상은 본 발명의 기술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
도 1a 내지 도 1c는 종래의 기술에 따른 인쇄회로기판의 제조공정을 도시한 순서도 및 개념도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 제조공정에 따른 순서도 및 개념도이며, 도 2c는 종래 기술 및 본 발명의 제조공정에 의해 제조된 인쇄회로기판의 요부단면도를 비교한 것이다.

Claims (10)

  1. 연성의 절연기판 상에 형성된 시드층 상에 회로패턴을 형성하는 1단계;
    상기 회로패턴 상에 제1감광물질을 도포하는 2단계;
    상기 제1감광물질을 노광, 현상하여 상기 회로패턴 상에 보호패턴을 형성하는 3단계;
    상기 시드층을 에칭하는 4단계; 및
    상기 보호패턴을 박리하는 5단계를 포함하며,
    상기 제1감광물질은 액상 또는 필름형 감광제인 것을 특징으로 하는 플렉서블 인쇄회로기판의 제조방법.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 1단계는,
    상기 절연기판상에 시드층의 형성은,
    폴리이미드 필름의 단면 또는 양면에 도금 또는 스퍼터링으로 제조된 압연동박 또는 전해동박을 형성시킨 구조물을 이용하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 인쇄회로기판의 제조방법.
  3. 청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 1단계는,
    상기 절연기판의 일면 또는 양면에 시드층이 형성되며,
    1a) 상기 시드층 상에 제2감광물질을 도포하는 단계;
    1b) 상기 제2감광물질은 노광, 현상하여 도금패턴을 형성하는 단계;
    1c) 상기 도금패턴에 전해 또는 무전해 도금을 통해 회로패턴을 형성하는 단계;
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 인쇄회로기판의 제조방법.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 3단계의 보호패턴은 상기 회로패턴의 상부면 및 측면을 둘러싸는 구조로 형성시키는 것을 특징으로 하는 플렉서블 인쇄회로기판의 제조방법.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 시드층은 Cu, Ni, Cr, Pd, Au, Sn, Ag, Co 중 어느 하나 혹은 그들의 합금으로 단층 또는 복층구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 인쇄회로기판의 제조방법.
  10. 삭제
KR1020090095839A 2009-10-08 2009-10-08 플렉서블 인쇄회로기판 및 그 제조방법 KR101139970B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090095839A KR101139970B1 (ko) 2009-10-08 2009-10-08 플렉서블 인쇄회로기판 및 그 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090095839A KR101139970B1 (ko) 2009-10-08 2009-10-08 플렉서블 인쇄회로기판 및 그 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110038520A KR20110038520A (ko) 2011-04-14
KR101139970B1 true KR101139970B1 (ko) 2012-04-30

Family

ID=44045574

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090095839A KR101139970B1 (ko) 2009-10-08 2009-10-08 플렉서블 인쇄회로기판 및 그 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101139970B1 (ko)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013172512A1 (ko) * 2012-05-18 2013-11-21 한국기계연구원 필터형 전극을 갖는 세포의 임피던스 측정장치 및 그 장치의 제조방법
WO2015072775A1 (ko) * 2013-11-14 2015-05-21 주식회사 아모그린텍 연성인쇄회로기판과 그 제조 방법
KR20170023394A (ko) 2015-08-21 2017-03-03 주식회사 아모그린텍 웨어러블 플렉서블 인쇄회로기판 및 그의 제조 방법과 이를 이용한 웨어러블 스마트 장치
KR20170036636A (ko) 2015-09-23 2017-04-03 주식회사 아모그린텍 웨어러블 디바이스 및 그의 제조 방법
KR20180118554A (ko) 2017-04-21 2018-10-31 주식회사 아모그린텍 인쇄회로 나노섬유웹 제조방법, 이를 통해 제조된 인쇄회로 나노섬유웹 및 이를 이용한 전자기기
US11324123B2 (en) 2017-04-21 2022-05-03 Amogreentech Co., Ltd Printed circuit nanofiber web manufacturing method
KR20230011462A (ko) 2017-04-21 2023-01-20 주식회사 아모그린텍 인쇄회로 나노섬유웹 제조방법, 이를 통해 제조된 인쇄회로 나노섬유웹 및 이를 이용한 전자기기
US11839855B2 (en) 2017-06-09 2023-12-12 Amogreentech Co., Ltd. Filter medium, manufacturing method therefor, and filter unit including same

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004281608A (ja) * 2003-03-14 2004-10-07 Nippon Mektron Ltd 回路基板の製造法
KR20060035162A (ko) * 2004-10-21 2006-04-26 삼성전기주식회사 인쇄회로기판 및 그 제조방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004281608A (ja) * 2003-03-14 2004-10-07 Nippon Mektron Ltd 回路基板の製造法
KR20060035162A (ko) * 2004-10-21 2006-04-26 삼성전기주식회사 인쇄회로기판 및 그 제조방법

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013172512A1 (ko) * 2012-05-18 2013-11-21 한국기계연구원 필터형 전극을 갖는 세포의 임피던스 측정장치 및 그 장치의 제조방법
WO2015072775A1 (ko) * 2013-11-14 2015-05-21 주식회사 아모그린텍 연성인쇄회로기판과 그 제조 방법
KR20170023394A (ko) 2015-08-21 2017-03-03 주식회사 아모그린텍 웨어러블 플렉서블 인쇄회로기판 및 그의 제조 방법과 이를 이용한 웨어러블 스마트 장치
US10251266B2 (en) 2015-08-21 2019-04-02 Amogreentech Co., Ltd. Wearable flexible printed circuit board and method of manufacturing the same
KR20170036636A (ko) 2015-09-23 2017-04-03 주식회사 아모그린텍 웨어러블 디바이스 및 그의 제조 방법
US10499503B2 (en) 2015-09-23 2019-12-03 Amogreentech Co., Ltd. Wearable device and method for manufacturing same
KR20180118554A (ko) 2017-04-21 2018-10-31 주식회사 아모그린텍 인쇄회로 나노섬유웹 제조방법, 이를 통해 제조된 인쇄회로 나노섬유웹 및 이를 이용한 전자기기
US11324123B2 (en) 2017-04-21 2022-05-03 Amogreentech Co., Ltd Printed circuit nanofiber web manufacturing method
KR20230011462A (ko) 2017-04-21 2023-01-20 주식회사 아모그린텍 인쇄회로 나노섬유웹 제조방법, 이를 통해 제조된 인쇄회로 나노섬유웹 및 이를 이용한 전자기기
US11839855B2 (en) 2017-06-09 2023-12-12 Amogreentech Co., Ltd. Filter medium, manufacturing method therefor, and filter unit including same

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110038520A (ko) 2011-04-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101139970B1 (ko) 플렉서블 인쇄회로기판 및 그 제조방법
JP4520392B2 (ja) プリント基板の製造方法
US7780836B2 (en) Method for fabricating a multilayer wiring board, multilayer wiring board, and electronic device using the same
US8499441B2 (en) Method of manufacturing a printed circuit board
US20070111401A1 (en) Printed wiring board, its manufacturing method, and circuit device
US20090139086A1 (en) Method for manufacturing printed circuit board
US20080236872A1 (en) Printed Wiring Board, Process For Producing the Same and Semiconductor Device
US8499444B2 (en) Method of manufacturing a package substrate
JP5379281B2 (ja) プリント基板の製造方法
US8181339B2 (en) Method of manufacturing a printed circuit board
JP2007129087A (ja) 混成多層回路基板およびその製造方法
US8187479B2 (en) Manufacturing method of printed circuit board
JP2006196768A (ja) 配線基板の製造方法
JP2013526774A (ja) 両面フレキシブルプリント回路基板及びその製造方法
KR100905574B1 (ko) 인쇄회로기판의 제조방법
JP2008277749A (ja) 配線基板およびその製造方法
JP2013070043A (ja) 片面プリント配線板およびその製造方法
KR100934107B1 (ko) 미세 피치의 금속 범프를 제공하는 인쇄회로기판 제조 방법
JP2010016061A (ja) プリント配線板およびその製造方法
US20080160334A1 (en) Circuit substrate and surface treatment process thereof
JP2003258411A (ja) プリント配線板の製造方法
JP4415985B2 (ja) 金属転写板の製造方法
US20100193232A1 (en) Printed circuit board and method of manufacturing the same
JP2010147145A (ja) プリント配線板とその製造方法
JP2005332906A (ja) フレキシブルプリント配線板及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
X091 Application refused [patent]
AMND Amendment
E90F Notification of reason for final refusal
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150305

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160304

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170307

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180306

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190313

Year of fee payment: 8