KR101139315B1 - 진공패널의 진공도 불량 평가 장치 - Google Patents

진공패널의 진공도 불량 평가 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 진공패널의 진공도 불량 평가 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 챔버와 레이저부 및 제어부를 이용하여 불량인 진공패널의 일면이 부풀어 오르는 정도를 측정하여 진공패널의 불량여부를 효과적으로 판단할 수 있는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치에 관한 것이다.

Description

진공패널의 진공도 불량 평가 장치{apparatus for detecting the inferiority vacuum of vacuum panel }
본 발명은 진공패널의 진공도 불량 평가 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 챔버와 레이저부 및 제어부를 이용하여 불량인 진공패널의 일면이 부풀어 오르는 정도를 측정하여 진공패널의 불량여부를 효과적으로 판단할 수 있는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치에 관한 것이다.
진공패널은 매우 우수한 단열재이다. 열은 전도, 대류, 복사를 통해 고온부에서 저온부로 이동한다. 그런데 진공패널은 내부에 공기가 없으므로 공기를 통한 전도나 대류 열전달이 일어나지 않아 열 이동을 차단하는 단열재로서 아주 이상적이다. 따라서 높은 단열 성능을 필요로 하는 보온병의 벽체 내부는 진공으로 제작된다. 보온병 외에 저온창고, LNG 저장탱크 등도 높은 단열 성능을 필요로 하지만 가정에서 사용하는 냉장고나 상점의 냉동고 등도 단열 성능이 우수한 단열재를 사용하여야 에너지 손실을 줄이고 내용물을 손상 없이 장기간 보존할 수 있다.
진공도란, 물체의 진공 상태를 나타내는 정도로서, 공간 내에 아무것도 존재하지 않는 상태를 완전진공 상태라 하는데, 완전진공 상태는 불가능하며, 실제적으로 일정한 공간에 기체의 압력이 대기압보다 낮을 때를 진공이라 부른다.
한편, 진공패널에 미세한 균열이 발생하거나 진공도가 낮게 되면 진공패널 내부의 압력 상태가 진공 상태를 유지하지 않게 되어 단열재로서의 우수한 성능을 발휘할 수 없게 된다.
따라서, 불량으로 제조된 단열패널을 효과적으로 검출하는 것이 필요한 실정이다.
본 발명은 불량으로 제조되어 내부가 진공 상태를 유지하지 못하는 불량인 진공패널을 효과적으로 검출할 수 있는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치를 제공하고자 한다.
본 발명은 진공패널에 비하여 크기가 작은 챔버를 사용하여 불량인 진공패널을 효과적으로 검출할 수 있는 진공도 불량 평가 장치를 제공하고자 한다.
본 발명은 진공도 불량인 진공패널(P)을 찾아내는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치에 있어서, 내부에 상기 진공패널(P)이 위치 가능한 공간이 형성되고, 레이저가 입사 및 출사 가능한 챔버창(12)이 형성되는 챔버(10); 상기 챔버(10) 내부의 압력을 낮추기 위하여 상기 챔버(10)에 연결되는 펌프부(20); 레이저를 출광 및 수광하는 출광 및 수광부(32)가 구비되며, 상기 챔버(10) 내부가 대기압 상태인 경우 상기 챔버창(12)을 통과하는 레이저를 이용하여 상기 출광 및 수광부(32)로부터 상기 진공패널(P)의 일면에 위치한 일 지점(Pa)까지의 거리인 영점거리(lo) 및 상기 챔버(10) 내부가 진공 상태인 경우 상기 챔버창(12)을 통과하는 레이저를 이용하여 상기 출광 및 수광부(32)로부터 상기 진공패널(P)의 일면에 위치한 일 지점(Pa)까지의 거리인 측정거리(lm)를 획득하도록 상기 챔버창(12) 외측에 설치되는 레이저부(30); 상기 레이저부(30)로부터 상기 영점거리(lo) 및 측정거리(lm)를 수신하여 상기 영점거리(lo)와 측정거리(lm)의 차인 불량거리(le)가 미리 설정된 값인 판별거리 이상인 경우 상기 진공패널(P)을 불량으로 판단하기 위하여 상기 레이저부(30)에 연결되는 제어부(40); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치에 관한 것이다.
본 발명에 있어서, 상기 제어부(40)는 상기 펌프부(20)를 제어하여 상기 챔버(10)의 진공 상태를 조절하도록, 상기 펌프부(20)에 연결되는 진공 컨트롤러(42); 상기 판별거리를 입력하고, 상기 영점거리(lo) 및 측정거리(lm)의 값과 상기 진공패널(P)의 불량 여부를 출력하기 위한 터치 컨트롤 패널(44); 을 포함할 수 있다.
본 발명은 상기 펌프부(20)에 구비되어 상기 챔버(10)를 진공 상태로 만드는 진공 부스터 펌프(vacuum booster pump)(22) 및 오일 로터리 펌프(oil rotary pump)(24)의 과열을 방지하기 위한 냉각부(50)를 포함할 수 있다.
한편, 본 발명은 진공도 불량인 진공패널(P)을 찾아내는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치에 있어서, 상기 진공패널(P)의 마주보는 측면과의 사이에 진공상태를 형성할 수 있도록 일측단에 각각 제1 개구부 및 제2 개구부(123)가 형성되며 상기 진공패널(P)을 중심으로 상호 마주보는 방향에 설치되는 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120); 상기 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120)를 통하여 레이저가 입사 및 출사 가능하도록 상기 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120)에 각각 형성되는 제1 챔버창(112) 및 제2 챔버창(122); 상기 제1 챔버(110)를 직선방향으로 이동시키도록 일측단이 상기 제1 챔버(110)에 연결되는 실린더부(130); 상기 실린더부(130)를 지지하도록 상기 실린더부(130)의 타측단에 연결되는 실린더 지지부재(140); 레이저를 출광 및 수광하는 제1 출광 및 수광부(152)가 구비되며, 상기 제1 챔버(110) 내부가 대기압 상태인 경우 상기 제1 챔버창(112)을 통과하는 레이저를 이용하여 상기 제1 출광 및 수광부(152)로부터 상기 진공패널(P)의 일면에 위치한 제1 일 지점(Pa1)까지의 거리인 제1 영점거리(lo1) 및 상기 제1 챔버(110) 내부가 진공 상태인 경우 상기 제1 챔버창(112)을 통과하는 레이저를 이용하여 상기 제1 출광 및 수광부(152)로부터 상기 진공패널(P)의 일면에 위치한 제1 일 지점(Pa1)까지의 거리인 제1 측정거리(lm1)를 획득하도록 상기 제1 챔버창(112) 외부에 설치되는 제1 레이저부(150); 상기 제1 레이저부(150)로부터 상기 제1 영점거리(lo1) 및 제1 측정거리(lm1)를 수신하여 상기 제1 영점거리(lo1)와 제1 측정거리(lm1)의 차인 제1 불량거리(le1)가 미리 설정된 값인 제1 판별거리 이상인 경우 상기 진공패널(P)을 불량으로 판단하기 위하여 상기 제1 레이저부(30)에 연결되는 제어부; 상기 제1 챔버(110) 및 제2 챔버(120) 내부의 압력을 낮추기 위하여 상기 제1 챔버(110) 및 제2 챔버(120)에 각각 연결되는 제1 펌프관(161) 및 제2 펌프관(162); 을 포함할 수 있다.
본 발명은 상면에 상기 진공패널(P)이 안치되고, 상기 제2 개구부(123)가 형성된 상기 제2 챔버(120)의 일측단 외주면이 기밀(氣密) 상태를 유지하며 끼워질 수 있도록 상기 제2 챔버(120)의 일측단의 외주면에 대응하는 끼움공이 상하면을 관통하며 형성되는 선반(172)을 구비하는 지지틀(170)을 포함할 수 있다.
본 발명은 레이저를 출광 및 수광하는 제2 출광 및 수광부(182)가 구비되며, 상기 제2 챔버(120) 내부가 대기압 상태인 경우 상기 제2 챔버창(122)을 통과하는 레이저를 이용하여 상기 제2 출광 및 수광부(182)로부터 상기 진공패널(P)의 일면과 마주보는 타면에 위치한 제2 일 지점(Pa2)까지의 거리인 제2 영점거리(lo2) 및 상기 제2 챔버(120) 내부가 진공 상태인 경우 상기 제2 챔버창(122)을 통과하는 레이저를 이용하여 상기 제2 출광 및 수광부(182)로부터 상기 진공패널(P)의 일면과 마주보는 타면에 위치한 제2 일 지점(Pa2)까지의 거리인 제2 측정거리(lm2)를 획득하도록 상기 제2 챔버창(122) 외측에 설치되는 제2 레이저부(180); 를 포함하되, 상기 제어부는 상기 제2 레이저부(180)로부터 상기 제2 영점거리(lo2) 및 제2 측정거리(lm2)를 수신하여 상기 제2 영점거리(lo2)와 제2 측정거리(lm2)의 차인 제2 불량거리(le2)가 미리 설정된 값인 제2 판별거리 이상인 경우 상기 진공패널(P)을 불량으로 판단하기 위하여 상기 제2 레이저부(180)에 연결될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 펌프관(161) 및 제2 펌프관(162)은 진공펌프(160)에 연결된 메인 펌프관(160-1)으로부터 분기될 수 있다.
본 발명은 챔버의 내부에 진공패널을 실장한 뒤 레이저부 및 제어부를 이용하여 진공패널의 불량여부를 손쉽게 판단할 수 있는 장점이 있다.
본 발명은 터치 컨트롤 패널을 통하여 판별거리의 값을 변경할 수 있어 진공패널의 불량 평가시 요구되는 제품의 정확도에 맞추어 진공패널의 불량여부를 효율적으로 판단할 수 있는 장점이 있다.
본 발명은 진공패널에 측면과의 사이에 진공을 형성할 수 있는 작은 챔버를 사용함으로써, 진공패널을 챔버 내부에 실장하지 않고도 불량인 진공패널을 효과적으로 검출할 수 있는 장점이 있다.
도1은 실시예1의 개략적 구성도.
도2는 실시예1의 펌프부 구성도.
도3 및 도4는 실시예1의 작동도.
도5는 실시예2의 개략적 구성도.
도6는 실시예2의 주요부의 분해 사시도.
도7 내지 도10은 실시예2의 작동도.
이하, 도면을 참조하며 본 발명의 일실시예에 대하여 상세히 설명한다.
실시예1
실시예1은 본 발명에 따라 진공도 불량인 진공패널을 찾아내는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치에 관한 것이다.
도1은 실시예1의 개략적 구성도를, 도2는 실시예1의 펌프부 구성도를, 도3 및 도4는 실시예1의 작동도를 나타낸다.
도1을 참조하면 실시예1은 내부에 진공패널(P)이 실장 가능한 공간이 형성되는 챔버(10)를 가진다. 챔버(10)에는 진공패널(P)을 미리 설정된 위치에 안치시키기 위한 장치로서, 슬라이딩레일 등이 설치될 수 있다.
도1을 참조하면 챔버(10)의 상부벽에는 챔버창(12)이 형성될 수 있다. 챔버창(12)은 레이저가 입사 및 출사 가능한 투명재질의 창이다. 챔버창(12)은 진공패널(P)이 챔버(10) 내부에 실장된 경우 챔버창(12)을 통과한 레이저가 진공패널(P)의 상면에 입사된 뒤 챔버창(12)을 통하여 외부로 출사될 수 있도록, 챔버(10)의 상부벽에 형성된다. 한편 챔버(10)에는 챔버(10) 내부를 투시할 수 있는 투시창이 구비될 수 있다.
도1을 참조하면 챔버(10)에는 펌프부(20)가 연결된다. 펌프부(20)는 챔버(10) 내부의 압력을 낮추어 챔버(10) 내부를 진공 상태로 만들기 위한 것이다.
도1 및 도2를 참조하면 펌프부(20)는 진공 부스터 펌프(vacuum booster pump)(22) 및 오일 로터리 펌프(oil rotary pump)(24)를 포함한다. 진공 부스터 펌프(vacuum booster pump)(22)의 가동만으로 챔버(10) 내부를 진공 상태로 만들 수 있으나, 오일 로터리 펌프(oil rotary pump)(24)를 함께 가동하면 보다 빠른 시간 내에 효과적으로 챔버(10) 내부를 진공 상태로 만들 수 있다. 도면부호 14-1은 마노미터(manometer)를, 14-5는 챔버 벤트 밸브(chamber vent valve)를, 14-7은 리크 밸브(leak valve)를, 24-2은 오일 미스트 트랩(oil mist trap)을, 26은 게이트 밸브(gate valve)를, 28은 쓰로틀 밸브(throttle valve)를 나타낸다. 마노미터(manometer)(14-1)는 챔버(10) 내부의 압력을 측정하기 위한 압력계이고, 챔버 벤트 밸브(chamber vent valve)(14-5)는 챔버(10)의 진공 상태를 해제하기 위한 것이고, 도1 및 도2를 참조하면 펌프부(20)는 진공 부스터 펌프(vacuum booster pump)(22) 및 오일 로터리 펌프(oil rotary pump)(24)를 포함한다. 진공 부스터 펌프(vacuum booster pump)(22)의 가동만으로 챔버(10) 내부를 진공 상태로 만들 수 있으나, 오일 로터리 펌프(oil rotary pump)(24)를 함께 가동하면 보다 빠른 시간 내에 효과적으로 챔버(10) 내부를 진공 상태로 만들 수 있다. 도면부호 14-1은 마노미터(manometer)를, 14-5는 챔버 벤트 밸브(chamber vent valve)를, 14-7은 리크 밸브(leak valve)를, 24-2은 오일 미스트 트랩(oil mist trap)을, 26은 게이트 밸브(gate valve)를, 28은 쓰로틀 밸브(throttle valve)를 나타낸다. 마노미터(manometer)(14-1)는 챔버(10) 내부의 압력을 측정하기 위한 압력계이고, 챔버 벤트 밸브(chamber vent valve)(14-5)는 챔버(10)의 진공 상태를 해제하기 위한 것이고, 리크 밸브(leak valve)(14-7)는 챔버(10) 내부의 진공도를 조절하기 위한 것이고, 오일 미스트 트랩(oil mist trap)(24-2)은 오일 미스트(oil mist)의 배출을 억제하기 위한 것이다.
도1을 참조하면 챔버창(12) 외측에는 레이저부(30)가 설치된다. 레이저부(30)는 챔버창(12)과 소정거리 이격되거나, 챔버창(12) 외면에 접촉하며 설치될 수 있다.
도3을 참조하면 레이저부(30)는 출광 및 수광부(32)와 센서부(34)를 포함한다. 출광 및 수광부(32)는 레이저를 출광 및 수광하기 위한 장치로서, 통상의 장치일 수 있다. 출광 및 수광부(32)는 챔버창(12)을 통하여 레이저를 챔버(10) 내부로 입사시키고, 챔버창(12)을 통하여 챔버(10) 외부로 출사된 레이저를 수광하게 된다. 즉, 출광 및 수광부(32)로부터 발광된 레이저는 챔버창(12)을 통하여 챔버(10) 내부로 입사되어 진공패널(P)에 반사된 뒤 다시 챔버창(12)을 통하여 챔버(10) 외부로 출사되어 출광 및 수광부(32)에 수광된다.
도3을 참조하면 센서부(34)는 출광 및 수광부(32)에 연결된다. 센서부(34)는 챔버(10) 내부가 대기 상태인 경우, 즉 펌프부(20)가 작동하기 전, 출광 및 수광부(32)로부터 레이저의 출광 신호 및 수광 신호를 받아 진공패널(P)의 일면(상면)에 위치한 일 지점(Pa)까지의 거리인 영점거리(lo)를 획득하게 된다. 또한, 센서부(34)는 챔버(10) 내부가 진공 상태인 경우, 즉 펌프부(20)가 작동한 경우, 출광 및 수광부(32)로부터 레이저의 출광 신호 및 수광 신호를 받아 진공패널(P)의 일면(상면)에 위치한 일 지점(Pa)까지의 거리인 측정거리(lm)를 획득하게 된다. 진공패널(P)이 불량인 경우, 즉 진공패널(P)의 내부가 진공 상태를 유지하지 못하는 경우, 챔버(10) 내부가 진공 상태로 변하게 되면 진공패널(P) 내부의 압력이 챔버(10) 내부의 압력보다 높게 되므로 진공패널(P)의 일면은 부풀어 오르게 된다. 따라서, 챔버(10) 내부가 진공 상태인 경우 획득된 측정거리(lm)은 챔버(10) 내부가 대기 상태인 경우 획득된 영점거리(lo)보다 작게 된다.
도1을 참조하면 실시예1은 제어부(40)를 가진다. 제어부(40)은 챔버(10)의 측면에 설치될 수 있다. 도3 및 도4를 함께 참조하면 제어부(40)는 레이저부(30)로부터 영점거리(lo) 및 측정거리(lm)를 수신할 수 있도록 레이저부(30)의 센서부(34)에 연결된다. 제어부(40)는 센서부(34)로부터 영점거리(lo) 및 측정거리(lm)를 수신하여 영점거리(lo)와 측정거리(lm)의 차인 불량거리(le)가 미리 설정된 값인 판별거리 이상인 경우 진공패널(P)을 불량으로 판단하게 된다.
도1을 참조하면 제어부(40)는 진공 컨트롤러(42) 및 터치 컨트롤 패널(44)을 포함할 수 있다. 진공 컨트롤러(42)는 펌프부(20)를 제어하도록 펌프부(20)에 연결되는데, 특히 진공 부스터 펌프(vacuum booster pump)(22) 및 오일 로터리 펌프(oil rotary pump)(24)에 연결된다. 진공 컨트롤러(42)가 펌프부(20)에 연결됨으로써, 진공 컨트롤러(42)가 펌프부(20)를 통하여 챔버(10)의 진공 상태를 조절할 수 있다. 터치 컨트롤 패널(44)은 일종의 터치 패널이다. 터치 컨트롤 패널(44)을 통하여 상기 판별거리의 값을 미리 입력함으로써 상기 판별거리의 값을 미리 설정할 수 있다. 한편, 터치 컨트롤 패널(44)은 영점거리(lo) 및 측정거리(lm)의 값을 디스플레이할 뿐 아니라, 진공패널(P)의 불량 여부에 대한 정보를 디스플레이할 수 있다. 진공패널(P)의 불량 여부에 대한 정보는 '불량' 또는 '우량'일 수 있다.
도1을 참조하면 실시예1은 냉각부(50)를 포함한다. 진공 부스터 펌프(vacuum booster pump)(22) 및 오일 로터리 펌프(oil rotary pump)(24)은 작동이 오랜 시간 지속되어 발열이 한계치를 초과하면 폭발 가능성이 있다. 냉각부(50)는 진공 부스터 펌프(vacuum booster pump)(22) 및 오일 로터리 펌프(oil rotary pump)(24)를 냉각시켜 이들의 온도를 낮추기 위한 것이다.
실시예1은 챔버(10)의 내부에 진공패널(P)을 실장한 뒤 레이저부(30) 및 제어부(40)를 이용하여 진공패널(P)의 불량여부를 손쉽게 판단할 수 있는 장점이 있다.
실시예1은 터치 컨트롤 패널(44)을 통하여 상기 판별거리의 값을 변경할 수 있어 진공패널(P)의 불량 평가시 요구되는 제품의 정확도에 맞추어 진공패널(P)의 불량여부를 효율적으로 판단할 수 있는 장점이 있다.
실시예2
실시예2는 본 발명에 따라 진공도 불량인 진공패널을 찾아내는 또 다른 진공패널의 진공도 불량 평가 장치에 관한 것이다.
도5는 실시예2의 개략적 구성도를, 도6는 실시예2의 주요부의 분해 사시도를, 도7 내지 도10은 실시예2의 작동도를 나타낸다.
도5를 참조하면 실시예2는 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120)를 가진다. 도6을 참조하면 제2 챔버(120)의 일측단(상단)에는 제2 개구부(123)가 형성된다. 마찬가지로 제1 챔버(110)의 일측단(하단)에는 제1 개구부(도면 미도시)가 형성된다. 상기 제1 개구부(도면 미도시) 및 제2 개구부(123)의 형상 및 크기는 동일한 것이 바람직하다.
도5를 참조하면 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120)는 진공패널(60)을 중심으로 상호 마주보는 방향에 설치된다. 즉, 제1 챔버(110)는 진공패널(60)의 상부에 설치되고, 제2 챔버(120)는 진공패널(60)의 하부에 설치될 수 있다. 제1 챔버(110)는 상기 제1 개구부(도면 미도시)가 진공패널(P)의 상면과 기밀(氣密) 상태를 유지하도록 진공패널(P)의 상면에 밀착된다. 따라서, 제1 챔버(110)의 하단에는 진공패널(P) 상면과의 기밀(氣密) 상태를 유지를 위하여 고무 패킹 등이 부설될 수 있다. 제2 챔버(120)는 제2 개구부(123, 도6 참조)를 통하여 진공패널(P)의 하면과의 사이에 기밀(氣密) 상태를 유지할 수 있도록 설치된다.
도5 및 도6을 참조하면 제1 챔버(110)의 타단(상단)에는 제1 챔버창(112)이 형성될 수 있다. 제1 챔버창(112)은 레이저가 입사 및 출사 가능한 투명재질의 창이다. 제1 챔버창(112)은 진공패널(P)이 제1 챔버(110)의 하단에 밀착된 경우 제1 챔버창(112)을 통과한 레이저가 진공패널(P)의 상면에 입사된 뒤 제1 챔버창(112)을 통하여 외부로 출사될 수 있도록, 제1 챔버(110)의 타단(상단)에 형성된다. 한편 제1 챔버(110)에는 제1 챔버(110) 내부를 투시할 수 있는 투시창이 구비될 수 있다.
도5를 참조하면 제2 챔버(120)의 타단(하단)에는 2 챔버창(122)이 형성될 수 있다. 제2 챔버창(122)은 레이저가 입사 및 출사 가능한 투명재질의 창이다. 제2 챔버창(122)은 진공패널(P)이 제2 챔버(10)의 상단과의 사이에 기밀(氣密) 상태를 유지한 경우 제2 챔버창(122)을 통과한 레이저가 진공패널(P)의 하면에 입사된 뒤 제2 챔버창(122)을 통하여 외부로 출사될 수 있도록, 제2 챔버(110)의 타단(하단)에 형성된다. 한편 제2 챔버(120)에는 제2 챔버(120) 내부를 투시할 수 있는 투시창이 구비될 수 있다.
도6을 참조하면 제1 챔버(110)의 타단(상단)에는 실린더부(130)의 하측단이 연결된다. 실린더부(130)의 하측단은 실린더부(130)에 구비되어 상하로 이동하는 상하 이동로드의 하측단일 수 있다. 따라서, 상기 상하 이동로드가 상하로 이동함에 따라 제1 챔버(110)가 직선방향인 상하방향으로 이동한다.
도6을 참조하면 실린더부(130)의 상측단은 실린더 지지부재(140)에 연결 고정된다. 실린더부(130)의 상측단은 실린더부(130)에 구비되는 실린더의 상측단일 수 있다. 한편, 실린더 지지부재(140)는 후술하는 지지틀(170)에 고정 설치될 수 있다.
도6을 참조하면 실시예2는 상부에 평판형의 선반(172)이 형성되는 지지틀(170)을 가진다. 도면에는 도시되지 않았으나, 선반(172)에는 상하면을 관통하는 끼움공(도면 미도시)이 형성된다. 상기 끼움공(도면 미도시)은 제2 개구부(123)가 형성된 제2 챔버(120)의 일단(상단) 외주면이 기밀(氣密) 상태를 유지하며 끼워질 수 있도록, 제2 챔버(120)의 일단(상단) 외주면에 대응하는 형상 및 크기로 형성된다.
도6을 참조하면 선반(172)의 상면에는 상기 끼움공(도면 미도시)을 밀폐하며 진공패널(P)이 안치된다. 따라서, 상기 끼움공(도면 미도시)에 제2 챔버(120)의 일단(상단)이 끼워지게 되면, 제2 챔버(120)는 진공패널(P)의 하면과의 사이에 기밀(氣密) 상태를 유지할 수 있게 된다. 또한, 실린더부(130)에 의하여 제1 챔버(110)가 하부로 이동하게 되면 제1 챔버(110)의 일단(하단)이 진공패널(P)에 밀착된다. 이에 따라 제1 챔버(110)는 진공패널(P)의 상면과의 사이에 기밀(氣密) 상태를 유지할 수 있게 된다.
도5를 참조하면 지지틀(170)에는 진공펌프(160)가 설치된다. 진공펌프(160)에는 메인 펌프관(160-1)이 연결된다.
도5를 참조하면 제1 챔버(110)에는 제1 펌프관(161)이 연결되고, 제2 챔버(120)에는 제2 펌프관(162)이 연결된다. 제1 펌프관(161) 및 제2 펌프관(162)은 메인 펌프관(160-1)으로부터 분기되는 펌프관일 수 있다. 제1 펌프관(161) 및 제2 펌프관(162)이 동일한 진공펌프(160)에 연결되므로, 제1 챔버(110) 및 제2 챔버(120) 내부의 압력이 효율적으로 균일하게 낮추어 질 수 있다.
즉, 실시예1은 제1 펌프관(161) 및 제2 펌프관(162)이 동일한 진공펌프(160)에 연결되고, 상기 제1 개구부(도면 미도시) 및 제2 개구부(123)의 형상 및 크기가 동일하므로, 진공패널(P)의 상하면에 동일한 압력이 균일하게 작용하여 진공패널(P)의 상하면에 동일한 힘이 작용하게 된다. 따라서, 진공패널(P)에 작용하는 힘이 균형을 이루어 진공패널(P)이 휘어지는 것을 방지할 수 있다.
도5 및 도6을 참조하면 제1 챔버창(112) 외측에는 제1 레이저부(150)가 설치된다. 제1 레이저부(150)는 제1 챔버창(112)과 소정거리 이격되거나, 제1 챔버창(112) 외면에 접촉하며 설치될 수 있다.
도7 및 도8을 참조하면 제1 레이저부(150)는 제1 출광 및 수광부(152)와 제1 센서부(154)를 포함한다. 제1 출광 및 수광부(152)는 레이저를 출광 및 수광하기 위한 장치로서, 통상의 장치일 수 있다. 제1 출광 및 수광부(152)는 제1 챔버창(112)을 통하여 레이저를 제1 챔버(110) 내부로 입사시키고, 제1 챔버창(112)을 통하여 제1 챔버(110) 외부로 출사된 레이저를 수광하게 된다. 즉, 제1 출광 및 수광부(152)로부터 발광된 레이저는 제1 챔버창(112)을 통하여 제1 챔버(110) 내부로 입사되어 진공패널(P)에 반사된 뒤 다시 제1 챔버창(112)을 통하여 제1 챔버(110) 외부로 출사되어 제1 출광 및 수광부(152)에 수광된다.
도7 및 도8을 참조하면 제1 센서부(154)는 제1 출광 및 수광부(152)에 연결된다. 제1 센서부(154)는 제1 챔버(110) 내부가 대기 상태인 경우, 즉 진공펌프(160)가 작동하기 전, 제1 출광 및 수광부(152)로부터 레이저의 출광 신호 및 수광 신호를 받아 진공패널(P)의 일면(상면)에 위치한 제1 일 지점(Pa1)까지의 거리인 제1 영점거리(lo1)를 획득하게 된다. 또한, 제1 센서부(154)는 제1 챔버(110) 내부가 진공 상태인 경우, 즉 진공펌프(160)가 작동한 경우, 제1 출광 및 수광부(152)로부터 레이저의 출광 신호 및 수광 신호를 받아 진공패널(P)의 일면(상면)에 위치한 제1 일 지점(Pa1)까지의 거리인 제1 측정거리(lm1)를 획득하게 된다. 진공패널(P)이 불량인 경우, 즉 진공패널(P)의 내부가 진공 상태를 유지하지 못하는 경우, 제1 챔버(110) 내부가 진공 상태로 변하게 되면 진공패널(P) 내부의 압력이 제1 챔버(110) 내부의 압력보다 높게 되므로 진공패널(P)의 일면(상면)은 부풀어 오르게 된다. 따라서, 제1 챔버(110) 내부가 진공 상태인 경우 획득된 제1 측정거리(lm1)은 제1 챔버(110) 내부가 대기 상태인 경우 획득된 제1 영점거리(lo1)보다 작게 된다.
도면에 도시되지는 않았으나, 실시예2는 실시예1고 마찬가지로 제어부(도면 미도시)를 가진다. 상기 제어부(도면 미도시)는 지지틀(170)에 설치될 수 있다.
도7 및 도8을 참조하면 상기 제어부(도면 미도시)는 제1 레이저부(150)로부터 제1 영점거리(lo1) 및 제1 측정거리(lm1)를 수신할 수 있도록 제1 레이저부(150)의 제1 센서부(154)에 연결된다. 상기 제어부(도면 미도시)는 제1 센서부(154)로부터 제1 영점거리(lo1) 및 제1 측정거리(lm1)를 수신하여 제1 영점거리(lo1)와 제1 측정거리(lm1)의 차인 제1 불량거리(le1)가 미리 설정된 값인 판별거리 이상인 경우 진공패널(P)을 불량으로 판단하게 된다.
도5 및 도6을 참조하면 제2 챔버창(122) 외측에는 제2 레이저부(180)가 설치된다. 제2 레이저부(180)는 제2 챔버창(122)과 소정거리 이격되거나, 제2 챔버창(122) 외면에 접촉하며 설치될 수 있다.
도9 및 도10을 참조하면 제2 레이저부(180)는 제2 출광 및 수광부(182)와 제2 센서부(184)를 포함한다. 제2 출광 및 수광부(182)는 레이저를 출광 및 수광하기 위한 장치로서, 통상의 장치일 수 있다. 제2 출광 및 수광부(182)는 제2 챔버창(122)을 통하여 레이저를 제2 챔버(120) 내부로 입사시키고, 제2 챔버창(122)을 통하여 제2 챔버(120) 외부로 출사된 레이저를 수광하게 된다. 즉, 제2 출광 및 수광부(182)로부터 발광된 레이저는 제2 챔버창(122)을 통하여 제2 챔버(120) 내부로 입사되어 진공패널(P)에 반사된 뒤 다시 제2 챔버창(122)을 통하여 제2 챔버(120) 외부로 출사되어 제2 출광 및 수광부(182)에 수광된다.
도9 및 도10을 참조하면 제2 센서부(184)는 제2 출광 및 수광부(182)에 연결된다. 제2 센서부(184)는 제2 챔버(120) 내부가 대기 상태인 경우, 즉 진공펌프(160)가 작동하기 전, 제2 출광 및 수광부(182)로부터 레이저의 출광 신호 및 수광 신호를 받아 진공패널(P)의 타면(하면)에 위치한 제2 일 지점(Pa2)까지의 거리인 제2 영점거리(lo2)를 획득하게 된다. 또한, 제2 센서부(184)는 제2 챔버(120) 내부가 진공 상태인 경우, 즉 진공펌프(160)가 작동한 경우, 제2 출광 및 수광부(182)로부터 레이저의 출광 신호 및 수광 신호를 받아 진공패널(P)의 타면(하면)에 위치한 제2 일 지점(Pa2)까지의 거리인 제2 측정거리(lm2)를 획득하게 된다. 진공패널(P)이 불량인 경우, 즉 진공패널(P)의 내부가 진공 상태를 유지하지 못하는 경우, 제2 챔버(120) 내부가 진공 상태로 변하게 되면 진공패널(P) 내부의 압력이 제2 챔버(120) 내부의 압력보다 높게 되므로 진공패널(P)의 타면(하면)은 부풀어 오르게 된다. 따라서, 제2 챔버(120) 내부가 진공 상태인 경우 획득된 제2 측정거리(lm2)는 제2 챔버(120) 내부가 대기 상태인 경우 획득된 제2 영점거리(lo2)보다 작게 된다.
도9 및 도10을 참조하면 상기 제어부(도면 미도시)는 제2 레이저부(180)로부터 제2 영점거리(lo2) 및 제2 측정거리(lm2)를 수신할 수 있도록 제2 레이저부(180)의 제2 센서부(184)에 연결된다. 상기 제어부(도면 미도시)는 제2 센서부(184)로부터 제2 영점거리(lo2) 및 제2 측정거리(lm2)를 수신하여 제2 영점거리(lo2)와 제2 측정거리(lm2)의 차인 제2 불량거리(le2)가 미리 설정된 값인 판별거리 이상인 경우 진공패널(P)을 불량으로 판단하게 된다.
한편, 실시예2의 경우 제1 레이저부(150) 및 제2 레이저부(180)가 모두 구비되어야 하는 것은 아니다. 실시예2는 제1 레이저부(150)와 제2 레이저부(180) 중의 어느 하나만이 구비되어도 무방하다.
도면부호 192는 상기 제어부(도면 미도시)에 구비되어 진공펌프(160)의 작동을 제어하는 진공 컨트롤러를 나타낸다.
실시예1은 선반(172)의 상면 진공패널(P)을 안치시킨 뒤 레이저부(150, 180) 및 상기 제어부(도면 미도시)를 이용하여 진공패널(P)의 불량여부를 손쉽게 판단할 수 있는 장점이 있다.
즉, 실시예1의 경우 챔버(110, 120)의 크기가 진공패널(P)보다 작은 경우에도 효과적으로 진공패널(P)의 불량여부를 손쉽게 판단할 수 있는 장점이 있다.
기타 설명하지 않은 부분은 실시예1에서 설명한 바에 준한다.
10:챔버 12:챔버창
20:펌프부 22:진공 부스터 펌프
24:오일 로터리 펌프
30:레이저부 32:출광 및 수광부
40:제어부 42:진공 컨트롤러
44:터치 컨트롤 패널
50:냉각부
110:제1 챔버 112:제1 챔버창
120:제2 챔버 122:제2 챔버창
123:제2 개구부
130:실린더부
140:실린더 지지부재
150:제1 레이저부 152:제1 출광 및 수광부
160:진공펌프 160-1:메인 펌프관
161:제1 펌프관 162:제2 펌프관
170:지지틀 172:선반
180:제2 레이저부 182:제2 출광 및 수광부
192:진공 컨트롤러

Claims (7)

  1. 진공도 불량인 진공패널(P)을 찾아내는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치에 있어서,
    내부에 상기 진공패널(P)이 위치 가능한 공간이 형성되고, 레이저가 입사 및 출사 가능한 챔버창(12)이 형성되는 챔버(10);
    상기 챔버(10) 내부의 압력을 낮추기 위하여 상기 챔버(10)에 연결되는 펌프부(20);
    레이저를 출광 및 수광하는 출광 및 수광부(32)가 구비되며, 상기 챔버(10) 내부가 대기압 상태인 경우 상기 챔버창(12)을 통과하는 레이저를 이용하여 상기 출광 및 수광부(32)로부터 상기 진공패널(P)의 일면에 위치한 일 지점(Pa)까지의 거리인 영점거리(lo) 및 상기 챔버(10) 내부가 진공 상태인 경우 상기 챔버창(12)을 통과하는 레이저를 이용하여 상기 출광 및 수광부(32)로부터 상기 진공패널(P)의 일면에 위치한 일 지점(Pa)까지의 거리인 측정거리(lm)를 획득하도록 상기 챔버창(12) 외측에 설치되는 레이저부(30);
    상기 레이저부(30)로부터 상기 영점거리(lo) 및 측정거리(lm)를 수신하여 상기 영점거리(lo)와 측정거리(lm)의 차인 불량거리(le)가 미리 설정된 값인 판별거리 이상인 경우 상기 진공패널(P)을 불량으로 판단하기 위하여 상기 레이저부(30)에 연결되는 제어부(40);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제어부(40)는,
    상기 펌프부(20)를 제어하여 상기 챔버(10)의 진공 상태를 조절하도록, 상기 펌프부(20)에 연결되는 진공 컨트롤러(42);
    상기 판별거리를 입력하고, 상기 영점거리(lo) 및 측정거리(lm)의 값과 상기 진공패널(P)의 불량 여부를 출력하기 위한 터치 컨트롤 패널(44);
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 펌프부(20)에 구비되어 상기 챔버(10)를 진공 상태로 만드는 진공 부스터 펌프(vacuum booster pump)(22) 및 오일 로터리 펌프(oil rotary pump)(24)의 과열을 방지하기 위한 냉각부(50)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치.
  4. 진공도 불량인 진공패널(P)을 찾아내는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치에 있어서,
    상기 진공패널(P)을 중심으로 상호 마주보게 위치되며, 상기 진공패널(P)의 양측면에 밀착되는 제1 개구부 및 제2 개구부(123)가 각각 형성되는 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120);
    상기 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120)를 통하여 레이저가 입사 및 출사 가능하도록 상기 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120)에 각각 형성되는 제1 챔버창(112) 및 제2 챔버창(122);
    상기 제1 챔버(110)를 직선방향으로 이동시키도록 일측단이 상기 제1 챔버(110)에 연결되는 실린더부(130);
    상기 실린더부(130)를 지지하도록 상기 실린더부(130)의 타측단에 연결되는 실린더 지지부재(140);
    레이저를 출광 및 수광하는 제1 출광 및 수광부(152)가 구비되며, 상기 제1 챔버(110) 내부가 대기압 상태인 경우 상기 제1 챔버창(112)을 통과하는 레이저를 이용하여 상기 제1 출광 및 수광부(152)로부터 상기 진공패널(P)의 일면에 위치한 제1 일 지점(Pa1)까지의 거리인 제1 영점거리(lo1) 및 상기 제1 챔버(110) 내부가 진공 상태인 경우 상기 제1 챔버창(112)을 통과하는 레이저를 이용하여 상기 제1 출광 및 수광부(152)로부터 상기 진공패널(P)의 일면에 위치한 제1 일 지점(Pa1)까지의 거리인 제1 측정거리(lm1)를 획득하도록 상기 제1 챔버창(112) 외부에 설치되는 제1 레이저부(150);
    상기 제1 레이저부(150)로부터 상기 제1 영점거리(lo1) 및 제1 측정거리(lm1)를 수신하여 상기 제1 영점거리(lo1)와 제1 측정거리(lm1)의 차인 제1 불량거리(le1)가 미리 설정된 값인 제1 판별거리 이상인 경우 상기 진공패널(P)을 불량으로 판단하기 위하여 상기 제1 레이저부(30)에 연결되는 제어부;
    상기 제1 챔버(110) 및 제2 챔버(120) 내부의 압력을 낮추기 위하여 상기 제1 챔버(110) 및 제2 챔버(120)에 각각 연결되는 제1 펌프관(161) 및 제2 펌프관(162);
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 패널의 진공도 불량 평가 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상면에 상기 진공패널(P)이 안치되고, 상기 제2 개구부(123)가 형성된 상기 제2 챔버(120)의 일측단 외주면이 기밀(氣密) 상태를 유지하며 끼워질 수 있도록 상기 제2 챔버(120)의 일측단의 외주면에 대응하는 끼움공이 상하면을 관통하며 형성되는 선반(172)을 구비하는 지지틀(170)을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    레이저를 출광 및 수광하는 제2 출광 및 수광부(182)가 구비되며, 상기 제2 챔버(120) 내부가 대기압 상태인 경우 상기 제2 챔버창(122)을 통과하는 레이저를 이용하여 상기 제2 출광 및 수광부(182)로부터 상기 진공패널(P)의 일면과 마주보는 타면에 위치한 제2 일 지점(Pa2)까지의 거리인 제2 영점거리(lo2) 및 상기 제2 챔버(120) 내부가 진공 상태인 경우 상기 제2 챔버창(122)을 통과하는 레이저를 이용하여 상기 제2 출광 및 수광부(182)로부터 상기 진공패널(P)의 일면과 마주보는 타면에 위치한 제2 일 지점(Pa2)까지의 거리인 제2 측정거리(lm2)를 획득하도록 상기 제2 챔버창(122) 외측에 설치되는 제2 레이저부(180);
    를 포함하되,
    상기 제어부는 상기 제2 레이저부(180)로부터 상기 제2 영점거리(lo2) 및 제2 측정거리(lm2)를 수신하여 상기 제2 영점거리(lo2)와 제2 측정거리(lm2)의 차인 제2 불량거리(le2)가 미리 설정된 값인 제2 판별거리 이상인 경우 상기 진공패널(P)을 불량으로 판단하기 위하여 상기 제2 레이저부(180)에 연결되는 것을 특징으로 하는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제1 펌프관(161) 및 제2 펌프관(162)은 진공펌프(160)에 연결된 메인 펌프관(160-1)으로부터 분기되는 것을 특징으로 하는 진공패널의 진공도 불량 평가 장치.
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