KR101126722B1 - 액체 토출장치 - Google Patents

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Abstract

액체 토출장치가 개시된다. 액체 토출장치는 액체 유입구 및 상기 액체 유입구에서 유입된 액체가 토출되는 토출구가 형성된 하우징; 상기 토출구에 구비된 노즐; 상기 노즐을 개폐하도록 상기 하우징에 대해 이동가능하게 설치된 밸브; 다수의 압전소자가 적층되어 길이방향으로 신장이 가능하게 형성되며, 일단이 상기 하우징에 고정된 변위 발생기; 일단은 상기 변위 발생기와 결합하며, 타단은 상기 밸브와 결합하여 상기 변위 발생기에서 발생된 변위를 증폭하여 상기 밸브를 구동하는 변위 증폭기구;를 포함한다. 따라서, 미소량의 액체를 고속으로 정확하게 토출할 수 있도록 한다.
액체 토출장치

Description

액체 토출장치{Liquid dispenser}
본 발명은 액체 토출장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 엘시디, 피디피 등과 같은 장치에 사용되는 피시비 기판에 본딩용 액체 등과 같은 소량의 액체를 빠르게 토출하는 데 사용되는 액체 토출장치에 관한 것이다.
일반적으로, 토출장치는 액상수지를 정량(定量)으로 혼합하여 배출하는 장치로서, 이용분야는 반도체제품, 광학제품, 전자부품, 일반 가전제품, 정밀기기 등의 다양한 분야에서 몰딩, 접착, 실링 작업에 주로 응용되고 있다. 이러한 분야에 사용되는 토출장치는 보다 빨리 소량의 액체를 정량으로 토출하는 것이 요구된다.
종래에 사용되는 액체 토출장치는 주로 솔레노이드 액튜에이터를 사용하여 노즐을 개폐하였으나, 이러한 액체 토출장치는 1초에 100번 정도 개폐를 할 수 있어, 위의 분야에서 요구하는 속도를 충족시켜 주지 못하고 있는 실정이며, 그 토출되는 양의 정확도도 많이 떨어지고 있다.
따라서, 종래보다 보다 고속으로 미소량을 정확하게 제어하여 토출할 수 있는 장치의 개발이 절실히 요구된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 미소량의 액체를 고속으로 정확하게 토출할 수 있는 액체 토출장치를 제공함을 그 목적으로 한다.
본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하고자, 액체 유입구 및 상기 액체 유입구에서 유입된 액체가 토출되는 토출구가 형성된 하우징; 상기 토출구에 구비된 노즐; 상기 노즐을 개폐하도록 상기 하우징에 대해 이동가능하게 설치된 밸브; 다수의 압전소자가 적층되어 길이방향으로 신장이 가능하게 형성되며, 일단이 상기 하우징에 고정된 변위 발생기; 일단은 상기 변위 발생기와 결합하며, 타단은 상기 밸브와 결합하여 상기 변위 발생기에서 발생된 변위를 증폭하여 상기 밸브를 구동하는 변위 증폭기구;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출장치를 제공한다.
여기서, 상기 변위 증폭기구는, 상기 변위 발생기 및 상기 밸브와 결합할 뿐만 아니라, 상기 하우징에 힌지 결합된 레버;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 레버의 상기 하우징에 힌지 결합되는 부위가 상기 변위 발생기 및 상기 밸브와 결합하는 부위의 사이에 위치하며, 상기 밸브 보다 상기 변위 발생기에 인접한 위치에 형성된 것이 효과적이다.
그리고, 상기 변위 발생기는, 상기 레버와 접하는 부위가 곡면으로 형성된 것이 바람직하다.
또한, 상기 레버의 상기 변위 발생기와 접하는 부위에는 홈이 요입되어 형성 된다.
한편, 일단은 상기 하우징에 지지되고, 타단은 상기 밸브에 결합되어, 상기 밸브가 상기 노즐을 밀폐하도록 하는 안전 스프링;을 더 포함하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 변위 발생기를 상기 하우징에 고정함과 아울러, 상기 변위 발생기의 위치를 미세 조절할 수 있는 변위 발생기 위치 조절장치; 상기 밸브가 상기 노즐에 가하는 압력을 조절하도록 상기 하우징에 설치된 밸브 가압 장치; 및 상기 노즐이 상기 밸브에 가하는 압력을 조절하도록 상기 하우징에 설치된 노즐 가압장치;를 더 포함하는 것이 효과적이다.
여기서, 상기 변위 발생기 위치 조절장치는, 상기 변위 발생기가 고정되는 액튜에이터 베이스; 및 일단이 상기 액튜에이터 베이스에 고정되며, 상기 하우징에 스크류 결합되어, 상기 액튜에이터 베이스의 위치를 조절할 수 있는 액튜에이터 위치 조절 스크류;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 변위 발생기에 전기가 가해지지 않을 때 원래의 길이로 복원하는 액튜에이터 복원장치;를 더 포함하는 것이 효과적이다.
상기 액튜에이터 복원장치는, 상기 액튜에이트 베이스에 스크류 결합된 액튜에이터 커버; 및 일단은 상기 액튜에이터 커버에 고정되고, 타단은 상기 변위발생기의 상기 변위 증폭기구와 접하는 헤드부에 고정되는 액튜에이터 복원 스프링;을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 밸브 가압장치는, 상기 하우징에 스크류 결합되며, 일단이 상기 밸브를 가압하는 밸브 스크류;를 포함한다.
여기서, 일단은 상기 밸브 스크류에 결합되며, 타단은 상기 밸브에 결합되는 안전 스프링;을 더 포함한다.
또한, 상기 밸브에 가해지는 압력을 측정하는 로드셀;을 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 노즐 가압장치는, 상기 노즐을 상기 밸브를 향해 지지하며, 상기 하우징에 대해 스크류 결합되는 노즐캡;을 포함한다.
또한, 상기 유입구에는 상기 유입구로 유입된 액체의 점도를 낮춰주기 위해 설치된 가열장치;를 더 포함하는 것이 효과적이다.
이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 과제해결 수단에 의하면 다음과 같은 사항을 포함하는 다양한 효과를 기대할 수 있다. 다만, 본 발명이 하기와 같은 효과를 모두 발휘해야 성립되는 것은 아니다.
먼저, 본 발명은 하나의 압전소자 및 변위 증폭기구를 사용하여, 액체를 미소량 고속으로 정밀하게 토출할 수 있도록 한다.
또한, 변위 발생기 위치 조절장치, 밸브 가압장치, 노즐 가압장치 등을 통해서, 토출되는 액체의 양을 아주 미세하게 조절할 수 있는 장점도 있다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 관하여 상세히 설명한다.
다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흩트리지 않도록 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예의 액체 토출장치의 단면도이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 액체 토출장치는 액체 유입구(111) 및 상기 액체 유입구(111)에서 유입된 액체가 토출되는 토출구(144)가 형성된 하우징(100)과, 상기 토출구에 구비된 노즐(200)과, 상기 노즐(200)을 개폐하도록 상기 하우징(100)에 대해 이동가능하게 설치된 밸브(250)와, 다수의 압전소자가 적층되어 길이방향으로 신장이 가능하게 형성되며, 일단이 상기 하우징에 고정된 변위 발생기(300)와, 일단은 상기 변위 발생기(300)와 결합하며, 타단은 상기 밸브(250)와 결합하여 상기 변위 발생기에서 발생된 변위를 증폭하여 상기 밸브를 구동하는 변위 증폭기구(400)를 포함한다.
하우징(100)은 액체 토출장치의 뼈대를 구성하는 것으로서, 액체 유입구(111)가 형성된 유입 블록(110)과, 유입 블록(110)과 유로(112)로 연통되는 챔버가 형성되며, 밸브(250)가 설치되는 챔버 블록(140)과, 챔버 블록(140)의 상단에 설치되며 밸브 가압장치(600)를 지지하는 밸브 가압장치 블록(120)과, 상기 밸브 가압장치(600) 및 챔버 블록(140)의 측면에 결합하여 변위 발생기(300) 및 변위 발생기 위치 조절장치(500)를 수용하는 액튜에이터 블록(130)을 포함한다.
유입 블록(110)에는 전술한 액체 유입구(111)가 형성되며, 액체 유입구(111)와 챔버 블록(140)을 연통하는 유로(112)가 형성되며, 가열장치(800)를 수용하기 위한 가열공(113)이 형성된다.
챔버 블록(140)에는 유로(112)와 연통되는 챔버(미소량을 토출하는 장비이므 로 챔버가 눈으로 식별할 수 있을 정도록 크지 않으며, 밸브와 챔브 블록(140) 사이의 간극이 챔버의 역할을 함)가 형성되며, 하부에 토출구(144)가 형성된 챔버 본체(141)와, 챔버 본체(141)의 상면에 설치된 실링 플레이트(142)와, 실링 플레이트(142)의 상부에 설치된 챔버 커버(141)로 구성된다. 챔버 블록에는 밸브(200)가 관통할 수 있는 밸브 관통공(145)이 관통되어 형성된다.
밸브 가압장치 블록(120)은 챔버 블록(140)의 상단(도 1을 기준으로)에 결합되며, 밸브 가압장치(600)를 수용하기 위한 밸브 가압장치 수용부(121)가 형성된다. 또한, 액튜에이터 블록(130)과 접하는 면에는 변위 증폭기구의 설치를 위한 제 1 변위 증폭기구 수용부(122)가 형성된다.
액튜에이터 블록(130)에는 변위 발생기(300) 및 변위 발생기 위치 조절장치(500)를 수용하는 액튜에이터 수용부(131) 및 밸브 가압장치 블록(120)과 접하는 면에는 제 1 변위 증폭기구 수용부(122)와 함께 변위 증폭기구를 수용할 수 있도록 제 2 변위 증폭기구 수용부(132)가 형성된다.
도 2는 도 1의 밸브의 단면도이다.
밸브(250)는 노즐(200)에 접하는 개폐부(251)가 끝단에 형성되며, 상기 밸브 관통공(145)에 끼워지는 밸브 본체(252)와, 밸브 본체(252)의 상단에 형성되어, 레버(410)와 접하는 구동돌기(253)와, 안전 스프링(620)과 결합하는 스프링 결합부(254)로 구성된다.
변위 발생기(300)는 다수의 압전소자가 적층되어 형성된 변위 발생기 본체(310)와, 변위 발생기(310)의 변위 증폭기구(400)와 접하는 헤드부(320)를 포함 한다. 압전소자는 압력을 가하면 전기가 발생하며, 반대로 전기를 가하면 길이가 신장되는 소자를 말한다. 이러한 압전소자를 많이 적층하여 수 Cm 단위의 길이로 제작할 경우 가해지는 전기에 따라서 수십 마이크로 미터단위로 신축이 일어난다. 본 발명은 이러한 압전소자를 변위 발생기를 이용한 것으로서, 1초 1000번 이상의 밸브의 개폐 동작을 구현할 수 있어, 제조 공정의 속도를 획기적으로 개선할 수 있다. 헤드부(320)에는 라운드져 형성되어 증폭기구(400)와 접하는 접점(321)과, 복원 스프링(532)과 결합하는 스프링 결합돌기(322)가 형성된다.
변위 증폭기구(400)는, 상기 변위 발생기(300) 및 상기 밸브(250)와 결합할 뿐만 아니라, 상기 하우징에 힌지부(411)에 의해 힌지 결합된 레버(410)를 포함한다. 즉, 레버(410)의 상기 하우징(100)에 힌지 결합되는 부위인 힌지부(411)는 상기 변위 발생기(300) 및 상기 밸브(250)와 결합하는 부위의 사이에 위치하며, 상기 밸브(250) 보다 상기 변위 발생기(300)에 인접한 위치에 형성된다. 따라서, 변위 발생기(300)에 의해서 발생한 미세한 신장길이가 보다 증폭 되어 밸브(250)에 전달된다.
상기 레버(410)의 상기 변위 발생기(300)와 접하는 부위에는 홈(412)이 요입되어 형성된다. 그러므로, 신축하는 동작에도 레버(410)와 헤드부(320)가 접하는 위치가 슬라이딩 되지 않고 일정하므로, 밸브(250)의 작동거리도 일정하게 된다는 장점이 있다. 레버(410)의 타단은 밸브(250)의 구동돌기(253)에 접한다.
본 발명의 액체 토출장치는 토출되는 액체의 양을 보다 정밀하게 조절하기 위해서 다양한 미세 조절장치를 구비한다. 구비된 미세 조절장치로는 변위 발생 기(300)를 상기 하우징에 고정함과 아울러, 상기 변위 발생기의 위치를 미세 조절할 수 있는 변위 발생기 위치 조절장치(500)와, 상기 밸브가 상기 노즐에 가하는 압력을 조절하도록 상기 하우징에 설치된 밸브 가압 장치(600)와, 상기 노즐이 상기 밸브에 가하는 압력을 조절하도록 상기 하우징에 설치된 노즐 가압장치(700)를 포함한다.
상기 변위 발생기 위치 조절장치(500)는, 상기 변위 발생기(300)가 고정되는 액튜에이터 베이스(510)와, 일단이 상기 액튜에이터 베이스(510)에 고정되며, 상기 하우징(100)에 스크류 결합되어, 상기 액튜에이터 베이스(510)의 위치를 조절할 수 있는 액튜에이터 위치 조절 스크류(520)를 포함한다. 따라서, 변위 발생기(300)의 위치를 레버(410)에 대해서 미세하게 조절할 수 있다는 장점이 있다. 온도, 습도 등에 의해서 하우징을 구성하는 금속은 길이에 변화가 발생할 수 있으며, 이러한 변화에 의해 레버(410)와 변위 발생기(300) 사이의 간극이 발생하면, 변위 발생기(300)의 신장에 의한 진폭이 그대로 전달되지 않는 문제가 발생할 수 있다. 변위 발생 위치 조절장치(500)는 간단한 구성으로 이러한 문제점을 해소하여 준다.
또한, 상기 변위 발생기에 전기가 가해지지 않을 때 원래의 길이로 복원하는 액튜에이터 복원장치(530)가 더 구비된다. 상기 액튜에이터 복원장치(530)는, 상기 액튜에이트 베이스(510)에 스크류 결합된 액튜에이터 커버(531)와, 일단은 상기 액튜에이터 커버(531)에 고정되고, 타단은 상기 변위발생기의 상기 변위 증폭기구와 접하는 헤드부(320)에 고정되는 액튜에이터 복원 스프링(532)을 포함한다. 전기가 가해지지 않을 때 복원 스프링(535)이 변위 발생기(300)를 원래의 길이로 복원시켜 주며(이는 중력에 의해 발생할 수 있는 변위 발생기의 길이 변형을 방지하여 주는 역할도 한다.), 복원스프링(535)이 변위 발생기(300)에 가하는 압력을 액튜에이터 커버(531)의 액튜에이트 베이스(510)에 대한 위치를 조절함으로서, 미세하게 조절할 수 있어, 보다 정확한 신장길이를 조절할 수 있다.
밸브 가압장치(600)는, 하우징에 스크류 결합되며, 일단이 상기 밸브를 가압하는 밸브 스크류(610)와, 일단은 상기 밸브 스크류(610)에 결합되며, 타단은 상기 밸브에 결합되는 안전 스프링(620)을 포함한다. 안전스프링(620)과 밸브(250) 사이에는 로드셀(미도시)이 설치된다. 이와 같이, 밸브 가압장치(600)는 밸브에 가해지는 압력을 로드셀에 측정되는 압력을 참조하여 미세하게 조절할 수 있으므로, 토출되는 양을 미세하게 조절할 수 있다. 이에 더불어, 밸브 가압장치(600)는 구동되는 전기가 끊어진 경우, 챔버에 형성된 액체의 압력에 의해 밸브가 개방된 상태로 유지되는 것을 방지하여 준다. 즉, 밸브를 향상 노즐 측으로 압력을 가함으로서, 다른 하중이 없는 경우 밸브가 닫혀진 상태로 유지하도록 하여 준다.
상기 노즐 가압장치(700)는, 상기 노즐을 상기 밸브를 향해 지지하며, 상기 하우징에 대해 스크류 결합되는 노즐캡으로 구현된다. 이는 밸브 가압장치(600)와 마찬가지로 밸브와 노즐 사이에 가해지는 압력을 미세하게 조절하여, 토출되는 유체의 양을 미세하게 조절할 수 있다.
상기 유입구에는 상기 유입구로 유입된 액체의 점도를 낮춰주기 위해 설치된 가열장치(800)를 포함한다. 가열장치는 전기로 열을 발생하는 전열장치로 구현될 수 있다.
상기와 같이, 본 발명은 하나의 압전소자 및 변위 증폭기구를 사용하여, 액체를 미소량 고속으로 정밀하게 토출할 수 있도록 한다.
또한, 변위 발생기 위치 조절장치, 밸브 가압장치, 노즐 가압장치 등을 통해서, 토출되는 액체의 양을 아주 미세하게 조절할 수 있는 장점도 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예의 액체 토출장치의 단면도
도 2는 도 1의 밸브가 설치된 부위의 확대 단면도
도 3은 도 1의 변위 발생기가 설치된 부위의 확대 단면도
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
111: 액체 유입구 144: 토출구
100: 하우징 200: 노즐
250: 밸브 300: 변위 발생기
400: 변위 증폭기구 410: 레버
412: 홈 620: 안전 스프링
500: 위치 조절장치 600: 밸브 가압 장치
700: 노즐 가압장치 510: 액튜에이터 베이스
520: 액튜에이터 위치 조절 스크류 320: 헤드부
530: 액튜에이터 복원장치 531: 액튜에이터 커버
535: 액튜에이터 복원 스프링 610: 밸브 스크류
800: 가열장치

Claims (21)

  1. 액체 유입구 및 상기 액체 유입구에서 유입된 액체가 토출되는 토출구가 형성된 하우징;
    상기 토출구에 구비된 노즐;
    상기 노즐을 개폐하도록 상기 하우징에 대해 이동가능하게 설치된 밸브;
    다수의 압전소자가 적층되어 길이방향으로 신장이 가능하게 형성되며, 일단이 상기 하우징에 고정된 변위 발생기;
    일단은 상기 변위 발생기와 결합하며, 타단은 상기 밸브와 결합하여 상기 변위 발생기에서 발생된 변위에 비해 상기 밸브에 발생하는 변위를 증폭하여 상기 밸브를 구동하는 변위 증폭기구;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 변위 증폭기구는,
    상기 변위 발생기 및 상기 밸브와 결합할 뿐만 아니라, 상기 하우징에 힌지 결합된 레버;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 레버의 상기 하우징에 힌지 결합되는 부위가 상기 변위 발생기 및 상기 밸브와 결합하는 부위의 사이에 위치하며, 상기 밸브 보다 상기 변위 발생기에 인접한 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 액체 토출장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 변위 발생기는,
    상기 레버와 접하는 부위가 곡면으로 형성된 것을 특징으로 하는 액체 토출장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 레버의 상기 변위 발생기와 접하는 부위에는 홈이 요입되어 형성된 것을 특징으로 하는 액체 토출 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    일단은 상기 하우징에 지지되고, 타단은 상기 밸브에 결합되어, 상기 밸브가 상기 노즐을 밀폐하도록 하는 안전 스프링;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    일단은 상기 하우징에 지지되고, 타단은 상기 밸브에 결합되어, 상기 밸브가 상기 노즐을 밀폐하도록 하는 안전 스프링;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 변위 발생기를 상기 하우징에 고정함과 아울러, 상기 변위 발생기의 위치를 미세 조절할 수 있는 변위 발생기 위치 조절장치;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸브가 상기 노즐에 가하는 압력을 조절하도록 상기 하우징에 설치된 밸브 가압 장치;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐이 상기 밸브에 가하는 압력을 조절하도록 상기 하우징에 설치된 노즐 가압장치;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출 장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 밸브가 상기 노즐에 가하는 압력을 조절하도록 상기 하우징에 설치된 밸브 가압 장치; 및
    상기 노즐이 상기 밸브에 가하는 압력을 조절하도록 상기 하우징에 설치된 노즐 가압장치;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출 장치.
  12. 제 8 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 변위 발생기 위치 조절장치는,
    상기 변위 발생기가 고정되는 액튜에이터 베이스; 및
    일단이 상기 액튜에이터 베이스에 고정되며, 상기 하우징에 스크류 결합되어, 상기 액튜에이터 베이스의 위치를 조절할 수 있는 액튜에이터 위치 조절 스크 류;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 변위 발생기는,
    상기 변위 증폭기구와 접하는 헤드부가 라운드져 형성된 것을 특징으로 하는 액체 토출장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 변위 발생기에 전기가 가해지지 않을 때 원래의 길이로 복원하는 액튜에이터 복원장치;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 액튜에이터 복원장치는,
    상기 액튜에이터 베이스에 스크류 결합된 액튜에이터 커버; 및
    일단은 상기 액튜에이터 커버에 고정되고, 타단은 상기 변위발생기의 상기 변위 증폭기구와 접하는 헤드부에 고정되는 액튜에이터 복원 스프링;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출장치.
  16. 제 8 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밸브 가압장치는,
    상기 하우징에 스크류 결합되며, 일단이 상기 밸브를 가압하는 밸브 스크류;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    일단은 상기 밸브 스크류에 결합되며, 타단은 상기 밸브에 결합되는 안전 스프링;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출장치.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 밸브에 가해지는 압력을 측정하는 로드셀;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출장치.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 안전 스프링과 상기 밸브 사이에 설치되는 로드셀;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출장치.
  20. 제 8 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서
    상기 노즐 가압장치는,
    상기 노즐을 상기 밸브를 향해 지지하며, 상기 하우징에 대해 스크류 결합되는 노즐캡;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출장치.
  21. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유입구에는 상기 유입구로 유입된 액체의 점도를 낮춰주기 위해 설치된 가열장치;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 토출장치.
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