KR101118836B1 - 전극패턴 검사장치 - Google Patents

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KR101118836B1
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박기환
슈지 야마오카
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에프컴 코포레이션
로체 시스템즈(주)
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Abstract

고해상도 글래스 패널에 형성되는 전극패턴의 전기적 검사를 안정적으로 수행할 수 있는 전극패턴 검사장치가 개시된다. 상기 전극패턴 검사장치는 글래스 패널의 전극패턴과 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 프로브; 및 상기 프로브로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 받아들여 상기 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부를 검출할 수 있는 센서부를 구비하는 수광수단을 포함하고, 상기 프로브는, 화이버 형태의 와이어가 중앙부에 만곡부가 형성되도록 폴딩 성형되어 상기 만곡부가 전극패턴에 날카로운 에지 없이 접촉함과 동시에 스캔 방향의 역 방향으로 탄성적으로 휘어지도록 양측이 테스트 핀 블록에 결합되어 스캔 방향성에 관계없이 사용할 수 있는 본체부; 및 상기 본체부의 경도, 내마모성, 탄성력 및 윤활성을 향상시킬 수 있도록 상기 본체부의 외부에 형성되는 코팅층을 포함할 수 있다.

Description

전극패턴 검사장치{APPARATUS FOR TEST OF ELECTRODE PATTERN}
본 발명은 전극패턴 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평면 TV용 글래스(GLASS) 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사, 즉 오픈(OPEN) 및 쇼트(SHORT)여부를 검사할 수 있는 스캔식 전극패턴 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 PDP, LED 등과 같은 평면 TV용 글래스 패널의 표면에는 데이터 라인과 게이트 라인으로 형성된 전극 패턴이 형성되어 있다.
통상, 42인치 PDP의 경우 전극패턴 하나의 선폭과 피치는 각각 50㎛ 및 300㎛인 반면, 선 길이는 1m에 달하기 때문에 전극패턴을 형성하는 공정에서 뿐만 아니라 그 후에 반복되는 가열처리와 같은 제조과정에서 선이 끊어지거나(Open) 인접한 선과 연결되는(Short) 경우가 빈번히 발생한다. 따라서, 형성된 전극패턴의 단락여부를 제조공정의 중간 중간에 검사하는 것이 완성품의 수율을 높이기 위해서는 필수적인 과정이 된다.
상기와 같은 전극패턴에 대한 전기적 특성을 검사하기 위해서는 통상 테스트 핀 블록이 사용되며, 이를 이용한 검사는 테스트 핀 블록에 구비된 다수개의 프로브를 전극패턴의 양단에 접속시켜 검사대상 전극 패턴 및 인접 패턴과의 도통 검사를 실시하여 전극패턴의 오픈 및 단락여부를 검사하는 접촉식 방식과, 일측은 전극패턴에 프로브를 접촉시켜 전원을 인가하고 타측은 프로브를 접촉시키지 않고 인가된 전원을 받아들이는 비접촉식 방식이 사용된다.
그러나, 상기와 같은 종래의 전극패턴 검사 장치는 전극패턴의 오픈 및 단락여부에 대해서는 검출할 수는 있으나 오픈 또는 단락된 전극패턴의 위치까지는 검출할 수 없다는 문제점이 있었다.
한편, 상기와 같이 평면 TV용 글래스 패널의 전극패턴에 대한 전기적 특성을 검사할 시 사용되는 프로브는 일반적으로 화이퍼(Fiber) 형태의 와이어로서, 예를 들면, 텅스텐, 금, 스테인리스, 어머퍼스(Amorphous) 합금, 니켈-티탄 합금 등의 합금으로 제작된다.
그러나 상기와 같은 종래의 화이버 형태의 와이어로 형성되는 프로브는 전극과의 마찰에 의한 마모도가 높아 의해 통상 20km를 전후하여 수명이 다할 뿐만 아니라, 마모에 의하여 접촉면의 형상이 변화하여 접촉부의 불규칙함과 더불어 전극패턴에 스크래치가 발생하기 쉬울 뿐만 아니라, 사용하는 금속 재질에 따라서는 표면에 녹이 발생하여 전극패턴과의 접촉 불량을 일으킬 수 있다는 문제점이 있었다.
한편, 최근에는 전극패턴의 피치가 30㎛ 내지 50㎛ 이내로 형성되는 OLED와 같은 패널의 사용이 증가하고 있는 실정으로서, 검사대상의 전극패턴 피치가 통상 50㎛이하가 되려면 사용되는 프로브는 직경이 20㎛ 정도가 되어야 하지만, 20㎛의 직경을 가지도록 제작된 화이버 형태 와이어로 형성되는 프로브는 탄성유지가 곤란하여 형태 변형이 쉽고 마모가 매우 심해 수명이 매우 짧아 실용화시킬 수 없다는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 고해상도 글래스 패널에 형성되는 전극패턴의 전기적 검사를 안정적으로 수행할 수 있는 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부와 더불어 오픈 및 쇼트 위치까지도 동시에 검출할 수 있도록 하여 전극패턴의 전기적 검사를 보다 신속하고 정확하게 안정적으로 수행할 수 있는 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 스캔 방향성에 관계없이 사용할 수 있으며, 사용 수명을 대폭 연장시킬 수 있을 뿐만 아니라, 전기적 검사에 의한 전극패턴의 불량 발생현상을 방지할 수 있는 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 예시적인 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치는, 글래스 패널의 전극패턴과 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 프로브; 및 상기 프로브로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 받아들여 상기 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부를 검출할 수 있는 센서부를 구비하는 수광수단을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 프로브는, 화이버 형태의 와이어가 중앙부에 만곡부가 형성되도록 폴딩 성형되어 상기 만곡부가 전극패턴에 날카로운 에지 없이 접촉함과 동시에 스캔 방향의 역 방향으로 탄성적으로 휘어지도록 양측이 테스트 핀 블록에 결합되어 스캔 방향성에 관계없이 사용할 수 있는 본체부; 및 상기 본체부의 경도, 내마모성, 탄성력 및 윤활성을 향상시킬 수 있도록 상기 본체부의 외부에 형성되는 코팅층을 포함할 수 있다.
한편, 상기 센서부는, 다수개의 센서가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수도 있다.
또한, 상기 코팅층은 본체부 전체에 형성되거나 전극패턴과 접촉되는 만곡부에만 형성될 수 있으며 DLC 코팅에 의해 형성되는 것이 바람직하다.
상기 프로브는 상기 수광부의 일측 옆에 구비된 테스트 핀 블록에 설치될 수 있다.
한편, 상기 프로브는 상기 테스트 핀 블록에 본체부가 와이어 본딩 방식에 의해 결합되도록 설치될 수도 있다. 즉, 상기 프로브는 상기 테스트 핀 블록에 다수개의 고정부재에 의해 결합되는 결합판과 상기 테스트 핀 블록 사이에 본체부가 개재되어 고정되도록 상기 테스트 핀 블록에 설치될 수도 있다.
여기서, 상기 본체부는, 양측이 만곡부에서 끝단부 방향으로 갈수록 서로 이격된 거리가 점차적으로 증가되도록 폴딩 성형되어 서로 이웃하는 고정부재에 양측이 탄성적으로 지지된 상태로 결합판에 의해 테스트 핀 블록에 고정될 수 있다.
또한, 상기 프로브는, 상기 수광수단과 연동되어 이동될 수 있도록 상기 수광수단에 설치될 수도 있다.
그리고, 상기 화이버 형태의 와이어는 금속소재 또는 탄소나노소재의 와이어일 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는, 전극패턴과 탄성적으로 접속한 후 원상 복원되는 탄성력을 유지 할 수 있으며 날카로운 에지 없이 전극패턴에 탄성적으로 접촉되도록 화이버 형태의 와이어를 사용하여 제작된 프로브를 구비함으로써 전극패턴의 피치가 30㎛ 이내로 형성되는 고해상도 글래스 패널의 전극패턴의 전기적 검사를 수행할 수 있도록 한다.
그리고, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는 프로브를 스캔 방향성에 관계없이 사용할 수 있어 장비의 구조를 간소화시켜 제조가 용이함은 물론 제작비용을 대폭 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는, 프로브의 경도와 내마모성 및 윤활성을 향상시켜 마모도를 대폭 저감시킴으로써 프로브의 수명을 대폭 향상시켜 교체주기를 연장시킬 수 있으므로 유지비용의 절감과 더불어 글래스 패널의 생산 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 프로브에 마모가 발생되더라도 날카로운 에지가 형성되지 않음으로써 전극패턴의 전기적 검사 시 상기 전극패턴에 스크래치가 발생되지 않음으로써 전극패턴의 전기적 검사에 의한 글래스 패널의 불량 발생률을 대폭 저감시킬 수 있는 효과가 있다.
이에 더하여, 본 발명의 일실시예에 의한 검사장치는 한 번의 스캔작업으로 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부의 검출은 물론 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 함으로써 전극패턴 검사시간을 단축하여 글래스 패널의 생산효율을 더욱 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브를 설명하기 위한 정면도
도 3은 도 2의 A의 상세도
도 4는 도 1의 B-B 단면도
도 5 및 도 6은 도 2의 A-A' 스캔 방향에 따른 프로브의 형태 변화를 설명하기 위한 도면
도 7 및 도 8은 도 2의 B-B 스캔 방향에 따른 프로브의 형태 변화를 설명하기 위한 도면
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성 요소는 제 2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성 요소도 제 1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치는, 프로브(10) 및 수광수단(20)을 포함할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 전극패턴 검사장치의 프로브(10)는 글래스 패널(50)의 전극패턴과 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가한다. 여기서, 상기 프로브(10)는 상기 수광수단(20)과 연동되어 이동될 수 있도록 상기 수광수단(20)에 직접적으로 설치될 수도 있지만, 상기 프로브(10)는 상기 수광수단(20)의 일측 옆에 3축 방향으로 이동가능하게 설치된 테스트 핀 블록(60)에 설치되는 것이 바람직하다. 예컨대, 상기 프로브(10)는 상기 테스트 핀 블록(60) 또는 상기 수광수단(20)에 본체부(100)가 와이어 본딩 방식에 의해 결합되도록 설치될 수 있다. 또한, 상기 프로브(10)는 상기 테스트 핀 블록(60) 또는 상기 수광수단(20)에 다수개의 고정부재(40)에 의해 결합되는 결합판(30)에 의해 상기 테스트 핀 블록(60) 또는 수광수단(20)에 고정되도록 설치될 수도 있다.
상기 수광수단(20)은 상기 프로브(10)로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부를 검출할 수 있는 센서부(200)를 포함할 수 있다.
상기 수광수단(20)에 대하여 보다 상세하게 설명하면, 상기 수광수단(20)은 3축 방향으로 이동가능하게 설치된 이동블록(210)의 하부에 상기 프로브(10)로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부를 검출할 수 있는 센서부(200)를 포함할 수 있다.
상기 테스트 핀 블록(60)과 수광수단(20)을 3축 방향으로 이동시킬 수 있는 3축 이동수단은 전극패턴 검사장치에 일반적으로 사용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 도면과 상세한 설명에서 그 구성에 대한 도식과 설명은 생략한다.
상기 센서부(200)는 하나의 센서가 프로브(10)가 위치한 반대측에 위치하도록 상기 수광수단(20)의 이동블록(210)에 설치될 수도 있다. 이때에는 한 번의 검출 작업으로 상기 센서부(200)에 의해 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부는 검출할 수는 있으나 오픈 및 쇼트가 된 전극패턴의 위치까지는 검출할 수 없다는 단점이 있다.
그리하여, 상기 센서부(200)는 다수개의 센서가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되는 것이 바람직하다. 상기와 같이 센서부(200)가 어레이 센서에 의해 형성될 경우에는 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받을 수 있다. 그러므로 한 번의 검출 작업으로 전극패턴의 오프 및 쇼트 여부의 검출과 더불어 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 한다. 예를 들면 전극패턴이 쇼트되었을 경우에는 전극패턴의 쇼트된 위치에서부터는 더 이상 전기적 신호가 전극패턴을 따라 인가되지 않는다. 그러므로 프로브(10)가 접촉된 전극패턴의 끝단부에서부터 전극패턴의 쇼트되기 전의 위치까지 구비된 센서에서는 전기적 신호를 감지할 수 있으나 쇼트된 위치에 구비된 센서에서부터는 전기적 신호가 감지되지 않는다. 이에 따라 처음으로 전기적 신호가 감지되지 않은 센서가 위치한 전극패턴의 위치가 쇼트된 부분으로 검출되어 전극패턴의 오픈 및 쇼트된 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있는 것이다.
또한, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는, 상기 프로브(10)의 일측에는 상기 프로브(10)와 수광수단(20)의 정렬유무와 상기 프로브(10)가 글래스 패널(50)에 형성된 전극패턴에 제대로 접촉되었는지를 확인하기 위한 카메라(70)가 더 설치될 수도 있다.
도 1 내지 도 8을 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치의 프로브의 구성에 대하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브를 설명하기 위한 정면도이고, 도 3은 도 2의 A의 상세도이며, 도 4는 도 1의 B-B 단면도이고, 도 5 및 도 6은 도 2의 A-A' 스캔 방향에 따른 프로브의 형태 변화를 설명하기 위한 도면이며, 도 7 및 도 8은 도 2의 B-B 스캔 방향에 따른 프로브의 형태 변화를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 프로브(10)는 본체부(100)와 코팅층(110)을 포함할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 프로브(10)의 본체부(100)는, 화이버(Fiber) 형태의 와이어가 중앙부에 만곡부(101)가 형성되도록 폴딩 성형되어 검사 대상인 글래스 패널(50)에 형성된 전극패턴(도시되지 않음)에 상기 만곡부(101)가 날카로운 에지 없이 접촉할 시 스캔 방향의 역 방향으로 탄성적으로 본체부(100)가 휘어지도록 양측이 테스트 핀 블록(60)에 결합되어 스캔 방향성에 관계없이 사용할 수 있도록 한다. 즉, 도 2, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 화살표 A1과 A2방향으로 스캔 시에도 사용할 수 있으며, 도 2, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 화살표 A3와 A4 방향으로 스캔 시에도 사용할 수 있도록 한다. 여기서, 전극패턴의 피치가 30㎛ 이내로 형성된 고해상도 글래스 패널의 전극패턴의 전기적 검사를 수행할 경우에는 전극패턴과 프로브가 접촉되는 면적을 최소화할 수 있도록 도 2, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 프로브를 화살표 A1와 A2방향으로 이동시켜 스캔하는 것이 바람직하다.
상기 본체부(100)에 대하여 보다 상세하게 설명하면, 상기 본체부(100)는 화이버 형태의 와이어로 형성되되 중앙부에 활처럼 휘어진 곡선형상의 만곡부(101)가 형성되도록 폴딩 성형되어 상기 만곡부(101)가 상기 전극패턴에 접촉될 수 있도록 상기 만곡부(101)의 양측 끝단부에 동일 방향으로 연장 형성된 제 1, 2 결합부(102, 103)가 상기 테스트 핀 블록(60)에 결합된다. 그리하여 상기 본체부(100)는 날카로운 에지가 없는 만곡부(101)가 전극패턴에 접촉됨으로써 글래스 패널(50)에 형성된 전극패턴에 스크래치가 발생되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 본체부(100)는 상기 제 1, 2 결합부(102, 103) 두 가닥이 테스트 핀 블록(60)에 결합되어 상기 제 1, 2 결합부(102, 103) 두 가닥에 의해 전극패턴과 접촉되는 만곡부(101)가 지지됨으로써 한 가닥으로 지지되는 화이버 형태의 와이어로 형성된 일반적인 프로브에 비해 탄성력을 두 배 이상 향상시킴으로써 직경이 20㎛ 정도인 화이버 형태의 와이어로 본체(100)부가 형성된다 하더라도 상기 만곡부(101)가 전극패턴에 탄성적으로 접촉한 후 상기 전극패턴으로부터 이격될 시 본체부(100)가 탄성력에 의해 원상 복원되어 그 형태를 그대로 유지할 수 있도록 한다.
여기서, 상기 본체부(100)는 화이버 형태의 와이어가 중앙부에 만곡부(101)가 형성되도록 'U'자 형태 또는 'V'자 형태로 폴딩되어 성형될 수 있다. 상기 본체부(100)가 'U'자 형태로 폴딩되어 성형될 경우에는 상기 본체부(100)의 제 1, 2 결합부(102, 103)가 상기 테스트 핀 블록(60) 또는 수광수단(20)에 와이어 본딩 방식에 의해 결합되는 것이 바람직하다. 그리고 상기 본체부(100)의 제 1, 2 결합부(102, 103)가 만곡부(101)에서부터 끝단부 방향으로 갈수록 그 사이의 거리(D)가 점차적으로 멀어지도록 'V'자 형태로 폴딩되어 성형될 경우에는 상기 제 1, 2 결합부(102, 103)가 상기 테스트 핀 블록(60) 또는 수광수단(20)에 다수개의 고정부재(40)에 의해 결합되는 결합판(30)과 상기 테스트 핀 블록(60) 또는 수광수단(20) 사이에 개재되어 상기 테스트 핀 블록(60) 또는 수광수단(20)에 결합되는 것이 바람직하다. 즉 상기 본체부(100)가 'V'자 형태로 폴딩되어 성형될 경우에는 상기 제 1, 2 결합부(102, 103)가 서로 이웃하는 고정부재(40)의 내측에 탄성력에 의해 탄성 지지되도록 상기 결합판(30)과 테스트 핀 블록(60) 또는 수광수단(20) 사이에 개재된 상태로 상기 결합판(30)에 의해 테스트 핀 블록(60) 또는 수광수단(20)에 결합됨으로써 상기 본체부(100)가 도 2에 도시된 바와 같이 화살표 A1 또는 A2 방향으로 흔들리는 현상을 방지함으로써 안정적으로 글래스 패널(50)에 형성된 전극패턴의 오픈(OPEN), 쇼트(SHORT) 검사를 할 수 있도록 한다.
한편, 상기 본체부(100)를 형성하는 화이버 형태의 와이어는 금속소재 또는 탄소나소소재의 와이어 중 선택된 어느 하나의 와이어일 수 있다. 여기서, 상기 금속소재로는 예를 들면, 금(GOLD), 텅스텐, 스테인리스, 어머퍼스(Amorphous) 합금, 니켈-티탄 합금 중 선택된 어느 하나를 사용할 수 있으나 그 중에서도 금을 사용하는 것이 가장 바람직하다. 그리고 상기 탄소나노소재로는 예를 들면, 통상의 탄소섬유(Carbon Fiber), 전도성 Glass섬유(Glass Fiber), 전도성 수지 중 선택된 어느 하나를 사용할 수 있다.
상기 코팅층(110)은 상기 본체부(100) 외부에 형성된다. 여기서, 상기 코팅층(110)은 DLC(Diamond Like Carbon) 코팅으로 형성되는 것이 바람직하다. 상기와 같이 DLC 코팅으로 형성된 코팅층(110)은 상기 본체부(100)의 경도와 내마모성은 물론 탄성력과 상기 만곡부(101)가 전극패턴에 접촉 시에 발생되는 마찰력을 저감시킬 수 있는 윤활성을 대폭 향상시킬 수 있도록 한다. 상기 코팅층(110)은 본체부(100) 전체의 경도, 내마모성, 탄성력 및 윤활성을 향상시키기 위하여 본체부(100) 전체에 걸쳐 형성되는 것이 가장 바람직하다. 한편, 상기 코팅층(110)은 글래스 패널(50)에 형성된 전극패턴과 접촉되는 부위인 본체부(100)의 만곡부(101)에만 형성될 수도 있다.
앞서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 의한 프로브(10)는 본체부(100) 외부에 DLC 코팅층(110)이 더 형성됨으로써 상기 본체부(100)의 경도와, 내마모성, 탄성력 및 윤활성을 한층 더 향상시킬 수 있도록 한다. 즉, 상기 코팅층(110)는 20㎛ 정도의 직경을 가지는 화이버 형태의 와이어로 본체부(100)가 형성된다 하더라도 상기 본체부(100)의 경도, 내마모성, 윤활성을 향상시켜 상기 글래스 패널(50)에 형성된 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴과의 사이에 마찰력이 발생되는 만곡부(101)의 마모도를 현저하게 저감시킬 수 있어 통상 20km 전후의 프로브 수명을 200km 이상으로 향상시킬 수 있도록 한다. 또한, 상기 코팅층(110)은 본체부(100)의 탄성력 또한 향상시킬 수 있도록 함으로써 상기 본체부(100)가 전극패턴과의 탄성적으로 접촉 한 후 전극패턴으로부터 이격될 시 본체부(100)가 보다 원활하게 탄성력에 의해 원상 복원될 수 있도록 한다.
다시, 도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치의 작용 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 의한 전극패턴 검사장치는 프로브(10)가 중앙부에 만곡부(101)가 형성되도록 화이버 형태의 와이어가 폴딩 형성될 뿐만 아니라 DLC 코팅을 함으로써 탄성력을 향상시켜 20㎛ 정도의 화이버 형태의 와이어를 사용하여 제작하여도 전극패턴에 탄성적으로 접촉된 후 원상복원 될 수 있도록 함으로써 전극패턴의 피치가 30㎛ 내지 50㎛ 이내로 형성되는 OLED등과 같은 고해상도 패널의 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는데 사용할 수 있다.
이에 더하여, 활처럼 휘어진 곡면으로 형성되어 날카로운 에지가 없는 만곡부(101)가 전극패턴에 탄성적으로 접촉된 상태로 상기 프로브(10)가 슬라이딩 되어 전극패턴의 전기적 검사를 수행할 수 있도록 함으로써 프로브(10)를 스캔 방향성에 관계없이 사용할 수 있다는 장점이 있다.
그리고 날카로운 에지가 없는 프로브(10)의 만곡부(101)가 전극패턴에 접촉된 상태로 슬라이딩 되어 전기적 검사를 수행함으로써 상기 만곡부(101)에 마모 현상이 발생된다 하더라도 날카로운 에지가 형성되지 않음으로써 스캔 방향을 변경할 경우에도 프로브(10)에 의해 전극패턴에 스크래치가 발생되지 않는다는 장점이 있다.
또한, 본체부(100)에 코팅된 DLC 코팅층(110)은 상기 본체부(100)의 경도, 내마모성 및 윤활성을 향상시켜 본체부(100)가 탄성적으로 전기패턴에 접촉된 상태로 슬라이딩 이동하면서 전기패턴의 전기적 검사를 수행할 시 본체부(100)의 마모도를 대폭 저감시켜 본 발명의 일실시예에 의한 프로브(10)의 수명을 대폭 향상시켜 그 교체주기를 대폭 연장시켜 유지비용의 감소는 물론 프로브(10) 교체 작업에 소요되는 작업공수를 절감시켜 궁극적으로는 평면 TV용 글래스 패널(50)의 생산 효율을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치는 수광수단(20)의 센서부(200)가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받을 수 있도록 하여, 한 번의 검출 작업으로 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부의 검출과 더불어 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 한다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
(10) : 프로브 (20) : 수광수단
(100) : 본체부 (101) : 만곡부
(102) : 제 1 결합부 (103) : 제 2 결합부
(110) : 코팅층 (200) : 센서부

Claims (12)

  1. 글래스 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 검사 장치에 있어서,
    상기 글래스 패널의 전극패턴과 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 프로브; 및
    상기 프로브로부터 인가되어 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부를 검출할 수 있는 센서부를 구비하는 수광수단을 포함하고,
    상기 프로브는,
    화이버 형태의 와이어가 중앙부에 만곡부가 형성되도록 폴딩 성형되어 상기 만곡부가 전극패턴에 날카로운 에지 없이 접촉함과 동시에 스캔 방향의 역 방향으로 탄성적으로 휘어지도록 양측이 테스트 핀 블록에 결합되어 스캔 방향성에 관계없이 사용할 수 있는 본체부; 및
    상기 본체부의 경도, 내마모성, 탄성력 및 윤활성을 향상시킬 수 있도록 상기 본체부의 외부에 형성되는 코팅층을 포함하는 전극패턴 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서부는,
    다수개의 센서가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 코팅층은 본체부 전체에 형성되는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 코팅층은 전극패턴과 접촉되는 만곡부에만 형성되는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 코팅층은, DLC 코팅에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브는, 상기 수광수단의 일측 옆에 구비된 테스트 핀 블록에 설치되는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브는, 상기 수광수단과 연동되어 이동될 수 있도록 상기 수광수단에 설치되는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
  8. 제 6 항에 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 프로브는, 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 수광수단에 본체부가 와이어 본딩 방식에 의해 결합되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
  9. 제 6 항 또는 제 7 항 있어서,
    상기 프로브는, 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 수광수단에 다수개의 고정부재에 의해 결합되는 결합판에 의해 상기 테스트 핀 블록 또는 수광수단에 본체부가 고정되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 본체부는, 양측이 만곡부에서 끝단부 방향으로 갈수록 서로 이격된 거리가 점차적으로 증가되도록 폴딩 성형되어 서로 이웃하는 고정부재에 양측이 탄성적으로 지지된 상태로 결합판에 의해 테스트 핀 블록 또는 수광수단에 고정되는 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 화이버 형태의 와이어는, 금속소재의 와이어인 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 화이버 형태의 와이어는, 탄소나노소재의 와이어인 것을 특징으로 하는 전극패턴 검사장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20080092522A (ko) * 2007-04-12 2008-10-16 마이크로 인스펙션 주식회사 회로기판의 검사장치
KR20100086708A (ko) * 2009-01-23 2010-08-02 마이크로 인스펙션 주식회사 유연한 와이어를 이용한 접촉식 프로브

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