KR101107500B1 - Stage for mounting substrate and paste dispenser having the same - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 기판 탑재용 스테이지는, 기판을 반송하는 반송장치의 포크가 수용되는 포크수용부에서 기판이 아래방향으로 처지는 것을 방지함으로써, 포크수용부에서의 기판의 처짐으로 인한 페이스트 도포불량 등의 문제점을 제거할 수 있는 효과가 있다.The substrate mounting stage according to the present invention prevents the substrate from sagging downward in the fork receiving portion in which the fork of the conveying apparatus for conveying the substrate is accommodated, thereby preventing paste coating due to sagging of the substrate in the fork receiving portion. This has the effect of eliminating the problem.

페이스트 디스펜서, 스테이지, 기판 Paste Dispenser, Stage, Board

Description

기판 탑재용 스테이지 및 이를 구비하는 페이스트 디스펜서 {STAGE FOR MOUNTING SUBSTRATE AND PASTE DISPENSER HAVING THE SAME}Board mounting stage and paste dispenser having same {STAGE FOR MOUNTING SUBSTRATE AND PASTE DISPENSER HAVING THE SAME}

본 발명은 기판이 탑재되는 스테이지 및 이를 구비하는 페이스트 디스펜서에 관한 것이다.The present invention relates to a stage on which a substrate is mounted and a paste dispenser having the same.

일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display: FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.In general, a flat panel display (FPD) is an image display device that is thinner and lighter than a television or a monitor employing a CRT. As flat panel displays, Liquid Crystal Display (LCD), Plasma Display Panel (PDP), Field Emission Display (FED), Organic Light Emitting Diodes (OLED), etc. It is used.

이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작 전압이 낮은 장점 등이 있어 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.Among them, the liquid crystal display is a display device in which a desired image is displayed by individually supplying data signals according to image information to liquid crystal cells arranged in a matrix to adjust light transmittance of the liquid crystal cells. Liquid crystal displays are widely used because of their thinness, light weight, low power consumption and low operating voltage. The manufacturing method of the liquid crystal panel generally employed in such a liquid crystal display will be described.

먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판에 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.First, a color filter and a common electrode are formed on an upper substrate, and a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode are formed on the lower substrate corresponding to the upper substrate. Subsequently, after the alignment films are applied to the substrates, the alignment films are rubbed to provide a pre-tilt angle and an orientation direction to the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer to be formed therebetween.

그리고, 기판들 사이의 간격을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.Then, paste is applied to at least one substrate in a predetermined pattern to form a paste pattern so as to maintain a gap between the substrates and to prevent the liquid crystal from leaking to the outside and to seal the substrates. Through the process of forming a liquid crystal layer in the liquid crystal panel is manufactured.

이와 같은 액정패널의 제조에 있어서, 기판 상에 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 페이스트 디스펜서(paste dispenser)라는 장비가 이용되고 있다. 페이스트 디스펜서는, 기판이 탑재되는 스테이지와, 페이스트가 토출되는 노즐이 장착된 헤드유닛과, 헤드유닛을 지지하는 헤드지지대를 포함하여 구성된다.In the manufacture of such a liquid crystal panel, a device called a paste dispenser is used to form a paste pattern on a substrate. The paste dispenser includes a stage on which a substrate is mounted, a head unit equipped with a nozzle through which paste is discharged, and a head support for supporting the head unit.

이러한 페이스트 디스펜서는 각각의 노즐과 기판의 상대위치를 변화시켜가면서 기판 상에 페이스트 패턴을 형성한다. 즉, 페이스트 디스펜서는, 각각의 헤드유닛에 장착된 노즐을 Z축방향으로 상하 이동시켜 노즐의 토출구와 기판 사이의 간격을 일정하게 제어하면서 노즐 및/또는 기판을 X축방향과 Y축방향으로 수평 이동시키고, 노즐로부터 페이스트를 기판 상에 토출시켜 페이스트 패턴을 형성한다.Such a paste dispenser forms a paste pattern on a substrate while varying the relative position of each nozzle and the substrate. That is, the paste dispenser horizontally moves the nozzles and / or the substrate in the X-axis direction and the Y-axis direction while constantly controlling the distance between the nozzle outlet and the substrate by moving the nozzles mounted on each head unit in the Z-axis direction. The paste is ejected from the nozzle onto the substrate to form a paste pattern.

기판과 노즐 사이의 간격을 측정하기 위하여 헤드유닛에는 기판에 대하여 레이저를 발광하는 발광부와, 발광부에서 발광되어 기판의 상면으로부터 반사되는 레이저를 수광하는 수광부로 구성되는 레이저변위센서가 구비된다. 그리고, 노즐을 Z 축방향으로 상하 이동시키기 위하여 헤드유닛에는 노즐과 연결되는 Z축구동부가 마련된다. 이에 따라, 레이저변위센서에 의하여 측정된 기판과 노즐 사이의 간격을 이용하여 제어부는 Z축구동부를 제어하여 노즐의 상하방향 위치를 조절하며 이에 따라 기판과 노즐 사이의 간격이 일정하게 유지된다.In order to measure the distance between the substrate and the nozzle, the head unit is provided with a laser displacement sensor including a light emitting portion for emitting a laser to the substrate and a light receiving portion for receiving a laser emitted from the light emitting portion and reflected from an upper surface of the substrate. The head unit is provided with a Z-axis driving part connected to the nozzle to move the nozzle up and down in the Z-axis direction. Accordingly, by using the distance between the substrate and the nozzle measured by the laser displacement sensor, the controller controls the Z-axis driving portion to adjust the vertical position of the nozzle, thereby maintaining a constant distance between the substrate and the nozzle.

도 1에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 탑재되는 스테이지(1)에는, 기판(S)을 스테이지(1)로 반송하는 반송장치의 포크가 삽입되는 포크수용부(2)가 소정의 깊이, 길이 및 폭(W)으로 형성된다. 이러한 구성에 의하여 반송장치의 포크에 기판(S)이 안착된 상태에서 반송장치의 포크가 스테이지(1)의 포크수용부(2)로 이동된 후, 반송장치의 포크가 하강하게 되면, 기판(S)은 반송장치의 포크로부터 이격되면서 스테이지(1)의 상면에 탑재되며, 반송장치의 포크가 수평방향으로 이동되면서 스테이지(1)의 포크수용부(2)로부터 제거된다.As shown in FIG. 1, in the stage 1 on which the board | substrate S is mounted, the fork accommodation part 2 into which the fork of the conveying apparatus which conveys the board | substrate S to the stage 1 is inserted is predetermined depth. , Length and width (W). When the fork of the conveying device is moved to the fork receiving portion 2 of the stage 1 in a state where the substrate S is seated on the fork of the conveying device by this configuration, and the fork of the conveying device is lowered, the substrate ( S) is mounted on the upper surface of the stage 1 while being spaced apart from the fork of the conveying apparatus, and is removed from the fork receiving portion 2 of the stage 1 while the fork of the conveying apparatus is moved in the horizontal direction.

이와 같이, 스테이지(1)의 상면에 기판(S)을 탑재하기 위해서는 스테이지(1)에 포크수용부(2)가 형성될 것이 요구된다. 그러나, 이러한 포크수용부(2)는 상측으로 개방된 형상으로 형성되기 때문에 기판(S)이 스테이지(1)의 상면에 탑재되는 경우 포크수용부(2)의 상측으로 개방된 부분에서 기판(S)이 지지되지 않아 기판(S)이 아래방향으로 처지는 현상이 발생한다.As described above, in order to mount the substrate S on the upper surface of the stage 1, it is required that the fork accommodation portion 2 be formed on the stage 1. However, since the fork receiving portion 2 is formed in an open shape to the upper side, when the substrate S is mounted on the upper surface of the stage 1, the substrate S at the portion opened to the upper side of the fork receiving portion 2. ) Is not supported, so that the substrate S sags downward.

기판(S)이 처지는 부분에서는 페이스트가 원활하게 도포되기가 어렵다. 또한, 기판(S)이 처지는 부분에서 기판(S)과 노즐 사이의 간격을 일정하게 유지하기 위해서는 Z축구동부를 구동시켜 노즐의 상하방향으로의 위치를 조절하여야 하는데, 노즐의 상하방향으로의 위치의 조절은 페이스트의 도포속도에 영향을 주기 때문에, 결국, 포크수용부(2)에서의 기판(S)의 처짐은 페이스트의 도포속도를 저하시키는 문제를 유발한다.In the part where the board | substrate S sag, it is difficult to apply | coat a paste smoothly. In addition, in order to maintain a constant distance between the substrate S and the nozzle at the portion where the substrate S sag, the position of the nozzle in the vertical direction should be adjusted by driving the Z-axis driving unit. Since the control of the influences the application speed of the paste, the deflection of the substrate S in the fork receiving portion 2 eventually causes a problem of lowering the application speed of the paste.

한편, 기판(S)이 대형화됨에 따라 대형화된 기판(S)을 반송하는 반송장치의 포크의 폭이 커져야 하고, 반송장치의 포크의 폭이 커짐에 따라 이러한 포크를 수용하는 포크수용부(2)의 폭(W)이 커져야 한다. 이와 같이, 포크수용부(2)의 폭(W)이 커짐에 따라, 포크수용부(2)에서 기판(S)이 아래방향으로 처지는 정도가 커지게 된다. 따라서, 기판(S)의 대형화에 따라 포크수용부(2)의 폭(W)이 커지는 경우에는 Z축구동부를 구동시켜 노즐의 상하방향 위치를 조절하더라도 기판(S)과 노즐 사이의 간격을 일정하게 유지시키기 어려울 정도로 기판(S)이 심하게 처지는 현상이 발생될 수 있기 때문에 페이스트의 도포가 원활하게 수행되기가 어렵다.On the other hand, as the substrate S is enlarged, the width of the fork of the conveying apparatus for conveying the enlarged substrate S should be increased, and the fork receiving portion 2 for accommodating such forks as the width of the fork of the conveying apparatus is increased. The width of W should be large. In this way, as the width W of the fork receiving portion 2 increases, the degree of sagging of the substrate S in the downward direction in the fork receiving portion 2 increases. Therefore, when the width W of the fork receiving portion 2 increases as the size of the substrate S increases, the distance between the substrate S and the nozzle is fixed even if the vertical position of the nozzle is adjusted by driving the Z-axis driving portion. It is difficult to apply the paste smoothly because the phenomenon that the substrate S is severely sagging may occur so that it is difficult to maintain it.

이와 같이, 종래의 기판 탑재용 스테이지(1)는, 포크수용부(2)에서의 기판(S)의 처짐으로 인하여 기판(S)상에 형성되는 페이스트 패턴에 불량이 발생할 우려가 크고, 도포속도가 저하되며, 기판(S)을 대형화하는 데에 한계가 있다는 문제점이 있다.As described above, the conventional substrate mounting stage 1 has a high possibility that a defect occurs in the paste pattern formed on the substrate S due to the sagging of the substrate S in the fork receiving portion 2, and the coating speed is high. There is a problem in that there is a limit in decreasing the size of the substrate S.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 기판을 반송하는 반송장치의 포크가 수용되는 포크수용부에서 기판이 아래방향으로 처지는 것을 방지할 수 있는 기판 탑재용 스테이지 및 이를 구비하는 페이스트 디스펜서를 제공하는 데에 있다.The present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, an object of the present invention, for mounting a substrate that can prevent the substrate from sagging downward in the fork receiving portion that is accommodated in the fork of the transfer device for transporting the substrate The present invention provides a stage and a paste dispenser having the same.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 탑재용 스테이지는, 기판을 반송하는 기판반송장치의 포크가 삽입되도록 소정의 깊이, 길이 및 폭을 가지는 포크수용부가 형성되는 기판 탑재용 스테이지에 있어서, 지지부재와, 상기 포크수용부에서 상기 지지부재의 상측단이 상기 스테이지의 상면과 동일한 평면상에 위치되도록 상기 지지부재를 이동시키는 구동유닛을 포함하여 구성될 수 있다.In the substrate mounting stage according to the present invention for achieving the above object, in the substrate mounting stage is formed a fork receiving portion having a predetermined depth, length and width so that the fork of the substrate transfer device for transporting the substrate is inserted, It may include a support member and a drive unit for moving the support member so that the upper end of the support member in the fork receiving portion is located on the same plane as the upper surface of the stage.

상기 지지부재는 상면이 평면으로 형성되고, 상기 구동유닛은 상기 지지부재의 상면이 상기 스테이지의 상면과 동일한 평면을 이루도록 상기 지지부재를 이동시키는 동작을 수행할 수 있다.The support member may have an upper surface formed in a flat surface, and the driving unit may perform an operation of moving the support member such that the upper surface of the support member has the same plane as the upper surface of the stage.

여기에서, 상기 지지부재는 상기 포크수용부 내에 배치되고, 상기 구동유닛은 상기 지지부재를 승강시키는 승강장치를 포함하여 구성될 수 있다.Here, the support member is disposed in the fork receiving portion, the drive unit may be configured to include a lifting device for lifting the support member.

또한, 상기 지지부재는 상기 포크수용부의 폭방향 일측에서 상기 지지부재의 상면이 상기 스테이지의 상면과 동일한 평면을 이루도록 배치되고, 상기 구동유닛은 상기 지지부재를 수평방향으로 이동시키는 이송장치를 포함하여 구성될 수 있 다.In addition, the support member is disposed such that the upper surface of the support member at the one side in the width direction of the fork receiving portion to form the same plane as the upper surface of the stage, the drive unit includes a transfer device for moving the support member in a horizontal direction It can be configured.

상기 구동유닛이 상기 지지부재를 수평방향으로 이동시키는 경우, 상기 지지부재는 상기 포크수용부의 상측으로 개방된 부분의 일부를 커버할 수 있도록 이동될 수 있다.When the driving unit moves the support member in the horizontal direction, the support member may be moved to cover a part of the open portion of the fork receiving portion.

여기에서, 상기 지지부재는 상기 포크수용부의 폭방향 양측에 각각 구비될 수 있다.Here, the support member may be provided on each side of the fork receiving portion in the width direction.

한편, 상기 지지부재는 상기 포크수용부의 길이방향으로 복수로 배치되는 것이 바람직하다.On the other hand, the support member is preferably arranged in plurality in the longitudinal direction of the fork receiving portion.

이때, 상기 지지부재는 상기 포크수용부의 길이방향을 따라 상기 포크수용부의 폭방향 양측에 교대로 배치되는 것이 바람직하다.At this time, the support member is preferably disposed alternately on both sides in the width direction of the fork receiving portion along the longitudinal direction of the fork receiving portion.

또한, 상기 지지부재는 상기 포크수용부의 길이와 대응되는 길이를 가지는 것이 바람직하다.In addition, the support member preferably has a length corresponding to the length of the fork receiving portion.

상기 지지부재에는 홀이 형성되고, 상기 홀에는 상기 홀을 통하여 가스를 흡입하는 가스흡입유닛이 연통되는 것이 바람직하다.A hole is formed in the support member, and the gas suction unit for sucking gas through the hole is preferably communicated with the hole.

상기 지지부재는, 상기 포크수용부내에서 상기 스테이지의 상면과 수직을 이루는 방향으로 연장되는 형상으로 형성되고, 상기 구동유닛은 상기 지지부재를 상하방향으로 이동시키는 동작을 수행할 수 있다.The support member is formed in a shape extending in a direction perpendicular to the upper surface of the stage in the fork receiving portion, the drive unit may perform an operation for moving the support member in the vertical direction.

본 발명에 따른 기판 탑재용 스테이지는, 기판을 반송하는 반송장치의 포크가 삽입되는 포크삽입부에서 기판이 아래방향으로 처지는 것을 방지할 수 있으므 로, 기판의 처짐으로 인한 페이스트 패턴의 불량이나 도포속도의 저하 등의 문제점을 제거할 수 있는 효과가 있다.The substrate mounting stage according to the present invention can prevent the substrate from sagging downward at the fork insertion portion into which the fork of the conveying device for conveying the substrate is inserted. There is an effect that can eliminate problems such as deterioration of.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판 탑재용 스테이지 및 이를 구비하는 페이스트 디스펜서에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of a substrate mounting stage and a paste dispenser having the same according to the present invention.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 프레임(10)과, 프레임(10)상에 설치되고 기판(S)이 탑재되는 스테이지(20)와, 스테이지의 양측에 설치되고 Y축방향으로 연장되는 한 쌍의 지지대이동가이드(30)와, 한 쌍의 지지대이동가이드(30)에 양단이 지지되어 스테이지(20)의 상부에 설치되고 X축방향으로 연장되는 헤드지지대(40)와, 헤드지지대(40)에 X축방향으로 이동 가능하게 설치되고 페이스트가 토출되는 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)가 장착되는 헤드유닛(50)과, 페이스트의 도포동작을 제어하는 제어부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.As shown in Figs. 2 and 3, the paste dispenser according to the present invention includes a frame 10, a stage 20 provided on the frame 10, on which the substrate S is mounted, and both sides of the stage. A pair of support movement guides 30 are installed and extended in the Y-axis direction, and both ends are supported by a pair of support movement guides 30 so that the head support is installed on the stage 20 and extends in the X-axis direction. 40, a head unit 50 mounted on the head support 40 so as to be movable in the X-axis direction, and equipped with a nozzle 53 for discharging the paste and a laser displacement sensor 54, and a paste coating operation. It may be configured to include a control unit (not shown) for controlling.

프레임(10)상에는, 스테이지(20)를 X축방향으로 이동시키는 X축이동장치(21)와 스테이지(20)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축이동장치(22)가 설치될 수 있다. 즉, 프레임(10)상에는 Y축이동장치(22)의 Y축가이드(221)가 설치되며, Y축가이드(221)의 상부에는 X축이동장치(21)의 X축가이드(211)가 설치되고, X축가이드(211)의 상부에는 스테이지(20)가 안착될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여, 스테이지(20)는 X축가이드(211)에 안내되어 X축방향으로 이동될 수 있으며 X축가이드(211)가 Y축가이드(221)에 안내되어 이동되는 것에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있다. 한편, 본 발명은 Y축가이드(221)가 프레임(10)의 상부에 설치되고 X축가이드(211)가 Y축가이드(221)의 상부에 안착되는 구성에 한정되지 아니하며, 프레임(10)의 상부에 X축가이드(211)가 설치되고 X축가이드(211)의 상부에 Y축가이드(221)가 안착되는 구성이 적용될 수 있다. 물론, X축이동장치(21) 및 X축가이드(211)와, Y축이동장치(22) 및 Y축가이드(221) 중 어느 한 쪽만이 적용되어, 스테이지를 X축방향 및 Y축방향 중 어느 한 쪽 방향으로만 이동시키는 구성이 적용될 수 있다.On the frame 10, an X-axis moving device 21 for moving the stage 20 in the X-axis direction and a Y-axis moving device 22 for moving the stage 20 in the Y-axis direction may be installed. That is, the Y-axis guide 221 of the Y-axis moving device 22 is installed on the frame 10, and the X-axis guide 211 of the X-axis moving device 21 is installed above the Y-axis moving device 22. The stage 20 may be seated on the X-axis guide 211. By such a configuration, the stage 20 may be guided by the X-axis guide 211 and moved in the X-axis direction, and the X-axis guide 211 is guided and moved by the Y-axis guide 221 to the Y-axis. Can be moved in a direction. On the other hand, the present invention is not limited to the configuration that the Y-axis guide 221 is installed on the upper portion of the frame 10 and the X-axis guide 211 is seated on the upper portion of the Y-axis guide 221, the frame 10 The X-axis guide 211 is installed on the upper portion and the configuration that the Y-axis guide 221 is seated on the upper portion of the X-axis guide 211 may be applied. Of course, only one of the X-axis moving device 21 and the X-axis guide 211 and the Y-axis moving device 22 and the Y-axis guide 221 is applied, so that the stage is in the X-axis direction and the Y-axis direction. A configuration that moves only in either direction can be applied.

헤드지지대(40)의 양단에는 지지대이동가이드(30)와 연결되는 지지대이동장치(41)가 설치될 수 있다. 지지대이동가이드(30)와 지지대이동장치(41)의 상호작용에 의하여 헤드지지대(40)가 지지대이동가이드(30)의 길이방향, 즉, Y축방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 헤드유닛(50)은 헤드지지대(40)의 Y축방향으로의 이동에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있다.Both ends of the head support 40 may be installed with a support for moving the support 41 is connected to the support guide movement guide (30). By the interaction of the support movement guide 30 and the support movement device 41, the head support 40 can be moved in the longitudinal direction of the support movement guide 30, that is, the Y-axis direction. Accordingly, the head unit 50 may be moved in the Y-axis direction by the movement of the head support 40 in the Y-axis direction.

헤드지지대(40)에는 X축방향으로 배치되는 헤드이동가이드(42)가 설치될 수 있고, 헤드유닛(50)에는 헤드지지대(40)의 헤드이동가이드(42)와 연결되는 헤드이동장치(51)가 설치될 수 있다. 헤드이동가이드(42)와 헤드이동장치(51)의 상호작용에 의하여 헤드유닛(50)이 헤드지지대(40)의 길이방향, 즉, X축방향으로 이동될 수 있다.The head support guide 40 may be installed in the head support 40 in the X-axis direction, and the head mover 51 may be connected to the head support guide 42 of the head support 40 in the head unit 50. ) Can be installed. By the interaction of the head moving guide 42 and the head moving device 51, the head unit 50 can be moved in the longitudinal direction of the head support 40, that is, the X axis direction.

이와 같이, 헤드유닛(50)은 X축 및 Y축으로 규정되는 XY장비좌표계에 따라 X축방향 및/또는 Y축방향으로 이동될 수 있다.As such, the head unit 50 may be moved in the X-axis direction and / or the Y-axis direction according to the XY equipment coordinate system defined by the X-axis and the Y-axis.

도 3에 도시된 바와 같이, 헤드유닛(50)은, 페이스트가 충진되는 시린지(52)와, 시린지(52)와 연통되며 페이스트가 토출되는 노즐(53)과, 노즐(53)에 인접되게 배치되어 노즐(53)과 기판(S) 사이의 간격을 측정하기 위한 레이저변위센서(54)와, 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축구동부(55)와, 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)를 Z축방향으로 이동시키는 Z축구동부(56)를 포함하여 구성될 수 있다.As shown in FIG. 3, the head unit 50 is disposed adjacent to the syringe 52 in which the paste is filled, the nozzle 53 in communication with the syringe 52, and the paste is discharged. Laser displacement sensor 54 for measuring the distance between the nozzle 53 and the substrate S, and a Y-axis driving portion 55 for moving the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 in the Y-axis direction; , Z-axis driving unit 56 for moving the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 in the Z-axis direction can be configured.

레이저변위센서(54)는 레이저를 발광하는 발광부(541)와, 발광부(541)와 소정의 간격으로 이격되며 기판(S)에서 반사된 레이저가 수광되는 수광부(542)로 구성되며, 발광부(541)에서 발광되어 기판(S)에 반사된 레이저의 결상위치에 따른 전기신호를 제어부로 출력하여 기판(S)과 노즐(53) 사이의 간격을 계측하는 역할을 수행한다.The laser displacement sensor 54 is composed of a light emitting unit 541 for emitting a laser, and a light receiving unit 542 spaced apart from the light emitting unit 541 at a predetermined interval and receiving a laser beam reflected from the substrate S. An electric signal corresponding to an imaging position of the laser emitted from the unit 541 and reflected on the substrate S is output to the controller to measure a distance between the substrate S and the nozzle 53.

또한, 헤드유닛(50)에는 기판(S)에 도포된 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정하는 단면적센서(57)가 설치될 수 있다. 이와 같은 단면적센서(57)는 기판(S)으로 레이저를 연속적으로 방출하여 페이스트 패턴(P)을 스캔하는 것을 통하여 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정한다. 단면적센서(57)로부터 측정된 페이스트 패턴(P)의 단면적에 대한 데이터는 페이스트 패턴(P)의 불량여부를 판단하는 데에 이용될 수 있다.In addition, the head unit 50 may be provided with a cross-sectional area sensor 57 for measuring the cross-sectional area of the paste pattern (P) applied to the substrate (S). The cross-sectional area sensor 57 measures the cross-sectional area of the paste pattern P by continuously emitting a laser to the substrate S and scanning the paste pattern P. FIG. Data on the cross-sectional area of the paste pattern P measured by the cross-sectional area sensor 57 may be used to determine whether the paste pattern P is defective.

또한, 헤드유닛(50)에는 노즐(53)과 인접한 부위에 기판(S)을 향하도록 촬상장치(58)가 설치될 수 있다. 헤드지지대(40)의 Y축방향으로의 이동 및 헤드유닛(50)의 X축방향으로의 이동에 의하여 노즐(53)이 이동할 때, 이러한 촬상장치(58)는 노즐(53)의 현재의 위치를 측정하는 데에 이용될 수 있다.In addition, the head unit 50 may be provided with an imaging device 58 to face the substrate (S) in a portion adjacent to the nozzle 53. When the nozzle 53 is moved by the movement of the head support 40 in the Y-axis direction and the movement of the head unit 50 in the X-axis direction, such an imaging device 58 moves to the current position of the nozzle 53. Can be used to measure.

이하, 도 4 내지 도 8을 참조하여, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 탑재용 스테이지에 대하여 설명한다.4 to 8, the substrate mounting stage according to the first embodiment of the present invention will be described.

도 4에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 탑재되는 스테이지(20)에는, 기판(S)을 스테이지(20)로 반송하는 반송장치의 포크가 삽입되는 포크수용부(23)가 소정의 깊이(D), 길이(L) 및 폭(W)으로 형성된다. 이러한, 구성에 의하여 반송장치의 포크에 기판(S)이 안착된 상태에서 반송장치의 포크가 스테이지(20)의 포크수용부(23)로 이동된 후, 반송장치의 포크가 하강하게 되면, 기판(S)은 반송장치의 포크로부터 이격되면서 스테이지(20)의 상면에 탑재되며, 반송장치의 포크가 수평방향으로 이동되면서 스테이지(20)의 포크수용부(23)로부터 제거된다.As shown in FIG. 4, in the stage 20 on which the board | substrate S is mounted, the fork accommodating part 23 into which the fork of the conveying apparatus which conveys the board | substrate S to the stage 20 is inserted is predetermined depth. (D), length L, and width W. After the fork of the conveying device is moved to the fork receiving portion 23 of the stage 20 in a state where the substrate S is seated on the fork of the conveying device by the configuration, the fork of the conveying device is lowered. S is mounted on the upper surface of the stage 20 while being spaced apart from the fork of the conveying apparatus, and is removed from the fork receiving portion 23 of the stage 20 while the fork of the conveying apparatus is moved in the horizontal direction.

스테이지(20)의 포크수용부(23)의 내부에는 그 상측단이 평면으로 형성되는 지지부재(100)와, 지지부재(100)의 상측단이 스테이지(20)의 상면과 동일한 평면상에 위치되도록 지지부재(100)를 상하방향으로 승강시키는 구동유닛(110)이 구비될 수 있다.Inside the fork receiving portion 23 of the stage 20, the support member 100, the upper end of which is formed in a plane, and the upper end of the support member 100 are located on the same plane as the upper surface of the stage 20. A driving unit 110 for elevating the support member 100 in the vertical direction may be provided.

지지부재(100)는 포크수용부(23)의 폭(W)에 대응되는 폭으로 형성되는 것이 기판(S)을 지지하는 면적을 크게 하여 포크수용부(23)에서의 기판(S)의 처짐을 방지하는 데에 있어 바람직하다.The supporting member 100 is formed to have a width corresponding to the width W of the fork receiving portion 23 to increase the area for supporting the substrate S, thereby sagging the substrate S in the fork receiving portion 23. It is preferable in preventing.

구동유닛(110)은 상하방향으로 선형 구동력을 발생하는 승강장치(111)와, 승강장치(111)와 지지부재(100)를 연결하며 승강장치(111)의 구동력을 지지부재(100)로 전달하는 동력전달부재(112)를 포함하여 구성될 수 있다.The driving unit 110 connects the elevating device 111 which generates a linear driving force in the vertical direction, connects the elevating device 111 and the supporting member 100, and transfers the driving force of the elevating device 111 to the supporting member 100. It may be configured to include a power transmission member 112.

구동유닛(110)으로, 예를 들면, 승강장치(111)가 공기압 또는 유압으로 동작 하는 실린더가 되고 동력전달부재(112)가 실린더와 연결되는 로드가 되는 구성이 채용될 수 있으며, 승강장치(111)가 회전모터가 되고 동력전달부재(112)가 회전모터와 연결되는 스크류가 되는 구성이 적용될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 구동유닛(110)으로 가동자와 고정자의 전자기적 상호작용에 의하여 작동하는 리니어모터가 채용될 수 있는 등, 지지부재(100)를 승강시키기 위한 다양한 구성이 적용될 수 있다.As the driving unit 110, for example, the configuration in which the lifting device 111 is a cylinder that operates by pneumatic or hydraulic pressure, and the power transmission member 112 is a rod connected to the cylinder, it may be adopted, the lifting device ( 111 may be a rotating motor and the power transmission member 112 is a screw that is connected to the rotating motor can be applied. However, the present invention is not limited to such a configuration, and the like may be employed as the driving unit 110 such that a linear motor operating by electromagnetic interaction of the mover and the stator may be employed. The configuration can be applied.

도 5에 도시된 바와 같이, 지지부재(100)에는 지지부재(100)의 상면으로 개방되는 적어도 하나 이상의 홀(101)이 형성될 수 있고, 홀(101)에는 홀(101)을 통하여 가스를 흡입하는 가스흡입유닛(102)이 연통될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여, 기판(S)이 지지부재(100)의 상면에 접촉되는 경우, 가스흡입유닛(102)의 동작에 의하여 가스가 홀(101)을 통하여 흡입되면서, 기판(S)이 지지부재(100)의 상면에 견고하게 흡착될 수 있다.As shown in FIG. 5, the support member 100 may be formed with at least one hole 101 that opens to an upper surface of the support member 100, and the hole 101 may be provided with gas through the hole 101. The gas suction unit 102 to suck may be in communication. In this configuration, when the substrate S is in contact with the upper surface of the support member 100, the gas is sucked through the hole 101 by the operation of the gas suction unit 102, and the substrate S is supported. The upper surface of the member 100 may be firmly adsorbed.

이와 같은 구성에 의하여, 기판(S)이 스테이지(20)로 반송되기 전에는, 도 4에 도시된 바와 같이, 지지부재(100)는 포크수용부(23)의 하측에 위치된다.By this structure, before the board | substrate S is conveyed to the stage 20, as shown in FIG. 4, the support member 100 is located under the fork accommodation part 23. As shown in FIG.

그리고, 기판(S)이 반송장치의 포크에 의하여 스테이지(20)로 반송되어 기판(S)이 스테이지(20)의 상면에 탑재되고, 반송장치의 포크가 포크수용부(23)로부터 제거되면, 지지부재(100)는 구동유닛(110)의 구동에 의하여 상측방향으로 상승한다. 이때, 상승된 지지부재(100)는 지지부재(100)의 상면이 스테이지(20)의 상면과 동일 평면을 이루는 위치에 위치된다. 따라서, 도 6에 도시된 바와 같이, 포크수용부(23)에서 기판(S)은 지지부재(100)의 상면에 지지되며, 이에 따라, 기판(S) 의 처짐이 방지된다.And when the board | substrate S is conveyed to the stage 20 by the fork of a conveying apparatus, the board | substrate S is mounted on the upper surface of the stage 20, and the fork of a conveying apparatus is removed from the fork accommodating part 23, The supporting member 100 rises upward by the driving of the driving unit 110. At this time, the raised support member 100 is located at a position where the upper surface of the support member 100 forms the same plane as the upper surface of the stage 20. Thus, as shown in Figure 6, in the fork receiving portion 23, the substrate (S) is supported on the upper surface of the support member 100, thereby, sagging of the substrate (S) is prevented.

여기에서, 지지부재(100)에 홀(101)이 구비되고, 홀(101)과 연결되는 가스흡입유닛(102)이 구비되는 경우, 가스흡입유닛(102)의 동작에 의하여 지지부재(100)의 홀(101)을 통하여 기판(S)과 지지부재(100)의 상면 사이의 가스가 흡입될 수 있으며, 기판(S)이 지지부재(100)의 상면에 흡착될 수 있다. 이에 따라, 기판(S)은 지지부재(100)의 상면에 견고하게 지지될 수 있으므로, 기판(S)의 처짐이 방지된다.Here, when the support member 100 is provided with a hole 101 and the gas suction unit 102 connected to the hole 101, the support member 100 by the operation of the gas suction unit 102 Gas between the substrate S and the upper surface of the support member 100 may be sucked through the holes 101, and the substrate S may be adsorbed onto the upper surface of the support member 100. Accordingly, since the substrate S can be firmly supported on the upper surface of the support member 100, sagging of the substrate S is prevented.

한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 지지부재(100)는 스테이지(20)의 포크수용부(23)의 길이방향(L)으로 복수로 배치되는 것이 바람직하다. 이와 같은 경우, 구동유닛(110)은 각 지지부재(100)에 연결될 수 있도록 복수로 구비될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여, 기판(S)이 지지부재(100)에 지지되는 면적이 커지므로, 포크수용부(23)의 길이방향(L) 전체부분에서 기판(S)이 아래방향으로 처지는 것을 방지할 수 있다.On the other hand, as shown in Figure 7, the support member 100 is preferably arranged in plurality in the longitudinal direction (L) of the fork receiving portion 23 of the stage (20). In this case, the driving unit 110 may be provided in plurality so as to be connected to each support member 100. By such a configuration, the area in which the substrate S is supported by the support member 100 becomes large, thereby preventing the substrate S from sagging downward in the entirety of the longitudinal direction L of the fork receiving portion 23. can do.

또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 지지부재(100)는 스테이지(20)의 포크수용부(23)의 폭(W)에 대응되는 폭으로 형성될 뿐만 아니라 포크수용부(23)의 길이(L)에 대응되는 길이로 형성되는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성에 의하여, 포크수용부(23)의 상측으로 개방된 부분은 포크수용부(23)의 길이방향(L) 전체에서 지지부재(100)에 의하여 커버될 수 있으므로, 포크수용부(23)의 길이방향(L) 전체부분에서 기판(S)이 아래방향으로 처지는 것을 방지할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 8, the supporting member 100 is formed to have a width corresponding to the width W of the fork receiving portion 23 of the stage 20 as well as the length of the fork receiving portion 23 ( It is preferably formed to a length corresponding to L). By such a configuration, the portion opened to the upper side of the fork receiving portion 23 can be covered by the support member 100 in the entire length direction L of the fork receiving portion 23, the fork receiving portion 23 It is possible to prevent the substrate S from sagging downward in the entirety of the longitudinal direction L.

이와 같은 구성에 의하여 기판(S)이 스테이지(20)에 탑재되고, 포크수용 부(23)에서 기판(S)이 지지부재(100)에 지지되면, 포크수용부(23)에서 지지부재(100)에 지지된 기판(S)에 처짐이 있는지를 측정하는 과정이 수행될 수 있다. 이를 위하여, 제어부는 헤드유닛(50)에 구비된 레이저변위센서(54)가 지지부재(100)에 지지된 기판(S)의 상면으로 이동되도록 헤드유닛(50)을 이동시키는 동작을 제어하고, 레이저변위센서(54)를 기판(S)의 상면으로 이동시키면서 레이저변위센서(54)를 이용하여 기판(S)의 상면의 높이를 측정하는 동작을 제어한다. 포크수용부(23)에서 지지된 기판(S)의 상면의 높이를 측정하는 과정은 레이저변위센서(54)의 발광부(541)에서 발광되어 기판(S)에서 반사된 레이저를 수광부(542)에서 수광하고, 수광부(542)에 수광되는 레이저의 결상위치에 따른 전기신호를 근거로 기판(S)의 상면의 높이를 측정할 수 있다.When the substrate S is mounted on the stage 20 and the substrate S is supported by the supporting member 100 by the fork receiving portion 23, the supporting member 100 is supported by the fork receiving portion 23. ), A process of measuring whether the substrate S supported by the deflection may be performed. To this end, the controller controls an operation of moving the head unit 50 so that the laser displacement sensor 54 provided in the head unit 50 moves to the upper surface of the substrate S supported by the support member 100. While moving the laser displacement sensor 54 to the upper surface of the substrate S, the operation of measuring the height of the upper surface of the substrate S using the laser displacement sensor 54 is controlled. In the process of measuring the height of the upper surface of the substrate S supported by the fork receiving unit 23, the light emitted from the light emitting unit 541 of the laser displacement sensor 54 and reflected from the substrate S receives the light receiving unit 542. The height of the upper surface of the substrate S may be measured based on an electric signal according to the imaging position of the laser beam received by the light receiving unit 542.

한편, 측정된 기판(S)의 상면의 높이를 기준으로 포크수용부(23)에서 기판(S)의 처짐이 발생하였는지 여부를 판단하여, 포크수용부(23)에서 기판(S)의 처짐이 발생한 경우에는 구동유닛(110)를 동작하여 지지부재(100)의 상하방향 위치를 교정하는 과정이 추가로 수행될 수 있다.On the other hand, it is determined whether the deflection of the substrate (S) has occurred in the fork receiving portion 23 on the basis of the measured height of the upper surface of the substrate (S), the deflection of the substrate (S) in the fork receiving portion (23) In this case, a process of correcting the vertical position of the support member 100 by operating the driving unit 110 may be additionally performed.

이하, 도 9 내지 도 16을 참조하여, 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 탑재용 스테이지에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.9 to 16, a substrate mounting stage according to a second embodiment of the present invention will be described. The same parts as those described in the first embodiment of the present invention will be denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.

도 9에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 탑재되는 스테이지(20)에는, 기판(S)을 스테이지(20)로 반송하는 반송장치의 포크가 삽입되는 포크수용부(23)가 소정의 깊 이(D), 길이(L) 및 폭(W)으로 형성된다.As shown in FIG. 9, in the stage 20 on which the board | substrate S is mounted, the fork accommodating part 23 into which the fork of the conveying apparatus which conveys the board | substrate S to the stage 20 is inserted is predetermined depth. Teeth D, length L, and width W.

그리고, 스테이지(20)의 포크수용부(23)의 일측에는 그 상측단이 평면으로 형성되는 지지부재(200)와, 지지부재(200)의 상측단이 스테이지(20)의 상면과 동일한 평면상에 위치되도록 지지부재(200)를 수평방향으로 이동시키는 구동유닛(210)이 구비될 수 있다.In addition, one side of the fork receiving portion 23 of the stage 20 has a support member 200 having an upper end formed in a plane, and an upper end of the support member 200 having the same plane as the upper surface of the stage 20. A driving unit 210 may be provided to move the support member 200 in a horizontal direction so as to be positioned at a position thereof.

지지부재(200)는 포크수용부(23)의 폭(W)에 대응되는 폭으로 형성되는 것이 기판(S)을 지지하는 면적을 크게 하여 포크수용부(23)에서의 기판(S)의 처짐을 방지하는 데에 있어 바람직하다. 지지부재(200)는 포크수용부(23)의 폭방향(W) 일측에서 지지부재(200)의 상면이 스테이지(20)의 상면과 동일한 평면을 이루도록 배치된다.The supporting member 200 is formed to have a width corresponding to the width W of the fork receiving portion 23 to increase the area for supporting the substrate S, thereby sagging the substrate S in the fork receiving portion 23. It is preferable in preventing. The support member 200 is disposed such that the upper surface of the support member 200 forms the same plane as the upper surface of the stage 20 at one side in the width direction W of the fork receiving portion 23.

구동유닛(210)은 수평방향으로 선형 구동력을 발생하는 이송장치(211)와, 이송장치(211)와 지지부재(200)를 연결하며 이송장치(211)의 구동력을 지지부재(200)로 전달하는 동력전달부재(212)를 포함하여 구성될 수 있다.The driving unit 210 connects the transfer device 211 that generates a linear driving force in the horizontal direction, the transfer device 211 and the support member 200, and transfers the driving force of the transfer device 211 to the support member 200. It may be configured to include a power transmission member 212.

구동유닛(210)으로, 예를 들면, 이송장치(211)가 공기압 또는 유압으로 동작하는 실린더가 되고 동력전달부재(212)가 실린더와 연결되는 로드가 되는 구성이 채용될 수 있으며, 이송장치(211)가 회전모터가 되고 동력전달부재(212)가 회전모터와 연결되는 스크류가 되는 구성이 적용될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 구동유닛(210)으로 가동자와 고정자의 전자기적 상호작용에 의하여 작동하는 리니어모터가 채용될 수 있는 등, 지지부재(200)를 승강시키기 위한 다양한 구성이 적용될 수 있다.As the drive unit 210, for example, a configuration in which the transfer device 211 is a cylinder that operates by pneumatic or hydraulic pressure and the power transmission member 212 is a rod connected to the cylinder may be adopted. 211 may be a rotating motor and the power transmission member 212 may be a configuration in which the screw is connected to the rotating motor. However, the present invention is not limited to such a configuration, and the like may be employed as the driving unit 210 such that a linear motor operating by electromagnetic interaction of the mover and the stator may be employed. The configuration can be applied.

전술한 본 발명의 제1실시예에서 설명한 바와 같이, 지지부재(200)에는 지지부재(200)의 상면으로 개방되는 적어도 하나 이상의 홀이 형성될 수 있고, 홀에는 홀을 통하여 가스를 흡입하는 가스흡입유닛이 연통될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여, 기판(S)이 지지부재(200)의 상면에 접촉되는 경우, 가스흡입유닛의 동작에 의하여 기판(S)이 지지부재(200)의 상면에 견고하게 흡착될 수 있다.As described in the first embodiment of the present invention described above, the support member 200 may be formed with at least one hole that is open to the upper surface of the support member 200, the hole in the gas intake gas through the hole The suction unit may be in communication. By such a configuration, when the substrate S is in contact with the upper surface of the support member 200, the substrate S may be firmly adsorbed onto the upper surface of the support member 200 by the operation of the gas suction unit.

이와 같은 구성에 의하여, 기판(S)이 스테이지(20)로 반송되기 전에는, 도 9에 도시된 바와 같이, 지지부재(100)는 포크수용부(23)의 상측으로 개방된 부분을 커버하지 않은 상태로 포크수용부(23)의 폭방향(W) 일측에서 지지부재(200)의 상면이 스테이지(20)의 상면과 동일한 평면을 이루도록 배치된다.By this structure, before the board | substrate S is conveyed to the stage 20, as shown in FIG. 9, the support member 100 does not cover the open part to the upper side of the fork accommodation part 23. As shown in FIG. In the state in which the upper surface of the support member 200 on one side in the width direction (W) of the fork receiving portion 23 is arranged to form the same plane as the upper surface of the stage (20).

그리고, 기판(S)이 반송장치의 포크에 의하여 스테이지(20)로 반송되어 기판(S)이 스테이지(20)의 상면에 탑재되고, 반송장치의 포크가 포크수용부(23)로부터 제거되면, 지지부재(200)는 구동유닛(210)의 구동에 의하여 수평방향으로 포크수용부(23)의 개방된 부분을 향하여 이동된다. 이때, 이동된 지지부재(200)는 지지부재(200)의 상면이 스테이지(20)의 상면과 동일 평면을 이루면서 포크수용부(23)의 개방된 부분을 커버하는 위치에 위치된다. 따라서, 도 10에 도시된 바와 같이, 포크수용부(23)에서 기판(S)은 지지부재(200)의 상면에 지지되며, 이에 따라, 기판(S)의 처짐이 방지된다.And when the board | substrate S is conveyed to the stage 20 by the fork of a conveying apparatus, the board | substrate S is mounted on the upper surface of the stage 20, and the fork of a conveying apparatus is removed from the fork accommodating part 23, The support member 200 is moved toward the open portion of the fork receiving portion 23 in the horizontal direction by the drive of the drive unit 210. At this time, the moved support member 200 is located at a position where the upper surface of the support member 200 covers the open portion of the fork receiving portion 23 while forming the same plane as the upper surface of the stage 20. Accordingly, as shown in FIG. 10, in the fork receiving portion 23, the substrate S is supported on the upper surface of the support member 200, whereby sagging of the substrate S is prevented.

한편, 도 11에 도시된 바와 같이, 지지부재(200)는 스테이지(20)의 포크수용부(23)의 길이방향(L)으로 복수로 배치되는 것이 바람직하다. 여기에서, 지지부재(200)가 포크수용부(23)의 폭방향(W) 일측에만 배치되는 구성이 적용될 수 있으 며, 지지부재(200)가 포크수용부(23)의 폭방향(W) 양측에서 포크수용부(23)의 길이방향으로 번갈아 가면서 교대로 배치되는 구성이 적용될 수 있다. 이와 같은 경우, 구동유닛(210)은 각 지지부재(200)에 연결될 수 있도록 복수로 구비될 수 있다. 도 11에 도시된 바와 같이, 복수의 지지부재(200)가 포크수용부(23)의 폭방향(W) 양측에 포크수용부(23)의 길이방향(L)을 따라 번갈아 가면서 교대로 배치되는 경우에는, 복수의 지지부재(200)가 포크수용부(23)의 폭방향(W) 일측에 일렬로 배치되는 경우와 같이 지지부재(200)의 이동 후에 발생하는 빈 공간(지지부재(200)가 이동 전에 차지하는 공간)이 포크수용부(23)의 길이방향(L)으로 길게 형성되지 않고 포크수용부(23)의 폭방향 양측에 분포된다. 따라서, 복수의 지지부재(200)가 포크수용부(23)의 폭방향(W) 양측에 포크수용부(23)의 길이방향(L)을 따라 번갈아 가면서 교대로 배치되는 경우에는 지지부재(200)가 포크수용부(23)의 폭방향(W) 일측에 일렬로 배치되는 경우에 비하여 지지부재(200)의 이동 후에 발생하는 빈 공간의 면적이 지나치게 커지는 것을 방지할 수 있다.On the other hand, as shown in Figure 11, the support member 200 is preferably disposed in a plurality in the longitudinal direction (L) of the fork receiving portion 23 of the stage (20). Here, the configuration in which the support member 200 is disposed only on one side of the width direction W of the fork accommodation portion 23 may be applied, and the support member 200 is the width direction W of the fork accommodation portion 23. Alternating arrangements in the longitudinal direction of the fork receiving portion 23 on both sides may be applied. In this case, the driving unit 210 may be provided in plurality so as to be connected to each support member 200. As shown in FIG. 11, the plurality of supporting members 200 are alternately disposed alternately along the longitudinal direction L of the fork receiving portion 23 on both sides in the width direction W of the fork receiving portion 23. In this case, the empty space generated after the movement of the support member 200, such as when the plurality of support members 200 are arranged in a row on one side of the fork receiving portion 23 in the width direction (W) (support member 200) The space occupied before the movement) is not formed long in the longitudinal direction L of the fork accommodation portion 23, but is distributed on both sides in the width direction of the fork accommodation portion 23. Therefore, when the plurality of support members 200 are alternately arranged along the longitudinal direction L of the fork accommodation portion 23 on both sides in the width direction W of the fork accommodation portion 23, the support member 200. ) Can be prevented from excessively increasing the area of the empty space generated after the movement of the support member 200 compared to the case where the fork receiving portion 23 is arranged in one line in the width direction W.

여기에서, 도 12에 도시된 바와 같이, 지지부재(200)가 포크수용부(23)의 상측으로 개방된 부분의 일부만을 커버할 수 있도록 이동되는 것이 바람직하며, 특히, 지지부재(200)가 포크수용부(23)의 상측으로 개방된 부분의 폭(W)의 1/2만 커버할 수 있도록 이동되는 것이 바람직하다. 지지부재(200)가 포크수용부(23)의 상측으로 개방된 부분의 일부만을 커버하는 경우에는 지지부재(200)가 포크수용부(23)의 상측으로 개방된 부분을 전부 커버하는 경우에 비하여 지지부재(200)의 이동 후에 발생하는 빈 공간의 면적이 커지는 것을 방지할 수 있다.Here, as shown in Figure 12, it is preferable that the support member 200 is moved to cover only a part of the open portion of the fork receiving portion 23, especially, the support member 200 is It is preferable to move so as to cover only half of the width W of the portion opened to the upper side of the fork receiving portion 23. When the support member 200 covers only a part of the open portion of the fork receiving portion 23, the support member 200 covers all the open portions of the fork receiving portion 23, as compared to the case where The area of the empty space generated after the movement of the supporting member 200 can be prevented from increasing.

또한, 도 12에 도시된 바와 같이, 지지부재(200)가 포크수용부(23)의 폭(W)의 대략 절반 정도의 폭으로 형성되고, 포크수용부(23)의 폭방향(W) 양측에 배치되는 구성이 적용될 수 있다. 이러한 구성에 의하여, 도 13에 도시된 바와 같이, 포크수용부(23)의 폭방향(W) 양측에 배치된 한 쌍의 지지부재(200)가 서로 포크수용부(23)를 향하여 이동되는 것에 의하여 한 쌍의 지지부재(200)가 포크수용부(23)의 상측으로 개방된 부분을 커버할 수 있다. 여기에서, 한 쌍의 지지부재(200)가 각각 수평방향으로 이송될 수 있도록, 포크수용부(23)의 폭방향(W) 양측에는 한 쌍의 지지부재(200)와 각각 연결되는 구동유닛(210)이 설치될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 12, the support member 200 is formed to have a width approximately equal to about half the width W of the fork accommodation portion 23, and both sides of the width direction W of the fork accommodation portion 23. The arrangement disposed in can be applied. By this configuration, as shown in FIG. 13, the pair of support members 200 disposed on both sides of the width direction W of the fork accommodation portion 23 are moved toward each other toward the fork accommodation portion 23. The pair of support members 200 may cover the open portion of the fork receiving portion 23 to the upper side. Here, the drive unit (2) connected to each of the pair of supporting members 200 on both sides of the width direction (W) of the fork receiving portion 23 so that the pair of supporting members 200 can be transferred in the horizontal direction, respectively ( 210 may be installed.

또한, 도 14에 도시된 바와 같이, 지지부재(200)는 스테이지(20)의 포크수용부(23)의 길이(L)에 대응되는 길이로 형성되는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성에 의하여, 도 15에 도시된 바와 같이, 포크수용부(23)의 상측으로 개방된 부분은 포크수용부(23)의 길이방향(L) 전체에서 지지부재(200)에 의하여 커버될 수 있으므로, 포크수용부(23)의 길이방향(L) 전체부분에서 기판(S)이 아래방향으로 처지는 것을 방지할 수 있다.In addition, as shown in Figure 14, the support member 200 is preferably formed to a length corresponding to the length (L) of the fork receiving portion 23 of the stage (20). By such a configuration, as shown in FIG. 15, the portion opened upward of the fork receiving portion 23 is to be covered by the supporting member 200 in the entire lengthwise direction L of the fork receiving portion 23. Therefore, the substrate S can be prevented from sagging downward in the entirety of the longitudinal direction L of the fork receiving portion 23.

이하, 도 17을 참조하여, 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 탑재용 스테이지에 대하여 설명한다.Hereinafter, a substrate mounting stage according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 17.

도 17에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 탑재용 스테이지는, 포크수용부(23) 내에 배치되고 스테이지(20)의 상면과 수직을 이루는 방향으로 연장되는 형상으로 형성되는 지지부재(300)와, 지지부재(300)의 상측단이 스테이지(20)의 상면과 동일한 평면상에 위치되도록 지지부재(300)을 승강시키는 구동 유닛(311)을 포함하여 구성될 수 있다.As shown in FIG. 17, the substrate mounting stage according to the third embodiment of the present invention is disposed in the fork receiving portion 23 and is formed in a shape extending in a direction perpendicular to the upper surface of the stage 20. The support member 300 may include a driving unit 311 for elevating the support member 300 such that the upper end of the support member 300 is positioned on the same plane as the upper surface of the stage 20.

지지부재(300)은 포크수용부(23)의 폭방향(W) 및/또는 길이방향(L)을 따라 복수로 배치되는 것이 기판(S)을 여러 부분에서 지지하여 기판(S)의 처짐을 방지하는 데에 바람직하다.The support member 300 is disposed in a plurality along the width direction W and / or the length direction L of the fork receiving portion 23 to support the substrate S at various portions to sag the substrate S. It is preferable to prevent.

지지부재(300)는 핀 또는 바(bar)과 같은 형상으로 형성될 수 있으며, 지지부재(300)가 기판(S)과 접촉되는 지지부재(300)의 상측단은 기판(S)의 하측면의 손상을 방지하기 위하여 소정의 곡률을 가지는 라운드형상으로 형성되는 것이 바람직하다.The support member 300 may be formed in a shape such as a pin or a bar, and an upper end of the support member 300 to which the support member 300 is in contact with the substrate S may be a lower surface of the substrate S. In order to prevent the damage of the resin is preferably formed in a round shape having a predetermined curvature.

이와 같은, 지지부재(300)는 기판(S)이 스테이지(20)상에 탑재되고 반송장치의 포크가 포크수용부(23)로부터 제거된 후, 포크수용부(23) 내에서 구동유닛(311)의 동작에 의하여 상승하여 기판(S)의 하측면과 접촉되면서 기판(S)을 지지하는 역할을 수행한다. 따라서, 포크수용부(23)에서 기판(S)이 처지는 현상이 방지될 수 있다.As described above, the supporting member 300 has a drive unit 311 in the fork receiving portion 23 after the substrate S is mounted on the stage 20 and the fork of the conveying device is removed from the fork receiving portion 23. It rises by the operation of) and contacts the lower surface of the substrate (S) serves to support the substrate (S). Therefore, the phenomenon that the substrate S sags in the fork receiving portion 23 can be prevented.

상기한 바와 같은 본 발명에 따른 기판 탑재용 스테이지는, 지지부재(100)(200)(300)와, 포크수용부(23) 내에서 지지부재(100)(200)(300)의 상측단이 스테이지(20)의 상면과 동일한 평면상에 위치되도록 지지부재(100)(200)(300)를 이동시키는 구동유닛(110)(210)(311)을 포함하여 구성됨으로써, 스테이지(20)로 반송된 기판(S)을 지지부재(100)(200)(300)로 지지하도록 하여 포크수용부(23)에서의 기판(S)의 처짐을 방지할 수 있고, 이에 따라, 포크수용부(23)에서의 기판(S)의 처짐으로 인한 페이스트 패턴의 불량이나 도포속도의 저하와 같은 문제점을 제거할 수 있는 효과가 있다.The substrate mounting stage according to the present invention as described above, the upper end of the support member 100, 200, 300 and the support member 100, 200, 300 in the fork receiving portion 23 It comprises a drive unit 110, 210, 311 for moving the support members 100, 200, 300 to be located on the same plane as the upper surface of the stage 20, thereby conveying to the stage 20 The substrate S may be supported by the support members 100, 200, and 300 to prevent sagging of the substrate S in the fork receiving portion 23, and thus, the fork receiving portion 23. There is an effect that can eliminate problems such as poor paste pattern due to the sagging of the substrate (S) in or lowering the coating speed.

본 발명에 따른 기판 탑재용 스테이지는 페이스트 디스펜서에 적용될 수 있을 뿐만 아니라, 액정패널제조공정 또는 반도체제조공정 등에서 기판에 액체를 공급하거나 기판에 대하여 소정의 처리 또는 검사를 수행하는 장치에 구비는 스테이지로 본 발명에 따른 기판 탑재용 스테이지가 적용될 수 있다. 또한, 본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다.The substrate mounting stage according to the present invention can be applied not only to a paste dispenser but also to a device for supplying liquid to a substrate or performing a predetermined process or inspection on the substrate in a liquid crystal panel manufacturing process or a semiconductor manufacturing process. The substrate mounting stage according to the present invention can be applied. In addition, the technical idea described in each embodiment of the present invention may be implemented independently, or may be implemented in combination with each other.

도 1은 종래기술에 따른 기판 탑재용 스테이지에 기판이 탑재된 상태가 도시된 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a state in which a substrate is mounted on a substrate mounting stage according to the prior art.

도 2는 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 사시도이다.2 is a perspective view of a paste dispenser according to the present invention.

도 3은 도 1의 페이스트 디스펜서의 헤드유닛이 도시된 사시도이다.3 is a perspective view illustrating a head unit of the paste dispenser of FIG. 1.

도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 탑재용 스테이지가 도시된 단면도이다.4 is a cross-sectional view showing a substrate mounting stage according to the first embodiment of the present invention.

도 5는 도 4의 기판 탑재용 스테이지에 구비되는 지지부재가 도시된 개략도이다.5 is a schematic view showing a supporting member provided in the substrate mounting stage of FIG. 4.

도 6은 도 4의 기판 탑재용 스테이지의 작동상태가 도시된 단면도이다.6 is a cross-sectional view illustrating an operating state of the substrate mounting stage of FIG. 4.

도 7 및 도 8은 도 4의 기판 탑재용 스테이지의 예들이 도시된 사시도이다.7 and 8 are perspective views illustrating examples of the substrate mounting stage of FIG. 4.

도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 탑재용 스테이지가 도시된 단면도이다.9 is a cross-sectional view showing a substrate mounting stage according to a second embodiment of the present invention.

도 10 내지 도 12는 도 9의 기판 탑재용 스테이지의 작동상태가 도시된 단면도 및 사시도이다.10 to 12 are cross-sectional views and perspective views showing an operating state of the substrate mounting stage of FIG.

도 13은 도 9의 기판 탑재용 스테이지의 다른 예가 도시된 단면도이다.FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating another example of the substrate mounting stage of FIG. 9.

도 14는 도 13의 기판 탑재용 스테이지의 작동상태가 도시된 단면도이다.14 is a cross-sectional view illustrating an operating state of the substrate mounting stage of FIG. 13.

도 15는 도 9의 기판 탑재용 스테이지의 또 다른 예가 도시된 사시도이다.FIG. 15 is a perspective view illustrating still another example of the substrate mounting stage of FIG. 9.

도 16는 도 15의 기판 탑재용 스테이지의 작동상태가 도시된 사시도이다.16 is a perspective view illustrating an operating state of the substrate mounting stage of FIG. 15.

도 17은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 탑재용 스테이지가 도시된 단면도 이다.17 is a cross-sectional view showing a substrate mounting stage according to a third embodiment of the present invention.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ****** Explanation of symbols for main parts of drawing ***

20: 스테이지 23: 포크수용부20: stage 23: fork receiving portion

100, 200: 지지부재 110, 210: 구동유닛100, 200: support member 110, 210: drive unit

50: 헤드유닛 S: 기판50: head unit S: substrate

Claims (13)

기판을 반송하는 기판반송장치의 포크가 삽입되도록 소정의 깊이, 길이 및 폭을 가지는 포크수용부가 형성되는 기판 탑재용 스테이지에 있어서,In the substrate mounting stage, the fork receiving portion having a predetermined depth, length and width is formed so that the fork of the substrate transfer device for transporting the substrate is inserted, 지지부재; 및Support member; And 상기 포크수용부에서 상기 지지부재의 상측단이 상기 스테이지의 상면과 동일한 평면상에 위치되도록 상기 지지부재를 이동시키는 구동유닛을 포함하고,And a drive unit for moving the support member such that the upper end of the support member is positioned on the same plane as the upper surface of the stage in the fork receiving portion. 상기 지지부재에는 홀이 형성되고, 상기 홀에는 상기 홀을 통하여 가스를 흡입하는 가스흡입유닛이 연통되는 것을 특징으로 하는 기판 탑재용 스테이지.And a hole is formed in the support member, and a gas suction unit for sucking gas through the hole communicates with the hole. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지부재는 상면이 평면으로 형성되고,The support member has a top surface formed in a flat, 상기 구동유닛은 상기 지지부재의 상면이 상기 스테이지의 상면과 동일 평면을 이루도록 상기 지지부재를 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 탑재용 스테이지.And the driving unit moves the support member such that the top surface of the support member is flush with the top surface of the stage. 제2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 지지부재는 상기 포크수용부 내에 배치되고,The support member is disposed in the fork receiving portion, 상기 구동유닛은 상기 지지부재를 승강시키는 승강장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 탑재용 스테이지.The driving unit is a substrate mounting stage, characterized in that it comprises a lifting device for lifting the support member. 기판을 반송하는 기판반송장치의 포크가 삽입되도록 소정의 깊이, 길이 및 폭을 가지는 포크수용부가 형성되는 기판 탑재용 스테이지에 있어서,In the substrate mounting stage, the fork receiving portion having a predetermined depth, length and width is formed so that the fork of the substrate transfer device for transporting the substrate is inserted, 지지부재; 및Support member; And 상기 포크수용부에서 상기 지지부재의 상측단이 상기 스테이지의 상면과 동일한 평면상에 위치되도록 상기 지지부재를 이동시키는 구동유닛을 포함하고,And a drive unit for moving the support member such that the upper end of the support member is positioned on the same plane as the upper surface of the stage in the fork receiving portion. 상기 지지부재는 상기 포크수용부의 일측에서 상기 지지부재의 상면이 상기 스테이지의 상면과 동일한 평면을 이루도록 배치되고,The support member is disposed such that the upper surface of the support member at one side of the fork receiving portion forms the same plane as the upper surface of the stage, 상기 구동유닛은 상기 지지부재를 수평방향으로 이동시키는 이송장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 탑재용 스테이지.The driving unit is a substrate mounting stage, characterized in that it comprises a transfer device for moving the support member in the horizontal direction. 제4항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 지지부재는 상기 포크수용부의 상측으로 개방된 부분의 일부를 커버할 수 있도록 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 탑재용 스테이지.And the support member is moved to cover a part of the open portion of the fork receiving portion. 제4항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 지지부재는 상기 포크수용부의 폭방향 양측에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 탑재용 스테이지.The support member is a substrate mounting stage, characterized in that provided on each side in the width direction of the fork receiving portion. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 6, 상기 지지부재는 상기 포크수용부의 길이방향으로 복수로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 탑재용 스테이지.The support member is a substrate mounting stage, characterized in that disposed in the longitudinal direction of the fork receiving portion. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 지지부재는 상기 포크수용부의 길이방향을 따라 상기 포크수용부의 폭 방향 양측에 교대로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 탑재용 스테이지.The support member is a substrate mounting stage, characterized in that alternately arranged on both sides of the fork receiving portion in the width direction along the longitudinal direction of the fork receiving portion. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 6, 상기 지지부재는 상기 포크수용부의 길이와 대응되는 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 탑재용 스테이지.The support member is a substrate mounting stage, characterized in that having a length corresponding to the length of the fork receiving portion. 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 4 to 6, 상기 지지부재에는 홀이 형성되고, 상기 홀에는 상기 홀을 통하여 가스를 흡입하는 가스흡입유닛이 연통되는 것을 특징으로 하는 기판 탑재용 스테이지.And a hole is formed in the support member, and a gas suction unit for sucking gas through the hole communicates with the hole. 삭제delete 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 기판 탑재용 스테이지를 포함하는 페이스트 디스펜서.A paste dispenser comprising the substrate mounting stage of any one of claims 1 to 6. 제12항에 있어서,The method of claim 12, 페이스트가 토출되는 노즐과, 상기 기판상으로 레이저를 발광하고 상기 기판에서 반사되는 레이저를 수광하여 상기 기판과 상기 노즐 사이의 간격을 측정하는 레이저변위센서와, 상기 노즐 및 상기 레이저변위센서를 Z축방향으로 이동시키는 Z축구동부를 포함하는 헤드유닛; 및A laser displacement sensor for measuring a distance between the nozzle and the nozzle, and the nozzle and the laser displacement sensor to emit a laser beam emitted on the substrate, the laser is reflected on the substrate and receives the laser reflected on the substrate, Z-axis Head unit including a Z-axis driving unit for moving in the direction; And 상기 포크수용부에서 상기 지지부재에 지지된 상기 기판의 상면으로 상기 레이저변위센서를 이동시키면서 상기 포크수용부에서의 상기 기판의 상면의 높이를 측정하는 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 페이스트 디스펜서.And a control unit for controlling an operation of measuring the height of the upper surface of the substrate in the fork receiving unit while moving the laser displacement sensor from the fork receiving unit to the upper surface of the substrate supported by the support member.
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