KR101103691B1 - 반도체 제조용 유니버설 트림 폼 장비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 다수회의 연속적인 프레스 작동에 의해 하나의 리드프레임의 댐바 커팅과 렝스 커팅 공정 모두를 하나의 장비를 이용하여 상기 한 개의 트림펀치 및 트림다이에 의해 단위 커팅에 의해 연속으로 행하면서 아울러 포밍공정도 가능한 반도체 제조용 유니버설 트림 폼 장비를 제공한다.
본 발명은 리드프레임을 안착하기 위한 지그와, 상기 지그에 안착된 리드프레임을 트림 및 폼 공정을 행할 부분이 노출되게 덮어 고정하는 지그 덮개를 구비하며, 상기 리드프레임을 이송하되 리드프레임의 세타축 방향을 바꿀 수 있도록 세타축 구동수단을 구비하는 턴테이블과;
상기 리드프레임에 상금형부와 하금형부가 x축 및 y축 방향으로 위치 조정될 수 있도록 x축 구동수단 및 y축 구동수단을 구비하고, 상기 턴테이블이 진입된 상태에서 상기 하금형부를 상기 리드프레임의 하부로 상승시키고 상기 턴테이블의 이동시에는 상기 하금형부를 하강시킬 수 있도록 하금형부 승하강 구동수단을 구비하며, 상기 리드프레임의 위치를 인식할 수 있도록 영상인식수단을 구비하며, 상기 턴테이블이 상기 상형과 하형의 사이의 공간으로 진입될 수 있도록 측면상 'ㄷ' 형상으로 이루어진 툴 본체와;
상기 영상인식수단으로부터 전송된 리드프레임의 위치정보와 사용자에 의해 설정된 반도체 리드프레임 규격 정보에 따라 상기 x,y축 구동수단 및 상기 하금형부 승하강 구동수단 및 상금형부 및 하금형부의 프레스작동을 제어하는 제어수단을 포함하여 구성된다.

Description

반도체 제조용 유니버설 트림 폼 장비{universal trim and form apparatus for manufacturing semiconductor}

본 발명은 반도체 공정에서 트림 폼 연속공정을 행하기 위한 장비에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 개별 펀치/다이 타입으로 구성하여 자동 트림 폼 연속공정을 행할 수 있도록 구성함으로써 기존 픽스(Fix) 타입 툴 장비의 단점을 해결하여 금형의 투자비 및 공정구축을 위한 설비 투자비용을 현저히 줄일 수 있게 한 반도체 제조용 유니버설 트림 폼 장비에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정은 웨이퍼를 확산,사진,식각,박막공정을 진행하여 전기회로를 구성하는 FABRICATION 공정과, 상기 FABRICATION 공정에서 구성된 양품 칩을 개개로 분리시켜 칩의 전기적, 물리적 특성을 지닐수 있도록 패키지 상태로 형상화시켜 칩을 외부의 충격으로부터 보호하며 PCB 실장이 가능하도록 구성하는 ASSEMBLY 공정과, 제품의 불량여부를 선별하는 TEST공정으로 구분된다.

상기 패키지화하는 ASSEMBLY 공정에서는 프론트(FRONT)공정으로서 웨이퍼를 리드프레임에 고정시키는 다이본드 공정과 웨이퍼를 각각의 리드에 연결시키는 와이어본드 공정 후(BACK-END)공정으로서 트림(TRIM) 공정과 폼(FORM) 공정을 포함하고 있다.

트림공정은 스트립 상태의 리드프레임을 패키지와 리드 사이에 있는 플레시 에폭시를 제거한 후 리드와 리드 사이에 연결된 댐바(패키지 리드의 상단부분을 연결하는 가로축 BAR)를 절단하는 공정과 댐바를 절단한 후의 리드 렝스를 커팅하는 싱글레이션 공정(제조사에 따라서는 싱글레이션 공정을 폼 공정에 속하는 것으로 칭하기도 하나, 본 발명에서는 트림공정에 포함하기로 함)을 포함한다.

폼 공정은 스트립 상태의 리드 프레임에서 필요한 만큼 절단된 리드를 패키지 타입에 맞게 리드 모양을 형성함으로써 패키지가 독립된 형태로 PCB 에 장착 가능토록 패키지 형태를 최종적으로 형성하는 공정이다.

간단히 설명하면 트림 공정은 절단공정, 폼 공정은 절곡 공정이라 간략화할 수 있으며, 본 발명과 관련하여 트림, 폼 공정은 앞서 설명한 싱글레이션 공정(이하, 렝스 커팅(length cutting) 이라 함)을 포함하는 것으로 설명될 것이다.

기존 설비에 의한 종래의 트림 공정, 폼 공정은 각각의 생산 IC에 따라 설비와 금형을 조합한 자동화 설비를 사용하고 있는데 설비의 구조는 기계식(Index Unit)으로 제품을 이송하며 유압 또는 모터를 연동한 캠으로 금형의 상형을 업/다운 시켜 트림 폼 공정을 행하는 방식을 택하고 있다.

이와 같이 기존 장비는 대량생산에 맞추어 설비 및 금형 구조가 이루어진 것이기 때문에, 수많은 부품이 필요하고 부품 하나하나의 형상이 매우 복잡하며 그에 따른 부품의 제작시간이 길고 단가가 높게 되는 단점이 있다. 이 때문에 급히 진행되는 연구개발이나 소량 다품종 생산에 대한 대응이 매우 열악할 수 밖에 없는 문제점이 있었다.

일예로서 도 1은 종래의 고정타입 트림 툴의 상금형(펀치부)과 하금형(다이부)을 설명하기 위해 보인 도면으로서, 앞서 설명한 바와같이 금형의 상,하형이 미리 정해진 다수의 펀치날을 포함하는 펀치(41)와 다이(42)로 구성됨으로써 상형의 업다운에 의해 상,하형 사이에 있는 칩을 구성하는 리드프레임의 다수개 댐바를 한꺼번에 절단하는 구조로 되었고 이 때문에 펀치 등의 금형 형상이 복잡하고 그에 따른 금형부품 제작기간이 길고 제조코스트가 높게 되며, 다른 IC 규격의 리드 프레임에 범용적으로 사용이 불가한 문제점이 있었다.

아울러 폼 툴도 앞서 설명한 트림 툴과 별개로 마련되므로 공정설비가 상당히 크게 되고 이로인해 공정설비가 차지하는 면적이 크게 되는 문제점을 갖고 있었다.

상술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은 1대의 트림 폼 공정 장비를 사용하여 트림 폼 공정 모두를 행할 수 있도록 하고 아울러 트림 공정에 사용되는 툴을 바꾸지 않고서도 댐바 커팅 및 렝스((Length) 커팅이 가능토록 하여 여러 규격의 IC 를 범용적으로 생산할 수 있도록 하는 반도체 제조용 유니버설 트림 폼 장비를 제공함에 목적을 두고 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면,

반도체 리드프레임에 트림 공정과 폼 공정을 행하는 반도체 제조용 유니버설 트림 폼 장비에 있어서,

상기 리드프레임을 안착하기 위한 지그와, 상기 지그에 안착된 리드프레임을 트림 및 폼 공정을 행할 부분이 노출되게 덮어 고정하는 지그 덮개를 구비하며, 상기 리드프레임을 이송하되 리드프레임의 세타축 회전 방향을 바꿀 수 있도록 세타축 구동수단을 구비하는 턴테이블과;

상기 리드프레임에 상금형부와 하금형부가 x축 및 y축 방향으로 위치 조정될 수 있도록 x축 구동수단 및 y축 구동수단을 구비하고, 상기 턴테이블이 진입된 상태에서 상기 하금형부를 상기 리드프레임의 하부로 상승시키고 상기 턴테이블의 이동시에는 상기 하금형부를 하강시킬 수 있도록 하금형부 승하강 구동수단을 구비하며, 상기 리드프레임의 위치를 인식할 수 있도록 영상인식수단을 구비하며, 상기 턴테이블이 상기 상형과 하형의 사이의 공간으로 진입될 수 있도록 장비전체를 정면에서 보았을 때 측면상 'ㄷ' 형상으로 이루어진 툴 본체와;

상기 영상인식수단으로부터 전송된 리드프레임의 위치정보와 사용자에 의해 설정된 반도체 리드프레임 규격 정보에 따라 상기 x,y축 구동수단 및 하금형부 승하강 구동수단 및 상금형부 및 하금형부의 프레스작동을 제어하는 제어수단을 포함하여 구성되며;

상기 상금형부에는 상기 제어수단에 의해 제어되어 승하강 프레스 작동되는 트림 펀치 및 폼 펀치가 구비되고 상기 하금형부에는 트림 다이 및 폼 다이가 구비되어지되, 상기 트림 펀치 및 상기 트림 다이는 프레스 동작 1회에 1개씩 개별로 리드프레임의 단위 댐바 커팅 및 단위 렝스(Length) 커팅을 행하는 단일 펀치 및 단일 다이의 구조로 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 유니버설 트림 폼 장비를 제공한다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제어수단은 상기 x축 구동수단이 미리 설정된 단위거리를 이동하면서 상기 트림 펀치가 상기 단위거리마다 프레스 작동을 행하여 상기 댐버 커팅의 공정이 완료되면, 상기 렝스(Length) 커팅 공정시에서는 상기 턴테이블의 세타축 회전이 서로 90도 차이나도록 상기 세타축 구동수단을 회전시킨 후 상기 x축 구동수단이 미리 설정된 단위거리를 이동하면서 상기 트림 펀치가 상기 단위거리마다 프레스 작동을 하도록 제어함으로써 렝스 커팅을 연속적으로 행하여 렝스 커팅 공정을 완료하도록 제어하는 구성적 특징을 갖는다.

이러한 구성은 1대의 트림 폼 공정 장비를 사용하여 트림 폼 공정 모두를 행할 수 있도록 하고 아울러 트림 공정에 사용되는 툴을 바꾸지 않고서도 댐바 커팅 및 렝스(Length) 커팅이 가능토록 하여 여러 규격의 IC 를 범용적으로 생산할 수 있는 효과가 있다.

또한 상술한 구성에 의해 다수회의 연속적인 프레스 작동에 의해 하나의 리드프레임의 트림 공정에서 댐바 커팅과 렝스 커팅 공정 모두를 하나의 장비를 이용하여 상기 한 개의 트림펀치 및 트림다이에 의해 연속적으로 행할 수 있게 된다.

나아가, 장비나 금형 툴의 비용 및 장비가 차지하는 공간 및 면적 등을 크게 줄일 수 있게 되는 등 설비투자의 원가 절감에서 막대한 효과가 있으며, 급변하는 IC 규격에 대처하여 툴을 개발하는 시간을 획기적으로 줄일 수 있어 양산 체계에 빠르게 접근할 수 있게 되는 효과가 있다.

도 1은 종래의 고정타입 트림 툴을 설명하기 위해 보인 도면,
도 2 및 도 3은 각각 본 발명의 장비의 전체를 보인 사시도 및 정면도,
도 4은 도 2의 구성 중 상,하 금형부 및 그 주변 구조를 상세히 보인 사시도,
도 5a 및 도 5b는 각각 본 발명 장비의 테이블에 리드프레임을 지그 덮개를 이용하여 고정시키는 구조를 설명하기 위한 분해사시도 및 결합상태 사시도,
도 6a 내지 도 6c는 본 발명에서 턴테이블이 공정작업을 위해 0도, 90도, 180도 세타축 회전된 상태를 보인 각각의 사시도,
도 7은 본 발명의 트림 펀치 날을 보인 개념도,

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명하기로 한다.

도 2 및 도 3은 각각 본 발명의 장비의 전체를 보인 사시도 및 정면도이고, 도 4은 도 2의 구성 중 상,하 금형부 및 그 주변 구조를 상세히 보인 사시도이며, 도 5a 및 도 5b는 각각 본 발명 장비의 테이블에 리드프레임을 지그 덮개를 이용하여 고정시키는 구조를 설명하기 위한 분해사시도 및 결합상태 사시도이며, 도 6a 내지 도 6c는 본 발명에서 턴테이블이 공정작업을 위해 0도, 90도, 180도 세타축 회전된 상태를 보인 각각의 사시도이고, 도 7은 본 발명의 트림 펀치 날을 보인 개념도이다. 위 도면 중 도 6a 내지 도 6c에서 A로 표시한 면은 상금형부가 장착되는 툴 본체의 면을 표시한다.

본 발명의 장비 구성은 크게 구분하여 턴테이블(100)과, 툴 본체(200)와, 장비의 메커니즘과 연결된 컴퓨터프로그램에 의해 제어를 행하는 제어수단(사용자가 셋팅할 수 있는 운용프로그램이 설치된 일반적인 컴퓨터와 연계구성됨)을 포함한다.

좀더 구체적으로 살펴보면,

반도체를 제조하기 위한 리드프레임(10)을 안착하기 위한 지그(20)와, 상기 지그(20)에 안착된 리드프레임(10)을 트림 및 폼 공정을 행할 부분이 노출되게 덮어 고정하는 지그 덮개(21)를 구비하며, 상기 리드프레임(10)을 이송하되 상기 고정된 리드프레임(10)의 세타축 회전 방향을 바꿀 수 있도록 세타축 구동수단(110)을 구비하는 턴테이블(100)과;

상기 리드프레임(10)에 상금형부(400)와 하금형부(500)가 x축 및 y축 방향으로 위치 조정될 수 있도록 x축 구동수단(210) 및 y축 구동수단(220)을 구비하고, 상기 턴테이블(100)이 진입된 상태에서 상기 하금형부(500)를 상기 리드프레임(10)의 하부로 상승시키고 상기 턴테이블(100)의 이동시에는 상기 하금형부(500)를 하강시킬 수 있도록 하금형부 승하강 구동수단(230)을 구비하며, 상기 리드프레임(10)의 위치를 인식할 수 있도록 영상인식수단(430)을 구비하며, 상기 턴테이블(100)이 상기 상금형부(400)와 하금형부(500)의 사이의 공간으로 진입될 수 있도록 장비전체를 정면에서 보았을 때 측면상 'ㄷ' 형상으로 이루어진 툴 본체(200)와;

상기 영상인식수단(430)으로부터 전송된 리드프레임(10)의 위치정보와 사용자에 의해 설정된 반도체 리드프레임(10) 규격 정보에 따라 상기 x,y축 구동수단(210,220) 및 상기 하금형부 승하강 구동수단(230) 및 상금형부 및 하금형부의 프레스작동을 제어하는 제어수단(300)을 포함하여 구성되며;

상기 상금형부(400)에는 상기 제어수단에 의해 제어되어 승하강 프레스 작동되는 트림 펀치(410) 및 폼 펀치(420)가 구비되고 상기 하금형부(500)에는 트림 다이(420) 및 폼 다이(520)가 구비되어지되, 상기 트림 펀치(410) 및 상기 트림 다이(510)는 프레스 동작 1회에 1개씩 개별로 리드프레임(10)의 단위 댐바 커팅 및 단위 렝스 커팅을 행하는 단일 펀치 및 단일 다이의 구조로 된 것을 특징으로 한다.

여기에서, 상기 제어수단(300)은, 상기 x축 구동수단(210)이 미리 설정된 단위거리를 이동하면서 상기 트림 펀치(410)가 상기 단위거리마다 프레스 작동을 행하여 상기 댐바 커팅의 공정이 완료되면, 상기 렝스 커팅 공정시에서는 상기 턴테이블(100)의 세타축 회전이 서로 90도 차이나도록 상기 세타축 구동수단(110)을 회전시킨 후 상기 x축 구동수단(210)이 미리 설정된 단위거리를 이동하면서 상기 트림 펀치(410)가 상기 단위거리마다 프레스 작동을 하도록 제어함으로써 단위 렝스 커팅을 연속적으로 행하여 렝스 커팅 공정을 완료하도록 제어하는 것을 특징으로 한다.

이러한 프레스 동작은 종전과 같은 방식으로 유압실린더나 모터 캠 등의 제어에 의해 행해지는 동작으로서, 앞서 설명한 미리 프로그래밍된 좌표값에 따라 이동하며 연속하여 프레스 작동에 의하여 개별 댐바 커팅 및 개별 렝스 커팅을 행할 수 있음은 도 1과 비교되는 도 7에 의해서 이해될 것이다. 즉, 도 7은 종래의 펀치 도면인 도 1과 대비하기 위해 본 발명에 의한 트림 펀치를 개념적으로 보인 도면으로서, 트림펀치에는 펀치 날(이 한 개만 구비되어 1개의 단위 커팅만 행할 수 있도록 한 것이며, 본 발명은 1회 1개의 단위 커팅을 연속 다수회 행함으로써 리드프레임의 댐바 커팅 공정과 렝스 커팅 공정을 행할 수 있게 된다.

도면의 미설명부호 212,222는 툴 본체(200)의 X,Y축 이동을 위한 LM가이드이다.

또, 도면에서 하금형부 승하강 구동수단(230)은 그 구조가 명확히 나타나지 않았으나, 유압실린더 또는 모터에 의해 달성될 수 있음은 당업자라면 쉽게 알 수 있을 것이다.

이와 같은 장비의 구성과 작동원리를 갖는 본 발명의 작동과정을 리드프레임 고정과정에서부터 트림공정 및 폼 공정으로 이어지는 작업 수순에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 5 및 도 6a를 참조하면, 턴테이블 (100) 상의 지그(20)에 리드프레임(10)을 안착하고 지그 덮개(21)를 덮어 고정한 후 다음 장비의 공정 시작을 가동시키면 비젼, 즉 영상인식수단(430)에 의해 리드프레임(10)의 미리 정해진 기준점을 인식 후 PC제어에 따라 최초 공정을 행할 X축,Y축 좌표로 위치조정 후 하금형부 승강구동수단(230)이 작동하여 하금형부(500)가 상승하고, 이러한 상태가 완료되면 상금형부(400)의 트림 펀치(410)가 타발하면서 트림공정을 행하되 리드프레임(10)을 X,Y축 방향으로 이동해가면서 장비 몸체의 전후방향으로 펀치날(410a; 도 7 참조)을 갖는 트림 펀치(410)로 댐바 커팅을 행하게 된다. 물론 X축 방향 이동하면서 댐바 커팅 및 렝스 커팅이 기본이지만 댐바의 정해진 모양에 따라 X,Y축 방향이 함께 이동하면서 댐바 커팅 및 렝스 커팅이 행해질 수 있음은 물론이다.

이와같이 도 6a의 턴테이블 위치에서 댐바 커팅이 완료되면 하금형부는 하강한 후 턴테이블을 도 6b와 같이 평면상 반시계방향으로 90도 회전시킨 다음 리드프레임의 X,Y 좌표를 제 위치로 잡고 하금형부가 상승하여 트림다이로 받혀준 후 다시 상금형부의 트림펀치 타발에 의해 댐바의 렝스 커팅을 행하게 된다. 좀더 구체적으로, 본 발명의 트림 펀치의 날(410a)은 낱개로 커팅되는 세로방향(장비 정면에서 볼때 전후방향)의 단일 배치된 모양 상, 댐바의 렝스 커팅을 행하게 될 때는 턴테이블(100)이 평면상 도 6a로부터 도 6b로 위치되는 상태가 되어 트림 펀치(410)의 날(410a)에 의해 렝스 커팅을 행할 수 있게 되며, 렝스 커팅시에도 리드프레임(10)에 대해 x,y축 방향 툴 본체의 이동에 의해 트림 펀치(410), 트림 다이(510)가 이동하게 되므로 댐바들의 렝스 커팅을 개별적으로 연속하여 행한 후 하금형부(500)가 다운됨으로써 트림공정이 완료된다.

이와같이 트림공정이 완료되면 폼 공정을 위해 비젼으로 다시 리드프레임(10)의 기준점을 인식한 후 툴 본체(200)를 미리 입력된 위치로 이송하고 하금형부(500)를 상승시킨 다음 폼 펀치(420)를 프레스하여 리드프레임의 댐바를 절곡하는 폼 공정을 완료하게 된다.

한편, 본 발명의 장비는 도 6a 의 턴테이블(100)의 위치 상태에서의 댐바 커팅 공정 직후 도 6c 와 같이 턴테이블(100)을 180도 회전시킬 수 있는 구조로 됨으로써, 이를 제어수단에서 일련의 공정 수순으로 제어할 수 있도록 프로그램 처리하여 칩의 양측 댐바를 커팅함에 있어서 턴테이블(100)을 180도 회전시켜 자동화 공정으로 댐바 커팅을 행하게 할 수도 있다.

예를 들어 리드프레임의 댐바가 패키지바디와의 거리가 협소하여 하금형부의 다이모양에 따른 공간제약으로 인해 패키지바디를 넘어가서 댐바 커팅이 불가능한 경우가 발생될 수 있는데, 이러한 때에는 리드프레임을 180도 회전시켜 댐바 측을 툴 본체 방향에 두고 트림 펀치 및 다이에 의해 댐바 커팅하게 제어할 수 있게 되는 작용효과가 있게 된다. 이러한 경우 트림(댐바 커팅 후 렝스 커팅)과 폼의 연속공정 수순에서 턴테이블은 도 6a->도 6c-> 도 6b로 위치 제어되는 상태로 이어지게 된다.

도 7는 종래의 도면과 대비하기 위해 본 발명에 의한 트림 펀치를 보인 개념도로서, 펀치날이 단일 개로 한 개만 구비되어 1개의 단위 커팅만 행할 수 있도록 한 것이며, 본 발명은 1회 1개의 단위 커팅을 연속 다수 회 행함으로써 리드프레임의 댐바 커팅 공정과 렝스 커팅 공정을 행할 수 있게 하되, 단일 펀치날일지라도 렝스 커팅에 있어서는 댐바의 리드 폭 규격에 따라서는 1개 뿐 아니라 일회 두 개 이상의 렝스 커팅의 기능을 발휘하게 설계할 수도 있을 것이다.

Claims (4)

1. 반도체를 제조하기 위한 리드프레임(10)을 안착하기 위한 지그(20)와, 상기 지그(20)에 안착된 리드프레임(10)을 트림 및 폼 공정을 행할 부분이 노출되게 덮어 고정하는 지그 덮개(21)를 구비하며, 상기 리드프레임(10)을 이송하되 상기 고정된 리드프레임(10)의 세타축 회전 방향을 바꿀 수 있도록 세타축 구동수단(110)을 구비하는 턴테이블(100)과;
   상기 리드프레임(10)에 상금형부(400)와 하금형부(500)가 x축 및 y축 방향으로 위치 조정될 수 있도록 x축 구동수단(210) 및 y축 구동수단(220)을 구비하고, 상기 턴테이블(100)이 진입된 상태에서 상기 하금형부(500)를 상기 리드프레임(10)의 하부로 상승시키고 상기 턴테이블(100)의 이동시에는 상기 하금형부(500)를 하강시킬 수 있도록 하금형부 승하강 구동수단(230)을 구비하며, 상기 리드프레임(10)의 위치를 인식할 수 있도록 영상인식수단(430)을 구비하며, 상기 턴테이블(100)이 상기 상금형부(400)와 하금형부(500)의 사이의 공간으로 진입될 수 있도록 장비전체를 정면에서 보았을 때 측면상 'ㄷ' 형상으로 이루어진 툴 본체(200)와;
   상기 영상인식수단(430)으로부터 전송된 리드프레임(10)의 위치정보와 사용자에 의해 설정된 반도체 리드프레임(10) 규격 정보에 따라 상기 x,y축 구동수단(210,220) 및 상기 하금형부 승하강 구동수단(230) 및 상금형부 및 하금형부의 프레스작동을 제어하는 제어수단(300)을 포함하여 구성되며;
   상기 상금형부(400)에는 상기 제어수단에 의해 제어되어 승하강 프레스 작동되는 트림 펀치(410) 및 폼 펀치(420)가 구비되고 상기 하금형부(500)에는 트림 다이(420) 및 폼 다이(520)가 구비되어지되, 상기 트림 펀치(410) 및 상기 트림 다이(510)는 프레스 동작 1회에 1개씩 개별로 리드프레임(10)의 단위 댐바 커팅 및 단위 렝스 커팅(length cutting)을 행하는 단일 펀치 및 단일 다이의 구조로 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 유니버설 트림 폼 장비.
   
2. 제 1항에 있어서, 상기 제어수단(300)은, 상기 x축 구동수단(210)이 미리 설정된 단위거리를 이동하면서 상기 트림 펀치(410)가 상기 단위거리마다 프레스 작동을 행하여 상기 댐바 커팅의 공정이 완료되면, 상기 렝스 커팅 공정시에서는 상기 턴테이블(100)의 세타축 회전이 서로 90도 차이나도록 상기 세타축 구동수단(110)을 회전시킨 후 상기 x축 구동수단(210)이 미리 설정된 단위거리를 이동하면서 상기 트림 펀치(410)가 상기 단위거리마다 프레스 작동을 하도록 제어함으로써 단위 렝스 커팅을 연속적으로 행하여 렝스 커팅 공정을 완료하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 유니버설 트림 폼 장비.
   
3. 제 2 항에 있어서, 상기 y축 구동수단도 상기 x축 구동수단과 함께 동시에 이동하면서 상기 트림 펀치가 프레스 작동을 행하도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 유니버설 트림 폼 장비.
   
4. 제 2 항에 있어서, 상기 턴테이블(100)은 180도 회동되는 구조로 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 유니버설 트림 폼 장비.
   

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