KR101102230B1 - 촉매식 과불화 화합물 처리 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 공정 등에서 사용되는 과불화 화합물을 촉매 방식으로 처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명은 일정부피의 촉매가 충진된 촉매 반응기에 종방향(상부에서 하부로 또는 하부에서 상부로)으로 반응물을 통과시키는 종래의 촉매 반응기 대신 반응물을 촉매층의 횡방향으로 통과시킴으로써, 반응물과 접촉할 수 있는 촉매층의 면적을 최대화 할 수 있으며, 촉매층에 침적되는 입자상 물질의 양을 최소화할 수 있는 한편, 촉매 반응기의 형태를 카트리지 형태로 제작하여 반응기 본체로부터 쉽게 탈거하거나 장착할 수 있도록 함으로써, 촉매의 교체를 용이하게 할 수 있는 처리 장치 및 방법을 제공한다.
과불화 화합물, 입자상 물질, 폐가스, 촉매, 카트리지

Description

촉매식 과불화 화합물 처리 장치 및 방법{Catalyst type perfluoro compound treatment apparatus and method}
본 발명은 촉매식 과불화 화합물 처리 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 공정 등에서 사용되는 과불화 화합물을 촉매 방식으로 처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 과불화 화합물(Perfluoro compound;PFC)은 반도체 식각 공정의 에칭제(etchant) 및 화학증착 공정(chemical vapor deposition process)의 반응기(chamber) 세정제로 널리 쓰이는 가스이다.
그런데, 반도체 공정에 사용되는 PFC는 공정 중에 전량 소비되지 않기 때문에 미반응 가스가 잔류되는 경우가 많고, 이에 더하여 부차적으로 생성되는 가스가 발생되는 경우도 있으며, 심지어는 원료 가스가 그대로 진공 펌프에서 배출되는 경우도 있다.
이러한 용도의 PFC로는 CF4, CHF3, NF3, SF6 등이 사용될 수 있고, 더욱이 반도체 공정뿐만 아니라 종래에 사용되던 클로로-플루오로카본(chloro-fluorocarbon; CFC)을 대체하여 세정제, 에칭제, 용매, 반응원료 등의 목적으로 사용되는 공정 및 작업장에서 배출되는 폐가스에도 포함될 수 있다.
비록 PFC가 종래에 사용되던 CFC보다도 안전하고 안정한 물질이지만, 지구온난화 지수(global warming potential)가 이산화탄소 대비 수천∼수만 배로 매우 높다.
따라서, PFC를 대기 중으로 배출하는 것은 환경 보호를 위해 규제의 대상이 되고 있고, 앞으로도 그 규제가 더욱 강화될 전망이다.
반도체 공정이나 PFC를 다루는 공정 및 작업장에서 배출되는 폐가스에 포함된 PFC을 처리하기 위하여 직접 연소법, 플라즈마 분해법, 회수법, 촉매 분해법 등 여러 가지 제거방법들이 알려져 있으며, 각각의 기술마다 문제점을 갖고 있어 아직은 상업적 적용에 문제점이 따르고 있는 실정이다.
상기 직접 연소법은 PFC를 포함하는 폐가스를 가연성 가스를 이용해 1,400 ℃ 이상의 고온에서 직접 연소하는 방법으로서, 가장 간편한 PFC 처리방법 중의 하나다.
그러나, 반응온도가 높아 여러 가지 부가적인 문제점이 발생하는 바, 특히 폐가스 중에 PFC와 함께 포함되어 있는 질소와 산소가 반응하여 유해 물질인 질소산화물(thermal NOx)이 다량 생성될 뿐만 아니라, PFC 분해시 발생되는 HF에 의하 여 장치부식이 심하게 일어나 질소산화물 처리 및 장치의 유지보수를 위한 비용이 과다하게 소요되는 문제점이 있다.
상기 플라즈마 분해법은 PFC를 포함하는 폐가스를 플라즈마 영역을 통과시켜 분해제거하는 기술로서, PFC 분해에는 효과적이나 높은 에너지 상태의 플라즈마를 사용하기 때문에 PFC의 무차별 분해에 의해 생성된 유리기(radical)들의 이차 반응으로 다양한 종류의 부산물이 생성되는 문제점이 있다.
또한, 플라즈마를 안정적으로 장시간 발생시키기 위한 플라즈마 발생장치의 내구성 및 경제성에 있어서도 문제점이 있다.
상기 회수법은 폐가스에 포함된 PFC 성분을 PSA(pressure swing adsorption) 또는 분리막(membrane) 등을 사용하여 분리한 다음 회수하는 방법으로서, PFC의 재활용이 가능하다는 측면에서 바람직하지만, 반도체 공정에서와 같이 불규칙적으로 소량 배출되는 PFC를 처리하는 경우에 있어서는 경제성이 낮은 방법이다.
상기 촉매 분해법은 촉매 및 수증기를 사용하여 PFC 분해가 500∼800℃의 저온에서 일어나게 유도함으로써 질소산화물의 발생 및 장치 부식을 크게 낮출 수 있기 때문에 직접 분해법 및 플라즈마 분해법의 대안으로 널리 연구되어 왔다.
그러나, 500∼800℃의 운전조건은 촉매가 물리적 또는 화학적인 변화 없이 장시간 활성을 유지하기에는 여전히 높은 온도조건으로서 촉매의 내구성을 확보하는 것이 가장 큰 걸림돌이 되고 있다.
즉, 부산물로 생성되는 HF와 수증기가 동시에 존재하는 500∼800℃의 반응 분위기에서 지속적으로 내구성을 갖는 촉매개발이 상업화의 관건이 되고 있으며, 이 때문에 PFC 분해용 촉매의 개발은 최근까지도 계속되고 있다.
또한, 상기 촉매 분해법은 촉매식 스크러버가 사용되는데, 여기서 촉매식 스크러버가 처리하는 PFC 폐가스는 다량의 입자상 물질을 포함하고 있고, 폐가스와 함께 유입되는 입자상 물질이 촉매식 스크러버에 침적함으로써, PFC 스크러버가 막히거나 촉매성능이 저하되는 문제점이 있다.
이와 같이, 입자상 물질에 대한 저항성이 낮은 PFC 스크러버의 문제점을 극복하고자 한국공개특허 1999-0045278호에서는 촉매를 보호하기 위해 촉매층 전단에 물 또는 알칼리수를 이용한 습식 세정장치를 설치하여 입자상 물질을 제거하는 방법을 개시하였다.
그러나, 상기 습식 세정장치를 사용하는 경우 통상 크기의 입자상 물질 제거에는 크게 효과가 있으나, 마이크론 이하의 미세한 입자상 물질의 제거에는 한계가 있어 촉매를 완벽히 보호하기에는 어려운 문제점이 있다.
또한, 일본특개 2005-319401 및 일본특개 2005-185933에서는 PFC 분해용 촉매 반응기에 입자상 물질이 유입되는 것을 방지하기 위해 촉매 반응기 전단에 입자상 물질을 생성하는 성분을 고형화할 수 있는 장치를 설치하여 촉매를 보호하는 방법을 개시하였다.
하지만, 상기 방법은 고형화 장치가 복잡하고, 설치공간을 많이 차지하여 설치장소의 제약이 있는 소형의 PFC 스크러버에 적용하기에는 어려운 문제점이 있다.
따라서, 본 발명에서는 장치의 복잡성 및 공간의 제약을 최소화하기 위하여 촉매 반응기의 전단의 전처리 설비를 설치하는 대신 촉매 반응기 자체를 개선하여 입자상 물질이 촉매층에 축적되는 것을 최소화하고자 하였다.
즉, 본 발명은 일정부피의 촉매가 충진된 촉매 반응기에 종방향(상부에서 하부로 또는 하부에서 상부로)으로 반응물을 통과시키는 종래의 촉매 반응기 대신 반응물을 촉매층의 횡방향으로 통과시킴으로써, 반응물과 접촉할 수 있는 촉매층의 면적을 최대화 할 수 있으며, 촉매층에 침적되는 입자상 물질의 양을 최소화할 수 있는 처리 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 촉매 반응기의 형태를 카트리지 형태로 제작하여 반응기 본체로부터 쉽게 탈거하거나 장착할 수 있도록 함으로써, 촉매의 교체를 용이하게 할 수 있는 처리 장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서 제공하는 처리 장치는 폐가스 유입을 위한 폐가스 도입부, 폐가스 예열을 위한 예열부, 폐가스 속의 PFC와 촉매 간의 반응을 통해 PFC를 분해하는 반응부, PFC 분해를 돕기 위해 반응부에 수증기를 공급하는 수증기 공급부, 반응부에서 배출되는 폐가스를 냉각시키는 냉각부, 냉각된 폐가스에서 부식성 가스를 제거하는 가스 처리부, 폐가스에서 수분을 제거하는 수분 제거부 등을 포함하는 한편, 특히 상기 반응부는 반응부 본체와 이 반응부 본체의 내부 중심에 동심원상으로 설치되는 촉매 반응기로 이루어지며, 상기 촉매 반응기는 중앙에 하방으로 통하는 공간부를 형성하면서 일정간격을 두고 내외측으로 조합되는 원통형의 타공망 형태로 이루어진 내부틀 및 외부틀과, 상기 내부틀과 외부틀 사이에 조성된 내부 공간에 채워져 PFC를 분해하는 촉매층으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 내부틀, 외부틀 및 촉매층을 포함하는 촉매 반응기는 카트리지 형태로 제작하여 교체시 반응부 몸체로부터 용이하게 탈부착할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서 제공하는 처리 방법은 도입부를 통해 접선방향으로 유입되는 폐가스를 예열하는 단계와, 예열을 마친 후 반응부로 이동되는 폐가스를 그 휘감아 도는 흐름을 이용하여 촉매 반응기의 횡방향으로 균일하게 분산시켜 촉매 반응기 내부의 촉매층 속으로 유입되도록 하는 단계와, 촉매층에 전달된 폐가스의 PFC를 촉매와의 반응을 통해 분해되도록 한 후에 촉매 반응기의 내부틀 중앙의 공간부를 통해 반응부 외부로 배출하는 단계와, 상기 반응부에서 배출되는 폐가스를 냉각부에서 냉각시키는 단계와, 냉각된 폐가스를 가스 처리부에서 폐가스에 포함되어 있는 부식성 가스를 제거하는 단계와, 부식성 가스 제거 후 수분 제거부에서 폐가스 속의 수분을 제거한 후에 덕트 배관을 통해 외부로 배출하는 단계로 이루어짐으로써, 유해가스를 처리함에 있어 동시에 유입되는 입자상 물질에 대한 저항성을 높이고, 압력 손실을 최소화하고, 촉매 교체주기를 향상시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 제공하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치 및 방법은 다음과 같은 장점이 있다.
촉매 반응기에 유입되는 입자상 물질을 함유하는 과불화 화합물과 촉매층 간의 접촉을 종방향에서 접촉면적이 넓은 횡방향으로 변경시킴으로써, ①입자상 물질이 촉매층에 침적되는 것을 최소화할 수 있고, ②촉매층에서의 압력손실을 최소화할 수 있고, ③촉매 사용주기를 향상시킬 수 있고, ④반응장치의 열효율 및 촉매효율을 향상시킬 수 있고, ⑤카트리지 형태로 촉매층을 형성함에 따라 촉매의 교체를 용이하게 할 수 있고, ⑥습식 세정기와 같은 전처리 장치를 설치할 필요가 없기 때문에 설치공간을 최소화할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 처리 장치의 전체 레이아웃을 나타내는 사시도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 상기 처리 장치는 촉매 방식으로 폐가스 속에 포함되어 있는 PFC를 처리하는 장치로서, 공정에서 발생된 폐가스를 장치 내부로 유입하는 부분인 폐가스 도입부(20)와, 반응 향상을 위해 폐가스를 예열하는 부분인 예열부(30)와, 폐가스 속의 PFC와 촉매 간의 반응을 이용하여 PFC를 실질적으로 분해하는 부분인 반응부(10)와, PFC 분해를 돕기 위해 반응부에 수증기를 공급하는 부분인 수증기 공급부(40)와, 반응 처리를 마치고 배출되는 폐가스를 냉각시키는 냉각부(50)와, 냉각된 폐가스에서 부식성 가스를 제거하는 가스 처리부(60)와, 폐가스에서 수분을 제거하는 수분 제거부(70) 등을 포함하는 구조로 이루어져 있다.
이에 따라, 상기 도입부(20)를 통해 장치 내부로 유입되는 폐가스는 예열부(30)→반응부(10)→냉각부(50)→가스 처리부(60)→수분 제거부(70)를 경유하는 흐름을 보이면서 외부로 최종 배출된다.
여기서, 상기 예열부(30)와 냉각부(50)는 보통의 예열수단이나 냉각수단을 적용할 수 있으며, 당해 분야에서 통상적으로 사용하는 방법이라면 특별히 제한되지 않고 채택될 수 있다.
특히, 상기 폐가스 도입부(20)는 원통형으로 이루어진 반응부 본체(10)의 접전방향을 따라 형성되어(실질적으로는 예열부의 접선방향으로 연결 설치되어) 유입되는 폐가스가 반응부 본체(10)의 내부에 설치되어 있는 촉매 반응기(12)의 둘레를 휘감아 돌 수 있도록 되어 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 처리 장치에서 도입부, 예열부, 반응부 및 냉각부를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 처리 장치에서 반응부에 설치되는 촉매 반응기의 여러 형태를 나타내는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 처리 장치에서 촉매 반응기를 나타내는 단면도이다.
도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명에서는 반응부(10)에 포함되는 촉매 반응기(12)의 구조를 개선하여 폐가스가 접촉면적이 넓은 촉매층(17)의 횡방향, 예를 들면 촉매 반응기(12)의 둘레 측면방향으로 유입되도록 함으로써, 촉매층(17)에 축적되는 입자상 물질의 양을 최소화할 수 있다.
이를 위하여, 상기 반응부(10)는 원통형의 반응부 본체(11)와 직경이 다른 2개의 원통형 부재, 예를 들면 내부틀(14)과 외부틀(15)을 동심원상으로 배치한 후에 바닥판으로 연결 조합시킨 촉매 반응기(12)로 구성되고, 이때의 내부틀(14)과 외부틀(15) 간에 조성되는 내부 공간(16)은 촉매로 채워져 있는 촉매층(17)이 형성되며, 내부틀(14)의 중심쪽 공간은 폐가스가 흐를 수 있는 공간부(13)로 조성된다.
상기 외부틀(15) 및 내부틀(14)은 내부식성 및 열적 부식에 강한 재질로 이루어져 있어서 폐가스에 포함된 부식성 가스로부터 보호될 수 있고, 다공성 재질 또는 망 재질로 이루어 있어서 폐가스는 외부틀(15)과 내부틀(14)을 통과할 수 있도록 되어 있다.
이때, 상기 외부틀(15)과 내부틀(14)의 타공 크기는 폐가스는 통과할 수 있고, 내부 공간(16)에 채워진 촉매는 통과하지 못하도록 하는 크기로 형성하여 촉매물질이 촉매 반응기(12)의 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
이러한 촉매 반응기(12)는 하단부의 플랜지(19)를 이용하여 반응기 본체(11)의 하단부에 체결구조로 결합되므로서, 촉매 반응기(12)와 반응기 본체(11)는 일체식으로 조립될 수 있다.
상기 내부틀(14)의 경우 상하단 직경이 같은 원통형, 상단에서 하단으로 갈 수록 직경이 커지는 원통형, 상단에서 하단으로 갈수록 직경이 작아지는 원통형 등으로 이루어질 수 있다.
상기 촉매층(17)은 내부틀(14)과 외부틀(15) 사이에 조성되는 내부 공간(16)에 충진되며, 이에 따라 촉매층(17)를 둘러싼 외부틀(15)의 외측으로부터 폐가스가 촉매층(17)으로 유입되고, 촉매층(17)으로 유입된 폐가스는 촉매층(17)으로 둘러싸인 내부틀(14)의 중심쪽 공간부(13)를 통해 냉각부(50)로 이동된다.
여기서, 상기 촉매층은 알루미늄 산화물, 알루미늄 산화물에 전이물을 첨가한 알루미늄 복합 산화물 또는 금속성분을 첨가한 복합 인산염으로 이루어지는 것이 가능하고, 이에 대한 선택은 PFC의 종류, 폐가스의 PFC 함유 농도, 촉매의 구매비용 대비 효율성 등을 고려하여 결정하게 된다.
또한, 상기 촉매 반응기(12)의 경우, 내부틀(14)과 외부틀(15)의 상부는 둘 다 마개(18)로 마감되거나, 또는 둘 중 어느 하나에만 마개(18)로 마감된다.
예를 들면, 상기 외부틀(15)의 상부에 마개(18)가 설치되어 외부틀(15)의 상부가 마감되므로서, 반응부(10)로 유입된 폐가스가 촉매층(17)에 종방향으로 유입되는 것을 차단하게 되고, 이에 따라 상기 폐가스는 외부틀(15)의 외측방향에서 흘러 들어와 촉매층(17)에 횡방향으로 유입됨으로써, 폐가스의 PFC가 촉매층(17)과 반응하는 면적을 극대화시킬 수 있다.
이때, 상기 마개(18)는 외부틀(15)과의 여유 공간없이 장착되도록 원형판으로 형성되거나, 외부틀(15)과의 여유 공간을 둔 상태로 장착되도록 원뿔형으로 형성될 수 있는 바, 이러한 마개(18)는 외부틀(15)의 상부를 밀봉하는 역할을 제공하 는 한 그 형상은 한정되지 않는다.
다른 예로서, 상기 마개(18)를 장착하지 않은 상태로 촉매 반응기(12)를 설치하는 경우, 폐가스는 외부틀(15)의 횡방향 뿐만 아니라 종방향으로도 유입되어 촉매층(17)로 유입되는 폐가스량이 증가하게 되고, 이에 따라 촉매층(17)의 PFC 분해량도 증가하게 된다.
다만, 이러한 실시예는 마개(18)를 장착하여 폐가스를 촉매층(17)에 횡방향으로만 통과시키는 실시예보다 입자상 물질의 축적량이 증가하는 단점이 있다.
따라서, 반도체 공정에서 발생하는 PFC의 발생량, 발생속도, 종류 및 폐가스에 대한 입자상 물질의 포함량 등을 고려하여 외부틀(15)에 대한 마개(18)의 장착여부를 결정하게 된다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 처리 장치에서 카트리지 형태의 촉매 반응기가 장착 및 탈거되는 형태를 도시한 사시도로서, 반응부(10)를 구성하는 반응부 본체(11)와 촉매 반응기(12)가 쉽게 조립 및 분리가 가능함을 보여주고 있다.
도시된 바와 같이, 촉매 반응기(12)는 반응부 본체(11)의 중앙에서 내부로 삽입된 뒤 볼트로 체결되어 조립될 수 있으며, 반대로 볼트를 풀어준 뒤 촉매 반응기(12)를 반응부 본체(11)에서 빼내주면 쉽게 탈거가 가능하다.
이와 같이 본 발명의 반응부(10)에서는 카트리지 형태의 촉매 반응기(12)를 반응부 본체(11)에 쉽게 장착할 수 있고, 또한 촉매 반응기(12)를 반응부 본체(11)에서 쉽게 탈거할 수 있는 바, 교체를 위한 촉매 반응기(12)의 착탈이 매우 용이하다는 장점이 있게 된다.
한편, 촉매 반응기(12)에서 내부틀(14)의 직경(D2)과 외부틀(15)의 직경(D1)의 비율(D1/D2) 및 외부틀(15)의 직경(D1)과 촉매 반응기(12)의 높이(H)의 비율(H/D1)(Aspect ratio, 이하 에스펙트비라 함)은 촉매 반응기(12)의 효율성에 영향을 미치게 된다.
따라서, 촉매 반응기(12)의 효율성을 높이기 위한 직경 비율(D1/D2) 및 에스펙트비(H/D1)의 설계가 중요한데, 우선 촉매 반응기(12)의 에스펙트비(H/D1)는 1 이상 10 이하인 것이 바람직하다.
또한 촉매 반응기(12)의 직경 비율, 즉 내부틀(14)의 직경(D2)과 외부틀(15)의 직경(D1)의 비율(D1/D2)은 1.2 이상 10 이하인 것이 바람직하다.
더욱 바람직하게는, 상기 촉매 반응기(12)의 에스펙트비가 2이고, 상기 직경 비율(D1/D2)은 2.5 이상 10 이하로 할 수 있다.
또는 상기 촉매 반응기(12)의 에스펙트비가 1 이상 4 이하이고, 상기 직경 비율(D1/D2)은 10로 할 수 있다.
이하, 첨부한 도면과 표를 이용하여 외부틀과 내부틀의 직경 비율(D1/D2) 및 외부틀 직경과 촉매 반응기 높이의 비율, 즉 에스펙트비(H/D1)에 따른 촉매 반응기의 효율성을 비교하기로 한다.
첨부한 도 6은 외곽틀과 내부틀의 직경 비율에 따른 압력 그래프이고, 도 7 은 외곽틀 직경과 촉매 반응기 높이의 비율(에스펙트비)에 따른 압력 그래프이다.
하기의 비교예 및 실시예의 조건은 촉매 반응기(12)로 유입되는 폐가스의 총유량은 100 L/min, 입자상 물질의 종류는 SiH4로 그 유량은 1 L/min, PFC 가스는 CF4로 그 유량은 0.5 L/min 이고, 촉매층(17)의 반응온도는 섭씨 750도이다.
Figure 112009009174093-pat00001
상기 표 1은 이하에서 설명되는 비교예 및 촉매 반응기의 직경 및 높이에 따른 각 실시예의 특성을 나타낸 것이다.
<비교예>
폐가스가 촉매층(17)에 종방향으로 유입되는 종래 촉매 반응기(12)를 이용하여 시험한 결과, 1)촉매층(17)에서 초기에 발생되는 압력손실은 100 mmH2O였고, 2)입자상 물질을 유입시키기 전의 촉매식 반응기의 입구 압력은 대기압보다 -100 mmH2O가 낮도록 하였으며, 입자상 물질이 유입된 후 65분이 경과한 후에는 0 mmH2O로 증가되었고, 3)PFC는 유입농도 4,985ppm으로부터 99%의 제거 효율을 나타내었다.
<실시예1>
- 본 발명에 따른 촉매 반응기(12)의 외부틀 직경(D1) 및 내부틀 직경(D2)의 비율(D1/D2)이 2.5인 경우,
1) 촉매층(17)에서 초기에 발생되는 압력손실은 50 mmH2O였고, 2) 입자상 물질을 유입하기 전의 촉매식 반응기(12)의 입구 압력은 대기압보다 -100 mmH2O가 낮도록 하였으며, 입자상 물질이 유입된 후 326분이 경과한 후에는 0 mmH2O로 증가되었는 바, 비교예의 촉매 반응기 운전시간보다 5배 이상 향상되었으며, 3) PFC는 유입농도 4,985ppm으로부터 90%의 제거 효율을 나타내었다.
<실시예2>
- 본 발명에 따른 촉매 반응기(12)의 외부틀 직경(D1) 및 내부틀 직경(D2)의 비율(D1/D2)이 5인 경우,
1) 촉매층(17)에서 초기에 발생되는 압력손실은 60 mmH2O였고, 2) 입자상 물질을 유입하기 전의 촉매식 반응기(12)의 입구 압력은 대기압보다 -100 mmH2O가 낮도록 하였으며, 입자상 물질이 유입된 후 287분이 경과한 후에는 0 mmH2O로 증가되었는 바, 비교예의 촉매 반응기 운전시간보다 4.4배 이상 향상되었으며, 3) PFC는 유입농도 4,985ppm으로부터 97%의 제거 효율을 나타내었다.
<실시예3>
본 발명에 따른 촉매 반응기(12)의 외부틀 직경(D1) 및 내부틀 직경(D2)의 비율(D1/D2)이 10인 경우,
1) 촉매층(17)에서 초기에 발생되는 압력손실은 80 mmH2O였으며, 2) 입자상 물질을 유입하기 전의 촉매식 반응기(12)의 입구 압력은 대기압보다 -100 mmH2O가 낮도록 하였으며, 입자상 물질이 유입된 후 257분이 경과한 후에는 0 mmH2O로 증가되었는 바, 비교예의 촉매 반응기 운전시간보다 3.9배 이상 향상되었으며, 3) PFC는 유입농도 4,985ppm으로부터 99%의 제거 효율을 나타내었다.
여기서, 상기 실시예 1 내지 3은 촉매 반응기(12)의 높이(H) 및 외부틀(15) 직경(D1)의 비율(에스펙트비)(H/D1)이 2인 조건으로 시험되었다.
<실시예4>
본 발명에 따른 촉매 반응기(12)의 높이(H) 및 외부틀(15)의 직경(D1)의 비율(H/D1)이 1인 경우,
1) 촉매층(17)에서 초기에 발생되는 압력손실은 90 mmH2O였고, 2) 입자상 물질을 유입하기 전의 촉매 반응기(12)의 입구 압력은 대기압보다 -100 mmH2O가 낮도록 하였으며, 입자상 물질이 유입된 후 125분이 경과한 후에는 0 mmH2O로 증가되었고, 3) PFC는 유입농도 4,985ppm으로부터 70%의 제거 효율을 나타내었다.
<실시예5>
본 발명에 따른 촉매 반응기(12)의 높이(H) 및 외부틀(15)의 직경(D1)의 비율(H/D1)이 2인 경우,
1) 촉매층(17)에서 초기에 발생되는 압력손실은 80 mmH2O였고, 2) 입자상 물질을 유입하기 전의 촉매 반응기(12)의 입구 압력은 대기압보다 -100 mmH2O가 낮도록 하였으며, 입자상 물질이 유입된 후 257분이 경과한 후에는 0 mmH2O로 증가되었고, 3) PFC는 유입농도 4,985ppm으로부터 99%의 제거 효율을 나타내었다.
<실시예6>
본 발명에 따른 촉매 반응기(12)의 높이(H) 및 외부틀(15)의 직경(D1)의 비율(H/D1)이 4인 경우,
1) 촉매층(17)에서 초기에 발생되는 압력손실은 50 mmH2O였고, 2) 입자상 물질을 유입하기 전의 촉매 반응기(12)의 입구 압력은 대기압보다 -100 mmH2O가 낮도록 하였으며, 입자상 물질이 유입된 후 597분이 경과한 후에는 0 mmH2O로 증가되었고, 3) PFC는 유입농도 4,985ppm으로부터 99%의 제거 효율을 나타내었다.
이때, 상기 실시예 4 내지 6은 촉매 반응기(12)의 외부틀 직경(D1) 및 내부틀 직경(D2)의 비율(D1/D2)이 10인 조건으로 시험되었다.
이와 같이, 상기 실시예1 내지 실시예6에 따른 촉매 반응기(12)의 압력손실은 비교예에 따른 촉매 반응기(12)의 압력손실(100 mmH2O)보다 낮게 나타났고, 입자상 물질의 유입시 촉매 반응기의 입구의 압력이 -100 mmH2O에서 0 mmH2O로 변화될 때까지의 운전시간은 실시예에 따른 촉매 반응기(12)가 비교예보다 대략 2 ~ 5 배이상 향상되었으며, 실시예에 따른 촉매 반응기(12)의 PFC 제거효율은 비교예와 유사하게 나타났다.
여기서, 촉매 반응기의 입구 압력은 대기압에 대한 상대적인 압력을 의미하는 바, 입구 압력이 -100 mmH2O인 것은 촉매 반응기의 입구 압력이 대기압보다 100 mmH2O만큼 낮다는 것을 나타낸다.
따라서, 촉매 반응기의 입구 압력이 100 mmH2O만큼 변화할 때까지의 촉매 반응기 운전시간이 증가하는 것은 촉매 반응기에 단위부피당 축적될 수 있는 입자상 물질의 양이 증가함을 의미한다.
결국, 본 발명의 실시예에 따른 촉매 반응기(12)는 상기 범위를 고려하여 설계되는 경우 촉매층(17)의 압력손실을 줄이고, 촉매 반응기(12)의 운전시간을 증가시키면서, PFC의 제거효율을 종래와 동일한 수준으로 유지하게 된다.
다만, 본 발명에 따른 촉매 반응기(12)의 직경 및 높이는 상기 실시예에 한정되지 않고, PFC의 종류, 폐가스의 PFC 함유 농도, 폐가스의 유량, PFC의 유량 및 반응온도 등에 따라 변형되는 것이 가능하다.
이하, 본 발명에 따른 촉매 반응기(12)를 이용한 촉매식 과불화 화합물 처리 방법을 설명하기로 한다.
우선, 도입부(20)를 통해 유입된 폐가스는 예열부(30)에 의해 가열되고, 예열부(30)에 의해 가열된 폐가스는 반응부(10)로 이동한다.
다음으로, 반응부(10)로 유입된 폐가스는 도 3에 도시된 바와 같이 마개(18)가 장착된 촉매 반응기(12)의 상부로 유입되지 않고, 상기 촉매 반응기(12)의 외측방향에서 횡방향으로 균일하게 분산 유입되어 촉매 반응기(12)의 외부틀(15) 및 내부틀(14) 사이에 충진된 촉매층(17)에 전달된다.
상기 촉매층(17)에 전달된 폐가스의 PFC는 촉매물질과 반응하여 제거되고, PFC가 제거된 폐가스는 촉매 반응기(12)의 내부틀(14) 중앙공간을 통해 반응부(10)로부터 배출되어 냉각부(50)에서 냉각공정을 거치게 된다.
이후, 냉각공정을 거친 폐가스는 가스처리부(60)에 의해 폐가스에 포함된 부식성 가스가 제거되고, 수분제거부(70)에 의해 폐가스의 수분이 제거된 후 덕트 배관을 통해 외부로 배출된다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 않으며, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 실시할 수 있는 다양한 형태의 실시예들을 모두 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 처리 장치의 전체 레이아웃을 나타내는 사시도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 처리 장치에서 도입부, 예열부, 반응부 및 냉각부를 나타내는 사시도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 처리 장치에서 반응부에 설치되는 촉매 반응기의 여러 형태를 나타내는 사시도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 처리 장치에서 촉매 반응기를 나타내는 단면도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 처리 장치에서 카트리지 형태의 촉매 반응기를 장착 및 탈거하는 형태를 나타내는 사시도,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 처리 방법에서 촉매 반응기의 내부틀 직경과 외부틀 직경의 비율에 따른 압력 그래프,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 처리 방법에서 촉매 반응기의 에스펙트비에 따른 압력 그래프.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 반응부 11 : 반응부 본체
12 : 촉매 반응기 13 : 공간부
14 : 내부틀 15 : 외부틀
16 : 내부 공간 17 : 촉매층
18 : 마개 19 : 플랜지
20 : 도입부 30 : 예열부
40 : 수중기 공급부 50 : 냉각부
60 : 가스 처리부 70 : 수분 제거부

Claims (10)

  1. 폐가스 유입을 위한 폐가스 도입부(20)와, 폐가스 예열을 위한 예열부(30)와, 폐가스 속의 PFC와 촉매 간의 반응을 통해 PFC를 분해하는 반응부(10)와, PFC 분해를 돕기 위해 반응부에 수증기를 공급하는 수증기 공급부(40)와, 반응부에서 배출되는 폐가스를 냉각시키는 냉각부(50)와, 냉각된 폐가스에서 부식성 가스를 제거하는 가스 처리부(60)와, 폐가스에서 수분을 제거하는 수분 제거부(70)를 포함하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치에 있어서,
    상기 반응부(10)는 반응부 본체(11)와 이 반응부 본체(11)의 내부 중심에 동심원상으로 설치되는 촉매 반응기(12)로 이루어지며, 상기 촉매 반응기(12)는 중앙에 하방으로 통하는 공간부(13)를 형성하면서 일정간격을 두고 내외측으로 조합되는 원통형의 타공망 형태로 이루어진 내부틀(14) 및 외부틀(15)과, 상기 내부틀(14)과 외부틀(15) 사이에 조성된 내부 공간(16)에 채워져 PFC를 분해하는 촉매층(17)으로 구성되되,
    상기 촉매 반응기(12)의 에스펙트비는 2이고, 내부틀(14)의 직경(D2)과 외부틀(15)의 직경(D1)의 비율(D1/D2)은 2.5 이상 10 이하인 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 내부틀(14), 외부틀(15) 및 촉매층(17)을 포함하는 촉매 반응기(12)는 카트리지 형태로 이루어져 반응부 몸체(11)로부터 용이하게 탈부착이 가능하도록 된 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 촉매 반응기(12)의 내부틀(14)과 외부틀(15)의 상부는 둘 다 마개(18)로 마감되거나, 또는 둘 중 어느 하나에만 마개(18)로 마감되는 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 촉매 반응기(12)의 내부틀(14)은 상단부에서 하단부로 갈수록 직경이 작아지거나, 또는 상단부에서 하단부로 갈수록 직경이 커지는 형태의 원통형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치.
  5. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 폐가스 도입부(20)는 원통형으로 이루어진 반응부 본체(10)의 접선방향을 따라 형성되어 유입되는 폐가스가 반응부 본체(10)의 내부에 설치되어 있는 촉매 반응기(12)의 둘레를 휘감아 돌 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치.
  6. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 촉매 반응기(12)의 에스펙트비는 1 이상 10 이하인 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치.
  7. 폐가스 유입을 위한 폐가스 도입부(20)와, 폐가스 예열을 위한 예열부(30)와, 폐가스 속의 PFC와 촉매 간의 반응을 통해 PFC를 분해하는 반응부(10)와, PFC 분해를 돕기 위해 반응부에 수증기를 공급하는 수증기 공급부(40)와, 반응부에서 배출되는 폐가스를 냉각시키는 냉각부(50)와, 냉각된 폐가스에서 부식성 가스를 제거하는 가스 처리부(60)와, 폐가스에서 수분을 제거하는 수분 제거부(70)를 포함하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치에 있어서,
    상기 반응부(10)는 반응부 본체(11)와 이 반응부 본체(11)의 내부 중심에 동심원상으로 설치되는 촉매 반응기(12)로 이루어지며, 상기 촉매 반응기(12)는 중앙에 하방으로 통하는 공간부(13)를 형성하면서 일정간격을 두고 내외측으로 조합되는 원통형의 타공망 형태로 이루어진 내부틀(14) 및 외부틀(15)과, 상기 내부틀(14)과 외부틀(15) 사이에 조성된 내부 공간(16)에 채워져 PFC를 분해하는 촉매층(17)으로 구성되되,
    상기 촉매 반응기(12)의 내부틀(14)의 직경(D2)과 외부틀(15)의 직경(D1)의 비율(D1/D2)은 1.2 이상 10 이하인 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치.
  8. 삭제
  9. 폐가스 유입을 위한 폐가스 도입부(20)와, 폐가스 예열을 위한 예열부(30)와, 폐가스 속의 PFC와 촉매 간의 반응을 통해 PFC를 분해하는 반응부(10)와, PFC 분해를 돕기 위해 반응부에 수증기를 공급하는 수증기 공급부(40)와, 반응부에서 배출되는 폐가스를 냉각시키는 냉각부(50)와, 냉각된 폐가스에서 부식성 가스를 제거하는 가스 처리부(60)와, 폐가스에서 수분을 제거하는 수분 제거부(70)를 포함하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치에 있어서,
    상기 반응부(10)는 반응부 본체(11)와 이 반응부 본체(11)의 내부 중심에 동심원상으로 설치되는 촉매 반응기(12)로 이루어지며, 상기 촉매 반응기(12)는 중앙에 하방으로 통하는 공간부(13)를 형성하면서 일정간격을 두고 내외측으로 조합되는 원통형의 타공망 형태로 이루어진 내부틀(14) 및 외부틀(15)과, 상기 내부틀(14)과 외부틀(15) 사이에 조성된 내부 공간(16)에 채워져 PFC를 분해하는 촉매층(17)으로 구성되되,
    상기 촉매 반응기(12)의 에스펙트비는 1 이상 4 이하이고, 내부틀(14)의 직경(D2)과 외부틀(15)의 직경(D1)의 비율(D1/D2)은 10인 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 장치.
  10. 도입부를 통해 접선방향으로 유입되는 폐가스를 예열하는 단계;
    예열을 마친 후 반응부로 이동되는 폐가스를 그 휘감아 도는 흐름을 이용하여 촉매 반응기의 횡방향으로 균일하게 분산시켜 촉매 반응기 내부의 촉매층 속으로 유입되도록 하는 단계;
    촉매층에 전달된 폐가스의 PFC를 촉매와의 반응을 통해 분해되도록 한 후에 촉매 반응기의 내부틀 중앙의 공간부를 통해 반응부 외부로 배출하는 단계;
    상기 반응부에서 배출되는 폐가스를 냉각부에서 냉각시키는 단계;
    냉각된 폐가스를 가스 처리부에서 폐가스에 포함되어 있는 부식성 가스를 제거하는 단계;
    부식성 가스 제거 후 수분 제거부에서 폐가스 속의 수분을 제거한 후에 덕트 배관을 통해 외부로 배출하는 단계;
    를 포함하며, 상기 촉매 반응기는 에스펙트비가 2이고, 내부틀의 직경(D2)과 외부틀의 직경(D1)의 비율(D1/D2)이 2.5 이상 10 이하인 촉매 반응기를 사용하는 것을 특징으로 하는 촉매식 과불화 화합물 처리 방법.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2003305337A (ja) 2002-04-12 2003-10-28 Hitachi Ltd Ｐｆｃガスの処理装置
KR100766749B1 (ko) 2006-08-16 2007-10-12 주식회사 에코프로 과불화화합물 가스를 포함하는 대용량 배기가스 처리방법및 그 처리장치
KR20070105461A (ko) * 2006-04-26 2007-10-31 주식회사 카엘 케미컬 필터 및 이를 포함하는 공기정화장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001224924A (ja) * 1997-11-14 2001-08-21 Hitachi Ltd 過弗化物の分解処理装置
JP2003305337A (ja) 2002-04-12 2003-10-28 Hitachi Ltd Ｐｆｃガスの処理装置
KR20070105461A (ko) * 2006-04-26 2007-10-31 주식회사 카엘 케미컬 필터 및 이를 포함하는 공기정화장치
KR100766749B1 (ko) 2006-08-16 2007-10-12 주식회사 에코프로 과불화화합물 가스를 포함하는 대용량 배기가스 처리방법및 그 처리장치

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