KR101099663B1 - 전기적 특성을 측정하기 위한 센서 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따르면, 전력 전송선이 삽입되는 원형의 관통홀이 형성된 인쇄회로기판, 전력 전송선에 형성된 전압을 측정하기 위해 관통홀의 내주면을 따라 밀착되어 고정되는 링 형상의 전극(Electrode)과, 일단이 전극의 일측과 접하고, 타단이 인쇄회로기판의 일측으로 노출되는 제1 단자부를 구비한 전압 센서 및 유도 전류에 의해 전력 전송선에 흐르는 전류를 측정하기 위해 스프링처럼 감기면서 관통홀의 외측 가장자리를 따라 평면상 도우넛 형상을 이루도록 휘어져, 인쇄회로기판에 적어도 일부가 매립되도록 배치되는 픽업 코일(Pick up coil)과, 픽업 코일의 양단에서 연장되어 인쇄회로기판의 일측으로 노출되는 제2 단자부를 구비한 전류 센서를 포함하는 전기적 특성을 측정하기 위한 센서가 제공된다. 이러한 본 발명에 따르면, 인쇄회로기판에 전극과 픽업 코일을 일체화하여 형성하기 때문에 균일한 품질을 가질 수 있고, 전력 전송선의 전기적 특성을 매우 정밀하게 측정할 수 있으며, 전력 전송선을 중심으로 그 주변에 전류 센서와 전압 센서를 배치하기 때문에 전력 전송선 내부의 코어 도체와 직접 접촉하는 부품이 전혀 없는 완벽한 비접촉식 구조를 제공하게 된다.
센서, 인쇄회로기판, 전압 센서, 전류 센서, 전극, 픽업 코일

Description

전기적 특성을 측정하기 위한 센서 {Sensor for measuring electrical characteristics}
본 발명은 센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전류, 전압 등 전기적 특성을 측정할 수 있는 센서에 관한 것이다.
교류(Alternating Current; AC)는 다양한 산업 분야에서 전력 공급 및 신호 전송을 위한 수단으로 사용되고 있다. 교류는 전송선의 부식 문제가 낮으며 변압이 용이하기 때문에 발전기에서 생성된 전력을 부하(Load)로 전송하는 방법으로 널리 이용되고 있으며, 통신 및 의료 장비 등의 신호 또는 전력 공급 수단으로서 사용되고 있다. 또한, 교류는 플라즈마 식각 챔버 등과 같은 반도체 제조 설비에서 플라즈마 생성을 위해 전력을 공급하는 수단으로도 사용되고 있다.
한편, 일부 전자 장치들의 동작 특성은 전력 공급원으로부터 공급되는 교류의 전기적 특성에 매우 민감하게 작동하기 때문에 전력의 전기적 특성들은 세밀하게 제어되어야 한다. 또한, 이러한 세밀한 제어를 위해서 공급되는 전력의 전기적 특성들을 정밀하게 측정할 수 있는 센서가 필요하다.
예를 들면, 플라즈마 식각 챔버의 경우 전원과, 이로부터 공급되는 전력을 소모하는 부하(즉, 플라즈마 전극) 사이에는 전력 전달의 효율을 극대화시키기 위해 임피던스 정합 시스템(Impedance matching system)이 배치된다. 이때, 임피던스 정합은 전원으로부터 부하로 공급되는 전력에 대한 측정 결과에 기초하여 수행되기 때문에 전원과 부하를 연결하는 전송선의 주변에는 여러 가지 전기적 특성을 측정하기 위한 센서가 배치된다.
일반적으로, 센서는 전송선을 흐르는 전류를 측정하기 위해 인덕터(즉, 코일)를 구비한다. 전송선을 흐르는 교류는 인덕터에 유도 기전력을 발생시키기 때문에, 전송선에서의 전류는 인덕터에 유도되는 유도 기전력을 측정함으로써 결정될 수 있다. 일반적으로 인덕터는 도넛형의 구조물을 감는 도전선을 포함한다. 하지만, 종래의 센서에 사용되는 인덕터는 사람의 손 또는 기계에 의해 도전선을 도넛형의 구조물에 감는 방법을 통해 제작되고 있다. 이렇게 감는 방법으로 인덕터를 제작할 경우 각 권선들(Winding wire) 사이의 간격을 균일하게 하기 어렵기 때문에, 센서 자체도 요구되는 높은 정밀도를 갖기 어려울 뿐만 아니라 제품별로 다른 품질을 가질 수 있다. 상술한 것처럼, 공급되는 전력의 세밀한 제어(즉, 임피던스의 정밀한 정합)를 위해서는 정밀한 측정이 필요하기 때문에 결국 더 높은 정밀도를 제공할 수 있는 센서 시스템이 요구되고 있다.
본 발명은 제품별로 균일한 품질을 가질 수 있고, 보다 정밀한 전기적 특성의 측정이 가능한 센서를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예에 따른 전기적 특성을 측정하기 위한 센서는 전력 전송선이 삽입되는 원형의 관통홀이 형성된 인쇄회로기판; 상기 전력 전송선에 형성된 전압을 측정하기 위해 상기 관통홀의 내주면을 따라 밀착되어 고정되는 링 형상의 전극(Electrode)과, 일단이 상기 전극의 일측과 접하고, 타단이 상기 인쇄회로기판의 일측으로 노출되는 제1 단자부를 구비한 전압 센서; 및 유도 전류에 의해 상기 전력 전송선에 흐르는 전류를 측정하기 위해 스프링처럼 감기면서 상기 관통홀의 외측 가장자리를 따라 평면상 도우넛 형상을 이루도록 휘어져, 상기 인쇄회로기판에 적어도 일부가 매립되도록 배치되는 픽업 코일(Pick up coil)과, 상기 픽업 코일의 양단에서 연장되어 상기 인쇄회로기판의 일측으로 노출되는 제2 단자부를 구비한 전류 센서를 포함한다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기적 특성을 측정하기 위한 센서는 일측에서 전력 전송선이 삽입되도록 일단이 개방된 삽입홈이 형성된 인쇄회로기판; 상기 전력 전송선에 형성된 전압을 측정하기 위해 상기 삽입홈의 내주면의 일부를 따라 밀착되어 고정되는 원호 형상의 전극(Electrode)과, 일단이 상기 전극의 일측과 접하고, 타단이 상기 인쇄회로기판의 일측으로 노출되는 제1 단자부를 구비한 전압 센서; 및 유도 전류에 의해 상기 전력 전송선에 흐르는 전류를 측정하기 위해 스프링처럼 감기면서 상기 삽입홈의 내주면의 외측 일부를 따라 평면상 원호 형상을 이루도록 휘어져, 상기 인쇄회로기판에 적어도 일부가 매립되도록 배치되는 픽업 코일(Pick up coil)과, 상기 픽업 코일의 양단에서 연장되어 상기 인쇄회로기판의 일측으로 노출되는 제2 단자부를 구비한 전류 센서를 포함한다.
여기서, 상기 인쇄회로기판은, 상기 전력 전송선에 의해 형성된 전압이 상기 픽업 코일에 전달되는 것을 방지하기 위해, 상기 픽업코일과 상기 삽입홈의 사이에 배치된 패러데이 쉴드(Faraday shield)를 더 포함할 수 있다.
게다가, 상기 인쇄회로기판은, 상기 패러데이 쉴드를 접지시키기 위해, 상기 패러데이 쉴드와 상기 전력 전송선 사이에 배치되어 접지되는 쉴드 케이스(Shield case)를 더 포함할 수 있다.
더욱이, 상기 패러데이 쉴드는, 상기 전력 전송선에 흐르는 전류의 방향과 수직방향으로 슬릿이 더 형성될 수 있다.
또한, 상기 픽업 코일은, 상기 도우넛 또는 원호 형상의 종단면이 사각형을 이루도록 배치될 수 있다.
아울러, 상기 픽업 코일은, 상기 인쇄회로기판의 상측으로 노출, 상기 인쇄회로기판에 매립, 상기 인쇄회로기판의 하측으로 노출, 다시 상기 인쇄회로기판에 매립되도록 반복적으로 감겨질 수 있다.
본 발명에 의한 전기적 특성을 측정하기 위한 센서에 따르면,
첫째, 인쇄회로기판에 전극과 픽업 코일을 일체화하여 형성하기 때문에 균일한 품질을 가질 수 있고, 전력 전송선의 전기적 특성을 매우 정밀하게 측정할 수 있다.
둘째, 전력 전송선을 중심으로 그 주변에 전류 센서와 전압 센서를 배치하기 때문에 전력 전송선 내부의 코어 도체와 직접 접촉하는 부품이 전혀 없는 완벽한 비접촉식 구조를 제공한다.
셋째, 인쇄회로기판이 전력 전송선을 모두 감싸도록 관통홀이 형성된 구조와 부분적으로 감싸도록 삽입홈이 형성된 구조 모두 가능하므로 필요에 따라 센서를 선택하여 사용할 수 있다.
넷째, 패러데이 쉴드(Faraday shield)를 사용할 경우, 전력 전송선에서 형성된 전압이 픽업 코일로 전달되는 것을 방지할 수 있어 더욱 정밀한 값의 측정이 가능하다.
다섯째, 패러데이 쉴드와 더불어 쉴드 케이스를 사용할 경우, 패러데이 쉴드의 접지가 가능하여 더욱 정밀한 값의 측정이 가능한 효과가 있다.
이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 전기적 특성을 측정하기 위한 센서에 대해 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전기적 특성을 측정하기 위한 센서의 평면도, 도 2는 도 1에 도시된 센서에서 인쇄회로기판의 일부를 제거한 사시도, 도 3은 도 1에 도시된 센서에서 인쇄회로기판을 제거한 것을 나타낸 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 전기적 특성을 측정하기 위한 센서(100)는 인쇄회로기판(110), 전압 센서(120) 및 전류 센서(130)를 포함한다.
먼저, 인쇄회로기판(110)은 일면 또는 양면에 인쇄 회로가 형성된 것으로서, 전력 전송선(10)이 삽입되는 원형의 관통홀(110a)이 형성된 기판이다. 전력 전송선(10)은 일반적으로 코어 도체(11)와 유전체(12)로 이루어져 있다. 전력 전송선에는 다양한 전기적 특성을 지닌 전류가 흐를 수 있으며, 특히 고주파(Radio Friquency; RF) 대전류 등이 흐를 수 있다.
전압 센서(120)는 전력 전송선(10)에 형성된 전압을 측정하기 위한 것으로 링 형상의 전극(Electrode; 120a)과 제1 단자부(120b)를 구비한다. 전압 센서(120)의 전극(120a)은 인쇄회로기판(110)의 관통홀(110a)의 내주면을 따라 밀착되어 고정된다. 제1 단자부(120b)는 그 일단이 전극(120a)의 일측면에 접하고, 타단이 인쇄회로기판(110)의 일측으로 노출된다. 노출된 제1 단자부(120b)의 타단에는 상용 커패시터, 저항, 인덕터 등이 연결되어 커패시터, 저항, 인덕터 등에 의해 전압을 검출할 수 있게 된다. 여기서, 제1 단자부(120b)는 인쇄회로기판(110)의 내측에 매립될 수도 있고, 인쇄회로기판(110)의 윗면 또는 아랫면으로 노출될 수도 있다.
또한, 전류 센서(130)는 픽업 코일(Pick up coil; 130a)과 제2 단자부(130b)를 구비한다.
도 2 및 도 3에 도시된 것처럼, 픽업 코일(130a)은 유도 전류에 의해 전력 전송선(10)에 흐르는 전류를 측정하기 위해 스프링처럼 감기면서 관통홀(110a)의 외측 가장자리를 따라 평면상 도우넛 형상을 이루도록 휘어져, 상기 인쇄회로기판(110)에 적어도 일부가 매립되도록 배치된다.
더욱 자세히 설명하면, 픽업 코일(130a)은 도우넛 형상의 종단면이 사각형을 이루도록 배치된다. 물론 사각형 뿐만 아니라 다양한 형상이 사용가능하지만, 후술하는 것처럼 인쇄회로기판(110)과 맞닿아 노출되는 것을 감안할 때 사각형의 형상이 더 안정적이다.
이때, 픽업 코일(130a)은 인쇄회로기판(110)의 상측으로 노출되었다가 인쇄회로기판(110)에 매립되고, 다시 인쇄회로기판(110)의 하측으로 노출되었다가 인쇄회로기판(110)에 매립됨을 반복하면서 감겨져 있다. 즉, 픽업 코일(130a)의 수직으로 절곡된 부위는 인쇄회로기판(110)에 매립되지만, 상측에서 수평으로 절곡된 수평절곡부(131)는 인쇄회로기판(110)의 상측과 맞닿은 채로 노출되고, 하측에서 수평으로 절곡된 수직절곡부(132)는 인쇄회로기판(110)의 하측과 맞닿은 채로 노출되게 된다. 제2 단자부(130b)는 픽업 코일(130a)의 양단에서 연장되어 전력 전송 선(10)에 흐르는 전류를 측정할 수 있도록 인쇄회로기판(110)의 일측으로 노출된다.
다음으로, 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기적 특성을 측정하기 위한 센서에 대해 설명한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기적 특성을 측정하기 위한 센서의 평면도, 도 5는 도 4에 도시된 센서에서 인쇄회로기판의 일부를 제거한 것을 나타낸 확대 사시도, 도 6은 도 5에 도시된 센서에 쉴드 케이스가 더 구비된 것을 나타낸 확대 사시도이다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 전기적 특성을 측정하기 위한 센서(200)는 인쇄회로기판(210), 전압 센서(220) 및 전류 센서(230)를 포함한다.
인쇄회로기판(210)은 일측에 전력 전송선(10)이 삽입되도록 일단이 개방된 삽입홈(210a)이 형성되어 있다. 삽입홈(210a)의 일단은 전력 전송선(10)이 삽입가능하도록 개방되고, 타단은 전력 전송선(10)의 외주면에 대응되도록 원형의 형상을 하고 있다.
전압 센서(220)는 원호 형상의 전극(electrode; 220a)과 제1 단자부(220b)를 구비한다. 전극(electrode; 220a)은 전력 전송선(10)에 형성된 전압을 측정하기 위해 삽입홈(210a)의 내주면의 일부를 따라 밀착되어 고정된다. 제1 단자부(220b)는 일단이 전극(220a)의 일측과 접하고, 타단이 인쇄회로기판(210)의 일측으로 노출된다. 여기서의 제1 단자부(220b)도 역시 인쇄회로기판(210)의 내측에 매립될 수 도 있고, 인쇄회로기판(210)의 윗면 또는 아랫면으로 노출될 수도 있다.
전류 센서(230)는 픽업 코일(Pick up coil; 230a)과 제2 단자부(230b)를 구비한다. 픽업 코일(230a)은 유도 전류에 의해 전력 전송선(10)에 흐르는 전류를 측정하기 위해 스프링처럼 감기면서 삽입홈(210a)의 내주면의 외측 일부를 따라 평면상 원호 형상을 이루도록 휘어져, 인쇄회로기판(210)에 적어도 일부가 매립되도록 배치된다.
더욱 자세히 설명하면, 앞서 설명한 센서(100)의 픽업 코일(130a)과 같이 픽업 코일(230a)은 원호 형상의 종단면이 사각형을 이루도록 배치된다. 물론 사각형 뿐만 아니라 다양한 형상이 사용가능하지만, 후술하는 것처럼 인쇄회로기판(210)과 맞닿아 노출되는 것을 감안할 때 사각형의 형상이 더 안정적이다.
이때, 픽업 코일(230a)은 인쇄회로기판(210)의 상측으로 노출되었다가 인쇄회로기판(210)에 매립되고, 다시 인쇄회로기판(210)의 하측으로 노출되었다가 인쇄회로기판(210)에 매립됨을 반복하면서 감겨져 있다. 즉, 픽업 코일(230a)의 수직으로 절곡된 부위는 인쇄회로기판(210)에 매립되지만, 상측에서 수평으로 절곡된 부위는 인쇄회로기판(210)의 상측과 맞닿은 채로 노출되고, 하측에서 수평으로 절곡된 부위는 인쇄회로기판(210)의 하측과 맞닿은 채로 노출되게 된다. 제2 단자부(230b)는 픽업 코일(230a)의 양단에서 연장되어 전력 전송선(10)에 흐르는 전류를 측정할 수 있도록 인쇄회로기판(210)의 일측으로 노출된다.
한편, 인쇄회로기판(210)에는 전력 전송선(10)에 의해 형성된 전압이 픽업 코일(230a)에 전달되는 것을 방지하기 위해, 픽업코일(230a)과 삽입홈(210a)의 사 이에 패러데이 쉴드(Faraday shield; 240)가 더 배치된다. 또한, 인쇄회로기판(210)은 패러데이 쉴드(240)를 접지시키기 위해, 패러데이 쉴드(240)와 전력 전송선(10) 사이에 배치되어 접지되는 쉴드 케이스(Shield case; 250)를 더 포함한다. 이때, 패러데이 쉴드(240)에는 전력 전송선(10)에 흐르는 전류의 방향과 수직방향으로 슬릿(240a)이 하나 이상 형성될 수 있다. 패러데이 쉴드(240)에 슬릿(240a)이 형성되면 전력 전송선(10)에 의해 형성된 전기장이 픽업 코일(230a)에 전달되는 것은 막아주고, 자기장은 픽업 코일(230a)에 전달되는 것을 허용함으로써 픽업 코일(230a)의 전류 측정을 더욱 정확하게 한다.
이렇게 본 발명의 실시예에 따르면, 인쇄회로기판(110, 210)에 전극(120a, 220a)과 픽업 코일(130a, 230a)을 일체화하여 형성하기 때문에 균일한 품질을 가질 수 있고, 전력 전송선(10)의 전기적 특성을 매우 정밀하게 측정할 수 있다. 또한, 전력 전송선(10)을 중심으로 그 주변에 전압 센서(120, 220)와 전류 센서(130, 230)를 배치하기 때문에 전력 전송선(10) 내부의 코어 도체(11)와 직접 접촉하는 부품이 전혀 없는 완벽한 비접촉식 구조를 제공한다. 또한, 인쇄회로기판(110, 210)이 전력 전송선(10)을 모두 감싸도록 관통홀(110a)이 형성된 센서(100)와 부분적으로 감싸도록 삽입홈(210a)이 형성된 센서(200), 두 개의 구조가 모두 가능하므로 필요에 따라 센서(100, 200)를 선택하여 사용할 수 있다.
패러데이 쉴드(240)를 사용할 경우, 전력 전송선(10)에서 형성된 전압이 픽업 코일(130a, 230a)로 전달되는 것을 방지할 수 있어 더욱 정밀한 값의 측정이 가능하다. 또한, 패러데이 쉴드(240)와 더불어 쉴드 케이스(250)를 사용할 경우, 패 러데이 쉴드(240)의 접지가 가능하여 더욱 정밀한 값의 측정이 가능하다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전기적 특성을 측정하기 위한 센서의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 센서에서 인쇄회로기판의 일부를 제거한 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 센서에서 인쇄회로기판을 제거한 것을 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기적 특성을 측정하기 위한 센서의 평면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 센서에서 인쇄회로기판의 일부를 제거한 것을 나타낸 확대 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 센서에 쉴드 케이스가 더 구비된 것을 나타낸 확대 사시도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명>
100, 200...센서 110, 210...인쇄회로기판
120, 220...전압 센서 130, 230...전류 센서
240...패러데이 쉴드 250...쉴드 케이스

Claims (9)

  1. 전력 전송선이 삽입되는 원형의 관통홀이 형성된 인쇄회로기판;
    상기 전력 전송선에 형성된 전압을 측정하기 위해 상기 관통홀의 내주면을 따라 밀착되어 고정되는 링 형상의 전극(electrode)과, 일단이 상기 전극의 일측과 접하고, 타단이 상기 인쇄회로기판의 일측으로 노출되는 제1 단자부를 구비한 전압 센서; 및
    유도 전류에 의해 상기 전력 전송선에 흐르는 전류를 측정하기 위해 스프링처럼 감기면서 상기 관통홀의 외측 가장자리를 따라 평면상 도우넛 형상을 이루도록 휘어져, 상기 인쇄회로기판에 적어도 일부가 매립되도록 배치되는 픽업 코일(Pick up coil)과, 상기 픽업 코일의 양단에서 연장되어 상기 인쇄회로기판의 일측으로 노출되는 제2 단자부를 구비한 전류 센서를 포함하는 전기적 특성을 측정하기 위한 센서.
  2. 일측에서 전력 전송선이 삽입되도록 일단이 개방된 삽입홈이 형성된 인쇄회로기판;
    상기 전력 전송선에 형성된 전압을 측정하기 위해 상기 삽입홈의 내주면의 일부를 따라 밀착되어 고정되는 원호 형상의 전극(electrode)과, 일단이 상기 전극의 일측과 접하고, 타단이 상기 인쇄회로기판의 일측으로 노출되는 제1 단자부를 구비한 전압 센서; 및
    유도 전류에 의해 상기 전력 전송선에 흐르는 전류를 측정하기 위해 스프링처럼 감기면서 상기 삽입홈의 내주면의 외측 일부를 따라 평면상 원호 형상을 이루도록 휘어져, 상기 인쇄회로기판에 적어도 일부가 매립되도록 배치되는 픽업 코일(Pick up coil)과, 상기 픽업 코일의 양단에서 연장되어 상기 인쇄회로기판의 일측으로 노출되는 제2 단자부를 구비한 전류 센서를 포함하는 전기적 특성을 측정하기 위한 센서.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 인쇄회로기판은,
    상기 전력 전송선에 의해 형성된 전압이 상기 픽업 코일에 전달되는 것을 방지하기 위해, 상기 픽업코일과 상기 삽입홈의 사이에 배치된 패러데이 쉴드(Faraday shield)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 측정하기 위한 센서.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 인쇄회로기판은,
    상기 패러데이 쉴드를 접지시키기 위해, 상기 패러데이 쉴드와 상기 전력 전송선 사이에 배치되어 접지되는 쉴드 케이스(Shield case)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 측정하기 위한 센서.
  5. 청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,
    상기 패러데이 쉴드는,
    상기 전력 전송선에 흐르는 전류의 방향과 수직방향으로 슬릿이 더 형성된 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 측정하기 위한 센서.
  6. 청구항 1항에 있어서,
    상기 픽업 코일은,
    상기 평면상 도우넛 형상의 종단면이 사각형을 이루도록 배치되는 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 측정하기 위한 센서.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 픽업 코일은,
    상기 평면상 원호 형상의 종단면이 사각형을 이루도록 배치되는 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 측정하기 위한 센서.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 픽업 코일은,
    상기 인쇄회로기판의 상측으로 노출, 상기 인쇄회로기판에 매립, 상기 인쇄회로기판의 하측으로 노출, 다시 상기 인쇄회로기판에 매립되도록 반복적으로 감겨지는 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 측정하기 위한 센서.
  9. 청구항 7에 있어서,
    상기 픽업 코일은,
    상기 인쇄회로기판의 상측으로 노출, 상기 인쇄회로기판에 매립, 상기 인쇄회로기판의 하측으로 노출, 다시 상기 인쇄회로기판에 매립되도록 반복적으로 감겨지는 것을 특징으로 하는 전기적 특성을 측정하기 위한 센서.
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