KR101092193B1 - 기판 건조용 노즐 유닛 및 그를 구비한 기판 건조 장치 - Google Patents

기판 건조용 노즐 유닛 및 그를 구비한 기판 건조 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 기판 건조 장치에 구비되는 기판 건조용 노즐 유닛은, 이소프로필 알코올(Iso-propyl Alcohol)이 이동되는 IPA 이동 라인 및 가열 상태의 순수(DIW, De-ionized Water)가 이동되는 순수 이동 라인과 연결되는 노즐 하우징; IPA 이동 라인과 연통되도록 노즐 하우징의 내부에 마련되며, 노즐 하우징에 장착된 분사부로 이소프로필 알코올을 공급하는 IPA 이동부; 및 IPA 이동부의 적어도 일측부에 배치되도록 노즐 하우징의 내부에 마련되며, 순수 이동 라인에 의해 이동된 가열 상태의 순수에 의해 IPA 이동부 내의 이소프로필 알코올을 가열하는 순수 이동부;를 포함한다. 본 발명에 따르면, 가열된 상태의 순수(DIW)로 이소프로필 알코올을 가열하거나 온도 유지시킴으로써 이소프로필 알코올에 의한 기판 건조 작업의 신뢰성을 확보할 수 있다.

Description

기판 건조용 노즐 유닛 및 그를 구비한 기판 건조 장치{Nozzle unit to dry substrate and apparatus having the same}
본 발명은, 기판 건조용 노즐 유닛 및 그를 구비한 기판 건조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 건조 대상물인 기판에 고온의 액체 이소프로필 알코올을 공급함으로써 기판 건조의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 기판 건조용 노즐 유닛 및 그를 구비한 기판 건조 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는, 리소그래피(lithography), 증착 및 에칭(etching) 등의 여러 공정을 반복적으로 수행한다. 이러한 공정들을 거치는 동안 기판(예를 들면 실리콘 재질의 웨이퍼) 상에는 파티클(particle), 금속 불순물, 유기물 등이 잔존하게 된다.
이와 같은 오염 물질은 제품의 수율 및 신뢰성에 악영향을 미치기 때문에 반도체 제조 공정에서는 기판에 잔존된 오염 물질을 제거하기 위한 세정 공정이 수행되고, 세정 공정 후에는 기판에 대한 건조 공정이 수행된다.
종래 알려진 건조 방식으로는 스핀 건조 방식, 이소프로필 알코올(IPA, Iso-propyl Alcohol)에 의한 마란고니 효과를 이용한 건조 방식 등이 있다.
이 중 스핀 건조 방식에 대해 개략적으로 설명하면, 건조 대상물인 기판을 제자리에서 회전하는 로딩척에 올린 후 회전시키고, 이때 기판의 표면에 이소프로필 알코올을 분사한 후 질소 가스(N2)를 분사함으로써 기판에 대한 건조 작업을 실행한다.
그런데, 종래의 이러한 건조 방식이 적용되는 기판 건조 장치에 있어서는, 기판을 건조시키는 이소프로필 알코올이 소정의 이동 라인을 따라 이송된 후 기판에 분사되는데, 이때 이동 중 이소프로필 알코올의 온도가 저하됨으로써 기판 건조의 신뢰성이 저하될 수 있다. 부연 설명하면, 이소프로필 알코올이 끓는점(82℃)과 인접한 온도, 예를 들면 대략 70내지 80℃ 정도의 온도로 기판에 공급되어야 기판 건조 작업이 신뢰성 있게 진행될 수 있는데, 종래에는 이송 과정 중 이소프로필 알코올의 온도가 저하됨으로써 기판의 건조 작업이 신뢰성 있게 진행되지 못하는 단점이 있었다.
이에, 이소프로필 알코올의 적정 온도를 유지시킬 수 있는 새로운 구조의 기판 건조 장치의 개발이 필요한 실정이다.
본 발명의 목적은, 가열된 상태의 순수(DIW, De-ionized Water)로 이소프로필 알코올(IPA, Iso-propyl Alcohol)을 가열하거나 온도 유지시킴으로써 이소프로필 알코올에 의한 기판 건조 작업의 신뢰성을 확보할 수 있는 기판 건조용 노즐 유닛 및 그를 구비한 기판 건조 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 이소프로필 알코올을 가열하거나 온도 유지시키는 가열 상태의 순수가 순환되는 구조를 가짐으로써 전체적인 구조를 간소화할 수 있으며, 이에 따라 전체적인 장비 사이즈를 축소시킬 수 있는 기판 건조용 노즐 유닛 및 그를 구비한 기판 건조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 건조용 노즐 유닛은, 이소프로필 알코올(Iso-propyl Alcohol)이 이동되는 IPA 이동 라인 및 가열 상태의 순수(DIW, De-ionized Water)가 이동되는 순수 이동 라인과 연결되는 노즐 하우징; 상기 IPA 이동 라인과 연통되도록 상기 노즐 하우징의 내부에 마련되며, 상기 노즐 하우징에 장착된 분사부로 상기 이소프로필 알코올을 공급하는 IPA 이동부; 및 상기 IPA 이동부의 적어도 일측부에 배치되도록 상기 노즐 하우징의 내부에 마련되며, 상기 순수 이동 라인에 의해 이동된 가열 상태의 순수에 의해 상기 IPA 이동부 내의 상기 이소프로필 알코올을 가열하는 순수 이동부;를 포함하며, 이러한 구성에 의해서, 가열된 상태의 순수(DIW)로 이소프로필 알코올을 가열하거나 온도 유지시킬 수 있어 이소프로필 알코올에 의한 기판 건조 작업의 신뢰성을 확보할 수 있다.
상기 IPA 이동부는 상기 노즐 하우징의 내부에서 상기 노즐 하우징의 길이 방향을 따라 내측 단부 영역까지 마련되되, 상기 IPA 이동부로 유입되는 상기 이소프로필 알코올을 상기 분사부로 고르게 공급할 수 있도록 상기 IPA 이동부의 길이 방향을 따라 관통홀들이 규칙적으로 형성될 수 있으며, 이에 따라 기판 전 영역에 이소프로필 알코올을 고르게 분사할 수 있다.
상기 순수가 상기 순수 이동부로 인입된 후 배출될 수 있도록, 상기 순수 이동부는 상기 노즐 하우징의 내부에서 상기 IPA 이동부의 양측에 위치하되 상기 IPA 이동부의 내측 영역에서 절곡 형성될 수 있다.
상기 기판 건조용 노즐 유닛은, 상기 노즐 하우징에 장착되며, 상기 순수 이동부로 유입되는 상기 순수 또는 상기 IPA 이동부로 유입되는 상기 이소프로필 알코올의 온도를 감지하는 온도 감지부를 더 포함할 수도 있다.
상기 기판 건조용 노즐 유닛은, 상기 노즐 하우징의 외면에 장착되어, 상기 노즐 하우징 내부의 열이 외부로 이탈되는 것을 저지하는 단열부를 더 포함할 수도 있다.
상기 IPA 이동부와 상기 IPA 이동 라인을 연결하는 IPA 연결부재가 상기 노즐 하우징에 장착되며, 상기 순수 이동부와 상기 순수 이동 라인을 연결하는 순수 연결부재가 상기 노즐 하우징에 장착될 수 있으며, 이러한 구성에 의해서 상기 기판 건조용 노즐 유닛은 다른 구성과 독립된 단위 상태를 가질 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 건조 장치는, 이소프로필 알코올(Iso-propyl Alcohol)을 공급하는 IPA 공급부; 상기 IPA 공급부를 감싸며 마련되며, 상기 IPA 공급부의 상기 이소프로필 알코올을 중탕 원리에 의해 가열하는 순수가 수용되는 순수 공급부; 및 상기 IPA 공급부와 IPA 이동 라인에 의해 연결되고 상기 순수 공급부와 순수 이동 라인에 의해 연결되며, 상기 이소프로필 알코올을 작업 대상물인 기판으로 분사하는 분사부가 장착되는 기판 건조용 노즐 유닛을 포함하며, 상기 기판 건조용 노즐 유닛은, 노즐 하우징; 상기 IPA 이동 라인과 연통되도록 상기 노즐 하우징의 내부에 마련되며, 상기 분사부로 상기 이소프로필 알코올을 공급하는 IPA 이동부; 및 상기 IPA 이동부의 적어도 일측부에 배치되도록 상기 노즐 하우징의 내부에 마련되며, 상기 순수 이동 라인에 의해 이동된 가열 상태의 순수에 의해 상기 IPA 이동부 내의 상기 이소프로필 알코올을 가열하는 순수 이동부;를 포함할 수 있다.
상기 IPA 이동부는 상기 노즐 하우징의 내부에서 상기 노즐 하우징의 길이 방향을 따라 내측 단부 영역까지 마련되며, 상기 순수가 상기 순수 이동부로 인입된 후 배출될 수 있도록, 상기 순수 이동부는 상기 노즐 하우징의 내부에서 상기 IPA 이동부의 양측에 위치하되 상기 IPA 이동부의 내측 단부 영역에서 절곡 형성될 수 있다.
상기 순수 이동 라인은, 일단부가 상기 순수 공급부에 연결되고 타단부는 상기 순수 이동부의 일단부에 연결되어 상기 순수 공급부로부터 상기 순수 이동부로 가열 상태의 상기 순수를 이동시키는 제1 라인; 및 일단부는 상기 순수 공급부와 연결되고 타단부는 상기 순수 이동부의 타단부에 연결되어 상기 순수 이동부로부터 상기 순수 공급부로 상기 순수를 이동시키는 제2 라인을 포함하며, 이러한 구성에 의해서 노즐 유닛으로 순수가 유입되거나 또는 노즐 유닛으로부터 순수가 배출될 수 있다.
상기 제2 라인을 따라 이동되는 가열 상태의 상기 순수가 상기 IPA 이동 라인 내의 상기 이소프로필 알코올을 가열 또는 온도 유지시킬 수 있도록, 상기 제2 라인과 상기 IPA 이동 라인에 상호 나란하게 인접 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 가열된 상태의 순수(DIW, De-ionized Water)로 이소프로필 알코올(IPA, Iso-propyl Alcohol)을 가열하거나 온도 유지시킴으로써 이소프로필 알코올에 의한 기판 건조 작업의 신뢰성을 확보할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 이소프로필 알코올을 가열하거나 온도 유지시키는 가열 상태의 순수가 순환되는 구조를 가짐으로써 전체적인 구조를 간소화할 수 있으며, 이에 따라 전체적인 장비 사이즈를 축소시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, IPA 공급부 내에서 이소프로필 알코올의 가열이 우선적으로 이루어지고, 또한 이소프로필 알코올의 이송 과정 중 이소프로필 알코올의 가열이 추가적으로 이루어짐으로써, 이소프로필 알코올의 온도를 적정 온도로 유지시킬 수 있으며, 이에 따라 기판의 건조 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 건조용 노즐 유닛의 사시도이다.
도 3은 도 2의 내부 구성을 도시한 도면이다.
도 4는 3에 도시된 IPA 이동부로부터 분사부로 이소프로필 알코올이 공급되는 동작을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 구성 및 적용에 관하여 상세히 설명한다. 이하의 설명은 특허 청구 가능한 본 발명의 여러 태양(aspects) 중 하나이며, 하기의 기술(description)은 본 발명에 대한 상세한 기술(detailed description)의 일부를 이룬다.
다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
이하에서 상술되는 기판은, 웨이퍼(Wafer), 엘씨디(LCD, Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel)와 같은 다른 평판디스플레이(Flat Panel Display) 중 어느 하나일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 건조용 노즐 유닛의 사시도이고, 도 3은 도 2의 내부 구성을 도시한 도면이며, 도 4는 3에 도시된 IPA 이동부로부터 분사부로 이소프로필 알코올이 공급되는 동작을 설명하기 위한 도면이다. 다만, 도 4는 설명을 용이하게 하기 위하여 순수 이동부를 생략한 상태를 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치(100)는, 건조 공간을 형성하며 작업 대상물인 기판(W)이 로딩(loading)되는 로딩척(111)이 회전 가능하게 마련되는 챔버(110, Chamber)와, 이소프로필 알코올(103, IPA, Iso-propyl Alcohol)을 공급하는 IPA 공급부(120)와, IPA 공급부(120)가 내측에 수용되며 순수(105, DIW, De-ionized Water)를 공급하는 순수 공급부(130)와, IPA 공급부(120)와 IPA 이동 라인(121)에 의해 연결되고 순수 공급부(130)와 순수 이동 라인(131)에 의해 연결되며 이소프로필 알코올(103)을 로딩척(111)에 로딩된 기판(W)으로 분사하는 기판 건조용 노즐 유닛(150, 이하에서는, 노즐 유닛(150)으로 명칭하기로 함)을 포함한다.
이러한 구성에 의해서, 작업 대상물인 기판(W)에 적정 온도의 이소프로필 알코올(103)을 공급할 수 있으며, 따라서 기판(W)의 건조 작업이 신뢰성 있게 진행될 수 있다.
각 구성에 대해 설명하면, 먼저, 챔버(110)에는, 제자리에서 회전 가능하게 마련되며 그 상면에 기판(W)이 로딩되는 로딩척(111)이 마련된다. 즉, 후술할 노즐 유닛(150)에 의해 기판(W) 상으로 이소프로필 알코올(103)이 분사되는데, 이때 로딩척(111)의 회전에 의해 기판(W)이 회전하기 때문에 기판(W) 상에 분사된 이소프로필 알코올(103)은 원심력이 발생되는 방향으로 이동할 수 있으며 이러한 동작으로 인해 기판(W)의 건조가 이루어질 수 있다.
한편, IPA 공급부(120)는, 후술할 노즐 유닛(150)으로 이소프로필 알코올(103)을 공급하는 공급원으로서, 외부의 IPA 공급 탱크(125)와 이동 파이프(126)에 의해 연결되어 채워질 수 있다.
이러한 IPA 공급부(120)는, 순수(105)가 충전된 순수 공급부(130)의 내측에 수용된다. 순수 공급부(130)는 전술한 것처럼 노즐 유닛(150)으로 순수(105)를 공급하기도 하지만 IPA 공급부(120)의 이소프로필 알코올(103)을 가열하는 역할을 수행한다.
이를 위해, 순수 공급부(130)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 순수 공급부(130)의 내측에 장착되어 순수(105)를 가열하는 히터(132, heater)를 포함한다. 다시 말해, 히터(132)가 순수 공급부(130)에 수용된 순수(105)를 가열하고, 가열된 순수(105)가 IPA 공급부(120)를 중탕 원리에 의해 가열함으로써 IPA 공급부(120) 내의 이소프로필 알코올(103)은 가열 또는 온도 유지될 수 있다.
이때, 이소프로필 알코올(103)은 끓는점(82℃)에 근접한 온도, 예를 들면 70 내지 80℃로 가열될 수 있으며, 이러한 상태의 이소프로필 알코올(103)이 후술할 노즐 유닛(150)을 통해 기판(W) 상으로 분사됨으로써 기판(W)의 건조 작업을 신뢰성 있게 수행할 수 있다.
부연 설명하면, 도 1에 도시된 바와 같이, 순수 공급부(130)는 외부의 순수 공급 탱크(135)와 이동 파이프(136)에 의해 연결되어 순수(105)가 채워질 수 있다.
한편, 전술한 IPA 공급부(120)로부터 노즐 유닛(150)으로 이소프로필 알코올(103)을 공급하기 위해 IPA 공급부(120)와 노즐 유닛(150)은 IPA 이동 라인(121)으로 연결되어 있고, 또한 순수 공급부(130)로부터 노즐 유닛(150)으로 가열된 상태의 순수(105)를 공급하기 위해서 순수 공급부(130)와 노즐 유닛(150)은 순수 이동 라인(131)으로 연결된다.
다만, 가열 상태의 순수(105)는 노즐 유닛(150)으로 들어간 후 다시 노즐 유닛(150)에 형성된 소정의 이동 라인을 이동한 뒤 다시 배출되어 순수 공급부(130)로 되돌아오는데, 이를 위해, 도 1에 도시된 바와 같이, 순수 이동 라인(131)은, 순수 공급부(130)로부터 노즐 유닛(150) 방향으로 순수(105)를 이동시키는 제1 라인(131a)과, 노즐 유닛(150)으로부터 순수 공급부(130)로 순수(105)를 이동시키는 제2 라인(131b)을 구비한다. 여기서, 제1 라인(131a)은 전술한 IPA 이동 라인(121)과 별도로 마련되지만, 제2 라인(131b)은 IPA 이동 라인(121)이 길이 방향을 따라 인접하게 마련된다.
따라서, 가열된 상태의 순수(105)가 이동하는 제2 라인(131b)이 이소프로필 알코올(103)이 이동하는 IPA 이동 라인(121)의 온도를 유지시킴으로써 그 내부의 이소프로필 알코올(103)의 온도가 저하되는 것을 방지할 수 있다.
즉, IPA 공급부(120) 내에서 이소프로필 알코올(103)이 순수 공급부(130)에 의해 우선적으로 가열되고, 또한 가열된 상태의 이소프로필 알코올(103)이 IPA 이동 라인(121)을 지날 때 제2 라인(131b)에 의해 온도 유지됨으로써, 이소프로필 알코올(103)의 적정 온도를 유지할 수 있으며, 따라서 기판(W) 상에 적정 온도의 이소프로필 알코올(103)이 분사될 수 있는 것이다.
한편, 본 실시예의 노즐 유닛(150)은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 전술한 IPA 이동 라인(121) 및 순수 이동 라인(131)과 연결되는 노즐 하우징(151)과, IPA 이동 라인(121) 연통되도록 노즐 하우징(151)의 내측에 마련되며 노즐 하우징(151)에 장착된 분사부(155)로 이소프로필 알코올(103)을 공급하는 IPA 이동부(160)와, 순수 이동 라인(131)과 연통되도록 노즐 하우징(151)의 내측에 마련되며 가열된 상태의 순수(105)가 이동됨으로써 IPA 이동부(160) 내의 이소프로필 알코올(103)을 가열 또는 온도 유지시키는 순수 이동부(170)를 포함한다.
노즐 하우징(151)은, 전술한 챔버(110) 내에서 로딩척(111)의 상부에 장착된다. 이러한 노즐 하우징(151)은 그 내측에 IPA 이동부(160) 및 순수 이동부(170)가 마련되기 때문에 내열성을 지니면서도 열이 외부로 이탈되는 것을 저지할 수 있는 재질로 마련되는 것이 바람직하다.
이를 위해, 도시하지는 않았지만, 노즐 하우징(151)의 외면에는 단열부(미도시)가 부착될 수 있다. 따라서 외부로 열 이탈을 저지할 수 있어 IPA 이동부(160)를 통해 이동되는 이소프로필 알코올(103) 및 순수 이동부(170)를 통해 이동되는 순수(105)의 온도가 저하되는 것을 저지할 수 있다.
IPA 이동부(160)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 노즐 하우징(151)의 내측에서 노즐 하우징(151)의 길이 방향을 따라 길게 형성된다. IPA 이동부(160)와 IPA 이동 라인(121)은 노즐 하우징(151)에 장착된 IPA 연결부재(161)에 의해 연결된다. 즉, 노즐 하우징(151)에 장착된 IPA 연결부재(161)에 IPA 이동 라인(121)을 결합시킴으로써 IPA 이동 라인(121)과 IPA 이동부(160)를 연통되게 연결시킬 수 있으며, 이에 따라 이소프로필 알코올(103)이 IPA 이동 라인(121)을 지나 IPA 이동부(160)로 제공될 수 있다.
또한, IPA 이동부(160)에는, 도 4에 도시된 바와 같이, 길이 방향을 따라 다수의 관통홀(163)이 형성된다. 따라서 관통홀(163)로 배출된 이소프로필 알코올(103)은 분사부(155)의 각 분사구들을 통해 분사되어 기판(W)의 전 영역에 고르게 공급될 수 있다. 다만, 관통홀(163)을 통해 이소프로필 알코올(103)이 공급될 때 이소프로필 알코올(103)이 순수 이동부(170)와 간섭되는 것을 저지하기 위해, 관통홀(163)과 분사구를 연결하는 이동 라인과 순수 이동부(170)는 별개의 영역에 마련될 수 있다.
한편, 순수 이동부(170)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 노즐 하우징(151)의 내측에서 IPA 이동부(160)를 감쌀 수 있도록 절곡 형성되되, 일단부는 전술한 순수 이동 라인(131)의 제1 라인(131a)과 연통되게 연결되고, 타단부는 순수 이동 라인(131)의 제2 라인(131b)과 연결된다.
따라서, 제1 라인(131a)으로부터 유입된 순수(105)가 순수 이동부(170)를 지나면서 IPA 이동부(160)를 가열 또는 온도 유지시킬 수 있으며, 또한 순수 이동부(170)로부터 제2 라인(131b)으로 이동된 순수(105)는 제2 라인(131b)과 평행하게 배치되는 IPA 이동 라인(121)을 가열 또는 온도 유지시킴으로써 IPA 이동 라인(121)을 따라 이동하는 이소프로필 알코올(103)를 가열시키거나 온도 유지시킬 수 있다.
한편, 순수 이동부(170)와 제1 라인(131a) 및 제2 라인(131b)은 바로 연결되는 것이 아니라 그 사이에 순수 연결부재(171)가 개재된다. 즉, 순수 연결부재(171)가 순수 이동부(170)와 연결되도록 노즐 하우징(151)에 장착되며, 이러한 상태의 노즐 하우징(151)의 순수 연결부재(171)에 제1 라인(131a) 및 제2 라인(131b)을 연결함으로써 순수(105)의 이동 경로를 형성할 수 있다.
다만, 본 실시예에서는, 순수 이동부(170)가 IPA 이동부(160)의 양측에서 나란하게 배치된다고 상술하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 예를 들면 IPA 이동부(160)의 둘레 방향을 따라 순수 이동부(170)는 나선 형상으로 배치될 수도 있음은 당연하다.
또한, 본 실시예의 노즐 유닛(150)은, 도 1에 개략적으로 도시된 바와 같이, IPA 이동부(160)를 통해 이동하는 이소프로필 알코올(103) 또는 순수 이동부(170)를 통해 이동하는 순수(105)의 온도를 감지하는 온도 감지부(180)를 더 포함할 수 있다.
즉, 온도 감지부(180)로 노즐 유닛(150)을 통해 분사되는 이소프로필 알코올(103) 및 그를 가열 또는 온도 유지시키는 순수(105)의 온도를 필요에 따라 감지함으로써, 가령 이소프로필 알코올(103)의 온도가 적정 온도보다 낮게 감지되는 경우 전술한 순수 공급부(130)의 히터(132)의 발열량을 증대시켜 이소프로필 알코올(103)의 온도를 상승시킬 수 있다.
또는, 순수(105)의 온도가 낮게 감지되는 경우에도 역시 전술한 순수 공급부(130)의 히터(132)의 발열량을 증대시킴으로써, 이소프로필 알코올(103)을 가열하거나 온도 유지시키는 순수(105)의 온도를 상승시킬 수 있다.
한편, 이하에서는 이러한 구성을 갖는 기판 건조 장치(100)에 의해 이소프로필 알코올(103)이 공급되는 과정 및 이소프로필 알코올(103)이 가열 또는 온도 유지되는 과정에 대해서 설명하기로 한다.
먼저, IPA 공급 탱크(125)로부터 공급되는 이소프로필 알코올(103)이 IPA 공급부(120)에 채워지면, 순수 공급부(130)는 히터(132)를 작동시켜 순수 공급부(130) 내의 순수(105)를 가열하고 따라서 중탕 원리에 의해 IPA 공급부(120) 내의 이소프로필 알코올(103)은 가열된다.
이후, IPA 이동 라인(121) 상에 장착된 펌프(미도시)를 작동시켜, IPA 공급부(120)로부터 IPA 이동 라인(121)을 거쳐 노즐 유닛(150)의 IPA 이동부(160)로 가열된 상태의 이소프로필 알코올(103)을 이동시킨다.
다만, IPA 이동 라인(121)을 따라 이소프로필 알코올(103)이 이동될 때 이소프로필 알코올(103)의 온도가 저하될 수 있는데, 이를 방지하기 위해 본 실시예에서는 순수 이동 라인(131)을 따라 가열된 상태의 순수(105)를 같이 공급한다.
즉, 가열된 상태의 순수(105)가 순수 공급부(130)로부터 순수 이동 라인(131)의 제1 라인(131a)을 거쳐 노즐 유닛(150)의 순수 이동부(170)로 이동되고, 이어서 순수 이동부(170)를 거쳐 제2 라인(131b)으로 이동됨으로써, 순수 이동부(170)에 의해 감싸지는 IPA 이동부(160) 및 제2 라인(131b)과 평행하게 배치되는 IPA 이동 라인(121)을 가열시킬 수 있으며, 이에 따라 IPA 이동부(160) 및 IPA 이동 라인(121)을 따라 이동하는 이소프로필 알코올(103)을 가열하거나 또는 온도 유지시킬 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 노즐 유닛(150)을 통하여 기판(W)으로 분사되는 이소프로필 알코올(103)이 적정 온도를 유지할 수 있어 기판(W)의 건조 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
또한, 이소프로필 알코올(103)을 가열하는 역할을 하는 순수(105)가 순수 이동 라인(131)을 따라 순환하는 구조를 가짐으로써 전체적인 구조를 간소화할 수 있는 효고가 있다.
한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 기판 건조 103 : 이소프로필 알코올
105 : 순수 110 : 챔버
120 : IPA 공급부 130 : 순수 공급부
150 : 기판 건조용 노즐 유닛 151 : 노즐 하우징
160 : IPA 이동부 170 : 순수 이동부
180 : 온도 감지부

Claims (10)

  1. 이소프로필 알코올(Iso-propyl Alcohol)이 이동되는 IPA 이동 라인 및 가열 상태의 순수(DIW, De-ionized Water)가 이동되는 순수 이동 라인과 연결되는 노즐 하우징;
    상기 IPA 이동 라인과 연통되도록 상기 노즐 하우징의 내부에 마련되며, 상기 노즐 하우징에 장착된 분사부로 상기 이소프로필 알코올을 공급하는 IPA 이동부; 및
    상기 IPA 이동부의 적어도 일측부에 배치되도록 상기 노즐 하우징의 내부에 마련되며, 상기 순수 이동 라인에 의해 이동된 가열 상태의 순수에 의해 상기 IPA 이동부 내의 상기 이소프로필 알코올을 가열하는 순수 이동부;
    를 포함하며,
    상기 IPA 이동부는 상기 노즐 하우징의 내부에서 상기 노즐 하우징의 길이 방향을 따라 내측 단부 영역까지 마련되되, 상기 IPA 이동부로 유입되는 상기 이소프로필 알코올을 상기 분사부로 고르게 공급할 수 있도록 상기 IPA 이동부의 길이 방향을 따라 관통홀들이 규칙적으로 형성되고,
    상기 순수가 상기 순수 이동부로 인입된 후 배출될 수 있도록, 상기 순수 이동부는 상기 노즐 하우징의 내부에서 상기 IPA 이동부의 양측에 위치하되 상기 IPA 이동부의 내측 단부 영역에서 절곡 형성되는 기판 건조용 노즐 유닛.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 하우징에 장착되며, 상기 순수 이동부로 유입되는 상기 순수 또는 상기 IPA 이동부로 유입되는 상기 이소프로필 알코올의 온도를 감지하는 온도 감지부를 더 포함하는 기판 건조용 노즐 유닛.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 하우징의 외면에 장착되어, 상기 노즐 하우징 내부의 열이 외부로 이탈되는 것을 저지하는 단열부를 더 포함하는 기판 건조용 노즐 유닛.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 IPA 이동부와 상기 IPA 이동 라인을 연결하는 IPA 연결부재가 상기 노즐 하우징에 장착되며,
    상기 순수 이동부와 상기 순수 이동 라인을 연결하는 순수 연결부재가 상기 노즐 하우징에 장착되는 기판 건조용 노즐 유닛.
  7. 이소프로필 알코올(Iso-propyl Alcohol)을 공급하는 IPA 공급부;
    상기 IPA 공급부를 감싸며 마련되며, 상기 IPA 공급부의 상기 이소프로필 알코올을 중탕 원리에 의해 가열하는 순수가 수용되는 순수 공급부; 및
    상기 IPA 공급부와 IPA 이동 라인에 의해 연결되고 상기 순수 공급부와 순수 이동 라인에 의해 연결되며, 상기 이소프로필 알코올을 작업 대상물인 기판으로 분사하는 분사부가 장착되는 기판 건조용 노즐 유닛을 포함하며,
    상기 기판 건조용 노즐 유닛은,
    노즐 하우징;
    상기 IPA 이동 라인과 연통되도록 상기 노즐 하우징의 내부에 마련되며, 상기 분사부로 상기 이소프로필 알코올을 공급하는 IPA 이동부; 및
    상기 IPA 이동부의 적어도 일측부에 배치되도록 상기 노즐 하우징의 내부에 마련되며, 상기 순수 이동 라인에 의해 이동된 가열 상태의 순수에 의해 상기 IPA 이동부 내의 상기 이소프로필 알코올을 가열하는 순수 이동부;
    를 포함하며,
    상기 IPA 이동부는 상기 노즐 하우징의 내부에서 상기 노즐 하우징의 길이 방향을 따라 마련되며,
    상기 순수가 상기 순수 이동부로 인입된 후 배출될 수 있도록, 상기 순수 이동부는 상기 노즐 하우징의 내부에서 상기 IPA 이동부의 양측에 위치하되 상기 IPA 이동부의 내측 단부 영역에서 절곡 형성되는 기판 건조 장치.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 순수 이동 라인은,
    일단부가 상기 순수 공급부에 연결되고 타단부는 상기 순수 이동부의 일단부에 연결되어 상기 순수 공급부로부터 상기 순수 이동부로 가열 상태의 상기 순수를 이동시키는 제1 라인; 및
    일단부는 상기 순수 공급부와 연결되고 타단부는 상기 순수 이동부의 타단부에 연결되어 상기 순수 이동부로부터 상기 순수 공급부로 상기 순수를 이동시키는 제2 라인을 포함하는 기판 건조 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2 라인을 따라 이동되는 가열 상태의 상기 순수가 상기 IPA 이동 라인 내의 상기 이소프로필 알코올을 가열 또는 온도 유지시킬 수 있도록, 상기 제2 라인과 상기 IPA 이동 라인에 상호 나란하게 인접 배치되는 기판 건조 장치.
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WO2023236640A1 (zh) * 2022-06-07 2023-12-14 中冶南方工程技术有限公司 带钢吹边装置

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