KR101090896B1 - 공정챔버용 헬륨 회수시스템 - Google Patents

공정챔버용 헬륨 회수시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 공정챔버용 헬륨 회수시스템에 관한 것으로서, 웨이퍼(w)를 정전력으로 척킹하는 것으로서 상측표면에 유로홈(11)이 형성된 정전기척(ESC ; Electric Static Chuck)(12), 정전기척(12)을 관통하게 설치되어 상기 정전기척(12)의 상부측로 승강되는 것으로서 웨이퍼(w)를 지지하는 승강핀(13)을 포함하여, 그 내부로 공급되는 공정가스에 의하여 웨이퍼(w)에 박막을 형성하거나 에칭하는 공정챔버(10); 헬륨을 압송하는 펌프(21), 펌프(21)에 의하여 압송된 헬륨이 회수되는 회수탱크(22), 회수탱크(22)에서 공급되는 헬륨의 흐름량을 조절하는 MFC(Mass Flow Controller)(23) 및 흐르는 헬륨의 압력을 일정하게 유지하기 위한 PCV(Pressure Control Valve)(24)가 라인에 의하여 폐회로를 이루도록 연결되는 회수회로부(20); MFC(23)와 PCV(24)를 연결하는 라인에서 분기되어 공정챔버(10)의 유로홈(11)과 연결되는 분기라인(30); 공정챔버(10)에서 소모되는 헬륨을 보충하기 위하여, 회수회로부(20)로 공급하기 위한 헬륨이 저장된 메인공급탱크(40); 및 메인공급탱크(40)와 회수회로부(20)를 연결하는 라인에 설치된 메인밸브(50);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

공정챔버용 헬륨 회수시스템{He retrieve system for process chamber}
본 발명은 공정챔버용 헬륨 회수시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 공정이 진행되는 동안에 대기로 소모되는 헬륨을 회수하여 재사용할 수 있는 공정챔버용 헬륨 회수시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 실시하는 공정챔버(process chamber)는 내부에 로딩된 웨이퍼를 고정시키기 위하여 웨이퍼를 정전력에 의해 흡착하는 정전기척이 설치된다. 이러한 정전기척은, 공정(process)이 진행되는 동안에 웨이퍼와 정전기척 사이에 헬륨가스를 분사하여 웨이퍼 표면의 온도분포를 일정하게 한다. 이를 위하여, 정전기척의 표면에 유로홈을 형성하여 공정이 진행되는 동안에 유로홈을 통하여 헬륨을 흘려준다. 이때 유로홈은 헬륨이 흐르는 가스라인에서 분기된 별도의 라인과 연결됨으로써 유로홈을 흐르는 헬륨의 압력변동을 최소화시키고, 한편 공정챔버로 유입되지 않는 헬륨은 가스라인을 통하여 대기로 배기된 후 소멸된다.
그런데 유로홈으로 헬륨가스를 공급하기 위한 라인은 대기와 연결된 가스라인에서 분기되는 구조이기 때문에, 유로홈으로 공급하는 헬륨의 양에 비하여 곧바로 대기로 배기되어 소모되는 헬륨의 양이 훨씬 많다. 즉, 공정이 진행되는 동안에 고가인 헬륨을 대기로 배기시켜야 하였기 때문에, 결국 반도체 제조공정에 있어 심각한 원가부담 요인가 되었다라는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 공정이 진행되는 동안에 대기로 회수되는 헬륨을 회수하여 재사용함으로써 원가부담 요인을 줄일 수 있는 공정챔버용 헬륨 회수시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 공정챔버용 헬륨 회수시스템은, 웨이퍼(w)를 정전력으로 척킹하는 것으로서 상측표면에 유로홈(11)이 형성된 정전기척(ESC ; Electric Static Chuck)(12), 상기 정전기척(12)을 관통하게 설치되어 상기 정전기척(12)의 상부측로 승강되는 것으로서 웨이퍼(w)를 지지하는 승강핀(13)을 포함하여, 그 내부로 공급되는 공정가스에 의하여 웨이퍼(w)에 박막을 형성하거나 에칭하는 공정챔버(10); 헬륨을 압송하는 펌프(21), 상기 펌프(21)에 의하여 압송된 헬륨이 회수되는 회수탱크(22), 상기 회수탱크(22)에서 공급되는 헬륨의 흐름량을 조절하는 MFC(Mass Flow Controller)(23) 및 흐르는 상기 헬륨의 압력을 일정하게 유지하기 위한 PCV(Pressure Control Valve)(24)가 라인에 의하여 폐회로를 이루도록 연결되는 회수회로부(20); 상기 MFC(23)와 PCV(24)를 연결하는 라인에서 분기되어 상기 공정챔버(10)의 유로홈(11)과 연결되는 분기라인(30); 상기 공정챔버(10)에서 소모되는 헬륨을 보충하기 위하여, 상기 회수회로부(20)로 공급하기 위한 헬륨이 저장된 메인공급탱크(40); 및 상기 메인공급탱크(40)와 회수회로부(20)를 연결하는 라인에 설치된 메인밸브(50);를 포함하고; 상기 유로홈(11)은, 센터측에 형성된 센터유로홈(11a)과, 상기 센터유로홈(11a)의 외측에 형성된 에지유로홈(11b)을 포함하며; 상기 분기라인(30)은, 상기 센터유로홈(11a)과 연결되는 제1분기라인(30a)과, 상기 에지유로홈(11b)과 연결되는 제2분기라인(30b)을 포함하고; 상기 MFC(23)는, 상기 제1분기라인(30a)과 연결되는 제1MFC(23a)와, 상기 제2분기라인(30b)과 연결되는 제2MFC(23b)로 구성되며; 상기 PCV(24)는, 상기 제1MFC(23a)와 연결되는 제1PCV(24a)와, 상기 제2MFC(23b)와 연결되는 제2PCV(24b)로 구성되는 것;을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 제1MFC(23a)와 제1분기라인(30a) 사이의 라인에 제1밸브(V1)가 설치되고, 상기 제1PCV(24a)와 제1분기라인(30a) 사이의 라인에 제2밸브(V2)가 설치되며, 상기 제1MFC(23a)와 회수탱크(22) 사이의 라인에 제3밸브(V3)가 설치되고, 상기 제1MFC(23a)와 제1PCV(24a) 사이의 라인에 제4밸브(V4)가 설치되며; 상기 제2MFC(23b)와 제2분기라인(30b) 사이의 라인에 제5밸브(V5)가 설치되고, 상기 제2PCV(24b)와 제2분기라인(30b) 사이의 라인에 제6밸브(V6)가 설치되며, 상기 제2MFC(23b)와 회수탱크(22) 사이의 라인에 제7밸브(V3)가 설치되고, 상기 제2MFC(23b)와 제2PCV(24b) 사이의 라인에 제8밸브(V8)가 설치된다.
삭제
본 발명에 있어서, 상기 회수탱크(22)에는, 저장되는 헬륨 내부에 포함된 불순물을 제거하기 위한 필터(26)가 설치된다.
본 발명에 있어서, 상기 회수탱크(22)에는, 저장된 되는 헬륨의 압력을 측정하여 대응되는 압력신호를 발생하는 압력센서(25)가 설치되고; 상기 메인밸브(50)는, 상기 압력센서(25)에서 발생되는 압력신호에 연동하여 개폐되는 솔레노이드밸브이다.
본원에 따른 공정챔버용 헬륨 회수시스템은, 공정이 진행되는 동안에 정전기척의 유로홈에서 소모되는 헬륨 이외의 헬륨을 회수하여 재사용함으로써, 고가의 헬륨의 소모량을 최소화하여 원가부담을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 공정챔버용 헬륨 회수시스템의 구성을 도시한 도면.
도 2는 도 1에 채용되는 공정챔버를 발췌하여 내부 구성을 설명하기 위한 도면.
이하, 본 발명에 따른 공정챔버용 헬륨 회수시스템을 첨부된 도면을 조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 공정챔버용 헬륨 회수시스템의 구성을 도시한 도면이고, 도 2는 도 1에 채용되는 공정챔버를 발췌하여 내부 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 공정챔버용 헬륨 회수시스템은, 웨이퍼(w)를 정전력으로 척킹하는 것으로서 상측표면에 유로홈(11)이 형성된 정전기척(ESC ; Electric Static Chuck)(12), 정전기척(12)을 관통하게 설치되어 상기 정전기척(12)의 상부측로 승강되는 것으로서 웨이퍼(w)를 지지하는 승강핀(13)을 포함하여, 그 내부로 공급되는 공정가스(process gas)에 의하여 웨이퍼(w)에 박막을 형성하거나 에칭하는 공정챔버(10)와; 헬륨을 압송하는 펌프(21), 펌프(21)에 의하여 압송된 헬륨이 회수되는 회수탱크(22), 회수탱크(22)에서 공급되는 헬륨의 흐름량을 조절하는 MFC(Mass Flow Controller)(23) 및 흐르는 헬륨의 압력을 일정하게 유지하기 위한 PCV(Pressure Control Valve)(24)가 라인에 의하여 폐회로를 이루도록 연결되는 회수회로부(20)와; MFC(23)와 PCV(24)를 연결하는 라인에서 분기되어 공정챔버(10)의 유로홈(11)과 연결되는 분기라인(30)과; 공정챔버(10)에서 소모되는 헬륨을 보충하기 위하여, 상기 회수회로부(20)로 공급하기 위한 헬륨이 저장된 메인공급탱크(40)와; 메인공급탱크(40)와 회수회로부(20)를 연결하는 라인에 설치된 메인밸브(50);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 공정챔버(10)에 있어서, 정전기척(12)의 상부면에 형성된 유로홈(11)은 다수개로 구성될 수 있다. 본 실시예에서 유로홈은, 센터측에 형성된 센터유로홈(11a)과, 센터유로홈(11a)의 외측에 형성된 에지유로홈(11b)로 구현된 것으로 설명하며, 상기한 센터유로홈(11a) 및 에지유로홈(11b)에는 후술할 분기라인(30)을 통하여 공급되는 헬륨이 분사되는 홀(11a')(11b')이 형성되어 있다. 그러나 센터유로홈(11a)과 에지유로홈(11b) 사이에 유사한 미들유로홈이 형성될 수도 있음은 물론이다.
또한, 회수회로부(20)에 있어서, MFC(23)는, 센터유로홈(11a)과 연결된 제1분기라인(30a)과 연결되는 제1MFC(23a)와, 에지유로홈(11b)과 연결된 제2분기라인(30b)과 연결되는 제2MFC(23b)로 구성된다. 이러한 제1MFC(23a)는 센터유로홈(11a)로 흐르는 헬륨의 흐름량을 조절하여 일정한 양만큼 흐르게 하고, 제2MFC(23b)는 에지유로홈(11b)으로 흐르는 헬륨의 흐름량을 조절하여 일정한 양만큼 흐르게 한다.
또한, PCV(24)는, 제1MFC(23a)와 연결되는 제1PCV(24a)와, 제2MFC(23b)와 연결되는 제2PCV(24b)로 구성된다. 이러한 제1PCV(24a)는 제1MFC(23a)와 연계되어 센터유로홈(11a) 측의 헬륨의 압력이 일정하게 하고, 제2PCV(24b)는 제2MFC(23b)와 연계되어 에지유로홈(11b) 측의 헬륨의 압력이 일정하게 한다.
또한, 분기라인(30)은 센터유로홈(11a)과 연결되는 제1분기라인(30a)과, 에지유로홈(11b)과 연결되는 제2분기라인(30b)을 포함한다. 이때 제1분기라인(30a)은 회수회로부(20)의 제1MFC(23a)와 제1PCV(24a)를 연결하는 라인과 연결된다. 또 제2분기라인(30b)은 제2MFC(23b)와 제2PCV(24b)를 연결하는 라인과 연결된다.
이와 같이, 제1MFC(23a) 및 제1PCV(24a)에 의하여 후술할 제1분기라인(30a)을 통하여 센터유로홈(11a)으로 분사되는 헬륨의 양 및 압력은 항상 일정하게 유지되고, 제2MFC(23b) 및 제2PCV(24b)에 의하여 후술할 제2분기라인(30b)을 통하여 에지유로홈(11b)으로 분사되는 헬륨의 양 및 압력은 항상 일정하게 유지된다.
한편, 제1분기라인(30a)의 전후방측, 즉 제1MFC(23a)와 제1분기라인(30a) 사이의 라인에 제1밸브(V1)가 설치되고, 제1PCV(24a)와 제1분기라인(30a) 사이의 라인에 제2밸브(V2)가 설치된다. 또한 제1MFC(23a)와 회수탱크(22) 사이의 라인에 제3밸브(V3)가 설치되고, 제1MFC(23a)와 제1PCV(24a) 사이의 라인에 제4밸브(V4)가 설치된다.
한편, 제2분기라인(30b)의 전후방측, 즉 제2MFC(23b)와 제2분기라인(30b) 사이의 라인에 제5밸브(V5)가 설치되고, 제2PCV(24b)와 제2분기라인(30b) 사이의 라인에 제6밸브(V6)가 설치된다. 또한 제2MFC(23b)와 회수탱크(22) 사이의 라인에 제7밸브(V3)가 설치되고, 제2MFC(23b)와 제2PCV(24b) 사이의 라인에 제8밸브(V8)가 설치된다.
상기한 제1,2,3,4밸브(V1)(V2)(V3)(V4)는 선택적으로 개폐됨으로써, 센터유로홈(11a)으로 헬륨이 흐르게 하거나, 공정챔버(10)를 청소하거나 수리를 하고자 할 때 헬륨이 공정챔버(10)로 유입되지 않도록 한다.
상기한 제5,6,7,8밸브(V5)(V6)(V7)(V8)는 선택적으로 개폐됨으로써, 에지유로홈(11b)으로 헬륨이 흐르게 하거나, 공정챔버(10)를 청소하거나 수리를 하고자 할 때 헬륨이 공정챔버(10)로 유입되지 않도록 한다.
공정챔버(10)는 다양하게 구현될 수 있는데, 예를 들면 웨이퍼를 정전력으로 척킹하는 정전기척(12)은 플레이트승강수단(15)에 의하여 승강되는 승강플레이트(14)에 설치되고, 복수의 승강핀(13)은 정전기척(12) 및 승강플레이트(14)를 관통하여 설치되며, 승강핀(13)은 핀승강수단(16)에 의하여 승강되는 핀승강부재(17)에 의하여 승강 가능한 구조를 가지도록 구현될 수 있다.
센터유로홈(11a) 및 에지유로홈(11b)은, 그를 통하여 분사되는 헬륨에 의하여 정전기척(12)의 온도를 웨이퍼로 고르게 전달하여 웨이퍼의 온도분포를 고르게 한다. 즉, 웨이퍼의 온도분포를 고르게 하기 위하여, 공정챔버(10) 내부에서 공정이 진행되는 동안에 센터유로홈(11a) 및 에지유로홈(11b)을 통하여 헬륨을 지속적으로 공급하여야 한다.
정전기척(12)은 정전력을 이용하여 웨이퍼를 척킹하기 위한 것이다. 이를 위하여, 정전기척(12)은 양전하로 대전시키고, 웨이퍼는 플라즈마를 이용하여 음전하로 대전시킨다.
회수회로부(20)는, 분기라인(30)을 통하여 공정챔버(10)로 헬륨을 일부 공급하고, 그 분기라인(30)으로 공급되지 않는 헬륨을 회수하여 재사용할 수 있도록 하는 것이다. 이를 위하여, 회수회로부(20)에 있어서, 펌프(21)는 분기라인(30)으로 공급되지 않은 헬륨을 회수탱크(22)로 압송하여 회수 및 저장하고, 회수탱크(22)에 저장된 헬륨은 MFC(23) 및 PCV(24)를 경유한 후 펌프(21)를 통하여 순환된다. 즉, 펌프(21)는 헬륨을 제1MFC(23a) 및 제1PCV(24a)를 경유한 후 회수탱크(22)로 회수될 수 있도록 하고, 회수탱크(22)는 펌프(21)에 의하여 압송된 헬륨을 회수 및 저장하는 것이며, 이에 따라 헬륨이 대기로 배기되어 소모되지 않도록 하는 것이다.
한편, 회수탱크(22)에는, 저장된 되는 헬륨의 압력을 측정하여 대응되는 압력신호를 발생하는 압력센서(25)가 설치된다. 압력센서(25)는 헬륨의 압력값에 대응되는 신호를 발생하여, 후술할 메인밸브(50)를 개폐하는 신호로 사용한다.
또한 회수탱크(22)에는, 저장되는 헬륨 내부에 포함된 불순물을 제거하기 위한 필터(26)가 설치된다. 본원의 회수회로부(20)에 있어서, 헬륨은 펌프(21), 회수탱크(22), 제1,2MFC(23a)(23b), 제1,2PCV(24a)(24b)를 연결하는 라인(L)을 순환하는데, 이 과정에서 라인이나 펌프(21)에서 분리되는 미세 이물질이 헬륨에 포함될 수 있다. 이러한 이물질을 제거하기 위하여, 회수탱크(22)에는 필터(26)가 설치되는 것이다.
메인공급탱크(40)는, 공정챔버(10)에서 소모되는 헬륨을 보충하기 위하여, 회수회로부(20)로 소모된 헬륨을 공급한다. 이때 메인밸브(50)는, 메인공급탱크(40)와 제1MFC(23a) 사이를 선택적으로 개폐하는 제1메인밸브(50a)와, 메인공급탱크(40)와 제2MFC(23b) 사이를 선택적으로 개폐하는 제2메인밸브(50b)로 구성된다. 이러한 제1메인밸브(50a) 및 제2메인밸브(50b)는, 회수탱크(22)에 저장되는 헬륨의 압력값에 대응되는 신호를 발생하는 압력센서(25)와 연동하여 개폐되는 솔레노이드밸브인 것이 바람직하다.
제1,2메인밸브(50a)(50b)는 회수탱크(22)에 설치된 압력센서(25)와 연동되어 개폐됨으로써, 공정챔버(10)에서 헬륨이 소모됨에 따라 회수탱크(22)에서 회수되는 헬륨의 양이 설정값 이하로 낮아지면, 자동으로 제1,2메인밸브(50a)(50b)가 개방되어 헬륨을 회수회로부(20)로 공급한다.
상기한 구조의 공정챔버용 헬륨 회수시스템에 따르면, 정전기척(12)에 웨이퍼가 안착된 상태에서 공정챔버(10) 내부로 공정가스가 공급되어 특정 공정이 진행된다. 이때 정전기척(12)의 센터유로홈(11a)과 엔지유로홈(11b)으로 헬륨을 공급하기 위하여 회수회로부(20)를 작동되시키면, 회수탱크(22)에서 공급되는 헬륨은 제1MFC(23a) 및 제1PCV(24a), 제2MFC(23b) 및 제2PCV(24b)를 순환한 후 펌프(21)에 의하여 회수탱크(22)에 회수 및 저장되는 순환과정이 반복되고, 이 동안에 제1MFC(23a) 및 제1PCV(24a) 사이의 라인과 연결된 제1분기라인(30a)을 통하여 헬륨이 센터유로홈(11a)으로 공급되고, 제2MFC(23b) 및 제2PCV(24b) 사이의 라인과 연결된 제2분기라인(30b)을 통하여 헬륨이 에지유로홈(11b)으로 공급된다. 이후 센터유로홈(11a) 및 에지유로홈(11b)을 통하여 빠져나오는 헬륨은 공정챔버(10)와 연결된 배기펌프(미도시)를 통하여 배기된다. 즉, 회수회로부(20)를 순환하는 헬륨중 센터유로롬(11a) 및 에지유로홈(11b)으로 공급되는 헬륨의 나머지는 다시 회수하여 재사용하는 것이며, 이에 따라 헬륨이 대기로 배기되어 소모되지 않게 하여 결국 헬륨의 소모량을 최소화하여 원가부담을 최소화할 수 있는 것이다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
10 ... 공정챔버 11 ... 유로홈
11a ... 센터유로홈 11b ... 에지유로홈
12 ... 정전기척 13 ... 승강핀
14 ... 승강플레이트 15 ... 플레이트승강수단
16 ... 핀승강수단 17 ... 핀승강부재
20 ... 회수회로부 21 ... 펌프
22 ... 회수탱크 23a ... 제1MFC
23b ... 제2MFC 24a ... 제1PCV
24b ... 제2PCV 25 ... 압력센서
26 ... 필터 30 ... 분기라인
40 ... 메인공급탱크 50 ... 메인밸브

Claims (6)

  1. 웨이퍼(w)를 정전력으로 척킹하는 것으로서 상측표면에 유로홈(11)이 형성된 정전기척(ESC ; Electric Static Chuck)(12), 상기 정전기척(12)을 관통하게 설치되어 상기 정전기척(12)의 상부측로 승강되는 것으로서 웨이퍼(w)를 지지하는 승강핀(13)을 포함하여, 그 내부로 공급되는 공정가스에 의하여 웨이퍼(w)에 박막을 형성하거나 에칭하는 공정챔버(10);
    헬륨을 압송하는 펌프(21), 상기 펌프(21)에 의하여 압송된 헬륨이 회수되는 회수탱크(22), 상기 회수탱크(22)에서 공급되는 헬륨의 흐름량을 조절하는 MFC(Mass Flow Controller)(23) 및 흐르는 상기 헬륨의 압력을 일정하게 유지하기 위한 PCV(Pressure Control Valve)(24)가 라인에 의하여 폐회로를 이루도록 연결되는 회수회로부(20);
    상기 MFC(23)와 PCV(24)를 연결하는 라인에서 분기되어 상기 공정챔버(10)의 유로홈(11)과 연결되는 분기라인(30);
    상기 공정챔버(10)에서 소모되는 헬륨을 보충하기 위하여, 상기 회수회로부(20)로 공급하기 위한 헬륨이 저장된 메인공급탱크(40); 및
    상기 메인공급탱크(40)와 회수회로부(20)를 연결하는 라인에 설치된 메인밸브(50);를 포함하고;
    상기 유로홈(11)은, 센터측에 형성된 센터유로홈(11a)과, 상기 센터유로홈(11a)의 외측에 형성된 에지유로홈(11b)을 포함하며;
    상기 분기라인(30)은, 상기 센터유로홈(11a)과 연결되는 제1분기라인(30a)과, 상기 에지유로홈(11b)과 연결되는 제2분기라인(30b)을 포함하고;
    상기 MFC(23)는, 상기 제1분기라인(30a)과 연결되는 제1MFC(23a)와, 상기 제2분기라인(30b)과 연결되는 제2MFC(23b)로 구성되며;
    상기 PCV(24)는, 상기 제1MFC(23a)와 연결되는 제1PCV(24a)와, 상기 제2MFC(23b)와 연결되는 제2PCV(24b)로 구성되는 것;을 특징으로 하는 공정챔버용 헬륨 회수시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1MFC(23a)와 제1분기라인(30a) 사이의 라인에 제1밸브(V1)가 설치되고, 상기 제1PCV(24a)와 제1분기라인(30a) 사이의 라인에 제2밸브(V2)가 설치되며, 상기 제1MFC(23a)와 회수탱크(22) 사이의 라인에 제3밸브(V3)가 설치되고, 상기 제1MFC(23a)와 제1PCV(24a) 사이의 라인에 제4밸브(V4)가 설치되며;
    상기 제2MFC(23b)와 제2분기라인(30b) 사이의 라인에 제5밸브(V5)가 설치되고, 상기 제2PCV(24b)와 제2분기라인(30b) 사이의 라인에 제6밸브(V6)가 설치되며, 상기 제2MFC(23b)와 회수탱크(22) 사이의 라인에 제7밸브(V3)가 설치되고, 상기 제2MFC(23b)와 제2PCV(24b) 사이의 라인에 제8밸브(V8)가 설치되는 것을 특징으로 하는 공정챔버용 헬륨 회수시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 회수탱크(22)에는, 저장되는 헬륨 내부에 포함된 불순물을 제거하기 위한 필터(26)가 설치되는 것을 특징으로 하는 공정챔버용 헬륨 회수시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 회수탱크(22)에는, 저장된 되는 헬륨의 압력을 측정하여 대응되는 압력신호를 발생하는 압력센서(25)가 설치되고;
    상기 메인밸브(50)는, 상기 압력센서(25)에서 발생되는 압력신호에 연동하여 개폐되는 솔레노이드밸브인 것;을 특징으로 하는 공정챔버용 헬륨 회수시스템.
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