KR101083802B1 - Method of supplying Liquid - Google Patents

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Abstract

본 발명의 용액 공급 방법은 용액 용기로부터 용액 공급 배관을 통해 용액 공급 펌프의 실린더 내에 용액을 충진함과 아울러 상기 용액 공급 펌프에 충진된 상기 용액 내에 기포가 발생하고, 상기 용액 배출시 상기 용액 공급 펌프의 상기 용액 내에 발생한 기포를 제거하고, 상기 용액 공급 펌프의 실린더 내에 충진된 용액을 제1 용액 배출 배관을 통해 용액 배출 펌프로 이송하고, 상기 용액 배출 펌프로 이송된 용액을 제2 용액 배출 배관을 통해 외부로 배출하고, 및 상기 용액 용기로부터 상기 용액 공급 배관을 통해 상기 용액 공급 펌프의 실린더 내에 용액을 다시 충진하는 것을 포함하여 이루어진다.

Figure R1020090058320

In the solution supply method of the present invention, the solution is filled in the cylinder of the solution supply pump through the solution supply pipe from the solution container, and bubbles are generated in the solution filled in the solution supply pump, and the solution supply pump when the solution is discharged. Removes bubbles generated in the solution of the solution, transfers the solution filled in the cylinder of the solution supply pump to the solution discharge pump through the first solution discharge pipe, and transfers the solution transferred to the solution discharge pump to the second solution discharge pipe. Exhausting to the outside, and refilling the solution from the solution vessel into the cylinder of the solution supply pump through the solution supply pipe.

Figure R1020090058320

Description

용액 공급 방법{Method of supplying Liquid}Method of supplying liquid

본 발명은 용액 공급 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 외부에 위치하는 부재, 예컨대 기판 상에 용액을 공급하는 용액 공급 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a solution supply method, and more particularly to a solution supply method for supplying a solution on an externally located member, such as a substrate.

일반적으로, 반도체 소자나 액정 표시 소자 등의 전자 소자의 제조 공정에서 기판 표면에 용액을 코팅하기 위하여 용액 공급 장치가 이용된다. 종래의 용액 공급 장치를 도 1을 이용하여 자세히 설명한다. Generally, a solution supply apparatus is used to coat a solution on the surface of a substrate in the manufacturing process of an electronic device such as a semiconductor device or a liquid crystal display device. A conventional solution supply apparatus will be described in detail with reference to FIG. 1.

도 1은 종래 기술에 의한 용액 공급 장치를 설명하기 위한 개략도이다. 1 is a schematic view for explaining a solution supply apparatus according to the prior art.

구체적으로, 종래의 용액 공급 장치(10)는 용액(12), 예컨대 화학 용액이 담겨져 있는 용액 용기(14)와, 용액 용기(14)와 배관(16)으로 연결된 펌프(18)와, 용액 용기(14)와 연결된 용액 배출 배관(20)을 포함한다. 용액 배출 배관(20)에는 온오프(on/off) 밸브(22) 및 용액 배출건(24, liquid supply gun)이 설치되어 있다. Specifically, the conventional solution supply apparatus 10 includes a solution container 14 containing a solution 12, for example, a chemical solution, a pump 18 connected to the solution container 14 and a pipe 16, and a solution container. And a solution discharge tubing 20 connected to 14. The solution discharge pipe 20 is provided with an on / off valve 22 and a liquid supply gun 24.

펌프(18)에서 화살표로 표시한 바와 같이 배관(16)을 통해 용액 용기(14)로 공기를 주입하면, 용액 용기(14) 내에 포함된 용액(12)은 용액 배출 배관(20)을 통 해 기판(26) 상에 배출된다. 용액 배출 배관(20)에 설치된 온오프 밸브(22)는 용액(12)의 흐름을 제어한다. 도 1에서, 펌프(18)이나 온오프 밸브(22)를 구동시키기 위한 구동 수단은 편의상 도시되지 않았다. When air is injected into the solution container 14 through the pipe 16 as indicated by the arrow in the pump 18, the solution 12 contained in the solution container 14 is passed through the solution discharge pipe 20. Ejected onto the substrate 26. The on-off valve 22 installed in the solution discharge pipe 20 controls the flow of the solution 12. In FIG. 1, drive means for driving the pump 18 or the on-off valve 22 are not shown for convenience.

그런데, 종래의 용액 공급 장치(10)는 단순하게 펌프(18)를 이용하여 용액(12)을 공급하기 때문에 기판(26) 상에 배출되는 용액(12)의 배출량이 일정하지 않으며 정밀하게 제어하기도 어렵다. 다시 말해, 종래의 용액 공급 장치(10)는 단순하게 용액 용기(14)의 내부에 압력을 가하여 용액(12)을 용액 배출 배관(20)으로 배출하는 것이기 때문에, 용액의 배출량이 일정하지 않고 정밀하게 제어하기도 어렵다.However, since the conventional solution supply device 10 simply supplies the solution 12 using the pump 18, the discharge amount of the solution 12 discharged onto the substrate 26 is not constant and may be precisely controlled. it's difficult. In other words, since the conventional solution supply device 10 simply discharges the solution 12 to the solution discharge pipe 20 by applying pressure to the inside of the solution container 14, the discharge of the solution is not constant and precise. Difficult to control.

또한, 종래의 용액 공급 장치(10)는 단순하게 펌프(18) 및 온오프 밸브(22)에 의하여 용액(12)을 공급하기 때문에 용액 공급 과정 중에 용액(12) 내에 기포가 발생하는 문제점이 있다. 이렇게 용액(12) 내에 기포가 발생할 경우 기판(26) 상에 배출되는 용액(12)의 배출량이 일정하지 않을 뿐만 아니라 기판(26) 상에 용액(12)이 원활하게 배출되지 않는다. In addition, since the conventional solution supply device 10 simply supplies the solution 12 by the pump 18 and the on-off valve 22, there is a problem that bubbles are generated in the solution 12 during the solution supply process. . When bubbles are generated in the solution 12, the discharge of the solution 12 discharged onto the substrate 26 is not uniform, and the solution 12 does not smoothly discharge onto the substrate 26.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 외부 부재, 예컨대 기판 상에 배출되는 용액의 배출량을 일정하게 하면서 용액의 배출량을 정밀하게 제어함과 아울러 용액 내부에 발생되는 기포를 제거할 수 있는 용액 공급 방법을 제공하는 데 있다. The problem to be solved by the present invention is to provide a solution supply method that can precisely control the discharge of the solution while removing the discharge of the solution discharged on the external member, for example, the substrate and at the same time remove the bubbles generated inside the solution. There is.

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상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 용액 공급 방법은 용액 용기로부터 용액 공급 배관을 통해 용액 공급 펌프의 실린더 내에 용액을 충진함과 아울러 용액 공급 펌프에 충진된 용액 내에 기포가 발생한다. 용액 공급 펌프의 용액 내에 발생한 기포를 제거한다. 용액 공급 펌프의 실린더 내에 충진된 용액을 제1 용액 배출 배관을 통해 용액 배출 펌프로 이송한다. 용액 배출 펌프로 이송된 용액을 제2 용액 배출 배관을 통해 외부로 배출한다. 용액 용기로부터 용액 공급 배관을 통해 용액 공급 펌프의 실린더 내에 용액을 다시 충진한다. In order to solve the above-mentioned problems, the solution supply method of the present invention, while filling the solution in the cylinder of the solution supply pump from the solution container through the solution supply pipe, bubbles are generated in the solution filled in the solution supply pump. The bubbles generated in the solution of the solution supply pump are removed. The solution filled in the cylinder of the solution supply pump is transferred to the solution discharge pump through the first solution discharge pipe. The solution transferred to the solution discharge pump is discharged to the outside through the second solution discharge pipe. The solution is refilled into the cylinder of the solution supply pump from the solution vessel through the solution supply piping.

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용액 용기로부터 용액 공급 배관을 통해 용액 공급 펌프의 실린더 내에 용액을 충진하는 것은, 용액 공급 펌프의 실린더 내에 위치하는 피스톤을 이동시켜 실린더 내부를 감압하여 수행할 수 있다. 용액 공급 펌프의 실린더 내에 충진된 용액을 용액 배출 펌프로 이송하는 것은, 용액 공급 펌프의 실린더 내에 충진된 용액을 피스톤으로 가압하여 수행할 수 있다. Filling the solution into the cylinder of the solution supply pump from the solution vessel through the solution supply pipe can be carried out by moving the piston located in the cylinder of the solution supply pump to depressurize the inside of the cylinder. Transferring the solution filled in the cylinder of the solution supply pump to the solution discharge pump may be performed by pressurizing the solution filled in the cylinder of the solution supply pump with a piston.

용액 공급 펌프의 용액 내에 발생한 기포는, 용액 공급 펌프의 실린더 내에 위치하는 피스톤을 이동시켜 실린더 내부를 진공 상태로 유지하면서 용액 공급 펌프에 연결된 기포 배출 배관을 통해 기포를 배출시킬 수 있다.The bubbles generated in the solution of the solution supply pump may discharge the bubbles through the bubble discharge pipe connected to the solution supply pump while moving the piston located in the cylinder of the solution supply pump to maintain the inside of the cylinder in a vacuum state.

본 발명의 용액 공급 방법에 이용되는 용액 공급 장치는 기포 배출 배관을 구비하여 용액 내부에 발행하는 기포를 제거할 수 있다. The solution supply device used in the solution supply method of the present invention may be provided with a bubble discharge pipe to remove bubbles issued inside the solution.

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본 발명의 용액 공급 방법은 용액 공급 펌프 및 용액 배출 펌프로 구성되는 용액 공급 장치를 이용하기 때문에 외부 부재, 예컨대 기판 상에 배출되는 용액의 배출량을 일정하게 하면서 정밀하게 제어할 수 있다. Since the solution supply method of the present invention uses a solution supply device composed of a solution supply pump and a solution discharge pump, it is possible to precisely control the discharge of the solution discharged on the outer member, for example, the substrate.

본 발명의 용액 공급 방법은 기포 배출 배관을 갖는 용액 공급 펌프를 이용하기 때문에 용액 내부에 발생되는 기포를 제거할 수 있고, 외부 부재, 예컨대 기판 상에 원활하게 용액을 배출할 수 있다. Since the solution supply method of the present invention uses a solution supply pump having a bubble discharge pipe, it is possible to remove bubbles generated inside the solution and to smoothly discharge the solution on the outer member, for example, the substrate.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 다음에 예시하는 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시예에 한정되는 것은 아니고, 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 본 발명의 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식 을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 이하의 도면들에서, 동일한 참조번호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the embodiments of the present invention illustrated in the following may be modified in many different forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be implemented in various different forms. The embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. In the following figures, like reference numerals refer to like elements.

이하에서 설명되는 본 발명의 용액 공급 방법에 이용되는 용액 공급 장치는 용액 용기에 연결된 용액 공급 펌프와 용액 공급 펌프와 연결된 용액 배출 펌프와 온오프 밸브를 포함한다. 특히, 본 발명의 용액 공급 방법에 이용되는 용액 공급 장치는 두 개의 펌프를 이용하여 용액을 배출하기 때문에 외부 부재, 예컨대 기판 상에 배출되는 용액의 배출량을 일정하게 하면서 정밀하게 제어한다.The solution supply apparatus used in the solution supply method of the present invention described below includes a solution supply pump connected to a solution container, a solution discharge pump connected to a solution supply pump, and an on / off valve. In particular, since the solution supply device used in the solution supply method of the present invention discharges the solution by using two pumps, it precisely controls the discharge of the solution discharged on the external member, for example, the substrate.

본 발명의 용액 공급 방법에 이용되는 용액 공급 장치는 용액 공급 펌프에 기포 배출 배관의 일단부가 연결되어 있고, 기포 배출 배관의 타단부는 용액 용기에 연결되어 있다. 이에 따라, 본 발명의 용액 공급 방법에 이용되는 용액 공급 장치는 용액 공급 펌프의 피스톤의 동작을 이용하여 용액 내부에 발생하는 기포를 제거한다. 이상과 같은 발명 개념을 갖는 본 발명의 용액 공급 방법을 이하에서 설명한다. In the solution supply apparatus used in the solution supply method of the present invention, one end of the bubble discharge pipe is connected to the solution supply pump, and the other end of the bubble discharge pipe is connected to the solution container. Accordingly, the solution supply device used in the solution supply method of the present invention removes bubbles generated in the solution using the operation of the piston of the solution supply pump. The solution supply method of this invention which has the above concept of invention is demonstrated below.

도 2는 본 발명의 용액 공급 방법에 이용되는 용액 공급 장치의 개략도이고, 도 3은 도 2의 용액 공급 펌프의 확대도이고, 도 4는 도 2의 용액 배출 펌프의 확대도이다. FIG. 2 is a schematic view of a solution supply device used in the solution supply method of the present invention, FIG. 3 is an enlarged view of the solution supply pump of FIG. 2, and FIG. 4 is an enlarged view of the solution discharge pump of FIG. 2.

구체적으로, 용액 공급 장치(400)는 용액(102), 예컨대 화학 용액이 담겨져 있는 용액 용기(100)와, 용액 용기(100)에 연결된 용액 공급 배관(103)을 포함한다. 도 2에서는, 용액 용기(100) 및 용액 공급 배관(103)을 2개 표시하였으나, 하나 또는 복수개일 수도 있다. 용액 공급 배관(103)에는 용액의 흐름을 온 및 오프로 제어할 수 있는 제1 온오프(on/off) 밸브(104)가 설치되어 있다. 제1 온오프 밸브(104)는 전기적인 신호에 따라 작동하는 공기 밸브(air valve)로 구성할 수 있다. 도 2에서, 참조번호 106은 2개의 용액 공급 배관(103)을 연결되는 연결부재이다.Specifically, the solution supply device 400 includes a solution container 100 containing a solution 102, for example, a chemical solution, and a solution supply pipe 103 connected to the solution container 100. In FIG. 2, two solution containers 100 and two solution supply pipes 103 are shown, but one or more may be provided. The solution supply pipe 103 is provided with a first on / off valve 104 capable of controlling the flow of the solution on and off. The first on-off valve 104 may be configured as an air valve that operates according to an electrical signal. In FIG. 2, reference numeral 106 denotes a connecting member connecting two solution supply pipes 103.

용액 공급 배관(103)에는 용액 공급 펌프(200)가 연결되어 있다. 즉, 용액 공급 펌프(200)의 일단부가 용액 공급 배관(103)과 연결되어 있다. 용액 공급 펌프(200)는 실선 화살표로 표시한 바와 같이 용액 공급 배관(103)을 통해서 용액 용기(100) 내에 포함된 용액(102)을 흡입한다. 용액 공급 펌프(200)는 실린더(210) 내에 위치하는 피스톤(212)의 상하부 동작을 통해 용액 용기(100) 내에 포함된 용액을 흡입한다. The solution supply pump 200 is connected to the solution supply pipe 103. That is, one end of the solution supply pump 200 is connected to the solution supply pipe 103. The solution supply pump 200 sucks the solution 102 contained in the solution container 100 through the solution supply pipe 103 as indicated by the solid arrow. The solution supply pump 200 sucks the solution contained in the solution container 100 through the upper and lower operations of the piston 212 located in the cylinder 210.

용액 공급 펌프(200)는 제1 용액 배출 배관(202)과 연결되어 있다. 용액 공급 펌프(200)의 타단부는 제1 용액 배출 배관(202)과 연결되어 있다. 용액 공급 펌프(200)는 제1 용액 배출 배관(202)을 통해 흡입된 용액을 배출한다. 제1 용액 배출 배관(202)에는 용액(102)의 흐름을 제어할 수 있는 제2 온오프 밸브(204)가 설치되어 있다. 제2 온오프 밸브(204)는 전기적인 신호에 따라 작동하는 공기 밸브(air valve)로 구성할 수 있다. 제2 온오프 밸브(204)는 용액 공급 펌프(200) 방향으로 용액(102)이 역류되지 않는 체크 밸브 기능도 수행한다. The solution supply pump 200 is connected to the first solution discharge pipe 202. The other end of the solution supply pump 200 is connected to the first solution discharge pipe 202. The solution supply pump 200 discharges the sucked solution through the first solution discharge pipe 202. The first solution discharge pipe 202 is provided with a second on / off valve 204 that can control the flow of the solution 102. The second on / off valve 204 may be configured as an air valve that operates according to an electrical signal. The second on / off valve 204 also functions as a check valve in which the solution 102 does not flow back in the direction of the solution supply pump 200.

용액 공급 펌프(200)에는 용액 공급 펌프(200) 내부의 기포를 점선 화살표로 방향으로 배출할 수 있는 기포 배출 배관(108)이 연결되어 있다. 기포 배출 배관(108)에는 기포를 배출할 수 있고, 기포 흐름을 제어하는 제3 온오프 밸브(230)가 연결되어 있다. 제3 온오프 밸브(230)는 전기적인 신호에 따라 작동하는 공기 밸브(air valve)로 구성할 수 있다. 후에 설명하는 바와 같이 제3 온오프 밸 브(230)는 용액 공급 펌프(200)의 로드(216, rod) 상부에 설치되어 기포를 배출하는 역할을 수행한다. The solution supply pump 200 is connected to a bubble discharge pipe 108 capable of discharging bubbles in the solution supply pump 200 in a direction indicated by a dotted arrow. The bubble discharge pipe 108 is connected to a third on / off valve 230 that can discharge bubbles and controls bubble flow. The third on / off valve 230 may be configured as an air valve that operates according to an electrical signal. As described later, the third on-off valve 230 is installed on the rod 216 of the solution supply pump 200 to discharge bubbles.

제1 용액 배출 배관(202)은 용액 배출 펌프(300)와 연결되어 있다. 용액 배출 펌프(300)의 일단부가 제1 용액 배출 배관(202)과 연결되어 있다. 용액 배출 펌프(300)는 용액 공급 펌프(200)로부터 배출되는 용액을 흡입한다. 용액 배출 펌프(300)는 실린더(310) 내에 위치하는 피스톤(312)의 상하부 동작을 통해 용액 공급 펌프(200)로부터 배출되는 용액을 흡입한다. 용액 배출 펌프(300)의 타단부는 제2 용액 배출 배관(302) 및 용액 배출 건(304)이 연결되어 있다. 용액 배출 펌프(300)는 제2 용액 배출 배관(302) 및 용액 배출건(304)을 통해 외부의 외부 부재, 예컨대 기판(306) 상으로 용액(102)을 배출한다. 도 2에서, 용액 배출 펌프(300)는 2개 표시하였으나, 하나 또는 복수개일 수 있다. 도 2에서, 참조번호 206은 2개의 용액 배출 배관(202)을 연결되는 연결부재이다. The first solution discharge pipe 202 is connected to the solution discharge pump 300. One end of the solution discharge pump 300 is connected to the first solution discharge pipe 202. The solution discharge pump 300 sucks the solution discharged from the solution supply pump 200. The solution discharge pump 300 sucks the solution discharged from the solution supply pump 200 through the upper and lower operations of the piston 312 positioned in the cylinder 310. The other end of the solution discharge pump 300 is connected to the second solution discharge pipe 302 and the solution discharge gun 304. The solution discharge pump 300 discharges the solution 102 through the second solution discharge pipe 302 and the solution discharge gun 304 onto an external external member such as the substrate 306. In FIG. 2, two solution discharge pumps 300 are shown, but may be one or a plurality. In FIG. 2, reference numeral 206 denotes a connecting member connecting two solution discharge pipes 202.

용액 공급 펌프(200) 및 용액 배출 펌프(300)는 용액(102)의 흐름에 따라 서로 연동되게 구성될 수 있다. 즉, 용액 공급 펌프(200)가 흡입된 용액을 배출할 경우에는 용액 배출 펌프(300)는 용액을 흡입하게 구성할 수 있다. 도 2에서, 참조부호 S1-S5는 용액의 존재유무를 감지할 수 있는 센서를 나타낸다. The solution supply pump 200 and the solution discharge pump 300 may be configured to interlock with each other according to the flow of the solution 102. That is, when the solution supply pump 200 discharges the sucked solution, the solution discharge pump 300 may be configured to suck the solution. In Figure 2, reference numerals S1-S5 represent a sensor that can detect the presence or absence of a solution.

여기서, 도 3을 이용하여 용액 공급 펌프(200)를 보다 자세하게 설명한다. Here, the solution supply pump 200 will be described in more detail with reference to FIG. 3.

구체적으로, 용액 공급 펌프(200)는 내부에 일정한 공간을 갖는 실린더(210)를 포함한다. 실린더(210) 내에는 하부 좌측에 표시된 화살표 방향으로 용액(102)이 흡입되고, 하부 우측 방향에 표시된 방향으로 용액(102)이 배출된다. 용액 공급 펌프(200)는 실린더(210) 내부에 설치되고 실린더(210) 내벽에 밀착되는 밀착면을 갖는 피스톤(212)과, 실린더(210) 내부에서 피스톤(212)을 둘러싸는 실링재(214)와, 피스톤(212)에 연결되는 로드(216, 피스톤 로드)를 포함한다. 로드(216)는 피스톤(212)의 상측에 연결된다. 용액 공급 펌프(200)는 피스톤(212)의 상하 운동에 의해 도 3의 하부 좌측 및 하부 우측에 화살표로 표시한 바와 같이 용액(102)을 흡입하거나 제1 용액 배출 배관(202)으로 배출한다. Specifically, the solution supply pump 200 includes a cylinder 210 having a predetermined space therein. The solution 102 is sucked into the cylinder 210 in the direction indicated by the arrow on the lower left side, and the solution 102 is discharged in the direction indicated on the lower right direction. The solution supply pump 200 is installed inside the cylinder 210 and has a piston 212 having a close contact with the inner wall of the cylinder 210, and a sealing material 214 surrounding the piston 212 inside the cylinder 210. And a rod 216 (piston rod) connected to the piston 212. The rod 216 is connected to the upper side of the piston 212. The solution supply pump 200 sucks or discharges the solution 102 to the first solution discharge pipe 202 as indicated by the arrows on the lower left and lower right of FIG. 3 by the vertical movement of the piston 212.

로드(216)는 구동 실린더(218) 및 구동 피스톤(220)으로 이루어진 용액 공급 펌프용 구동 장치(221)에 의해 상하 운동을 한다. 로드(216)의 내부에는 관통홀(222)이 설치되어 있다. 로드(216)의 상부를 감싸면서 기포 배출용 실린더(224) 및 기포 배출용 피스톤(226)으로 이루어진 제3 온오프 밸브(230)가 설치되어 있다. 제3 온오프 밸브(230)는 점선 화살표로 표시한 바와 같이 로드(216)의 내부에 설치된 관통홀(222)을 통과하는 기포의 흐름을 제어한다. 도 3에서, 제3 온오프 밸브(230)를 구성하는 기포 배출용 피스톤(226)의 구동 장치는 편의상 도시하지 않는다. The rod 216 moves up and down by the drive device 221 for the solution supply pump which consists of the drive cylinder 218 and the drive piston 220. The through hole 222 is provided inside the rod 216. A third on / off valve 230 including a bubble discharge cylinder 224 and a bubble discharge piston 226 is provided while surrounding the upper portion of the rod 216. The third on / off valve 230 controls the flow of bubbles passing through the through hole 222 installed in the rod 216 as indicated by the dotted arrow. In FIG. 3, the driving device of the bubble discharge piston 226 constituting the third on-off valve 230 is not shown for convenience.

다음에는, 도 4를 이용하여 용액 배출 펌프(300)를 보다 자세하게 설명한다. 용액 배출 펌프(300)도 용액 공급 펌프(200)와 거의 비슷한 구성을 갖는다. Next, the solution discharge pump 300 will be described in more detail with reference to FIG. 4. The solution discharge pump 300 also has a configuration substantially similar to the solution supply pump 200.

구체적으로, 용액 배출 펌프(300)는 내부에 일정한 공간을 갖는 실린더(310)를 포함한다. 실린더(310) 내에는 좌측 실선 화살표로 표시한 바와 같이 용액(102)이 흡입되고 상측 화살표로 표시한 바와 같이 용액(102)이 배출된다. 용액 배출 펌프(300)는 실린더(310) 내부에 설치되고 실린더(310) 내벽에 밀착되는 밀착면을 갖 는 피스톤(312)과, 실린더(310) 내부에서 피스톤(312)을 둘러싸는 실링재(314)와, 피스톤(312)에 연결되는 로드(316)를 포함한다. 로드(316)는 용액 공급 펌프(200)와는 다르게 피스톤(312)의 하측에 연결된다. 로드(316)는 지지대(318)에 연결된다. 용액 배출 펌프(300)는 지지대(318) 및 로드(316)의 상하 운동에 의해 피스톤(312)도 상하운동을 한다. 이에 따라, 용액 배출 펌프(300)는 피스톤(312)의 상하 운동에 의해 실선 화살표로 표시한 바와 같이 제1 용액 배출 배관(202)으로부터 용액(102)을 흡입하고 제2 용액 배출 배관(302)으로 용액을 배출한다.Specifically, the solution discharge pump 300 includes a cylinder 310 having a predetermined space therein. In the cylinder 310, the solution 102 is sucked in as indicated by the solid line arrow on the left and the solution 102 is discharged as shown in the upper arrow. The solution discharge pump 300 is installed in the cylinder 310 and has a piston 312 having a close contact with the inner wall of the cylinder 310, and a sealing material 314 surrounding the piston 312 in the cylinder 310. And a rod 316 connected to the piston 312. The rod 316 is connected to the lower side of the piston 312 differently from the solution supply pump 200. The rod 316 is connected to the support 318. The solution discharge pump 300 also vertically moves the piston 312 by the vertical movement of the support 318 and the rod 316. Accordingly, the solution discharge pump 300 sucks the solution 102 from the first solution discharge pipe 202 and moves the second solution discharge pipe 302 as indicated by the solid arrow by the vertical movement of the piston 312. Drain the solution.

도 5는 도 2의 용액 공급 장치를 이용한 용액 공급 방법을 설명하기 위한 개략도이고, 도 6 내지 도 10은 도 2의 용액 공급 장치를 이용한 용액 및 기포의 흐름을 설명하기 위한 도면들이다. FIG. 5 is a schematic view for explaining a solution supply method using the solution supply device of FIG. 2, and FIGS. 6 to 10 are views for explaining a flow of a solution and bubbles using the solution supply device of FIG. 2.

도 5, 도 6, 및 도 7을 참조하면, 용액 공급 펌프(200)의 피스톤(212)을 위로 상승시켜 용액 용기(100a, 100b)로부터 용액(102)을 흡입한다. 즉, 용액 공급 펌프(200)의 실린더(210) 내에 위치하는 피스톤(212)을 위로 이동시켜 실린더(210) 내부를 감압하여 용액 용기(100a, 100b))로부터 용액 공급 배관(102)을 통해 용액 공급 펌프(200)의 실린더(210) 내에 용액(102)을 흡입하여 충진한다. 5, 6, and 7, the piston 212 of the solution supply pump 200 is lifted up to suck the solution 102 from the solution containers 100a and 100b. That is, the piston 212 located in the cylinder 210 of the solution supply pump 200 is moved upward to decompress the inside of the cylinder 210 and the solution from the solution vessels 100a and 100b through the solution supply pipe 102. The solution 102 is sucked and filled into the cylinder 210 of the feed pump 200.

도 6은 용액 공급 펌프(200)의 제1 용액 용기(100a)로부터 용액(102)을 흡입하는 것을 도시한 것이다. 도 6에서, 제1 용액 용기(100a)에 연결된 제1 온오프 밸브(104)가 온 상태이고(열린 상태)이고, 제2 용액 용기(100b)에 연결된 제1 온오프 밸브(104)가 오프 상태이고(닫힌 상태)이다.FIG. 6 illustrates aspirating the solution 102 from the first solution vessel 100a of the solution supply pump 200. In FIG. 6, the first on-off valve 104 connected to the first solution container 100a is on (open state), and the first on-off valve 104 connected to the second solution container 100b is off. State (closed).

도 7은 제2 용액 용기(100b)로부터 용액(102)을 흡입하는 것을 도시한 것이 다. 도 7에서, 제2 용액 용기(100b)에 연결된 제1 온오프 밸브(104)가 온 상태이고(열린 상태)이고, 제1 용액 용기(100a)에 연결된 제1 온오프 밸브(104)가 오프 상태이고(닫힌 상태)이다. 도 5에 도시한 바와 같이 용액 용기(100a, 100b)로부터 실선 화살표 방향으로 용액이 용액 공급 펌프(200)로 이송된다.FIG. 7 illustrates aspirating the solution 102 from the second solution vessel 100b. In FIG. 7, the first on-off valve 104 connected to the second solution container 100b is on (open state) and the first on-off valve 104 connected to the first solution container 100a is off. State (closed). As shown in FIG. 5, the solution is transferred from the solution containers 100a and 100b to the solution supply pump 200 in the direction of the solid arrow.

그런데, 용액 공급 펌프(200)의 실린더(210) 내부를 감압하여 용액 용기(100a, 100b))로부터 용액 공급 펌프(200)의 실린더(210) 내에 용액(102)을 흡입할 경우, 실린더(210) 내에 위치하는 용액(102) 내에서 기포가 발생한다. 특히, 용액 공급 펌프(200)의 실린더(212) 내에 위치하는 용액(102)의 상부 부분에는 기포가 많이 발생한다. However, when the solution 102 is sucked into the cylinder 210 of the solution supply pump 200 from the solution containers 100a and 100b by depressurizing the inside of the cylinder 210 of the solution supply pump 200, the cylinder 210 Bubbles are generated in the solution 102 located in the). In particular, many bubbles are generated in the upper portion of the solution 102 located in the cylinder 212 of the solution supply pump 200.

도 5 및 도 8을 참조하면, 제1 온오프 밸브(104) 및 제2 온오프 밸브(204)를 오프시키고, 제3 온오프 밸브(230)를 온 시킨 상태에서 용액 공급 펌프(200)의 피스톤(212)을 하강시킨다. 이렇게 되면, 실린더(210) 내부 상부에 존재하는 기포가 제3 온오프 밸브(230) 및 기포 배출 배관(108)을 통해 배출된다. 다시 말해, 용액 공급 펌프(200)의 실린더(212) 내에 위치하는 피스톤(212)을 이동시켜 실린더(210) 내부를 진공 상태로 유지하면서 용액 공급 펌프(200)에 연결된 기포 배출 배관(108)을 통해 기포를 배출한다. 5 and 8, when the first on-off valve 104 and the second on-off valve 204 are turned off and the third on-off valve 230 is turned on, the solution supply pump 200 is turned on. Lower the piston 212. In this case, bubbles existing in the upper portion of the cylinder 210 are discharged through the third on / off valve 230 and the bubble discharge pipe 108. In other words, by moving the piston 212 located in the cylinder 212 of the solution supply pump 200 to maintain the inside of the cylinder 210 in a vacuum state to the bubble discharge pipe 108 connected to the solution supply pump 200 Eject bubbles through.

도 5 및 도 9를 참조하면, 용액 공급 펌프(200)의 실린더(212)를 하강시켜 용액 공급 펌프(200)의 실린더(210) 내에 충진된 용액(102)을 용액 배출 펌프(300)로 이송한다. 즉, 용액 공급 펌프(200)의 실린더(210) 내에 충진된 용액(102)을 피스톤(210)으로 가압하여 용액 공급 펌프(200)의 실린더(210) 내에 충진된 용 액(102)을 용액 배출 펌프(300)로 이송한다. 5 and 9, the cylinder 212 of the solution supply pump 200 is lowered to transfer the solution 102 filled in the cylinder 210 of the solution supply pump 200 to the solution discharge pump 300. do. That is, by discharging the solution 102 filled in the cylinder 210 of the solution supply pump 200 by pressing the solution 102 filled in the cylinder 210 of the solution supply pump 200 with the piston 210. Transfer to the pump (300).

아울러서, 용액 배출 펌프(300)의 피스톤(312)도 아래로 하강시켜 실린더(310) 내의 공간을 유지함과 아울러 용이하게 용액 배출 펌프(300)의 실린더(310) 내에 용액을 충진한다. 그리고, 용액 공급 펌프(200)의 실린더(210) 내에 충진된 용액(102)을 용액 배출 펌프(300)로 이송할 때도 제3 온오프 밸브(203)도 열어주어 용액(102) 내에 포함된 기포가 기포 배출 배관(108)으로 배출되도록 한다. In addition, the piston 312 of the solution discharge pump 300 is also lowered to maintain the space in the cylinder 310 and to easily fill the solution into the cylinder 310 of the solution discharge pump 300. In addition, when the solution 102 filled in the cylinder 210 of the solution supply pump 200 is transferred to the solution discharge pump 300, the third on / off valve 203 is also opened to bubbles included in the solution 102. To be discharged to the bubble discharge pipe 108.

도 5 및 도 10을 참조하면, 용액 배출 펌프(300)로 이송된 용액(102)을 제2 용액 배출 배관(302)으로 이송한다. 그리고, 제2 용액 배출 배관(302)으로 이송된 용액(102)은 용액 배출건(304)을 통해 외부 부재, 예컨대 기판(306) 상으로 배출한다. 5 and 10, the solution 102 transferred to the solution discharge pump 300 is transferred to the second solution discharge pipe 302. Then, the solution 102 transferred to the second solution discharge pipe 302 is discharged onto the external member, for example, the substrate 306, through the solution discharge gun 304.

이와 같이, 본 발명의 용액 공급 방법은 용액 공급 펌프(200), 용액 배출 펌프(300), 및 온오프 밸브(104, 204, 230)를 이용하여 용액(102)을 배출하기 때문에, 외부 부재인 기판(306) 상에 배출되는 용액(102)의 배출량을 일정하게 하면서도 정밀하게 제어할 수 있다. 특히, 본 발명의 용액 공급 방법은 용액 배출 펌프(300)로 용액(102)을 이송하기 전에 용액(102) 내에 발생하는 기포를 기포 배출 배관(108)으로 배출하여 제거하기 때문에 외부 부재, 예컨대 기판(306) 상에 원활하게 용액(102)을 배출할 수 있다. As described above, the solution supplying method of the present invention discharges the solution 102 using the solution supply pump 200, the solution discharge pump 300, and the on-off valves 104, 204, and 230. The discharge amount of the solution 102 discharged onto the substrate 306 can be kept constant and precisely controlled. In particular, the solution supply method of the present invention, because the bubbles generated in the solution 102 is discharged to the bubble discharge pipe 108 and removed before the solution 102 is transferred to the solution discharge pump 300, an external member such as a substrate The solution 102 may be smoothly discharged on the 306.

도 11은 도 2의 용액 공급 장치를 이용한 용액 공급 방법을 설명하기 위한 흐름도이다. FIG. 11 is a flowchart for explaining a solution supply method using the solution supply device of FIG. 2.

구체적으로, 도 2의 용액 공급 장치의 용액 용기로부터 용액 공급 배관을 통해 용액 공급 펌프의 실린더 내에 용액을 충진한다(스텝 502). 이때, 용액 공급 펌프에 충진된 용액 내에 기포가 발생한다. 용액 충진시 용액 공급 펌프의 용액 내에 발생한 기포를 제거한다(스텝 504). Specifically, the solution is filled into the cylinder of the solution supply pump from the solution container of the solution supply device of FIG. 2 through the solution supply pipe (step 502). At this time, bubbles are generated in the solution filled in the solution supply pump. When the solution is filled, bubbles generated in the solution of the solution supply pump are removed (step 504).

다음에, 용액 공급 펌프의 실린더 내에 충진된 용액을 제1 용액 배출 배관을 통해 용액 배출 펌프로 이송한다(스텝 506). 용액 배출 펌프로 이송된 용액을 제2 용액 배출 배관을 통해 외부로 배출한다(스텝 508). 용액 용기로부터 용액 공급 배관을 통해 용액 공급 펌프의 실린더 내에 용액을 다시 충진한다(스텝 510).Next, the solution filled in the cylinder of the solution supply pump is transferred to the solution discharge pump through the first solution discharge pipe (step 506). The solution transferred to the solution discharge pump is discharged to the outside through the second solution discharge pipe (step 508). The solution is refilled from the solution container into the cylinder of the solution supply pump through the solution supply pipe (step 510).

도 1은 종래 기술에 의한 용액 공급 장치를 설명하기 위한 개략도이고, 1 is a schematic view for explaining a solution supply apparatus according to the prior art,

도 2는 본 발명의 용액 공급 방법에 이용되는 용액 공급 장치의 개략도이고,2 is a schematic diagram of a solution supply device used in the solution supply method of the present invention,

도 3은 도 2의 용액 공급 펌프의 확대도이고, 3 is an enlarged view of the solution supply pump of FIG. 2,

도 4는 도 2의 용액 배출 펌프의 확대도이고, 4 is an enlarged view of the solution discharge pump of FIG. 2,

도 5는 도 2의 용액 공급 장치를 이용한 용액 공급 방법을 설명하기 위한 개략도이고, 5 is a schematic view for explaining a solution supply method using the solution supply device of FIG.

도 6 내지 도 10은 도 2의 용액 공급 장치를 이용한 용액 및 기포의 흐름을 설명하기 위한 도면들이고,6 to 10 are views for explaining the flow of the solution and bubbles using the solution supply device of FIG.

도 11은 도 2의 용액 공급 장치를 이용한 용액 공급 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.FIG. 11 is a flowchart for explaining a solution supply method using the solution supply device of FIG. 2.

Claims (9)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 용액 용기로부터 용액 공급 배관을 통해 용액 공급 펌프의 실린더 내에 용액을 충진함과 아울러 상기 용액 공급 펌프에 충진된 상기 용액 내에 기포가 발생하고, In addition to filling the solution into the cylinder of the solution supply pump from the solution vessel through the solution supply pipe, bubbles are generated in the solution filled in the solution supply pump, 상기 용액 배출시 상기 용액 공급 펌프의 상기 용액 내에 발생한 기포를 제거하고, Removes bubbles generated in the solution of the solution supply pump when discharging the solution, 상기 용액 공급 펌프의 실린더 내에 충진된 용액을 제1 용액 배출 배관을 통 해 용액 배출 펌프로 이송하고,The solution filled in the cylinder of the solution supply pump is transferred to the solution discharge pump through the first solution discharge pipe, 상기 용액 배출 펌프로 이송된 용액을 제2 용액 배출 배관을 통해 외부로 배출하고, 및 Discharging the solution transferred to the solution discharge pump to the outside through a second solution discharge pipe, and 상기 용액 용기로부터 상기 용액 공급 배관을 통해 상기 용액 공급 펌프의 실린더 내에 용액을 다시 충진하는 것을 특징으로 하는 용액 공급 방법.And refilling the solution from the solution container into the cylinder of the solution supply pump through the solution supply pipe. 제6항에 있어서, 상기 용액 용기로부터 용액 공급 배관을 통해 용액 공급 펌프의 실린더 내에 용액을 충진하는 것은,The method of claim 6, wherein the filling of the solution into the cylinder of the solution supply pump from the solution container through the solution supply pipe, 상기 용액 공급 펌프의 상기 실린더 내에 위치하는 피스톤을 이동시켜 상기 실린더 내부를 감압하여 수행하는 것을 특징으로 하는 용액 공급 방법. And supplying the piston located in the cylinder of the solution supply pump to decompress the inside of the cylinder. 제6항에 있어서, 상기 용액 공급 펌프의 상기 실린더 내에 충진된 용액을 상기 용액 배출 펌프로 이송하는 것은,The method of claim 6, wherein the transferring the solution filled in the cylinder of the solution supply pump to the solution discharge pump, 상기 용액 공급 펌프의 상기 실린더 내에 충진된 용액을 피스톤으로 가압하여 수행하는 것을 특징으로 하는 용액 공급 방법. And supplying a solution filled in the cylinder of the solution supply pump with a piston. 제6항에 있어서, 상기 용액 공급 펌프의 상기 용액 내에 발생한 기포는,The bubble generated in the solution of the solution supply pump, 상기 용액 공급 펌프의 상기 실린더 내에 위치하는 피스톤을 이동시켜 상기 실린더 내부를 진공 상태로 유지하면서 상기 용액 공급 펌프에 연결된 기포 배출 배관을 통해 상기 기포를 배출시키는 것을 특징으로 하는 용액 공급 방법.And discharging the bubbles through a bubble discharge pipe connected to the solution supply pump while moving the piston located in the cylinder of the solution supply pump to maintain the inside of the cylinder in a vacuum state.
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