KR101255743B1

KR101255743B1 - Material providing unit and material providing method ussing the same

Info

Publication number: KR101255743B1
Application number: KR1020110064837A
Authority: KR
Inventors: 유정필; 최종권; 조익성
Original assignee: 에이피시스템 주식회사
Priority date: 2010-12-28
Filing date: 2011-06-30
Publication date: 2013-04-17
Also published as: KR20120075325A

Abstract

본 발명에 따른 원료 공급 유닛은 원료 물질을 수용하는 내부 공간을 가지며, 일측에 상기 원료 물질이 배출되는 통로인 배출관이 마련된 캔, 배출관으로 삽입 가능한 공급관, 배출관 내에 설치되며, 상기 배출관 내부로 삽입되는 공급관에 의해 이동하여, 상기 배출관과 공급관 사이의 연통을 조절하는 밸브를 포함한다.
따라서, 본 발명의 실시예에 의하면 공급관을 배출관 내부로 삽입시켜, 탱크와 공급관을 결합시키는 작업 중에 상기 탱크를 용이하게 밀폐할 수 있다. 이로 인해, 탱크와 공급관의 결합 작업 시에 상기 탱크 내부에 수용된 실런트가 대기중에 노출되어 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 공급관과 차단 부재의 분리 시에 밸브가 동작하도록 하여 상기 공급관과 배출관 사이의 연통을 차단한다. 따라서, 실런트가 소진된 탱크를 공급관과 분리하기 위하여, 상기 공급관을 배출관으로부터 배출시킬 때, 탱크를 용이하게 밀폐할 수 있다. 이로 인해, 탱크와 공급관의 분리 작업 시에 상기 탱크 내부가 대기 중에 노출되는 것을 방지할 수 있다.The raw material supply unit according to the present invention has an internal space for accommodating the raw material, cans are provided with a discharge pipe which is a passage through which the raw material is discharged, a supply pipe that can be inserted into the discharge pipe, is installed in the discharge pipe, and is inserted into the discharge pipe And a valve moved by the supply pipe to regulate communication between the discharge pipe and the supply pipe.
Therefore, according to the embodiment of the present invention, the supply pipe may be inserted into the discharge pipe to easily seal the tank during the operation of coupling the tank and the supply pipe. For this reason, it is possible to prevent the sealant accommodated inside the tank from being exposed to the air and being damaged during the coupling operation of the tank and the supply pipe. In addition, the valve is operated when the supply pipe and the blocking member are separated to block communication between the supply pipe and the discharge pipe. Therefore, in order to separate the tank which exhausted the sealant from the supply pipe, the tank can be easily closed when the supply pipe is discharged from the discharge pipe. For this reason, the inside of the tank can be prevented from being exposed to the atmosphere during the separation operation between the tank and the supply pipe.

Description

Raw material supply unit and raw material supply method using the same {MATERIAL PROVIDING UNIT AND MATERIAL PROVIDING METHOD USSING THE SAME}

본 발명은 원료 물질을 용이히게 공급할 수 있는 원료 공급 유닛 및 이를 이용한 원료 공급 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a raw material supply unit capable of easily supplying a raw material and a raw material supply method using the same.

액정표시장치(Liquid Crystal Display), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel) 및 유기발광표시장치(Organic Light Emitting Device)와 같은 평판 표시 장치(Flat Panel Display)의 경우, 상부 기판과 하부 기판을 상호 접합시켜 제작된다. 이때, 상부 기판과 하부 기판을 상호 접합시키기 위해서는 접합 재료인 실런트(sealant)를 상기 상부 기판 또는 하부 기판에 도포하고, 이를 경화시킨다.In the case of a flat panel display such as a liquid crystal display, a plasma display panel, and an organic light emitting device, the upper substrate and the lower substrate are bonded to each other. Is produced. At this time, in order to bond the upper substrate and the lower substrate to each other, a sealant, which is a bonding material, is applied to the upper substrate or the lower substrate and cured.

기판 상에 실런트를 도포하는 디스펜싱 장치는 내부가 진공 처리되는 챔버, 챔버 내에 배치되며 상부에 기판이 안치되는 스테이지, 스테이지 상측에 배치된 겐트리, 겐트리 상에 장착 고정되어 수평 방향으로 이동하면서 기판 상에 실런트를 도포하는 디스펜서, 디스펜서로 원료 물질을 공급하는 원료 공급 유닛을 포함한다. 여기서 원료 공급 유닛은 챔버 외측에 배치되며 내부가 진공 처리된 박스, 박스 내에 배치되며 실런트가 저장된 탱크, 탱크와 탈착 가능한 공급관, 일단이 공급관에 연결되고 타단이 디스펜서에 연결된 공급 라인을 포함한다. 이에, 탱크로부터 제공된 실런트는 공급관 및 공급 라인을 통해 챔버 내에 배치된 디스펜서에 공급된다.The dispensing device for applying the sealant on the substrate is a chamber in which the inside is vacuumed, a stage disposed in the chamber, the stage on which the substrate is placed, a gantry disposed on the upper side of the stage, fixed and mounted on the gantry and moving in a horizontal direction. A dispenser for applying the sealant on the substrate, and a raw material supply unit for supplying a raw material to the dispenser. Here, the raw material supply unit includes a box disposed outside the chamber and vacuumed inside, a tank in which the sealant is stored, a supply pipe detachable from the tank, and a supply line having one end connected to the supply pipe and the other end connected to the dispenser. Thus, the sealant provided from the tank is supplied to the dispenser disposed in the chamber through the supply pipe and the supply line.

한편, 탱크 내부에 수용된 실런트가 모두 소진되면, 실런트가 충진된 새로운 탱크로 교체한다. 즉, 실런트가 수용된 새로운 탱크를 마련하고, 이를 공급관과 결합시킨다. 이때, 실런트가 대기에 노출되면 손상될 수 있기 때문에, 상기 탱크 내부는 진공으로 처리된 상태이다. 그리고 탱크 내부의 진공을 유지하기 위해 공급관과의 결합 작업은 진공 박스 내에서 진행된다.On the other hand, when the sealant contained in the tank is exhausted, the new tank filled with the sealant is replaced. That is, a new tank containing the sealant is prepared and combined with the supply pipe. At this time, since the sealant may be damaged when exposed to the atmosphere, the inside of the tank is vacuumed. In order to maintain the vacuum inside the tank, the joining operation with the supply pipe is performed in the vacuum box.

전술한 바와 같이 종래에는 탱크의 교체 작업을 위해 진공 처리된 별도의 박스를 마련하였다. 이에, 박스 및 상기 박스를 진공처리 하기 위한 별도의 진공 처리 유닛을 구비하기 위한 비용이 소요되며, 장치적으로 복잡해지는 단점이 있다.As described above, in the related art, a separate box vacuumed for a replacement operation of the tank is provided. Therefore, a cost for providing a box and a separate vacuum processing unit for vacuuming the box is disadvantageous, and it is disadvantageous in terms of device complexity.

본 발명의 일 기술적 과제는 디스펜서로 원료 물질을 용이하게 공급할 수 있는 원료 공급 유닛 및 이를 이용한 원료 공급 방법을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a raw material supply unit that can easily supply the raw material to the dispenser and a raw material supply method using the same.

본 발명의 다른 일 기술적 과제는 대기중에서도 원료 물질을 수용하는 탱크의 교체가 가능한 원료 공급 유닛 및 이를 이용한 원료 공급 방법을 제공하는 데 있다.Another technical problem of the present invention is to provide a raw material supply unit capable of replacing a tank containing a raw material even in the air and a raw material supply method using the same.

본 발명의 또 다른 일 기술적 과제는 원료 물질을 대기중에 노출시키지 않고, 진공 챔버 내에 배치된 디스펜서로 용이하게 공급할 수 있는 원료 공급 유닛 및 이를 이용한 원료 공급 방법을 제공하는 데 있다.Another technical problem of the present invention is to provide a raw material supply unit and a raw material supply method using the same, which can be easily supplied to a dispenser disposed in a vacuum chamber without exposing the raw material to the atmosphere.

본 발명에 따른 원료 공급 유닛은 원료 물질을 수용하는 내부 공간을 가지며, 일측에 상기 원료 물질이 배출되는 통로인 배출관이 마련된 캔, 상기 배출관으로 삽입 가능한 공급관, 상기 배출관 내에 설치되며, 상기 배출관 내부로 삽입되는 공급관에 의해 이동하여, 상기 배출관과 공급관 사이의 연통을 조절하는 밸브를 포함한다.The raw material supply unit according to the present invention has an inner space for accommodating the raw material, cans provided with a discharge pipe which is a passage through which the raw material is discharged on one side, a supply pipe insertable into the discharge pipe, and installed in the discharge pipe, and into the discharge pipe. It moves by the supply pipe is inserted, and includes a valve for controlling the communication between the discharge pipe and the supply pipe.

상기 캔 내부에서 승하강하여 상기 캔 내부를 가압함으로써, 상기 캔 내부에 수용된 원료 물질이 배출관이 위치한 방향으로 이동할 수 있도록 하는 가압 부재를 포함한다.It includes a pressing member for lifting up and down in the can to pressurize the inside of the can, the raw material contained in the can can move in the direction in which the discharge pipe is located.

상기 캔 내부에서 상기 가압 부재 상측으로 유체를 분사하여 상기 가압 부재의 이동을 조절하는 유체 분사 부재를 포함한다.And a fluid ejection member configured to control the movement of the pressurizing member by injecting fluid into the pressurizing member above the can.

상기 공급관의 측면에 상기 공급관 내부와 연통되는 유입구가 마련된다.An inlet communicating with the inside of the supply pipe is provided on the side of the supply pipe.

상기 유입구는 공급관의 외측으로부터 내측 방향으로 내리막 경사를 가지도록 제작된다.The inlet is manufactured to have a downhill slope in the inward direction from the outside of the supply pipe.

상기 밸브는 상기 배출관 내에 배치되며, 삽입되는 공급관에 지지되며 이동 가능한 차단 부재;The valve is disposed in the discharge pipe, the blocking member is supported on the supply pipe to be inserted and movable;

일단이 차단 부재에 결합되고 타단이 배출관에 결합되어, 상기 차단 부재의 이동에 의해 신축 가능한 지지 부재를 포함한다.One end is coupled to the blocking member and the other end is coupled to the discharge pipe to include a support member that is stretchable by movement of the blocking member.

상기 배출관 내부는 그 직경이 상기 차단 부재에 비해 작게 제작되는 중간 유로, 상기 중간 유로의 상측에 위치하며 그 직경이 상기 차단 부재에 비해 크게 제작되는 상측 유로를 포함한다.The inside of the discharge pipe includes an intermediate passage whose diameter is made smaller than the blocking member, and an upper passage positioned above the intermediate passage and whose diameter is larger than the blocking member.

상기 공급관의 타단에 연결되어, 펌핑력을 이용하여 상기 공급관 내부로 이동한 원료 물질을 이동시키는 구동 모듈을 포함한다.And a driving module connected to the other end of the supply pipe to move the raw material moved into the supply pipe by using a pumping force.

상기 구동 모듈은 일단이 공급관의 타단에 연결된 펌핑 부재를 포함하고,The drive module includes a pumping member having one end connected to the other end of the supply pipe,

상기 펌핑부재 타단에 상기 펌핑 부재로부터 원료 물질을 공급 받아 이를 이동시키는 공급 라인이 연결된다.The other end of the pumping member is connected to a supply line for receiving the raw material from the pumping member to move it.

본 발명에 따른 디스펜싱 장치는 기판 상에 원료 물질을 도포하는 디스펜서, 상기 디스펜서로 원료 물질을 공급하는 원료 공급 유닛을 포함하고, 상기 원료 공급 유닛은 원료 물질을 수용하는 내부 공간을 가지며, 일측에 상기 원료 물질이 배출되는 통로인 배출관이 마련된 캔, 상기 배출관으로 삽입 가능한 공급관, 상기 배출관 내에 설치되며, 상기 배출관 내부로 삽입되는 공급관에 의해 이동하여, 상기 배출관과 공급관 사이의 연통을 조절하는 밸브를 포함한다.Dispensing apparatus according to the present invention comprises a dispenser for applying the raw material on the substrate, a raw material supply unit for supplying the raw material to the dispenser, the raw material supply unit has an internal space for receiving the raw material, on one side A valve for discharging the can, which is a passage through which the raw material is discharged, a supply pipe insertable into the discharge pipe and a discharge pipe installed in the discharge pipe and inserted into the discharge pipe to control communication between the discharge pipe and the supply pipe. Include.

상기 디스펜서는 진공 처리된 챔버 내부에 설치된다.The dispenser is installed inside a vacuumed chamber.

상기 배출관 내부는 그 직경이 상기 차단 부재에 비해 작게 제작되는 중간 유로, 상기 중간 유로의 상측에 위치하며 그 직경이 상기 차단 부재에 비해 크게 제작되는 상측 유로를 포함하고, 상기 차단 부재가 상기 배출관 내부로 삽입된 공급관에 의해 지지되어 상측 유로로 이동함으로써, 상기 배출관과 공급관의 유입구가 연통되며, 상기 차단 부재와 공급관이 분리되면, 상기 차단 부재가 중간 유로에 위치하여, 상기 차단 부재의 상측 영역과 하측 영역의 연통이 차단됨으로써, 상기 공급관과 배출관 사이의 연통이 차단된다.The discharge pipe inside includes an intermediate flow path whose diameter is made smaller than the blocking member, and an upper flow path which is positioned above the intermediate flow path and whose diameter is larger than the blocking member, wherein the blocking member is inside the discharge pipe. The inlet port of the discharge pipe and the supply pipe communicate with each other by being supported by the supply pipe inserted into the upper flow path. When the blocking member and the supply pipe are separated, the blocking member is located in the intermediate flow path, By communicating with the lower region, the communication between the supply pipe and the discharge pipe is blocked.

본 발명에 따른 원료 공급 방법은 내부에 원료 물질이 수용된 캔을 마련하는 단계, 상기 캔의 일측에 마련된 배출관으로 공급관을 삽입하여, 상기 삽입된 공급관의 일단에 상기 배출관 내에 배치된 밸브를 이동시킴으로써, 상기 배출관과 공급관을 연통시키는 단계, 상기 공급관과 밸브가 분리되도록 하여, 상기 배출관과 공급관을 연통을 차단하는 단계를 포함한다.In the raw material supply method according to the present invention comprises the step of providing a can containing the raw material therein, by inserting the supply pipe into the discharge pipe provided on one side of the can, by moving the valve disposed in the discharge pipe to one end of the inserted supply pipe, And communicating the discharge pipe and the supply pipe, and allowing the supply pipe and the valve to be separated, thereby blocking the communication between the discharge pipe and the supply pipe.

상기 배출관과 공급관을 연통시키는 단계에 있어서, 상기 배출관으로 공급관을 삽입하여, 상기 밸브를 상기 공급관의 삽입 방향과 대응하는 방향으로 동작시켜, 상기 밸브가 배출관 내벽과 분리되도록 함으로써, 상기 배출관과 공급관의 측면에 마련된 유입구를 연통시킨다.In the step of communicating the discharge pipe and the supply pipe, by inserting the supply pipe into the discharge pipe, by operating the valve in a direction corresponding to the insertion direction of the supply pipe, by separating the valve from the inner wall of the discharge pipe, Communicate the inlet provided on the side.

상기 배출관의 측면에 마련된 유입구에 의해 상기 배출관과 공급관 내부가 연통됨으로써, 상기 배출관으로 이동한 원료 물질이 유입구을 통해 상기 공급관의 내부로 이동한다.The discharge pipe and the inside of the supply pipe communicate with each other by the inlet provided on the side of the discharge pipe, so that the raw material moved to the discharge pipe moves through the inlet to the inside of the supply pipe.

상기 배출관과 공급관을 연통을 차단하는 단계에 있어서,In the step of blocking the communication between the discharge pipe and the supply pipe,

상기 밸브와 공급관을 분리하여, 상기 밸브를 상기 공급관이 삽입되는 방향과 반대 방향으로 동작시켜, 상기 밸브가 배출관의 내벽과 접촉되도록 하여, 상기 밸브의 상측 영역과 하측 영역의 연통이 차단되도록 함으로써, 상기 공급관의 유입구와 배출관 사이의 연통이 차단된다.By separating the valve and the supply pipe, the valve is operated in the direction opposite to the direction in which the supply pipe is inserted, so that the valve is in contact with the inner wall of the discharge pipe, so that communication between the upper region and the lower region of the valve is blocked, Communication between the inlet and the outlet of the supply pipe is blocked.

상기 밸브와 공급관을 분리하는데 있어서, 상기 배출관 내부로부터 공급관을 인출시킨다.In separating the valve and the supply pipe, the supply pipe is drawn out from inside the discharge pipe.

상기 밸브가 배출관의 내벽과 접촉되면, 상기 배출관 내에서의 연통이 차단되어, 상기 배출관과 공급관의 유입구의 연통이 차단된다.When the valve is in contact with the inner wall of the discharge pipe, communication in the discharge pipe is blocked, so that communication between the discharge pipe and the inlet of the supply pipe is blocked.

상기 캔 내부에 배치된 가압 부재를 하강시켜, 상기 캔 내부를 가압하면서 상기 원료 물질을 배출관으로 이동시킨다.The pressing member disposed inside the can is lowered to move the raw material to the discharge pipe while pressing the inside of the can.

상기 원료 물질로 실런트(sealant), 액정 및 페이스트 중 어느 하나를 사용한다.As the raw material, any one of a sealant, a liquid crystal, and a paste is used.

상기 배출관 내부로 공급관을 삽입하여 상기 밸브와 공급관을 연결시키거나, 상기 밸브와 공급관을 분리시키는 단계를 포함하는 캔의 교체 공정은 대기 중에서 이루어 진다.The replacement process of the can including inserting a supply pipe into the discharge pipe to connect the valve and the supply pipe or separating the valve and the supply pipe is performed in the atmosphere.

상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 의하면 공급관을 탱크의 배출관 내부로 삽입시켜, 상기 삽입된 공급관에 의해 밸브가 동작하도록 하여, 공급관과 배출관 사이를 연통시킨다. 이에, 공급관을 배출관 내부로 삽입시켜, 탱크와 공급관을 결합시키는 작업 중에 상기 탱크를 용이하게 밀폐할 수 있다. 이로 인해, 탱크와 공급관의 결합 작업 시에 상기 탱크 내부에 수용된 실런트가 대기중에 노출되어 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 공급관과 차단 부재의 분리 시에 밸브가 동작하도록 하여 상기 공급관과 배출관 사이의 연통을 차단한다. 따라서, 실런트가 소진된 탱크를 공급관과 분리하기 위하여, 상기 공급관을 배출관으로부터 배출시킬 때, 탱크를 용이하게 밀폐할 수 있다. 이로 인해, 탱크와 공급관의 분리 작업 시에 상기 탱크 내부가 대기 중에 노출되는 것을 방지할 수 있다.As described above, according to the embodiment of the present invention, the supply pipe is inserted into the discharge pipe of the tank, and the valve is operated by the inserted supply pipe, thereby communicating between the supply pipe and the discharge pipe. Thus, by inserting the supply pipe into the discharge pipe, the tank can be easily closed during the operation of coupling the tank and the supply pipe. For this reason, it is possible to prevent the sealant accommodated inside the tank from being exposed to the air and being damaged during the coupling operation of the tank and the supply pipe. In addition, the valve is operated when the supply pipe and the blocking member are separated to block communication between the supply pipe and the discharge pipe. Therefore, in order to separate the tank which exhausted the sealant from the supply pipe, the tank can be easily closed when the supply pipe is discharged from the discharge pipe. For this reason, the inside of the tank can be prevented from being exposed to the atmosphere during the separation operation between the tank and the supply pipe.

따라서, 종래와 같이 원료 공급 유닛을 수용하는 별도의 진공 챔버를 마련하지 않고, 대기 중에서도 실런트의 손상 없이 탱크의 교체 작업을 실시할 수 있다. 또한, 원료 공급 유닛을 수용하기 위한 챔버 및 상기 챔버를 진공 처리하기 위한 진공 처리 장치가 필요하지 않게 되므로 장치가 간소화 될 수 있다.Therefore, the tank replacement operation can be performed without damaging the sealant even in the air without providing a separate vacuum chamber for accommodating the raw material supply unit as in the prior art. Further, the apparatus can be simplified since a chamber for accommodating the raw material supply unit and a vacuum processing apparatus for vacuuming the chamber are not required.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스펜싱 장치를 도시한 단면도이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 탱크를 도시한 도면
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 공급관 및 공급관과 연결된 구동 모듈을 도시한 도면
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 공급관이 배출관 외측에 배치되어, 상기 배출관과 공급관의 연통이 차단되어 있는 상태를 도시한 단면도
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 공급관이 배출관 내로 삽입되어, 상기 배출관과 공급관이 연통되어 있는 상태를 도시한 단면도
도 6a는 실런트가 충진된 탱크와 공급관이 분리되어 있는 상태를 도시한 도면
도 6b는 공급관에 실런트가 충진된 탱크가 장착된 상태를 도시한 도면
도 6c는 탱크의 가압 부재를 하강시키면서 캔 내의 실런트를 배출시키는 모습을 도시한 도면
도 6d는 실런트가 소진된 탱크를 공급관으로부터 분리한 상태를 도시한 도면1 is a cross-sectional view showing a dispensing apparatus according to an embodiment of the present invention. 2 shows a tank according to an embodiment of the invention.
3 is a view showing a supply pipe and a drive module connected to the supply pipe according to an embodiment of the present invention;
4 is a cross-sectional view showing a state in which a supply pipe according to an embodiment of the present invention is disposed outside the discharge pipe and communication between the discharge pipe and the supply pipe is blocked.
5 is a cross-sectional view showing a state in which the supply pipe is inserted into the discharge pipe according to an embodiment of the present invention, the discharge pipe and the supply pipe is in communication.
Figure 6a is a view showing a state in which the sealant-filled tank and the supply pipe is separated
6B is a view illustrating a state in which a tank filled with a sealant is attached to a supply pipe.
6C is a view showing a state in which the sealant in the can is discharged while the pressing member of the tank is lowered;
Figure 6d is a view showing a state in which the sealant is exhausted tank separated from the supply pipe

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms, and only the embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention and to those skilled in the art. It is provided for complete information.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스펜싱 장치를 도시한 단면도이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 탱크를 도시한 도면이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 공급관 및 공급관과 연결된 구동 모듈을 도시한 도면이다.1 is a cross-sectional view showing a dispensing apparatus according to an embodiment of the present invention. 2 is a view showing a tank according to an embodiment of the present invention. 3 is a view showing a supply module and a drive module connected to the supply pipe according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 실시예에 따른 디스펜싱 장치는 내부 공간을 가지는 챔버(100), 챔버(100) 내부에 기판(s)이 안치되는 스테이지(200), 스테이지(200) 상측으로 이격 배치된 겐트리(300), 겐트리(300) 상에 장착 고정되며, 기판(s) 상에 실런트를 도포하는 디스펜서(400), 디스펜서(400)로 원료 물질을 공급하는 원료 공급 유닛(600), 겐트리(300) 상에 설치되어 디스펜서(400)를 수평 이동시키는 수평 이동 수단(500), 스테이지(200)의 하부에 배치되어 상기 스테이지(200)를 지지하는 스테이지 지지부(210), 일단이 겐트리(300)의 하부에 연결되고 타단이 스테이지 지지부(210) 상부에 연결되어, 상기 겐트리(300)를 지지하는 겐트리 지지 부재(310)를 포함한다. 실시예에 따른 디스펜싱 장치는 기판(s) 상에 접합 재료인 실런트(sealant)를 도포하는 실런트 디스펜싱 장치 일 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고 도포하는 원료 물질로 다양한 원료 물질이 사용될 수 있다. 예를 들어, 액정 또는 금속 페이스트 등의 다양한 재료를 원료 물질로 이용할 수 있다.Referring to FIG. 1, the dispensing apparatus according to the embodiment may include a chamber 100 having an internal space, a stage 200 in which a substrate s is placed inside the chamber 100, and spaced apart from an upper side of the stage 200. The gantry 300 and the gantry 300 are mounted and fixed, the dispenser 400 for applying a sealant on the substrate s, the raw material supply unit 600 for supplying a raw material to the dispenser 400, and a gen A horizontal moving unit 500 installed on the tree 300 to horizontally move the dispenser 400, a stage support unit 210 disposed below the stage 200 to support the stage 200, and one end of a gantry It is connected to the lower portion of the 300 and the other end is connected to the upper stage support portion 210, and includes a gantry support member 310 for supporting the gantry (300). The dispensing apparatus according to the embodiment may be a sealant dispensing apparatus for applying a sealant as a bonding material on the substrate s. Of course, various raw materials may be used as the raw material to be applied, without being limited thereto. For example, various materials, such as a liquid crystal or a metal paste, can be used as a raw material.

챔버(100)는 내부가 비어있는 사각통 형상을 제작되며, 내부에는 기판(s)이 처리될 수 있는 소정의 공간이 마련된다. 실시예에서는 사각 통 형상으로 챔버(100)를 제작하였으나, 이에 한정되지 않고 기판(s)의 형상에 대응되도록 챔버(100)를 제작하는 것이 바람직하다. 한편 실시예에서는 챔버(100)를 일체형으로 제작하였으나, 챔버(100)를 상부가 개방된 하부 챔버(100)와 상부를 덮는 챔버(100) 리드로 분리하여 구성할 수 있음은 물론이다. 또한 실시예에 따른 챔버(100)는 별도의 진공 처리 부재(미도시)와 연결되어, 상기 챔버(100) 내부를 진공 상태로 처리한다. 그리고 도시되지는 않았지만, 챔버(100)의 일측에는 기판(s)을 출입시키기 위한 기판 출입구가 마련된다.The chamber 100 has a rectangular cylindrical shape having an empty inside, and a predetermined space in which the substrate s can be processed is provided. In the embodiment, the chamber 100 is manufactured in the shape of a square cylinder, but the present invention is not limited thereto, and the chamber 100 may be manufactured to correspond to the shape of the substrate s. Meanwhile, in the embodiment, the chamber 100 is manufactured in one piece, but the chamber 100 may be divided into a lower chamber 100 having an open top and a chamber 100 covering the top. In addition, the chamber 100 according to the embodiment is connected to a separate vacuum processing member (not shown) to process the inside of the chamber 100 in a vacuum state. Although not shown, a substrate entrance for entering and leaving the substrate s is provided at one side of the chamber 100.

스테이지(200)는 상부에 기판(s)을 지지하고, 상기 기판(s)을 이동시킨다. 이러한 스테이지(200)는 챔버(100) 내부에 배치된 스테이지(200) 상부에 장착 고정되며, 기판(s)과 대응되는 형상으로 제작되는 것이 바람직하다. 실시예에서는 기판(s)으로 사각형 형태의 유리를 사용하므로, 스테이지(200)도 사각형 형태의 것을 사용한다. 물론 이에 한정되지 않고 기판(s)의 형상에 따라 스테이지(200)의 형상이 다양하게 변경될 수 있다. 그리고 도시되지는 않았지만, 스테이지(200)에는 기판(s)을 이동시키는 기판 이동 수단(미도시)이 설치된다. 여기서 기판 이동 수단(미도시)은 스테이지(200)에 안치된 기판(s)을 디스펜서(400)의 이동 방향과 교차하는 방향으로 이동시키도록 제작되는 것이 바람직하다. 또한, 도시되지는 않았지만, 스테이지(200)는 기판(s)을 지지 고정시키기 위한 별도의 고정 부재(미도시)를 구비할 수 있다. 이때, 고정 부재(미도시)로 정전기력을 이용하는 정전척 또는 진공 흡입력을 이용하는 진공 고정 장치를 사용할 수 있다. 여기서, 진공 고정 장치를 고정 부재(미도시)로 사용하는 경우, 스테이지(200) 상에 진공 펌프(631)와 연통된 복수의 홀이 마련될 수 있다.The stage 200 supports the substrate s at the top and moves the substrate s. The stage 200 is fixed to the upper stage 200 disposed inside the chamber 100, it is preferable to be manufactured in a shape corresponding to the substrate (s). In the embodiment, since the glass of the rectangular shape is used as the substrate s, the stage 200 also uses the rectangular shape. Of course, the shape of the stage 200 may be variously changed according to the shape of the substrate s. Although not shown, the stage 200 is provided with substrate moving means (not shown) for moving the substrate s. Here, the substrate moving means (not shown) is preferably manufactured to move the substrate s placed in the stage 200 in a direction crossing the moving direction of the dispenser 400. In addition, although not shown, the stage 200 may include a separate fixing member (not shown) for supporting and fixing the substrate s. In this case, an electrostatic chuck using an electrostatic force or a vacuum fixing device using a vacuum suction force may be used as the fixing member (not shown). Here, when the vacuum fixing device is used as a fixing member (not shown), a plurality of holes communicating with the vacuum pump 631 may be provided on the stage 200.

상기에서는 겐트리(300)를 고정한 상태로, 스테이지(200)를 이용하여 기판(s)을 디스펜서(400)와 교차하는 방향으로 이동하는 것으로 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고, 겐트리(300)를 이동하는 별도의 겐트리 이동 수단(미도시)을 구비할 수 있다. 이때, 겐트리 이동 수단(미도시)은 겐트리(300)를 디스펜서(400)와 교차하는 방향으로 이동할 수 있도록 제작되는 것이 바람직하다.In the above description, the gantry 300 is fixed and the substrate s is moved in the direction crossing the dispenser 400 using the stage 200. However, the present invention is not limited thereto, and an additional gantry moving unit (not shown) for moving the gantry 300 may be provided. In this case, the gantry moving unit (not shown) is preferably manufactured to move the gantry 300 in a direction crossing the dispenser 400.

디스펜서(400)는 기판(s) 상에 실런트를 도포하는 장치로써, 겐트리(300) 상에 장착된 수평 이동 수단(500)과 결합되어, 상기 수평 이동 수단(500)에 의해 수평 이동하는 결합 부재(430), 실런트를 공급받아 이를 배출하는 시린지(410), 시린지(410)의 하부에 연결되어 시린지(410) 내의 실런트를 기판(s)을 향해 토출하는 노즐(420)을 포함한다. 여기서 실시예에 따른 결합 부재(430)는 판 형상으로 제작되어 전면에 시린지(410) 및 노즐(420)가 장착되고, 후면에 수평 이동 수단(500)이 결합된다. 그리고 시린지(410)는 원료 공급 유닛(600)을 통해 실런트를 공급받아, 일정량의 실런트를 노즐(420)로 제공한다. 이에 디스펜서(400)는 수평 이동 수단(500)을 통해 수평 방향으로 이동 하면서 기판(s) 상에 실런트를 도포할 수 있다.The dispenser 400 is a device for applying a sealant on the substrate s. The dispenser 400 is coupled to the horizontal moving unit 500 mounted on the gantry 300 to be horizontally moved by the horizontal moving unit 500. The member 430 includes a syringe 410 that receives the sealant and discharges the sealant 410, and a nozzle 420 connected to the lower portion of the syringe 410 to discharge the sealant in the syringe 410 toward the substrate s. Here, the coupling member 430 according to the embodiment is manufactured in a plate shape, and the syringe 410 and the nozzle 420 are mounted on the front surface, and the horizontal moving means 500 is coupled to the rear surface. The syringe 410 receives the sealant through the raw material supply unit 600, and provides the sealant with a predetermined amount to the nozzle 420. Accordingly, the dispenser 400 may apply the sealant on the substrate s while moving in the horizontal direction through the horizontal moving unit 500.

원료 공급 유닛(600)은 원료 물질인 실런트를 수용하고 이를 제공하는 탱크(610), 탱크(610)와 탈착 가능하며 탱크(610)로부터 실런트를 제공 받는 공급관(620), 공급관(620)의 일단과 연결되며 펌핑력을 이용하여 공급관(620)으로 이동한 원료 물질을 상기 공급관(620)으로부터 배출시키는 구동 모듈(630), 일단이 구동 모듈(630)과 연결되고 타단이 챔버(100) 내에 설치된 디스펜서(400)와 연결되는 공급 라인(640)을 포함한다.The raw material supply unit 600 may include a tank 610 for receiving and providing a sealant, which is a raw material, and one end of a supply pipe 620 and a supply pipe 620 that are detachable from the tank 610 and receive the sealant from the tank 610. And a driving module 630 for discharging the raw material moved to the supply pipe 620 using the pumping force from the supply pipe 620, one end of which is connected to the driving module 630, and the other end of which is installed in the chamber 100. And a supply line 640 connected with the dispenser 400.

탱크(610)는 내부에 실런트를 수용할 수 있는 내부 공간을 가지는 캔(611), 캔(611)의 일측에 마련된 배출관(617), 캔(611) 내부에서 승하강하여 상기 캔(611) 내부를 가압하는 가압 부재(613), 배출관(617) 내부에 설치되어 캔(611)과 공급관(620) 사이의 연통을 조절하는 밸브(616)를 포함한다. 또한 탱크(610)는 캔(611)의 타측 개구부를 커버(612)하는 커버(612), 적어도 일부가 커버(612)를 관통하여 캔(611) 내부에 배치되며 가압 부재(613) 상측으로 유체를 분사하는 유체 분사 부재(614) 및 캔(611)에 설치되어 캔(611) 내부에 수용된 실런트의 양을 검출하는 원료량 감지기(615)를 포함한다. 여기서 커버(612)에는 유체 분사 부재(614)의 적어도 일부가 관통할 수 있는 관통홀이 마련될 수 있다.The tank 610 may be moved up and down inside the can 611 having an inner space capable of accommodating a sealant, a discharge pipe 617 provided at one side of the can 611, and a can 611. The pressurizing member 613 to pressurize and the discharge pipe 617 is provided inside the valve 616 to control the communication between the can 611 and the supply pipe 620. In addition, the tank 610 is a cover 612 that covers the other opening of the can 611, at least a part of the tank 610 is disposed inside the can 611 through the cover 612, and has a fluid above the pressing member 613. And a raw material amount detector 615 installed in the fluid injecting member 614 for injecting the oil and the can 611 to detect the amount of the sealant contained in the can 611. The cover 612 may be provided with a through hole through which at least a portion of the fluid injection member 614 may pass.

캔(611)은 내부에 실런트가 수용되는 내부 공간을 가지고, 상측 및 하측이 개방된 형상으로 제작된다. 실시예에 따른 캔(611)은 원통형의 형상이며, 하측으로 갈수록 내경이 좁아지도록 제작되는 것이 바람직하다. 물론 이에 한정되지 않고, 실런트를 수용할 수 있는 내부 공간이 마련된 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 그리고 이러한 캔(611)의 상측 개구부를 밀폐하도록 커버(612)가 설치되며, 하측에는 캔 (611) 내부의 원료 물질이 배출되는 통로인 배출관(614)이 마련된다.The can 611 has an inner space in which the sealant is accommodated and is manufactured in a shape in which the upper side and the lower side are open. Can 611 according to the embodiment is of a cylindrical shape, it is preferable that the inner diameter is narrowed toward the lower side. Of course, the present invention is not limited thereto and may be manufactured in various shapes provided with an inner space capable of accommodating the sealant. In addition, a cover 612 is installed to seal the upper opening of the can 611, and a discharge pipe 614, which is a passage through which raw materials in the can 611 are discharged, is provided at the lower side.

가압 부재(613)는 캔(611) 내부에서 상하 방향으로 이동하여, 상기 캔(611) 내부를 가압함으로써 실런트가 캔(611)으로부터 용이하게 배출될 수 있도록 한다. 이러한 가압 부재(613)의 적어도 상부의 외측면은 캔(611)의 내측면과 밀착될 수 있도록 제작된다. 즉, 가압 부재(613)의 적어도 상부의 외경은 캔(611)의 내경에 비해 소정 크기로 작도록 제작되어, 가압 부재(613)의 상부의 외측면이 캔(611)의 내측면과 밀착되도록 한다. 이에, 캔(611)는 가압 부재(613)의 상측 영역과 하측 영역으로 분할되고, 상기 가압 부재(613)의 상측 영역으로는 유체가 분사되며 하측 영역에는 실런트가 위치한다. 이에, 가압 부재(613) 상측으로 유체가 분사되면, 유체의 분사압에 의해 상기 가압 부재(613)가 하측으로 이동한다. 따라서 가압 부재(613) 하측 영역의 압력이 높아짐에 따라, 캔(611)의 하측 개구부를 통해 실런트가 배출된다.The pressing member 613 moves up and down in the can 611 to pressurize the inside of the can 611 so that the sealant can be easily discharged from the can 611. At least an upper outer surface of the pressing member 613 is manufactured to be in close contact with the inner surface of the can 611. That is, the outer diameter of at least the upper portion of the pressing member 613 is manufactured to be smaller than the inner diameter of the can 611 so that the outer surface of the upper portion of the pressing member 613 is in close contact with the inner surface of the can 611. do. Accordingly, the can 611 is divided into an upper region and a lower region of the pressing member 613, fluid is injected into the upper region of the pressing member 613, and a sealant is positioned in the lower region. Thus, when the fluid is injected above the pressing member 613, the pressing member 613 moves downward by the injection pressure of the fluid. Therefore, as the pressure in the lower region of the pressing member 613 increases, the sealant is discharged through the lower opening of the can 611.

유체 분사 부재(614)는 가압 부재(613)의 상측으로 유체를 분사하여 상기 가압 부재(613)를 이동시키는 역할을 한다. 이러한 유체 분사 부재(614)는 일부는 캔(611)의 외부에 배치되고 일부는 커버(612)를 관통하여 캔(611) 내부에 위치한다. 그리고 도시되지는 않았지만 캔(611) 외부에 위치하는 유체 분사 부재(614)의 일단은 유체를 공급하는 유체 공급부(미도시)와 연결된다. 이에, 유체 공급부(미도시)를 통해 유체 예를 들어, 질소(N₂) 가스를 공급하면, 상기 질소 가스는 유체 분사 부재(614)를 통해 가압 부재(613) 상측으로 분사된다. 상기에서는 유체로 질소를 예를 들어 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 실런트와 반응성이 없는 다양한 불활성 가스를 사용할 수 있다.The fluid injection member 614 serves to move the pressure member 613 by injecting a fluid to an upper side of the pressure member 613. The fluid ejecting member 614 is partially disposed outside the can 611 and partially penetrated through the cover 612 to be positioned inside the can 611. Although not shown, one end of the fluid injection member 614 positioned outside the can 611 is connected to a fluid supply unit (not shown) for supplying a fluid. Accordingly, when a fluid, for example, nitrogen (N ₂ ) gas is supplied through a fluid supply unit (not shown), the nitrogen gas is injected above the pressure member 613 through the fluid injection member 614. Although nitrogen has been described as an example of the fluid, the present invention is not limited thereto, and various inert gases that are not reactive with the sealant may be used.

실시예에 따른 원료량 감지기(615)는 원료 물질 예컨데 실런트의 유전율 차이로 계면의 높이를 측정하는 정전용량센서(capacitive sensor)이다. 물론 이에 한정되지 않고 캔(611) 내부에 수용되는 원료 물질의 잔량을 검출할 수 있는 다양한 수단이 사용될 수 있다.The raw material amount detector 615 according to the embodiment is a capacitive sensor for measuring the height of the interface due to the difference in dielectric constant of the raw material, for example, the sealant. Of course, the present invention is not limited thereto, and various means for detecting the remaining amount of the raw material contained in the can 611 may be used.

배출관(617)은 내부로 실런트가 이동할 수 있는 내부 공간을 가지며, 상측 및 하측이 개구된 형상으로 제작되고, 하측 개구부를 통해 공급관(620)이 삽입될 수 있다. 여기서 배출관(617)과 캔(611)는 별도의 연결 부재(633)를 통해 결합되거나, 분리될 수 있다. 그리고 실런트가 충진된 탱크(610)를 교체하기 위하여 배출관(617) 내부로 공급관(620)이 삽입되어 결합되거나, 실런트가 소진된 탱크(610)를 공급관(620)으로 부터 분리할 수 있다. 이러한 배출관(617)의 내부에는 밸브(616)가 설치되어, 배출관(617)과 공급관(620) 사이의 연통을 조절한다. 후술되는 밸브(616)는 배출관(617) 내의 연통을 조절하는 차단 부재(616a)를 포함하는데, 상기 배출관(617) 내부에서 일부 영역의 내경이 차단 부재(616a)에 비해 작도록 제작된다. 차단 부재(616a)에 비해 작은 내경을 가지는 배출관(617) 내부 영역의 해당 측벽은 상기 차단 부재(616a)의 이동을 제한하는 스토퍼의 역할을 한다. 하기에서는 배출관(617) 내부 영역 중 차단 부재(616a)에 비해 작은 내경을 가지는 영역을 중간 유로(617c)라 명명하고, 중간 유로(617c)의 상측 영역을 상측 유로(617a), 상기 중간 유로(617c)의 하측 영역을 하측 유로(617b)라 명명한다. 즉, 상측 유로(617a)의 하부와 하측 유로(617b)의 상부가 상호 연결되므로, 중간 유로(617c)는 상기 상측 유로(617a)의 하부와 하측 유로(617b)의 상부 사이 영역일 수 있다. 설명의 편의를 위하여 중간 유로(617c)를 별도로 지칭하였으나, 상기 중간 유로(617c)는 상측 유로(617a)의 하부 또는 하측 유로(617b)의 상부와 동일한 영역을 지칭할 수 있다. 여기서, 상측 유로(617a)의 내경은 차단 부재(616a)에 비해 크도록 제작되고, 중간 유로(617c)의 내경은 차단 부재(616a)에 비해 작도록 제작된다. 그리고 하측 유로(617b)의 내경은 적어도 공급관(620)의 외경에 비해 크도록 제작되는 것이 바람직하다. 이는 배출관(617)의 하측 유로(617b)로 공급관(620)이 용이하게 인입될 수 있도록 하기 위함이다. 또한, 실시예에 따른 하측 유로(617b)의 내경은 상측 유로(617a)에 비해 작고, 중간 유로(617c)와 동일한 내경을 가지도록 제작되는 것이 바람직하다. 하지만 이에 한정되지 않고, 하측 유로(617b)는 그 내부로 공급관(620)이 용이하게 삽입될 수 있는 다양한 크기로 제작될 수 있음은 물론이다.The discharge pipe 617 has an inner space in which the sealant can move, and is formed in a shape in which the upper and lower sides are opened, and the supply pipe 620 may be inserted through the lower opening. Here, the discharge pipe 617 and the can 611 may be coupled or separated through a separate connection member 633. In addition, the supply pipe 620 may be inserted into the discharge pipe 617 to replace the tank 610 filled with the sealant, or may be separated from the supply pipe 620 with the sealant exhausted tank 610. The valve 616 is installed inside the discharge pipe 617 to adjust the communication between the discharge pipe 617 and the supply pipe 620. The valve 616 described later includes a blocking member 616a for controlling communication in the discharge pipe 617, and the inner diameter of a portion of the discharge pipe 617 is smaller than that of the blocking member 616a. The corresponding side wall of the area inside the discharge pipe 617 having a smaller inner diameter than the blocking member 616a serves as a stopper for limiting the movement of the blocking member 616a. Hereinafter, a region having an inner diameter smaller than that of the blocking member 616a among the internal regions of the discharge pipe 617 will be referred to as an intermediate passage 617c, and an upper region of the intermediate passage 617c will be referred to as an upper passage 617a and the intermediate passage ( The lower region of 617c is referred to as the lower flow passage 617b. That is, since the lower portion of the upper passage 617a and the upper portion of the lower passage 617b are connected to each other, the intermediate passage 617c may be an area between the lower portion of the upper passage 617a and the upper portion of the lower passage 617b. Although the intermediate flow path 617c is separately referred to for convenience of description, the intermediate flow path 617c may refer to the same area as the lower portion of the upper flow path 617a or the upper portion of the lower flow path 617b. Here, the inner diameter of the upper flow path 617a is made larger than the blocking member 616a, and the inner diameter of the intermediate flow path 617c is made smaller than the blocking member 616a. And it is preferable that the inner diameter of the lower flow path 617b is made larger than at least the outer diameter of the supply pipe 620. This is to allow the supply pipe 620 to be easily introduced into the lower passage 617b of the discharge pipe 617. In addition, it is preferable that the inner diameter of the lower flow path 617b according to the embodiment is smaller than the upper flow path 617a and manufactured to have the same inner diameter as the middle flow path 617c. However, the present invention is not limited thereto, and the lower flow path 617b may be manufactured in various sizes in which the supply pipe 620 may be easily inserted into the inside.

상기에서는 배출관(617) 중간 유로(617c)의 내경이 차단 부재(616a)에 비해 작도록 하여, 상기 중간 유로(617c)가 스토퍼 역할을 하는 것을 설명하였다. 하지만, 이에 한정되지 않고, 배출관(617) 내부에 별도의 스토퍼(미도시)가 마련될 수 있다. 여기서 스토퍼는 도시되지는 않았지만, 배출관(617) 내벽에서 상호 마주보도록 설치될 수 있으며, 상기 한 쌍의 스토퍼 사이의 이격 공간이 실런트가 이동하는 유로일 수 있다.In the above, it has been described that the inner passage 617c serves as a stopper so that the inner diameter of the intermediate passage 617c of the discharge pipe 617 is smaller than that of the blocking member 616a. However, the present invention is not limited thereto, and a separate stopper (not shown) may be provided inside the discharge pipe 617. Although not shown here, the stopper may be installed to face each other on the inner wall of the discharge pipe 617, and the separation space between the pair of stoppers may be a flow path through which the sealant moves.

밸브(616)는 배출관(617) 내부에 설치되어, 캔(611)과 공급관(620) 사이의 연통을 조절한다. 이러한 밸브(616)는 배출관(617) 내부에 설치되며 볼(ball) 형상으로 제작된 차단 부재(616a), 차단 부재(616a) 상측에서 배출관(617) 내벽에 장착 고정된 고정 부재(616c), 일단이 차단 부재(616a)와 결합되고 타단이 고정 부재(616c)에 결합되어 차단 부재(616a)의 이동 방향에 따라 신축 가능하도록 제작된 지지 부재(616b)를 포함한다. 여기서, 차단 부재(616a)는 적어도 배출관(617)의 중간 유로(617c)에 비해 크고 상측 유로(617a)에 비해 작도록 제작된다. 이에, 차단 부재(616a)는 배출관(617) 내부 즉, 중간 유로(617c)와 상측 유로(617a) 사이에서 이동 가능하다. 차단 부재(616a)의 이동은 상기 차단 부재(616a)가 삽입되는 공급관(620)에 지지되거나 상기 공급관으로부터 분리되는 것에 의해 조절된다. 그리고 실시예에 따른 고정 부재(616c)는 중앙부가 개구된 링 형상으로 제작되어, 배출관(617) 내의 상측에 설치된다. 이때 고정 부재(616c)의 개구부는 캔(611)의 하측 개구부 및 배출관(617)의 상측 개구부에 대응 위치하도록 마련된다. 또한 실시예에 따른 지지 부재(616b)로 스프링을 사용한다. 따라서, 지지 부재(616b)는 타단에 차단 부재(616a)가 권취되어 있는 상태로 상기 차단 부재(616a)의 이동에 의해 캔(611)이 위치한 방향으로 수축하거나, 공급관(620)이 배치된 방향으로 이완 된다. 밸브(616)의 동작에 대한 상세한 설명은 하기에서 하기로 한다.The valve 616 is installed inside the discharge pipe 617 to regulate communication between the can 611 and the supply pipe 620. The valve 616 is installed inside the discharge pipe 617 and has a ball-shaped blocking member 616a, a fixing member 616c fixed to the inner wall of the discharge pipe 617 above the blocking member 616a, One end is coupled to the blocking member 616a and the other end is coupled to the fixing member 616c to include a support member 616b that is made to be stretchable in accordance with the moving direction of the blocking member 616a. Here, the blocking member 616a is manufactured to be at least larger than the intermediate channel 617c of the discharge pipe 617 and smaller than the upper channel 617a. Accordingly, the blocking member 616a is movable inside the discharge pipe 617, that is, between the intermediate flow path 617c and the upper flow path 617a. The movement of the blocking member 616a is controlled by being supported by or separated from the supply pipe 620 into which the blocking member 616a is inserted. In addition, the fixing member 616c according to the embodiment is manufactured in a ring shape having an open central portion, and is installed above the discharge pipe 617. In this case, the opening of the fixing member 616c is provided to correspond to the lower opening of the can 611 and the upper opening of the discharge pipe 617. A spring is also used as the support member 616b according to the embodiment. Therefore, the supporting member 616b is contracted in the direction in which the can 611 is located by the movement of the blocking member 616a while the blocking member 616a is wound at the other end, or the direction in which the supply pipe 620 is disposed. Is relaxed. A detailed description of the operation of the valve 616 will be described later.

상기에서는 캔(611)의 하부에 배출관(617)이 별도로 결합되는 것을 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 캔(611)과 배출관(617)이 일체형으로 제작될 수 있다. 즉, 캔(611)의 하부에 별도의 배출관(617)이 결합되지 않고, 상기 캔(611) 내부의 하단에 밸브(616)가 설치될 수 있다.In the above, the discharge pipe 617 is separately coupled to the lower part of the can 611, but the present invention is not limited thereto, and the can 611 and the discharge pipe 617 may be integrally manufactured. That is, a separate discharge pipe 617 is not coupled to the lower portion of the can 611, and a valve 616 may be installed at the lower end of the can 611.

공급관(620)은 도 3에 도시된 바와 같이 그 내부로 실런트가 이동할 수 있는 내부 공간이 마련된 파이프 형상으로 제작되며, 배출관(617)과 탈착 가능하다. 즉, 공급관(620)은 배출관(617) 내부로 삽입되어 상기 배출관(617) 내부에 배치된 차단 부재(616a)를 지지하거나, 상기 배출관(617)으로부터 배출되어 차단 부재(616a)와 분리될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 배출관(617) 내부로 삽입된 공급관(620)과 상기 배출관(617)를 결합시켜 고정시키는 별도의 고정 수단이 설치될 수 있다. 여기서 공급관(620)은 배출관(617)의 형상 즉, 배출관(617)의 하측 유로(617b)의 형상과 대응되는 형상으로 제작되는 것이 바람직하다. 실시예에 따른 배출관(617)의 하측 유로(617b)는 원통형의 형상으로 제작되므로, 배출관(617) 역시 원통형으로 제작되는 것이 바람직하다. 그리고 공급관(620)의 외경은 배출관(617)의 내경에 비해 작도록 제작된다. 이는 공급관(620)이 배출관(617)으로 용이하게 삽입될 수 있도록 하기 위함이다. 이러한 공급관(620)이 배출관(617) 내부로 인입될 경우, 상기 공급관(620)의 일단 예컨데, 상단은 차단 부재(616a)를 지지한다. 여기서 공급관(620)의 상단은 차단 부재(616a)를 용이하게 지지할 수 있는 형상으로 제작된다. 실시예에 따른 차단 부재(616a)는 볼(ball) 형상으로 제작되므로, 공급관(620)의 상단은 오목한 형상으로 제작되는 것이 바람직하다. 물론 이에 한정되지 않고 공급관(620)의 상단은 차단 부재(616a)를 용이하게 지지할 수 있도록 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 또한 공급관(620)의 측부에는 개구 홀이 마련되는데, 상기 개구 홀을 통해 배출관(617) 내부로 유입된 실런트가 공급관(620) 내부로 이동한다. 하기에서는 공급관(620)의 측부에 마련된 개구 홀을 '유입구(620a)'라 명명한다. 이러한 유입구(620a)는 공급관(620)의 측부 영역 중, 배출관(617) 내부로 삽입되는 영역 예를 들어, 상부 영역에 마련된다. 그리고 유입구(620a)는 공급관(620)의 외주면으로부터 내부 공간이 배치된 방향으로 내리막 경사를 가지도록 제작될 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고, 배출관(617)과 공급관(620)이 연통될 수 있도록 다양한 형상으로 유입구(620a)를 제작할 수 있다.As shown in FIG. 3, the supply pipe 620 is manufactured in a pipe shape having an inner space through which the sealant can move, and is detachable from the discharge pipe 617. That is, the supply pipe 620 may be inserted into the discharge pipe 617 to support the blocking member 616a disposed in the discharge pipe 617 or may be discharged from the discharge pipe 617 to be separated from the blocking member 616a. have. Although not shown, a separate fixing means for coupling and fixing the supply pipe 620 inserted into the discharge pipe 617 and the discharge pipe 617 may be installed. Here, the supply pipe 620 may be manufactured in a shape corresponding to the shape of the discharge pipe 617, that is, the shape of the lower flow path 617b of the discharge pipe 617. Since the lower passage 617b of the discharge pipe 617 according to the embodiment is manufactured in a cylindrical shape, it is preferable that the discharge pipe 617 is also manufactured in a cylindrical shape. And the outer diameter of the supply pipe 620 is manufactured to be smaller than the inner diameter of the discharge pipe (617). This is to allow the supply pipe 620 to be easily inserted into the discharge pipe (617). When the supply pipe 620 is introduced into the discharge pipe 617, for example, an upper end of the supply pipe 620 supports the blocking member 616a. Here, the upper end of the supply pipe 620 is manufactured in a shape that can easily support the blocking member 616a. Since the blocking member 616a according to the embodiment is manufactured in a ball shape, the upper end of the supply pipe 620 is preferably manufactured in a concave shape. Of course, the present invention is not limited thereto, and the upper end of the supply pipe 620 may be manufactured in various shapes to easily support the blocking member 616a. In addition, an opening hole is provided at a side of the supply pipe 620, and the sealant introduced into the discharge pipe 617 through the opening hole moves into the supply pipe 620. In the following, the opening hole provided in the side of the supply pipe 620 is called 'inlet 620a'. The inlet 620a is provided in a region, for example, an upper region, of the side region of the supply pipe 620 that is inserted into the discharge pipe 617. The inlet 620a may be manufactured to have a downhill slope in the direction in which the inner space is disposed from the outer circumferential surface of the supply pipe 620. Of course, the present invention is not limited thereto, and the inlet 620a may be manufactured in various shapes such that the discharge pipe 617 and the supply pipe 620 communicate with each other.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 공급관이 배출관 외측에 배치되어, 상기 배출관과 공급관의 연통이 차단되어 있는 상태를 도시한 단면도이다. 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 공급관이 배출관 내로 삽입되어, 상기 배출관과 공급관이 연통되어 있는 상태를 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating a state in which a supply pipe according to an embodiment of the present invention is disposed outside the discharge pipe and communication between the discharge pipe and the supply pipe is blocked. 5 is a cross-sectional view showing a state in which the supply pipe is inserted into the discharge pipe according to an embodiment of the present invention, the discharge pipe and the supply pipe is in communication.

하기에서는 도 4 및 도 5를 참조하여, 공급관의 삽입 여부에 따른 밸브의 동작을 설명한다.Hereinafter, the operation of the valve according to whether the supply pipe is inserted will be described with reference to FIGS. 4 and 5.

도 4에 도시된 바와 같이, 탱크(610)의 배출관(617)과 공급관(620)이 분리되어 있을 경우, 즉 공급관(620)이 차단 부재(616a)를 지지하고 있지 않을 경우 탱크(610)가 밀폐되어 있는 상태가 된다. 즉, 차단 부재(616a)가 배출관(617) 내부의 중앙 유로(617c)에 배치되어, 상기 배출관(617)의 상측 유로(617a)와 하측 유로(617b) 사이의 연통을 차단한다. 이때 차단 부재(616a)는 스토퍼로 작용하는 중간 유로(617c)의 측벽에 의해 그 이동이 차단되어 더이상 하강하지 않는다. 따라서, 캔(611)으로부터 배출관(617)의 상측 유로(617a)로 배출된 실런트가 차단 부재(616a)에 의해 그 이동이 차단되어 하측 유로(617b)로 이동되지 않으므로, 상기 실런트는 배출관(617) 외부로 배출되지 않는다. 이때, 지지 부재(616b)는 공급관(620)이 배출관(617) 내부로 인입되었을 때에 비해, 이완된 상태이다. 이와 같이 탱크(610)의 배출관(617)과 공급관(620)이 분리되어 상기 탱크(610)가 밀폐되어 있는 경우는 실런트가 충진된 탱크(610)를 공급관(620)과 결합하기 전이거나, 실런트가 모두 소진된 탱크(610)를 공급관(620)으로부터 분리한 상태일 수 있다.As shown in FIG. 4, when the discharge pipe 617 and the supply pipe 620 of the tank 610 are separated, that is, when the supply pipe 620 does not support the blocking member 616a, the tank 610 It is in a sealed state. That is, the blocking member 616a is disposed in the central flow path 617c inside the discharge pipe 617 to block communication between the upper flow path 617a and the lower flow path 617b of the discharge pipe 617. At this time, the blocking member 616a is blocked by the side wall of the intermediate flow path 617c acting as a stopper and no longer descends. Therefore, since the sealant discharged from the can 611 to the upper flow path 617a of the discharge pipe 617 is blocked by the blocking member 616a and is not moved to the lower flow path 617b, the sealant is discharge pipe 617. ) It is not discharged to the outside. At this time, the support member 616b is in a relaxed state as compared with when the supply pipe 620 is drawn into the discharge pipe 617. As such, when the discharge pipe 617 and the supply pipe 620 of the tank 610 are separated and the tank 610 is sealed, the tank 610 filled with the sealant is combined with the supply pipe 620 or the sealant. May be in a state in which all of the exhausted tanks 610 are separated from the supply pipe 620.

반대로, 도 5에 도시된 바와 같이 탱크(610)의 배출관(617) 내부로 공급관(620)을 삽입시켜, 상기 공급관(620)에 차단 부재(616a)가 지지되도록 하면, 탱크(610)와 공급관(620) 사이가 연통된다. 즉, 예를 들어 실런트가 충진된 탱크(610)를 공급관(620) 상측에 대응 배치시키고, 상기 탱크(610)를 하강시켜 배출관(617) 내로 공급관(620)이 삽입되도록 한다. 이때, 공급관(620)의 상단에 차단 부재(616a)가 지지되고, 상기 공급관(620)에 마련된 유입구(620a)가 중간 유로(617c)의 상측 즉, 상측 유로(617a)에 배치되도록 공급관(620)을 삽입시킨다. 이와 같이 공급관(620)이 차단 부재(616a)를 지지한 상태로 탱크(610)가 계속하여 하강하면, 상기 차단 부재(616a)는 탱크(610)의 하강 방향과 반대 방향인 상측으로 이동한다. 이에, 차단 부재(616a)는 중앙 유로(617c)의 측벽으로부터 분리되고, 차단 부재(616a)가 상승하는 힘에 의해, 지지 부재(616b)는 차단 부재(616a)를 권취한 상태로 캔(611)이 배치된 방향으로 수축된다. 그리고 지지 부재(616b)는 공급관(620)이 배출관(617) 내부로 삽입되지 않고, 외부에 배치되었을 때에 비해 수축된 상태가 된다. 이와 같은 차단 부재(616a)의 동작에 의해 배출관(617)의 상측 유로(617a)와 하측 유로(617b)가 연통된다. 따라서, 캔(611)으로부터 배출관(617)의 상측 유로(617a)로 이동한 실런트는 공급관(620)의 유입구(620a)를 통해 상기 공급관(620) 내부로 이동한다.On the contrary, when the supply pipe 620 is inserted into the discharge pipe 617 of the tank 610 so that the blocking member 616a is supported by the supply pipe 620, the tank 610 and the supply pipe as shown in FIG. 620 is in communication. That is, for example, the tank 610 filled with the sealant is disposed to correspond to the upper side of the supply pipe 620, and the tank 610 is lowered so that the supply pipe 620 is inserted into the discharge pipe 617. At this time, the blocking member 616a is supported on the upper end of the supply pipe 620, the supply pipe 620 so that the inlet 620a provided in the supply pipe 620 is disposed above the intermediate flow path 617c, that is, the upper flow path 617a. ). As described above, when the tank 610 continues to descend while the supply pipe 620 supports the blocking member 616a, the blocking member 616a moves upward in a direction opposite to the downward direction of the tank 610. Accordingly, the blocking member 616a is separated from the side wall of the central flow path 617c, and the supporting member 616b is wound in a state in which the supporting member 616b is wound around the blocking member 616a by the force of the blocking member 616a. ) Is contracted in the arrangement direction. In addition, the support member 616b is not inserted into the discharge pipe 617 but is in a contracted state compared to when the supply pipe 620 is disposed outside. The upper flow path 617a and the lower flow path 617b of the discharge pipe 617 communicate with each other by the operation of the blocking member 616a. Therefore, the sealant moved from the can 611 to the upper flow path 617a of the discharge pipe 617 is moved into the supply pipe 620 through the inlet 620a of the supply pipe 620.

구동 모듈(630)은 일단이 공급관(620)의 하부와 연결되어 공급관(620)으로부터 실런트를 제공 받는 연결 부재(633), 일단이 연결 부재(633)와 연결되고 타단이 공급 라인(640)과 연결되어, 상기 연결 부재(633)로 공급된 실런트를 공급 라인(640)으로 이동 시키는 펌프(631), 펌프(631)에 동력을 제공하는 동력부(632)를 포함한다. 여기서 연결 부재(633) 및 펌프(631) 각각의 내부에는 공급관(620)으로부터 제공된 실런트가 이동할 수 있는 유로(미도시)가 마련된다. 이에, 동력부(632)를 이용항 펌프(631)를 구동시키면, 상기 펌프(631)의 펌핑력에 의해 배출관(617) 및 공급관(620) 내의 실런트가 구동 모듈(630)의 연결 부재(633) 및 펌프(631)와 공급 라인(640)을 거쳐 시린지(410)로 이동한다. 이때, 펌프(631)는 공급 라인(640) 및 디스펜서(400)가 배치된 방향으로 흡입하는 펌핑력을 발생시켜, 공급관(620) 및 연결 부재(633) 내의 실런트를 공급 라인(640)으로 이동시킨다. 실시예에서는 펌프(631)로 스크류 펌프를 사용하나, 이에 한정되지 않고, 공급 라인(640) 및 디스펜서(400)가 배치된 방향으로 흡입하는 펌핑력을 제공하는 다양한 펌프(631)가 사용될 수 있다.The driving module 630 has one end connected to the lower part of the supply pipe 620 and receiving a sealant from the supply pipe 620, one end connected to the connection member 633, and the other end connected to the supply line 640. It is connected to include a pump 631 for moving the sealant supplied to the connecting member 633 to the supply line 640, and a power unit 632 for providing power to the pump 631. Here, a flow path (not shown) through which the sealant provided from the supply pipe 620 may move is provided in each of the connection member 633 and the pump 631. Therefore, when the pump 631 is driven using the power unit 632, the sealant in the discharge pipe 617 and the supply pipe 620 is connected to the driving member 633 by the pumping force of the pump 631. ) And the syringe 610 through the pump 631 and the supply line 640. At this time, the pump 631 generates a pumping force to suck in the direction in which the supply line 640 and the dispenser 400 are disposed, and moves the sealant in the supply pipe 620 and the connecting member 633 to the supply line 640. Let's do it. In an embodiment, a screw pump is used as the pump 631, but the present invention is not limited thereto, and various pumps 631 may be used to provide a pumping force for suction in the direction in which the supply line 640 and the dispenser 400 are disposed. .

공급 라인(640)은 실런트가 이동할 수 있는 내부 공간이 마련된 형상으로 제작된다. 이러한 공급 라인(640)의 일단은 펌프(631)와 연결되고, 타단은 챔버(100) 내부에 배치된 디스펜서(400)의 시린지(410)와 연결된다. 이에, 구동 모듈(630)의 펌핑력에 의해 캔(611)의 실런트가 상기 구동 모듈(630) 및 공급 라인(640)을 거쳐 시린지(410)로 이동한다.The supply line 640 is manufactured in a shape in which an inner space for moving the sealant is provided. One end of the supply line 640 is connected to the pump 631, and the other end is connected to the syringe 410 of the dispenser 400 disposed inside the chamber 100. Accordingly, the sealant of the can 611 moves to the syringe 410 through the driving module 630 and the supply line 640 by the pumping force of the driving module 630.

도 6a는 실런트가 충진된 탱크와 공급관이 분리되어 있는 상태를 도시한 것이고, 도 6b는 공급관에 실런트가 충진된 탱크가 장착된 상태를 도시한 도면이다. 도 6c는 탱크의 가압 부재를 하강시키면서 캔 내의 실런트를 배출시키는 모습을 도시한 도면이고, 도 6d는 실런트가 소진된 탱크를 공급관으로부터 분리한 상태를 도시한 도면이다. 하기에서는 도 6a 내지 도 6d를 참고하여, 실시예에 따른 원료 공급 유닛(600)을 이용하여 디스펜서로 실런트를 공급하는 방법을 설명한다. 이때, 상기에서 설명한 내용과 중복되는 내용은 생략하거나 간략히 설명한다.FIG. 6A illustrates a state in which a sealant-filled tank and a supply pipe are separated, and FIG. 6B illustrates a state in which a sealant-filled tank is mounted in a supply pipe. FIG. 6C is a view showing a state in which the sealant in the can is discharged while the pressure member of the tank is lowered, and FIG. 6D is a view showing a state in which the tank in which the sealant is exhausted is separated from the supply pipe. Hereinafter, a method of supplying a sealant to the dispenser using the raw material supply unit 600 according to an embodiment will be described with reference to FIGS. 6A to 6D. In this case, the content overlapping with the above description will be omitted or briefly described.

먼저, 도 6a에 도시된 바와 같이 내부에 실런트가 충진된 탱크(610)를 마련한다. 이때 탱크(610)는 밀폐되어 있는 상태이며, 내부는 진공 상태를 유지하고 있다. 즉, 차단 부재(616a)가 배출관(617) 내부의 중앙 유로(617c)에 배치되어, 상기 배출관(617)의 상측 유로(617a)와 하측 유로(617b) 사이의 연통을 차단한다. 이때 차단 부재(616a)는 스토퍼로 작용하는 중간 유로(617c)의 측벽에 의해 그 이동이 차단되어 더이상 하강하지 않는다. 따라서, 탱크(610)의 캔(611)으로부터 배출관(617)의 상측 유로(617a)로 배출된 실런트가 차단 부재(616a)에 의해 그 이동이 차단되어 하측 유로(617b)로 이동되지 않으므로, 상기 실런트는 배출관(617) 외부로 배출되지 않는다. 이와 같이 실시예에 따른 밸브(616)를 이용하여 탱크(610)를 밀폐하고 있으므로, 상기 탱크(610) 내에 실런트는 대기중에 노출되지 않는다.First, as illustrated in FIG. 6A, a tank 610 filled with a sealant is provided. At this time, the tank 610 is in a sealed state, and the inside is maintained in a vacuum state. That is, the blocking member 616a is disposed in the central flow path 617c inside the discharge pipe 617 to block communication between the upper flow path 617a and the lower flow path 617b of the discharge pipe 617. At this time, the blocking member 616a is blocked by the side wall of the intermediate flow path 617c acting as a stopper and no longer descends. Therefore, since the sealant discharged from the can 611 of the tank 610 to the upper flow path 617a of the discharge pipe 617 is blocked by the blocking member 616a, the sealant is not moved to the lower flow path 617b. The sealant is not discharged outside the discharge pipe 617. Thus, since the tank 610 is sealed using the valve 616 according to the embodiment, the sealant in the tank 610 is not exposed to the atmosphere.

그리고 도 6b에 도시된 바와 같이, 탱크(610)를 이동시켜 상기 탱크(610)의 배출관(617) 내부로 공급관(620)이 삽입되도록 한다. 즉, 공급관(620)이 구동 모듈(630)과 결합되어 고정된 상태에서, 탱크(610)를 공급관(620)의 바로 상측에 배치시키고, 상기 탱크(610)를 하강시킨다. 이에, 배출관(617) 내부로 공급관(620)이 삽입된다. 이때 공급관(620)의 상단에 차단 부재(616a)가 지지되고, 상기 공급관(620)에 마련된 유입구(620a)가 배출관(617)의 상측 유로(617a)에 위치하도록 상기 공급관(620)을 삽입시킨다. 그리고 공급관(620)에 차단 부재(616a)가 지지된 상태로 탱크(610)를 계속하여 하강시키면, 상기 차단 부재(616a)는 탱크(610)의 이동 방향과 반대 방향 즉, 상측으로 이동한다. 따라서, 차단 부재(616a)는 중앙 유로(617c)의 측벽으로부터 분리되고, 차단 부재(616a)가 이동하는 힘에 의해, 지지 부재(616b)는 차단 부재(616a)를 권취한 상태로 캔(611)이 배치된 방향으로 수축된다. 이때, 지지 부재(616b)는 공급관(620)과 차단 부재(616a)가 분리되어 있을 때에 비해 수축된 상태이다. 이와 같은 차단 부재(616a)의 동작에 의해 배출관(617)의 상측 유로(617a)와 하측 유로(617b)가 연통된다. 따라서, 도 6b에 도시된 바와 같이 캔(611)으로부터 배출되어 배출관(617)으로 공급된 실런트는 상기 배출관(617)의 내측벽과 공급관(620) 사이의 이격 공간을 통해 유입구(620a)로 유입된다. 그리고 공급관(620)의 유입구(620a)로 유입된 실런트는 공급관(620)의 내부로 이동한다. 6B, the supply pipe 620 is inserted into the discharge pipe 617 of the tank 610 by moving the tank 610. That is, in a state where the supply pipe 620 is fixedly coupled to the driving module 630, the tank 610 is disposed directly above the supply pipe 620, and the tank 610 is lowered. Thus, the supply pipe 620 is inserted into the discharge pipe 617. In this case, the blocking member 616a is supported at the upper end of the supply pipe 620, and the supply pipe 620 is inserted such that the inlet 620a provided in the supply pipe 620 is positioned at the upper flow path 617a of the discharge pipe 617. . When the tank 610 is continuously lowered while the blocking member 616a is supported by the supply pipe 620, the blocking member 616a moves in the opposite direction to the moving direction of the tank 610, that is, upward. Therefore, the blocking member 616a is separated from the side wall of the central flow path 617c, and the supporting member 616b can 611 with the blocking member 616a wound by the force that the blocking member 616a moves. ) Is contracted in the arrangement direction. At this time, the support member 616b is in a contracted state compared to when the supply pipe 620 and the blocking member 616a are separated. The upper flow path 617a and the lower flow path 617b of the discharge pipe 617 communicate with each other by the operation of the blocking member 616a. Thus, as shown in FIG. 6B, the sealant discharged from the can 611 and supplied to the discharge pipe 617 flows into the inlet 620a through a space between the inner wall of the discharge pipe 617 and the supply pipe 620. do. The sealant introduced into the inlet 620a of the supply pipe 620 moves into the supply pipe 620.

이와 같이, 실시예에서는 공급관(620)을 탱크(610)의 배출관(617) 내부로 삽입시켜, 상기 삽입된 공급관(620)에 의해 밸브(617)가 동작하도록 하여, 공급관(620)과 배출관(617) 사이를 연통시킨다. 따라서, 공급관(620)을 배출관(617) 내부로 삽입시켜, 탱크(610)와 공급관(620)을 결합시키는 작업 중에 상기 탱크(610)를 용이하게 밀폐할 수 있다. 이로 인해, 탱크(610)와 공급관(620)의 결합 작업 시에 상기 탱크(610) 내부에 수용된 실런트가 대기중에 노출되어 손상되는 것을 방지할 수 있다.As described above, in the embodiment, the supply pipe 620 is inserted into the discharge pipe 617 of the tank 610 so that the valve 617 is operated by the inserted supply pipe 620 so that the supply pipe 620 and the discharge pipe ( 617). Therefore, the supply pipe 620 may be inserted into the discharge pipe 617 to easily seal the tank 610 during the operation of coupling the tank 610 and the supply pipe 620. For this reason, it is possible to prevent the sealant contained inside the tank 610 from being exposed to the air and being damaged when the tank 610 and the supply pipe 620 are coupled to each other.

또한, 이때 구동 모듈(630)의 동력부(632)를 이용하여 펌프(631)를 구동시켜, 공급 라인(640) 및 디스펜서(400)가 배치된 방향으로 흡입하는 펌핑력을 발생시킨다. 이에, 공급관(620)으로 공급된 실런트는 펌프(631)의 펌핑력에 의해 연결 부재(633), 펌프(631) 및 공급 라인(640)을 거쳐 챔버(100) 내부에 설치된 디스펜서(400)의 시린지(410)로 공급된다. 그리고 시린지(410)에서는 일정량의 실런트를 노즐(420)로 공급하여, 노즐(420)로부터 실런트를 토출시킨다. 이때, 스테이지 구동부(미도시)를 이용하여 스테이지(200)를 수평 이동시키거나, 수평 이동 수단(500)을 이용하여 디스펜서(400)를 수평 이동시키면서, 디스펜서(400)를 통해 실런트를 기판(s) 상에 도포한다. In addition, at this time, the pump 631 is driven by using the power unit 632 of the driving module 630 to generate a pumping force for sucking in the direction in which the supply line 640 and the dispenser 400 are arranged. Accordingly, the sealant supplied to the supply pipe 620 is connected to the inside of the chamber 100 through the connection member 633, the pump 631, and the supply line 640 by the pumping force of the pump 631. It is supplied to the syringe 410. The syringe 410 supplies a certain amount of sealant to the nozzle 420 to discharge the sealant from the nozzle 420. At this time, the stage 200 is horizontally moved using a stage driver (not shown), or the sealant is moved through the dispenser 400 while the horizontally moves the dispenser 400 using the horizontal moving means 500. ) Is coated on.

그리고 캔(611) 내부의 실런트가 소진되는 양에 따라 도 6c에 도시된 바와 같이 캔(611) 내부에 설치된 가압 부재(613)를 하강시킨다. 즉, 유체 분사 부재(614)를 이용하여 가압 부재(613) 상측으로 유체 예를 들어, 질소를 분사하면 분사되는 유체의 분사압에 의해 가압 부재(613)가 하강한다. 이러한 가압 부재(613)의 하강에 의해 상기 가압 부재(613)의 하측 영역의 압력이 높아 짐에 따라, 실런트가 캔(611)의 하측 개구부를 통해 배출관(617)으로 배출된다. 이를 통해, 실런트가 소진되는 만큼, 가압 부재(613)를 이용하여 상기 캔(611) 내부를 가압함으로써 실런트가 배출관(617)으로 용이하게 배출될 수 있다.Then, as shown in FIG. 6C, the pressing member 613 installed inside the can 611 is lowered according to the amount of exhaust of the sealant inside the can 611. That is, when the fluid, for example, nitrogen is injected onto the pressure member 613 using the fluid injection member 614, the pressure member 613 is lowered by the injection pressure of the fluid to be injected. As the pressure in the lower region of the pressing member 613 increases due to the lowering of the pressing member 613, the sealant is discharged to the discharge pipe 617 through the lower opening of the can 611. As a result, as the sealant is exhausted, the sealant may be easily discharged to the discharge pipe 617 by pressing the inside of the can 611 using the pressing member 613.

그리고 이와 같이 가압 부재(613)를 하강시키고, 구동 모듈(630)을 동작시키면서, 디스펜서(400)를 이용하여 기판(s) 상에 실런트를 연속적으로 도포한다. As described above, the pressing member 613 is lowered, and the sealant is continuously applied onto the substrate s using the dispenser 400 while operating the driving module 630.

기판(s) 상에 실런트를 도포하던 중, 캔(611) 내부에 실런트가 소량으로 존재하거나 모두 소진되었을 경우, 도 6d에 도시된 바와 같이 탱크(610)의 배출관(617)을 공급관(620)으로부터 분리시킨다. 즉, 탱크(610)를 상측으로 이동시켜, 탱크(610)의 배출관(617)으로부터 공급관(620)을 인출시킨다. 이에, 공급관(620)의 상단에 지지되어 있던 차단 부재(616a)는 중력에 의해 하측으로 이동하여, 중간 유로(617c)에 위치하게 된다. 이로 인해 도 6d에 도시된 바와 같이 배출관(617)의 상측 유로(617a)와 하측 유로(617b) 사이의 연통이 차단된다. 따라서, 캔(611) 내의 실런트가 배출관(617)의 상측 유로(617a)로 공급되더라도, 상기 상측 유로(617a)의 실런트는 하측 유로(617b)로 이동하지 않는다. 즉, 탱크(610)는 밀폐된 상태가 된다.When the sealant is applied to the substrate s while the sealant is present in the can 611 in a small amount, or when the sealant is exhausted, the discharge pipe 617 of the tank 610 is supplied to the supply pipe 620 as shown in FIG. 6D. Separate from. That is, the tank 610 is moved upward, and the supply pipe 620 is pulled out from the discharge pipe 617 of the tank 610. Accordingly, the blocking member 616a supported on the upper end of the supply pipe 620 moves downward by gravity and is positioned in the intermediate flow path 617c. As a result, as illustrated in FIG. 6D, communication between the upper flow path 617a and the lower flow path 617b of the discharge pipe 617 is blocked. Therefore, even if the sealant in the can 611 is supplied to the upper flow path 617a of the discharge pipe 617, the sealant of the upper flow path 617a does not move to the lower flow path 617b. That is, the tank 610 is in a sealed state.

이와 같이, 실시예에서는 공급관(620)과 차단 부재(616a)의 분리시에 상기 공급관(620)과 배출관(617) 사이를 연통을 차단한다. 따라서, 실런트가 소진된 탱크(610)를 공급관(620)과 분리하기 위하여, 상기 공급관(620)을 배출관(617)으로부터 인출시킬 때, 탱크(610)를 용이하게 밀폐할 수 있다. 이로 인해, 탱크(610)와 공급관(620)의 분리 작업 시에 상기 탱크(610) 내부가 대기중에 노출되는 것을 방지할 수 있다.As described above, in the embodiment, communication between the supply pipe 620 and the discharge pipe 617 is blocked when the supply pipe 620 and the blocking member 616a are separated. Therefore, in order to separate the tank 610 from which the sealant is exhausted from the supply pipe 620, when the supply pipe 620 is withdrawn from the discharge pipe 617, the tank 610 may be easily sealed. Thus, the inside of the tank 610 may be prevented from being exposed to the atmosphere during the separation operation of the tank 610 and the supply pipe 620.

이후, 실런트가 충진된 새로운 탱크(610)로 교체한다. 즉, 도 6a에 도시된 바와 같이 실런트가 충진된 다른 탱크(610)를 마련하고, 상기에서 서술한 도 6b와 같이 실런트가 충진된 탱크(610)의 배출관(617) 내부로 공급관(620)을 삽입시킨다. 이를 통해 실런트가 충진된 탱크(610)와 공급관(620)이 결합되고, 상기 탱크(610)와 공급관(620)이 연통된다. 그리고 상기에서 설명한 도 6c에서와 같이 가압 부재(613) 및 유채 분사 부재(614)를 이용하여 탱크(610) 내부를 가압하면서, 디스펜서(400)로 연속적으로 실런트를 공급한다. 이후. 탱크(610) 내부의 실런트가 모두 소진되면 상기에서 설명한 도 6d에서와 같이 탱크(610)와 공급관(620)을 분리시킨다.After that, the sealant is replaced with a new tank 610 filled. That is, as shown in FIG. 6A, another tank 610 filled with the sealant is provided, and the supply pipe 620 is introduced into the discharge pipe 617 of the tank 610 filled with the sealant as shown in FIG. 6B. Insert it. Through this, the tank 610 filled with the sealant and the supply pipe 620 are coupled, and the tank 610 and the supply pipe 620 communicate with each other. 6C, the sealant is continuously supplied to the dispenser 400 while pressing the inside of the tank 610 using the pressing member 613 and the rapeseed spraying member 614. after. When the sealant inside the tank 610 is exhausted, the tank 610 and the supply pipe 620 are separated as shown in FIG. 6D described above.

이와 같이 실시예에서는 배출관(617) 내부에 삽입되는 공급관(620), 배출관(617) 내에 설치되어 공급관(620)에 의한 지지 여부에 따라 동작하는 밸브(616)를 마련한다. 이에, 공급관(620)이 배출관(617)으로 삽입되어 차단 부재(616a)를 지지함과 동시에 캔(611)과 공급관(620) 및 배출관(617)과 공급관(620) 사이가 연통된다. 또한, 공급관(620)이 밸브(616)의 차단 부재(616a)와 분리됨과 동시에 상기 차단 부재(616a)에 의해 캔(611)과 외부 사이의 연통의 차단된다. 따라서, 탱크(610)를 공급관(620)과 결합시키거나, 상기 탱크(610)를 공급관(620)으로부터 분리하는 작업을 실시할 때, 대기중의 물질이 캔(611) 또는 배출관(617)으로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 이로 인해, 별도의 진공 챔버(100)를 마련하지 않고 대기 중에서도 탱크(610)의 교체 작업을 실시할 수 있다.As described above, the embodiment provides a supply pipe 620 inserted into the discharge pipe 617 and a valve 616 installed in the discharge pipe 617 and operating according to the support by the supply pipe 620. Accordingly, the supply pipe 620 is inserted into the discharge pipe 617 to support the blocking member 616a, and at the same time, the can 611 and the supply pipe 620 and the discharge pipe 617 and the supply pipe 620 communicate with each other. In addition, the supply pipe 620 is separated from the blocking member 616a of the valve 616 and the communication between the can 611 and the outside is blocked by the blocking member 616a. Therefore, when the tank 610 is combined with the supply pipe 620 or when the tank 610 is separated from the supply pipe 620, atmospheric substances are transferred to the can 611 or the discharge pipe 617. Inflow can be prevented. For this reason, the operation of replacing the tank 610 can be performed even in the air without providing a separate vacuum chamber 100.

상기에서는 기판(s) 상에 실런트를 도포하는 실런트 디스펜싱 장치를 예를 들어 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 원료 물질이 수용된 캔(611)이 마련되고 캔(611)의 교체가 필요한 다양한 장치에 적용될 수 있다.In the above description, the sealant dispensing apparatus for applying the sealant on the substrate s has been described as an example. However, the present invention is not limited thereto, and a can 611 containing a raw material is provided and applied to various devices requiring replacement of the can 611. Can be.

611: 탱크 613: 가압 부재
616: 밸브 617: 배출관
620: 공급관 620a: 유입구611 tank 613 pressurizing member
616: valve 617: discharge pipe
620: supply pipe 620a: inlet

Claims

A can having an internal space accommodating the raw material and provided with a discharge pipe that is a passage through which the raw material is discharged;
A supply pipe insertable into the discharge pipe;
Is installed in the discharge pipe, and moved by the supply pipe inserted into the discharge pipe, and includes a valve for controlling the communication between the discharge pipe and the supply pipe,
The valve includes a blocking member disposed in the discharge pipe and supported by a supply pipe to be inserted, the support member movable in one end and the other end coupled to the discharge pipe, the support member being retractable by movement of the blocking member.
The inside of the discharge pipe, the raw material supply unit including an intermediate flow path whose diameter is made smaller than the blocking member, the upper flow path is located above the intermediate flow path and whose diameter is larger than the blocking member.

The method according to claim 1,
And a pressurizing member configured to move up and down within the can to pressurize the inside of the can so that the raw material contained in the can moves in the direction in which the discharge pipe is located.

The method according to claim 2,
And a fluid injection member for controlling a movement of the pressure member by injecting a fluid above the pressure member in the can.

The method according to claim 1,
Raw material supply unit is provided on the side of the supply pipe inlet communication with the inside of the supply pipe.

The method of claim 4,
The inlet is a raw material supply unit is manufactured to have a downhill slope in the inward direction from the outside of the supply pipe.

delete

The method according to claim 1,
And a driving module connected to the other end of the supply pipe to move the raw material moved into the supply pipe by using a pumping force.

The method according to claim 8,
The drive module includes a pumping member having one end connected to the other end of the supply pipe,
Raw material supply unit is connected to the other end of the pumping member is connected to a supply line for receiving the raw material from the pumping member to move it.

A dispenser for applying a raw material onto the substrate;
A raw material supply unit for supplying a raw material to the dispenser,
The raw material supply unit has an inner space for receiving the raw material, the can is provided with a discharge pipe which is a passage for discharging the raw material on one side;
A supply pipe insertable into the discharge pipe;
Is installed in the discharge pipe, and moved by the supply pipe inserted into the discharge pipe, and includes a valve for controlling the communication between the discharge pipe and the supply pipe,
The valve includes a blocking member disposed in the discharge pipe and supported by a supply pipe to be inserted, the support member movable in one end and the other end coupled to the discharge pipe, the support member being retractable by movement of the blocking member.
The inside of the discharge pipe, the dispensing apparatus including an intermediate flow path whose diameter is made smaller than the blocking member, the upper flow path is located above the intermediate flow path and the diameter is larger than the blocking member.

The method of claim 10,
The dispenser is installed inside the vacuumed chamber.

The method of claim 10,
Dispensing device that is provided on the side of the supply pipe in communication with the inside of the supply pipe.

The method of claim 10,
The blocking member is supported by a supply pipe inserted into the discharge pipe and moved to an upper flow path, whereby the discharge pipe and the inlet of the supply pipe communicate with each other.
When the blocking member and the supply pipe is separated, the blocking member is located in the intermediate flow path, the communication between the upper region and the lower region of the blocking member is blocked, the communication between the supply pipe and the discharge pipe is blocked.

Providing a can containing a raw material therein;
Inserting the supply pipe into the discharge pipe provided on one side of the can,
Inserting a supply pipe having an inlet provided in a side surface into a discharge pipe provided at one side of the can, and moving the valve disposed in the discharge pipe to one end of the inserted supply pipe, thereby communicating the discharge pipe and the supply pipe;
Comprising the separation of the supply pipe and the valve, and the communication between the discharge pipe and the supply pipe;
The valve has a ball-shaped blocking member, the inside of the discharge pipe, the diameter of the intermediate passage is made smaller than the blocking member, is located on the upper side of the intermediate passage and the diameter is made larger than the blocking member With an upper flow path,
The step of communicating the discharge pipe and the supply pipe,
As the blocking member is separated from the discharge pipe inner wall, the inlet provided on the side of the supply pipe communicates with the inside of the discharge pipe,
Blocking the communication between the discharge pipe and the supply pipe,
And blocking the inlet provided on the side of the supply pipe with the inside of the discharge pipe as the blocking member contacts the inner wall of the discharge pipe.

The method according to claim 14,
In the step of communicating the discharge pipe and the supply pipe,
A raw material for inserting a supply pipe into the discharge pipe, operating the valve in a direction corresponding to the insertion direction of the supply pipe, so that the valve is separated from the discharge pipe inner wall, thereby communicating the inlet provided on the side of the supply pipe with the inside of the discharge pipe. Supply method.

The method according to claim 15,
The raw material supply method in which the discharge pipe and the inside of the supply pipe is communicated by the inlet provided on the side of the discharge pipe to move the raw material moved to the discharge pipe into the inside of the supply pipe through the inlet.

The method according to claim 14,
In the step of blocking the communication between the discharge pipe and the supply pipe,
By separating the valve and the supply pipe, the valve is operated in the direction opposite to the direction in which the supply pipe is inserted, so that the valve is in contact with the inner wall of the discharge pipe, so that communication between the upper region and the lower region of the valve is blocked, Raw material supply method for blocking the inlet provided in the side of the supply pipe and the inside of the discharge pipe.

18. The method of claim 17,
The raw material supply method which pulls out a supply pipe from the inside of the said discharge pipe in isolate | separating the said valve and a supply pipe.

delete

The method according to claim 14,
A raw material supply method for moving the raw material to the discharge pipe while lowering the pressing member disposed inside the can to pressurize the inside of the can.

The method according to claim 15,
Raw material supply method using any one of a sealant, a liquid crystal, and a paste as the raw material

The method according to any one of claims 14 to 18, 20 and 21,
Inserting a supply pipe into the discharge pipe to connect the valve and the supply pipe, or the replacement process of the can comprising the step of separating the valve and the supply pipe is a raw material supply method.