KR101152234B1 - Droplet unit and substrate processing appratus - Google Patents

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KR101152234B1 KR1020100010458A KR20100010458A KR101152234B1 KR 101152234 B1 KR101152234 B1 KR 101152234B1 KR 1020100010458 A KR1020100010458 A KR 1020100010458A KR 20100010458 A KR20100010458 A KR 20100010458A KR 101152234 B1 KR101152234 B1 KR 101152234B1
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Abstract

본 발명에 따른 기판 처리 장치는 원료물질이 수용되는 내부공간을 가지며, 상기 내부공간으로 원료물질을 주입하는 주입구 및 상기 내부공간의 원료물질을 배출하는 배출구를 구비하는 시린지, 시린지의 내부 공간으로 일부가 삽입되어 상기 시린지의 내부에서 전진 및 후진 운동을 하는 실린더 로드, 일단이 시린지의 주입구와 연결되어, 상기 실린더 로드의 전진 및 후진에 따라 연통이 제어되는 제 1 밸브, 일단이 시린지의 배출구와 연결되어, 상기 실린더 로드의 전진 및 후진에 따라 연통이 제어되는 제 2 밸브를 포함하고, 실린더 로드의 전진 및 후진에 의해 제 1 밸브 및 제 2 밸브 중 어느 하나는 개방되고, 나머지 하나는 밀폐된다.
따라서 본 발명에 의하면 시린지 내부에서 왕복 운동하는 실린더 로드, 서로 다른 방향성을 갖는 제 1 및 제 2 밸브를 이용하여 시린지의 주입구 및 배출구 각각의 연통을 용이하게 제어할 수 있다. 이에, 주입구를 통해 시린지 내부로 원료물질을 주입하는 동안 배출구를 용이하게 밀폐 시킬수 있다. 또한, 배출구를 통해 시린지 내부의 원료물질을 배출시키는 동안, 주입구를 용이하게 밀폐시킬 수 있다. 이로 인해, 시린지 내부로 원료물질을 주입하는 공정 및 상기 시린지 내의 원료물질을 배출시키는 공정시 리크(leak)가 발생되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 리크(leak) 발생에 의한 제품의 불량과, 공정 시간이 지연되는 것을 줄일 수 있다.The substrate processing apparatus according to the present invention has an inner space in which the raw material is accommodated, and includes a syringe and an inner space of the syringe having an injection hole for injecting the raw material into the internal space and an outlet for discharging the raw material in the internal space. Is inserted into the cylinder rod for forward and backward movement inside the syringe, one end is connected to the injection port of the syringe, the first valve to control communication in accordance with the forward and backward of the cylinder rod, one end is connected to the discharge port of the syringe And a second valve in which communication is controlled in accordance with the forward and backward of the cylinder rod, wherein either one of the first valve and the second valve is opened and the other is closed by the forward and backward of the cylinder rod.
Therefore, according to the present invention, communication between the inlet and outlet of the syringe can be easily controlled by using the cylinder rod reciprocating in the syringe and the first and second valves having different directions. Thus, the outlet can be easily closed while injecting the raw material into the syringe through the inlet. In addition, while discharging the raw material inside the syringe through the discharge port, the injection port can be easily closed. Therefore, it is possible to prevent the leakage of the raw material during the process of injecting the raw material into the syringe and the process of discharging the raw material in the syringe. Therefore, it is possible to reduce the defect of the product due to leakage and the delay of the process time.

Description

토출유닛 및 기판 처리 장치{Droplet unit and substrate processing appratus}Dispensing unit and substrate processing appratus

본 발명은 토출유닛 및 기판 처리 장치에 관한 것으로, 시린지 내부로 원료물질을 용이하게 주입하고, 상기 시린지 내의 원료물질을 용이하게 토출할 수 있는 토출유닛 및 기판 처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a discharge unit and a substrate processing apparatus, and more particularly, to a discharge unit and a substrate processing apparatus capable of easily injecting a raw material into a syringe and easily discharging the raw material in the syringe.

종래에는 표시 장치로 CRT(Cathode Ray Tube)를 사용하였다. 이는 그 부피가 크고 무거운 단점이 있었다. 이에 최근에는 액정 표시 패널(Liquid Display Device: LCD), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel: PDP) 및 유기EL(Organic Light Emitting Device: OLED)과 같은 평판 표시 패널의 사용이 증대되고 있다. 이는, 경량, 박형 및 저소비 전력을 갖는 특성이 있다.Conventionally, a CRT (Cathode Ray Tube) is used as a display device. This has the disadvantage of being bulky and heavy. Recently, the use of flat panel displays such as a liquid crystal display panel (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting device (OLED) has been increasing. It has the characteristics of light weight, thinness and low power consumption.

이와 같은 평판 표시 패널의 경우, 한 쌍의 평판형 기판을 접합시켜 제작한다. 즉, 액정 표시 패널의 제작을 예로 들면, 먼저 복수의 박막 트랜지스터와 화소 전극이 형성된 하부 기판과, 컬러 필터와 공통 전극이 형성된 상부 기판을 제작한다. 이후에 하부 기판 상에 액정을 적하하고, 상부 기판과 하부 기판을 합착 밀봉하여 액정 표시 패널을 제작한다.In the case of such a flat panel display panel, a pair of flat panel type boards are bonded together and manufactured. That is, taking the manufacture of a liquid crystal display panel as an example, first, a lower substrate on which a plurality of thin film transistors and pixel electrodes are formed, and an upper substrate on which a color filter and a common electrode are formed are manufactured. Thereafter, a liquid crystal is dropped on the lower substrate, and the upper substrate and the lower substrate are bonded and sealed to manufacture a liquid crystal display panel.

이때, 기판에 액정을 적하하기 위해 액정 기판 처리 장치가 사용된다. 이러한 액정 기판 처리 장치는 기판이 안착되는 스테이지, 스테이지 상측에 배치된 겐트리, 겐트리 상에 장착 고정되며, 일방향으로 나열되어 이격 배치된 복수의 토출유닛, 복수의 토출유닛을 수평이동시키는 토출유닛 이동수단, 스테이지 상에 설치되어 겐트리를 수평방향으로 이동시키는 겐트리 이동수단을 포함한다. 여기서 복수의 토출유닛 각각은 액정을 저장하는 액정 저장부, 일정량의 액정을 수용하는 시린지, 시린지로부터 액정을 공급받아 기판 상에 액정을 토출하는 노즐, 제 1 내지 제 3 튜브의 연통을 제어하는 밸브를 포함한다. 이때, 제 1 튜브는 액정 저장부와 밸브 사이를 연결하도록 배치되고, 제 2 튜브는 시린지와 밸브 사이를 연결하도록 배치되며, 제 3 튜브는 밸브와 노즐 사이를 연결하도록 배치된다. 즉, 밸브에는 제 1 내지 제 3 튜브 각각의 일단과 모두 연결되어 있어, 상기 제 1 내지 제 3 튜브 간의 연통을 제어한다. 이에, 밸브는 제 1 내지 제 3튜브를 개방시켜 용기 내의 액정을 시린지 내로 공급하거나, 시린지 내의 액정을 노즐로 공급한다. 이때, 제 1 및 제 2 튜브를 개방시켜 시린지 내로 액정을 공급하는 공정 시에 제 3 튜브는 막힘 상태가 되는 것이 바람직하다. 또한, 제 3 튜브를 개방시켜 액정을 노즐로 공급하는 공정 시에 제 1 및 제 2 튜브는 막힘 상태가 되는 것이 바람직하다.At this time, a liquid crystal substrate processing apparatus is used to drop the liquid crystal onto the substrate. The liquid crystal substrate processing apparatus includes a stage on which a substrate is seated, a gantry disposed on the stage, a gantry mounted on the gantry, a plurality of discharge units arranged in one direction and spaced apart from each other, and a discharge unit for horizontally moving the plurality of discharge units. Moving means, the gantry moving means is installed on the stage to move the gantry in the horizontal direction. Here, each of the plurality of discharge units includes a liquid crystal storage unit for storing liquid crystal, a syringe for accommodating a certain amount of liquid crystal, a nozzle for supplying liquid crystal from the syringe to discharge liquid crystal onto the substrate, and a valve for controlling communication between the first and third tubes. It includes. At this time, the first tube is arranged to connect between the liquid crystal reservoir and the valve, the second tube is arranged to connect between the syringe and the valve, and the third tube is arranged to connect between the valve and the nozzle. That is, the valve is connected to both ends of each of the first to third tubes, thereby controlling communication between the first to third tubes. Accordingly, the valve opens the first to third tubes to supply the liquid crystal in the container into the syringe, or the liquid crystal in the syringe to the nozzle. At this time, it is preferable that the third tube is in a clogged state during the step of opening the first and second tubes to supply liquid crystal into the syringe. In addition, it is preferable that the first and second tubes be in a clogged state in the process of opening the third tube and supplying the liquid crystal to the nozzle.

한편, 종래에는 밸브로 전기적 신호를 이용하여 제 1 내지 제 3 튜브의 연통을 제어하는 전자식 밸브를 사용하였다. 상기와 같은 전자식 밸브의 경우 신호의 오류가 발생되는 일이 빈번하였다. 이에, 시린지 내로 액정을 주입하기 위하여 밸브를 이용하여 제 1 및 제 2 튜브를 개방시킬 때, 신호에 오류에 의해 제 3 튜브가 개방되어 리크(leak)가 발생되는 문제가 있다. 이로 인해, 시린지 내로 액정이 용이하게 주입되지 않는다. 또한, 시린지 내의 액정을 노즐로 공급하기 위하여 제 3 튜브를 개방시킬 때, 신호의 오류에 의해 제 1 및 제 2 튜브가 개방되어 리크(leak)가 발생되는 문제가 있다. 이로 인해, 시린지 내의 액정이 노즐로 용이하게 공급되지 않는다. 따라서, 기판 상에 액정을 적하시키는 공정에서 제품의 불량이 발생되거나, 공정 시간이 지연되는 문제가 발생된다.On the other hand, conventionally used an electronic valve for controlling the communication of the first to third tubes by using an electrical signal as a valve. In the case of the electronic valve as described above, the error of the signal is frequently generated. Accordingly, when the first and second tubes are opened by using a valve to inject liquid crystal into the syringe, there is a problem in that the third tube is opened due to an error in the signal and leaks occur. For this reason, liquid crystal is not injected easily into a syringe. In addition, when the third tube is opened to supply the liquid crystal in the syringe to the nozzle, there is a problem in that the first and second tubes are opened and a leak is generated due to a signal error. For this reason, the liquid crystal in a syringe is not easily supplied to a nozzle. Therefore, in the process of dropping the liquid crystal on the substrate, a problem of a product occurs or a process time is delayed.

본 발명의 일 기술적 과제는 원료물질을 시린지 내부로 용이하게 주입하고, 시린지로부터 원료물질을 용이하게 배출할 수 있는 토출유닛 및 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.One technical problem of the present invention is to provide a discharge unit and a substrate processing apparatus which can easily inject a raw material into a syringe and easily discharge the raw material from the syringe.

또한, 본 발명의 일 기술적 과제는 시린지 내부로 원료물질을 주입하는 공정 및 시린지 내부의 원료물질을 토출시키는 공정 시에 리크(leak)가 발생하는 것을 방지할 수 있는 토출유닛 및 기판 처리 장치를 제공하는 데 있다.In addition, one technical problem of the present invention is to provide a discharge unit and a substrate processing apparatus capable of preventing the leakage of the raw material during the process of injecting the raw material into the syringe and the process of discharging the raw material inside the syringe. There is.

본 발명에 따른 토출유닛은 원료물질이 수용되는 내부공간을 가지며, 상기 내부공간으로 원료물질을 주입하는 주입구 및 상기 내부공간의 원료물질을 배출하는 배출구를 구비하는 시린지, 상기 시린지의 내부 공간으로 일부가 삽입되어 상기 시린지의 내부에서 전진 및 후진 운동을 하는 실린더 로드, 일단이 상기 시린지의 주입구와 연결되어, 상기 실린더 로드의 전진 및 후진에 따라 연통이 제어되는 제 1 밸브, 일단이 상기 시린지의 배출구와 연결되어, 상기 실린더 로드의 전진 및 후진에 따라 연통이 제어되는 제 2 밸브를 포함하고, 상기 실린더 로드의 전진 및 후진에 의해 제 1 밸브 및 제 2 밸브 중 어느 하나는 개방되고, 나머지 하나는 밀폐되는 것이 바람직하다.The discharge unit according to the present invention has an internal space in which the raw material is accommodated, the syringe having an injection hole for injecting the raw material material into the internal space and the discharge port for discharging the raw material of the internal space, part of the internal space of the syringe Is inserted into the cylinder rod for forward and backward movement inside the syringe, one end is connected to the injection port of the syringe, the first valve is controlled communication according to the forward and backward of the cylinder rod, one end is the discharge port of the syringe And a second valve in communication with the forward and backward of the cylinder rod, wherein one of the first valve and the second valve is opened by the forward and backward of the cylinder rod, and the other is It is desirable to be sealed.

상기 제 1 밸브의 타단에 상기 제 1 밸브로 원료물질을 공급하는 제 1 공급관이 연결되고, 제 2 밸브의 타단에 상기 제 2 밸브의 원료물질이 배출되는 제 2 공급관이 연결된다.A first supply pipe for supplying a raw material to the first valve is connected to the other end of the first valve, and a second supply pipe for discharging the raw material of the second valve is connected to the other end of the second valve.

상기 제 2 공급관의 일단에 상기 원료물질을 토출시키는 노즐이 연결된다.A nozzle for discharging the raw material is connected to one end of the second supply pipe.

상기 제 1 밸브 및 제 2 밸브로 체크밸브(check valve)를 사용한다.A check valve is used as the first valve and the second valve.

상기 실린더 로드의 전진 또는 후진에 의해 상기 제 1 밸브가 개방될 때, 제 2 밸브는 밀폐되가 되고, 상기 실린더 로드의 전진 또는 후진에 의해 상기 제 1 밸브가 밀폐될 때, 상기 제 2 밸브는 개방된다.When the first valve is opened by forward or backward of the cylinder rod, the second valve is closed, and when the first valve is closed by forward or backward of the cylinder rod, the second valve is closed. Open.

상기 실리더 로드의 전진 및 후진을 복수번 반복하여 연속적으로 시린지 내부로 원료물질을 주입하고, 상기 시린지로부터 원료물질을 토출한다.The forward and backward of the cylinder rod are repeated a plurality of times, and the raw material is continuously injected into the syringe, and the raw material is discharged from the syringe.

상기 원료물질로 액정을 사용한다.Liquid crystal is used as the raw material.

본 발명에 따른 기판 처리 장치는 기판이 안치되는 스테이지, 상기 스테이지 상측에 배치된 겐트리, 상기 겐트리 상에 장착 고정되어 상기 기판 상에 원료물질을 토출하는 토출유닛을 포함하고, 상기 토출유닛은 내부공간으로 원료물질을 주입하는 주입구 및 상기 내부공간의 원료물질을 배출하는 배출구를 구비하는 시린지, 상기 시린지의 내부 공간으로 일부가 삽입되어 상기 시린지의 내부에서 전진 및 후진 운동을 하는 실린더 로드, 일단이 상기 시린지의 주입구와 연결되어, 상기 실린더 로드의 전진 및 후진에 따라 연통이 제어되는 제 1 밸브, 일단이 상기 시린지의 배출구와 연결되어, 상기 실린더 로드의 전진 및 후진에 따라 연통이 제어되는 제 2 밸브를 포함하며, 상기 실린더 로드의 전진 및 후진에 의해 제 1 밸브 및 제 2 밸브 중 어느 하나는 개방되고, 나머지 하나는 밀폐된다.A substrate processing apparatus according to the present invention includes a stage on which a substrate is placed, a gantry disposed above the stage, a discharge unit mounted on the gantry and fixed to discharge raw material onto the substrate, wherein the discharge unit includes A syringe having an injection hole for injecting the raw material into the inner space and an outlet for discharging the raw material in the inner space, a cylinder rod partially inserted into the inner space of the syringe to move forward and backward in the syringe, and once The first valve is connected to the injection port of the syringe, the first valve to control the communication in accordance with the forward and backward of the cylinder rod, one end is connected to the outlet of the syringe, the communication is controlled in accordance with the forward and backward of the cylinder rod And two valves, wherein either one of the first valve and the second valve Open and the other is sealed.

상기 제 1 및 제 2 밸브로 체크밸브(check vlave)를 사용하는 것이 바람직하다.It is preferable to use check valves as the first and second valves.

상기 실린더 로드의 전진 또는 후진에 의해 상기 제 1 밸브가 개방될 때, 제 2 밸브는 밀폐되가 되고, 상기 실린더 로드의 전진 또는 후진에 의해 상기 제 1 밸브가 밀폐될 때, 상기 제 2 밸브는 개방되된다.When the first valve is opened by forward or backward of the cylinder rod, the second valve is closed, and when the first valve is closed by forward or backward of the cylinder rod, the second valve is closed. To be open.

상기 실리더 로드의 전진 및 후진을 복수번 반복하여 연속적으로 시린지 내부로 원료물질을 주입하고, 상기 시린지로부터 원료물질을 토출하여 상기 기판 상에 상기 원료물질을 적하한다.The raw material is injected into the syringe continuously by repeating forward and backward of the cylinder rod a plurality of times, and the raw material is discharged from the syringe to drop the raw material onto the substrate.

상술한 바와 같이 본 발명의 실시예들에서는 시린지 내부에서 왕복 운동하는 실린더 로드, 서로 다른 방향성을 갖는 제 1 및 제 2 밸브를 이용하여 시린지의 주입구 및 배출구 각각의 연통을 용이하게 제어할 수 있다. 이에, 주입구를 통해 시린지 내부로 원료물질을 주입하는 동안 배출구를 용이하게 밀폐 시킬수 있다. 또한, 배출구를 통해 시린지 내부의 원료물질을 배출시키는 동안, 주입구를 용이하게 밀폐시킬 수 있다. 이로 인해, 시린지 내부로 원료물질을 주입하는 공정 및 상기 시린지 내의 원료물질을 배출시키는 공정시 리크(leak)가 발생되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 리크(leak) 발생에 의한 제품의 불량과, 공정 시간이 지연되는 것을 줄일 수 있다.As described above, in the embodiments of the present invention, communication between the inlet and the outlet of the syringe can be easily controlled by using the cylinder rod reciprocating in the syringe and the first and second valves having different directions. Thus, the outlet can be easily closed while injecting the raw material into the syringe through the inlet. In addition, while discharging the raw material inside the syringe through the discharge port, the injection port can be easily closed. Therefore, it is possible to prevent the leakage of the raw material during the process of injecting the raw material into the syringe and the process of discharging the raw material in the syringe. Therefore, it is possible to reduce the defect of the product due to leakage and the delay of the process time.

또한, 본 발명의 실시예들에서는 종래와 같은 전자식 밸브를 사용하지 않고도, 전자식 밸브의 기능을 구현할 수 있다. 그리고 종래에서와 같이 시린지에서 밸브로 연결되던 별도의 관로가 필요없게 됨에 따라 장치를 단순화할 수 있다. 또한, 전자식 밸브를 사용하지 않으므로 전기적 연결이 필요 없으며, 탈부착이 간편하고 세정이 용이하다.In addition, embodiments of the present invention can implement the function of the electronic valve, without using the conventional electronic valve. And as in the prior art it is possible to simplify the device by eliminating the need for a separate pipe connected to the valve from the syringe. In addition, since no electronic valve is used, no electrical connection is required, and the detachment is easy and the cleaning is easy.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 도면
도 2는 도 1에 도시된 토출유닛을 확대 도시한 단면도
도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 제 1 밸브의 개방 상태를 나타낸 단면도이고, 도 3b는 제 1 밸브의 밀폐 상태를 나타낸 단면도
도 4a는 본 발명의 실시예에 따른 제 2 밸브의 개방 상태를 나타낸 단면도이고, 도 4b는 제 1 밸브의 밀폐 상태를 나타낸 단면도
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 토출유닛의 동작을 설명하기 위한 단면도1 illustrates a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged cross-sectional view of the discharge unit shown in FIG.
Figure 3a is a cross-sectional view showing an open state of the first valve according to an embodiment of the present invention, Figure 3b is a cross-sectional view showing a closed state of the first valve.
Figure 4a is a cross-sectional view showing an open state of the second valve according to an embodiment of the present invention, Figure 4b is a cross-sectional view showing a closed state of the first valve.
5A and 5B are cross-sectional views illustrating the operation of the discharge unit according to the embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms, and only the embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention and to those skilled in the art. It is provided for complete information.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 도면이다. 도 2는 도 1에 도시된 토출유닛을 확대 도시한 단면도이다.1 is a view showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the discharge unit shown in FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는 기판(s)이 안착되는 스테이지(100), 스테이지(100) 상측에 배치된 겐트리(200), 겐트리(200) 상에 장착 고정되며, 일방향으로 나열되어 이격 배치된 복수의 토출유닛(400), 겐트리(200) 상에서 복수의 토출유닛(400)이 나열된 방향과 동일한 방향으로 설치되어 상기 복수의 토출유닛(400)을 수평이동시키는 토출유닛 이동수단(500)을 포함한다. 또한, 스테이지(100) 상에 설치되어 겐트리(200)를 수평방향으로 이동시키는 겐트리 이동수단(300)을 포함한다. 실시예에서는 기판(s) 상에 적하되는 원료물질로 액정(liquid crystal)을 사용하며, 실시예에 따른 기판 처리 장치는 액정 기판 처리 장치일 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고 다양한 액상물이 사용될 수 있다.1 and 2, a substrate processing apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention includes a stage 100 on which a substrate s is seated, a gantry 200 disposed on an upper side of the stage 100, and a gantry 200. Mounted and fixed on the plurality of discharge units 400 arranged in one direction and spaced apart, the plurality of discharge units 400 on the gantry 200 are installed in the same direction as the direction in which the plurality of discharge units ( And a discharge unit moving unit 500 for horizontally moving the 400. In addition, it is provided on the stage 100 includes a gantry moving means 300 for moving the gantry 200 in the horizontal direction. In an embodiment, a liquid crystal is used as a raw material dropped on the substrate s, and the substrate processing apparatus according to the embodiment may be a liquid crystal substrate processing apparatus. Of course, without being limited to this, various liquids may be used.

스테이지(100)는 기판(s)을 안치하기 위해 기판(s)과 대응되는 형상으로 제작된다. 실시예에서는 기판(s)으로 사각형 형태의 유리기판을 사용하므로, 스테이지(100)도 사각형 형태의 스테이지(100)를 사용한다. 또한 도시되지는 않았지만, 스테이지(100)는 기판(s)을 안치 고정시키기 위한 별도의 고정부를 구비할 수 있다. 이때, 고정부로 정전척 또는 진공 고정 장치를 사용할 수 있다. 여기서, 진공 고정 장치를 사용하는 경우, 스테이지(100)의 상측에는 도시되지는 않았지만 진공 펌프에 연통된 복수의 홀이 마련될 수 있다. 이를 통해 스테이지(100) 상측에 안치되는 기판(s)을 고정시킬 수 있다.The stage 100 is manufactured in a shape corresponding to the substrate s so as to settle the substrate s. In the embodiment, since the glass substrate of the rectangular shape is used as the substrate s, the stage 100 also uses the stage 100 of the rectangular shape. In addition, although not shown, the stage 100 may include a separate fixing part for fixing the substrate s. In this case, an electrostatic chuck or a vacuum fixing device may be used as the fixing part. Here, in the case of using the vacuum fixing device, although not shown, a plurality of holes communicating with the vacuum pump may be provided on the upper side of the stage 100. Through this, the substrate s placed on the upper side of the stage 100 may be fixed.

겐트리 이동수단(300)은 복수의 토출유닛(400)이 수평이동하는 방향과 교차하는 방향으로 겐트리(200)를 이동시키도록 제작되는 것이 바람직하다. 이러한 겐트리 이동수단(300)은 스테이지(100) 상부에서 나란하게 이격되어 평행하게 설치되는 한 쌍의 가이드 레일(310), 한 쌍의 가이드 레일(310) 상부에 각각 설치되어 상기 한쌍의 가이드 레일(310)을 따라 활주하는 겐트리 구동부재(320)를 포함한다. 여기서, 한 쌍의 가이드 레일(310)은 복수의 토출유닛(400)이 수평이동하는 방향과 직교하도록 스테이지(100) 상에 설치된다. 그리고, 겐트리 구동부재(320)의 상부는 겐트리(200)의 하부와 결합되어 있다. 이에, 겐트리 구동부재(320)가 가이드 레일(310)을 따라 활주함에 따라, 상기 겐트리 구동부재(320)와 결합된 겐트리(200)가 수평이동하게 된다. 이때, 겐트리 구동부재(320)는 예를 들어, 직선 운동을 하는 리니어 모터 및 볼스크류와 볼스크류를 회전시키는 모터의 조합일 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고 겐트리 구동부재(320)가 가이드 레일(310) 상에서 활주할 수 있는 어떠한 방식이 적용되어도 무방하다.The gantry moving unit 300 is preferably manufactured to move the gantry 200 in a direction crossing the direction in which the plurality of discharge units 400 horizontally move. The gantry moving means 300 is installed on the pair of guide rails 310, the pair of guide rails 310 which are installed in parallel and spaced apart in parallel on the stage 100, the pair of guide rails And a gantry driving member 320 sliding along 310. Here, the pair of guide rails 310 are installed on the stage 100 so as to be orthogonal to the direction in which the plurality of discharge units 400 move horizontally. The upper portion of the gantry driving member 320 is coupled to the lower portion of the gantry 200. Thus, as the gantry driving member 320 slides along the guide rail 310, the gantry 200 coupled to the gantry driving member 320 is horizontally moved. In this case, the gantry driving member 320 may be, for example, a combination of a linear motor for linear movement and a motor for rotating the ball screw and the ball screw. Of course, the present invention is not limited thereto, and any method in which the gantry driving member 320 may slide on the guide rail 310 may be applied.

복수의 토출유닛(400) 각각은 겐트리(200) 상에 장착된 토출유닛 이동수단(500)과 결합되어, 상기 토출유닛 이동수단(500)에 의해 수평이동하는 결합부재(410), 결합부재(410)의 상측에 장착되며 액정을 저장하는 원료물질 저장부(420), 내부공간으로 액정이 주입되는 통로인 주입구(431-1) 및 상기 액정이 배출되는 통로인 배출구(431-2)가 구비된 시린지(430), 시린지(430) 내부에 일부 삽입되어 상기 시린지(430) 내부에서 상하방향으로 왕복 운동하는 구동부(440), 시린지(430)로부터 액정을 공급받아 기판(s) 상에 액정을 토출하는 토출부(450), 시린지(430)의 주입구(431-1)에 연결된 제 1 밸브(460) 및 시린지(430)의 배출구(431-2)에 연결된 제 2 밸브(470)를 포함한다. 또한, 일단이 원료물질 저장부(420)에 연결되고 타단이 제 1 밸브(460)에 연결된 제 1 공급관(480), 일단이 제 2 밸브(470)에 연결되고 타단이 토출부(450)에 연결된 제 2 공급관(490), 각각이 결합부재(410) 상에 장착되어 원료물질 저장부(420)를 지지하는 원료물질 저장부 지지 수단(420-1) 및 시린지(430)를 지지하는 시린지 지지 수단(430-1)을 포함한다. 여기서, 제 1 및 제 2 공급관(480, 490)은 내부공간을 가지는 튜브 형상으로 제작된다. 또한, 원료물질 저장부 지지 수단(420-1)은 원료물질 저장부(420)의 하측에 배치되도록 결합부재(410) 상에 장착되어, 상기 원료물질 저장부(420)를 지지한다. 그리고 시린지 지지 수단(430-1)은 제 2 밸브(470)와 인접한 시린지(430)의 하부 영역과 결합된 상태로 결합부재(410) 상에 장착된다. 물론 이에 한정되지 않고 원료물질 저장부 지지 수단(420-1) 및 시린지 지지 수단(430-1)은 원료물질 저장부(420) 및 시린지(430) 각각을 지지할 수 있는 다양한 위치에 배치되어도 무방하다. 또한, 이러한 복수의 토출유닛(400)의 결합부재(410) 각각의 후면은 전술한 바와 같이 겐트리(200) 상에 장착된 토출유닛 이동수단(500)과 결합되어 있다. 여기서 실시예에 따른 결합부재(410)는 판 형상으로 제작되어 전면에 원료물질 저장부(420), 시린지(430) 및 토출부(450)이 장착되고, 후면에 토출유닛 이동수단(500)이 연결된다. 이에, 복수의 토출유닛(400)은 토출유닛 이동수단(500)을 통해 수평 방향으로 이동하면서, 기판(s) 상에 액정을 적하시킬 수 있다.Each of the plurality of discharge units 400 is coupled to the discharge unit moving unit 500 mounted on the gantry 200, and the coupling member 410 and the coupling member horizontally moved by the discharge unit moving unit 500. A raw material storage unit 420 mounted above the 410 and storing liquid crystal, an injection hole 431-1 which is a passage through which liquid crystal is injected into an internal space, and an outlet 431-2 which is a passage through which the liquid crystal is discharged. The syringe 430 provided therein is partially inserted into the syringe 430 to receive liquid crystals from the driving unit 440 and the syringe 430 reciprocating vertically in the syringe 430 and the liquid crystal on the substrate s. Discharge portion 450 for discharging the gas, a first valve 460 connected to the inlet 431-1 of the syringe 430, and a second valve 470 connected to the outlet 431-2 of the syringe 430. do. In addition, one end is connected to the raw material storage 420, the other end is connected to the first supply pipe 480, the first supply pipe 480, one end is connected to the second valve 470, the other end is discharged to the 450 Connected second supply pipe 490, each of which is mounted on the coupling member 410, syringe support for supporting the raw material storage unit support means 420-1 for supporting the raw material storage unit 420 and the syringe 430 And means 430-1. Here, the first and second supply pipes 480 and 490 are manufactured in a tube shape having an inner space. In addition, the raw material storage unit support means 420-1 is mounted on the coupling member 410 to be disposed below the raw material storage unit 420 to support the raw material storage unit 420. The syringe support means 430-1 is mounted on the coupling member 410 in a state of being coupled with the lower region of the syringe 430 adjacent to the second valve 470. Of course, the present invention is not limited thereto, and the raw material storage part supporting means 420-1 and the syringe supporting means 430-1 may be disposed at various positions capable of supporting each of the raw material storage part 420 and the syringe 430. Do. In addition, the rear surface of each of the coupling members 410 of the plurality of discharge units 400 is coupled to the discharge unit moving unit 500 mounted on the gantry 200 as described above. Here, the coupling member 410 according to the embodiment is manufactured in a plate shape, and the raw material storage part 420, the syringe 430, and the discharge part 450 are mounted on the front side, and the discharge unit moving unit 500 is provided on the rear side. Connected. Thus, the plurality of discharge units 400 may drop the liquid crystal onto the substrate s while moving in the horizontal direction through the discharge unit moving means 500.

원료물질 저장부(420)는 시린지(430)에 공급될 액정을 저장하는 것으로, 실시예에서는 원통형의 형상으로 제작되었다. 하지만 이에 한정되지 않고 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 그리고 원료물질 저장부(420)에는 도시되지는 않았지만, 내부에 진공 수단을 구비하여 원료물질 저장부(420) 내의 공기를 대기로 배출하는 탈포 장치(미도시)가 설치될 수도 있다.The raw material storage unit 420 stores the liquid crystal to be supplied to the syringe 430, and in this embodiment, the raw material storage unit 420 is manufactured in a cylindrical shape. However, the present invention is not limited thereto and may be manufactured in various shapes. And although not shown in the raw material storage unit 420, a degassing device (not shown) may be provided with a vacuum means therein to discharge the air in the raw material storage unit 420 to the atmosphere.

시린지(430)는 원료물질 저장부(420)로부터 액정을 공급받아, 일정량을 토출부(450)로 제공하는 역할을 한다. 이러한 시린지(430)는 액정을 저장하는 내부공간이 마련된 몸체부(431), 몸체부(431)의 측부에 연결되어 상기 몸체부(431) 내부로 액정을 주입하는 주입구(431-1), 몸체부(431)의 하부에 연결되어 상기 몸체부(431) 내부의 액정을 배출하는 배출구(431-2)을 포함한다. 몸체부(431)는 내부공간을 갖는 통 형상으로 제작되고, 금속, 플라스틱 또는 유리와 같은 다양한 소재로 제작될 수 있다. 그리고 주입구(431-1)의 일단에는 제 1 공급관(480)과 주입구(431-1) 사이의 연통을 제어하는 제 1 밸브(460)가 연결된다. 또한, 배출구(431-2)의 일단에는 상기 배출구(431-2)와 제 2 공급관(490) 사이의 연통을 제어하는 제 2 밸브(470)가 연결된다.The syringe 430 receives liquid crystal from the raw material storage unit 420 and serves to provide a predetermined amount to the discharge unit 450. The syringe 430 is connected to the body portion 431 having an internal space for storing the liquid crystal, the side of the body portion 431, the injection hole 431-1 for injecting liquid crystal into the body portion 431, the body It is connected to the lower portion of the portion 431 includes a discharge port 431-2 for discharging the liquid crystal in the body portion 431. The body 431 may be manufactured in a cylindrical shape having an internal space, and may be made of various materials such as metal, plastic, or glass. One end of the inlet 431-1 is connected to a first valve 460 that controls communication between the first supply pipe 480 and the inlet 431-1. In addition, a second valve 470 is connected to one end of the outlet 431-2 for controlling communication between the outlet 431-2 and the second supply pipe 490.

구동부(440)는 일부가 몸체부(431) 내부로 삽입되어 상기 몸체부(431) 내에서 상하 방향으로 왕복 운동하는 피스톤 로드(441), 피스톤 로드(441)에 구동력을 제공하는 동력부(442)를 포함한다. 하기에서는 피스톤 로드(441)가 상승하는 것을 후진이라 하고, 하강하는 것을 전진이라 정의한다. 여기서 피스톤 로드(441)는 몸체부(431)의 내부공간의 형상과 대응되도록 제작되는 것이 바람직하다. 이에, 실시예에서는 원통형의 형상으로 피스톤 로드(441)를 제작하였다. 그리고 동력부(442)는 시린지(430)의 외부에 배치되는 것이 바람직하다. 이러한 구동부(440)를 이용하여 시린지(430) 내부의 압력을 변화시킴으로써, 제 1 및 제 2 밸브(470)의 개폐를 제어한다. 즉, 동력부(442)를 이용하여 피스톤 로드(441)를 후진시켜 제 1 밸브(460)를 개방시키고 제 2 밸브(470)를 밀폐시킨다. 이로 인해 제 1 공급관(480)으로 공급된 액정은 개방된 제 1 밸브(460)를 통과하여 시린지(430) 내부로 이동한다. 한편, 이때 제 2 밸브(470)는 밀폐된 상태이므로, 시린지(430) 내부의 액정은 상기 제 2 밸브(470)로부터 배출되지 않는다. 또한, 동력부(442)를 이용하여 피스톤 로드(441)를 전진시켜 제 1 밸브(460)를 밀폐시키고, 제 2 밸브(470)를 개방시킨다. 이로 인해, 시린지(430) 내부로 공급된 액정은 배출구(431-2), 제 2 밸브(470) 및 제 2 공급관(490)을 거쳐 토출부(450)로 이동한다. 한편, 이때 제 1 밸브(460)는 밀폐된 상태이므로 제 1 공급관(480)으로 공급된 액정은 제 1 밸브(460)에 의해 그 이동이 차단되어 시린지(430) 내부로 이동하지 않는다. 구동부(440)의 피스톤 로드(441)의 전진 및 후진을 이용하여 제 1 및 제 2 밸브(460, 470)의 연통을 제어하는 방법에 대한 상세한 설명은 하기에서 하기로 한다.The driving part 440 is a part of which is inserted into the body portion 431, the power portion 442 for providing a driving force to the piston rod 441, the piston rod 441 reciprocating in the vertical direction in the body portion 431 ). In the following, the upward movement of the piston rod 441 is referred to as backward, and the downward movement is defined as forward. The piston rod 441 is preferably manufactured to correspond to the shape of the inner space of the body portion 431. Therefore, in the Example, the piston rod 441 was produced in the shape of a cylinder. And the power unit 442 is preferably disposed outside the syringe 430. The opening and closing of the first and second valves 470 are controlled by changing the pressure in the syringe 430 using the driving unit 440. That is, the piston rod 441 is reversed by using the power unit 442 to open the first valve 460 and seal the second valve 470. As a result, the liquid crystal supplied to the first supply pipe 480 passes through the opened first valve 460 and moves inside the syringe 430. Meanwhile, at this time, since the second valve 470 is in a sealed state, the liquid crystal inside the syringe 430 is not discharged from the second valve 470. In addition, the piston rod 441 is advanced using the power unit 442 to seal the first valve 460 and open the second valve 470. For this reason, the liquid crystal supplied into the syringe 430 moves to the discharge part 450 through the discharge port 431-2, the second valve 470, and the second supply pipe 490. Meanwhile, since the first valve 460 is in a sealed state, the liquid crystal supplied to the first supply pipe 480 is blocked by the first valve 460 and does not move inside the syringe 430. A detailed description of a method of controlling communication between the first and second valves 460 and 470 using forward and backward of the piston rod 441 of the driving unit 440 will be described later.

토출부(450)는 시린지(430)의 하측에 배치되도록 결합부재(410)에 장착되어, 스테이지(100)에 안치된 기판(s) 상에 액정을 토출시키는 역할을 한다. 이러한 토출부(450)는 기판(s) 상에 액정을 토출하는 노즐(451), 노즐(451)이 장착 고정되는 노즐 지지 수단(452)을 포함한다. 이때, 노즐 지지 수단(452)이 결합부재(410) 상에 장착되고, 상기 노즐 지지 수단(452)에 노즐(451)이 장착 고정된다. 여기서, 노즐(451)은 제 2 공급관(490)의 타단과 연결되어 제 2 공급관(490)을 통해 시린지(430) 내의 액정을 공급받아 이를 기판(s) 상에 토출한다.The discharge part 450 is mounted to the coupling member 410 to be disposed below the syringe 430, and discharges the liquid crystal onto the substrate s placed on the stage 100. The discharge part 450 includes a nozzle 451 for discharging liquid crystal on the substrate s, and nozzle support means 452 to which the nozzle 451 is mounted and fixed. At this time, the nozzle support means 452 is mounted on the coupling member 410, the nozzle 451 is fixed to the nozzle support means 452. Here, the nozzle 451 is connected to the other end of the second supply pipe 490 receives the liquid crystal in the syringe 430 through the second supply pipe 490 and discharges it onto the substrate s.

도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 제 1 밸브의 개방 상태를 나타낸 단면도이고, 도 3b는 제 1 밸브의 밀폐 상태를 나타낸 단면도이다. 도 4a는 본 발명의 실시예에 따른 제 2 밸브의 개방 상태를 나타낸 단면도이고, 도 4b는 제 1 밸브의 밀폐 상태를 나타낸 단면도이다.3A is a cross-sectional view illustrating an open state of a first valve according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a cross-sectional view illustrating a closed state of a first valve. 4A is a cross-sectional view illustrating an open state of a second valve according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4B is a cross-sectional view illustrating a closed state of a first valve.

실시예에서는 제 1 및 제 2 밸브(460, 470)로 시린지(430) 내부의 압력에 변화에 의해 연통이 제어되는 체크밸브를 사용한다. 이때, 제 1 밸브(460)가 개방될 때 제 2 밸브(470)는 밀폐되고, 제 1 밸브(460)가 밀폐될 때 제 2 밸브(470)가 개방되도록 제 1 및 제 2 밸브(460, 470)를 마련하는 것이 바람직하다.In the embodiment, the first and second valves 460 and 470 use check valves in which communication is controlled by a change in the pressure inside the syringe 430. In this case, when the first valve 460 is opened, the second valve 470 is closed, and when the first valve 460 is closed, the first and second valves 460, 470 is preferably provided.

먼저 제 1 밸브(460)는 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 일단이 제 1 공급관(480)과 연결되고 타단이 시린지(430)의 주입구(431-1)와 연결되며, 내부공간이 마련된 제 1 하우징(461), 상호 이격되어 마주보도록 제 1 하우징(461) 내벽에 설치된 제 1 스토퍼(462), 제 1 스토퍼(462)의 우측에 배치된 제 1 차단부재(463) 및 제 1 차단부재(463)의 우측에 배치되어 상기 제 1 차단부재(463)를 지지하는 제 1 지지부재(464)를 포함한다. 여기서 제 1 스토퍼(462)는 중심 영역이 개방된 형상으로 제작되며, 상기 제 1 스토퍼(462)의 개방된 영역으로 제 1 공급관(480)을 통해 제 1 밸브(460)의 내부로 공급된 액정이 이동하는 통로이다. 하기에서는 제 1 스토퍼(462)의 개방영역을 제 1 유출공(462-1)이라 정의한다. 실시예에서는 제 1 지지부재(464)로 스프링을 사용하고 제 1 차단부재(463)로 볼을 사용한다. 이때, 제 1 지지부재(464)의 일단은 제 1 하우징(461) 내부에 장착 고정되고 타단은 제 1 차단부재(463)를 지지한다. 그리고 제 1 차단부재(463)로 사용되는 볼은 제 1 유출공(462-1)의 직경에 비해 크게 제작되고, 제 1 하우징(461)의 내부 직경에 비해 작게 제작되는 것이 바람직하다.First, as shown in FIGS. 3A and 3B, one end of the first valve 460 is connected to the first supply pipe 480, and the other end of the first valve 460 is connected to the inlet 431-1 of the syringe 430. The first housing 461, the first stopper 462 disposed on the inner wall of the first housing 461 so as to face each other, and the first blocking member 463 disposed on the right side of the first stopper 462 and the first blocking unit. The first support member 464 is disposed on the right side of the member 463 to support the first blocking member 463. Here, the first stopper 462 is formed in a shape in which the center region is opened, and the liquid crystal supplied into the first valve 460 through the first supply pipe 480 to the open region of the first stopper 462. This is the passage to move. Hereinafter, an open area of the first stopper 462 is defined as a first outlet hole 462-1. In the embodiment, a spring is used as the first support member 464 and a ball is used as the first blocking member 463. At this time, one end of the first support member 464 is fixed to the inside of the first housing 461 and the other end supports the first blocking member 463. The ball used as the first blocking member 463 is preferably made larger than the diameter of the first outlet hole 462-1 and made smaller than the inner diameter of the first housing 461.

예를 들어. 구동부(440)의 동력부(442)를 이용하여 피스톤 로드(441)를 후진시키면 시린지(430)의 몸체부(431-1) 내부의 압력이 감소한다. 이에, 몸체부(431)와 연통되는 주입구(431-1)와 상기 몸체부(431) 간의 압력 차이에 의해, 상기 주입구(431-1)의 내부에는 상기 몸체부(431)가 배치된 방향으로 당기는 힘이 작용하게 된다. 이로 인해, 주입구(431-1)와 연통되는 제 1 밸브(460)의 제 1 차단부재(463)가 상기 주입구(431-1)가 배치된 방향으로 이동한다. 이에, 도 3a에 도시된 바와 같이 제 1 차단부재(463)와 제 1 스토퍼(462)가 이격됨으로써, 제 1 유출공(462-1)이 개방된다. 이때, 제 1 차단부재(463)를 지지하는 제 1 지지부재(464)로 스프링을 사용하므로, 상기 제 1 차단부재(463)는 시린지(430)가 배치된 방향으로 용이하게 이동할 수 있다. 그리고 제 1 차단부재(463)가 시린지(430)가 배치된 방향으로 이동하는 힘에 의해, 제 1 지지부재(464)는 시린지(430)가 배치된 방향으로 압축된다.E.g. When the piston rod 441 is moved backward by using the power unit 442 of the driving unit 440, the pressure inside the body portion 431-1 of the syringe 430 decreases. Thus, due to the pressure difference between the injection hole 431-1 communicating with the body part 431 and the body part 431, the body part 431 is disposed inside the injection hole 431-1 in the direction in which the body part 431 is disposed. The pulling force will act. Thus, the first blocking member 463 of the first valve 460 communicating with the injection hole 431-1 moves in the direction in which the injection hole 431-1 is disposed. Thus, as shown in FIG. 3A, the first blocking member 463 and the first stopper 462 are spaced apart from each other to open the first outlet hole 462-1. At this time, since the spring is used as the first support member 464 for supporting the first blocking member 463, the first blocking member 463 can be easily moved in the direction in which the syringe 430 is disposed. In addition, the first support member 464 is compressed in the direction in which the syringe 430 is disposed by the force that the first blocking member 463 moves in the direction in which the syringe 430 is disposed.

한편, 구동부(440)의 동력부(442)를 이용하여 피스톤 로드(441)를 전진시키면 시린지(430) 내부의 압력이 증가한다. 이에, 시린지(430)의 몸체부(431)의 내부공간과 연통되는 주입구(431-1)와 몸체부(431) 간의 압력 차이에 의해, 상기 주입구(431-1)의 내부에는 몸체부(431)가 배치된 방향과 반대 방향으로 미는힘이 작용하게 된다. 이로 인해, 주입구(431-1)와 연통되는 제 1 밸브(460)의 제 1 차단부재(463)가 상기 주입구(431-1)가 배치된 방향과 반대 방향으로 이동한다. 이에, 도 3b에 도시된 바와 같이 제 1 차단부재(463)와 제 1 스토퍼(462)가 밀착됨으로써, 제 1 유출공(462-1)이 밀폐된다. 이때, 제 1 차단부재(463)가 시린지(430)가 배치된 방향으로 이동하는 힘에 의해, 제 1 지지부재(464)는 피스톤 로드(441)가 후진할 때에 비하여 이완된다.Meanwhile, when the piston rod 441 is advanced by using the power unit 442 of the driving unit 440, the pressure inside the syringe 430 increases. Thus, due to the pressure difference between the injection hole 431-1 and the body portion 431 in communication with the internal space of the body portion 431 of the syringe 430, the body portion 431 inside the injection hole 431-1. ) Is pushed in the direction opposite to the direction in which it is arranged. Thus, the first blocking member 463 of the first valve 460 communicating with the injection hole 431-1 moves in a direction opposite to the direction in which the injection hole 431-1 is disposed. Thus, as shown in FIG. 3B, the first blocking member 463 and the first stopper 462 are in close contact with each other to close the first outlet hole 462-1. At this time, the first support member 464 is relaxed compared to when the piston rod 441 reverses due to the force that the first blocking member 463 moves in the direction in which the syringe 430 is disposed.

제 2 밸브(470)는 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 일단이 시린지(430)의 배출구(431-2)와 연결되고 타단이 제 2 공급관(490)과 연결되며, 내부공간이 마련된 제 2 하우징(471), 상호 이격되어 마주보도록 제 2 하우징(471) 내벽에 장착된 제 2 스토퍼(472), 제 2 스토퍼(472)의 하측에 배치된 제 2 차단부재(473), 제 2 차단부재(473)의 하측에 배치되어 상기 제 2 차단부재(473)를 이동시키는 제 2 지지부재(474)를 포함한다. 여기서 제 2 스토퍼(472)는 중심 영역이 개방된 형상으로 제작되며, 상기 제 1 스토퍼(472)의 개방된 영역으로 제 1 공급관(480)을 통해 제 1 밸브(460)의 내부로 공급된 액정이 이동하는 통로이다. 하기에서는 제 2 스토퍼(472)의 개방영역을 제 2 유출공(471-1)이라 정의한다. 실시예에서는 제 2 개폐부의 제 2 지지부재(474)로 스프링을 사용하고 제 2 차단부재(473)로 볼을 사용한다. 이때, 제 2 지지부재(474)의 일단은 제 2 하우징(471)부 내부에 장착 고정되고 타단은 제 2 차단부재(473)를 지지한다. 여기서, 제 2 차단부재(473)로 사용되는 볼은 제 2 유출공(471-1)의 직경에 비해 크게 제작되고 제 2 하우징(471)의 내부 직경에 비해 작게 제작되는 것이 바람직하다.4A and 4B, one end of the second valve 470 is connected to the outlet 431-2 of the syringe 430, and the other end of the second valve 470 is connected to the second supply pipe 490. The second housing 471, the second stopper 472 mounted on the inner wall of the second housing 471 so as to face each other, and the second blocking member 473 disposed below the second stopper 472, and the second housing 471. The second support member 474 is disposed below the blocking member 473 to move the second blocking member 473. Here, the second stopper 472 is formed in a shape in which the center region is opened, and the liquid crystal supplied into the first valve 460 through the first supply pipe 480 to the open region of the first stopper 472. This is the passage to move. Hereinafter, an open area of the second stopper 472 is defined as a second outlet hole 471-1. In the embodiment, the spring is used as the second support member 474 of the second opening and closing part and the ball is used as the second blocking member 473. At this time, one end of the second support member 474 is fixed to the inside of the second housing 471 and the other end supports the second blocking member 473. Here, the ball used as the second blocking member 473 is preferably made larger than the diameter of the second outlet hole 471-1 and made smaller than the inner diameter of the second housing 471.

예를 들어, 구동부(440)의 동력부(442)를 이용하여 피스톤 로드(441)를 전진시키면 시린지(430) 내부의 압력이 증가한다. 이에, 시린지(430)의 몸체부(431)와 연통되는 배출구(431-2)와 몸체부(431) 간의 압력 차이에 의해, 상기 배출구(431-2)의 내부에는 몸체부(431)가 배치된 방향과 반대 방향으로 미는힘이 작용하게 된다. 이로 인해, 배출구(431-2)와 연결된 제 2 밸브(470)의 제 2 차단부재(473)가 상기 배출구(431-2)가 배치된 방향과 반대 방향으로 이동한다.이에, 도 4a에 도시된 바와같이 제 2 차단부재(473)가제 2 스토퍼(472)와 이격됨에 따라 제 2 유출공(471-1)이 개방된다. 이때, 제 2 차단부재(473)는 스프링으로 제작된 제 2 지지부재(474)에 의해 지지된다. 이에, 제 2 차단부재(473)가 이동하는 힘에 의해, 제 2 지지부재(474)는 상기 배출구(431-2)가 배치된 방향과 반대 방향으로 압축된다.For example, when the piston rod 441 is advanced using the power unit 442 of the driving unit 440, the pressure inside the syringe 430 increases. Thus, due to the pressure difference between the outlet portion 431-2 and the body portion 431 communicating with the body portion 431 of the syringe 430, the body portion 431 is disposed inside the outlet portion 431-2. The pushing force acts in the opposite direction to the given direction. As a result, the second blocking member 473 of the second valve 470 connected to the outlet 431-2 moves in a direction opposite to the direction in which the outlet 431-2 is disposed. As described above, as the second blocking member 473 is spaced apart from the second stopper 472, the second outlet hole 471-1 opens. At this time, the second blocking member 473 is supported by the second support member 474 made of a spring. Accordingly, the second support member 474 is compressed in a direction opposite to the direction in which the outlet 431-2 is disposed by the force of the second blocking member 473.

한편, 구동부(440)의 동력부(442)를 이용하여 피스톤 로드(441)를 후진시키면 시린지(430) 내부의 압력이 감소한다. 이에, 시린지(430)의 몸체부(431)와 연통되는 배출구(431-2)와 몸체부(431) 간의 압력 차이에 의해, 상기 배출구(431-2)의 내부에는 몸체부(431)가 배치된 방향으로 당기는 힘이 작용하게 된다. 이로 인해, 배출구(431-2)와 연통된 제 2 밸브(470)의 제 2 차단부재(473)가 배출구(431-2)가 배치된 방향으로 이동한다. 이에, 도 4b에 도시된 바와같이 제 2 차단부재(473)가 제 2 스토퍼(472)에 밀착됨에 따라 제 2 유출공(471-1)이 밀폐된다. 이때, 제 2 차단부재(473)가 이동하는 힘에 의해, 제 2 지지부재(474)는 피스톤 로드(441)가 전진할 때에 비하여 배출구(431-2)가 배치된 방향으로 이완된다.On the other hand, when the piston rod 441 is reversed by using the power unit 442 of the driving unit 440, the pressure inside the syringe 430 decreases. Thus, due to the pressure difference between the outlet portion 431-2 and the body portion 431 communicating with the body portion 431 of the syringe 430, the body portion 431 is disposed inside the outlet portion 431-2. The pulling force acts in the correct direction. Thus, the second blocking member 473 of the second valve 470 communicating with the outlet 431-2 moves in the direction in which the outlet 431-2 is disposed. Accordingly, as shown in FIG. 4B, the second outlet hole 471-1 is sealed as the second blocking member 473 is in close contact with the second stopper 472. At this time, the second support member 474 is loosened in the direction in which the discharge port 431-2 is disposed as the piston rod 441 moves forward by the force that the second blocking member 473 moves.

제 1 및 제 2 밸브(460, 470)는 상기에서 전술한 체크밸브에 한정되지 않는다. 즉, 실린더 로드(441)의 전진 및 후진에 의한 시린지(430)의 몸체부(431) 와 주입구(431-1) 및 배출구(431-2) 간의 압력 차이에 의해 상기 주입구(431-1) 및 배출구(431-2) 각각의 연통을 제어할 수 있는 어떠한 밸브가 사용되어도 무방하다.The first and second valves 460 and 470 are not limited to the above-described check valve. That is, the injection hole 431-1 and the pressure difference between the body portion 431 of the syringe 430 and the injection hole 431-1 and the discharge port 431-2 by the forward and backward movement of the cylinder rod 441 and Any valve capable of controlling the communication of each of the outlets 431-2 may be used.

또한, 실시예에서는 실린더 로드(441)가 후진할 때 제 1 밸브(460)가 개방되고, 실린더 로드(441)가 전진할 때 제 1 밸브(460)가 밀폐되며 제 2 밸브(470)가 개방되는 경우를 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고 이와 반대의 경우도 가능하다.Further, in the embodiment, the first valve 460 is opened when the cylinder rod 441 is reversed, the first valve 460 is sealed when the cylinder rod 441 is advanced, and the second valve 470 is opened. The case was described. However, the present invention is not limited thereto and vice versa.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 토출유닛의 동작을 설명하기 위한 단면도이다.5A and 5B are sectional views illustrating the operation of the discharge unit according to the embodiment of the present invention.

먼저, 기판(s)을 스테이지(100) 상에 안착시키고 상기 기판(s) 상측에 복수의 토출유닛(400)이 대응 배치되도록 한다. 여기서 실시예에 따른 기판(s)은 복수이 박막 트랜지스터와 화소 전극이 형성된 기판일 수 있다. 그리고 복수의 토출유닛(400)을 이용하여 기판(s) 상에 액정을 적하시킨다. 그리고 겐트리 이동수단(300)을 d이용하여 겐트리(200)를 수평이동시키거나, 토출유닛 이동수단(500)을 복수의 토출유닛(400)을 수평이동시키면서 기판(s) 상에 액정을 적하시키는 것이 바람직하다. 기판(s) 상에 액정을 적하시키기 위하여 먼저 시린지(430) 내부로 액정을 공급한다. 이를 위해 원료물질 저장부(420) 내의 액정을 제 1 공급관(480)으로 공급하고, 도 5a에 도시된 바와 같이 구동부(440)를 이용하여 실린더 로드(441)를 후진시킨다. 실린더 로드(441)가 시린지(430) 내부에서 후진함에 따라 주입구(431-1) 및 배출구(431-2) 각각의 내부에는 상기 몸체부(431)가 배치된 방향으로 당기는 힘이 작용하게 된다. 이에, 실린더 로드(441)가 후진하는 동안 주입구(431-1)과 연통되는 제 1 밸브(460)의 제 1 차단부재(463)가 상기 주입구(431-1)가 배치된 방향으로 이동하여 상기 제 1 차단부재(463)가 제 1 스토퍼(462)로부터 이격된다. 이로 인해, 제 1 유출공(462-1)이 개방된다. 따라서, 실린더 로드(441)가 후진하는 동안 제 1 공급관(480) 내의 액정은 제 1 밸브(460)의 제 1 유출공(462-1)을 통과하여 시린지(430) 내부로 이동한다. 한편, 실린더 로드(441)가 후진하는 동안 배출구(431-2)와 연통된 제 2 밸브(470)의 제 2 차단부재(473)가 상기 배출구(431-2)가 배치된 방향과 반대 방항으로 이동한다. 이에, 상기 제 2 차단부재(473)와 제 2 스토퍼(472)가 밀착됨에 따라 제 2 유출공(471-1)이 밀폐된다. 따라서, 실린더 로드(441)가 후진하는 동안 시린지(430) 내부로 공급된 액정은 제 2 밸브(470)의 제 2 유출공(471-1)을 통과하지 못한다. 이에, 액정이 제 2 공급관(490) 및 토출부(450)의 노즐(451)로 공급되지 않으므로, 노즐(451)로부터 액정이 토출되지 않는다. 이와 같이, 실린더 로드(441)가 후진하는 동안 제 1 공급관(480) 및 제 1 밸브(460)를 통해 액정이 시린지(430) 내부로 주입된다. 또한, 실시예에서는 실린더 로드(441)가 후진하여 시린지(430) 내부로 액정을 주입하는 동안 제 2 밸브(470)를 용이하게 밀폐시킴으로써, 리크(leak) 발생을 방지할 수 있다.First, the substrate s is seated on the stage 100 and the plurality of discharge units 400 are disposed correspondingly on the substrate s. The substrate s according to the embodiment may be a substrate on which a plurality of thin film transistors and pixel electrodes are formed. Then, the liquid crystal is dropped onto the substrate s using the plurality of discharge units 400. Then, the gantry 200 is horizontally moved using the gantry moving means 300, or the liquid crystal is transferred onto the substrate s while the discharge unit moving means 500 horizontally moves the plurality of discharge units 400. It is preferable to add dropping. In order to drop the liquid crystal onto the substrate s, the liquid crystal is first supplied into the syringe 430. To this end, the liquid crystal in the raw material storage unit 420 is supplied to the first supply pipe 480, and the cylinder rod 441 is reversed by using the driving unit 440 as shown in FIG. 5A. As the cylinder rod 441 moves backward in the syringe 430, a pulling force acts in the direction in which the body portion 431 is disposed in each of the inlet 431-1 and the outlet 431-2. Accordingly, the first blocking member 463 of the first valve 460 communicating with the injection hole 431-1 moves in the direction in which the injection hole 431-1 is disposed while the cylinder rod 441 moves backward. The first blocking member 463 is spaced apart from the first stopper 462. As a result, the first outlet hole 462-1 is opened. Accordingly, the liquid crystal in the first supply pipe 480 moves through the first outlet hole 462-1 of the first valve 460 and moves into the syringe 430 while the cylinder rod 441 moves backward. On the other hand, while the cylinder rod 441 moves backward, the second blocking member 473 of the second valve 470 communicating with the outlet 431-2 is opposite to the direction in which the outlet 431-2 is disposed. Move. Accordingly, the second outlet hole 471-1 is sealed as the second blocking member 473 and the second stopper 472 are in close contact with each other. Therefore, the liquid crystal supplied into the syringe 430 while the cylinder rod 441 is backward does not pass through the second outlet hole 471-1 of the second valve 470. Accordingly, the liquid crystal is not supplied to the nozzle 451 of the second supply pipe 490 and the discharge part 450, and thus the liquid crystal is not discharged from the nozzle 451. As such, the liquid crystal is injected into the syringe 430 through the first supply pipe 480 and the first valve 460 while the cylinder rod 441 moves backward. In addition, in the embodiment, the second valve 470 is easily closed while the cylinder rod 441 moves backward and injects liquid crystal into the syringe 430, thereby preventing leakage.

이어서, 시린지(430) 내부에 일정량의 액정이 충진되면, 토출부(450)를 이용하여 기판(s) 상에 액정을 적하한다. 이를 위해, 도 5b에 도시된 바와 같이 구동부(440)를 이용하여 실린더 로드(441)를 전진시킨다. 실린더 로드(441)가 시린지(430) 내부에서 전진함에 따라 제 1 밸브(460)의 제 1 차단부재(463)가 주입구(431-1)가 배치된 방향과 반대 방향으로 이동한다. 이에, 제 1 차단부재(463)와 제 1 스토퍼(462)가 밀착됨에 따라 1 유출공이 밀폐된다. 또한, 실린더 로드(441)가 전진하는 동안 제 2 밸브(470)의 제 2 차단부재(473)가 배출구(431-2)가 배치된 방향으로 이동한다. 이에, 제 2 차단부재(473)가 제 2 스토퍼(472)와 이격됨에 따라 제 2 유출공(471-1)이 개방된다. 따라서, 시린지(430) 내부의 액정은 배출구(431-2) 및 제 2 밸브(470)의 제 2 유출공(471-1)을 거쳐 제 2 공급관(490)으로 이동한다. 그리고 제 2 공급관(490)의 액정이 노즐(451)로 이동하고, 상기 노즐(451)은 기판(s) 상에 액정을 토출한다. 이와 같이 실린더 로드(441)가 전진하는 동안 시린지(430) 내부의 액정은 배출구(431-2), 제 2 밸브(470) 및 제 2 공급관(490)을 통해 노즐(451)로 이동하고, 노즐(451)은 액정을 기판(s) 상에 토출한다. 또한, 실시예에서는 실린더 로드(441)가 전진하여 노즐(451)을 이용하여 액정을 기판(s) 상에 토출시키는 동안 제 1 밸브(460)를 용이하게 밀폐시킴으로써, 리크(leak) 발생을 방지할 수 있다.Subsequently, when a predetermined amount of liquid crystal is filled in the syringe 430, the liquid crystal is dropped on the substrate s using the discharge part 450. To this end, as shown in FIG. 5B, the cylinder rod 441 is advanced by using the driving unit 440. As the cylinder rod 441 moves forward in the syringe 430, the first blocking member 463 of the first valve 460 moves in a direction opposite to the direction in which the injection hole 431-1 is disposed. Thus, as the first blocking member 463 and the first stopper 462 are in close contact with each other, the first outlet hole is sealed. In addition, while the cylinder rod 441 moves forward, the second blocking member 473 of the second valve 470 moves in the direction in which the discharge port 431-2 is disposed. Accordingly, the second outlet hole 471-1 opens as the second blocking member 473 is spaced apart from the second stopper 472. Therefore, the liquid crystal in the syringe 430 moves to the second supply pipe 490 through the discharge port 431-2 and the second outlet hole 471-1 of the second valve 470. The liquid crystal of the second supply pipe 490 moves to the nozzle 451, and the nozzle 451 discharges the liquid crystal onto the substrate s. As described above, the liquid crystal inside the syringe 430 moves to the nozzle 451 through the outlet 431-2, the second valve 470, and the second supply pipe 490 while the cylinder rod 441 is advanced. 451 discharges the liquid crystal onto the substrate s. In addition, in the embodiment, the first valve 460 is easily sealed while the cylinder rod 441 is advanced to discharge the liquid crystal onto the substrate s using the nozzle 451, thereby preventing leakage. can do.

그리고 상기와 같은 실린더 로드(441)의 전진 및 후진 공정을 복수번 반복하여 시린지(430) 내에 액정을 충진하고 이를 기판(s) 상에 토출하는 공정을 복수번 반복한다.The process of advancing and retracting the cylinder rod 441 as described above is repeated a plurality of times to repeat the process of filling the liquid crystal in the syringe 430 and discharging it onto the substrate s.

이와 같이 실시예에서는 시린지(430)의 몸체부(431) 내부에서 왕복 운동하는 실린더 로드(441)를 이용하여 주입구(431-1) 및 배출구(431-2)와 각기 연결된 제 1 및 제 2 밸브(470) 각각의 연통을 용이하게 제어할 수 있다. 이에, 종래에 비하여, 시린지(430) 내부로 액정을 주입하거나 상기 시린지(430)로부터 액정을 토출하는 공정에서의 리크(leak)의 발생율을 감소시킬 수 있다.In this embodiment, the first and second valves connected to the inlet 431-1 and the outlet 431-2 by using the cylinder rod 441 reciprocating in the body 431 of the syringe 430, respectively. Each communication can be easily controlled. Thus, as compared with the related art, it is possible to reduce the incidence of leakage in the process of injecting liquid crystal into the syringe 430 or discharging the liquid crystal from the syringe 430.

실시예에서는 기판(s) 상에 액정을 토출하는 액정 기판 처리 장치를 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 액정 이외에 다양한 원료물질을 적하시키거나 처리하는 기판 처리 장치에 적용할 수 있다.In the embodiment, the liquid crystal substrate processing apparatus for discharging the liquid crystal onto the substrate s has been described. However, the present invention is not limited thereto and may be applied to a substrate processing apparatus for dropping or processing various raw materials other than the liquid crystal.

400: 토출유닛 430: 시린지
431: 몸체부 431-1: 주입구
431-2: 배출구 450: 토출부
460: 제 1 밸브 470: 제 2 밸브400: discharge unit 430: syringe
431 body 431-1: injection hole
431-2: discharge port 450: discharge part
460: first valve 470: second valve

Claims (11)

기판이 안치되는 스테이지;
상기 스테이지 상측에 배치된 겐트리;
상기 겐트리 상에 장착되어 상기 기판 상에 원료물질을 토출하는 토출유닛;
상기 겐트리와 토출유닛 사이에서 일 방향으로 연장되도록 설치되어, 상기 토출유닛을 일 방향으로 수평 이동시키는 토출유닛 이동수단을 포함하고,
상기 토출유닛은 내부공간으로 원료물질을 주입하는 주입구 및 상기 내부공간의 원료물질을 배출하는 배출구를 구비하는 시린지;
상기 시린지의 상측의 배치되며, 상기 원료물질이 저장된 원료물질 저장부;
상기 시린지의 내부 공간으로 일부가 삽입되어 상기 시린지의 내부에서 전진 및 후진 운동을 하는 실린더 로드;
일단이 상기 시린지의 주입구와 연결되어, 상기 실린더 로드의 전진 및 후진에 따라 연통이 제어되는 제 1 밸브;
일단이 상기 시린지의 배출구와 연결되어, 상기 실린더 로드의 전진 및 후진에 따라 연통이 제어되는 제 2 밸브;
일단이 상기 원료물질 저장부에 연결되고 타단이 산기 제 1 밸브에 연결된 제 1 공급관;
일측에 상기 시린지 및 원료물질 저장부가 지지되고, 타측이 상기 토출유닛 이동수단과 체결되어, 상기 시린지 및 원료물질 저장부를 지지한 상태로 수평 이동하는 결합부재를 포함하고,
상기 실린더 로드의 전진 및 후진에 의해 제 1 밸브 및 제 2 밸브 중 어느 하나는 개방되고, 나머지 하나는 밀폐되는 기판 처리 장치.A stage on which the substrate is placed;
A gantry disposed above the stage;
A discharge unit mounted on the gantry to discharge raw materials onto the substrate;
It is installed to extend in one direction between the gantry and the discharge unit, comprising a discharge unit moving means for horizontally moving the discharge unit in one direction,
The discharge unit includes a syringe having an injection hole for injecting the raw material into the inner space and an outlet for discharging the raw material in the inner space;
A raw material storage unit disposed above the syringe and storing the raw material;
A portion of the cylinder rod inserted into the inner space of the syringe to move forward and backward in the syringe;
A first valve, one end of which is connected to the injection port of the syringe and whose communication is controlled according to forward and backward of the cylinder rod;
A second valve having one end connected to an outlet of the syringe and communicating with the cylinder rod in advance and backward;
A first supply pipe having one end connected to the raw material storage part and the other end connected to an diffuser first valve;
The syringe and the raw material storage is supported on one side, the other side is coupled to the discharge unit moving means, and includes a coupling member for moving horizontally while supporting the syringe and the raw material storage,
And one of the first valve and the second valve is opened and the other is closed by the forward and backward of the cylinder rod. 청구항 1에 있어서,
상기 제 2 밸브의 타단에 상기 제 2 밸브의 원료물질이 배출되는 제 2 공급관이 연결되는 기판 처리 장치.The method according to claim 1,
And a second supply pipe through which the raw material of the second valve is discharged, and connected to the other end of the second valve. 청구항 2에 있어서,
상기 제 2 공급관의 일단에 상기 원료물질을 토출시키는 노즐이 연결되는 기판 처리 장치.The method according to claim 2,
And a nozzle for discharging the raw material to one end of the second supply pipe. 청구항 1에 있어서,
상기 제 1 밸브 및 제 2 밸브로 체크밸브(check valve)를 사용하는 기판 처리 장치.The method according to claim 1,
And a check valve as the first valve and the second valve. 청구항 1에 있어서,
상기 실린더 로드의 전진 또는 후진에 의해 상기 제 1 밸브가 개방될 때, 제 2 밸브는 밀폐되가 되고, 상기 실린더 로드의 전진 또는 후진에 의해 상기 제 1 밸브가 밀폐될 때, 상기 제 2 밸브는 개방되는 기판 처리 장치.The method according to claim 1,
When the first valve is opened by forward or backward of the cylinder rod, the second valve is closed, and when the first valve is closed by forward or backward of the cylinder rod, the second valve is closed. Substrate processing apparatus that is opened. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 실리더 로드의 전진 및 후진을 복수번 반복하여 연속적으로 시린지 내부로 원료물질을 주입하고, 상기 시린지로부터 원료물질을 토출하는 기판 처리 장치.The method according to any one of claims 1 to 5,
A substrate processing apparatus for injecting a raw material into a syringe continuously by repeating forward and backward of the cylinder rod a plurality of times and discharging the raw material from the syringe. 청구항 1에 있어서,
상기 원료물질로 액정을 사용하는 기판 처리 장치.The method according to claim 1,
A substrate processing apparatus using liquid crystal as the raw material. 청구항 1에 있어서,
상기 토출유닛이 복수개로 마련되어, 상호 이격 배치되는 기판 처리 장치.The method according to claim 1,
A substrate processing apparatus provided with a plurality of the discharge unit, arranged to be spaced apart from each other. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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