KR101080839B1 - 배스의 상부 도어 - Google Patents

Abstract

본 발명은 배스의 상부 도어에 관한 것으로, 개방면의 외측 개방면적이 더 넓게 되도록 상기 개방면 주변에 단차를 가지는 배스와, 상기 개방면에 밀폐되어 외부의 공기 공급에 따라 내부 압력이 증가하여, 상기 배스의 단차와 접하는 오링을 가압 실링하는 상호 슬라이딩 결합된 외측도어 및 내측도어를 포함한다. 이와 같은 구성의 본 발명은 외측도어와 내측도어를 분리하고, 그 외측도어와 내측도어에 압력을 상승시켜 오링을 단차부로 더욱 밀착시켜 실링성을 높임으로써, 그 도어의 평탄성이 저하되거나, 오링에 미세한 손상이 발생한 경우에도 흄의 유출을 방지할 수 있는 효과가 있다.

배스, 도어, 흄

Description

배스의 상부 도어{Upper door for bath}

본 발명은 배스의 상부 도어에 관한 것으로, 보다 상세하게는 흄의 외부 누설을 방지할 수 있는 배스의 상부 도어에 관한 것이다.

일반적으로, 평판디스플레이 제조를 위해 사용하는 대면적 기판을 세정하는 장비를 배스(bath)라고 한다. 배스(bath)는 대면적 기판이 이송되는 공간을 제공하고, 그 이송되는 기판에 세정수를 분사하는 세정존, 세정된 기판을 건조하는 건조존 등이 상부측에 마련되어 있으며, 그 상부측과는 구분되는 하부측에서 상기 세정존에 공급되는 세정수를 저장하고, 사용된 세정수를 회수하는 탱크 등의 설비가 마련되어 있다.

상기 배스는 유지 및 보수를 위한 도어들이 다수로 마련되어 있다. 상기 배스의 하부측 설비가 마련된 도어는 별도의 실링을 하지 않아도 문제가 발생하지 않으나, 세정, 건조 등의 공정이 진행되는 세정존, 건조존을 포함하는 상부측을 개방하는 상부 도어는 오링 등의 실링 수단으로 실링되어, 세정 또는 건조과정에서 발 생하는 흄(fume)이 배스 외측으로 유출되는 것을 방지하고 있다.

그러나, 그 도어의 제작시 평탄도가 정확하게 맞지 않거나, 잦은 개폐동작으로 오링의 일부가 손상되는 경우 흄(fume)이 외부로 노출될 수 있으며, 이러한 종래 배스의 상부 도어를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 배스의 상부 도어의 구조를 보인 단면 구성도이다.

도 1을 참조하면 종래 배스의 상부 도어는, 배스(1) 상부측면인 경사면(3)에 마련되며, 외측의 개방면적이 내측의 개방면적에 비하여 더 크도록 단차(2')를 가지는 오픈영역(2)에 결합되어 그 오픈영역(2)을 밀폐하며, 상기 배스(1)의 외측 오픈영역(2)의 면적에 부합하는 면적의 외측도어(6)와, 상기 외측도어(6)보다는 작은 면적이며, 그 외측도어(6)의 일면에 고정되어 상기 배스(1)의 내측으로 일부 삽입되는 내측도어(5)와, 상기 외측도어(6)와 상기 단차(2')의 사이에서 배스(1) 내부의 흄이 외부로 유출되는 것을 방지하는 오링(7)을 포함하여 구성된다.

상기와 같이 구성되는 종래 배스의 상부 도어는, 유지 및 보수의 용이성을 감안하여 경사면(3)을 가지는 배스(1)에 마련된 오픈영역(2)을 안쪽과 바깥쪽의 면적이 다르게 구성되어 내측도어(5)의 면적이 외측도어(6)의 면적에 비하여 더 작은 도어로 밀폐하되, 기밀유지를 위하여 그 외측도어(6)와 오픈영역(2)에 마련된 단차(2')의 사이에 오링(7)을 구비한 구조이다.

앞서 언급한 바와 같이 상기 오링(7)은 외측도어(6)의 평탄도 및 상기 단차(2')의 평탄도가 우수한 경우 그 실링성을 유지할 수 있으나, 외측도어(6) 또는 단차(2')의 가공시 오차에 의해 평탄도가 저하되는 경우에는 실링성이 저하되어 배스(1) 내부의 흄이 외부로 누설될 수 있다.

또한, 세정 또는 건조공정에서 공정온도, 도어의 잦은 개폐, 배스 내부의 유지 보수 작업중 작업자의 실수 등의 원인으로 오링(7)이 손상될 수 있으며, 눈에 잘 띄지 않는 정도의 미세한 손상에도 실링성이 저하되어 흄이 외부로 누설될 수 있다.

아울러 세정공정에서 사용하는 케미컬이 공정온도에 의해 기체로 상변화될 수 있으며, 그 상변화된 케미컬이 외부로 유출될 수 있는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 오링에 미세한 손상이 발생하거나 도어 또는 단차의 평탄도가 저하되는 경우에도 높은 실링성을 유지할 수 있는 배스의 상부 도어를 제공함에 있다.

또한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기체상으로 상변화된 케미컬이 유출되는 것을 방지할 수 있는 배스의 상부 도어를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 배스의 상부 도어는, 개방면의 외측 개방면적이 더 넓게 되도록 상기 개방면 주변에 단차를 가지는 배스와, 상기 개방면에 밀폐되어 외부의 공기 공급에 따라 내부 압력이 증가하여, 상기 배스의 단차와 접하는 오링을 가압 실링하는 상호 슬라이딩 결합된 외측도어 및 내측도어를 포함한다.

상기 외측도어는 상기 배스를 향하는 면의 중앙부가 오픈되고, 상기 내측도어는 상기 외측도어의 오픈된 부분에 삽입되어 상기 내부 압력의 증가에 따라 상기 오링과 함께 상기 배스의 안쪽 방향으로 슬라이딩 이동하도록 구성될 수 있다.

본 발명 배스의 상부 도어는, 외측도어와 내측도어를 분리하고, 그 외측도어 와 내측도어에 압력을 상승시켜 오링을 단차부로 더욱 밀착시켜 실링성을 높임으로써, 그 도어의 평탄성이 저하되거나, 오링에 미세한 손상이 발생한 경우에도 흄의 유출을 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한 도어의 압력을 상승시키는 수단으로 저온의 공기를 공급함으로써, 케미컬이 기체로 상변화되는 것을 방지하여 케미컬이 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

이하, 상기와 같은 본 발명 배스의 상부 도어의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 배스의 상부 도어의 단면 구성도이다.

도 2를 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 배스 상부 도어는, 배스(10)의 일부가 단차(11)를 가지도록 개방된 개방부에 밀폐되어 공기공급관(50)을 통해 공급되는 공기에 의해 내부 압력이 증가되어 오링(41)을 그 단차(11)에 밀착시켜 실링성을 향상시킬 수 있도록, 외측도어(20)와, 그 외측도어(20)에 슬라이딩 이동이 가능하도록 결합된 내측도어(30)를 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 배스 상부 도어의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 외측도어(20)는 외측으로 공기공급관(50)이 연결되는 포트가 마련되어 있으며, 배스(10)의 개방부 단차(41)의 외측에 치합되는 중공된 육면체의 구조를 가진다.

또한 그 외측도어(20)는 상기 단차(41)에 의해 정의되는 개방부와 접하는 부분이 오픈되어 있으며, 그 오픈된 영역에 내측도어(30)가 슬라이딩 이동이 가능한 상태로 끼워진다.

상기 내측도어(30)는 그 외측도어(20)로 부터 쉽게 이탈되지 않도록, 상기 외측도어(20)의 내측에서 절곡된 절곡부(31)를 가지며, 그 절곡부(31) 이외에 오링(41)이 결합될 수 있는 절곡부(32)가 그 외측도어(20)의 외측에 마련되어 있다.

이처럼 내측도어(30)는 상기 단차(11)에 의해 정의되는 면적의 배스(10) 개방부에 삽입되며, 그 배스(10)의 단차(11) 외측의 개방부를 밀폐하는 외측도어(20)와는 슬라이딩 이동이 가능하게 결합되어 있다.

상기 내측도어(30)의 절곡부(31)는 상기 외측도어(20)로부터 내측도어(30)가 이탈되는 것을 방지할 뿐만 아니라 그 내측도어(30)와 외측도어(20)의 사이에서 상기 공기공급관(50)을 통해 공급된 공기가 누설되는 것을 방지할 수 있는 오링(42)을 지지하는 역할을 한다.

이와 같은 구성에서 상기 상호 결합된 외측도어(20)와 내측도어(30)가 배스(10)의 개방부를 밀폐하는 닫힌 상태에서 공기공급관(50)을 통해 공기가 그 외측도어(20)와 내측도어(30)의 사이 공간부로 공급되면, 외측도어(20)와 내측도어(30) 내부 압력이 상승하게 된다.

이와 같은 외측도어(20)와 내측도어(30) 내부 압력의 상승은 그 내측도어(30)를 외측으로 밀어내는 힘으로 작용하며, 따라서 그 내측도어(30)는 배스(10)의 내측을 향하는 방향으로 슬라이딩 이동된다.

이때 상기 외측도어(20)의 내측에 마련된 절곡부(31)와 그 외측도어(20)의 내측일부에 접하는 오링(42)에 의하여 상기 외측도어(20)와 내측도어(30)의 내부 압력은 유지될 수 있다.

상기 내측도어(30)의 이동에 따라 그 절곡부(32)에 마련된 오링(41)은 내측도어(30)의 절곡부(32)와 배스(10)의 단차(11)의 사이에서 가압실링되며, 따라서 실링성을 보다 개선할 수 있게 된다.

이와 같이 오링(41)을 가압하여 실링성을 높임으로써, 상기 단차(11)의 평탄도 및 절곡부(32)의 평탄도가 저하된 경우 또는 그 오링(41)이 열화된 경우에도 배스(10) 내부의 흄이 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있게 된다.

또한, 상기 외측도어(20)와 내측도어(30)에 공급되는 공기를 저온인 상태로 공급하여, 그 외측도어(20) 및 내측도어(30)의 온도를 낮출 수 있다. 이때 공급되는 공기의 온도는 사용되는 케미컬의 해당 압력에서의 기화온도보다 낮은 것으로 하며, 따라서 배스(10)의 내측에서 세정공정 등에 사용되는 케미컬이 기화되는 것을 방지할 수 있다.

따라서 기화된 케미컬이 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있게 된다.

도 1은 종래 배스의 상부 도어의 단면 구성도이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 배스의 상부 도어의 단면 구성도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10:배스 11:단차

20:외측도어 30:내측도어

31,32:절곡부 41,42:오링

50:공기공급관

Claims (5)

1. 개방면의 외측 개방면적이 더 넓게 되도록 상기 개방면 주변에 단차를 가지는 배스; 및

   상기 개방면에 밀폐되어 외부의 공기 공급에 따라 내부 압력이 증가하여, 상기 배스의 단차와 접하는 오링을 가압 실링하는 상호 슬라이딩 결합된 외측도어 및 내측도어를 포함하며, 상기 외측도어는 상기 배스를 향하는 면의 중앙부가 오픈된 것이며,

   상기 내측도어는 상기 외측도어의 오픈된 부분에 삽입되어 상기 내부 압력의 증가에 따라 상기 오링과 함께 상기 배스의 안쪽 방향으로 슬라이딩 이동하는 것을 특징으로 하는 배스의 상부 도어.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 내측도어의 상기 외측도어의 내측으로 삽입된 부분은, 상기 내측도어의 이탈을 방지할 수 있도록 절곡된 것이며, 그 절곡된 부분에서 상기 내측도어와 외측도어의 사이가 실링되는 것을 특징으로 하는 배스의 상부 도어.
4. 제3항에 있어서,

   상기 내측도어는,

   상기 외측도어에 삽입되지 않은 측면에 상기 오링을 고정할 수 있는 절곡부를 가지는 것을 특징으로 하는 배스의 상부 도어.
5. 삭제

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