KR101078720B1 - Method for forming isolation layer of semiconductor device - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 반도체 소자의 소자분리막 형성방법은, 셀 영역 및 주변 영역으로 구획되고 상기 영역들 각각에 소자분리용 트렌치가 구비된 반도체 기판 상에 선형질화막을 형성하는 단계; 상기 선형질화막 상에 트렌치를 매립하도록 산화막을 증착하는 단계; 및 상기 산화막을 CMP하는 단계;를 포함하는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법에 있어서, 상기 산화막을 증착하는 단계는, HDP-CVD 공정으로 진행하되, 셀 영역 및 주변 영역에서의 선형질화막 손실이 억제되도록 상기 선형질화막 상에 선형산화막을 우선 증착한 후에, HDP-CVD 공정을 수행하는 것을 특징으로 한다. A method of forming a device isolation film of a semiconductor device according to the present invention includes: forming a linear nitride film on a semiconductor substrate partitioned into a cell region and a peripheral region and having a device isolation trench in each of the regions; Depositing an oxide film to fill a trench on the linear nitride film; And CMPing the oxide film, wherein the depositing of the oxide film is performed by an HDP-CVD process, so that linear nitride film loss in the cell region and the peripheral region is suppressed. The linear oxide film is first deposited on the linear nitride film, and then the HDP-CVD process is performed.

Description

반도체 소자의 소자분리막 형성방법{Method for forming isolation layer of semiconductor device}Method for forming isolation layer of semiconductor device

본 발명은 반도체 소자의 소자분리막 형성방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는, HDP-CVD(High Density Plasma-Chemical Vapor Deposition) 방식을 이용한 절연막의 매립시 셀 영역 및 주변 영역에서의 선형질화막의 손실을 방지할 수 있는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for forming a device isolation film of a semiconductor device, and more particularly, to prevent the loss of the linear nitride film in the cell region and the peripheral region when the insulating film is embedded using the HDP-CVD (High Density Plasma-Chemical Vapor Deposition) method. A device isolation film forming method of a semiconductor device can be achieved.

반도체 기술의 진보와 더불어 반도체 소자의 고속화 및 고집적화가 급속하게 진행되고 있고, 이에 수반하여 패턴의 미세화 및 패턴 치수의 고정밀화에 대한 요구가 점점 높아지고 있다. 이러한 요구는 소자 영역에 형성되는 패턴은 물론 상대적으로 넓은 영역을 차지하는 소자분리막에도 적용된다.With the advance of semiconductor technology, the speed and the high integration of semiconductor devices are progressing rapidly, and with this, the demand for the refinement | miniaturization of a pattern and the high precision of a pattern dimension is increasing. This requirement applies not only to patterns formed in device regions, but also to device isolation films that occupy a relatively large area.

여기서, 기존의 소자분리막 형성방법으로는 로코스(LOCOS) 공정을 이용해 왔는데, 상기 로코스 공정에 의한 소자분리막은 그 상단 코너부에 새부리 형상의 버즈-빅(Bird's-beak)이 발생하기 때문에 액티브 영역의 크기를 감소시키는 단점을 가지며, 그래서, 그 이용에 한계를 갖게 되었다.Here, a conventional LOCOS process has been used as a method of forming a device isolation layer, and the device isolation layer formed by the LOCOS process is active because a bird's-beak having a beak shape occurs at an upper corner thereof. It has the disadvantage of reducing the size of the area, and therefore has its limitations in its use.

이에, 현재 대부분의 반도체 소자는 버즈-빅의 발생 없이 액티브 영역의 크 기를 확보함으로써, 고집적 소자의 구현을 가능하게 해주는 STI(Shallow Trench Isolation) 공정을 이용해서 상기 소자분리막을 형성하고 있다. As a result, most of the semiconductor devices form the device isolation layer by using a shallow trench isolation (STI) process that enables the implementation of highly integrated devices by securing the size of the active region without generating buzz-big.

상기 STI 공정은 반도체 기판의 소자분리 영역을 식각하여 트렌치를 형성한 후, 상기 트렌치 내에 절연막을 매립하는 방법으로 수행한다. 상기 절연막을 증착하기 위한 종래 기술로는 절연막의 증착과 식각을 반복 수행함으로써 트렌치를 매립하는 HDP-CVD 방식을 사용하고 있다.The STI process is performed by etching a device isolation region of a semiconductor substrate to form a trench, and then filling an insulating layer in the trench. As a conventional technique for depositing the insulating film, an HDP-CVD method for filling a trench by repeatedly performing deposition and etching of the insulating film is used.

이하에서는, 상기 STI 공정을 이용한 반도체 소자의 소자분리막 형성방법을 간략하게 설명하도록 한다.Hereinafter, a method of forming an isolation layer of a semiconductor device using the STI process will be briefly described.

먼저, 반도체 기판 상에 패드산화막과 패드질화막을 차례로 형성한 후, 상기 패드질화막을 패터닝한다. 그런 다음, 상기 패터닝된 패드질화막을 하드마스크로 이용해서 그 아래의 패드산화막과 반도체 기판 부분을 식각하여 트렌치를 형성한다.First, a pad oxide film and a pad nitride film are sequentially formed on a semiconductor substrate, and then the pad nitride film is patterned. Then, using the patterned pad nitride film as a hard mask, a trench is formed by etching the pad oxide film and the semiconductor substrate portion thereunder.

계속해서, 상기 트렌치의 표면 상에 측벽산화막을 형성한 후, 상기 측벽산화막을 포함한 반도체 기판 상에 선형질화막과 선형산화막을 차례로 형성한다. 그리고 나서, 상기 선형산화막 상에 상기 트렌치를 매립하도록 절연막을 증착한다. 상기 절연막은 통상 SOD(Spin-On Dielectric)막과 HDP(High Density Plasma)막의 적층막, 또는, HDP막의 단일막으로 증착한다.Subsequently, after forming the sidewall oxide film on the surface of the trench, a linear nitride film and a linear oxide film are sequentially formed on the semiconductor substrate including the sidewall oxide film. Then, an insulating film is deposited to fill the trench on the linear oxide film. The insulating film is usually deposited as a stacked film of a SOD (Spin-On Dielectric) film and a High Density Plasma (HDP) film or a single film of an HDP film.

다음으로, 상기 패드질화막이 노출될 때까지 상기 절연막을 CMP(Chemical Mechanical Polishing)한 다음, 상기 패드질화막 및 패드산화막을 차례로 제거하여 트렌치형 소자분리막을 형성한다.Next, the insulating layer is chemically polished (CMP) until the pad nitride layer is exposed, and then the pad nitride layer and the pad oxide layer are sequentially removed to form a trench type isolation layer.

그러나, 전술한 종래 기술의 경우에는, 상기 절연막을 증착하기 위한 HDP-CVD 공정시 플라즈마에 의한 데미지(Damage)로 인해 주변 영역에서의 활성 영역과 인접한 상기 소자분리막의 양측 상부 모서리 부분에서 상기 선형질화막의 손실이 발생된다.However, in the above-described prior art, the linear nitride layer is formed at both upper edge portions of the device isolation layer adjacent to the active region in the peripheral region due to plasma damage during the HDP-CVD process for depositing the insulating layer. Loss of is caused.

이로 인해, 상기 소자분리막을 포함한 반도체 기판의 게이트 영역에 형성되는 게이트의 게이트 절연막의 특성이 불량해지는 GOI 페일(Gate Oxide Integrity Fail)이 유발되며, 그 결과, 반도체 소자의 신뢰성이 열화된다.As a result, a GOI fail (Gate Oxide Integrity Fail) is caused in which the characteristics of the gate insulating film of the gate formed in the gate region of the semiconductor substrate including the device isolation film are poor. As a result, the reliability of the semiconductor device is degraded.

본 발명은 셀 영역 및 주변 영역에서의 선형질화막의 손실을 방지할 수 있는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법을 제공한다.The present invention provides a method of forming a device isolation film of a semiconductor device capable of preventing the loss of the linear nitride film in the cell region and the peripheral region.

본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자의 소자분리막 형성방법은, 셀 영역 및 주변 영역으로 구획되고 상기 영역들 각각에 소자분리용 트렌치가 구비된 반도체 기판 상에 선형질화막을 형성하는 단계; 상기 선형질화막 상에 트렌치를 매립하도록 산화막을 증착하는 단계; 및 상기 산화막을 CMP하는 단계;를 포함하는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법에 있어서, 상기 산화막을 증착하는 단계는, HDP-CVD 공정으로 진행하되, 셀 영역 및 주변 영역에서의 선형질화막 손실이 억제되도록 상기 선형질화막 상에 H2가스를 첨가하여 선형산화막을 우선 증착한 후에, HDP-CVD 공정을 수행하는 것을 특징으로 한다. A method of forming a device isolation film of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention includes forming a linear nitride film on a semiconductor substrate partitioned into a cell region and a peripheral region and having a device isolation trench in each of the regions; Depositing an oxide film to fill a trench on the linear nitride film; And CMPing the oxide film, wherein the depositing of the oxide film is performed by an HDP-CVD process, so that linear nitride film loss in the cell region and the peripheral region is suppressed. After the linear oxide film is first deposited by adding H 2 gas on the linear nitride film, the HDP-CVD process is performed.

여기서, 상기 H2가스는 150∼300sccm의 유량으로 첨가시킨다.Here, the H 2 gas is added at a flow rate of 150 to 300 sccm.

상기 선형산화막은 상기 트렌치의 측벽 상부에서 100∼400Å의 두께로 형성한다. The linear oxide film is formed to a thickness of 100 to 400Å above the sidewall of the trench.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자의 소자분리막 형성방법은, 셀 영역 및 주변 영역으로 구획되고 상기 영역들 각각에 트렌치가 구비된 반도체 기판 상에 선형질화막을 형성하는 단계; 상기 선형질화막 상에 트렌치를 매립하도록 산화막을 증착하는 단계; 및 상기 산화막을 CMP하는 단계;를 포함하는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법에 있어서, 상기 산화막을 증착하는 단계는, SOD 방식에 따라 제1산화막을 증착하는 단계; 상기 제1산화막을 리세스시키는 단계; 및 상기 리세스된 제1산화막 상에 HDP-CVD 공정에 따라 제2산화막을 증착하는 단계;를 포함하고, 상기 HDP-CVD 공정에 따라 제2산화막을 증착하는 단계는 셀 영역 및 주변 영역에서의 선형질화막 손실이 억제되도록 상기 선형질화막 상에 H2가스를 첨가하여 선형산화막을 우선 증착한 후에, HDP-CVD 공정을 수행하는 것을 특징으로 한다. In addition, the method of forming a device isolation film of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention, comprising: forming a linear nitride film on a semiconductor substrate partitioned into a cell region and a peripheral region and provided with a trench in each of the regions; Depositing an oxide film to fill a trench on the linear nitride film; And CMPing the oxide film, wherein the depositing of the oxide film comprises: depositing a first oxide film according to an SOD method; Recessing the first oxide film; And depositing a second oxide film on the recessed first oxide film according to the HDP-CVD process, wherein depositing the second oxide film according to the HDP-CVD process comprises: After the linear oxide film is first deposited by adding H 2 gas on the linear nitride film so that the loss of the linear nitride film is suppressed, the HDP-CVD process is performed.

여기서, 상기 H2가스는 150∼300sccm의 유량으로 첨가시킨다.Here, the H 2 gas is added at a flow rate of 150 to 300 sccm.

상기 선형산화막은 상기 트렌치의 측벽 상부에서 100∼400Å의 두께로 형성한다. The linear oxide film is formed to a thickness of 100 to 400Å above the sidewall of the trench.

본 발명은, 셀 영역 및 주변 영역으로 구획된 반도체 기판의 소자분리 영역을 식각하여 트렌치를 형성한 후, 상기 트렌치 상에 선형질화막을 증착한 다음, 상기 선형질화막 상에 H2가스를 첨가하여 선형산화막을 형성한다. 그리고 나서, 상기 H2가스가 함유된 선형산화막 상에 트렌치 매립을 위한 절연막을 형성한 후, 상기 절연막을 CMP하여 소자분리막을 형성한다. According to the present invention, a trench is formed by etching a device isolation region of a semiconductor substrate partitioned into a cell region and a peripheral region, a linear nitride film is deposited on the trench, and then H 2 gas is added to the linear nitride film to form a trench. An oxide film is formed. Then, an insulating film for trench filling is formed on the linear oxide film containing the H 2 gas, and then the insulating film is CMP to form a device isolation film.

이렇게 하면, 상기 H2가스가 함유된 선형산화막이 상기 선형질화막의 보호막 역할을 함으로써, 상기 절연막을 형성하기 위한 HDP-CVD 공정시 발생되는 선형질화막의 손실을 방지할 수 있다. In this way, the linear oxide film containing the H 2 gas serves as a protective film of the linear nitride film, thereby preventing the loss of the linear nitride film generated during the HDP-CVD process for forming the insulating film.

또한, 상기와 같이, 상기 H2가스가 함유된 선형산화막으로 인해 상기 트렌치의 측벽 상부가 다른 부분보다 상대적으로 두꺼운 두께를 갖는 선형산화막이 선형질화막의 손실을 방지함으로써, 그에 따른 GOI 페일을 방지할 수 있다.In addition, as described above, the linear oxide film having a relatively thicker thickness of the upper sidewall of the trench due to the linear oxide film containing the H 2 gas prevents loss of the linear nitride film, thereby preventing GOI fail. Can be.

도 1a 내지 도 1g는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자의 제조방법을 설명하기 위한 공정별 단면도로서, 이를 설명하면 다음과 같다.1A to 1G are cross-sectional views illustrating processes for manufacturing a semiconductor device in accordance with an embodiment of the present invention.

도 1a를 참조하면, 셀 영역(C)과 주변회로 영역(P)으로 구획되며, 활성 영역과 소자분리 영역을 갖는 반도체 기판(100) 상에 패드산화막(102)과 패드질화막(104)의 적층막으로 이루어진 하드마스크(106)를 형성한다. 그런 다음, 상기 하드마스크(106) 상에 상기 반도체 기판(100)의 소자분리 영역을 노출시키는 감광막 패턴(미도시)을 형성한다.Referring to FIG. 1A, a pad oxide film 102 and a pad nitride film 104 are stacked on a semiconductor substrate 100 having a cell region C and a peripheral circuit region P and having an active region and an isolation region. A hard mask 106 made of a film is formed. Then, a photoresist pattern (not shown) is formed on the hard mask 106 to expose the device isolation region of the semiconductor substrate 100.

계속해서, 상기 감광막 패턴에 의해 노출된 하드마스크막(106) 부분을 식각한 후, 상기 감광막패턴을 제거한다. 계속해서, 상기 식각된 하드마스크(106)를 식각마스크로 이용해서 상기 노출된 반도체 기판(100)의 소자분리 영역을 식각하여 트렌치(T)를 형성한다. Subsequently, after etching the portion of the hard mask film 106 exposed by the photoresist pattern, the photoresist pattern is removed. Subsequently, the trench isolation T is formed by etching the device isolation region of the exposed semiconductor substrate 100 using the etched hard mask 106 as an etch mask.

도 1b를 참조하면, 상기 트렌치(T) 표면 상에 측벽산화막(108)을 형성한 후, 상기 측벽산화막(108)을 포함한 반도체 기판(100) 표면 상에 선형질화막(110)을 형성한다. 상기 선형질화막(110)은 상기 측벽산화막(108)이 추가 산화되는 것을 방지하기 위해 형성해주는 것이다.Referring to FIG. 1B, after the sidewall oxide layer 108 is formed on the trench T surface, the linear nitride layer 110 is formed on the surface of the semiconductor substrate 100 including the sidewall oxide layer 108. The linear nitride film 110 is formed to prevent further oxidation of the sidewall oxide film 108.

도 1c를 참조하면, 상기 선형질화막(110) 상에 상기 트렌치(T)의 측벽 상부가 다른 부분보다 상대적으로 두꺼운 두께를 갖도록 H2가스를 첨가하여 선형산화막(112)을 형성한다. 상기 선형산화막(112)은, 예를 들어, 상기 트렌치(T)의 측벽 상부가 100∼400Å의 두께를 갖도록 상기 H2가스를 150∼300sccm의 유량으로 첨가시켜 형성한다.
예를 들어, 상기 선형산화막(112)은, 일반적으로 수행되는 선형산화막을 형성하기 위한 공정 조건에 추가적으로 상기 H2가스를 150∼300sccm의 유량으로 첨가시켜 형성할 수 있습니다.
이때, 상기 선형산화막(112)은 상기 선형질화막(110)을 보호하고, 후속으로 증착될 소자분리용 절연막의 버퍼(Buffer) 역할을 한다.
도 1d를 참조하면, 상기 선형산화막(112) 상에 상기 트렌치(T)를 매립하도록 SOD 방식에 따라 제1산화막(114)을 형성한다. 상기 제1산화막(114)은 SOD막으로 형성한다. Referring to FIG. 1C, the linear oxide layer 112 is formed by adding H 2 gas on the linear nitride layer 110 such that an upper portion of the sidewall of the trench T has a thickness relatively thicker than that of other portions. The linear oxide film 112 is formed by, for example, adding H 2 gas at a flow rate of 150 to 300 sccm such that the upper portion of the sidewall of the trench T has a thickness of 100 to 400 kPa.
For example, the linear oxide film 112 may be formed by adding the H 2 gas at a flow rate of 150 to 300 sccm in addition to the process conditions for forming a linear oxide film generally performed.
In this case, the linear oxide film 112 protects the linear nitride film 110 and serves as a buffer of the insulating film for device isolation to be subsequently deposited.
Referring to FIG. 1D, a first oxide film 114 is formed on the linear oxide film 112 by the SOD method to fill the trench T. Referring to FIG. The first oxide film 114 is formed of an SOD film.

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도 1e를 참조하면, 상기 SOD 방식에 따라 형성된 제1산화막(114)을 상기 트렌치(T)보다 낮은 높이로 즉, 상기 트렌치(T) 하단부에 잔류되도록 리세스한다. Referring to FIG. 1E, the first oxide film 114 formed according to the SOD method is recessed so as to remain at a lower level than the trench T, that is, at the lower end of the trench T. Referring to FIG.

도 1f를 참조하면, 상기 리세스된 제1산화막(114) 및 선형산화막(112) 상에 상기 트렌치(T)를 매립하도록 HDP-CVD 공정에 따라 제2산화막(116)을 형성한다. 상기 제2산화막은 HDP막으로 형성한다.Referring to FIG. 1F, a second oxide film 116 is formed on the recessed first oxide film 114 and the linear oxide film 112 by the HDP-CVD process to fill the trench T. Referring to FIG. The second oxide film is formed of an HDP film.

이때, 상기 H2가스가 함유된 선형산화막(112)이 상기 선형질화막(110)의 보호막 역할을 함으로써, 상기 제2산화막(116)을 증착하기 위한 HDP-CVD 공정시 플라즈마에 의한 데미지로 인해 상기 셀 영역(C) 및 주변 영역(P)에서의 활성 영역과 인접한 소자분리막의 양측 트렌치(T) 상부의 모서리 부분에서 상기 선형질화막(110)의 손실이 발생되는 것을 방지할 수 있다. In this case, the linear oxide film 112 containing the H 2 gas serves as a protective film of the linear nitride film 110, and thus, due to damage caused by plasma during the HDP-CVD process for depositing the second oxide film 116. The loss of the linear nitride layer 110 may be prevented from occurring at the corners of the upper portions of the trenches T on both sides of the device isolation layer adjacent to the active region in the cell region C and the peripheral region P. FIG.

한편, 상기 리세스된 제1산화막(114) 형성 후, 상기 HDP-CVD 공정에 따라 제2산화막(116) 형성 전에 인시튜(Insitu) 방식을 사용하여 H2가스를 첨가한 선형산화막(112)을 형성하는 것도 가능하다. Meanwhile, after forming the recessed first oxide layer 114 and before forming the second oxide layer 116 according to the HDP-CVD process, the linear oxide layer 112 to which H 2 gas is added using an insitu method is formed. It is also possible to form

도 1g를 참조하면, 하드마스크가 노출될 때까지 상기 제2산화막(116)과 선형산화막(112) 및 선형질화막(110)의 표면 부분을 CMP한 후, 상기 노출된 하드마스크를 제거하여, 이로써, 상기 SOD막과 HDP막의 적층막으로 이루어진 소자분리막(118)을 형성한다. Referring to FIG. 1G, the surface portions of the second oxide film 116, the linear oxide film 112, and the linear nitride film 110 are CMP until the hard mask is exposed, and then the exposed hard mask is removed, thereby. In addition, an isolation layer 118 including a stacked film of the SOD film and the HDP film is formed.

여기서, 본 발명은, 선형질화막 상에 트렌치의 측벽 상부가 다른 부분보다 상대적으로 두꺼운 두께를 갖도록 H2가스를 첨가하여 H2가스가 함유된 선형산화막을 형성함으로써, 상기 선형질화막의 보호막 역할을 하여 상기 선형질화막의 손실을 방지할 수 있다.Here, according to the present invention, by the phase linear nitride film side wall upper portion of the trench to form a linear oxidized film relatively addition of H 2 gas to have a large thickness to contain the H 2 gas than the other portion, and a protective film role of the linear nitride Loss of the linear nitride film can be prevented.

또한, 상기 선형질화막의 손실을 방지함으로써, 그에 따른 GOI 페일을 방지할 수 있다.In addition, by preventing the loss of the linear nitride film, it is possible to prevent the GOI fail.

이상, 여기에서는 본 발명을 특정 실시예에 관련하여 도시하고 설명하였지 만, 본 발명이 그에 한정되는 것은 아니며, 이하의 특허청구의 범위는 본 발명의 정신과 분야를 이탈하지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변형될 수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 알 수 있다.Hereinbefore, the present invention has been illustrated and described with reference to specific embodiments, but the present invention is not limited thereto, and the scope of the following claims is not limited to the spirit and scope of the present invention. It will be readily apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made.

도 1a 내지 도 1g는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자의 소자분리막 형성방법을 설명하기 위한 공정별 단면도.1A to 1G are cross-sectional views illustrating processes of forming a device isolation film of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

C : 셀 영역 P : 주변 영역C: cell area P: surrounding area

100 : 반도체 기판 102 : 패드산화막100 semiconductor substrate 102 pad oxide film

104 : 패드질화막 106 : 하드마스크104: pad nitride film 106: hard mask

108 : 측벽산화막 110 : 선형질화막108: sidewall oxide film 110: linear nitride film

112 : H2가 함유된 선형산화막 114 : 제1산화막112: linear oxide film containing H 2 114: first oxide film

116 : 제2산화막 118 : 소자분리막116: second oxide film 118: device isolation film

Claims (7)

셀 영역 및 주변 영역으로 구획되고 상기 영역들 각각에 소자분리용 트렌치가 구비된 반도체 기판 상에 선형질화막을 형성하는 단계; 상기 선형질화막 상에 트렌치를 매립하도록 산화막을 증착하는 단계; 및 상기 산화막을 CMP하는 단계;를 포함하는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법에 있어서, Forming a linear nitride film on a semiconductor substrate partitioned into a cell region and a peripheral region and each of which has trenches for device isolation; Depositing an oxide film to fill a trench on the linear nitride film; In the method of forming a device isolation film of a semiconductor device comprising; 상기 산화막을 증착하는 단계는, HDP-CVD 공정으로 진행하되, 셀 영역 및 주변 영역에서의 선형질화막 손실이 억제되도록 상기 선형질화막 상에 H2가스를 첨가하여 선형산화막을 우선 증착한 후에, HDP-CVD 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법. The depositing of the oxide film may be performed in an HDP-CVD process, in which the linear oxide film is first deposited by adding H 2 gas on the linear nitride film so as to suppress the loss of the linear nitride film in the cell region and the peripheral region. A method of forming a device isolation film for a semiconductor device, comprising performing a CVD process. 청구항 2은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 2 has been abandoned due to the setting registration fee. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 H2가스는 150∼300sccm의 유량으로 첨가시키는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법.And H 2 gas is added at a flow rate of 150 to 300 sccm. 청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 3 was abandoned when the setup registration fee was paid. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 선형산화막은 상기 트렌치의 측벽 상부에서 100∼400Å의 두께를 갖도록 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법.And the linear oxide film is formed to have a thickness of 100 to 400 micrometers on the upper sidewall of the trench. 셀 영역 및 주변 영역으로 구획되고 상기 영역들 각각에 트렌치가 구비된 반도체 기판 상에 선형질화막을 형성하는 단계; 상기 선형질화막 상에 트렌치를 매립하도록 산화막을 증착하는 단계; 및 상기 산화막을 CMP하는 단계;를 포함하는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법에 있어서, Forming a linear nitride film on a semiconductor substrate partitioned into a cell region and a peripheral region and having trenches in each of the regions; Depositing an oxide film to fill a trench on the linear nitride film; In the method of forming a device isolation film of a semiconductor device comprising; 상기 산화막을 증착하는 단계는, Depositing the oxide film, SOD 방식에 따라 제1산화막을 증착하는 단계; Depositing a first oxide film according to an SOD method; 상기 제1산화막을 리세스시키는 단계; 및 Recessing the first oxide film; And 상기 리세스된 제1산화막 상에 HDP-CVD 공정에 따라 제2산화막을 증착하는 단계;를 포함하고, And depositing a second oxide film on the recessed first oxide film by an HDP-CVD process. 상기 HDP-CVD 공정에 따라 제2산화막을 증착하는 단계는, 셀 영역 및 주변 영역에서의 선형질화막 손실이 억제되도록 상기 선형질화막 상에 H2가스를 첨가하여 선형산화막을 우선 증착한 후에, HDP-CVD 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법. In the depositing of the second oxide film according to the HDP-CVD process, the linear oxide film is first deposited by adding H 2 gas on the linear nitride film so that the loss of the linear nitride film in the cell region and the peripheral region is suppressed. A method of forming a device isolation film for a semiconductor device, comprising performing a CVD process. 청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 5 was abandoned upon payment of a set-up fee. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 H2가스는 150∼300sccm의 유량으로 첨가시키는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법.And H 2 gas is added at a flow rate of 150 to 300 sccm. 청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 6 was abandoned when the registration fee was paid. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 선형산화막은 상기 트렌치의 측벽 상부에서 100∼400Å의 두께를 갖도록 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법.And the linear oxide film is formed to have a thickness of 100 to 400 micrometers on the upper sidewall of the trench. 셀 영역 및 주변 영역으로 구획되고 상기 영역들 각각에 트렌치가 구비된 반도체 기판 상에 선형질화막을 형성하는 단계; 상기 선형질화막 상에 트렌치를 매립하도록 산화막을 증착하는 단계; 및 상기 산화막을 CMP하는 단계;를 포함하는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법에 있어서, Forming a linear nitride film on a semiconductor substrate partitioned into a cell region and a peripheral region and having trenches in each of the regions; Depositing an oxide film to fill a trench on the linear nitride film; In the method of forming a device isolation film of a semiconductor device comprising; 상기 산화막을 증착하는 단계는, Depositing the oxide film, SOD 방식에 따라 제1산화막을 증착하는 단계; Depositing a first oxide film according to an SOD method; 상기 제1산화막을 리세스시키는 단계; 및 Recessing the first oxide film; And 상기 리세스된 제1산화막 상에 HDP-CVD 공정에 따라 제2산화막을 증착하는 단계;를 포함하고, And depositing a second oxide film on the recessed first oxide film by an HDP-CVD process. 상기 HDP-CVD 공정에 따라 제2산화막을 증착하는 단계는, 셀 영역 및 주변 영역에서의 선형질화막 손실이 억제되도록 상기 HDP-CVD 공정 중에 인시튜(Insitu) 방식으로 H2가스를 첨가하여 선형산화막을 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 소자분리막 형성방법. In the depositing of the second oxide film according to the HDP-CVD process, the linear oxide film is added by adding H 2 gas in an insitu method during the HDP-CVD process so that the loss of the linear nitride film in the cell region and the peripheral region is suppressed. Device isolation film forming method of a semiconductor device, characterized in that for forming.
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