KR101063291B1 - Specimen mount for optical measuring instrument and optical measuring instrument having same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 투명기판을 손상시키지 않으면서도 투명기판의 하면에서 반사된 광이 검출기에 수광됨에 따라 측정결과가 부정확해지게 되는 것을 방지할 수 있도록 구조가 개선된 광학 측정기용 시편 장착대 및 이를 구비한 광학 측정기에 관한 것이다. 본 발명에 따른 광학 측정기용 시편 장착대는 시편이 안착되는 안착면이 형성되어 있는 안착부재와, 시편의 굴절률과 기준오차 이내의 굴절률을 가지는 유체를 시편의 하면으로 공급하는 유체공급수단을 포함한다.The present invention provides a specimen mounting plate for an optical measuring device having an improved structure so as to prevent the measurement result from being inaccurate as the light reflected from the lower surface of the transparent substrate is received by the detector without damaging the transparent substrate. An optical meter. Specimens mounting plate for an optical measuring device according to the present invention includes a seating member is formed with a mounting surface on which the specimen is seated, and a fluid supply means for supplying a fluid having a refractive index within the reference error and the refractive index of the specimen to the lower surface of the specimen.

광학, 시편, 굴절률, 유체 Optical, specimen, refractive, fluid

Description

광학 측정기용 시편 장착대 및 이를 구비한 광학 측정기{A sample holder of optical measuring device and optical measuring device having the same}Specimen mount for optical measuring device and optical measuring device having same {A sample holder of optical measuring device and optical measuring device having the same}

본 발명은 광학 측정기용 시편 장착대 및 이를 구비한 광학 측정기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 투명 시편의 하면에서 광이 반사되는 것을 방지하는 광학 측정기용 시편 장착대 및 이를 구비한 광학 측정기에 관한 것이다.The present invention relates to a specimen mount for an optical meter and an optical meter having the same, and more particularly, to a specimen mount for an optical meter and an optical meter having the same to prevent the reflection of light from the lower surface of the transparent specimen. .

타원해석기(ellipsometer)나 반사율 측정기(reflectometer) 등은 빛의 반사를 이용하여 기판상에 형성된 박막의 광특성과 두께를 측정하는 광학 측정기로서, 도 1에는 종래의 타원해석기의 구성도가 도시되어 있다.An ellipsometer or reflectometer is an optical measuring device for measuring optical characteristics and thickness of a thin film formed on a substrate using light reflection, and FIG. 1 shows a configuration of a conventional ellipsometer. .

도 1을 참조하면, 종래의 타원해석기(9)는 광원(1)과, 편광발생기(2)와, 시편 장착대(3)와, 편광분석기(4)와, 광검출기(5)를 포함한다. 광원(1)에서 조사된 광은 편광발생기(2)를 통과하면서 특정 편광상태로 편광되고, 기판(g)상에 형성된 박막에서 반사되면서 편광상태가 변하게 된다. 이후, 반사된 광은 편광분석기(4)를 통과한 후 광검출기(5)에 수광되며, 광검출기(5)에서 편광상태의 변화량을 분석함으로써, 박막의 광특성 및 두께에 관한 정보를 알아내게 된다.Referring to FIG. 1, the conventional elliptical analyzer 9 includes a light source 1, a polarization generator 2, a specimen mounting table 3, a polarization analyzer 4, and a photodetector 5. . The light irradiated from the light source 1 is polarized to a specific polarization state while passing through the polarization generator 2, and the polarization state is changed while being reflected from a thin film formed on the substrate g. Thereafter, the reflected light is received by the photodetector 5 after passing through the polarization analyzer 4, and by analyzing the amount of change in the polarization state in the photodetector 5, to find information about the optical properties and thickness of the thin film do.

하지만, 종래의 타원해석기(9)의 경우, 유리와 같이 투명기판상에 형성된 박 막의 광특성 및 두께에 관한 정보를 파악하는데에 문제가 있었다. 즉, 도 1에 점선(b)으로 도시된 바와 같이, 광이 박막에서 반사될 때 일부의 광은 투명기판을 통과하여 투명기판의 하면에서 반사된 후, 박막에서 반사된 광(a)과 나란히 진행하여 광검출기에서 수광되게 된다. 이때, 일반적으로 유리기판(g)은 박막에 비해 훨씬 더 두꺼워서 두께 및 밀도의 균질도 등이 나쁘며, 따라서 투명기판(g)을 통과한 후 반사되는 광은 결맞음(coherence)이 없어지게 된다. 그리고, 이와 같이 박막에서 반사된 결맞음이 있는 광과, 투명기판(g)의 하면에서 반사된 결맞음이 없는 광이 섞여 검출이 되면 원하는 정보를 찾을 수 없기 때문이다.However, in the case of the conventional elliptical analyzer 9, there is a problem in grasping information on the optical properties and thickness of the thin film formed on the transparent substrate such as glass. That is, as shown by a dotted line (b) in FIG. 1, when light is reflected from the thin film, part of the light passes through the transparent substrate and is reflected from the lower surface of the transparent substrate, and then parallel with the light (a) reflected from the thin film. It proceeds and is received by the photodetector. At this time, the glass substrate (g) is generally much thicker than the thin film, so that the thickness and density homogeneity is bad, so that the light reflected after passing through the transparent substrate (g) is no coherence. In this way, if the light with the coherence reflected from the thin film and the light without the coherence reflected from the lower surface of the transparent substrate g are mixed, the desired information cannot be found.

한편, 상기한 문제를 해결하기 위하여, 종래의 경우 도 2에 도시된 바와 같이 유리기판(g')의 하면을 긁어 요철을 형성하여, 유리기판(g')을 통과한 광을 난반사 시킴으로써 이 광이 광검출기에서 수광되는 것을 방지하였다.On the other hand, in order to solve the above problem, as shown in FIG. 2, the surface of the glass substrate g 'is scratched to form an unevenness, and this light is diffused by the diffuse reflection of the light passing through the glass substrate g'. The light received by this photodetector was prevented.

하지만, 상기한 방식의 경우에는, a) 기판을 손상시켜야 한다는 문제점, b) 수정기판 등은 매우 경도가 높아서 긁는데 많은 시간과 노력이 소요된다는 문제점, c) 대형기판의 경우에는 넓은 범위의 면적을 다 긁기 위해 많은 시간과 노력이 소요된다는 문제점, d) 궁긍적으로 빛을 통과시켜야 하는 LCD나 태양전지 등의 제품에는 사용할 수 없다는 문제점 등이 있다.However, in the above-described method, a) the problem of damaging the substrate, b) the crystal substrate is very hard and takes a lot of time and effort to scratch, c) in the case of a large substrate a large range of area There is a problem that it takes a lot of time and effort to scratch everything, and d) can not be used in products such as LCD or solar cells that ultimately need to pass light.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 투명기판을 손상시키지 않으면서도 투명기판의 하면에서 반사된 광이 검출기에 수광됨에 따라 측정결과가 부정확해지게 되는 것을 방지할 수 있도록 구조가 개선된 광학 측정기용 시편 장착대 및 이를 구비한 광학 측정기를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to prevent the measurement result from being inaccurate as the light reflected from the lower surface of the transparent substrate is received by the detector without damaging the transparent substrate. It is to provide a specimen mount for an optical measuring device with an improved structure so that the optical measuring device having the same.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 광학 측정기는 시편이 안착되는 안착면이 형성되어 있는 안착부재와, 상기 시편의 굴절률과 표준오차범위 이내의 굴절률을 가지는 유체를 상기 시편의 하면으로 공급하는 유체공급수단을 가지는 광학 측정기용 시편 장착대를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the optical measuring device according to the present invention supplies a seating member is formed with a seating surface on which the specimen is seated, and a fluid having a refractive index within the standard error range and the refractive index of the specimen to the lower surface of the specimen And a specimen mount for an optical meter having a fluid supply means.

여기서, 상기 광학 측정기용 시편 장착대의 상기 안착부재에는 상기 안착면과 타측면을 관통하는 유입공이 형성되어 있으며, 상기 유체공급수단은 상기 유입공에 연결되어 상기 유입공으로 상기 유체를 공급하는 유체공급관을 포함하는 것이 바람직하다.Here, the seating member of the specimen mounting plate for the optical measuring device is formed with an inlet hole penetrating the seating surface and the other side, the fluid supply means is connected to the inlet hole fluid supply pipe for supplying the fluid to the inlet hole It is preferable to include.

본 발명에 따르면 상기 안착면에는 하방으로 오목하게 형성되며 상기 유입공과 연통되는 유출홈부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.According to the present invention, it is preferable that the seating surface is recessed downwardly and is formed with an outlet groove communicating with the inlet hole.

또한, 본 발명에 따르면 상기 유입공은, 상기 안착면으로부터 하방으로 형성되되 그 바닥면이 상기 안착면에 대하여 경사지게 형성되는 수직공간부와, 상기 수직공간부로부터 상기 타측면까지 형성되는 연결공간부를 포함하는 것이 바람직하 다.In addition, according to the present invention, the inlet hole is formed from the seating surface downwards, the bottom surface is formed vertically inclined with respect to the seating surface, and the connecting space portion formed from the vertical space portion to the other side surface It is preferable to include.

또한, 본 발명에 따르면 상기 유체는 물에 설탕 및 소금 중 적어도 하나를 용해시킨 수용액 또는 알코올에 벤조티아졸(Benzothiazole)을 섞은 용액인 것이 바람직하다.In addition, according to the present invention, the fluid is preferably an aqueous solution in which at least one of sugar and salt is dissolved in water or a solution in which benzothiazole is mixed with alcohol.

상기한 구성의 본 발명에 따르면, 기판을 손상시키지 않으면서도 시편의 하면에서 반사된 광이 광검출부에서 수광되는 것을 방지함으로써, 용이하고 정확하게 시편의 특성을 측정할 수 있다. According to the present invention having the above-described configuration, by preventing the light reflected from the lower surface of the specimen from being received by the photodetector without damaging the substrate, the characteristics of the specimen can be easily and accurately measured.

광학 측정기는 시편의 특성을 측정하기 위한 것으로, 시편으로 조사된 광과 시편에서 반사된 광의 편광상태 변화를 분석함으로써 시편의 특성을 측정하는 장치이다. 여기서, 시편이란 기판과 이 기판의 상면에 형성된 박막을 의미하며, 시편의 특징이란 기판상에 형성된 박막의 광학적 성질 및 박막의 두께 등을 말한다. 이러한, 광학 측정기의 대표적인 예로, 타원해석기(ellipsometer)와 반사율 측정기(reflectometer) 등이 있다. 본 발명의 주된 특징은, 상기한 타원해석기 및 반사율 측정기 등과 같은 광학 측정기에 공통적으로 구비되는 광학 측정기용 시편 장착대에 있는바, 이하에서는 설명의 편의를 위해 광학 측정기 중 하나인 타원해석기를 예로서 설명하기로 한다. 다만, 본 발명에서 광학 측정기의 범위는 타원해석기에만 국한하는 것이 아니라, 시편으로 조사된 광과 시편에서 반사된 광의 편광상태 변화를 분석함으로써 시편의 특성을 측정하는 모든 광학 측정기에 해당한다고 할 것이다.An optical measuring device is a device for measuring the characteristics of a specimen by analyzing a change in the polarization state of the light irradiated onto the specimen and the light reflected from the specimen. Here, the specimen refers to the substrate and the thin film formed on the upper surface of the substrate, the characteristics of the specimen refers to the optical properties of the thin film formed on the substrate and the thickness of the thin film. Representative examples of such optical measuring instruments include ellipsometers and reflectometers. The main feature of the present invention is a specimen mount for an optical measuring instrument, which is commonly provided in an optical measuring instrument such as the elliptical analyzer and the reflectance measuring instrument. Hereinafter, an elliptical analyzer, which is one of the optical measuring instruments, is used for convenience of description. Let's explain. However, the scope of the optical measuring device in the present invention is not limited to the elliptical analyzer, but will correspond to all optical measuring devices for measuring the characteristics of the specimen by analyzing the change in the polarization state of the light irradiated from the specimen and the light reflected from the specimen.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 타원해석기의 구성도이며, 도 4는 도 3의 A부분의 확대도이다.Figure 3 is a block diagram of an elliptical analyzer according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is an enlarged view of portion A of FIG.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 타원해석기(100)는 광원(10)과, 편광발생기(20)와, 편광분석기(30)와, 광검출기(40)와, 연산부(미도시)와, 광학 측정기용 시편 장착대(70)를 포함한다.3 and 4, the elliptic analyzer 100 according to the present embodiment includes a light source 10, a polarization generator 20, a polarization analyzer 30, a photodetector 40, and an operation unit (not shown). C) and a specimen mount 70 for an optical meter.

광원(10)은 기판(g)을 향하여 광을 조사한다. 편광발생기(20)는 광원(10)에서 조사된 광의 진행경로 상에 배치되며, 광원(10)에서 조사된 광을 편광시킨다. 편광분석기(30)는 기판(g)상에 형성된 박막에서 반사된 광의 진행경로에 배치되며, 반사광 중 특정 방향으로의 방향성을 가지는 광 성분만을 통과시킨다. 광검출기(40)는 입사되는 반사광의 세기를 측정하는 것으로, CCD(charge coupled device)나 포토 다이오드(photodiode) 등 다양한 종류의 것이 채용될 수 있다. 광검출기(40)는 입사되는 반사광의 세기를 측정하고, 이에 대응되는 신호를 연산부(미도시)로 출력한다. 그리고, 연산부는 광검출기(40)에서 출력된 신호를 수신하고, 이를 이용하여 박막의 광학적 성질이나 두께 등을 산출한다. 상기한 광원(10), 편광발생기(20), 편광분석기(30), 광검출기(40) 및 연산부는 공지의 구성이므로, 더 이상의 설명은 생략한다.The light source 10 irradiates light toward the substrate g. The polarization generator 20 is disposed on a traveling path of the light irradiated from the light source 10 and polarizes the light irradiated from the light source 10. The polarization analyzer 30 is disposed in a traveling path of the light reflected from the thin film formed on the substrate g, and passes only the light component having directivity in a specific direction among the reflected light. The photodetector 40 measures the intensity of the incident reflected light, and various types such as a charge coupled device (CCD) and a photodiode may be employed. The photodetector 40 measures the intensity of the incident light and outputs a signal corresponding thereto to an operation unit (not shown). The calculator receives a signal output from the photodetector 40, and calculates an optical property, a thickness, and the like of the thin film. Since the light source 10, the polarization generator 20, the polarization analyzer 30, the photodetector 40, and the calculation unit are well-known configurations, the description thereof will be omitted.

광학 측정기용 시편 장착대(70)는 시편이 안착되는 곳으로, 안착부재(50)와, 유체공급수단을 포함한다. Specimen mount 70 for the optical measuring device is a place where the specimen is mounted, and includes a seating member 50, and the fluid supply means.

안착부재(50)는 평판 형상으로 형성되며, 안착부재의 상면, 즉 안착면(51)에 기판(g)이 안착된다. 안착부재(50)에는 유입공(53)과 유출홈부(54)가 형성되어 있다. 유입공(53)은 안착면(51)과 타측면을 관통하며 형성되는데, 본 실시예의 경우 도 3에 도시된 바와 같이 안착면(51)과 안착부재의 측면(52)을 관통하며 형성된다. 보다 구체적으로, 도 4에 확대되어 도시된 바와 같이, 유입공(53)은 수직공간부(531)와, 연결공간부(532)로 이루어진다. 수직공간부(531)는 안착면(51)으로부터 하방으로 오목하게 형성된다. 이때, 수직공간부의 바닥면(531a)은 안착면(51)에 대하여 경사지게 형성되는데, 이는 후술하는 바와 같이 수직공간부(531)로 입사된 광의 반사경로를 변경하기 위한 것이다. 연결공간부(532)는 수직공간부(531)로부터 안착부재의 측면(532)까지 관통 형성된다. 유출홈부(54)는 안착부재의 안착면(51)에 대하여 하방으로 오목하게 형성되며, 유입공(53)으로부터 안착부재의 측면(52)까지 길게 형성되어 유입공(53)과 연통된다. 한편, 안착부재(50)는 안착면의 기울기 및 높이의 조절이 가능하도록, 구동유닛(미도시)에 연결된다.The mounting member 50 is formed in a flat plate shape, and the substrate g is mounted on the upper surface of the mounting member, that is, the mounting surface 51. The seating member 50 is formed with an inlet hole 53 and an outlet groove 54. Inlet hole 53 is formed through the seating surface 51 and the other side, in the case of this embodiment is formed through the seating surface 51 and the side surface 52 of the seating member as shown in FIG. More specifically, as shown enlarged in FIG. 4, the inflow hole 53 includes a vertical space portion 531 and a connection space portion 532. The vertical space portion 531 is recessed downward from the seating surface 51. At this time, the bottom surface 531a of the vertical space portion is formed to be inclined with respect to the seating surface 51, which is to change the reflection path of the light incident on the vertical space portion 531 as described later. The connection space portion 532 is formed to penetrate from the vertical space portion 531 to the side surface 532 of the seating member. Outflow groove 54 is formed concave downward with respect to the seating surface 51 of the seating member, is formed long from the inlet hole 53 to the side surface 52 of the seating member is in communication with the inlet hole 53. On the other hand, the seating member 50 is connected to the drive unit (not shown) to enable adjustment of the inclination and height of the seating surface.

유체공급수단은 시편의 하면, 즉 기판(g)의 하면으로 기판(g)의 굴절률과 기준오차 이내의 굴절률을 가지는 유체를 공급하기 위한 것으로, 이는 도 4에 점선으로 도시된 바와 같이 기판을 투과한 광(d)이 기판(g)의 하면에서 반사된 후 광검출기에 수광되는 것을 방지하기 위한 것이다. 본 실시예의 경우 유체공급수단은 유체공급관(60)을 포함한다. 유체공급관(60)은 안착부재의 측면에 결합되어 유입공(53)과 연통되며, 유입공(53)으로 유체를 공급한다. 이때, 공급되는 유체는 시편의 굴절률, 보다 정확하게는 기판(g)의 굴절률과 기준오차 이내의 굴절률을 가진다. 이때, 기준오차는 사용자에 의해 임의로 정해질 수 있으나, 최대한 0에 가까 운 것이 바람직하다. 즉, 유체의 굴절률은 기판(g)의 굴절률과 동일한 것이 바람직하다. 이는, 광이 굴절률이 서로 다른 두 매질의 경계면을 통과할 때 그 경계면(광학적 계면)에서 반사되게 되는데, 이때 두 매질의 굴절률의 차이가 작을수록, 반사도 작게 일어나기 때문이며, 이상적으로 두 매질의 굴절률이 동일한 경우에는 광학적 계면이 사라져 반사가 일어나지 않기 때문이다. The fluid supply means is for supplying a fluid having a refractive index within the reference error and the refractive index of the substrate g to the lower surface of the specimen, that is, the substrate g, which is transmitted through the substrate as shown by a dotted line in FIG. 4. This is to prevent the light d from being received by the photodetector after being reflected from the lower surface of the substrate g. In the present embodiment, the fluid supply means includes a fluid supply pipe 60. The fluid supply pipe 60 is coupled to the side of the seating member to communicate with the inlet hole 53, and supplies the fluid to the inlet hole 53. At this time, the fluid supplied has a refractive index of the specimen, more precisely, the refractive index of the substrate g and a refractive index within a reference error. In this case, the reference error may be arbitrarily determined by the user, but preferably as close to zero as possible. That is, the refractive index of the fluid is preferably the same as the refractive index of the substrate g. This is because light is reflected at the interface (optical interface) when passing through the interface between two media having different refractive indices, where the smaller the difference in refractive index between the two media, the smaller the reflection occurs. In the same case, the optical interface disappears and reflection does not occur.

한편, 상기 유체는 물에 설탕 또는 소금 등을 적당량 용해시키면서 굴절률을 측정하여 기판의 굴절률과 동일하게 조절할 수 있다. 또한, 후술하는 바와 같이, 유체가 기판(g)의 하면에 접촉되게 되는데, 기판(g)의 특성상 유기용매가 접촉되는 것이 더 나은 경우에는, 알코올에 벤조티아졸(Benzothiazole) 등을 섞어서 유체의 굴절률을 조절할 수 있다.On the other hand, the fluid can be adjusted to the same as the refractive index of the substrate by measuring the refractive index while dissolving sugar or salt in an appropriate amount. In addition, as will be described later, the fluid is brought into contact with the lower surface of the substrate g. When the organic solvent is better in contact with the nature of the substrate g, benzothiazole or the like may be mixed with alcohol to prepare the fluid. The refractive index can be adjusted.

그리고, 상기한 유체가 기판(g)의 하면으로 공급되어 기판과 접촉되면, 기판을 통과한 광이 기판의 하면에서 반사되는 것이 방지된다. 즉, 시편에 조사된 광의 일부는 박막 및 기판을 통과하여 기판의 하면에 도달하게 되는데, 종래의 경우에는 기판과 시편 장착대의 굴절률이 서로 상이하였으므로 기판 하면이 광학적 계면이 되고, 따라서 도 4의 점선(d)으로 도시된 바와 같이 기판의 하면에서 광이 반사되었다. 하지만, 본 실시예의 경우에는 기판(g)의 하면으로 유체가 공급되고, 이 유체의 굴절률이 기판의 굴절률과 동일하므로, 기판(g)과 유체 사이의 광학적 계면이 없어지게 된다. 따라서, 기판(g)을 통과한 광은 도 4의 화살표(c)와 같이 진행하게 되며, 이후 수직공간부의 바닥면(531a)에서 반사되어 그 진행경로가 박막에서 반사된 광(e)의 진행경로와 전혀 상이해지게 되며, 그 결과 이 광(기판을 통 과한 광)(c)이 광검출기(40)에서 수광되는 것이 방지된다. When the fluid is supplied to the lower surface of the substrate g and contacts the substrate, the light passing through the substrate is prevented from being reflected from the lower surface of the substrate. That is, a part of the light irradiated onto the specimen passes through the thin film and the substrate to reach the lower surface of the substrate. In the conventional case, since the refractive indices of the substrate and the specimen mounting table are different from each other, the lower surface of the substrate becomes an optical interface, and thus the dotted line of FIG. 4. As shown by (d), light was reflected at the lower surface of the substrate. However, in the present embodiment, the fluid is supplied to the lower surface of the substrate g, and since the refractive index of the fluid is the same as the refractive index of the substrate, the optical interface between the substrate g and the fluid is lost. Accordingly, the light passing through the substrate g proceeds as shown by the arrow c of FIG. 4, and is then reflected by the bottom surface 531a of the vertical space portion, and the traveling path of the light e reflected by the thin film. The path is completely different, and as a result, the light (light passing through the substrate) c is prevented from being received by the photodetector 40.

이하, 상술한 바와 같이 구성된 타원해석기의 사용과정을 설명한다. 먼저, 측정하고자 하는 시편을 안착부재(50)에 안착시킨 후, 기판의 하면까지 유체가 차오르도록 유체공급관(60)을 통해 유입공으로 유체를 공급한다. 이때, 유입공 내에 있던 공기는, 유체가 차오름에 따라 유출홈부(54)를 통해 외부로 배출된다. 이 상태에서 시편으로 광을 조사하면, 시편의 표면(박막)에서 반사된 광만 광검출기로 수광되며, 시편을 통과한 광은 광검출기에서 수광되지 않는다. 이후, 광검출기에서 수광된 광의 편광상태를 분석하여, 박막의 광특성이나 두께 등을 측정한다.Hereinafter, the use process of the elliptical analyzer configured as described above will be described. First, the specimen to be measured is seated on the seating member 50, and then the fluid is supplied to the inlet hole through the fluid supply pipe 60 to fill the fluid to the lower surface of the substrate. At this time, the air in the inflow hole is discharged to the outside through the outflow groove 54 as the fluid fills up. When light is irradiated onto the specimen in this state, only the light reflected from the surface (thin film) of the specimen is received by the photodetector, and the light passing through the specimen is not received by the photodetector. Thereafter, the polarization state of the light received by the photodetector is analyzed to measure the optical properties, the thickness, and the like of the thin film.

상술한 바와 같이, 본 실시예에 따르면 기판의 하면으로 기판과 동일한 굴절률을 가지는 유체를 공급하여 광학적 계면을 없앰으로써, 기판의 하면에서 반사된 광이 광검출부에서 수광되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 종래와 같이 기판을 손상시키지 않으면서도, 용이하고 정확하게 시편의 특성을 측정할 수 있다. As described above, according to this embodiment, by supplying a fluid having the same refractive index as the substrate to the lower surface of the substrate to eliminate the optical interface, it is possible to prevent the light reflected from the lower surface of the substrate is received by the photodetector. Therefore, the characteristics of the specimen can be measured easily and accurately without damaging the substrate as in the prior art.

또한, 안착부재의 상면에 형성된 유출홈부(54)를 통해 유입공에 있던 공기가 빠져나가게 된다. 따라서, 유체의 수위가 상승됨에 따라 유입공에 있던 공기가 압축되어 시편을 밀어올림에 따라 시편의 위치가 변경되는 등의 문제가 방지된다.In addition, through the outflow groove 54 formed on the upper surface of the seating member, the air in the inlet hole escapes. Therefore, as the level of the fluid is raised, the air in the inlet is compressed to prevent the problem of changing the position of the specimen as the specimen is pushed up.

또한, 수직공간부의 바닥면(531a)이 안착면(51)에 대하여 경사지게 형성되어 있으므로, 수직공간부의 바닥면(531a)에서 반사된 광(c)의 진행경로가 박막에서 반사된 광(e)의 진행경로와 전혀 상이하게 되며, 그 결과 기판을 통과한 광(c)이 광검출기에서 수광되는 것을 더욱더 효율적으로 방지할 수 있다.In addition, since the bottom surface 531a of the vertical space portion is formed to be inclined with respect to the seating surface 51, the traveling path of the light c reflected from the bottom surface 531a of the vertical space portion is reflected by the thin film (e). It is completely different from the traveling path of, and as a result, the light c passed through the substrate can be more effectively prevented from being received by the photodetector.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발 명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.Although the preferred embodiments of the present invention have been shown and described above, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and the present invention belongs to the present invention without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. Various modifications can be made by those skilled in the art, and such changes are within the scope of the claims.

도 1 및 도 2는 종래의 타원해석기의 구성도이다.1 and 2 is a block diagram of a conventional elliptical analyzer.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 타원해석기의 구성도이다.Figure 3 is a block diagram of an elliptical analyzer according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 A부분의 확대도이다.4 is an enlarged view of a portion A of FIG. 3.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100...타원해석기 10...광원100.Elliptical analyzer 10.Light source

20...편광발생기 30...편광분석기20 ... polarization generator 30 ... polarization analyzer

40...광검출기 50...안착부재40 photodetector 50 seating member

60...유체공급관 70...광학 측정기용 시편 장착대60 Fluid supply tube 70 Specimen mount for optical measuring instrument

Claims (6)

시편이 안착되는 안착면이 형성되어 있는 안착부재; 및A seating member having a seating surface on which the specimen is seated; And 상기 시편의 굴절률과 기준오차 이내의 굴절률을 가지는 유체를 상기 시편의 하면으로 공급하는 유체공급수단;을 포함하며,And fluid supply means for supplying a fluid having a refractive index within the specimen and a refractive index within a reference error to the lower surface of the specimen. 상기 안착부재에는, 상기 안착면으로부터 하방으로 형성되되 그 바닥면이 상기 안착면에 대하여 경사지게 형성되는 수직공간부와, 상기 수직공간부로부터 상기 안착부재의 타측면까지 형성되는 연결공간부를 포함하는 유입공이 형성되어 있으며,The seating member includes a vertical space portion formed downward from the seating surface, the bottom surface of which is inclined with respect to the seating surface, and a connection space portion formed from the vertical space portion to the other side of the seating member. A ball is formed, 상기 유체공급수단은 상기 유입공에 연결되어 상기 유입공으로 상기 유체를 공급하는 유체공급관을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 측정기용 시편 장착대.The fluid supply means is connected to the inlet hole, the specimen mounting plate for optical measuring device, characterized in that it comprises a fluid supply pipe for supplying the fluid to the inlet. 삭제delete 제1항에 있어서The method of claim 1 상기 안착면에는 하방으로 오목하게 형성되며 상기 유입공과 연통되는 유출홈부가 형성되어 있는 광학 측정기용 시편 장착대.The mounting surface for the optical measuring device is formed concave downward in the seating surface is formed with an outlet groove communicating with the inlet hole. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유체는, 물에 설탕 및 소금 중 적어도 하나를 용해시킨 수용액 또는 알코올에 벤조티아졸(Benzothiazole)을 섞은 용액인 광학 측정기용 시편 장착대.The fluid is a specimen mount for an optical measuring instrument is a solution in which at least one of sugar and salt dissolved in water or a mixture of benzothiazole (Benzothiazole) in alcohol. 제1항, 제3항 및 제5항 중 어느 한 항에 기재된 광학 측정기용 시편 장착대를 포함하며, 상기 시편 장착대에 안착된 시편으로 광을 조사한 후 상기 시편에서 반사된 광을 검출하여 분석하는 광학 측정기.Claims 1, 3, and 5, wherein the specimen mounting for the optical measuring device according to any one of the claims, and after irradiating the light to the specimen seated on the specimen mounting and detecting the light reflected from the specimen Optical measuring instrument.
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