KR101050455B1 - Precision lifting device - Google Patents

Precision lifting device Download PDF

Info

Publication number
KR101050455B1
KR101050455B1 KR1020090127166A KR20090127166A KR101050455B1 KR 101050455 B1 KR101050455 B1 KR 101050455B1 KR 1020090127166 A KR1020090127166 A KR 1020090127166A KR 20090127166 A KR20090127166 A KR 20090127166A KR 101050455 B1 KR101050455 B1 KR 101050455B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
air
rail
plate body
guide
bearing
Prior art date
Application number
KR1020090127166A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20110070362A (en
Inventor
이춘무
Original Assignee
이춘무
(주)트리엔
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이춘무, (주)트리엔 filed Critical 이춘무
Priority to KR1020090127166A priority Critical patent/KR101050455B1/en
Publication of KR20110070362A publication Critical patent/KR20110070362A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101050455B1 publication Critical patent/KR101050455B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
    • B66F7/00—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts
    • B66F7/10—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts with platforms supported directly by jacks
    • B66F7/16—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts with platforms supported directly by jacks by one or more hydraulic or pneumatic jacks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
    • B66F7/00—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts
    • B66F7/28—Constructional details, e.g. end stops, pivoting supporting members, sliding runners adjustable to load dimensions
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings

Abstract

본 발명은 승강판체가 상·하 방향으로 정밀하게 이동시키기 위해서 가이드부와 구동부, 구동실린더 및 승강부로 구성되어, 승강부의 승강판체가 전·후방으로 이동되는 구동부의 경사진 제2에어레일에 의해서 정밀하게 이동되고, 에어베어링을 통해서 분사되는 고압의 공기에 의해서 그 에어베어링과 에어레일 사이에 공기층이 형성되어, 구동부 및 승강부가 자연스럽게 이동되되, 에어레일과 에어베어링의 마찰에 의한 오작동이 방지되는 효과가 있다.The present invention comprises a guide part, a driving part, a driving cylinder, and a lifting part to move the lifting plate body precisely in the up and down directions, and by the inclined second air rail of the driving part in which the lifting plate body of the lifting part moves forward and backward. An air layer is formed between the air bearing and the air rail by the high pressure air that is precisely moved and injected through the air bearing, and the driving part and the lifting part are naturally moved, and the malfunction of the air rail and the air bearing is prevented from friction. It works.

그리고 구동부의 고정프레임의 내면이 가이드부에 설치된 고정가이드의 외면에 접한 상태에서 구동부가 자유롭게 이동되는바, 고압공기의 불안정한 공급에 의해서 발생하는 수직방향으로의 떨림 현상이 억제되어 보다 안정적으로 승강되는 효과가 있다.In addition, the driving part is freely moved while the inner surface of the fixing frame of the driving part is in contact with the outer surface of the fixing guide installed in the guide part. Therefore, the shaking in the vertical direction caused by the unstable supply of high pressure air is suppressed, thereby raising and raising more stably. It works.

실린더, 에어레일, 에어베어링,경사, 다공질세라믹 Cylinder, Air Rail, Air Bearing, Inclined, Porous Ceramic

Description

정밀 승강장치 {precision lifting device}Precision lifting device {precision lifting device}

본 발명은 상·하 방향으로 특정물품을 이송시키는 승강장치에 관한 것으로 더욱 상세히 설명하면, 경사면을 따라서 상·하 방향으로 정밀하게 이동되도록 가이드부와 구동부, 구동실린더 및 승강부로 구성된 정밀 승강장치에 관한 것이다.The present invention relates to a lifting device for transferring a specific article in the up and down direction, in more detail, to a precision lifting device consisting of a guide part, a driving part, a driving cylinder and a lifting part to move precisely in the up and down direction along the inclined surface. It is about.

일반적인 승강장치는 승강판체 하부에 상·하 방향으로 작동하는 에어 또는 유압 실린더가 수직방향으로 설치되어 상·하 방향으로 이동되도록 구성되고, 그 실린더의 최소 이동거리에 한정되어 상·하 방향으로 이동되는 것이다.The general elevating device is configured such that an air or hydraulic cylinder operating in the up and down direction is installed in the vertical direction and moves in the up and down direction under the lifting plate body, and is moved in the up and down direction by being limited to the minimum moving distance of the cylinder. Will be.

하지만, 종래의 승강장치는 실린더의 작동정밀도에 따라서 승강판체의 이동정밀도가 한정되는 문제점이 있다.However, the conventional lifting device has a problem that the moving precision of the lifting plate body is limited according to the operating precision of the cylinder.

이에 본 발명은 승강장치의 승강판체가 더욱 정밀하게 상·하 방향으로 이동되는 정밀 승강장치의 완성을 그 해결하고자 하는 과제로 한다.Accordingly, the present invention is to solve the problem of the completion of the precision lifting device in which the lifting plate body of the lifting device is moved in the up and down direction more precisely.

이에 본 발명은 가이드판체 상부 면의 양쪽에 세라믹재질로 형성되되, 레일홈이 형성된 제1에어레일이 설치되고, 상부 면의 네 모서리 부분에 제1에어레일과 동일하게 구성된 제3에어레일이 각각 수직설치된 가이드부와; 상기 가이드부 상부에 구비되되, 구동판체의 상부 면 한쪽 끝단에 연결구가 형성되고, 그 구동판체의 하부 면에 상기 제1에어레일과 대응하는 제1에어베어링이 설치되며, 그 구동판체의 상부 면 양쪽에 제1에어레일과 동일하게 구성된 제2에어레일이 제1에어베어링의 방향과 동일하되, 경사지게 각각 설치되어 제1에어레일을 따라서 수평방향으로 자유롭게 이동되는 구동부와; 상기 연결구에 피스톤의 끝단이 체결되어 구동부를 전·후진 시키는 구동실린더와; 상기 구동부 상부에 구비되되, 승강판체의 하부 면 양쪽에 상기 제2에어레일과 대응하는 제2에어베어링이 설치되고, 그 하부 면의 네 모서리 부분에는 상기 제3에어레일과 대응하는 제3에어베어링이 설치되어 제2에어레 일의 경사에 따라서 수직방향으로 정밀하게 이동하는 승강부로 구성함을 과제 해결 수단으로 한다.Accordingly, the present invention is formed of a ceramic material on both sides of the upper surface of the guide plate body, a first air rail formed with a rail groove is installed, the third air rail is configured on the four corners of the upper surface the same as the first air rail, respectively A guide part installed vertically; The upper portion of the guide portion is provided, the connector is formed on one end of the upper surface of the drive plate body, a first air bearing corresponding to the first air rail is installed on the lower surface of the drive plate body, the upper surface of the drive plate body A second air rail configured to be identical to the first air rail on both sides thereof in the same direction as that of the first air bearing, but each of which is installed to be inclined to move freely in a horizontal direction along the first air rail; A driving cylinder configured to fasten an end of a piston to the connector to move the driving part forward and backward; A second air bearing is provided above the driving unit, and a second air bearing corresponding to the second air rail is installed on both lower surfaces of the elevating plate body, and a third air corresponding to the third air rail is provided at four corners of the lower surface. It is a problem solving means that a bearing is installed and comprised by the lifting part which moves precisely in a vertical direction according to the inclination of a 2nd air rail.

위와 같이, 본 발명은 승강부(400)의 승강판체(410)가 전·후방으로 이동되는 구동부(200)의 경사진 제2에어레일(10b)에 의해서 상·하 방향으로 이동되는바, 그 경사진 제2에어레일(10b)의 경사각에 따라서 승강판체(410)가 정밀하게 이동되는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the elevating plate body 410 of the elevating unit 400 is moved upward and downward by the inclined second air rail 10b of the driving unit 200 which is moved forward and backward. According to the inclination angle of the inclined second air rail 10b, the elevating plate body 410 is precisely moved.

그리고 에어베어링을 통해서 분사되는 고압의 공기에 의해서 그 에어베어링과 에어레일 사이에 공기층이 형성되는바, 에어레일의 마찰이 현격히 낮아져서 구동부 및 승강부가 자연스럽게 이동되되, 에어레일과 에어베어링의 마찰에 의한 오작동이 방지되는 효과가 있다.And the air layer is formed between the air bearing and the air rail by the high pressure air injected through the air bearing, the friction of the air rail is significantly lowered, the drive and the lift is moved naturally, due to the friction between the air rail and the air bearing Malfunctions are prevented.

또한, 구동부의 고정프레임의 내면이 가이드부에 설치된 고정가이드의 외면에 접한 상태에서 구동부가 자유롭게 이동되는바, 고압공기의 불안정한 공급에 의해서 발생하는 수직방향으로의 떨림 현상이 억제되어 보다 안정적으로 영상이 촬영될 수 있는 효과가 있다.In addition, the driving unit is freely moved while the inner surface of the fixing frame of the driving unit is in contact with the outer surface of the fixing guide installed in the guide unit, and thus, the shaking in the vertical direction caused by unstable supply of high pressure air is suppressed, thereby making the image more stable. There is an effect that can be taken.

본 발명은 승강판체가 상·하 방향으로 정밀하게 이동시키기 위해서 가이드부(100)와 구동부(200), 구동실린더(300) 및 승강부(400)로 구성된 정밀 승강장치에 관한 것이다.The present invention relates to a precision lifting device composed of a guide portion 100, a drive unit 200, a drive cylinder 300 and a lifting unit 400 in order to accurately move the lifting plate body in the vertical direction.

본 발명의 실시 예를 도시한 첨부된 도면의 도 1은 본 발명의 전체를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 가이드부를 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명의 구동부와 구동실린더를 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 승강부를 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명의 에어베어링을 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명의 에어레일과 에어베어링의 작동관계를 도시한 도면이며, 도 7은 본 발명의 고정프레임과 고정가이드에 관한 도면이고, 도 8은 본 발명의 고정프레임과 고정가이드의 결합관계를 도시한 도면이며, 도 9는 본 발명의 작동관계를 도시한 도면이다.Figure 1 of the accompanying drawings showing an embodiment of the present invention is a view showing the whole of the present invention, Figure 2 is a view showing a guide of the present invention, Figure 3 shows a drive unit and a drive cylinder of the present invention. Figure 4 is a view showing the lifting unit of the present invention, Figure 5 is a view showing the air bearing of the present invention, Figure 6 is a view showing the operating relationship between the air rail and the air bearing of the present invention. 7 is a view of the fixed frame and the fixing guide of the present invention, Figure 8 is a view showing a coupling relationship between the fixed frame and the fixing guide of the present invention, Figure 9 is a view showing the operating relationship of the present invention. .

상기에서와 같이 본 발명은 크게 네 개의 구성요소들로 구성되는데, 가이드판체(110) 상부 면의 양쪽에 세라믹재질로 형성되되, 레일홈(11)이 형성된 제1에어레일(10a)이 설치되고, 상부 면의 네 모서리 부분에 제1에어레일(10a)과 동일하게 구성된 제3에어레일(10c)이 각각 수직설치된 가이드부(100)와; 상기 가이드부(100) 상부에 구비되되, 구동판체(210)의 상부 면 한쪽 끝단에 연결구(220)가 형성되고, 그 구동판체(210)의 하부 면에 상기 제1에어레일(10a)과 대응하는 제1에어베어링(20a)이 설치되며, 그 구동판체(210)의 상부 면 양쪽에 제1에어레일(10a)과 동일하게 구성된 제2에어레일(10b)이 제1에어베어링(20a)의 방향과 동일하되, 경사지게 각각 설치되어 제1에어레일(10a)을 따라서 수평방향으로 자유롭게 이동되는 구동부(200)와; 상기 연결구(220)에 피스톤(310)의 끝단이 체결되어 구동부(200)를 전·후진 시키는 구동실린더(300)와; 상기 구동부(200) 상부에 구비되되, 승강판체(410)의 하부 면 양쪽에 상기 제2에어레일(10b)과 대응하는 제2에어베어링(20b)이 설치되고, 그 하부 면의 네 모서리 부분에는 상기 제3에어레일(10c)과 대응하는 제3에어베어링(20c)이 설치되어 제2에어레일(10b)의 경사에 따라서 수직방향으로 정밀하게 이동하는 승강부(400)로 구성된다.As described above, the present invention consists of four components, which are formed of ceramic materials on both sides of the upper surface of the guide plate body 110, and the first air rail 10a having the rail grooves 11 formed thereon is installed. A guide part 100 having vertically installed third air rails 10c configured to be identical to the first air rails 10a at four corners of the upper surface; It is provided on the guide portion 100, the connector 220 is formed on one end of the upper surface of the drive plate body 210, and corresponds to the first air rail (10a) on the lower surface of the drive plate body 210 The first air bearing 20a is installed, and the second air rail 10b configured to be the same as the first air rail 10a on both sides of the upper surface of the driving plate body 210 of the first air bearing 20a. The driving unit 200 is the same as the direction, but are installed to be inclined to move freely in the horizontal direction along the first air rail (10a); A driving cylinder 300 to which the end of the piston 310 is fastened to the connector 220 to move the driving part 200 forward and backward; The second air bearing 20b corresponding to the second air rail 10b is installed on both sides of the lower surface of the elevating plate body 410, and the four corner portions of the lower surface of the driving unit 200 are provided. In the third air rail 10c and the third air bearing 20c corresponding to the installation is composed of a lifting unit 400 which is precisely moved in the vertical direction in accordance with the inclination of the second air rail (10b).

그리고 상기 에어베어링(20a, 20b, 20c)은 사각형의 봉 형태로 형성되되, 길이가 긴 한쪽 면에는 공기홈(21a)이 형성되며, 그 공기홈(21a)과 연통하는 노즐구멍(21b)이 한쪽 측면에 형성된 베어링몸체(21)와 상기 레일홈(11)과 대응하는 형태로 형성된 다공질세라믹 재질의 슬라이더(22)가 공기홈(21a)에 삽입되어 구성된다.The air bearings 20a, 20b, and 20c are formed in the shape of a rectangular rod, and an air groove 21a is formed on one side of a long length, and the nozzle hole 21b communicating with the air groove 21a is formed. A bearing body 21 formed on one side and a slider 22 made of porous ceramic material formed in a form corresponding to the rail groove 11 are inserted into the air groove 21a.

또한, 상기 가이드부(100)는 가이드판체(110)의 상부 면 중앙에 가이드돌기(121)가 형성된 고정가이드(120)가 제1에어레일(10a)과 평행하게 더 설치되고, 상기 구동부(200)는 구동판체(210)의 하부 면 중앙에 상기 가이드돌기(121)에 끼워지도록 고정홈(231)이 형성된 고정프레임(230)이 더 설치되어 구성된다.In addition, the guide part 100 is further provided with a fixed guide 120 having a guide protrusion 121 is formed in the center of the upper surface of the guide plate body 110 in parallel with the first air rail (10a), the drive unit 200 ) Is further provided with a fixing frame 230 having a fixing groove 231 is formed to be fitted to the guide protrusion 121 in the center of the lower surface of the drive plate body 210.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the present invention in more detail.

첫째, 상기 가이드부(100)는 금속으로 형성된 가이드판체(110)의 상부 면을 삼등분하는 위치에 세라믹재질의 사각 봉 형태로 형성되되, 길이가 긴 한쪽 면에는 "V" 자형 레일홈(11)이 형성된 제1에어레일(10a)이 각각 설치되되, 레일홈(11)이 가이드판체(110)의 바깥쪽을 향하도록 구비되며, 가이드판체(110)의 상부 면의 네 모서리에 상기 제1에어레일(10a)과 동일하게 구성된 제3에어레일(10c)이 수직으로 각각 설치되되, 측면선상에 설치된 두 개의 제3에어레일(10c)은 레일홈(11)의 반대 면이 서로 마주하도록 구비되어 구성된다.First, the guide portion 100 is formed in the shape of a rectangular rod of ceramic material at a position that divides the upper surface of the guide plate body 110 formed of metal into three, one side of the long length "V" shaped rail groove 11 The first air rails 10a are formed, respectively, and the rail grooves 11 are provided to face the outside of the guide plate body 110, and the first air is formed at four corners of the upper surface of the guide plate body 110. The third air rails 10c configured in the same manner as the rails 10a are installed vertically, respectively, and the two third air rails 10c installed on the side lines are provided such that opposite surfaces of the rail grooves 11 face each other. It is composed.

이러한 가이드부(100)는 수평으로 고정되어 이하 설명될 구동부(200)가 제1에어레일(10a)에 의해서 가이드 되어 구동부(200)의 수직이동이 억제되면서 수평방향으로 정확하게 이동되고, 이하 설명될 승강부(400)가 제3에어레일(10c)에 의해서 가이드 되어 수평이동이 억제되면서 수직방향으로 정확하게 이동되도록 구성된 것이다.The guide unit 100 is horizontally fixed so that the driving unit 200 to be described below is guided by the first air rail 10a so that the vertical movement of the driving unit 200 is suppressed and is accurately moved in the horizontal direction. Lifting unit 400 is configured to be guided by the third air rail (10c) to be accurately moved in the vertical direction while the horizontal movement is suppressed.

둘째, 구동부(200)는 "ｎ" 자 형태의 금속재질로 형성된 구동판체(210)의 상부 면 한쪽 끝단에 "U" 자 형태의 연결구(220)가 형성되고, 구동판체(210)의 상부 면에 그 연결구(220)를 사이에 두고 상기 제1에어레일(10a)과 동일하게 구성된 제2에어레일(10b)이 제1에어레일(10a)의 방향과 동일한 방향으로 경사지게 설치되되, 레일홈(11)이 구동판체(210)의 바깥쪽을 향하도록 구비된다.Second, the driving unit 200 has a “U” shaped connector 220 formed at one end of an upper surface of the driving plate body 210 formed of a “n” shaped metal material, and an upper surface of the driving plate body 210. The second air rail 10b configured to be identical to the first air rail 10a with the connector 220 therebetween is installed to be inclined in the same direction as that of the first air rail 10a, and the rail groove ( 11) is provided to face the outer side of the drive plate (210).

그리고 구동판체(210)의 하부 면 양쪽에 슬라이더(22)가 구비된 제1에어베어 링(20a)이 상기 제1에어레일(10a)의 레일홈(11) 표면과 슬라이더(22)의 표면이 접할 수 있도록 구비되어 구성된다.In addition, the first air bearing ring 20a having the slider 22 on both lower surfaces of the driving plate body 210 has a surface of the rail groove 11 and the surface of the slider 22 of the first air rail 10a. It is provided to be in contact with.

상기 제1에어베어링(20a)은 사각형의 봉 형태로 형성되되, 길이가 긴 한쪽 면에는 상기 레일홈(11)에 삽입되도록 삼각형으로 돌출되고, 그 돌출된 면에는 공기홈(21a)이 길이방향으로 형성되며, 한쪽 측면에는 그 공기홈(21a)과 연통하는 노즐구멍(21b)이 형성된 베어링몸체(21)와 미세한 구멍이 형성된 다공질세라믹으로 형성되되, 레일홈(21a)에 삽입되도록 단면이 오각형 형태로 형성된 슬라이더(22)가 베어링몸체(21)의 공기홈(21a)에 삽입되어 설치된 것이다.The first air bearing 20a is formed in the shape of a rectangular rod, and protrudes in a triangle to be inserted into the rail groove 11 on one side of a long length, and the air groove 21a extends in the protruded surface thereof. It is formed in the side, the bearing body 21 formed in the nozzle hole (21b) in communication with the air groove (21a) is formed of a porous ceramic formed with a fine hole, the cross section is inserted into the rail groove (21a) Slider 22 formed in the shape is inserted into the air groove 21a of the bearing body 21 is installed.

이러한 제1에어베어링(20a)은 공기홈(21a)과 연통하는 노즐구멍(21b)을 통해서 고압의 공기가 공급되고, 그 공급된 공기가 슬라이더(22)에 형성된 다수의 미세한 구멍으로 분사되는 것이다.The first air bearing 20a is a high-pressure air is supplied through the nozzle hole 21b communicating with the air groove 21a, and the supplied air is injected into a plurality of minute holes formed in the slider 22. .

이렇게 구성된 구동부(200)는 가이드부(100)의 상부에 위치하되, 가이드부(100)에 구비된 각각의 제1에어레일(10a)에 형성된 레일홈(11)으로 제1에어베어링(20a)이 각각 삽입되어 슬라이더(22)가 레일홈(11)의 표면과 접하도록 설치되어 결합완성된다.The driving unit 200 configured as described above is positioned above the guide unit 100, and the first air bearing 20a as the rail groove 11 formed in each of the first air rails 10a provided in the guide unit 100. Each of these is inserted so that the slider 22 is in contact with the surface of the rail groove 11 is completed.

위와 같이 결합완성된 구동부(200)는 가이드부(100)의 제1에어레일(10a)을 따라서 제1에어베어링(20a)이 자유롭게 이동되되, 그 제1에어베어링(20a)에서 분사되는 고압의 공기에 의해서 제1에어레일(10a)의 레일홈(11) 표면과 제1에어베어링(20a)의 슬라이더(22) 사이에 공기층이 형성되고, 그 형성된 공기층에 의해서 제1에어베어링(20a)이 가이드부(100)의 제1에어레일(10a)과 마찰 없이 자유롭게 슬라이드 되어 수평방향으로 자유롭게 이동되도록 구성된 것이다.As described above, the combined driving part 200 moves freely along the first air rail 10a of the guide part 100 to the first air bearing 20a, and the high pressure is injected from the first air bearing 20a. An air layer is formed between the surface of the rail groove 11 of the first air rail 10a and the slider 22 of the first air bearing 20a by air, and the first air bearing 20a is formed by the formed air layer. Slide freely without friction with the first air rail (10a) of the guide portion 100 is configured to be moved freely in the horizontal direction.

셋째, 구동실린더(300)는 일반적으로 사용되는 통상의 에어 실린더로서, 상기 구동부(200)의 연결구(220)에 전·후진하는 피스톤(310)의 끝단이 체결되어 구동부(200)를 전·후진 시키도록 구성된 것이다.Third, the driving cylinder 300 is a general air cylinder that is generally used, the end of the piston 310 to move forward and backward to the connector 220 of the drive unit 200 is fastened to the drive unit 200 forward and backward It is configured to.

이러한 구동실린더(300) 설치상태는 도면에 미도시 되었지만, 상기 가이드부(100)의 가이드판체(110) 또는 승강장치가 설치될 특정 장치에 고정되어 설치되는 것이 바람직하다.Although the installation state of the driving cylinder 300 is not shown in the drawing, it is preferable that the guide plate body 110 or the lifting device of the guide unit 100 is fixedly installed on a specific device to be installed.

넷째, 승강부(400)는 금속재질의 판형태로 형성되어 지그 또는 특정 물품이 안치되는 승강판체(410)의 하부 면에 상기 구동부(200)의 제2에어레일(10b)과 대응하도록 제1에어베어링(20a)과 동일하게 구성된 제2에어베어링(20b)이 각각 설치된다.Fourth, the lifting unit 400 is formed in the form of a plate of metal material so as to correspond to the second air rail (10b) of the drive unit 200 on the lower surface of the lifting plate body 410 on which a jig or a specific article is placed. Second air bearings 20b configured in the same manner as the one air bearing 20a are respectively provided.

그리고 승강판체(410)의 하부 면 네 모서리 부분에 상기 가이드부(100)의 제3에어레일(10c)과 대응하도록 제1에어레일(10a)과 동일하게 구성된 제3에어베어 링(20c)이 각각 설치되어 구성된다.And a third air bearing 20c configured to be identical to the first air rail 10a to correspond to the third air rail 10c of the guide part 100 at four corners of the lower surface of the elevating plate body 410. Each of these is installed and configured.

이렇게 구성된 승강부(400)는 구동부(200)의 상부에 위치하되, 구동부(200)의 제2에어레일(10b)에 형성된 레일홈(11)에 제2에어베어링(20b)이 삽입되어 슬라이더(22)의 표면이 레일홈(11)의 표면과 접하도록 설치되고, 가이드부(100)에 구비된 각각의 제3에어레일(10c)에 형성된 레일홈(11)에 제3에어베어링(20c)이 각각 삽입되어 슬라이더(22)의 표면이 레일홈(11)의 표면과 접하도록 설치되어 결합완성된다.The lifting unit 400 configured as described above is positioned above the driving unit 200, and the second air bearing 20b is inserted into the rail groove 11 formed in the second air rail 10b of the driving unit 200 so that the slider ( The surface of the rail 22 is installed to be in contact with the surface of the rail groove 11, the third air bearing 20c in the rail groove 11 formed in each of the third air rail (10c) provided in the guide portion 100 Each of these is inserted so that the surface of the slider 22 is in contact with the surface of the rail groove 11 is completed.

위와 같이 결합완성된 승강부(400)는 제3에어베어링(20c)이 가이드부(100)의 제3에어레일(10c)을 따라서 자유롭게 슬라이딩 되어 수직방향으로 이동되되, 수평방향으로의 이동은 억제되고, 제2에어베어링(20b)이 구동부(200)의 경사진 제2에어레일(10b)을 따라서 자유롭게 슬라이딩 되어 상기 구동부(200)의 이동방향에 따라서 밀려지거나 당겨져서 제2에어레일(10b)의 경사를 따라서 상·하 방향으로 정밀하게 승·하강 되도록 구성된 것이다.Lifting unit 400 is completed as described above, the third air bearing (20c) is free to slide along the third air rail (10c) of the guide portion 100 is moved in the vertical direction, but the movement in the horizontal direction is suppressed The second air bearing 20b slides freely along the inclined second air rail 10b of the driving unit 200 and is pushed or pulled in accordance with the moving direction of the driving unit 200 so as to the second air rail 10b. It is configured to precisely move up and down along the inclination of the up and down direction.

상기 구동부(200)의 경사진 제2에어레일(10b)의 경사 각도가 작거나, 그 경사각을 이루는 밑변의 길이가 길수록 구동부(200)의 이동거리와 대비하여 승강판체(410)가 승강하는 거리가 작아지는 것으로, 제2에어레일(10b)의 경사가 수직 변의 길이가 10㎝이고 밑변의 길이가 100㎝로 구성된 직삼각형의 빗변과 일치할 경우 에 상기 구동실린더(300)의 작동으로 구동부(200)가 1㎝ 전진하면, 상부방향으로 1㎜ 이동되는 것이다.As the inclination angle of the inclined second air rail 10b of the driving unit 200 is smaller, or the length of the bottom side forming the inclination angle is longer, the elevating plate body 410 moves up and down as compared to the moving distance of the driving unit 200. As the distance becomes smaller, when the inclination of the second air rail 10b coincides with the hypotenuse of a right triangle having a length of 10 cm of a vertical side and a length of 100 cm of a bottom side, the driving part 300 is operated by the operation of the driving cylinder 300. If 200) advances 1 cm, it is moved 1 mm upward.

한편, 상기 가이드부(100)는 가이드판체(110)의 상부 면 중앙에 가이드돌기(121)가 수평방향으로 형성된 단면이 "ㅓ" 자 형태의 고정가이드(120)가 더 설치되어 구성되고, 상기 구동부(200)는 구동판체(210)의 하부 면 중앙에 상기 가이드돌기(121)의 두께와 동일한 지름의 고정홈(231)이 형성된 단면이 "ㄷ" 자 형태의 고정프레임(230)이 더 설치되어 구성된다.On the other hand, the guide portion 100 is formed in the center of the upper surface of the guide plate body 110, the guide protrusion 121 is formed in the horizontal direction cross section is formed of a "고정" shaped fixed guide 120 is further installed, The driving unit 200 is further provided with a fixed frame 230 having a cross-section “c” shaped in which a fixing groove 231 having the same diameter as the thickness of the guide protrusion 121 is formed at the center of the lower surface of the driving plate body 210. It is configured.

이렇게 구성된 가이드부(100)의 고정가이드(120)와 구동부(200)의 고정프레임(230)은 상기 가이드부(100)와 구동부(200)가 결합완성될 때, 고정가이드(120)의 가이드돌기(121)가 고정프레임(230)의 고정홈(231)에 삽입되어 가이드돌기(121)의 상·하 면이 고정프레임(230)의 내면과 접하는 상태로 체결된다.The fixing guide 120 of the guide unit 100 and the fixing frame 230 of the driving unit 200 configured as described above are guide protrusions of the fixing guide 120 when the guide unit 100 and the driving unit 200 are completed. The 121 is inserted into the fixing groove 231 of the fixing frame 230 so that the upper and lower surfaces of the guide protrusion 121 are in contact with the inner surface of the fixing frame 230.

위와 같이 체결된 고정가이드(120)와 고정프레임(230)은 상기 구동판체(210)의 이동에 따라서 고정가이드(120)에 형성된 가이드돌기(121)의 상·하 면에 고정프레임(230)의 내면이 접한 상태로 고정가이드(120)를 따라서 슬라이딩 되어 상기 제1 내지 제3에어베어링(20a, 20b, 20c)으로 불안정한 공기의 공급에 의해서 발생하는 수직·수평방향으로의 떨림 중, 수직방향으로의 떨림이 억제되도록 구성된 것이다.The fixed guide 120 and the fixed frame 230 fastened as described above are fixed to the upper and lower surfaces of the guide protrusion 121 formed on the fixed guide 120 according to the movement of the driving plate body 210 of the fixed frame 230. Sliding along the fixing guide 120 with the inner surface in contact with each other, in the vertical and horizontal directions caused by unstable air supply to the first to third air bearings 20a, 20b, and 20c. The shaking of is configured to be suppressed.

그리고 상기 다공질세라믹 재질의 슬라이더()는 제1 내지 제3에어레일(10a, 10b, 10c)과 동일하게 한쪽 면의 길이방향으로 "V" 자형의 홈이 형성하고, 제1 내지 제3에어레일(10a, 10b, 10c)을 제1 내지 제3베어링몸체와 동일한 공기홈과 노즐구멍을 형성하여 그 제1 내지 제3에어레일(20a, 20b, 20c)에 형성된 공기홈에 삽입설치되며, 제1 내지 제3에어베어링(20a, 20b, 20c)은 단면이 오각형 형태로 형성된 것을 사용할 수 있다.In addition, the porous ceramic slider () is formed with grooves having a “V” shape in the longitudinal direction of one surface in the same manner as the first to third air rails 10a, 10b and 10c, and the first to third air rails. 10a, 10b, and 10c are inserted into the air grooves formed in the first to third air rails 20a, 20b, and 20c by forming the same air grooves and nozzle holes as the first to third bearing bodies. The first to third air bearings 20a, 20b, and 20c may be ones having a pentagonal cross section.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 실시 예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention configured as described above will be described.

우선, 본 발명은 구동실린더(300)의 작동에 의해서 피스톤(310)이 전·후진 되어 구동부(200)의 구동판체(210)가 전·후 방향으로 이동되는데, 그 구동판체(210)는 가이드부(100)의 제1에어레일(10a)에 의해서 구동부(200)의 제1에어베어링(20a)이 가이드 되어 수평방향으로 정확하게 이동된다.First, in the present invention, the piston 310 is moved forward and backward by the operation of the drive cylinder 300, the drive plate body 210 of the drive unit 200 is moved in the forward and backward direction, the drive plate body 210 is a guide The first air bearing 20a of the driving unit 200 is guided by the first air rail 10a of the unit 100 and is accurately moved in the horizontal direction.

이때, 제1에어베어링(20a)을 통하여 형성되는 공기층에 의해서 제1에어레일(10a)의 레일홈(11)과 제1에어베어링(20a)의 슬라이더(22) 간의 마찰이 현격하게 낮아져서 구동부(200)가 매우 자연스럽게 이동되되, 그 제1에어레일(10a)과 제1에어베어링(20a)의 슬라이더(22) 간에 발생하는 마찰에 의한 오작동이 방지된다.At this time, the friction between the rail groove 11 of the first air rail (10a) and the slider 22 of the first air bearing (20a) is significantly lowered by the air layer formed through the first air bearing (20a) drive unit ( 200 is moved very naturally, and malfunctions due to friction generated between the first air rail 10a and the slider 22 of the first air bearing 20a are prevented.

이하 설명될 제2에어레일(10b)과 제2에어베어링(20b) 및 제3에어레일(10c)과 제3에어베어링(20c)과의 관계는 상기 제1에어레일(10a)과 제1에어베어링(20a)과의 관계와 동일하다.The relationship between the second air rail 10b, the second air bearing 20b, the third air rail 10c, and the third air bearing 20c, which will be described below, is determined by the first air rail 10a and the first air. It is the same as the relationship with the bearing 20a.

상기 구동실린더(300)의 작동으로 피스톤(310)이 후진할 경우, 후방으로 이동되는 구동부(200)의 경사진 제2에어레일(10b)에 의해서 승강부(400)의 제2에어베어링(20b)이 당겨지고, 당겨지는 제2에어베어링(20b)에 따라서 승강부(400)가 이동되되, 가이드부(100)의 제3에어레일(10c)에 가이드 되어 수평방향으로의 이동이 억제된 승강부(400)의 제3에어베어링(20c)에 의해서 승강판체(410)가 하부로 이동된다.When the piston 310 is driven backward by the operation of the drive cylinder 300, the second air bearing 20b of the lifting unit 400 by the inclined second air rail (10b) of the driving unit 200 moved to the rear ), The lifting unit 400 is moved according to the second air bearing 20b that is pulled, and the lifting unit is guided to the third air rail 10c of the guide unit 100 to suppress the movement in the horizontal direction. The lifting plate body 410 is moved downward by the third air bearing 20c of the part 400.

이때, 상기 제2에어레일(10b)의 경사가 수직 변의 길이가 10㎝이고 밑변의 길이가 100㎝로 구성된 직삼각형의 빗변과 일치할 경우에 상기 구동실린더(300)의 작동으로 구동부(200)가 1㎝ 전진하면, 상부방향으로 1㎜ 이동되는 것이다.At this time, when the inclination of the second air rail (10b) coincides with the hypotenuse of the right triangle consisting of 10cm of the vertical side and 100cm of the base side length of the driving cylinder 300 by the operation of the drive cylinder 300 If it advances 1 cm, it will move 1 mm upwards.

상기 구동실린더(300)의 작동으로 피스톤(310)이 전진할 경우, 전방으로 이동되는 구동부(200)의 경사진 제2에어레일(10b)에 의해서 승강부(400)의 제2에어베어링(20b)이 밀려지고, 밀려지는 제2에어베어링(20b)에 따라서 승강부(400)가 이동되되, 가이드부(100)의 제3에어레일(10c)에 가이드 되어 수평방향으로의 이동이 억제된 승강부(400)의 제3에어베어링(20c)에 의해서 승강판체(410)가 상부로 이동된 다.When the piston 310 moves forward by the operation of the driving cylinder 300, the second air bearing 20b of the elevating part 400 is moved by the inclined second air rail 10b of the driving part 200 moving forward. ) Is pushed, the lifting unit 400 is moved in accordance with the second air bearing (20b) is pushed, the lifting is guided to the third air rail (10c) of the guide unit 100 is suppressed in the horizontal direction The lifting plate body 410 is moved upward by the third air bearing 20c of the part 400.

한편, 가이드부(100)와 구동부(200)에 고정가이드(120)와 고정프레임(230)이 더 설치된 본 발명은 상기 구동실린더(300)에 의해서 구동부(200)가 전·후진 되면, 고정가이드(120)에 형성된 가이드돌기(121)의 상·하 면이 고정프레임(230)의 내면이 접한 상태로 전·후방향으로 슬라이딩 되어 구동부(200)가 고정가이드(120)에 가이드 되어 이동되는 것이다.On the other hand, the guide unit 100 and the drive unit 200, the fixed guide 120 and the fixed frame 230 is further provided in the present invention is the drive cylinder 200 by the drive cylinder 300, when the forward and backward, the fixed guide The upper and lower surfaces of the guide protrusion 121 formed on the 120 are slid forward and backward with the inner surface of the fixing frame 230 in contact with each other, so that the driving unit 200 is guided and moved by the fixing guide 120. .

이때, 상기 본 발명의 실시 예를 통해서 예측할 수 있듯이, 제1에어베어링(20a) 과 제2에어베어링(20b)으로 공급되는 고압의 공기가 불안정하게 공급되면, 공기층이 형성된 공간에 의해서 구동부(200)가 떨리는 현상이 발생하는데 이때, 구동부(200)의 고정프레임(230)이 고정된 가이드부(100)에 설치된 고정가이드(120)의 가이드돌기(121)에 가이드 되어 수직방향으로의 상·하 떨림이 억제된다.At this time, as can be expected through the embodiment of the present invention, when the high-pressure air supplied to the first air bearing 20a and the second air bearing 20b is unstable, the driving unit 200 by the space in which the air layer is formed ) Is shaken. At this time, the fixing frame 230 of the driving unit 200 is guided to the guide protrusion 121 of the fixing guide 120 installed on the fixed guide unit 100, and the vertical direction is raised and lowered. Shaking is suppressed.

위와 같이, 본 발명은 승강부(400)의 승강판체(410)가 전·후방으로 이동되는 구동부(200)의 경사진 제2에어레일(10b)에 의해서 상·하 방향으로 이동되는바, 그 경사진 제2에어레일(10b)의 경사각에 따라서 승강판체(410)가 정밀하게 이동되는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the elevating plate body 410 of the elevating unit 400 is moved upward and downward by the inclined second air rail 10b of the driving unit 200 which is moved forward and backward. According to the inclination angle of the inclined second air rail 10b, the elevating plate body 410 is precisely moved.

또한, 발명은 구동부(200)의 고정프레임(230)의 내면이 가이드부(100)에 설 치된 고정가이드(120)의 외면에 접한 상태에서 구동부(200)가 자유롭게 이동되는바, 고압공기의 불안정한 공급에 의해서 발생하는 수직방향으로의 떨림 현상이 억제되어 보다 안정적으로 승강되는 효과가 있다.In addition, the invention is the drive unit 200 is free to move in the state in which the inner surface of the fixed frame 230 of the drive unit 200 in contact with the outer surface of the fixed guide 120 installed in the guide unit 100, unstable high pressure air The shaking phenomenon in the vertical direction caused by the supply is suppressed, and there is an effect of lifting up more stably.

도 1은 본 발명의 전체를 도시한 도면1 is a view showing the whole of the present invention

도 2는 본 발명의 가이드부를 도시한 도면2 is a view showing a guide unit of the present invention

도 3은 본 발명의 구동부와 구동실린더를 도시한 도면3 is a view showing a drive unit and a drive cylinder of the present invention.

도 4는 본 발명의 승강부를 도시한 도면Figure 4 is a view showing the lifting portion of the present invention

도 5는 본 발명의 에어베어링을 도시한 도면5 is a view showing an air bearing of the present invention.

도 6은 본 발명의 에어레일과 에어베어링의 작동관계를 도시한 도면6 is a view showing the operating relationship between the air rail and the air bearing of the present invention

도 7은 본 발명의 고정프레임과 고정가이드에 관한 도면7 is a view of the fixing frame and the fixing guide of the present invention

도 8은 본 발명의 고정프레임과 고정가이드의 결합관계를 도시한 도면8 is a view illustrating a coupling relationship between a fixing frame and a fixing guide of the present invention.

도 9는 본 발명의 작동관계를 도시한 도면이다.9 is a view showing the operating relationship of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 상세한 설명 *Detailed description of the symbols for the main parts of the drawings

10a : 제1에어레일 10b : 제2에어레일10a: 1st air rail 10b: 2nd air rail

10c : 제3에어레일 11 : 레일홈10c: 3rd air rail 11: rail groove

20a : 제1에어베어링 20b : 제2에어베어링20a: 1st air bearing 20b: 2nd air bearing

20c : 제3에어베어링 21 : 베어링몸체20c: 3rd air bearing 21: bearing body

21a : 공기홈 21b : 노즐구멍21a: air groove 21b: nozzle hole

22 : 슬라이더 100 : 가이드부22: slider 100: guide portion

110 : 가이드판체 120 : 고정가이드110: guide plate 120: fixed guide

200 : 구동부 210 : 구동판체200: drive unit 210: drive plate body

220 : 연결구 230 : 고정프레임220: connector 230: fixed frame

300 : 구동실린더 310 : 피스톤300: driving cylinder 310: piston

400 : 승강부 410 : 승강판체400: lifting unit 410: lifting plate

Claims (3)

가이드판체(110) 상부 면의 양쪽에 세라믹재질로 형성되되, 레일홈(11)이 형성된 제1에어레일(10a)이 설치되고, 상부 면의 네 모서리 부분에 제1에어레일(10a)과 동일하게 구성된 제3에어레일(10c)이 각각 수직설치된 가이드부(100)와;The guide plate body 110 is formed on both sides of the ceramic material, the first air rail (10a) is provided with a rail groove 11 is provided, the same as the first air rail (10a) on the four corners of the upper surface A guide part 100 having vertically installed third air rails 10c; 상기 가이드부(100) 상부에 구비되되, 구동판체(210)의 상부 면 한쪽 끝단에 연결구(220)가 형성되고, 그 구동판체(210)의 하부 면에 상기 제1에어레일(10a)과 대응하는 제1에어베어링(20a)이 설치되며, 그 구동판체(210)의 상부 면 양쪽에 제1에어레일(10a)과 동일하게 구성된 제2에어레일(10b)이 제1에어베어링(20a)의 방향과 동일하되, 경사지게 각각 설치되어 제1에어레일(10a)을 따라서 수평방향으로 자유롭게 이동되는 구동부(200)와;It is provided on the guide portion 100, the connector 220 is formed on one end of the upper surface of the drive plate body 210, and corresponds to the first air rail (10a) on the lower surface of the drive plate body 210 The first air bearing 20a is installed, and the second air rail 10b configured to be the same as the first air rail 10a on both sides of the upper surface of the driving plate body 210 of the first air bearing 20a. The driving unit 200 is the same as the direction, but are installed to be inclined to move freely in the horizontal direction along the first air rail (10a); 상기 연결구(220)에 피스톤(310)의 끝단이 체결되어 구동부(200)를 전·후진 시키는 구동실린더(300)와;A driving cylinder 300 to which the end of the piston 310 is fastened to the connector 220 to move the driving part 200 forward and backward; 상기 구동부(200) 상부에 구비되되, 승강판체(410)의 하부 면 양쪽에 상기 제2에어레일(10b)과 대응하는 제2에어베어링(20b)이 설치되고, 그 하부 면의 네 모서리 부분에는 상기 제3에어레일(10c)과 대응하는 제3에어베어링(20c)이 설치되어 제2에어레일(10b)의 경사에 따라서 수직방향으로 정밀하게 이동하는 승강부(400)로 구성됨을 특징으로 하는 정밀 승강장치.The second air bearing 20b corresponding to the second air rail 10b is installed on both sides of the lower surface of the elevating plate body 410, and the four corner portions of the lower surface of the driving unit 200 are provided. There is a third air bearing (20c) corresponding to the third air rail (10c) is installed is characterized in that it comprises a lifting unit 400 which moves precisely in the vertical direction in accordance with the inclination of the second air rail (10b) Precision lifting device. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 에어베어링(20a, 20b, 20c)은 사각형의 봉 형태로 형성되되, 길이가 긴 한쪽 면에는 공기홈(21a)이 형성되며, 그 공기홈(21a)과 연통하는 노즐구멍(21b)이 한쪽 측면에 형성된 베어링몸체(21)와 상기 레일홈(11)과 대응하는 형태로 형성된 다공질세라믹 재질의 슬라이더(22)가 공기홈(21a)에 삽입되어 노즐구멍(21b)을 통해서 공급되는 고압의 공기가 슬라이더(22)의 미세한 구멍으로 분사되는 것을 특징으로 하는 정밀 승강장치.The air bearings 20a, 20b, and 20c are formed in the shape of a rectangular rod, and an air groove 21a is formed on one side of a long length, and the nozzle hole 21b communicating with the air groove 21a is one side. High-pressure air supplied through the nozzle hole 21b by inserting the bearing body 21 formed on the side surface and the porous ceramic slider 22 formed in a shape corresponding to the rail groove 11 into the air groove 21a. Precision lifting device, characterized in that the spray to the fine hole of the slider (22). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가이드부(100)는 가이드판체(110)의 상부 면 중앙에 가이드돌기(121)가 형성된 고정가이드(120)가 제1에어레일(10a)과 평행하게 더 설치되고, 상기 구동부(200)는 구동판체(210)의 하부 면 중앙에 상기 가이드돌기(121)에 끼워지도록 고정홈(231)이 형성된 고정프레임(230)이 더 설치된 것을 특징으로 하는 정밀 승강장치.The guide part 100 is further provided with a fixed guide 120 formed in the center of the upper surface of the guide plate body 110 in parallel with the first air rail (10a), the drive unit 200 Precision lifting device, characterized in that the fixing frame 230 is further provided with a fixing groove 231 is formed in the center of the lower surface of the drive plate body 210 to the guide protrusion 121.
KR1020090127166A 2009-12-18 2009-12-18 Precision lifting device KR101050455B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090127166A KR101050455B1 (en) 2009-12-18 2009-12-18 Precision lifting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090127166A KR101050455B1 (en) 2009-12-18 2009-12-18 Precision lifting device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110070362A KR20110070362A (en) 2011-06-24
KR101050455B1 true KR101050455B1 (en) 2011-07-19

Family

ID=44401892

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090127166A KR101050455B1 (en) 2009-12-18 2009-12-18 Precision lifting device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101050455B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108465618A (en) * 2017-02-23 2018-08-31 蓝思智能机器人(长沙)有限公司 Jacking apparatus and jack-up system
CN107879279B (en) * 2017-11-07 2018-11-23 内蒙古工业大学 A kind of transferring platform of the dismounting of the test specimen on experimental bench in cabin

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000079527A (en) 1998-07-14 2000-03-21 Kummer Freres Sa Driving device for moving platform in single plane
JP2001297960A (en) 2000-04-11 2001-10-26 Nikon Corp Stage device and projection aligner
KR20030095327A (en) * 2002-06-10 2003-12-18 가부시키가이샤 니콘 Stage apparatus and exposure apparatus
KR20100117316A (en) * 2009-04-24 2010-11-03 한국기계연구원 Stage device for 3-axes

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000079527A (en) 1998-07-14 2000-03-21 Kummer Freres Sa Driving device for moving platform in single plane
JP2001297960A (en) 2000-04-11 2001-10-26 Nikon Corp Stage device and projection aligner
KR20030095327A (en) * 2002-06-10 2003-12-18 가부시키가이샤 니콘 Stage apparatus and exposure apparatus
KR20100117316A (en) * 2009-04-24 2010-11-03 한국기계연구원 Stage device for 3-axes

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110070362A (en) 2011-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101050455B1 (en) Precision lifting device
KR20140090934A (en) Reversing apparatus using suction
CN102037552A (en) Stage
KR101368819B1 (en) Device for transferring supporting substrate
KR101127527B1 (en) Mold Apparatus For Manufacturing Pallet
CN105234863A (en) Uplifting positioning mechanism
CN105538618A (en) Apparatus for taking out molded product
KR101042233B1 (en) Absorption Picker for transferring electronic parts
CN101518831B (en) Floating chuck apparatus and floating chuck unit
CN104070795A (en) Recording apparatus
WO2021129320A1 (en) Model cylinder and model device
KR101682628B1 (en) Apparatus for lifting upper structure of bridge using wedge with slanted movement
JP2006315367A (en) Inkjet printer
CN105856814A (en) Lifting device for printing platform surface of screen printing machine
JP2016068273A (en) Screen printer and control method
JP2009043846A (en) Substrate conveying device
CN108502776A (en) Linkage type lifting body
KR102563826B1 (en) Ultra precision air bearing linear stage apparatus
JP5044332B2 (en) Processing equipment
CN207968232U (en) A kind of assembled fixture that bearing is installed to motor part
JP7373239B1 (en) Underfloor storage using lifting device and lifting device
KR101401738B1 (en) Ascending and descending device of scribing head
KR20110026626A (en) Chip leveling apparatus
CN208471436U (en) Vertical lifting body
CN205497410U (en) Triaxial air floating table structure

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140714

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150713

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160713

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170713

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190715

Year of fee payment: 9