KR101049771B1 - High pressure container having sealed structure - Google Patents

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KR101049771B1
KR101049771B1 KR1020100017993A KR20100017993A KR101049771B1 KR 101049771 B1 KR101049771 B1 KR 101049771B1 KR 1020100017993 A KR1020100017993 A KR 1020100017993A KR 20100017993 A KR20100017993 A KR 20100017993A KR 101049771 B1 KR101049771 B1 KR 101049771B1
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high pressure
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pressure vessel
closed structure
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KR1020100017993A
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이철수
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서강대학교산학협력단
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Abstract

PURPOSE: A high pressure container having a sealed structure is provided to increase sealing efficiency by performing a sealing process using the pressure applied from a space of an inside of a container to an outside by a fluid of a supercritical state and the like. CONSTITUTION: A hole is formed at an upper end of a housing. An inner space is formed to be connected to the hole formed at the upper end of the housing. A cover is used for sealing the hole formed at the upper end of the housing. The cover is disposed at the inner space. The cover comes in contact with a lower end of a periphery of the hole.

Description

밀폐 구조의 고압 용기{High pressure container having sealed structure}High pressure container having sealed structure

본 발명은 밀폐 구조의 고압 용기에 관한 것이다.The present invention relates to a high pressure vessel of a closed structure.

반도체 공정에 있어서 세정 기술의 목적은 표면의 오염 제거이다. 디바이스(device)가 점점 미세화 됨에 따라 표면의 오염이 디바이스의 신뢰성이나 양품률에 직접 영향을 미치게 되므로 미세한 파티클(small particle), 미량의 금속 오염 등의 제거를 위해 세정 기술이 발달해 왔다. 즉 각종 프로세스에서 오염물을 웨이퍼(wafer) 표면에 부착시키지 않는 것도 중요하지만, 부착된 오염물을 제거하는 세정 기술이 매우 중요한 과제로 부각되고 있다. The purpose of cleaning techniques in semiconductor processes is to decontaminate the surface. As devices become more and more fine, since surface contamination directly affects the reliability and yield of devices, cleaning techniques have been developed to remove fine particles and trace metal contamination. In other words, it is important not to attach contaminants to the wafer surface in various processes, but a cleaning technique for removing adherent contaminants has emerged as a very important task.

기존의 액체 상태의 화학 약품을 적용했던 습식 세정 방식은 공정의 편리성이나 저비용의 측면에서 이용되어 왔지만 미세한 회로의 세정에는 다소 어려움이 있었다. 미세한 구조 내에 물이나 세정액이 들어가기 쉬운 점, 웨이퍼 전체를 습식 세정하면서 역으로 오염이 다시 부착되는 문제점, 그리고 습식 세정 시 액체의 표면 장력으로 디바이스의 미세 패턴이 파괴되어 버리는 문제점 등이 있어서 표면장력이 활동하지 않는 초임계 유체를 이용한 세정 공정이 대두되고 있다.The wet cleaning method, which used the conventional liquid chemicals, has been used in terms of process convenience and low cost, but it has been difficult to clean fine circuits. Surface tension is increased due to the fact that water or cleaning liquid easily enters into the fine structure, contaminants reattach in reverse while wet cleaning the entire wafer, and the fine pattern of the device is destroyed by the surface tension of the liquid during wet cleaning. Cleaning processes using inactive supercritical fluids are emerging.

이러한 세정 공정의 진행시 용기 내부가 밀폐되지 않으면, 외부의 공기가 챔버 내부로 유입되어 웨이퍼에 파티클이 부착되거나 공기 중의 산소에 의해 물반점이 생겨서, 또는 초임계 유체 등이 용기 외부로 유출되면서 용기 내의 농도가 낮아져서 건조 불량이 발생될 수 있다.If the inside of the container is not sealed during the cleaning process, the outside air is introduced into the chamber, and particles are attached to the wafer or water spots are generated by oxygen in the air, or the supercritical fluid flows out of the container. Low concentrations in the interior may cause poor drying.

따라서 기존의 일반적인 장치에서는 용기의 측벽 상단에 고무 패킹을 설치하여 덮개가 몸체를 누르는 압력에 의해 용기 내부의 밀폐가 이루어지도록 하였다. 그러나 덮개가 닫힐 때에 덮개와 몸체가 정확하게 수평이 이루어지지 않는 경우, 장기간 사용으로 고무패킹이 마모되는 경우, 또는 용기 내부에서 초임계 유체가 팽창되는 경우 등에 있어서 용기 내부의 밀봉이 제대로 이루어지지 않을 수 있다.Therefore, in the conventional general apparatus, the rubber packing is installed on the top of the side wall of the container so that the inside of the container is sealed by the pressure pressing the body. However, when the cover is closed, the inside of the container may not be properly sealed if the cover and the body are not level correctly, the rubber packing is worn out due to prolonged use, or the supercritical fluid is expanded inside the container. have.

또한 기존의 경우 덮개가 몸체를 누르는 압력을 확보하기 위해 고정 장치들이 다수 사용되므로 덮개를 열고 닫기 번거로워 웨이퍼, 액정 등을 로딩 또는 언로딩하는 등 개폐를 자주하여야 하는 고압 용기로써 사용하기 불편한 점이 있었다.In addition, in the conventional case, since a number of fixing devices are used to secure the pressure on the cover of the body, it is inconvenient to use it as a high-pressure container that requires frequent opening and closing of the cover, such as loading or unloading wafers and liquid crystals.

반도체 웨이퍼를 세정하는 장치를 중심으로 문제점을 기술하였으나, 이러한 문제는 내부 공간이 외부로부터 밀폐된 상태에서 공정이 수행되는 다른 종류의 용기에서도 발생될 수 있다.Although the problem has been described mainly on the apparatus for cleaning the semiconductor wafer, this problem may also occur in other types of containers in which the process is performed with the internal space sealed from the outside.

본 발명은 전술한 바와 같은 문제점들을 해결하기 위해 창출된 것으로서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 밀폐성 및 밀폐 효율성이 향상된 밀폐 구조의 고압 용기를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the problems as described above, the problem to be solved by the present invention is to provide a high-pressure container of a sealed structure with improved sealing and sealing efficiency.

또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 분해 및 조립이 용이하고 용기 내부가 완전히 개방될 수 있는 형태로 구성되어, 웨이퍼, 액정 등을 로딩 또는 언로딩하는 등 개폐를 자주하여야 하는 고압 용기에 매우 적합한 형태가 되는 밀폐 구조의 고압 용기를 제공하는 것이다.In addition, another problem to be solved by the present invention is that it is easy to disassemble and assemble and is configured in such a way that the inside of the container can be completely opened, it is very suitable for high-pressure containers that must be frequently opened and closed, such as loading or unloading wafers, liquid crystals, etc. It is to provide a high pressure vessel of a sealed structure in the form.

상기한 과제를 달성하기 위한 본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기는 내부 공간에 유입된 유체의 압력을 이용하여 밀폐하는 밀폐 구조의 고압 용기로서, 상단에 홀이 형성되고 상기 홀과 통하는 상기 내부 공간이 형성되는 하우징, 그리고 상기 홀을 밀폐하는 커버를 포함하고, 상기 커버는 상기 홀의 둘레의 하단과 맞닿을 수 있도록 상기 내부 공간에 배치된다.High pressure vessel of the sealed structure according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is a high pressure vessel of the sealed structure to seal using the pressure of the fluid introduced into the inner space, the hole is formed on the top and And a housing for sealing the hole, and a cover for sealing the hole, wherein the cover is disposed in the inner space to be in contact with a lower end of the circumference of the hole.

상기 하우징은 상기 유체가 유입되는 유입구, 그리고 상기 유체가 배출되는 배출구를 포함할 수 있다.The housing may include an inlet through which the fluid is introduced and an outlet through which the fluid is discharged.

상기 커버는 상하 방향으로 미리 설정된 양만큼 이동 가능할 수 있다.The cover may be movable by a predetermined amount in the vertical direction.

상기 커버는 상기 홀의 둘레의 하단과 맞닿는 상단 부분에 둘레 방향으로 형성되는 하나 이상의 커버 씰 부재를 포함할 수 있다.The cover may include one or more cover seal members formed in a circumferential direction on an upper portion of the upper surface which is in contact with a lower end of the circumference of the hole.

상기 하우징은 바닥부, 그리고 하단이 상기 바닥부와 맞닿아 상기 내부 공간을 형성하는 몸체부를 포함하고, 상기 바닥부, 상기 몸체부, 그리고 상기 커버를 감싸는 외측부를 더 포함할 수 있다.The housing may include a bottom part and a body part of which a bottom part contacts the bottom part to form the inner space, and may further include an outer part surrounding the bottom part, the body part, and the cover.

상기 바닥부는 상기 몸체부의 하단과 맞닿을 수 있도록 상단에 둘레 방향으로 형성되는 하나 이상의 바닥 씰 부재를 포함할 수 있다.The bottom part may include one or more bottom seal members formed in a circumferential direction on an upper end thereof so as to contact a lower end of the body part.

상기 몸체부는 상단의 내측 단면적이 하단의 내측 단면적보다 클 수 있다.The inner cross-sectional area of the upper portion of the body portion may be larger than the inner cross-sectional area of the lower portion.

상기 몸체부는 상기 홀을 포함하고 상기 커버의 둘레의 상단과 맞닿는 커버 고정부, 내측이 상하 방향으로 관통되고 상단이 상기 커버 고정부의 하단과 맞닿는 몸체, 그리고 상기 커버 고정부의 하단과 상기 몸체의 상단을 결합시키는 복수의 체결 부재를 포함할 수 있다.The body portion includes the hole and the cover fixing portion that is in contact with the upper end of the circumference of the cover, the body penetrates in the vertical direction and the upper end is in contact with the lower end of the cover fixing portion, and the lower end of the cover fixing portion and the body It may include a plurality of fastening members for coupling the top.

상기 외측부는 상기 바닥부, 상기 몸체부, 그리고 상기 커버를 좌측에서 감싸는 제1 외측부, 그리고 상기 바닥부, 상기 몸체부, 그리고 상기 커버를 우측에서 감싸는 제2 외측부를 포함하고, 상기 제1 외측부와 상기 제2 외측부는 서로 맞닿아 결합될 수 있다.The outer portion includes the bottom portion, the body portion, and a first outer portion wrapping the cover on the left side, and the bottom portion, the body portion, and a second outer portion wrapping the cover on the right side, and the first outer portion and The second outer portion may be coupled to abut each other.

본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기는 상기 제1 외측부 및 상기 제2 외측부가 서로 결합 또는 분리되는 이동 경로를 따라 상기 제1 외측부 및 상기 제2 외측부의 하측에 형성되는 하나 이상의 가이드 레일, 그리고 상기 가이드 레일을 지지하는 지지 플레이트를 더 포함할 수 있다.The high pressure vessel of the closed structure according to an embodiment of the present invention is one or more guides formed on the lower side of the first outer portion and the second outer portion along the movement path that the first outer portion and the second outer portion is coupled or separated from each other The rail may further include a support plate for supporting the guide rail.

상기 바닥부는 하단에서 하향으로 연장되어 형성되는 고정용 부재를 더 포함하고, 상기 외측부는 하단에 상기 고정용 부재가 관통되는 관통구를 더 포함하며, 상기 지지 플레이트는 상기 고정용 부재가 수평 방향으로 고정되도록 삽입될 수 있는 삽입구를 포함할 수 있다.The bottom portion further includes a fixing member formed to extend downward from the bottom, the outer portion further comprises a through-hole through which the fixing member passes, the support plate is the fixing member in the horizontal direction It may include an insert that can be inserted to be fixed.

본 발명에 의하면, 초임계 상태의 유체 등에 의해 용기 내측의 공간에서 외측으로 가해지는 압력이 밀폐에 이용되도록 함으로써, 밀폐 효율성이 증대된다.According to the present invention, the sealing efficiency is increased by allowing the pressure applied from the space inside the container to the outside by the supercritical fluid or the like to be used for sealing.

또한 용기 상단의 내측 단면적이 하단의 내측 단면적보다 크게 형성됨으로써, 밀폐성을 향상시키기 위해 외부의 힘을 빌리지 않고서도, 파스칼의 원리에 따라 용기 내측에 작용하는 유체의 고압을 역으로 이용하여 자체적으로 밀폐성을 향상시키는 효율적인 구조가 될 수 있다.In addition, since the inner cross-sectional area of the upper end of the container is larger than the inner cross-sectional area of the lower end of the container, the sealing property is self-sealing by using the high pressure of the fluid acting inside the container in reverse according to Pascal's principle without borrowing external force to improve the sealing property. It can be an efficient structure to improve the.

그리고 분해 및 조립이 용이하고 용기 내부가 완전히 개방될 수 있는 형태로 본 발명이 구성됨으로써, 개폐를 자주하여야 하는 고압 용기에 매우 적합한 형태가 될 수 있다. 특히 웨이퍼, 액정 등이 손쉽게 로딩 또는 언로딩될 수 있다.In addition, since the present invention is configured in such a way that disassembly and assembly can be easily performed and the inside of the container can be completely opened, the present invention can be very suitable for a high pressure container that needs frequent opening and closing. In particular, wafers, liquid crystals and the like can be easily loaded or unloaded.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기의 개략적인 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기의 개략적인 사시도이다.
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 절개한 단면도이다.
도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 절개한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기의 개략적인 분해 평면도이다.
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기의 개략적인 평면도이다.
도 7은 도 3의 점선 부분의 확대도이다.
도 8은 도 4의 점선 부분의 확대도이다.1 is a schematic exploded perspective view of a high pressure vessel of a sealed structure according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic perspective view of a high pressure vessel of a sealed structure according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 1.
4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV of FIG. 2.
5 is a schematic exploded plan view of a high pressure vessel of a sealed structure according to an embodiment of the present invention.
6 is a schematic plan view of a high pressure vessel of a hermetically sealed structure according to an embodiment of the present invention.
7 is an enlarged view of a dotted line part of FIG. 3.
8 is an enlarged view of a dotted line part of FIG. 4.

이하에서 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조로 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기의 개략적인 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기의 개략적인 사시도이다. 1 is a schematic exploded perspective view of a high pressure vessel of a sealed structure according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic perspective view of a high pressure vessel of a sealed structure according to an embodiment of the present invention.

또한 도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 절개한 단면도이고, 도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 절개한 단면도이다. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 1, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV of FIG. 2.

그리고 도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기의 개략적인 분해 평면도이고, 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기의 개략적인 평면도이다. 5 is a schematic exploded plan view of a high pressure vessel of a sealed structure according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a schematic plan view of a high pressure vessel of a sealed structure according to an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기(100)는 내부 공간(200)에 유입된 유체의 압력을 이용하여 밀폐하는 밀폐 구조의 고압 용기로서, 상단에 홀(119)이 형성되고 홀(119)과 통하는 내부 공간(200)이 형성되는 하우징(101), 그리고 홀(119)을 밀폐하는 커버(120)를 포함하고, 커버(120)는 홀(119)의 둘레의 하단과 맞닿을 수 있도록 내부 공간(200)에 배치된다.As shown in Figure 3 and 4, the high pressure vessel 100 of the sealed structure according to an embodiment of the present invention is a high pressure vessel of the sealed structure to seal using the pressure of the fluid introduced into the interior space 200. The housing 101 includes a hole 119 formed at an upper end thereof and an inner space 200 communicating with the hole 119, and a cover 120 sealing the hole 119. The inner space 200 is disposed to be in contact with the lower end of the circumference of the hole 119.

유입되는 유체의 압력이 높아지면 내부 공간(200)에 배치된 커버(120)는 상향으로 밀려 상단의 둘레가 홀(119)의 둘레의 하단과 더욱 밀착된다. When the pressure of the flowing fluid is increased, the cover 120 disposed in the internal space 200 is pushed upwards so that the upper periphery is more closely in contact with the lower end of the periphery of the hole 119.

또한 하우징(101)은 유체가 유입되는 유입구(171), 그리고 유체가 배출되는 배출구(173)를 포함할 수 있다.In addition, the housing 101 may include an inlet 171 through which the fluid is introduced and an outlet 173 through which the fluid is discharged.

예시적으로, 유입구(171)를 통해 고압의 초임계 상태인 유체가 들어오면 내부 공간(200)은 고압 상태가 되었다가, 배출구(173)를 통해 고압의 초임계 상태인 유체가 빠져나가면 내부 공간(200)은 외부 압력과 가까운 상태로 돌아갈 수 있다. 또한 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 유입구(171)는 몸체부(110)의 전방에 형성되고, 출구(173)는 몸체부(110)의 후방에 형성될 수 있으며, 이를 위해 외측부(140)의 전방 및 후방에는 관통구(145)가 형성될 수 있다. 본 발명의 한 실시예에서 관통구(145)는 제1 외측부(140a)와 제2 외측부(140b)가 서로 맞닿는 전방 및 후방의 부분에 형성되어 있으나, 필요에 따라 그 위치는 변경될 수 있다.For example, when the fluid having a high pressure supercritical state enters through the inlet 171, the internal space 200 becomes a high pressure state, and when the fluid having a high pressure supercritical state exits through the outlet 173, the internal space passes. 200 may return to a state close to the external pressure. 1 and 2, the inlet 171 is formed in front of the body portion 110, the outlet 173 may be formed in the rear of the body portion 110, for this purpose the outer portion ( Through-holes 145 may be formed at the front and rear of the 140. In one embodiment of the present invention, the through hole 145 is formed in the front and rear portions where the first outer portion 140a and the second outer portion 140b abut each other, but the position thereof may be changed as necessary.

그리고 하우징(101)은 바닥부(130), 그리고 하단이 바닥부(130)와 맞닿아 내부 공간(200)을 형성하는 몸체부(110)를 포함하고, 바닥부(130), 몸체부(110), 그리고 커버(120)를 감싸는 외측부(140)를 더 포함할 수 있다.In addition, the housing 101 includes a bottom portion 130 and a body portion 110 having a lower end thereof contacting the bottom portion 130 to form an inner space 200. And, it may further include an outer portion 140 surrounding the cover 120.

바닥부(130)는 몸체부(110)의 하단과 맞닿을 수 있도록 상단에 둘레 방향으로 형성되는 하나 이상의 바닥 씰 부재(131)를 포함할 수 있다.The bottom 130 may include one or more bottom seal members 131 formed in the circumferential direction on the top thereof so as to be in contact with the bottom of the body 110.

이를테면, 바닥부(130) 상단의 몸체부(110)와 맞닿는 부분에는 바닥 씰 부재(131)인 두 개의 오링이 설치될 수 있고, 두 개의 오링이 몸체부(110)의 하단에 밀착되어 내측의 공간(200)이 밀폐되도록 할 수 있다.For example, two O-rings, which are bottom seal members 131, may be installed at a portion contacting the body 110 at the top of the bottom 130, and two O-rings may be in close contact with the lower end of the body 110. The space 200 may be sealed.

또한 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 몸체부(110)는 상단의 내측(113a) 단면적이 하단의 내측(113b) 단면적보다 클 수 있다.3 and 4, the body portion 110 may have a larger cross-sectional area of the inner side 113a of the upper end than a cross-sectional area of the inner side 113b of the lower end.

예를 들면, 유입구(171)를 통해 고압의 초임계 상태인 유체가 내부 공간(200)으로 유입되면, 내부 공간(200)에서 몸체부(110)를 외측으로 밀어내는 방향으로 압력이 작용하게 된다. 몸체부(110) 내측의 측면으로 작용하는 압력은 이미 고정된 부분에 작용하는 압력이므로 고려 대상에서 제외하고 나면, 고압의 유체의 유입으로 인한 압력은 몸체부(110) 상단의 내측(113a)과 하단의 내측(113b)을 밀어내게 된다. 압력에 의해 몸체부(110) 상단의 내측(113a)이 밀리면 커버(120)가 상향으로 밀려 올라가면서 그 힘은 외측부(140)에 전달되고, 반작용으로 바닥부(130)도 몸체부(140)와 더욱 밀착되는 상태가 된다.For example, when a high pressure supercritical fluid flows into the internal space 200 through the inlet 171, the pressure acts in a direction to push the body 110 outward from the internal space 200. . Since the pressure acting on the inner side of the body portion 110 is a pressure acting on an already fixed portion, except for consideration, the pressure due to the inflow of the high pressure fluid is equal to the inner side 113a of the upper portion of the body portion 110. The inner side 113b of the lower end is pushed out. When the inner side 113a of the upper end of the body portion 110 is pushed up by the pressure, the cover 120 is pushed upward, and the force is transmitted to the outer side 140, and the bottom portion 130 is also the body portion 140 in reaction. And the state is in close contact with.

이때, 유체를 통해 밀폐된 용기에 압력을 가하면 그 압력은 용기 내부의 모든 곳에 같은 크기로 작용한다는 파스칼의 원리에 따르면, 몸체부(110) 상단의 내측(113a)과 하단의 내측(113b)에 작용하는 압력은 동일하다. 다만 본 발명의 한 실시예와 같이 몸체부(110) 상단의 내측(113a) 부분의 단면적이 보다 크게 설계되면, 단위 면적당 작용하는 압력은 동일하더라도 단면적 전체에 걸쳐 작용하는 힘은 몸체부(110) 상단의 내측(113a)에 작용하는 힘이 하단의 내측(113b)에 작용하는 힘보다 크게 된다. 따라서, 유체가 더욱 고압으로 투입될수록 상술한 반작용도 더욱 커져 바닥부(130)와 몸체부(140) 사이를 밀착시키는 힘이 더욱 강해지게 된다.At this time, according to Pascal's principle that if the pressure is applied to the sealed container through the fluid, the pressure acts the same size everywhere in the container. The working pressure is the same. However, if the cross-sectional area of the inner portion 113a of the upper portion of the body portion 110 is designed to be larger, as in one embodiment of the present invention, the force acting over the entire cross-sectional area is the same, even though the pressure applied per unit area is the same. The force acting on the inner side 113a of the upper end becomes larger than the force acting on the inner side 113b of the lower end. Therefore, as the fluid is injected at a higher pressure, the above-described reaction is further increased, and the force for close contact between the bottom 130 and the body 140 becomes stronger.

이와 같이, 용기 상단의 내측(113a) 단면적이 하단의 내측(113b) 단면적보다 크게 형성됨으로써, 밀폐성을 향상시키기 위해 외부의 힘을 빌리지 않고서도, 파스칼의 원리에 따라 용기 내부에 작용하는 유체의 고압을 역으로 이용하여 자체적으로 밀폐성을 향상시키는 효율적인 구조가 될 수 있다.As such, the cross-sectional area of the inner side 113a of the upper end of the container is larger than that of the lower side 113b of the lower end, so that the high pressure of the fluid acting inside the container according to the principle of Pascal without borrowing an external force to improve the sealing property. By using the reverse can be an efficient structure to improve the sealing itself.

또한 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 몸체부(110) 상단의 내측(113a) 단면적이 하단의 내측(113b) 단면적보다 크도록 함으로써, 단면적이 큰 몸체부(110) 상단의 내측(113a)에 덮여 있는 커버(120)가 단면적이 작은 몸체부(110) 하단의 내측(113b)으로 미끄러져 내려가지 않게 된다.In addition, as shown in FIGS. 3 and 4, the inner side 113a of the upper end of the body portion 110 is larger than the inner side 113b of the lower end, so that the inner side 113a of the upper end of the body portion 110 has a large cross-sectional area. ) Cover 120 is prevented from sliding down to the inner side (113b) of the lower end of the body portion 110 having a small cross-sectional area.

몸체부(110)는 홀(119)을 포함하고 커버(120)의 둘레의 상단과 맞닿는 커버 고정부(115), 내측이 상하 방향으로 관통되고 상단이 커버 고정부(115)의 하단과 맞닿는 몸체(111), 그리고 커버 고정부(115)의 하단과 몸체(111)의 상단을 결합시키는 복수의 체결 부재(117)를 포함할 수 있다.The body 110 includes a hole 119 and a cover fixing portion 115 which abuts against the upper end of the circumference of the cover 120, a body penetrating in an up-down direction and having an upper end abutting with a lower end of the cover fixing part 115. 111, and a plurality of fastening members 117 that couple the lower end of the cover fixing part 115 to the upper end of the body 111.

커버 고정부(115)는 그 하단이 커버(120)와 맞닿아 있을 뿐만 아니라 몸체(111)의 상단과도 맞닿아 복수의 체결 부재(117)에 의해 몸체(111)와 서로 결합되어 있다. 또한 복수의 체결 부재(117)는 볼트일 수 있고, 몸체(111)와 커버 고정부(115)는 볼트 체결의 형태로 결합될 수 있다. The cover fixing part 115 is not only in contact with the lower end of the cover 120 but also in contact with the upper end of the body 111 is coupled to each other with the body 111 by a plurality of fastening members 117. In addition, the plurality of fastening members 117 may be bolts, and the body 111 and the cover fixing part 115 may be coupled in the form of bolt fastening.

도 7은 도 3의 점선 부분의 확대도이고, 도 8은 도 4의 점선 부분의 확대도이다.7 is an enlarged view of the dotted line portion of FIG. 3, and FIG. 8 is an enlarged view of the dotted line portion of FIG. 4.

커버(120)는 상하 방향으로 미리 설정된 양만큼 이동 가능할 수 있다.The cover 120 may be movable by a predetermined amount in the vertical direction.

또한 도 3, 도 4, 도 7 그리고 도 8에 도시된 바와 같이, 커버(120)는 홀(119)의 둘레의 하단과 맞닿는 상단 부분에 둘레 방향으로 형성되는 하나 이상의 커버 씰 부재(121)를 포함할 수 있다.3, 4, 7, and 8, the cover 120 may include one or more cover seal members 121 formed in a circumferential direction at an upper end portion that contacts the lower end of the circumference of the hole 119. It may include.

커버(120)가 내부 공간(200)에서 상하 방향으로 미리 설정된 양만큼 이동 가능하게 함으로써, 고압의 유체가 내부 공간(200)으로 유입되면 그 압력이 커버(120)를 홀(119)의 둘레의 하단, 즉 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 커버 고정부(115)가 위치한 상향으로 밀어내어 커버(120)와 커버 고정부(115)가 더욱 밀착되도록 하여 홀(119)에 대한 밀폐 효율성이 향상될 수 있다.By allowing the cover 120 to move up and down in the interior space 200 by a predetermined amount, when a high pressure fluid flows into the interior space 200, the pressure causes the cover 120 to move around the hole 119. 7 and 8, the cover fixing portion 115 is pushed upward to cover the cover 120 and the cover fixing portion 115 so that the sealing efficiency for the hole 119 is further enhanced. This can be improved.

여기서 커버(120)가 이동 가능한 미리 설정된 양은 커버 씰 부재(121)가 충분히 압착되어 커버(120)와 커버 고정부(115)의 사이가 밀폐될 수 있도록 설정된 양일 수 있다. 다만 상술한 미리 설정된 양은 고압의 유체에 의한 압력의 정도에 따라 커버 씰 부재(121)가 손상될 수 있는 가능성을 염두에 두어 설정함이 바람직하다.Herein, the preset amount in which the cover 120 is movable may be an amount set so that the cover seal member 121 is sufficiently compressed to seal the cover 120 and the cover fixing part 115. However, the above-described preset amount is preferably set in consideration of the possibility that the cover seal member 121 may be damaged according to the degree of pressure by the high pressure fluid.

예시적으로, 상술한 바와 같이 몸체부(110)와 커버 고정부(115)의 볼트 체결을 통해 내측의 공간(200)이 1차적으로 밀폐되고, 도 8에 도시된 바와 같이, 고압의 유체가 커버(120)를 커버 고정부(115) 방향인 상향(도 8의 화살표 방향)으로 밀어내면서 커버(120)와 커버 고정부(115)의 사이에 있는 커버 씰 부재(121)인 오링이 압착되어 내부 공간(200)이 밀폐될 수 있다.For example, as described above, the inner space 200 is primarily sealed through the bolt coupling between the body 110 and the cover fixing part 115, and as shown in FIG. The O-ring which is the cover seal member 121 between the cover 120 and the cover fixing part 115 is pressed while pushing the cover 120 upward (the arrow direction in FIG. 8) toward the cover fixing part 115. The internal space 200 may be sealed.

이와 같은 구성을 통해, 초임계 상태의 유체 등에 의해 본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기(100)의 내부 공간(200)에서 외측으로 가해지는 압력이 밀폐에 이용되도록 함으로써, 밀폐 효율성이 증대된다.Through such a configuration, the pressure applied to the outside in the internal space 200 of the high-pressure container 100 of the sealed structure according to an embodiment of the present invention by the fluid of the supercritical state, etc. to be used for sealing, sealing efficiency Is increased.

도 1 내지 도 6을 참고하면, 외측부(140)는 바닥부(130), 몸체부(110), 그리고 커버(120)를 좌측에서 감싸는 제1 외측부(140a), 그리고 바닥부(130), 몸체부(110), 그리고 커버(120)를 우측에서 감싸는 제2 외측부(140b)를 포함하고, 제1 외측부(140a)와 제2 외측부(140b)는 서로 맞닿아 결합될 수 있다.1 to 6, the outer portion 140 includes a bottom portion 130, a body portion 110, and a first outer portion 140a surrounding the cover 120 from the left side, and the bottom portion 130 and the body. The part 110 and a second outer portion 140b surrounding the cover 120 at the right side may be coupled to each other by contacting the first outer portion 140a and the second outer portion 140b.

즉 도 1, 도 3, 그리고 도 5에 나타난 바와 같이 제1 외측부(140a)와 제2 외측부(140b)는 바닥부(130), 몸체부(110), 그리고 커버(120)로부터 분리되어 있다가, 도 2, 도 4, 그리고 도 6에 나타난 바와 같이 바닥부(130), 몸체부(110), 그리고 커버(120)를 감싸면서 서로 맞닿아 결합되는 구조이다. 이때 외측부(140)와 바닥부(130), 몸체부(110), 그리고 커버(120) 사이에는 분리 및 결합의 용이성을 위해 1-2mm 정도의 여유 간격이 있을 수 있다. 이러한 여유 간격은 밀폐성과 결합성을 함께 고려하여 적절히 조절될 수 있다.1, 3, and 5, the first outer portion 140a and the second outer portion 140b are separated from the bottom 130, the body 110, and the cover 120. 2, 4, and 6, the bottom portion 130, the body portion 110, and the cover 120 are wrapped in contact with each other while being coupled to each other. At this time, there may be a clearance of about 1-2mm between the outer portion 140 and the bottom portion 130, the body portion 110, and the cover 120 for ease of separation and coupling. This clearance can be appropriately adjusted in consideration of both hermeticity and bonding.

본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기(100)는 제1 외측부(140a) 및 제2 외측부(140b)가 서로 결합 또는 분리되는 이동 경로를 따라 제1 외측부(140a) 및 제2 외측부(140b)의 하측에 형성되는 하나 이상의 가이드 레일(150), 그리고 가이드 레일(150)을 지지하는 지지 플레이트(160)를 더 포함할 수 있다.The high pressure vessel 100 of the sealed structure according to the embodiment of the present invention has a first outer portion 140a and a second outer portion along a moving path where the first outer portion 140a and the second outer portion 140b are coupled or separated from each other. At least one guide rail 150 formed below the 140b, and a support plate 160 for supporting the guide rail 150 may be further included.

또한 제1 외측부(140a) 및 제2 외측부(140b)는 하단에 가이드 레일(150)과 연결될 수 있는 가이드 레일 결합부(143)를 포함할 수 있다.In addition, the first outer part 140a and the second outer part 140b may include a guide rail coupling part 143 that may be connected to the guide rail 150 at a lower end thereof.

본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기(100)는 제1 외측부(140a)와 제2 외측부(140b)는 가이드 레일(150)을 통해 서로 결합 또는 분리되도록 구성되고, 몸체부(110)와 바닥부(130)는 서로를 결합시키는 별도의 체결 장치 없이 내측의 공간(200)에 작용되는 압력에 의해 스스로 밀폐되도록 구성되며, 몸체(111)와 커버 고정부(115)만이 복수의 체결 부재(117)에 의해 결합되도록 구성되어 있다. 이러한 구성에 따라 본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기(100)는 기존의 고압 밀폐 용기에 비해 밀폐성은 더욱 향상되면서도, 분해 및 조립(용기의 개폐)은 보다 용이해질 수 있다.The high pressure container 100 of the sealed structure according to an embodiment of the present invention is configured such that the first outer portion 140a and the second outer portion 140b are coupled or separated from each other through the guide rail 150, and the body portion 110. ) And the bottom portion 130 is configured to seal itself by the pressure applied to the inner space 200 without a separate fastening device for coupling each other, only the body 111 and the cover fixing portion 115 a plurality of fastening It is comprised so that it may be engaged by the member 117. As shown in FIG. According to this configuration, the high-pressure container 100 of the airtight structure according to the embodiment of the present invention can be more easily disassembled and assembled (opening and closing of the container), while the sealing property is further improved as compared with the conventional high-pressure sealed container.

즉 분해 및 조립이 용이하고 용기 내부가 완전히 개방될 수 있는 형태로 본 발명이 구성됨으로써, 개폐를 자주하여야 하는 고압 용기에 매우 적합한 형태가 될 수 있다. 특히 웨이퍼, 액정 등이 손쉽게 로딩 또는 언로딩될 수 있다.That is, the present invention is configured in such a way that disassembling and assembling is easy and the inside of the container can be completely opened, thereby making it possible to have a very suitable shape for a high pressure container that needs frequent opening and closing. In particular, wafers, liquid crystals and the like can be easily loaded or unloaded.

바닥부(130)는 하단에서 하향으로 연장되어 형성되는 고정용 부재(133)를 더 포함하고, 외측부(140)는 하단에 고정용 부재(133)가 관통되는 관통구(141)를 더 포함하며, 지지 플레이트(160)는 고정용 부재(133)가 수평 방향으로 고정되도록 삽입될 수 있는 삽입구(161)를 포함할 수 있다.The bottom portion 130 further includes a fixing member 133 extending downward from the bottom, and the outer portion 140 further includes a through hole 141 through which the fixing member 133 passes. The support plate 160 may include an insertion hole 161 which may be inserted to fix the fixing member 133 in the horizontal direction.

이와 유사하게, 커버(120)는 상단에 상향으로 연장되어 형성되는 가이드 부재(123)를 더 포함할 수 있다. 이 경우에 외측부(140)는 상단에 가이드 부재(133)가 관통되는 관통구(141)를 더 포함할 수 있다. 이러한 가이드 부재(133)는 본 발명의 조립 시 수평 방향 조립 위치를 안내해 주는 역할을 할 수 있고, 체결 부재(117)나 커버(120)의 분리 시 손잡이 역할을 할 수 있다. Similarly, the cover 120 may further include a guide member 123 extending upwardly at the top. In this case, the outer portion 140 may further include a through hole 141 through which the guide member 133 passes. The guide member 133 may serve to guide the horizontal assembly position when assembling the present invention, and may serve as a handle when the fastening member 117 or the cover 120 is separated.

이러한 본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기(100)는 반도체 웨이퍼를 세정하는 장치에 주로 적용될 수 있으나, 내부 공간이 외부로부터 밀폐된 상태에서 공정이 수행되는 다른 종류의 고압 용기에도 적용될 수 있다.The high pressure vessel 100 of the hermetically sealed structure according to an embodiment of the present invention may be mainly applied to an apparatus for cleaning a semiconductor wafer, but may also be applied to other types of high pressure vessels in which a process is performed while the inner space is sealed from the outside. Can be.

이상에서 본 발명의 실시예를 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 아니하며 본 발명의 실시예로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 용이하게 변경되어 균등한 것으로 인정되는 범위의 모든 변경 및 수정을 포함한다.Although the embodiments of the present invention have been described above, the scope of the present invention is not limited thereto, and it is recognized that the present invention is easily changed and equivalent by those skilled in the art to which the present invention pertains. Includes all changes and modifications to the scope of the matter.

100. 본 발명의 한 실시예에 따른 밀폐 구조의 고압 용기
101. 하우징 110. 몸체부
111. 몸체 113a. 몸체부 상단의 내측
113b. 몸체부 하단의 내측 115. 커버 고정부
117. 체결 부재 119. 홀
120. 커버 121. 커버 씰 부재
123. 가이드 부재 130. 바닥부
131. 바닥 씰 부재 133. 고정용 부재
140. 외측부 140a. 제1 외측부
140b. 제2 외측부 141. 관통구
143. 가이드 레일 결합부 145. 관통구
150. 가이드 레일 160. 지지 플레이트
161. 삽입구 171. 유입구
173. 배출구 200. 내부 공간100. High pressure vessel of closed structure according to one embodiment of the present invention
101. Housing 110. Body
111. Body 113a. Inner side of top of body
113b. Inner bottom of body 115. Cover fixing
117. Fastening member 119. Hole
120. Cover 121. Cover seal member
123. Guide member 130. Bottom part
131. Bottom seal member 133. Fixing member
140. Outer side 140a. First outer part
140b. Second Outer Portion 141.Through Hole
143. Guide rail coupling 145. Through hole
150. Guide rail 160. Support plate
161.Inlet 171.Inlet
173. Outlet 200.Inner Space

Claims (11)

내부 공간에 유입된 유체의 압력을 이용하여 밀폐하는 밀폐 구조의 고압 용기로서,
상단에 홀이 형성되고 상기 홀과 통하는 상기 내부 공간이 형성되는 하우징, 그리고
상기 홀을 밀폐하는 커버를 포함하고,
상기 커버는 상기 홀의 둘레의 하단과 맞닿을 수 있도록 상기 내부 공간에 배치되는 밀폐 구조의 고압 용기.A high pressure vessel of a closed structure that is sealed by using the pressure of the fluid introduced into the internal space,
A housing having a hole formed at an upper end thereof and having the inner space communicating with the hole; and
A cover for sealing the hole,
The cover is a high-pressure container of a closed structure disposed in the inner space so as to contact the lower end of the periphery of the hole. 제1항에서,
상기 하우징은
상기 유체가 유입되는 유입구, 그리고
상기 유체가 배출되는 배출구를 포함하는 밀폐 구조의 고압 용기.In claim 1,
The housing
An inlet through which the fluid is introduced, and
A high pressure vessel in a closed structure including a discharge port through which the fluid is discharged. 제1항에서,
상기 커버는
상하 방향으로 미리 설정된 양만큼 이동 가능한 밀폐 구조의 고압 용기.In claim 1,
The cover is
A high pressure vessel with a sealed structure that can move by a predetermined amount in the vertical direction. 제1항에서,
상기 커버는
상기 홀의 둘레의 하단과 맞닿는 상단 부분에 둘레 방향으로 형성되는 하나 이상의 커버 씰 부재를 포함하는 밀폐 구조의 고압 용기.In claim 1,
The cover is
And at least one cover seal member formed in a circumferential direction at an upper portion of the upper portion which is in contact with a lower end of the circumference of the hole. 제1항에서,
상기 하우징은
바닥부, 그리고
상기 홀을 포함하고 하단이 상기 바닥부와 맞닿아 상기 내부 공간을 형성하는 몸체부를 포함하고,
상기 바닥부, 상기 몸체부, 그리고 상기 커버를 감싸는 외측부를 더 포함하는 밀폐 구조의 고압 용기.In claim 1,
The housing
Bottom, and
A body part including the hole and a lower end thereof contacting the bottom part to form the inner space;
The bottom portion, the body portion, and the high pressure vessel of the sealed structure further comprises an outer portion surrounding the cover. 제5항에서,
상기 바닥부는
상기 몸체부의 하단과 맞닿을 수 있도록 상단에 둘레 방향으로 형성되는 하나 이상의 바닥 씰 부재를 포함하는 밀폐 구조의 고압 용기.In claim 5,
The bottom part
High-pressure container of a closed structure including at least one bottom seal member formed in the circumferential direction on the top so as to contact the bottom of the body portion. 제5항에서,
상기 몸체부는
상단의 내측 단면적이 하단의 내측 단면적보다 큰 밀폐 구조의 고압 용기.In claim 5,
The body portion
A high pressure vessel in a closed structure in which the inner cross section of the top is larger than the inner cross section of the bottom. 제5항에서,
상기 몸체부는
상기 홀을 포함하고 상기 커버의 둘레의 상단과 맞닿는 커버 고정부,
내측이 상하 방향으로 관통되고 상단이 상기 커버 고정부의 하단과 맞닿는 몸체, 그리고
상기 커버 고정부의 하단과 상기 몸체의 상단을 결합시키는 복수의 체결 부재를 포함하는 밀폐 구조의 고압 용기.In claim 5,
The body portion
A cover fixing part including the hole and abutting an upper end of the circumference of the cover,
A body penetrating in an up and down direction and having an upper end contacting a lower end of the cover fixing part, and
High pressure container of a closed structure including a plurality of fastening members for coupling the lower end of the cover fixing portion and the upper end of the body. 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에서,
상기 외측부는
상기 바닥부, 상기 몸체부, 그리고 상기 커버를 좌측에서 감싸는 제1 외측부, 그리고
상기 바닥부, 상기 몸체부, 그리고 상기 커버를 우측에서 감싸는 제2 외측부를 포함하고,
상기 제1 외측부와 상기 제2 외측부는 서로 맞닿아 결합되는 밀폐 구조의 고압 용기.The compound according to any one of claims 5 to 8, wherein
The outer portion
A first outer portion surrounding the bottom portion, the body portion, and the cover from the left side, and
A second outer portion surrounding the bottom portion, the body portion, and the cover on the right side;
The high pressure vessel of a sealed structure in which the first outer portion and the second outer portion abut each other. 제9항에서,
상기 제1 외측부 및 상기 제2 외측부가 서로 결합 또는 분리되는 이동 경로를 따라 상기 제1 외측부 및 상기 제2 외측부의 하측에 형성되는 하나 이상의 가이드 레일, 그리고
상기 가이드 레일을 지지하는 지지 플레이트를 더 포함하는 밀폐 구조의 고압 용기.In claim 9,
At least one guide rail formed below the first outer side and the second outer side along a moving path in which the first outer side and the second outer side are coupled or separated from each other, and
The high pressure vessel of the closed structure further comprising a support plate for supporting the guide rail. 제10항에서,
상기 바닥부는
하단에서 하향으로 연장되어 형성되는 고정용 부재를 더 포함하고,
상기 외측부는
하단에 상기 고정용 부재가 관통되는 관통구를 더 포함하며,
상기 지지 플레이트는
상기 고정용 부재가 수평 방향으로 고정되도록 삽입될 수 있는 삽입구를 포함하는 밀폐 구조의 고압 용기.
11. The method of claim 10,
The bottom part
Further comprising a fixing member formed extending downward from the bottom,
The outer portion
Further comprising a through hole through which the fixing member passes through,
The support plate
High-pressure container of a closed structure comprising an insertion hole which can be inserted so that the fixing member is fixed in the horizontal direction.
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