KR100778939B1 - Functional filter housing for cleaning equipment - Google Patents

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심용덕
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(주)지앤에스산업
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Abstract

A functional filter housing for cleaning equipment is provided to prevent ejection of an O-ring from an O-ring installation unit by installing the O-ring installation unit at a bowl. A bowl(120) is formed to cover a filter(10). A head(110) is connected to a tube layout and includes a coupling part to be coupled with the filter. A spring(30) is positioned at an upper part of the filter in order to perform operations for buffering and fixing the bowl. An O-ring installation unit(121) includes a protrusion formed at an inner circumference of the bowl so that a diameter of the O-ring installation unit is smaller than an inside diameter of another bowl. A filter vent(115) is formed at a center of the coupling part of the head. A tube layout vent(114) is formed at one side of an outer circumference of the coupling part.

Description

세정 장비용 기능성 필터 하우징{FUNCTIONAL FILTER HOUSING FOR CLEANING EQUIPMENT}Functional filter housing for cleaning equipment {FUNCTIONAL FILTER HOUSING FOR CLEANING EQUIPMENT}

본 발명은 세정 장비용 기능성 필터 하우징에 관한 것으로서, 보다 상세히는 반도체 웨이퍼, LCD 패널과 같은 제품의 표면을 세정하는 공정에서 세정액 내부의 이물질을 여과하는 필터 외부에 장착되는 하우징에서 필터의 방향을 타지 않고 자유로운 방향 설계가 가능하고 필터 내부의 케미컬이 유출되는 것을 효과적으로 차단하며 하우징과 필터의 접촉 부위에서 이물질이 발생하는 것을 방지할 수 있는 세정 장비용 기능성 필터 하우징에 관한 것이다.The present invention relates to a functional filter housing for cleaning equipment, and more particularly, in the process of cleaning the surface of a product such as a semiconductor wafer or an LCD panel, the direction of the filter in the housing mounted outside the filter for filtering foreign matter inside the cleaning liquid. The present invention relates to a functional filter housing for cleaning equipment capable of freely directional design, effectively preventing outflow of chemicals inside the filter, and preventing foreign substances from occurring at the contact portion of the housing and the filter.

세정 장비용 필터는 반도체 웨이퍼 내지 LCD 패널의 세정 및 금속막 에칭 후 케미컬 내지 이물질을 세정하는 설비에 장착되어 세정 기능을 담당하는 세정액(D.I 워터) 내부의 이물을 여과하는 역할을 수행한다.The filter for cleaning equipment is installed in a facility for cleaning chemicals or foreign matters after cleaning the semiconductor wafer or the LCD panel and etching the metal film to filter foreign matters inside the cleaning liquid (D.I water) that performs the cleaning function.

이 때, 필터는 이를 보호하는 하우징에 의하여 수용되는 바, 필터용 하우징은 필터 내에 유입, 유출되는 세정액의 통로인 배관과 연계되어 세정 장비 주변에서 필터가 견고하고 안전하게 위치될 수 있도록 하는 기능을 한다.At this time, the filter is accommodated by the housing to protect it, the filter housing is connected to the pipe, which is the passage of the cleaning liquid flowing in and out of the filter to function to ensure that the filter is firmly and securely positioned around the cleaning equipment. .

도 1은 공지의 반도체/LCD 패널의 세정 공정을 개략적으로 도시한 개념도이다.1 is a conceptual diagram schematically illustrating a cleaning process of a known semiconductor / LCD panel.

도 1을 보아 알 수 있듯이, 컨베이어 벨트에 로딩이 된 웨이퍼(또는 LCD 패널 소자)는 컨베이어 벨트의 이동에 의하여 일정 방향으로 진행이 되면서 컨베이어 벨트 상에 장착되어 있는 다수 개의 분사 노즐에서 분사되는 세정액에 접촉이 되어 표면의 이물질을 세정한 뒤에 건조 및 로딩 완료 과정을 거치게 된다.As can be seen from Figure 1, the wafer (or LCD panel element) is loaded on the conveyor belt proceeds in a predetermined direction by the movement of the conveyor belt to the cleaning liquid sprayed from a plurality of spray nozzles mounted on the conveyor belt After contact, the foreign substances on the surface are cleaned and then dried and loaded.

이 때, 웨이퍼 등을 세정하였던 세정액은 컨베이어 벨트 하부에 위치한 탱크에 수렴되고 펌프 구동에 의하여 배관을 타고 일정 방향으로 이동되다가 필터(10)로 유입되어 이물질을 여과한 다음에 다시금 또 다른 웨이퍼의 세정 역할을 하도록 분사 노즐을 향해 유입이 된다.At this time, the cleaning liquid used to clean the wafer, etc. converges in the tank located under the conveyor belt, moves through the pipe by a pump driving in a predetermined direction, enters the filter 10, filters foreign matters, and then again cleans another wafer. It is directed towards the spray nozzle to play a role.

도 1을 참조하면, 하우징(100)은 사발(bowl)과 같은 형상으로 이루어진 부위가 필터(10)를 감싸고 있는데 이를 보울(bowl)이라 명명하고, 이 외에 필터(10) 하단에서 필터(10) 및 배관과 연결되어 필터(10)의 지지 및 배관 연계 역할을 담당하는 헤드(head)로 이루어져 있음을 알 수 있다.Referring to FIG. 1, the housing 100 has a portion formed in a shape such as a bowl and surrounds the filter 10, which is called a bowl, and in addition to the filter 10 at the bottom of the filter 10. And it can be seen that it is connected to the pipe consists of a head (head) that serves to support the filter 10 and the pipe connection.

기본적으로 하우징(100)의 설치 설계는 도 1에 도시된 바와 같이 헤드가 하부로 향하도록 이루어지기 때문에 필터(10) 교환 시 하우징과 필터(10) 내주면의 마찰력 감소 및 결합력을 보장하기 위해 설치된 오링(O-ring)이 중력 방향으로 이탈되는 경우는 없게 된다.Basically, since the installation design of the housing 100 is made so that the head faces downward as shown in FIG. 1, an O-ring installed to ensure a reduction in friction and coupling force between the housing and the inner peripheral surface of the filter 10 when the filter 10 is replaced. There is no case where the (O-ring) deviates in the direction of gravity.

즉, 오링은 하우징의 헤드 부위 내주면에 형성된 단턱 부위, 즉 오링 장착부 내에 위치하고 있기 때문에 오링이 하방인 중력 방향으로 빠져나갈 개연성이 없게 되는 것이다.That is, since the O-ring is located in the stepped portion formed on the inner circumferential surface of the head portion of the housing, that is, the O-ring mounting portion, there is no possibility that the O-ring will escape in the downward gravity direction.

도 2는 세정 장비에서 필터가 역방향으로 장착되어 있는 상태를 도시한 개념도이다.2 is a conceptual diagram showing a state in which the filter is mounted in the reverse direction in the cleaning equipment.

일반적으로는 상기 언급한 도 1과 같이 하우징(100)의 헤드가 하부에 위치하도록 설계되는 것이 통상적이나, 협소한 공간 등의 문제로 하우징(100)의 헤드가 도 2에 도시된 바와 같이 상부로 향하는 경우가 있게 된다.Generally, the head of the housing 100 is typically designed to be positioned at the lower side as shown in FIG. 1, but the head of the housing 100 is moved upwards as shown in FIG. 2 due to a narrow space. There may be a case.

이 때, 일반적인 하우징(100)에서 헤드에 설치되어 있는 오링 및 오링 장착부가 하우징 전체를 기준으로 보았을 때 상부에 위치하게 되므로 당연히 오링 장착부에 오링이 안착하지 못하고 하부로 떨어지거나 이탈되는 문제가 발생하게 되는 불편함이 따랐다.At this time, since the O-ring and O-ring mounting portion installed on the head in the general housing 100 is located at the upper side when the entire housing is viewed as a reference, the O-ring cannot be seated on the O-ring mounting portion, and thus, the problem may occur. Becoming uncomfortable.

더불어, 공지의 하우징은 필터의 교환 시에 필터와 결합되는 헤드의 중앙 부위에 유출공이 구비되지 않아 필터 내부의 케미칼이 넘치거나 유출되는 현상이 일어나 별도의 청소를 해야 하는 불편함이 존재하였고, 하우징의 보울과 필터가 결합되는 부위 사이에서 고정수단이 보울의 내벽을 긁어 이물질이 발생하는 문제점이 존재하였다.In addition, the known housing is not provided with an outflow hole in the central portion of the head coupled with the filter when the filter is replaced, the chemical inside of the filter overflows or spills occur, there was an inconvenience that needs to be cleaned separately, the housing There was a problem that foreign matter occurs because the fixing means scratches the inner wall of the bowl between the portion of the bowl and the filter is coupled.

따라서 이를 방지할 수 있는 새롭고 편리한 필터 하우징의 개발이 시급한 실정이었다.Therefore, it was urgent to develop a new and convenient filter housing that can prevent this.

본 발명은 상기 기술의 문제점을 극복하기 위해 안출된 것으로, 기존 헤드에만 장착되던 오링 장착부를 보울에도 설치하여 역방향으로 필터가 설치될 때도 오링이 오링 장착부에서 이탈되는 현상을 방지하는 것이 일 목적이다.The present invention has been made in order to overcome the problems of the above technology, the purpose is to prevent the phenomenon that the O-ring is separated from the O-ring mounting portion even when the filter is installed in the reverse direction installed in the bowl O-ring mounting portion that was mounted only on the existing head.

본 발명의 다른 목적은 필터가 장착되는 헤드 일 측에 필터의 이물질 배출을 위한 벤트(vent)를 설치하여 필터 교환 시에 헤드 부위로 필터의 이물질이 넘치는 현상을 방지하도록 하는 것이다.Another object of the present invention is to install a vent (vent) for discharging the foreign matter of the filter on one side of the head on which the filter is mounted so as to prevent the phenomenon of foreign matter overflowed to the head portion during the filter replacement.

본 발명의 또 다른 목적은 보울과 필터를 연결하는 스프링에 캡을 추가로 장착하여 스프링의 일단이 보울 내부를 긁어 이물질이 발생되는 것을 방지하도록 하는 것이다.Still another object of the present invention is to further attach a cap to the spring connecting the bowl and the filter so that one end of the spring scratches the inside of the bowl to prevent foreign matters from occurring.

본 발명의 추가 목적은 필터에 세정수가 유출입 되는 배관을 개선함과 동시에 보울과 헤드를 보다 견고하게 결합할 수 있는 수단을 제공하는 것이다.It is a further object of the present invention to provide a means to more securely combine the bowl and head while improving the piping in which the wash water flows into and out of the filter.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 세정 장비용 기능성 필터 하우징은, 필터를 감싸는 보울; 양 측 부위에 배관과 연결되는 상태에서 필터와 결합되는 결합부를 구비하는 헤드; 필터 상부에 위치하여 상기 보울의 완충 고정 역할을 하는 스프링;으로 이루어져 있되, 상기 보울의 내측 둘레에 단턱을 지어 다른 보울 내경 부위보다 직경이 작도록 형성된 오링 장착부를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the functional filter housing for cleaning equipment according to the present invention, the bowl surrounding the filter; Head having a coupling portion coupled to the filter in a state connected to the pipe on both sides; The spring is positioned above the filter and serves as a cushioning fixing function of the bowl. The O-ring mounting portion is formed to have a diameter smaller than that of other bowl inner diameters by forming a step around the inner circumference of the bowl.

또한, 본 발명에 따른 세정 장비용 기능성 필터 하우징은 상기 헤드의 결합부 중앙 부위에서 관통 형성된 필터 벤트; 상기 결합부 외측 둘레 일측에서 관통 형성된 배관 벤트;를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.In addition, the functional filter housing for cleaning equipment according to the present invention includes a filter vent formed through the center portion of the coupling portion of the head; And a pipe vent formed through one side of the outer portion of the coupling portion.

더불어, 상기 스프링의 상부에는 상기 스프링에 의하여 상기 보울의 내벽이 긁히는 것을 방지하기 위한 캡;이 추가로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In addition, a cap for preventing the inner wall of the bowl from being scratched by the spring; an upper portion of the spring is further formed.

추가적으로, 본 발명에 따른 세정 장비용 기능성 필터 하우징은 상기 보울 및 상기 헤드의 결합 단부에는 턱을 구비하고 있고, 상기 턱을 감싸면서 상기 보울과 상기 헤드를 결합하는 로커;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the functional filter housing for cleaning equipment according to the present invention is provided with a jaw at the coupling end of the bowl and the head, and a rocker for coupling the bowl and the head while wrapping the jaw; .

본 발명에 따른 세정 장비용 기능성 필터 하우징에 따르면,According to the functional filter housing for cleaning equipment according to the invention,

1) 필터가 순 방향은 물론이고 역방향으로 장착이 되어도 오링이 낙하하는 문제점을 해결할 수 있어 협소한 공간에서 역 방향 설계의 용이성을 제공할 수 있는 장점을 가지고,1) It can solve the problem that the O-ring falls even if the filter is installed in the forward direction as well as the reverse direction, and has the advantage of providing the ease of reverse design in a narrow space.

2) 필터 교체 시 필터의 이물질이 헤드 부위로 넘치는 것을 차단하여 필터 교체의 용이성 및 청결성을 확보할 수 있으며,2) When replacing the filter, it is possible to secure the ease of filter replacement and cleanliness by blocking foreign substances in the filter from overflowing to the head.

3) 보울과 필터의 연결 부위에 스크래치/긁힘 방지용 캡을 덧씌움으로써 불필요한 이물질이 필터 방향으로 낙하는 것을 방지할 수 있을 뿐 아니라,3) By adding a scratch / scratch prevention cap to the connection part of the bowl and the filter, it prevents unnecessary foreign substances from falling into the filter direction.

4) 보울과 헤드의 견고한 결합 관계 유지 및 배관 배치의 편리성을 추구할 수 있다는 효과를 가진다.4) It has the effect of maintaining the solid coupling relationship between the bowl and the head and the convenience of pipe arrangement.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하도록 한다. 첨부된 도면은 축척에 의하여 도시되지 않았으며, 각 도면의 동일한 참조 번호는 동일한 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The accompanying drawings are not drawn to scale, and like reference numerals in each of the drawings refer to like elements.

도 3은 본 발명에 따른 세정 장비용 기능성 필터 하우징이 필터에 결합되는 상태를 개략적으로 도시한 분해 사시도이다.3 is an exploded perspective view schematically showing a state in which a functional filter housing for cleaning equipment according to the present invention is coupled to a filter.

도 3을 보아 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 하우징(100)은 크게 보울(120)과 헤드(100)로 구분되어 구성되는 바, 보울(120)은 필터(100)를 감싸는 사발 형상의 케이스와 같이 이루어져 있으며, 헤드(110)는 필터(10)의 일 측과 결합되어 필터(10)를 고정함과 동시에 필터(10)에 세정수를 공급 및 유출하는 배관(113)과도 연결되어 있어 배관(113) 내 이물질을 외부로 유출할 수 있는 벤트를 구비한 구조로 이루어져 있다.As can be seen from Figure 3, the housing 100 according to the present invention is largely divided into a bowl 120 and the head 100, the bowl 120 is a bowl-shaped case surrounding the filter 100 and The head 110 is coupled to one side of the filter 10 to fix the filter 10 and is also connected to a pipe 113 which supplies and discharges the washing water to the filter 10. 113) It has a structure with a vent to let foreign substances inside out.

도 3에서 필터(10)의 상측에는 스프링(30)이 장착되어 있어, 필터(10)와 하우징, 구체적으로는 보울(120)의 탄성적 연결 기능을 담당하여 보울(120)이 유동감 없이 필터에 고정되도록 하고, 이러한 스프링(30)의 상부에는 캡(140)이 추가로 구성되어 있다.In FIG. 3, the spring 30 is mounted on the upper side of the filter 10, and thus, the bowl 120 performs the elastic connection function of the filter 10 and the housing, specifically, the bowl 120. In order to be fixed to the upper portion of the spring 30, the cap 140 is further configured.

도 3에 도시되어 있지는 않으나, 필터(10)가 헤드(110)와 결합되어 있는 부 위에서 헤드(110)의 내주면 둘레를 따라 오링 장착부가 장착되어 있고, 이에 오링(미도시)이 안착하게 된다.Although not shown in FIG. 3, the O-ring mounting portion is mounted along the circumference of the inner circumferential surface of the head 110 at the portion where the filter 10 is coupled with the head 110, and thus the O-ring (not shown) is seated.

헤드(110)의 양측으로는 배관(113)이 연결되어 양 측으로 연장되는 바, 다른 배관과의 결합 연결을 위하여 배관(113)의 단부에는 플랜지(113a)가 형성되어 있음을 알 수 있다.The pipe 113 is connected to both sides of the head 110 and extends to both sides, so that the flange 113a is formed at the end of the pipe 113 for coupling and connection with other pipes.

더불어, 헤드(110)의 하단에는 배관 벤트(114)와 필터 벤트(115)가 형성되어 있어, 이로써 필터 내지 헤드 내의 이물질이 방출될 수 있게 되며 이는 하기에서 보다 상세히 설명하기로 한다.In addition, a pipe vent 114 and a filter vent 115 are formed at the lower end of the head 110, thereby allowing foreign substances in the filter or the head to be discharged, which will be described in more detail below.

도 4a는 헤드 내측 둘레에 오링 장착부가 형성되어 있는 것을 도시한 내부 사시도이고, 도 4b는 보울 내측 둘레에 오링 장착부가 형성되어 있는 것을 도시한 내부 사시도이다.4A is an internal perspective view showing an O-ring mounting portion formed around the inner side of the head, and FIG. 4B is an internal perspective view showing an O-ring mounting portion formed around the inner side of the bowl.

도 4a를 보아 알 수 있듯이, 일반적인 헤드(110)의 내측 둘레에는 주변 직경보다 작게 이루어져 단턱을 발생하도록 하는 오링 장착부(112)가 형성되어 있어, 이 오링 장착부(112)상에 오링이 장착된다.As can be seen from Figure 4a, the inner circumference of the general head 110 is formed with an O-ring mounting portion 112 is smaller than the peripheral diameter to generate a step, the O-ring is mounted on the O-ring mounting portion 112.

그런데, 본 발명에 따른 하우징(100)은 도 4b에 도시된 바와 같이, 보울(120) 내측 둘레에도 단턱지게 형성되어 있는 오링 장착부(121)를 별도로 마련하여 상기 도 2와 같은 구조로 필터(10)가 세정 장비에 역 방향으로 설치될 때에도 오링이 보울(120)의 오링 장착부(122) 상에 안전하게 안착될 수가 있어, 역 방향으로 필터(10)를 설계하는 것에 대한 편의성을 제공한다는 특성이 있다.However, as shown in FIG. 4B, the housing 100 according to the present invention separately provides an O-ring mounting portion 121 which is formed stepwise in the inner circumference of the bowl 120 to have a filter 10 having the structure as shown in FIG. 2. The O-ring can be securely seated on the O-ring mounting portion 122 of the bowl 120 even when) is installed in the reverse direction of the cleaning equipment, which provides convenience for designing the filter 10 in the reverse direction. .

도 4a를 다시 참조하면, 헤드(110)의 내측 부위는 함입되어 있는 중앙 부위가 형성되어 있는 것을 알 수 있는 바, 이는 필터(10)의 단부가 안착되는 결합부(111)라 명명하고, 결합부(111)의 중앙 부위에는 별도의 통공이 관통 형성되어 있는데 이를 필터 벤트(115)라 한다.Referring again to Figure 4a, it can be seen that the inner portion of the head 110 is formed a central portion that is embedded, which is named as the coupling portion 111 is seated on the end of the filter 10, the coupling A separate through-hole is formed in the central portion of the part 111, which is called a filter vent 115.

또한, 결합부(111)의 외측 둘레 일 측에 역시 통공이 관통 형성되어 있는 바, 이를 배관 벤트(114)라 한다.In addition, the through hole is also formed through the outer periphery of the coupling portion 111, which is referred to as a pipe vent 114.

도 5는 본 발명에 따른 하우징의 헤드에 필터가 결합되는 상태를 도시한 결합 사시도 및, 헤드 내외 측 부위를 도시한 상세도이다.5 is a perspective view illustrating a state in which the filter is coupled to the head of the housing according to the present invention, and a detailed view showing the inner and outer sides of the head.

도 5를 참조하면, 필터(10)의 하단이 결합부(111) 내에 결합되는 것을 알 수 있으며, 필터(10)와 결합부(111)의 내측 내지 외측 둘레에는 나사산이 형성되어 양자는 나사산 결합을 하는 것이 가능함을 알 수 있다.Referring to FIG. 5, it can be seen that the lower end of the filter 10 is coupled in the coupling part 111, and threads are formed in the inner to outer circumferences of the filter 10 and the coupling part 111 so that both are thread-coupled. It can be seen that it is possible to.

또한, 도 3 및 도 5를 보아 알 수 있듯이, 헤드(110)의 결합부(111) 중앙 부위에 관통 형성되어 있는 필터 벤트(115) 및 상기 필터 벤트(115) 외측 둘레 일 측에 자리한 배관 벤트(114)가 형성되어 있다.3 and 5, the filter vent 115 penetrating through the center portion of the coupling portion 111 of the head 110 and the pipe vent positioned at one side of the outer periphery of the filter vent 115 are provided. 114 is formed.

필터 벤트(115) 및 배관 벤트(114) 모두 헤드 외측 하단으로 돌출되어 있는 부위에 조임부를 구비하여 평상시에는 밀폐 구조를 이루도록 이루어져 있다.Both the filter vent 115 and the pipe vent 114 are provided with a tightening part at a portion protruding to the lower end of the head to form an airtight structure.

필터 벤트(115)는 필터(10)의 교체 시에 필터에서 이물질이 유출될 경우 그 이물질이 배출되는 경로로서 활용이 되고, 배관 벤트(114)는 배관(113)의 이물질을 필요시에 배출하는 용도로 활용이 된다.The filter vent 115 is used as a path through which foreign substances are discharged from the filter when the filter 10 is replaced, and the pipe vent 114 discharges foreign substances from the pipe 113 when necessary. It is used for a purpose.

따라서 기존의 배관 벤트(114) 이외에 필터 벤트(115)를 결합부(111) 중앙 부위에 형성함으로써 필터 교체 시 필터(10)의 이물질이 외부로 흘러내려 지저분해지는 문제를 원천적으로 차단할 수가 있다.Therefore, by forming the filter vent 115 in the center portion of the coupling portion 111 in addition to the existing pipe vent 114, it is possible to fundamentally block the problem that foreign matter of the filter 10 flows to the outside when the filter is replaced.

도 6a는 본 발명에 따른 로커(locker)를 설명하기 위한 외관 사시도이고, 도 6b는 본 발명에 따른 로커(locker)에 의한 보울과 헤드의 결합 부위에 대한 종단면도이며, 도 6c는 본 발명에 따른 하우징에 로커가 결합되어 있는 상태의 횡단면도이다.Figure 6a is a perspective view for explaining the locker (locker) according to the present invention, Figure 6b is a longitudinal sectional view of the coupling portion of the bowl and the head by the locker (locker) according to the present invention, Figure 6c is a It is a cross-sectional view of a state in which the rocker is coupled to the housing according to the above.

도 6a,6b,6c를 보아 알 수 있듯이, 보울(120)과 헤드(110)의 양 끝단은 기타 부위보다 직경이 약간 크게 이루어져 있는 턱(116,121)을 구비하고 있고, 이러한 턱(116,121)은 로커(locker)(130)에 의하여 둘러싸여 있다.6A, 6B, and 6C, both ends of the bowl 120 and the head 110 are provided with jaws 116 and 121 which are slightly larger in diameter than other parts, and these jaws 116 and 121 are rockers. It is surrounded by a locker 130.

도 6c를 참조하면, 로커(130)는 내측 둘레로 턱(116,121)을 수용할 수 있는 함입 부위인 리세스(131)를 구비하고 있고, 로커(130)의 둘레 중 일정한 지점 2곳에서 샤프트를 포함한 힌지(132)를 구비하고 있어 이 힌지(132)를 기준으로 로커(130)의 둘레 부위가 개방 및 밀폐가 될 수 있다.Referring to FIG. 6C, the rocker 130 has recesses 131 which are recesses for accommodating the jaws 116 and 121 in the inner circumference thereof, and the shaft is moved at two predetermined points of the circumference of the rocker 130. Since the hinge 132 is included, the circumferential portion of the rocker 130 may be opened and closed based on the hinge 132.

다시 말해, 힌지(132)를 기준으로 로커(130)가 개방 및 폐쇄될 수 있는바, 만일 폐쇄 상태를 이루고자 할 때에는 로커(130)의 둘레 부위에서 일 측으로 돌출되어 있는 돌출부(133)의 결합공(134)에 패스너를 삽입하여 안전하게 고정을 시킬 수가 있다.In other words, the rocker 130 may be opened and closed based on the hinge 132. If the locker 130 is to be closed, a coupling hole of the protrusion 133 protruding to one side from the circumference of the rocker 130 may be achieved. A fastener can be inserted into the 134 to fix it securely.

또한 또 6b, 도 6c를 보아 알 수 있듯이 배관(113)의 단부는 플랜지(113a)뿐 아니라, 조임 볼트(113b) 타입(즉 배관의 단부를 조임식 볼트로 고정하는 타입)도 가능하며 이 경우 플랜지보다 설치 공간을 줄일 수 있는 특성이 있다.6b and 6c, the end of the pipe 113 is not only a flange 113a but also a fastening bolt 113b type (that is, a type of fastening the end of the pipe with a fastening bolt). The installation space is smaller than the flange.

도 7은 본 발명에 따른 필터 상에 장착되는 스프링 상부에 장착되는 캡을 도시한 사시도이다.Figure 7 is a perspective view of the cap mounted on top of the spring mounted on the filter according to the present invention.

스프링(30)은 상기 언급하였듯이 보울(120) 내벽과 필터(10) 사이에서 보울(120)의 원활한 고정성 확보를 위하여 완충 작용을 하는 것인데, 이 스프링(30)의 상부에 캡(140)이 덧씌워져 스프링(30) 자체가 보울(120) 내벽을 긁는 현상을 방지함으로 보울(120) 내벽에서 이물질이 발생하는 현상을 방지하도록 하는 역할을 수행한다.As mentioned above, the spring 30 has a buffer function to ensure a smooth fixation of the bowl 120 between the inner wall of the bowl 120 and the filter 10, and the cap 140 is formed on the upper portion of the spring 30. Covered by the spring (30) itself to prevent the phenomenon of scratching the inner wall of the bowl 120 serves to prevent the occurrence of foreign matter in the inner wall of the bowl (120).

지금까지 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 세정 장비용 기능성 필터 하우징의 구성 및 작용을 상기 설명 및 도면에 표현하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하여 본 발명의 사상이 상기 설명 및 도면에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.As described so far, the configuration and operation of the functional filter housing for cleaning equipment according to the present invention has been expressed in the above description and drawings, but this is merely an example, and the spirit of the present invention is not limited to the above description and drawings, Various changes and modifications are possible without departing from the technical spirit of the present invention.

도 1은 공지의 반도체/LCD 패널의 세정 공정을 개략적으로 도시한 개념도.1 is a conceptual diagram schematically showing a cleaning process of a known semiconductor / LCD panel.

도 2는 세정 장비에서 필터가 역방향으로 장착되어 있는 상태를 도시한 개념도.2 is a conceptual view showing a state in which the filter is mounted in the reverse direction in the cleaning equipment.

도 3은 본 발명에 따른 세정 장비용 기능성 필터 하우징이 필터에 결합되는 상태를 개략적으로 도시한 분해 사시도.3 is an exploded perspective view schematically showing a state in which a functional filter housing for cleaning equipment according to the present invention is coupled to a filter;

도 4a는 헤드 내측 둘레에 오링 장착부가 형성되어 있는 것을 도시한 내부 사시도.4A is an interior perspective view showing an O-ring mounting portion formed around the inner side of the head;

도 4b는 보울 내측 둘레에 오링 장착부가 형성되어 있는 것을 도시한 내부 사시도.Figure 4b is an internal perspective view showing that the O-ring mounting portion is formed around the inside of the bowl.

도 5는 본 발명에 따른 하우징의 헤드에 필터가 결합되는 상태를 도시한 결합 사시도 및, 헤드 내외 측 부위를 도시한 상세도.Figure 5 is a perspective view showing a state in which the filter is coupled to the head of the housing according to the present invention, and a detailed view showing the inner and outer sides of the head.

도 6a는 본 발명에 따른 로커(locker)를 설명하기 위한 외관 사시도. 6A is an external perspective view illustrating a locker according to the present invention;

도 6b는 본 발명에 따른 로커(locker)에 의한 보울과 헤드의 결합 부위에 대한 종단면도. Figure 6b is a longitudinal sectional view of the engaging portion of the bowl and the head by the locker (locker) according to the present invention.

도 6c는 본 발명에 따른 하우징에 로커가 결합되어 있는 상태의 횡단면도.Figure 6c is a cross-sectional view of the locker is coupled to the housing according to the invention.

도 7은 본 발명에 따른 필터 상에 장착되는 스프링 상부에 장착되는 캡을 도시한 사시도.Figure 7 is a perspective view of the cap mounted on top of the spring mounted on the filter according to the present invention.

<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10: 필터 113b: 조임 볼트10: filter 113b: tightening bolt

30: 스프링 114: 배관 벤트30: spring 114: piping vent

100: 하우징 115: 필터 벤트100: housing 115: filter vent

110: 헤드 116,121: 턱110: head 116,121: jaw

111: 결합부 120: 보울111: coupling part 120: bowl

112,121: 오링 장착부 130: 로커 112,121: O-ring mounting portion 130: rocker

113: 배관 132: 힌지113: piping 132: hinge

113a: 플랜지 133: 결합공113a: flange 133: coupling hole

140: 캡140: cap

Claims (6)

세정 장비용 기능성 필터 하우징으로서,As a functional filter housing for cleaning equipment, 필터를 감싸는 보울;A bowl to wrap the filter; 양 측 부위에 배관과 연결되는 상태에서 필터와 결합되는 결합부를 구비하는 헤드;Head having a coupling portion coupled to the filter in a state connected to the pipe on both sides; 필터 상부에 위치하여 상기 보울의 완충 고정 역할을 하는 스프링;으로 이루어져 있되, Is located on the top of the filter to act as a buffer for fixing the bowl; consisting of, 상기 보울의 내측 둘레에 단턱을 지어 다른 보울 내경 부위보다 직경이 작도록 형성된 오링 장착부를 구비하는 것을 특징으로 하는, 세정 장비용 기능성 필터 하우징.And an O-ring mounting portion formed to be stepped around the inner circumference of the bowl so as to have a diameter smaller than that of other bowl inner diameter portions. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 헤드의 결합부 중앙 부위에서 관통 형성된 필터 벤트;A filter vent formed through a center portion of the coupling portion of the head; 상기 결합부 외측 둘레 일측에서 관통 형성된 배관 벤트;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는, 세정 장비용 기능성 필터 하우징.And a pipe vent formed through one side of the outer circumference of the coupling portion. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스프링의 상부에는, 상기 스프링에 의하여 상기 보울의 내벽이 긁히는 것을 방지하기 위한 캡;이 추가로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 세정 장비용 기능성 필터 하우징.The upper portion of the spring, the cap for preventing the inner wall of the bowl from being scratched by the spring; is further formed, functional filter housing for cleaning equipment. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보울 및 상기 헤드의 결합 단부에는 턱을 구비하고 있고, The bowl and the coupling end of the head is provided with a jaw, 상기 턱을 감싸면서 상기 보울과 상기 헤드를 결합하는 로커;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 세정 장비용 기능성 필터 하우징.And a rocker coupling the bowl and the head while surrounding the jaw. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 로커는,The locker is, 샤프트를 구비하여 둘레 중 적정 부위에 형성된 힌지를 기준으로 개폐가 가능하고,It is equipped with a shaft and can be opened and closed based on a hinge formed at an appropriate portion of the circumference, 일 측으로 돌출된 돌출부에 형성된 결합공에 패스너를 결합함으로 폐쇄 상태를 이루는 것을 특징으로 하는, 세정 장비용 기능성 필터 하우징.The functional filter housing for cleaning equipment, characterized in that to form a closed state by coupling the fastener to the coupling hole formed in the protrusion protruding to one side. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 헤드에 연결된 배관의 단부에는 별도의 배관과 연결을 위하여 플랜지 내지 조음 볼트 중 어느 하나가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는, 세정 장비용 기능성 필터 하우징.The end of the pipe connected to the head is characterized in that any one of the flange or the articulation bolt is mounted for connection with a separate pipe, functional filter housing for cleaning equipment.
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