JP2010203533A - Manifold valve - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manifold valve reducing liquid accumulation caused in a fluid path by a natural head. <P>SOLUTION: In the manifold valve, in a manifold block 2 in which a discharge valve 5A and a collection valve 6 are arranged, a main flow path 11 is provided obliquely to an installation surface of the manifold block 2 so that an input side end 11a for input of liquid is arranged higher than a terminal side end 11b for blocking the liquid, and first and second branch flow paths are provided to branch off downward from the main flow path 11. A first opening 41 by which the first branch flow path 14 opens to the main flow path 11 is opened and closed by the discharge valve 5A and a second opening 42 by which the second branch flow path 15 opens to the main flow path 11 is opened and closed by the collection valve 6A so that the liquid supplied to the main flow path 11 from a process device is let flow to the first or second branch flow path 14, 15 by the natural head and is discharged or collected. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、プロセス装置に接続され、前記プロセス装置に供給された液体の排出又は回収を行うマニホールドバルブに関し、特に、自然落差により流路内に発生する液溜まりを少なくできるマニホールドバルブに関する。   The present invention relates to a manifold valve that is connected to a process apparatus and discharges or collects the liquid supplied to the process apparatus, and more particularly to a manifold valve that can reduce a liquid pool generated in a flow path due to a natural drop.

例えば、半導体製造工程では、プロセス装置に供給された薬液を回収タンクに回収して循環させることによりウエハにメッキ処理や洗浄処理などを行い、その後、その薬液を排液タンクへ排出している。この薬液の回収と排出は、プロセス装置に接続するマニホールドバルブにより制御される。   For example, in a semiconductor manufacturing process, a chemical solution supplied to a process apparatus is collected in a recovery tank and circulated to perform a plating process or a cleaning process on the wafer, and then the chemical liquid is discharged to a drain tank. The recovery and discharge of the chemical solution is controlled by a manifold valve connected to the process device.

マニホールドバルブは、例えば、プロセス装置に接続される主流路と、主流路から分岐して排液タンクに接続される排出流路と、主流路から分岐して回収タンクに接続される回収流路とが形成されたマニホールドブロックと、排出流路が主流路に開口する第１開口部を開閉するようにマニホールドブロックに取り付けられる排出バルブと、回収流路が主流路に開口する第２開口部を開閉するようにマニホールドブロックに取り付けられる回収バルブとを有する。このようなマニホールドバルブは、排出バルブを閉じ、回収バルブを開くことにより主流路を回収流路に連通させ、薬液を回収タンクに回収する一方、排出バルブを開き、回収バルブを閉じることにより主流路を排出流路に連通させ、薬液を排液タンクへ排出する。薬液排出後に薬液が流路に残存していると、薬液の変質や固化などによって歩留まりを低下させる虞がある。そのため、マニホールドバルブは、流路内をパージして流路に残った薬液を押し出した後、流路を純水などで洗浄している（例えば、特許文献１参照）。   The manifold valve includes, for example, a main flow path connected to the process device, a discharge flow path branched from the main flow path and connected to the drainage tank, and a recovery flow path branched from the main flow path and connected to the recovery tank. A manifold block in which a discharge channel is attached to the manifold block so as to open and close the first opening that opens to the main channel, and a second opening that opens the recovery channel to the main channel. And a recovery valve attached to the manifold block. Such a manifold valve closes the discharge valve and opens the recovery valve to connect the main flow path to the recovery flow path, collects the chemical in the recovery tank, and opens the discharge valve and closes the recovery valve to close the main flow path. Is communicated with the discharge channel, and the chemical solution is discharged to the drain tank. If the chemical solution remains in the flow path after the chemical solution is discharged, there is a risk that the yield may be reduced due to the alteration or solidification of the chemical solution. For this reason, the manifold valve purges the inside of the flow path to push out the chemical solution remaining in the flow path, and then cleans the flow path with pure water or the like (for example, see Patent Document 1).

特開２００７−９２９５９号公報JP 2007-92959 A

しかしながら、従来のマニホールドバルブは、主流路、排出流路及び回収流路が水平に設けられ、薬液の排出時や回収時に流路内に液が溜まる問題があった。上述したように、流路に残留する薬液が変質したり固化すると、歩留まりを低下させる。よって、液溜まりをできるだけ少なくできるマニホールドバルブが強く望まれている。
また、従来のマニホールドバルブは、流路の液溜まりをなくすために、流路のパージと洗浄を行っている。そのため、薬液の回収処理と排液処理の他に液溜まりをなくすための処理を行う必要があり、作業時間がかかる問題があった。 However, the conventional manifold valve has a main flow path, a discharge flow path, and a recovery flow path that are provided horizontally, and there is a problem that liquid accumulates in the flow path when the chemical solution is discharged or recovered. As described above, when the chemical solution remaining in the flow path is altered or solidified, the yield is lowered. Therefore, a manifold valve that can reduce the liquid pool as much as possible is strongly desired.
Further, the conventional manifold valve purges and cleans the flow path in order to eliminate liquid accumulation in the flow path. For this reason, it is necessary to perform a process for eliminating the liquid pool in addition to the chemical liquid recovery process and the drainage process.

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、自然落差により流路内に発生する液溜まりを少なくできるマニホールドバルブを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a manifold valve that can reduce a liquid pool generated in a flow path due to a natural drop.

本発明に係るマニホールドバルブは、次のような構成を有している。
（１）第１バルブと、第２バルブと、前記第１及び前記第２バルブが取り付けられるマニホールドブロックと、を有し、前記第１及び前記第２バルブを駆動してプロセス装置で使用された液体を排出又は回収するマニホールドバルブにおいて、前記マニホールドブロックは、前記第１及び前記第２バルブが上面に配置され、前記プロセス装置から前記液体を入力する入力側端部が前記液体を塞き止める終端側端部より上に配置されるように、前記マニホールドブロックの設置面に対して斜めに設けられた主流路と、前記主流路から下方へ分岐する第１分岐流路と、前記第１分岐流路と前記入力側端部との間で前記主流路から下方へ分岐する第２分岐流路と、を有し、前記第１分岐流路が前記主流路に開口する第１開口部を前記第１バルブが開閉し、前記第２分岐流路が前記主流路に開口する第２開口部を前記第２バルブが開閉する。 The manifold valve according to the present invention has the following configuration.
(1) A first valve, a second valve, and a manifold block to which the first and second valves are attached, and used in a process apparatus by driving the first and second valves. In the manifold valve that discharges or collects liquid, the manifold block has the first and second valves arranged on the upper surface, and an input side end portion that inputs the liquid from the process device closes the liquid. A main flow path provided obliquely with respect to the installation surface of the manifold block, a first branch flow path branched downward from the main flow path, and the first branch flow A second branch channel that branches downward from the main channel between the path and the input side end, and the first branch channel that opens to the main channel has the first opening. 1 valve is open And, a second opening portion in which the second branch flow channel is open to the main channel and the second valve to open and close.

（２）（１）に記載のマニホールドバルブは、前記マニホールドブロックが、前記主流路の傾斜角度より大きい角度で前記主流路の前記終端側端部から前記第１分岐流路側へ傾斜するテーパ部を有することが望ましい。 (2) In the manifold valve according to (1), the manifold block has a tapered portion that is inclined from the terminal end side end portion of the main flow channel to the first branch flow channel side at an angle larger than the inclination angle of the main flow channel. It is desirable to have.

（３）（２）に記載のマニホールドバルブは、前記マニホールドブロックが、前記第１開口部の周りに、前記主流路の傾斜角度より大きい角度で前記主流路の流路面から前記第１分岐流路側へ傾斜する第１円錐面を有し、前記第１円錐面が前記テーパ部を含んでおり、前記第２開口部の周りに、前記主流路の傾斜角度より大きい角度で前記主流路の流路面から前記第２分岐流路側へ傾斜する第２円錐面を有していることが望ましい。 (3) In the manifold valve according to (2), the manifold block is arranged on the first branch channel side from the channel surface of the main channel at an angle larger than the inclination angle of the main channel around the first opening. A first conical surface inclined to the first conical surface, the first conical surface including the tapered portion, and a flow path surface of the main flow path around the second opening at an angle larger than an inclination angle of the main flow path. It is desirable to have the 2nd conical surface which inclines to the said 2nd branch flow path side.

（４）（１）乃至（３）の何れか一つに記載のマニホールドバルブは、前記マニホールドブロックが、前記第１開口部の開口部外周に平坦な第１平坦面を有し、前記第２開口部の開口部外周に平坦な第２平坦面を有し、前記第１バルブは、前記第１平坦面に当接してシールを行う第１環状シール部を備える第１弁体を有し、前記第２バルブは、前記第２平坦面に当接してシールを行う第２環状シール部を備える第２弁体を有することが望ましい。 (4) In the manifold valve according to any one of (1) to (3), the manifold block has a flat first flat surface on an outer periphery of the opening of the first opening, and the second A flat second flat surface on the outer periphery of the opening of the opening, and the first valve includes a first valve body including a first annular seal portion that contacts and seals the first flat surface; The second valve preferably includes a second valve body including a second annular seal portion that seals against the second flat surface.

（５）（３）に記載のマニホールドバルブは、前記第１円錐面が、前記第１開口部から傾斜し、前記第２円錐面が、前記第２開口部から傾斜し、前記第１バルブが、前記第１円錐面に当接してシールを行う第３環状シール部を備える第１弁体を有し、前記第２バルブが、前記第２円錐面に当接してシールを行う第４環状シール部を備える第２弁体を有することが望ましい。 (5) In the manifold valve according to (3), the first conical surface is inclined from the first opening, the second conical surface is inclined from the second opening, and the first valve is A fourth annular seal having a first valve body including a third annular seal portion that seals against the first conical surface, and the second valve contacts and seals against the second conical surface. It is desirable to have the 2nd valve body provided with a part.

（６）（１）乃至（５）の何れか一つに記載のマニホールドバルブは、前記第１バルブが、前記液体の排出を制御する排出用バルブであり、前記第２バルブが、前記液体の回収を制御する回収用バルブである。 (6) In the manifold valve according to any one of (1) to (5), the first valve is a discharge valve for controlling the discharge of the liquid, and the second valve is a discharge valve for the liquid. This is a recovery valve that controls recovery.

（７）（１）乃至（５）の何れか一つに記載のマニホールドバルブは、前記第１バルブが、前記液体の回収を制御する回収用バルブであり、前記第２バルブが、前記液体の排出を制御する排出用バルブである。 (7) In the manifold valve according to any one of (1) to (5), the first valve is a recovery valve that controls recovery of the liquid, and the second valve is the liquid valve. This is a discharge valve for controlling discharge.

上記マニホールドバルブでは、主流路が、プロセス装置から液体を入力する入力側端部が液体を塞き止める終端側端部より上に配置されるように、マニホールドブロックの設置面に対して斜めに設けられているので、プロセス装置からマニホールドブロックの主流路に入力した液体が主流路に沿って第１及び第２分岐流路側へ自然に流れる。そして、第１及び第２分岐流路が主流路の下方へ分岐し、第１及び第２分岐流路が主流路に開口する第１及び第２開口部を第１及び第２バルブが開閉するので、第１バルブが開き、第２バルブが閉じている場合には、液体は、主流路から第１分岐流路へ自然に流れ落ち、また、第１バルブが閉じ、第２バルブが開いている場合には、液体は、主流路から第２分岐流路へ自然に流れ落ちる。よって、上記マニホールドバルブによれば、液体が自然落差により主流路から第１及び第２分岐流路へ流れ、流路内で発生する液溜まりを少なくすることができる。   In the manifold valve, the main flow path is provided obliquely with respect to the installation surface of the manifold block so that the input side end for inputting liquid from the process device is disposed above the end side end for blocking the liquid. Therefore, the liquid input from the process device to the main flow path of the manifold block naturally flows along the main flow path toward the first and second branch flow paths. The first and second branch flow paths branch downward from the main flow path, and the first and second valves open and close the first and second openings where the first and second branch flow paths open to the main flow path. Therefore, when the first valve is open and the second valve is closed, the liquid naturally flows from the main flow path to the first branch flow path, and the first valve is closed and the second valve is open. In some cases, the liquid naturally flows from the main channel to the second branch channel. Therefore, according to the manifold valve, the liquid flows from the main flow path to the first and second branch flow paths due to a natural drop, and the liquid pool generated in the flow path can be reduced.

このように液溜まりが少なくなる結果、液体の変質や固化を抑制し、製品の歩留まりを向上させることが可能になる。また、液体が回収時や排出時に自然落差により主流路から第１及び第２分岐流路へ残留しないように流れるようになったため、液体の回収処理や排出処理と別に液溜まりを除去する処理を行う必要がなく、作業時間を短縮することが可能になる。   As a result of the liquid pool being reduced in this way, it is possible to suppress the deterioration and solidification of the liquid and to improve the product yield. In addition, since the liquid flows so as not to remain from the main flow path to the first and second branch flow paths due to a natural head at the time of recovery or discharge, a process for removing the liquid pool is performed separately from the liquid recovery process and the discharge process. There is no need to do this, and the working time can be shortened.

上記マニホールドバルブでは、主流路の傾斜角度より大きい角度で主流路の終端側端部から第１分岐流路側へ傾斜するテーパ部をマニホールドブロックに設け、主流路の終端側端部まで流れた液体がテーパ部に沿って第１分岐流路へ自然に流れるようにしたので、液体が主流路の終端側端部に残留しない。   In the manifold valve, the manifold block is provided with a taper portion that is inclined from the end side end portion of the main flow channel to the first branch flow channel side at an angle larger than the inclination angle of the main flow channel, and the liquid that has flowed to the end side end portion of the main flow channel is provided. Since the liquid naturally flows to the first branch flow path along the taper portion, the liquid does not remain at the end side end portion of the main flow path.

上記マニホールドバルブでは、第１及び第２分岐流路が主流路に開口する第１及び第２開口部の周りに第１及び第２円錐面を設けている。第１及び第２円錐面は、主流路の傾斜角度より大きい角度で主流路の流路面から第１及び第２分岐流路側へ傾斜している。第１円錐面は、主流路の終端側端部から第１分岐流路側へ傾斜するテーパ部を含んでいる。このようなマニホールドバルブは、主流路に沿って流れる液体が更に第１及び第２円錐面に沿って第１及び第２分岐流路へ流れやすいので、主流路内で発生する液溜まりを少なくすることができる。   In the manifold valve, the first and second conical surfaces are provided around the first and second openings where the first and second branch flow paths open to the main flow path. The first and second conical surfaces are inclined from the channel surface of the main channel toward the first and second branch channels at an angle larger than the inclination angle of the main channel. The first conical surface includes a tapered portion that inclines from the terminal end side end of the main channel toward the first branch channel. In such a manifold valve, since the liquid flowing along the main flow path is more likely to flow along the first and second conical surfaces to the first and second branch flow paths, the liquid pool generated in the main flow path is reduced. be able to.

上記マニホールドバルブでは、第１及び第２バルブの第１及び第２弁体に第１及び第２環状シール部を設けている。そして、第１及び第２分岐流路の第１及び第２開口部の開口部外周に第１及び第２平坦面を設け、その第１及び第２平坦面に第１及び第２バルブの第１及び第２環状シール部が当接するようにしている。このようなマニホールドバルブは、第１及び第２弁体が第１及び第２環状シール部を第１及び第２平坦面に当接させてシールを行うため、主流路の流路面に弁座を突設する必要がない。よって、上記マニホールドバルブによれば、第１及び第２開口部付近で液溜まりが発生しない。   In the manifold valve, first and second annular seal portions are provided on the first and second valve bodies of the first and second valves. And the 1st and 2nd flat surface is provided in the opening perimeter of the 1st and 2nd opening of the 1st and 2nd branch channel, and the 1st and 2nd valve of the 1st and 2nd valve is provided in the 1st and 2nd flat surface. The first and second annular seal portions are in contact with each other. In such a manifold valve, since the first and second valve bodies perform sealing by bringing the first and second annular seal portions into contact with the first and second flat surfaces, a valve seat is provided on the flow path surface of the main flow path. There is no need to project. Therefore, according to the manifold valve, no liquid pool is generated in the vicinity of the first and second openings.

上記マニホールドバルブでは、第１及び第２バルブの第１及び第２弁体に第３及び第４環状シール部を設け、第１及び第２開口部から形成した第１及び第２円錐面に第３及び第４環状シール部を当接させてシールを行う。このようなマニホールドバルブは、主流路の流路面に弁座を突設する必要がないので、第１及び第２開口部付近で液溜まりが発生しない。   In the manifold valve, the first and second valve bodies of the first and second valves are provided with third and fourth annular seal portions, and the first and second conical surfaces formed from the first and second openings are provided with first and second conical surfaces. Sealing is performed by contacting the third and fourth annular seal portions. In such a manifold valve, there is no need to project a valve seat on the flow path surface of the main flow path, so that no liquid pool is generated in the vicinity of the first and second openings.

上記マニホールドバルブでは、第１バルブが液体の排出を制御する排出用バルブであり、第２バルブが液体の回収を制御する回収用バルブである。そのため、排出用バルブを閉じて回収用バルブを開くことにより液体を回収した後、排出用バルブを開いて回収用バルブを閉じることにより液体を排出したときに、液体が第１分岐流路に全て自然落下し、主流路内に液体が残らない。   In the manifold valve, the first valve is a discharge valve for controlling the discharge of liquid, and the second valve is a recovery valve for controlling the recovery of liquid. For this reason, when the liquid is recovered by closing the discharge valve and opening the recovery valve, and then discharging the liquid by opening the discharge valve and closing the recovery valve, all of the liquid enters the first branch flow path. It falls naturally and no liquid remains in the main channel.

上記マニホールドバルブでは、第１バルブが液体の回収を制御する回収用バルブであり、第２バルブが液体の排出を制御する排出用バルブである。そのため、排出用バルブを閉じて回収用バルブを開いたときに、液溜まりを発生させることなく液体を回収することができる。   In the manifold valve, the first valve is a recovery valve that controls the recovery of the liquid, and the second valve is a discharge valve that controls the discharge of the liquid. Therefore, when the discharge valve is closed and the recovery valve is opened, the liquid can be recovered without generating a liquid pool.

本発明の第１実施形態に係るマニホールドバルブの外観斜視図である。1 is an external perspective view of a manifold valve according to a first embodiment of the present invention. 図１のＡＡ断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. 排出用バルブの弁部拡大図である。It is a valve part enlarged view of the valve for discharge. 図１に示すマニホールドバルブを用いたプロセス装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the process apparatus using the manifold valve shown in FIG. 本発明の第２実施形態に係るマニホールドバルブの弁部拡大図である。It is a valve part enlarged view of a manifold valve concerning a 2nd embodiment of the present invention. 本発明の第３実施形態に係るマニホールドバルブの断面図である。It is sectional drawing of the manifold valve which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態に係るマニホールドバルブの断面図である。It is sectional drawing of the manifold valve which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第５実施形態に係るマニホールドバルブの断面図である。It is sectional drawing of the manifold valve which concerns on 5th Embodiment of this invention. 本発明の第６実施形態に係るマニホールドバルブの断面図である。It is sectional drawing of the manifold valve which concerns on 6th Embodiment of this invention. 図９に示すマニホールドバルブを用いたプロセス装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the process apparatus using the manifold valve shown in FIG. 弁部の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of a valve part.

以下に、本発明に係るマニホールドバルブの実施形態について、図面を参照して説明する。   Embodiments of a manifold valve according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

（第１実施形態）
＜マニホールドバルブの全体構成＞
図１は、マニホールドバルブ１の外観斜視図である。
マニホールドバルブ１は、マニホールドブロック２の上面に排出用バルブ５Ａ，５Ｂ（第１バルブの一例）と回収用バルブ６Ａ，６Ｂ（第２バルブの一例）とを取り付け、外観が構成されている。マニホールドブロック２は、下部流路ブロック３の上に上部流路ブロック４Ａ，４Ｂを載せて上方からボルト９を締結することにより、下部流路ブロック３と上部流路ブロック４Ａ，４Ｂを一体化して構成したものである。排出用バルブ５Ａは、上部流路ブロック４Ａの上に載せられて上方から４本のボルト１０を締結することにより、マニホールドブロック２に取り付けられている。ボルト１０は、腐食防止用のカバーで覆われている。排出用バルブ５Ｂ及び回収用バルブ６Ａ，６Ｂも、排出用バルブ５Ａと同様にしてマニホールドブロック２に取り付けられている。 (First embodiment)
<Overall configuration of manifold valve>
FIG. 1 is an external perspective view of the manifold valve 1.
The manifold valve 1 is configured by attaching discharge valves 5A, 5B (an example of a first valve) and recovery valves 6A, 6B (an example of a second valve) to the upper surface of a manifold block 2. In the manifold block 2, the upper flow path blocks 4A and 4B are mounted on the lower flow path block 3 and the bolts 9 are fastened from above, thereby integrating the lower flow path block 3 and the upper flow path blocks 4A and 4B. It is composed. The discharge valve 5A is mounted on the manifold block 2 by being placed on the upper flow path block 4A and fastening four bolts 10 from above. The bolt 10 is covered with a cover for preventing corrosion. The discharge valve 5B and the collection valves 6A and 6B are also attached to the manifold block 2 in the same manner as the discharge valve 5A.

マニホールドブロック２の下部流路ブロック３には、排出用バルブ５Ａ，５Ｂを並べる方向に第１共通流路１６が貫通して設けられると共に、回収用バルブ６Ａ，６Ｂを並べる方向に第２共通流路１７が貫通して設けられている。下部流路ブロック３は、第１共通流路１６と第２共通流路１７の両端開口部外周にシール溝３ａ，３ｃが形成されている。マニホールドバルブ１は、シール溝３ａ，３ｃに図示しないシール部材を装着し、別のマニホールドバルブ１のマニホールドブロック２と第１共通流路１６及び第２共通流路１７を接続し、シール溝３ａ，３ｃの周りに設けたボルト孔３ｂ，３ｄに図示しないボルトを締結することにより、別のマニホールドバルブ１が増設されるようになっている。すなわち、マニホールドバルブ１は、第１共通流路１６と第２共通流路１７を延長し、その流路上に排出用バルブと回収用バルブを何連でも配置することができる。   The lower flow path block 3 of the manifold block 2 is provided with a first common flow path 16 penetrating in the direction in which the discharge valves 5A, 5B are arranged, and the second common flow in the direction in which the collection valves 6A, 6B are arranged. A passage 17 is provided through. In the lower flow path block 3, seal grooves 3 a and 3 c are formed on the outer periphery of both end openings of the first common flow path 16 and the second common flow path 17. The manifold valve 1 is provided with a seal member (not shown) in the seal grooves 3a, 3c, and the manifold block 2 of the other manifold valve 1 is connected to the first common flow path 16 and the second common flow path 17, and the seal grooves 3a, 3c, By fastening bolts (not shown) in bolt holes 3b and 3d provided around 3c, another manifold valve 1 is added. That is, the manifold valve 1 can extend the 1st common flow path 16 and the 2nd common flow path 17, and can arrange | position any number of discharge | release valves and collection | recovery valves on the flow path.

マニホールドブロック２は、上部流路ブロック４Ａ，４Ｂの側面にＬ字配管７Ａ，７Ｂの一端が継手８Ａ，８Ｂを介して取り付けられている。Ｌ字配管７Ａ，７Ｂの他端は、その一端より高い位置にあり、自然落差で液体を上部流路ブロック４Ａへ流れ込ませるようになっている。上部流路ブロック４Ａ，４Ｂには、Ｌ字配管７Ａ，７Ｂを第１共通流路１６と第２共通流路１７に連通させるための内部流路（後述）が形成されている。   In the manifold block 2, one ends of L-shaped pipes 7A and 7B are attached to the side surfaces of the upper flow path blocks 4A and 4B via joints 8A and 8B. The other ends of the L-shaped pipes 7A and 7B are higher than the other end, and the liquid flows into the upper flow path block 4A with a natural drop. In the upper flow path blocks 4A and 4B, internal flow paths (described later) for communicating the L-shaped pipes 7A and 7B with the first common flow path 16 and the second common flow path 17 are formed.

上部流路ブロック４Ａ，４Ｂの構成、排出用バルブ５Ａ，５Ｂの構成、回収用バルブ６Ａ，６Ｂの構成、Ｌ字配管７Ａ，７Ｂの構成、継手８Ａ，８Ｂの構成はそれぞれ同一である。そこで、以下では、上部流路ブロック４Ａ、排出用バルブ５Ａ、回収用バルブ６Ａ、Ｌ字配管７Ａ、継手８Ａを下部流路ブロック３と共に説明し、上部流路ブロック４Ｂ、排出用バルブ５Ｂ、回収用バルブ６Ｂ、Ｌ字配管７Ｂ、継手８Ｂの説明は省略する。   The configuration of the upper flow path blocks 4A and 4B, the configuration of the discharge valves 5A and 5B, the configuration of the collection valves 6A and 6B, the configuration of the L-shaped pipes 7A and 7B, and the configuration of the joints 8A and 8B are the same. Therefore, in the following, the upper flow path block 4A, the discharge valve 5A, the recovery valve 6A, the L-shaped pipe 7A, and the joint 8A will be described together with the lower flow path block 3, and the upper flow path block 4B, the discharge valve 5B, the recovery valve Description of the valve 6B, the L-shaped pipe 7B, and the joint 8B is omitted.

＜マニホールドブロックの構成＞
図２は、図１のＡＡ断面図である。
マニホールドブロック２は、主流路１１と、第１及び第２弁室１２，１３と、第１及び第２分岐流路１４，１５と、第１共通流路１６と、第２共通流路１７とを備える。これらの流路１１〜１７は、Ｌ字配管７Ａから入力した液体が自然落差により第１共通流路１６と第２共通流路１７へ流れ、主流路１１の最下流に配置される排出用バルブ５Ａを開いたときに主流路１１内に液溜まりができないように構成されている。下部流路ブロック３と上部流路ブロック４ＡとＬ字配管７Ａと継手８Ａは、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）など耐腐食性及び耐熱性に優れた樹脂を射出成形によりブロック状にしたものである。 <Manifold block configuration>
2 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.
The manifold block 2 includes a main channel 11, first and second valve chambers 12 and 13, first and second branch channels 14 and 15, a first common channel 16, and a second common channel 17. Is provided. In these flow paths 11 to 17, the liquid input from the L-shaped pipe 7 </ b> A flows to the first common flow path 16 and the second common flow path 17 due to a natural drop, and is a discharge valve disposed on the most downstream side of the main flow path 11. When 5A is opened, it is comprised so that a liquid pool cannot be carried out in the main flow path 11. FIG. The lower flow path block 3, the upper flow path block 4A, the L-shaped pipe 7A, and the joint 8A are made of corrosion resistance and heat resistance such as PTFE (polytetrafluoroethylene) and PFA (tetrafluoroethylene perfluoroalkyl vinyl ether copolymer). This resin is made into a block shape by injection molding.

上部流路ブロック４Ａは、直方体形状をなす。主流路１１は、上部流路ブロック４Ａの一側面から上部流路ブロック４Ａの下端面（下部流路ブロック３に当接する面）と平行になるように形成されている。主流路１１は、第１及び第２弁室１２，１３を備える。上部流路ブロック４Ａは、主流路１１の軸線方向に対して直交する方向に円筒形状の有底孔が２個設けられており、一方の有底孔を排出用バルブ５Ａの弁体２５（第１弁体の一例）に設けた薄膜部２７で覆うことにより第１弁室１２が形成され、他方の有底孔を回収用バルブ６Ａの弁体３５（第２弁体の一例）に設けた薄膜部３７で覆うことにより第２弁室１３が形成されている。よって、第１及び第２弁室１２，１３は、主流路１１の軸線方向に対して直交するように上部流路ブロック４Ａに設けられている。第１弁室１２の内側面は、主流路１１の液体を塞き止める終端側端部１１ｂを構成している。第２弁室１３は、第１弁室１２とＬ字配管７Ａから液体を入力する主流路１１の入力側端部１１ａとの間に設けられている。   The upper flow path block 4A has a rectangular parallelepiped shape. The main flow path 11 is formed so as to be parallel to the lower end surface (the surface in contact with the lower flow path block 3) of the upper flow path block 4A from one side surface of the upper flow path block 4A. The main flow path 11 includes first and second valve chambers 12 and 13. The upper flow path block 4A is provided with two cylindrical bottomed holes in a direction orthogonal to the axial direction of the main flow path 11, and one bottomed hole is provided as a valve element 25 (first plate) of the discharge valve 5A. The first valve chamber 12 is formed by covering with the thin film portion 27 provided in the one valve body), and the other bottomed hole is provided in the valve body 35 of the recovery valve 6A (an example of the second valve body). The second valve chamber 13 is formed by covering with the thin film portion 37. Therefore, the first and second valve chambers 12 and 13 are provided in the upper flow path block 4 </ b> A so as to be orthogonal to the axial direction of the main flow path 11. The inner surface of the first valve chamber 12 constitutes a terminal end portion 11 b that blocks the liquid in the main flow path 11. The second valve chamber 13 is provided between the first valve chamber 12 and the input side end portion 11a of the main flow path 11 for inputting liquid from the L-shaped pipe 7A.

第１及び第２分岐流路１４，１５は、マニホールドブロック２の設置面（下面）側に向かって主流路１１から分岐して設けられている。第１及び第２分岐流路１４，１５は、第１及び第２弁室１２，１３と同軸上に形成され、主流路１１の流路形成方向（軸線方向）に対して垂直に設けられている。第１分岐流路１４は、主流路１１の終端側端部１１ｂ付近から分岐し、第２分岐流路１５は、第１分岐流路１４と主流路１１の液体を入力する入力側端部１１ａとの間から分岐している。第１及び第２分岐流路１４，１５は、上部流路ブロック４Ａに形成された弁孔１４ａ，１５ａと下部流路ブロック３に形成された連通流路１４ｂ，１５ｂを環状シール部材１８，１９を介して接続して構成されている。   The first and second branch channels 14 and 15 are provided to be branched from the main channel 11 toward the installation surface (lower surface) side of the manifold block 2. The first and second branch flow paths 14 and 15 are formed coaxially with the first and second valve chambers 12 and 13 and are provided perpendicular to the flow path forming direction (axial direction) of the main flow path 11. Yes. The first branch channel 14 branches from the vicinity of the terminal end 11b of the main channel 11, and the second branch channel 15 inputs the end 11a for inputting the liquid of the first branch channel 14 and the main channel 11. Branches from between. The first and second branch channels 14 and 15 are formed by connecting the valve holes 14a and 15a formed in the upper channel block 4A and the communication channels 14b and 15b formed in the lower channel block 3 to the annular seal members 18 and 19, respectively. It is configured to connect via.

第１及び第２分岐流路１４，１５は、第１共通流路１６と第２共通流路１７に上方から連通している。マニホールドブロック２は、主流路１１、第１及び第２分岐流路１４，１５、第１共通流路１６及び第２共通流路１７の順に内径寸法を大きくすることにより流路１１〜１７を流れる液体が生じる圧損を小さくし、液体を流れやすくしている。   The first and second branch channels 14 and 15 communicate with the first common channel 16 and the second common channel 17 from above. The manifold block 2 flows through the channels 11 to 17 by increasing the inner diameter in the order of the main channel 11, the first and second branch channels 14 and 15, the first common channel 16, and the second common channel 17. The pressure loss generated by the liquid is reduced to facilitate the flow of the liquid.

下部流路ブロック３は、上部流路ブロック４Ａが載置される上面（載置面）が、下面（設置面）に対して所定の傾斜角度θ１（本実施形態では３度）で傾斜している。そのため、下部流路ブロック３の上面に取り付けられた上部流路ブロック４Ａは、下部流路ブロック３の上面の傾斜に倣って傾き、主流路１１が入力側端部１１ａを終端側端部１１ｂより上にするようにマニホールドブロック２の設置面に対して斜めに傾斜している。そして、上部流路ブロック４Ａの傾きに倣ってＬ字配管７Ａも傾き、Ｌ字配管７Ａの主流路１１に接続する流路がマニホールドブロック２の設置面に対して斜めに傾いている。   In the lower channel block 3, the upper surface (mounting surface) on which the upper channel block 4A is mounted is inclined at a predetermined inclination angle θ1 (3 degrees in the present embodiment) with respect to the lower surface (installation surface). Yes. Therefore, the upper flow path block 4A attached to the upper surface of the lower flow path block 3 is inclined following the inclination of the upper surface of the lower flow path block 3, and the main flow path 11 has the input side end portion 11a more than the end side end portion 11b. It is inclined obliquely with respect to the installation surface of the manifold block 2 so as to be on the top. The L-shaped pipe 7A is also inclined following the inclination of the upper flow path block 4A, and the flow path connected to the main flow path 11 of the L-shaped pipe 7A is inclined obliquely with respect to the installation surface of the manifold block 2.

排出用バルブ５Ａと回収用バルブ６Ａは、同一の構成を備えるノーマルクローズ式エアオペレイトバルブである。排出用バルブ５Ａと回収用バルブ６Ａは、シリンダ２１，３１にピストン２２，３２が摺動可能に装填されている。ピストン２２，３２は、操作ポート２３，３３から供給される操作エアの図中上向き作用するエア圧と、復帰ばね２４，３４の図中下向きに作用するばね力とのバランスにより、シリンダ２１，３１内を上下動する。ピストン２２，３２は、下端部がシリンダ２１，３１からマニホールドブロック２側へ突出し、弁体２５，３５が連結されている。弁体２５，３５は、弁体部２６，３６の外側に薄膜部２７，３７を備え、薄膜部２７，３７の外縁部２８，３８がシリンダ２１，３１とマニホールドブロック２との間で気密に挟持されている。弁体部２６，３６は、軸線方向（弁体２５，３５の動作方向）に対して直交する断面が、第１及び第２分岐流路１４，１５の軸線方向に対して直交する断面より大きい円柱形状をなす。弁体２５，３５は、弁体部２６，３６の第１及び第２分岐流路１４，１５と対向する面に、第１及び第２分岐流路１４，１５が主流路１１に開口する第１及び第２開口部４１，４２の外側に当接してシールする環状シール部２９，３９が突設されている。   The discharge valve 5A and the recovery valve 6A are normally closed air operated valves having the same configuration. In the discharge valve 5A and the recovery valve 6A, pistons 22 and 32 are slidably loaded in cylinders 21 and 31, respectively. The pistons 22 and 32 are cylinders 21 and 31 by the balance between the air pressure of the operation air supplied from the operation ports 23 and 33 acting upward in the figure and the spring force acting downward of the return springs 24 and 34 in the figure. Move up and down. The lower ends of the pistons 22 and 32 protrude from the cylinders 21 and 31 to the manifold block 2 side, and the valve bodies 25 and 35 are connected. The valve bodies 25 and 35 include thin film portions 27 and 37 outside the valve body portions 26 and 36, and the outer edge portions 28 and 38 of the thin film portions 27 and 37 are hermetically sealed between the cylinders 21 and 31 and the manifold block 2. It is pinched. The valve body portions 26 and 36 have a cross section perpendicular to the axial direction (the operation direction of the valve bodies 25 and 35) larger than the cross section orthogonal to the axial direction of the first and second branch flow paths 14 and 15. It has a cylindrical shape. The valve bodies 25, 35 are first surfaces where the first and second branch channels 14, 15 open to the main channel 11 on the surfaces of the valve body parts 26, 36 facing the first and second branch channels 14, 15. Annular seal portions 29 and 39 projecting from the first and second openings 41 and 42 are provided so as to abut against and seal the outside.

図３は、排出用バルブ５Ａの弁部拡大図である。
マニホールドブロック２は、第１分岐流路１４の第１開口部４１の周りに、第１円錐面４４が第１分岐流路１４（弁孔１４ａ）と同軸状に設けられている。第１円錐面４４は、主流路１１の下側流路面から第１分岐流路１４へ向かって、主流路１１から離れる方向に傾斜角度を大きくするように傾斜している。第１円錐面４４は、主流路１１がマニホールドブロック２の設置面に対して斜めに傾斜する傾斜角度θ１（本実施形態では３度）より大きい傾斜角度θ２（本実施形態では９度）で、主流路１１の軸線方向に対して傾斜している。これは、上部流路ブロック４Ａを下部流路ブロック３の上面に取り付けて主流路１１を斜めにした場合でも、第１分岐流路１４の第１開口部４１が第１円錐面４４の外周縁部より下に位置して液体が主流路１１から第１分岐流路１４へ自然落差で流れるようにするためである。 FIG. 3 is an enlarged view of the valve portion of the discharge valve 5A.
In the manifold block 2, a first conical surface 44 is provided coaxially with the first branch channel 14 (valve hole 14 a) around the first opening 41 of the first branch channel 14. The first conical surface 44 is inclined so as to increase the inclination angle in the direction away from the main channel 11 from the lower channel surface of the main channel 11 toward the first branch channel 14. The first conical surface 44 has an inclination angle θ2 (9 degrees in this embodiment) larger than the inclination angle θ1 (3 degrees in the present embodiment) at which the main flow path 11 is inclined with respect to the installation surface of the manifold block 2. The main channel 11 is inclined with respect to the axial direction. This is because even when the upper flow path block 4A is attached to the upper surface of the lower flow path block 3 and the main flow path 11 is inclined, the first opening 41 of the first branch flow path 14 is the outer periphery of the first conical surface 44. This is because the liquid flows from the main flow path 11 to the first branch flow path 14 with a natural drop, located below the portion.

第１分岐流路１４は、第１開口部４１の外周に沿って、第１平坦面４３が弁体２５の動作方向に対して垂直（主流路１１の軸線方向に対して平行）に設けられている。これは、弁体２５の環状シール部２９が第１平坦面４３に対して垂直方向にシール荷重を無駄なく与えるようにするためである。弁体２５は、環状シール部２９の先端が平坦にされ、環状シール部２９を第１平坦面４３に面接触させてシール面積を確保している。第１円錐面４４は、主流路１１の終端側端部１１ｂ（第１弁室１２の内側面）と第１平坦面４３との間を通過するように設けられている。そのため、第１円錐面４４は、終端側端部１１ｂから第１分岐流路１４側へ傾斜する「テーパ部」を含んでいる。
尚、図２に示す環状シール部３９と第２開口部４２と第２平坦面４５と第２円錐面４６との関係は、環状シール部２９と第１開口部４１と第１平坦面４３と第１円錐面４４と同様であるので、説明を省略する。 In the first branch flow path 14, the first flat surface 43 is provided along the outer periphery of the first opening 41 so as to be perpendicular to the operation direction of the valve body 25 (parallel to the axial direction of the main flow path 11). ing. This is because the annular seal portion 29 of the valve body 25 applies a seal load in a direction perpendicular to the first flat surface 43 without waste. In the valve body 25, the tip of the annular seal portion 29 is made flat, and the annular seal portion 29 is brought into surface contact with the first flat surface 43 to ensure a seal area. The first conical surface 44 is provided so as to pass between the end-side end portion 11 b (the inner surface of the first valve chamber 12) of the main flow path 11 and the first flat surface 43. Therefore, the first conical surface 44 includes a “tapered portion” that is inclined from the terminal end portion 11 b toward the first branch flow path 14.
The relationship between the annular seal portion 39, the second opening portion 42, the second flat surface 45, and the second conical surface 46 shown in FIG. 2 is that the annular seal portion 29, the first opening portion 41, and the first flat surface 43 Since it is the same as that of the 1st cone surface 44, description is abbreviate | omitted.

＜マニホールドバルブの使用例＞
上記マニホールドバルブ１は、例えば図４に示すように、メッキ処理や洗浄処理などを行うプロセス装置に接続され、プロセス装置で使用されたプロセス液等の回収及び排出を制御する。マニホールドバルブ１は、プロセス装置の第１及び第２チャンバ５１Ａ，５１Ｂの下方に設置され、排液タンク５２と回収タンク５３の上方に配置される。すなわち、マニホールドバルブ１は、図１に示すＬ字配管７Ａが図４に示す第１チャンバ５１Ａの下面に接続され、図１に示すＬ字配管７Ｂが図４に示す第２チャンバ５１Ｂの下面に接続され、図２に示す第１共通流路１６が図４に示す排液タンク５２の上面に接続され、図２に示す第２共通流路１７が図４に示す回収タンク５３の上面に接続される。図４に示すように、回収タンク５３は、ポンプ５４と循環バルブ５５Ａ，５５Ｂを介して第１及び第２チャンバ５１Ａ，５１Ｂに接続されている。第１及び第２チャンバ５１Ａ，５１Ｂは、純水バルブ５６Ａ，５６Ｂを介して純水供給装置５７に接続されている。循環バルブ５５Ａ，５５Ｂと純水バルブ５６Ａ，５６Ｂと排出用バルブ５Ａ，５Ｂと回収用バルブ６Ａ，６Ｂとポンプ５４は、プロセス装置の周知のマイクロコンピュータで構成される制御装置（図示せず）に電気的に接続されている。その図示しない制御装置は、プロセス手順に沿ってバルブ５５Ａ，５５Ｂ，５６Ａ，５６Ｂ，５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂとポンプ５４を動作させるためのプログラムを記憶している。 <Example of manifold valve usage>
For example, as shown in FIG. 4, the manifold valve 1 is connected to a process apparatus that performs a plating process, a cleaning process, and the like, and controls the recovery and discharge of the process liquid used in the process apparatus. The manifold valve 1 is installed below the first and second chambers 51 </ b> A and 51 </ b> B of the process apparatus, and is disposed above the drain tank 52 and the recovery tank 53. That is, in the manifold valve 1, the L-shaped pipe 7A shown in FIG. 1 is connected to the lower surface of the first chamber 51A shown in FIG. 4, and the L-shaped pipe 7B shown in FIG. 1 is connected to the lower surface of the second chamber 51B shown in FIG. 2 is connected to the upper surface of the drainage tank 52 shown in FIG. 4, and the second common channel 17 shown in FIG. 2 is connected to the upper surface of the recovery tank 53 shown in FIG. Is done. As shown in FIG. 4, the recovery tank 53 is connected to the first and second chambers 51A and 51B via a pump 54 and circulation valves 55A and 55B. The first and second chambers 51A and 51B are connected to a pure water supply device 57 via pure water valves 56A and 56B. The circulation valves 55A and 55B, the pure water valves 56A and 56B, the discharge valves 5A and 5B, the recovery valves 6A and 6B, and the pump 54 are connected to a control device (not shown) constituted by a well-known microcomputer of the process device. Electrically connected. The control device (not shown) stores a program for operating the valves 55A, 55B, 56A, 56B, 5A, 5B, 6A, 6B and the pump 54 in accordance with the process procedure.

続いて、プロセス工程の一例に従い、マニホールドバルブ１の作用及び効果を説明する。
図４に示すプロセス装置は、ウエハを一枚ずつ第１及び第２チャンバ５１Ａ，５１Ｂに搬入してプロセス工程を行う。１回のプロセス工程では、１枚のウエハを搬入する搬入ステップと、回収タンク５３のプロセス液を循環させてウエハに所定の処理を行うプロセス実行ステップと、プロセス処理ステップで使用したプロセス液を回収タンク５３に回収する回収ステップと、ウエハを純水で洗浄する洗浄ステップと、ウエハを搬出する搬出ステップとを一連で行う。次のウエハにプロセス工程を行う場合には、次のウエハに対して上記一連のステップを行う。以下、第１チャンバ５１Ａ内でプロセス工程を行う場合について具体的に説明する。 Next, the operation and effect of the manifold valve 1 will be described according to an example of process steps.
The process apparatus shown in FIG. 4 carries out process steps by carrying wafers one by one into the first and second chambers 51A and 51B. In one process step, a carry-in step for carrying in one wafer, a process execution step for circulating the process liquid in the collection tank 53 to perform predetermined processing on the wafer, and a recovery of the process liquid used in the process processing step A collection step for collecting in the tank 53, a cleaning step for washing the wafer with pure water, and a carry-out step for carrying out the wafer are performed in series. When a process process is performed on the next wafer, the above-described series of steps are performed on the next wafer. Hereinafter, a case where a process step is performed in the first chamber 51A will be specifically described.

＜搬入ステップ＞
マニホールドバルブ１は、排出用バルブ５Ａ，５Ｂと回収用バルブ６Ａ，６Ｂが弁閉され、液体の排出も回収もしていない。また、プロセス装置は、循環バルブ５５Ａ，５５Ｂと純水バルブ５６Ａ，５６Ｂを閉じ、ポンプ５４を停止させ、第１チャンバ５１Ａにプロセス液及び純水を供給していない。この状態で、１枚のウエハが図示しないロボットハンドで第１チャンバ５１Ａに搬入される。 <Import step>
In the manifold valve 1, the discharge valves 5A and 5B and the recovery valves 6A and 6B are closed, and neither the liquid is discharged nor recovered. Further, the process apparatus closes the circulation valves 55A and 55B and the pure water valves 56A and 56B, stops the pump 54, and does not supply process liquid and pure water to the first chamber 51A. In this state, one wafer is carried into the first chamber 51A by a robot hand (not shown).

＜プロセス実行ステップ＞
循環バルブ５５Ａと回収用バルブ６Ａを開き、循環バルブ５５Ｂと純水バルブ５６Ａ，５６Ｂと排出用バルブ５Ａ，５Ｂと回収用バルブ６Ｂを閉じることにより、回収タンク５３と第１チャンバ５１Ａとを接続する回路を構成する。そして、ポンプ５４を駆動する。これにより、第１チャンバ５１Ａと回収タンク５３との間で循環し、第１チャンバ５１Ａ内のウエハにプロセス処理が行われる。すなわち、回収タンク５３のプロセス液がポンプ５４で汲み上げられて第１チャンバ５１Ａに供給され、第１チャンバ５１Ａ内で使用されたプロセス液が回収用バルブ６Ａを介して回収タンク５３に回収される。 <Process execution step>
By opening the circulation valve 55A and the recovery valve 6A and closing the circulation valve 55B, the pure water valves 56A and 56B, the discharge valves 5A and 5B, and the recovery valve 6B, the recovery tank 53 and the first chamber 51A are connected. Configure the circuit. Then, the pump 54 is driven. As a result, the wafer is circulated between the first chamber 51A and the collection tank 53, and the wafer is processed in the first chamber 51A. That is, the process liquid in the recovery tank 53 is pumped up by the pump 54 and supplied to the first chamber 51A, and the process liquid used in the first chamber 51A is recovered in the recovery tank 53 via the recovery valve 6A.

＜回収ステップ＞
プロセス液を所定時間循環させたら、ポンプ５４を停止させる。循環バルブ５５Ａと回収用バルブ６Ａが開き、循環バルブ５５Ｂと純水バルブ５６Ａ，５６Ｂと排出用バルブ５Ａ，５Ｂと回収用バルブ６Ｂが閉じているので、プロセス液は、自重により、第１チャンバ５１Ａの下方に配置されるマニホールドバルブ１へ自然落差で流れ落ち、マニホールドバルブ１の回収用バルブ６Ａを介して回収タンク５３に回収される。 <Recovery step>
When the process liquid is circulated for a predetermined time, the pump 54 is stopped. The circulation valve 55A and the recovery valve 6A are opened, and the circulation valve 55B, the pure water valves 56A and 56B, the discharge valves 5A and 5B, and the recovery valve 6B are closed. It flows down to the manifold valve 1 arranged below the natural valve, and is collected in the collection tank 53 via the collection valve 6A of the manifold valve 1.

回収ステップ時に、図２に示すマニホールドバルブ１を流れるプロセス液の流れを説明する。
図２に示すマニホールドバルブ１は、プロセス液がプロセス装置からＬ字配管７Ａに自然落差で流れ落ち、上部流路ブロック４Ａの主流路１１に入力する。Ｌ字配管７Ａは、下部流路ブロック３の設置面に対して傾いて取り付けられる上部流路ブロック４Ａの側面に取り付けられ、主流路１１に接続する流路がマニホールドブロック２の設置面に対して傾いているため、プロセス液が内部に残留することなく主流路１１へ流れる。 The flow of the process liquid flowing through the manifold valve 1 shown in FIG. 2 during the recovery step will be described.
In the manifold valve 1 shown in FIG. 2, the process liquid flows down from the process apparatus to the L-shaped pipe 7 </ b> A with a natural drop and enters the main flow path 11 of the upper flow path block 4 </ b> A. The L-shaped pipe 7 </ b> A is attached to the side surface of the upper flow path block 4 </ b> A attached to the installation surface of the lower flow path block 3, and the flow path connected to the main flow path 11 is relative to the installation surface of the manifold block 2. Since it is inclined, the process liquid flows into the main flow path 11 without remaining inside.

主流路１１は、入力側端部１１ａを終端側端部１１ｂより上に位置させるようにマニホールドブロック２の設置面（下面）に対して所定の傾斜角度θ１（本実施形態では３度）で傾斜している。そのため、Ｌ字配管７Ａから主流路１１に入力したプロセス液は、主流路１１の傾斜に沿って入力側端部１１ａから終端側端部１１ｂに向かって流れる。第２分岐流路１５は、入力側端部１１ａと第１分岐流路１４との間で主流路１１から分岐しており、回収用バルブ６Ａの弁体３５が第２平坦面４５から離間して第２分岐流路１５の第２開口部４２を開放している。よって、主流路１１を流れるプロセス液は、第２分岐流路１５へ自然落差で流れ、第２共通流路１７から回収タンク５３（図４参照）に回収される。この結果、マニホールドバルブ１は、図４に示すプロセス装置に、プロセス実行ステップ終了後ポンプ５４を停止させるだけで第１チャンバ５１Ａからプロセス液を回収タンク５３に自然落差で回収することを可能ならしめるので、第１チャンバ５１Ａから回収タンク５３への液抜けを良くして、プロセス液回収時間を短縮させることができる。また、図２に示すマニホールドバルブ１は、プロセス液回収に要するエネルギーやランニングコストを低減させることができる。   The main flow path 11 is inclined at a predetermined inclination angle θ1 (3 degrees in this embodiment) with respect to the installation surface (lower surface) of the manifold block 2 so that the input side end portion 11a is positioned above the end side end portion 11b. is doing. Therefore, the process liquid input from the L-shaped pipe 7 </ b> A to the main flow path 11 flows along the inclination of the main flow path 11 from the input side end portion 11 a toward the end side end portion 11 b. The second branch flow path 15 branches from the main flow path 11 between the input side end portion 11a and the first branch flow path 14, and the valve body 35 of the recovery valve 6A is separated from the second flat surface 45. Thus, the second opening 42 of the second branch channel 15 is opened. Therefore, the process liquid flowing through the main flow path 11 flows to the second branch flow path 15 with a natural drop, and is recovered from the second common flow path 17 to the recovery tank 53 (see FIG. 4). As a result, the manifold valve 1 allows the process apparatus shown in FIG. 4 to recover the process liquid from the first chamber 51A to the recovery tank 53 with a natural drop only by stopping the pump 54 after the process execution step is completed. Therefore, it is possible to improve liquid drainage from the first chamber 51A to the recovery tank 53, and to shorten the process liquid recovery time. Further, the manifold valve 1 shown in FIG. 2 can reduce the energy and running cost required for process liquid recovery.

マニホールドバルブ１は、回収用バルブ６Ａの弁体３５に環状シール部３９を突設し、第２平坦面４５に環状シール部３９を当接させてシールするようにしたので、主流路１１の流路面に弁座が突設されていない。よって、主流路１１を流れるプロセス液は、主流路１１から第２分岐流路１５に流れ込んで回収されるときに、弁座などの凸部にぶつかってよどみや乱流を発生しない。よって、マニホールドバルブ１では、プロセス液回収時に第２開口部４２付近に液溜まりが発生しない。   The manifold valve 1 is provided with an annular seal portion 39 protruding from the valve body 35 of the recovery valve 6A and sealing the annular seal portion 39 against the second flat surface 45. There is no valve seat on the road surface. Therefore, when the process liquid flowing in the main flow path 11 flows into the second branch flow path 15 from the main flow path 11 and is collected, it collides with a convex portion such as a valve seat and does not generate stagnation or turbulence. Therefore, in the manifold valve 1, no liquid pool is generated in the vicinity of the second opening 42 during the process liquid recovery.

そして、マニホールドバルブ１は、第２開口部４２の周りに第２円錐面４６が形成されている。第２円錐面４６は、主流路１１の傾斜角度θ１より大きい傾斜角度θ２で主流路１１の軸線に対して傾斜しており、第２開口部４２が第２円錐面４６の外縁部より低い位置にある。そのため、第２弁室１３まで流れたプロセス液は、第２開口部４２付近で圧力損失を殆ど生じさせずに第２円錐面４６に沿って第２分岐流路１５へ流れ、第２開口部４２付近に残留しにくい。   In the manifold valve 1, a second conical surface 46 is formed around the second opening 42. The second conical surface 46 is inclined with respect to the axis of the main flow path 11 at an inclination angle θ 2 that is larger than the inclination angle θ 1 of the main flow path 11, and the second opening 42 is lower than the outer edge of the second conical surface 46. It is in. Therefore, the process liquid that has flowed to the second valve chamber 13 flows to the second branch flow path 15 along the second conical surface 46 without causing almost any pressure loss in the vicinity of the second opening 42, and the second opening 42 hardly remains.

第２分岐流路１５が主流路１１より内径寸法が大きく、また、第２共通流路１７が第２分岐流路１５より内径寸法が大きいため、プロセス液は、主流路１１から第２分岐流路１５、第２共通流路１７へと流れる際に圧力損失を生じにくく、主流路１１から回収タンク５３（図４参照）へ流れやすい。   Since the second branch flow path 15 has a larger inner diameter than the main flow path 11 and the second common flow path 17 has a larger inner diameter than the second branch flow path 15, the process liquid flows from the main flow path 11 to the second branch flow. When flowing to the path 15 and the second common flow path 17, pressure loss is unlikely to occur, and it is easy to flow from the main flow path 11 to the recovery tank 53 (see FIG. 4).

＜洗浄ステップ＞
図４に示すプロセス装置は、プロセス液の回収を所定時間行ったら、循環バルブ５５Ａを回収用バルブ６Ａを閉じ、第１チャンバ５１Ａと回収タンク５３との接続を解除する。そして、排出用バルブ５Ａを弁閉状態から弁開状態にし、第１チャンバ５１Ａを排液タンク５２に接続する。そして、純水バルブ５６Ａを弁閉状態から弁開状態にし、第１チャンバ５１Ａを純水供給装置５７に接続する。これにより、純水供給装置５７から第１チャンバ５１Ａに純水が供給され、ウエハが洗浄される。洗浄に使用された純水は、第１チャンバ５１Ａからマニホールドバルブ１に入力し、排出用バルブ５Ａを介して排液タンク５２に排出される。このとき、純水が、第１チャンバ５１Ａとマニホールドバルブ１とを接続する流路や、マニホールドバルブ１の流路面に付着するプロセス液を洗い流し、除去する。 <Washing step>
When the process liquid is collected for a predetermined time, the process apparatus shown in FIG. 4 closes the circulation valve 55A and the collection valve 6A, and releases the connection between the first chamber 51A and the collection tank 53. Then, the discharge valve 5 </ b> A is changed from the valve closed state to the valve open state, and the first chamber 51 </ b> A is connected to the drainage tank 52. Then, the pure water valve 56 A is changed from the valve closed state to the valve open state, and the first chamber 51 A is connected to the pure water supply device 57. As a result, pure water is supplied from the pure water supply device 57 to the first chamber 51A, and the wafer is cleaned. The pure water used for cleaning is input to the manifold valve 1 from the first chamber 51A, and is discharged to the drainage tank 52 through the discharge valve 5A. At this time, the pure water flushes away and removes the process liquid adhering to the flow path connecting the first chamber 51A and the manifold valve 1 and the flow path surface of the manifold valve 1.

洗浄ステップ時に、図２に示すマニホールドバルブ１を流れる純水の流れを説明する。
図２に示すマニホールドバルブ１は、第１チャンバ５１Ａでウエハを洗浄した純水が、プロセス液回収時と同様、Ｌ字配管７Ａから主流路１１に入力し、主流路１１の傾斜に従って自然落差で第１弁室１２側へ流れる。このとき、回収用バルブ６Ａが弁体３５の環状シール部３９を第２平坦面４５に当接させてシールを行い、第２分岐流路１５の第２開口部４２を閉鎖しているため、純水は、第２弁室１３を通過して第１弁室１２へ流れる。排出用バルブ５Ａは、図３の図中二点鎖線に示すように、弁体２５の環状シール部２９を第１平坦面４３から離間させ、第１分岐流路１４の第１開口部４１を開放している。よって、主流路１１の傾斜に沿って第１弁室１２まで流れた純水は、自然落差で第１分岐流路１４へ流れ込み、第１共通流路１６から排液タンク５２へ排出される。 The flow of pure water flowing through the manifold valve 1 shown in FIG. 2 during the cleaning step will be described.
In the manifold valve 1 shown in FIG. 2, the pure water that has washed the wafer in the first chamber 51 </ b> A is input to the main flow path 11 from the L-shaped pipe 7 </ b> A in the same manner as in the process liquid recovery. It flows to the first valve chamber 12 side. At this time, the recovery valve 6A seals the annular seal portion 39 of the valve body 35 against the second flat surface 45, and closes the second opening 42 of the second branch flow path 15. The pure water passes through the second valve chamber 13 and flows to the first valve chamber 12. As shown by a two-dot chain line in FIG. 3, the discharge valve 5 </ b> A separates the annular seal portion 29 of the valve body 25 from the first flat surface 43 and opens the first opening 41 of the first branch flow path 14. It is open. Therefore, the pure water that has flowed to the first valve chamber 12 along the inclination of the main flow path 11 flows into the first branch flow path 14 with a natural drop, and is discharged from the first common flow path 16 to the drainage tank 52.

図３に示すように、第１平坦面４３の外側に設けられた第１円錐面４４は、主流路１１の終端側端部１１ｂから傾斜して形成されている。そのため、第１分岐流路１４に流れ込まなかった純水は、主流路１１の終端側端部１１ｂにぶつかった後、第１円錐面４４に案内されて第１分岐流路１４へ流れ込んで排出される。よって、主流路１１の終端側端部１１ｂに液溜まりが発生しない。   As shown in FIG. 3, the first conical surface 44 provided outside the first flat surface 43 is formed so as to be inclined from the end side end portion 11 b of the main flow path 11. Therefore, the pure water that has not flowed into the first branch flow path 14 collides with the terminal end 11b of the main flow path 11, and then is guided by the first conical surface 44 to flow into the first branch flow path 14 and discharged. The Therefore, no liquid pool is generated at the terminal end 11b of the main flow path 11.

このようにマニホールドバルブ１は、第１チャンバ５１Ａの純水を自然落差のみで排液タンク５２に液溜まり無く排出することができる。よって、マニホールドバルブ１は、洗浄ステップ後に液溜まりを除去するための処理を図４に示すプロセス装置に行わせる必要がなく、洗浄時間を短縮できる。また、マニホールドバルブ１は、ウエハや流路面を洗浄した純水を自然落差で図４に示す第１チャンバ５１Ａからマニホールドバルブ１（図２に示すＬ字配管７Ａ、主流路１１、第１分岐流路１４、第１共通流路１６）を介して図４に示す排液タンク５２へ流れさせ、主流路１１の終端側端部１１ｂに残留しないようにしたので、パージ等のランニングコストがかからず、省エネ性に優れている。   As described above, the manifold valve 1 can discharge the pure water in the first chamber 51 </ b> A to the drain tank 52 without any liquid accumulation by only a natural drop. Therefore, the manifold valve 1 does not require the process apparatus shown in FIG. 4 to perform processing for removing the liquid pool after the cleaning step, and the cleaning time can be shortened. In addition, the manifold valve 1 has a natural drop of pure water that has cleaned the wafer and the flow path surface from the first chamber 51A shown in FIG. 4 to the manifold valve 1 (L-shaped pipe 7A, main flow path 11 and first branch flow shown in FIG. 4 and the first common flow path 16) to the drainage tank 52 shown in FIG. 4 so that it does not remain at the terminal end 11b of the main flow path 11, so there is a running cost such as purging. It is excellent in energy saving.

尚、この他の主流路１１から第１分岐流路１４へ流れる純水の流れは、主流路１１から第２分岐流路１５へ流れて回収されるプロセス液の流れと同様なので、説明を省略する。   The flow of pure water that flows from the other main flow path 11 to the first branch flow path 14 is the same as the flow of the process liquid that flows from the main flow path 11 to the second branch flow path 15 and is not described. To do.

＜搬出ステップ＞
図４に示すプロセス装置は、ウエハの洗浄が完了したら、ポンプ５４を停止したまま、全てのバルブ５５Ａ，５５Ｂ，５６Ａ，５６Ｂ，５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂを閉じる。この状態で、図示しないロボットハンドでウエハを第１チャンバ５１Ａから搬出する。 <Export step>
When the wafer cleaning is completed, the process apparatus shown in FIG. 4 closes all the valves 55A, 55B, 56A, 56B, 5A, 5B, 6A, and 6B while the pump 54 is stopped. In this state, the wafer is unloaded from the first chamber 51A with a robot hand (not shown).

尚、第２チャンバ５１Ｂにおいても、第１チャンバ５１Ａと同様に、搬入ステップ、プロセス実行ステップ、回収ステップ、洗浄ステップ、搬出ステップを実行し、プロセス工程を行うことができる。この場合にも、マニホールドバルブ１は、第１チャンバ５１Ａでプロセス工程を行う場合と同様の作用効果が得られる。
また、第１及び第２チャンバ５１Ａ，５１Ｂで上記プロセス工程を同時進行しても良い。 Also in the second chamber 51B, similarly to the first chamber 51A, a process step can be performed by executing a carry-in step, a process execution step, a recovery step, a cleaning step, and a carry-out step. Also in this case, the manifold valve 1 can obtain the same effects as when the process step is performed in the first chamber 51A.
Further, the above process steps may be performed simultaneously in the first and second chambers 51A and 51B.

（第２実施形態）
続いて、本発明の第２実施形態について図面を参照して説明する。図５は、本発明の第２実施形態に係るマニホールドバルブ１Ａの弁部拡大図である。
マニホールドバルブ１Ａは、排出用バルブ５Ａ，５Ｂと回収用バルブ６Ａ，６Ｂの弁部構造が同じであり、それらの弁部構造が第１実施形態と相違する。ここでは、排出用バルブ５Ａの弁部構造を中心に説明し、排出用バルブ５Ｂと回収用バルブ６Ａ，６Ｂの弁部構造及び第１実施形態と共通する点については説明を省略する。尚、第１実施形態と共通する点には、説明と図面に第１実施形態と同じ符号を用いる。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is an enlarged view of the valve portion of the manifold valve 1A according to the second embodiment of the present invention.
The manifold valve 1A has the same valve portion structure for the discharge valves 5A and 5B and the recovery valves 6A and 6B, and the valve portion structure is different from that of the first embodiment. Here, the description will focus on the valve portion structure of the discharge valve 5A, and the description of the valve portion structure of the discharge valve 5B and the recovery valves 6A and 6B and points common to the first embodiment will be omitted. In addition, the same code | symbol as 1st Embodiment is used for a point which is common in 1st Embodiment in description and drawing.

マニホールドブロック６０は、第１分岐流路１４が主流路１１（第１弁室１２）に開口する第１開口部４１から第１弁室１２の内側面までの間に第１円錐面４４が設けられており、第１実施形態の第１平坦面４３を備えない。排出用バルブ５Ａの弁体２５Ａは、環状シール部６１の先端部に沿って、第１円錐面４４の傾斜角度θ２と同じ傾斜角度θ３で傾斜するテーパ６２が設けられている。尚、本実施形態では、排出用バルブ５Ａ，５Ｂと回収用バルブ６Ａ，６Ｂの弁部構造が同じであるので、排出用バルブ５Ａ，５Ｂの弁体に設けた環状シール部６１が第３環状シール部の一例となり、回収用バルブ６Ａ，６Ｂの弁体に設けた環状シール部６１が第４環状シール部の一例となる。   The manifold block 60 has a first conical surface 44 provided between the first opening 41 where the first branch channel 14 opens into the main channel 11 (first valve chamber 12) and the inner surface of the first valve chamber 12. The first flat surface 43 of the first embodiment is not provided. The valve body 25A of the discharge valve 5A is provided with a taper 62 that is inclined along the distal end portion of the annular seal portion 61 at the same inclination angle θ3 as the inclination angle θ2 of the first conical surface 44. In the present embodiment, since the discharge valve 5A, 5B and the recovery valve 6A, 6B have the same valve portion structure, the annular seal portion 61 provided on the valve body of the discharge valve 5A, 5B is the third annular shape. An example of the seal portion is an annular seal portion 61 provided on the valve body of the recovery valves 6A and 6B, and an example of the fourth annular seal portion.

このようなマニホールドバルブ１Ａは、液体が主流路１１から第１円錐面４４の傾斜に案内されて、そのまま第１分岐流路１４の第１開口部４１に流れ込むので、第１実施形態のマニホールドバルブ１より第１開口部４１の周りに液溜まりが発生しない。
また、マニホールドバルブ１Ａは、環状シール部６１を第１円錐面４４に当接させてシールを行うので、第１開口部４１の周りに弁座を突設する必要がなく、第１開口部４１の周りに液溜まりが発生しない。
また、弁体２５Ａの環状シール部６１が、第１円錐面４４に当接する先端部にテーパ６２を備える。そのため、弁体２５Ａは、耐腐食性を確保するために弾性変形し難い樹脂（ＰＦＡやＰＴＦＥなど）で形成されていても、環状シール部６１のテーパ６２を第１円錐面４４に対して垂直方向に密着させ、適正なシール荷重を得ることができる。 In such a manifold valve 1A, the liquid is guided from the main flow path 11 to the inclination of the first conical surface 44 and flows into the first opening 41 of the first branch flow path 14 as it is, so that the manifold valve of the first embodiment 1, no liquid pool is generated around the first opening 41.
Further, since the manifold valve 1A performs sealing by bringing the annular seal portion 61 into contact with the first conical surface 44, there is no need to project a valve seat around the first opening portion 41, and the first opening portion 41 is provided. There is no liquid pool around.
In addition, the annular seal portion 61 of the valve body 25 </ b> A includes a taper 62 at a tip portion that contacts the first conical surface 44. Therefore, even if the valve body 25A is formed of a resin (PFA, PTFE, or the like) that is not easily elastically deformed in order to ensure corrosion resistance, the taper 62 of the annular seal portion 61 is perpendicular to the first conical surface 44. It is possible to obtain an appropriate seal load by closely contacting in the direction.

（第３実施形態）
続いて、本発明の第３実施形態について図面を参照して説明する。図６は、本発明の第３実施形態に係るマニホールドバルブ１Ｂの断面図である。
マニホールドバルブ１Ｂは、マニホールドブロック７１を一つのブロックで構成している点が第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と異なる点を説明し、第１実施形態と共通する点は図面に第１実施形態と同じ符号を付し、説明を適宜省略する。 (Third embodiment)
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 6 is a cross-sectional view of a manifold valve 1B according to the third embodiment of the present invention.
The manifold valve 1B is different from the first embodiment in that the manifold block 71 is constituted by one block. Therefore, here, a different point from 1st Embodiment is demonstrated, the point which is common in 1st Embodiment attaches | subjects the same code | symbol as 1st Embodiment to drawing, and abbreviate | omits description suitably.

樹脂製のマニホールドブロック７１は、マニホールドブロック７１の設置面（下面）に対して所定の傾斜角度θ１（例えば３度）傾斜するように、主流路７２がマニホールドブロック７１の側面から斜めに形成されている。そのため、主流路７２の入力側端部７２ａが終端側端部７２ｂより上に設けられている。第１及び第２分岐流路１４，１５は、主流路７２の軸線に対して直交するように形成されている。マニホールドブロック７１は、上面７３が主流路７２の軸線と平行になるように斜めにされ、排出用バルブ５Ａと回収用バルブ６Ｂが第１及び第２分岐流路１４，１５と同軸上に配置されている。排出用バルブ５Ａと回収用バルブ６Ｂは、マニホールドブロック７１の上面７３に図示しないボルトで固定されている。また、マニホールドブロック７１は、Ｌ字配管７Ａが接続される側面に切欠部７４が主流路１１の軸線に対して垂直なテーパ状に設けられ、Ｌ字配管７Ａを主流路１１と同じように傾斜させてＬ字配管７Ａと主流路１１との間に凹凸を形成しないようにしている。   The resin-made manifold block 71 has a main flow path 72 formed obliquely from the side surface of the manifold block 71 so as to be inclined at a predetermined inclination angle θ1 (for example, 3 degrees) with respect to the installation surface (lower surface) of the manifold block 71. Yes. Therefore, the input side end 72a of the main flow path 72 is provided above the end side end 72b. The first and second branch channels 14 and 15 are formed to be orthogonal to the axis of the main channel 72. The manifold block 71 is inclined so that the upper surface 73 is parallel to the axis of the main flow path 72, and the discharge valve 5 </ b> A and the recovery valve 6 </ b> B are arranged coaxially with the first and second branch flow paths 14 and 15. ing. The discharge valve 5A and the recovery valve 6B are fixed to the upper surface 73 of the manifold block 71 with bolts (not shown). Further, the manifold block 71 is provided with a notch 74 in a tapered shape perpendicular to the axis of the main flow path 11 on the side surface to which the L-shaped pipe 7A is connected, and the L-shaped pipe 7A is inclined in the same manner as the main flow path 11. Thus, no irregularities are formed between the L-shaped pipe 7 </ b> A and the main flow path 11.

上記マニホールドバルブ１Ｂは、自然落差によりＬ字配管７Ａから主流路７２に液体が液溜まり無く流れ込み、さらに、主流路７２から第１及び第２分岐流路１４，１５を介して第１共通流路１６と第２共通流路１７へ液体が自然落差で流れる。このようなマニホールドバルブ１Ｂは、マニホールドブロック７１を１ブロックで構成しているので、部品点数を減らすことができる。   In the manifold valve 1B, the liquid flows from the L-shaped pipe 7A into the main flow path 72 without a liquid pool due to a natural drop, and from the main flow path 72 via the first and second branch flow paths 14 and 15, the first common flow path. The liquid flows to the 16 and the second common flow path 17 with a natural drop. In such a manifold valve 1B, the manifold block 71 is constituted by one block, so that the number of parts can be reduced.

（第４実施形態）
続いて、本発明の第４実施形態について図面を参照して説明する。図７は、本発明の第４実施形態に係るマニホールドバルブ１Ｃの断面図である。
マニホールドバルブ１Ｃは、マニホールドブロック８１が流路ブロック８２と台座ブロック８３で構成されている点が第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と異なる点を説明し、第１実施形態と共通する点は図面に第１実施形態と同じ符号を付し、説明を適宜省略する。 (Fourth embodiment)
Subsequently, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 7 is a sectional view of a manifold valve 1C according to the fourth embodiment of the present invention.
The manifold valve 1C is different from the first embodiment in that the manifold block 81 includes a flow path block 82 and a pedestal block 83. Therefore, here, a different point from 1st Embodiment is demonstrated, the point which is common in 1st Embodiment attaches | subjects the same code | symbol as 1st Embodiment to drawing, and abbreviate | omits description suitably.

マニホールドブロック８１の流路ブロック８２は、樹脂を直方体形状に成形したものである。主流路１１は、流路ブロック８２の設置面（下面）と平行になるように形成されている。第１及び第２分岐流路１４，１５は、主流路１１に対して垂直に形成されている。台座ブロック８３は、樹脂を材質とし、上面が下面（設置面）に対して所定の傾斜角度θ１（例えば３度）傾斜したブロック形状をなす。マニホールドブロック８１は、台座ブロック８３の上面に流路ブロック８２を載せ、ボルトや固定ピンなどで台座ブロック８３を流路ブロック８２に固定している。これにより、主流路１１が、マニホールドブロック８１の設置面（台座ブロック８３の設置面）に対して所定の傾斜角度θ１だけ傾く。   The flow path block 82 of the manifold block 81 is formed by molding a resin into a rectangular parallelepiped shape. The main channel 11 is formed to be parallel to the installation surface (lower surface) of the channel block 82. The first and second branch channels 14 and 15 are formed perpendicular to the main channel 11. The pedestal block 83 is made of resin and has a block shape in which the upper surface is inclined at a predetermined inclination angle θ1 (for example, 3 degrees) with respect to the lower surface (installation surface). In the manifold block 81, the flow path block 82 is mounted on the upper surface of the pedestal block 83, and the pedestal block 83 is fixed to the flow path block 82 with bolts or fixing pins. Thereby, the main flow path 11 is inclined by a predetermined inclination angle θ1 with respect to the installation surface of the manifold block 81 (the installation surface of the pedestal block 83).

上記マニホールドバルブ１Ｃは、既存の流路ブロック８２の下に台座ブロック８３を配置すれば、主流路１１を斜めにする流路構造を実現できる。   The manifold valve 1 </ b> C can realize a flow path structure in which the main flow path 11 is inclined when the pedestal block 83 is disposed under the existing flow path block 82.

（第５実施形態）
続いて、本発明の第５実施形態について図面を参照して説明する。図８は、第５実施形態に係るマニホールドバルブ１Ｄの断面図である。
第５実施形態に係るマニホールドバルブ１Ｄは、第１バルブの一例である排出用バルブ５Ａの弁部にのみ第１円錐面４４を設けている点が、第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と異なる点を説明し、第１実施形態と共通する点は図面に第１実施形態と同じ符号を付し、説明を適宜省略する。 (Fifth embodiment)
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a cross-sectional view of a manifold valve 1D according to the fifth embodiment.
The manifold valve 1D according to the fifth embodiment is different from the first embodiment in that the first conical surface 44 is provided only in the valve portion of the discharge valve 5A which is an example of the first valve. Therefore, here, a different point from 1st Embodiment is demonstrated, the point which is common in 1st Embodiment attaches | subjects the same code | symbol as 1st Embodiment to drawing, and abbreviate | omits description suitably.

マニホールドブロック９１は、上部流路ブロック９２を下部流路ブロック３の上面に固定して構成されている。マニホールドブロック９１には、主流路１１が、マニホールドブロック９１の設置面に対して傾斜角度θで傾斜するように設けられている。マニホールドブロック９１は、第１開口部４１の周りに第１円錐面４４が設けられ、第２開口部４２の周りには第２円錐面４６が設けられていない。第１円錐面４４は、第１分岐流路１４の第１開口部４１から傾斜している。よって、排出用バルブ５Ａは、弁体２５の環状シール部２９が第１円錐面４４に当接してシールを行う。   The manifold block 91 is configured by fixing the upper flow path block 92 to the upper surface of the lower flow path block 3. The main flow path 11 is provided in the manifold block 91 so as to be inclined at an inclination angle θ with respect to the installation surface of the manifold block 91. The manifold block 91 is provided with the first conical surface 44 around the first opening 41 and is not provided with the second conical surface 46 around the second opening 42. The first conical surface 44 is inclined from the first opening 41 of the first branch flow path 14. Therefore, the discharge valve 5 </ b> A performs sealing by the annular seal portion 29 of the valve body 25 contacting the first conical surface 44.

このようなマニホールドバルブ１Ｄは、回収用バルブ６Ａを閉じて排出用バルブ５Ａを開き、液体を排出するときには、Ｌ字配管７Ａから主流路１１に入力した液体が、主流路１１の傾斜に従って入力側端部１１ａから終端側端部１１ｂへ向かって自然落差で流れる。このとき、主流路１１の流路下面が入力側端部１１ａから第１分岐流路１４の第１円錐面４４まで直線状に設けられているため、液体は、第２開口部４２の周りに残留することなく終端側端部１１ｂへ向かって流れる。排出用バルブ５Ａが弁体２５の環状シール部２９を第１円錐面４４から離間させて第１開口部４１を開放しているため、液体は主流路１１から第１分岐流路１４へ自然落差で流れる。また、第１開口部４１に流れ込まなかった液体は、終端側端部１１ｂにぶつかって方向転換し、第１円錐面４４により第１開口部４１へ案内されて第１分岐流路１４へ流れ落ちる。よって、マニホールドバルブ１Ｄによれば、主流路１１の終端側端部１１ｂに液体が残留しない。   In such a manifold valve 1D, when the recovery valve 6A is closed and the discharge valve 5A is opened and the liquid is discharged, the liquid input from the L-shaped pipe 7A to the main flow path 11 is input side according to the inclination of the main flow path 11. It flows with a natural drop from the end portion 11a toward the end side end portion 11b. At this time, since the lower surface of the main channel 11 is linearly provided from the input side end portion 11 a to the first conical surface 44 of the first branch channel 14, the liquid flows around the second opening 42. It flows toward the terminal end 11b without remaining. Since the discharge valve 5A separates the annular seal portion 29 of the valve body 25 from the first conical surface 44 and opens the first opening 41, the liquid naturally drops from the main flow path 11 to the first branch flow path 14. It flows in. Further, the liquid that has not flowed into the first opening 41 collides with the terminal end 11 b and changes its direction, is guided to the first opening 41 by the first conical surface 44, and flows down to the first branch flow path 14. Therefore, according to the manifold valve 1D, no liquid remains at the terminal end 11b of the main flow path 11.

（第６実施形態）
続いて、本発明の第６実施形態について図面を参照して説明する。図９は、第６実施形態に係るマニホールドバルブ１Ｅの断面図である。図１０は、図９に示すマニホールドバルブ１Ｅを用いたプロセス装置の概略構成図である。
第６実施形態に係るマニホールドバルブ１Ｅは、第１バルブの一例として回収用バルブ６Ａを用い、第２バルブの一例として排出用バルブ５Ａを用いる点が、第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と異なる点を説明し、第１実施形態と共通する点は図面に第１実施形態と同じ符号を付し、説明を適宜省略する。 (Sixth embodiment)
Subsequently, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 9 is a cross-sectional view of a manifold valve 1E according to the sixth embodiment. FIG. 10 is a schematic configuration diagram of a process apparatus using the manifold valve 1E shown in FIG.
The manifold valve 1E according to the sixth embodiment is different from the first embodiment in that the recovery valve 6A is used as an example of the first valve and the discharge valve 5A is used as an example of the second valve. Therefore, here, a different point from 1st Embodiment is demonstrated, the point which is common in 1st Embodiment attaches | subjects the same code | symbol as 1st Embodiment to drawing, and abbreviate | omits description suitably.

図９に示すマニホールドバルブ１Ｅは、図１０に示すプロセス装置に使用される。マニホールドバルブ１Ｅは、排出用バルブ５Ａが回収用バルブ６Ａより上流に配置されている。マニホールドバルブ１Ｅは、図９に示す第１共通流路１６が図１０に示す回収タンク５３に接続され、図９に示す第２共通流路１７が図１０に示す排液タンク５２に接続される。図９に示すように、回収用バルブ６Ａは、弁体３５の環状シール部３９を第１平坦面４３に当接又は離間し、第１分岐流路１４の第１開口部４１を開閉する。排出用バルブ５Ａは、弁体２５の環状シール部２９を第２平坦面４５に当接又は離間し、第２分岐流路１５の第２開口部４２を開閉する。   A manifold valve 1E shown in FIG. 9 is used in the process apparatus shown in FIG. In the manifold valve 1E, the discharge valve 5A is disposed upstream of the recovery valve 6A. In the manifold valve 1E, the first common flow path 16 shown in FIG. 9 is connected to the recovery tank 53 shown in FIG. 10, and the second common flow path 17 shown in FIG. 9 is connected to the drainage tank 52 shown in FIG. . As shown in FIG. 9, the recovery valve 6 </ b> A contacts or separates the annular seal portion 39 of the valve body 35 from the first flat surface 43 to open and close the first opening 41 of the first branch flow path 14. The discharge valve 5 </ b> A contacts or separates the annular seal portion 29 of the valve body 25 from the second flat surface 45, and opens and closes the second opening 42 of the second branch flow path 15.

図１０に示すプロセス装置が、第１チャンバ５１Ａにおいてプロセス工程を行う場合を例に挙げて、回収ステップと洗浄ステップの動作を説明する。
回収ステップでは、図１０に示すプロセス装置は、回収用バルブ６Ａを開き、その他のバルブ５Ａ，５Ｂ，６Ｂ，５５Ａ，５５Ｂ，５６Ａ，５６Ｂを閉じた状態で、プロセス実行時に駆動していたポンプ５４を停止させる。すると、プロセス液は、第１チャンバ５１Ａから自然落差でマニホールドバルブ１Ｅに流れ落ち、マニホールドバルブ１Ｅの回収用バルブ６Ａを介して回収タンク５３に回収される。 The operation of the recovery step and the cleaning step will be described by taking as an example the case where the process apparatus shown in FIG. 10 performs a process step in the first chamber 51A.
In the recovery step, the process apparatus shown in FIG. 10 opens the recovery valve 6A and closes the other valves 5A, 5B, 6B, 55A, 55B, 56A, and 56B, and the pump 54 that was driven at the time of the process execution. Stop. Then, the process liquid flows down from the first chamber 51A to the manifold valve 1E with a natural drop, and is recovered in the recovery tank 53 via the recovery valve 6A of the manifold valve 1E.

この回収ステップ時に図９に示すマニホールドバルブ１Ｅを流れるプロセス液の流れを説明すると、プロセス液は、主流路１１の傾斜に沿って入力側端部１１ａから終端側端部１１ｂへ向かって流れる。このとき、排出用バルブ５Ａが弁閉しているため、プロセス液は主流路１１から第２分岐流路１５へ流れ込まない。回収用バルブ６Ａが弁開しているので、プロセス液は、主流路１１から第１円錐面４４に案内されて第１開口部４１へ流れ、第１分岐流路１４から第１共通流路１６を介して回収タンク５３（図１０参照）に回収される。第１分岐流路１４に流れ込まなかったプロセス液は、終端側端部１１ｂにぶつかって方向転換し、第１円錐面４４により第１開口部４１へ案内されて第１分岐流路１４へ流れ込む。このように、マニホールドバルブ１Ｅは、回収ステップが実行されるときに、プロセス液が、主流路１１の傾斜に沿って終端側端部１１ｂへ向かって流れ、第１開口部４１の周りに設けた第１円錐面４４に案内されて全て第１分岐流路１４へ流れるので、主流路１１の終端側端部１１ｂに液溜まりを発生させることなく、プロセス液を回収タンク５３に回収することができる。この結果、変質や固化したプロセス液が回収タンク５３のプロセス液に混入しなくなり、図１０に示すプロセス装置が製造する製品の歩留まりを向上させることができるようになる。また、図９に示すマニホールドバルブ１は、プロセス液を自然落差で回収タンク５３に液溜まり無く回収するため、プロセス液の回収時間を短縮できると共に、プロセス液回収に要するエネルギーやランニングコストを低減できる。   The flow of the process liquid flowing through the manifold valve 1E shown in FIG. 9 during this recovery step will be described. The process liquid flows along the inclination of the main flow path 11 from the input side end portion 11a toward the end side end portion 11b. At this time, since the discharge valve 5 </ b> A is closed, the process liquid does not flow from the main flow path 11 into the second branch flow path 15. Since the recovery valve 6A is opened, the process liquid is guided from the main channel 11 to the first conical surface 44 and flows to the first opening 41, and from the first branch channel 14 to the first common channel 16. And is collected in a collection tank 53 (see FIG. 10). The process liquid that has not flowed into the first branch flow path 14 collides with the terminal end 11b and changes its direction, and is guided to the first opening 41 by the first conical surface 44 and flows into the first branch flow path 14. Thus, when the recovery step is executed, the manifold valve 1E is provided around the first opening 41 by the process liquid flowing along the inclination of the main flow path 11 toward the terminal end 11b. Since all of the liquid is guided to the first conical surface 44 and flows to the first branch flow path 14, the process liquid can be recovered in the recovery tank 53 without generating a liquid pool at the terminal end 11 b of the main flow path 11. . As a result, the altered or solidified process liquid does not enter the process liquid in the recovery tank 53, and the yield of products manufactured by the process apparatus shown in FIG. 10 can be improved. Further, since the manifold valve 1 shown in FIG. 9 collects the process liquid in the collection tank 53 with a natural drop without collecting liquid, the process liquid collection time can be shortened and the energy and running cost required for the process liquid collection can be reduced. .

図１０に示すプロセス装置は、第１チャンバ５１Ａで回収ステップを行った後に洗浄ステップを実行する場合、回収用バルブ６Ａを閉じ、排出用バルブ５Ａと純水バルブ５６Ａを開く。これにより、第１チャンバ５１Ａが排液タンク５２に接続されると共に、第１チャンバ５１Ａが純水供給装置５７に接続される。純水供給装置５７から第１チャンバ５１Ａに供給された純水は、第１チャンバ５１Ａからマニホールドバルブ１Ｅを介して排液タンク５２に排出される。このとき、流路に付着していたプロセス液が純水に洗い流される。   The process apparatus shown in FIG. 10 closes the recovery valve 6A and opens the discharge valve 5A and the pure water valve 56A when the cleaning step is performed after the recovery step is performed in the first chamber 51A. Accordingly, the first chamber 51A is connected to the drainage tank 52, and the first chamber 51A is connected to the pure water supply device 57. The pure water supplied from the pure water supply device 57 to the first chamber 51A is discharged from the first chamber 51A to the drainage tank 52 via the manifold valve 1E. At this time, the process liquid adhering to the flow path is washed away with pure water.

洗浄ステップ時に、図９に示すマニホールドバルブ１Ｅを流れる純水の流れを説明すると、純水は、Ｌ字配管７Ａから主流路１１に自然落差で流れ込み、主流路１１の傾斜に従って入力側端部１１ａから終端側端部１１ｂへ向かって流れる。排出用バルブ５Ａが弁開しているため、純水は、第２円錐面４６により主流路１１から第２開口部４２へ案内されて第２分岐流路１５へ流れ込み、第２共通流路１７を介して排液タンク５２（図１０参照）に排出される。すなわち、純水は、自然落差によりＬ字配管７Ａから主流路１１、第２分岐流路１５、第２共通流路１７へ流れる。   The flow of pure water flowing through the manifold valve 1E shown in FIG. 9 during the cleaning step will be described. Pure water flows from the L-shaped pipe 7A into the main flow path 11 with a natural drop, and the input-side end portion 11a follows the inclination of the main flow path 11. Flows toward the terminal end 11b. Since the discharge valve 5 </ b> A is open, the pure water is guided from the main flow path 11 to the second opening 42 by the second conical surface 46 and flows into the second branch flow path 15, and the second common flow path 17. Is discharged to the drainage tank 52 (see FIG. 10). That is, pure water flows from the L-shaped pipe 7 </ b> A to the main flow path 11, the second branch flow path 15, and the second common flow path 17 due to a natural drop.

尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
（１）例えば、上記実施形態では、弁体２５，３５，２５Ａに環状シール部２９，３９，６１を一体に設けたが、弁体に形成したシール溝にシール部材を装着して環状シール部を構成するなど、２部品以上で環状シール部を構成しても良い。
（２）例えば、上記実施形態では、マニホールドブロック２，６０，７１，８１，９１やバルブ５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂ、Ｌ字配管７Ａ，７Ｂ、継手８Ａ，８Ｂを樹脂製にしたが、金属製にしても良い。
（３）例えば、上記第２実施形態において、弁体２５Ａがゴムなど弾性変形可能な材料で形成されている場合には、テーパ６２を環状シール部６１の先端に設けなくてもよい。この場合、環状シール部６１が弾性変形して第１円錐面４４に密着するので、第１分岐流路１４の開口部を機密にシールすることができる。
（４）例えば、上記実施形態では、マニホールドブロック２，７１，８１，９１の側面にＬ字配管７Ａを接続した。これに対して、マニホールドブロック２，７１，８１，９１の上面から主流路１１に連通するように接続流路を穿設し、主流路１１の開口部を封止部材で封止しても良い。そして、接続流路にプロセス装置に接続する配管や流路ブロックを接続しても良い。
（５）例えば、Ｌ字配管７Ａの変わりに流路ブロックを用いても良い。
（６）上記実施形態では、プロセス液と純水を液体の一例に挙げたが、他の液体をマニホールドバルブ１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅに制御させても良い。
（７）例えば、上記実施形態のマニホールドブロック２，６０，７１，８１，９１の上面に排出用バルブと回収用バルブを１個ずつ設けてもよいし、排出用バルブと回収用バルブを１個又は２個以上設け、その他にバルブを設けてもよい。さらに、上部流路ブロック４Ａ，４Ｂに３個以上のバルブを取り付けても良い。
（８）上記実施形態では、第１及び第２弁室１２，１３と第１及び第２分岐流路１４，１５を主流路１１の軸線に対して直交するように設けた。これに対して、例えば、第１及び第２弁室１２，１３と第１及び第２分岐流路１４，１５を鉛直方向に形成することにより、マニホールドブロックの設置面に対して斜めに設けられた主流路１１，７２に対し、第１及び第２弁室１２，１３と第１及び第２分岐流路１４，１５を斜めに形成しても良い。この場合、マニホールドブロック２，７１，８１，９１の上面を設置面と平行にし、排出用バルブ５Ａと回収用バルブ６Ａを第１及び第２弁室１２，１３と同軸上に取り付けるようにすると良い。
（９）上記第１実施形態では、弁孔１４ａ，１５ａと連通流路１４ｂ，１５ｂを同軸上に形成した。これに対して、例えば、弁孔１４ａ，１５ａを第１及び第２弁室１２，１３と同軸上に形成し、連通流路１４ｂ，１５ｂを鉛直方向に形成して第１共通流路１６と第２共通流路１７に連通させるなどして、屈曲した第１及び第２分岐流路１４，１５としても良い。
（１０）例えば、上記第２実施形態では、第１円錐面４４の傾斜角度θ２と同じ傾斜角度θ３で傾斜するテーパ６２を環状シール部６１の先端に設けた。これに対して、図１１に示すように、上記第２実施形態の弁体２５Ａを第１実施形態の弁体２５に変え、弁体２５の環状シール部２９を第１円錐面４４に当接又は離間させてシールを行うようにすると良い。この場合、環状シール部２９が、第１円錐面４４に繰り返し当接することにより第１円錐面４４の傾斜に倣って変形し、第１開口部４１の円周方向に均等なシール荷重を得ることが可能である。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, Various application is possible.
(1) For example, in the above-described embodiment, the annular seal portions 29, 39, and 61 are integrally provided on the valve bodies 25, 35, and 25A. However, the annular seal portion is attached to a seal groove formed in the valve body. The annular seal portion may be composed of two or more parts.
(2) For example, in the above embodiment, the manifold blocks 2, 60, 71, 81, 91, the valves 5A, 5B, 6A, 6B, the L-shaped pipes 7A, 7B, and the joints 8A, 8B are made of resin. It may be made.
(3) For example, in the second embodiment, when the valve body 25A is formed of an elastically deformable material such as rubber, the taper 62 may not be provided at the tip of the annular seal portion 61. In this case, since the annular seal portion 61 is elastically deformed and closely contacts the first conical surface 44, the opening of the first branch flow path 14 can be sealed secretly.
(4) For example, in the above embodiment, the L-shaped pipe 7A is connected to the side surfaces of the manifold blocks 2, 71, 81, 91. On the other hand, a connection channel may be drilled so as to communicate with the main channel 11 from the upper surface of the manifold blocks 2, 71, 81, 91, and the opening of the main channel 11 may be sealed with a sealing member. . Then, a pipe or a channel block connected to the process device may be connected to the connection channel.
(5) For example, a flow path block may be used instead of the L-shaped pipe 7A.
(6) In the above embodiment, the process liquid and pure water are given as examples of liquids, but other liquids may be controlled by the manifold valves 1, 1A, 1B, 1C, 1D, and 1E.
(7) For example, one discharge valve and one recovery valve may be provided on the upper surface of the manifold block 2, 60, 71, 81, 91 of the above embodiment, or one discharge valve and one recovery valve. Alternatively, two or more may be provided, and a valve may be provided in addition. Further, three or more valves may be attached to the upper flow path blocks 4A and 4B.
(8) In the above embodiment, the first and second valve chambers 12 and 13 and the first and second branch flow paths 14 and 15 are provided so as to be orthogonal to the axis of the main flow path 11. On the other hand, for example, the first and second valve chambers 12 and 13 and the first and second branch passages 14 and 15 are formed in the vertical direction so that they are provided obliquely with respect to the installation surface of the manifold block. The first and second valve chambers 12 and 13 and the first and second branch channels 14 and 15 may be formed obliquely with respect to the main channels 11 and 72. In this case, the upper surfaces of the manifold blocks 2, 71, 81, 91 are preferably parallel to the installation surface, and the discharge valve 5A and the recovery valve 6A are mounted coaxially with the first and second valve chambers 12, 13. .
(9) In the first embodiment, the valve holes 14a and 15a and the communication channels 14b and 15b are formed coaxially. On the other hand, for example, the valve holes 14a and 15a are formed coaxially with the first and second valve chambers 12 and 13, and the communication channels 14b and 15b are formed in the vertical direction to form the first common channel 16 and The bent first and second branch channels 14 and 15 may be formed by communicating with the second common channel 17.
(10) For example, in the second embodiment, the taper 62 that is inclined at the same inclination angle θ3 as the inclination angle θ2 of the first conical surface 44 is provided at the tip of the annular seal portion 61. In contrast, as shown in FIG. 11, the valve body 25 </ b> A of the second embodiment is changed to the valve body 25 of the first embodiment, and the annular seal portion 29 of the valve body 25 contacts the first conical surface 44. Alternatively, sealing may be performed by separating them. In this case, the annular seal portion 29 is repeatedly brought into contact with the first conical surface 44 to be deformed following the inclination of the first conical surface 44 to obtain a uniform seal load in the circumferential direction of the first opening 41. Is possible.

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ マニホールドバルブ
２，６０，７１，８１，９１ マニホールドブロック
５Ａ，５Ｂ 排出用バルブ（第１又は第２バルブの一例）
６Ａ，６Ｂ 回収用バルブ（第２又は第１バルブの一例）
１１，７２ 主流路
１４ 第１分岐流路
１５ 第２分岐流路
４３，４５ 第１及び第２平坦面
４４ 第１円錐面（テーパ部の一例）
４６ 第２円錐面
９５ テーパ部 1, 1A, 1B, 1C, 1D, 1E Manifold valve 2, 60, 71, 81, 91 Manifold block 5A, 5B Discharge valve (an example of first or second valve)
6A, 6B Recovery valve (example of second or first valve)
11, 72 Main channel 14 First branch channel 15 Second branch channel 43, 45 First and second flat surfaces 44 First conical surface (an example of a tapered portion)
46 Second conical surface 95 Tapered portion

Claims (7)

第１バルブと、第２バルブと、前記第１及び前記第２バルブが取り付けられるマニホールドブロックと、を有し、前記第１及び前記第２バルブを駆動してプロセス装置で使用された液体を排出又は回収するマニホールドバルブにおいて、
前記マニホールドブロックは、
前記第１及び前記第２バルブが上面に配置され、
前記プロセス装置から前記液体を入力する入力側端部が前記液体を塞き止める終端側端部より上に配置されるように、前記マニホールドブロックの設置面に対して斜めに設けられた主流路と、
前記主流路から下方へ分岐する第１分岐流路と、
前記第１分岐流路と前記入力側端部との間で前記主流路から下方へ分岐する第２分岐流路と、を有し、
前記第１分岐流路が前記主流路に開口する第１開口部を前記第１バルブが開閉し、
前記第２分岐流路が前記主流路に開口する第２開口部を前記第２バルブが開閉する
ことを特徴とするマニホールドバルブ。 A first valve; a second valve; and a manifold block to which the first and second valves are attached. The liquid used in the process apparatus is discharged by driving the first and second valves. Or in the manifold valve to be recovered
The manifold block is
The first and second valves are disposed on an upper surface;
A main flow path provided obliquely with respect to the installation surface of the manifold block such that an input side end for inputting the liquid from the process device is disposed above an end side end for blocking the liquid; ,
A first branch channel that branches downward from the main channel;
A second branch channel that branches downward from the main channel between the first branch channel and the input side end,
The first valve opens and closes a first opening in which the first branch channel opens into the main channel;
The manifold valve, wherein the second valve opens and closes a second opening in which the second branch channel opens to the main channel. 請求項１に記載するマニホールドバルブにおいて、
前記マニホールドブロックは、前記主流路の傾斜角度より大きい角度で前記主流路の前記終端側端部から前記第１分岐流路側へ傾斜するテーパ部を有する
ことを特徴とするマニホールドバルブ。 The manifold valve according to claim 1,
The manifold valve according to claim 1, wherein the manifold block has a taper portion that is inclined from the end-side end portion of the main channel toward the first branch channel at an angle larger than an inclination angle of the main channel. 請求項１に記載するマニホールドバルブにおいて、
前記マニホールドブロックは、
前記第１開口部の周りに、前記主流路の傾斜角度より大きい角度で前記主流路の流路面から前記第１分岐流路側へ傾斜する第１円錐面を有し、前記第１円錐面が前記テーパ部を含んでおり、
前記第２開口部の周りに、前記主流路の傾斜角度より大きい角度で前記主流路の流路面から前記第２分岐流路側へ傾斜する第２円錐面を有している
ことを特徴とするマニホールドバルブ。 The manifold valve according to claim 1,
The manifold block is
Around the first opening, there is a first conical surface that is inclined from the flow surface of the main flow channel to the first branch flow channel at an angle larger than the inclination angle of the main flow channel, and the first conical surface is Includes a taper,
A manifold having a second conical surface inclined from the flow path surface of the main flow path toward the second branch flow path at an angle larger than the inclination angle of the main flow path around the second opening. valve. 請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載するマニホールドバルブにおいて、
前記マニホールドブロックは、
前記第１開口部の開口部外周に平坦な第１平坦面を有し、
前記第２開口部の開口部外周に平坦な第２平坦面を有し、
前記第１バルブは、前記第１平坦面に当接してシールを行う第１環状シール部を備える第１弁体を有し、
前記第２バルブは、前記第２平坦面に当接してシールを行う第２環状シール部を備える第２弁体を有する
ことを特徴とするマニホールドバルブ。 The manifold valve according to any one of claims 1 to 3,
The manifold block is
A flat first flat surface on the outer periphery of the opening of the first opening;
A flat second flat surface on the outer periphery of the opening of the second opening;
The first valve has a first valve body including a first annular seal portion that contacts and seals the first flat surface,
The said 2nd valve has a 2nd valve body provided with the 2nd annular seal part which contact | abuts to the said 2nd flat surface, and seals, The manifold valve characterized by the above-mentioned. 請求項３に記載するマニホールドバルブにおいて、
前記第１円錐面は、前記第１開口部から傾斜し、
前記第２円錐面は、前記第２開口部から傾斜し、
前記第１バルブは、前記第１円錐面に当接してシールを行う第３環状シール部を備える第１弁体を有し、
前記第２バルブは、前記第２円錐面に当接してシールを行う第４環状シール部を備える第２弁体を有する
ことを特徴とするマニホールドバルブ。 The manifold valve according to claim 3,
The first conical surface is inclined from the first opening;
The second conical surface is inclined from the second opening;
The first valve has a first valve body including a third annular seal portion that seals against the first conical surface,
The said 2nd valve has a 2nd valve body provided with the 4th annular seal part which contact | abuts to the said 2nd conical surface, and seals, The manifold valve characterized by the above-mentioned. 請求項１乃至請求項５の何れか一つに記載するマニホールドバルブにおいて、
前記第１バルブが、前記液体の排出を制御する排出用バルブであり、
前記第２バルブが、前記液体の回収を制御する回収用バルブである
ことを特徴とするマニホールドバルブ。 The manifold valve according to any one of claims 1 to 5,
The first valve is a discharge valve for controlling discharge of the liquid;
The manifold valve, wherein the second valve is a recovery valve that controls recovery of the liquid. 請求項１乃至請求項５の何れか一つに記載するマニホールドバルブにおいて、
前記第１バルブが、前記液体の回収を制御する回収用バルブであり、
前記第２バルブが、前記液体の排出を制御する排出用バルブである
ことを特徴とするマニホールドバルブ。 The manifold valve according to any one of claims 1 to 5,
The first valve is a recovery valve for controlling the recovery of the liquid;
The manifold valve, wherein the second valve is a discharge valve for controlling discharge of the liquid.
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