KR101042849B1 - Method of thermal vapour deposition using resist - Google Patents

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Abstract

증착 재료를 가열 용기에 넣고 전원으로 용기를 가열하는 저항 가열식 증착 방법에 있어서, 용기에 전원을 인가하는 단계, 용기에 증착 재료 공급 여부를 판단하는 단계, 용기의 파손 여부를 점검하는 단계, 재료의 증착이 이루어지는 것을 확인하는 단계가 구비되며, 용기에 전원이 인가된 상태에서 상기 재료 공급 여부를 판단하는 단계와 상기 보트 파손 여부를 점검하는 단계가 계속적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 저항 가열식 증착 방법이 개시된다. A resistive heating deposition method in which a deposition material is placed in a heating container and the container is heated with a power source, the method comprising: applying power to the container, determining whether or not the deposition material is supplied to the container, checking whether the container is broken, There is provided a step of confirming that the deposition is carried out, the resistance heating deposition method characterized in that the step of determining whether the material supply in the state that the power is applied to the container and the step of checking whether the boat is damaged continuously disclosed do.

본 발명에 따르면, 보트의 파손 여부를 지속적으로 자동 점검하여 위험을 방지하고 작업자의 확인을 위한 대기 시간을 절약할 수 있으며, 증착 재료가 담기는 보트에 무리한 고온이 인가되어 보트가 파손되는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to continuously check whether the boat is broken continuously to prevent danger and save waiting time for the confirmation of the operator, and to prevent the boat from being damaged by applying excessive temperature to the boat containing the deposition material. can do.

Description

저항 가열식 증착 방법 {Method of thermal vapour deposition using resist}Method of thermal vapor deposition using resist

도1은 저항가열 증착법이 이루어지는 증착 챔버 구성의 간략화된 일 예를 나타내는 측단면도, 1 is a side cross-sectional view showing a simplified example of a deposition chamber configuration in which a resistive heating deposition method is performed;

도2는 본 발명을 수행하기 위한 저항 가열식 증착 장치의 일 예를 나타내는 구성도이며, 2 is a block diagram showing an example of a resistive heating deposition apparatus for performing the present invention,

도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 저항 가열식 증착 방법을 나타내는 흐름도이다.3 is a flowchart illustrating a resistance heating deposition method according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10: 챔버 20: 홀더10: chamber 20: holder

30: 기판 40: 메인 셔터30: substrate 40: main shutter

50: 보트 60: 증착 재료50: boat 60: deposition material

70: 전원 80: 전원스위치70: power 80: power switch

본 발명은 저항 가열식 증착 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 증착 재 료를 수용하는 가열 용기의 수명을 증가시킬 수 있는 저항 가열식 증착 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a resistive heating deposition method, and more particularly, to a resistive heating deposition method that can increase the life of the heating vessel containing the deposition material.

막 형성 방법 가운데 하나로 증착이 있다. 증착 공정에서는 막 형성용 물질에 높은 에너지를 가하여 증기로 만들고, 이 증기가 퍼져나가면서 기판면에 닿아 응결되면서 얇은 막을 형성하게 된다. 한편, 증착 방법도 증착막 소오스(source) 물질에 에너지를 가하는 방법과 증착 조건에 따라 몇 가지 세부 증착 방법으로 나뉘어질 수 있다. One method of film formation is deposition. In the deposition process, a high energy is applied to the film-forming material to form a vapor, which spreads and forms a thin film as it condenses on the substrate surface. Meanwhile, the deposition method may be divided into several detailed deposition methods according to the method of applying energy to the deposition film source material and the deposition conditions.

종래의 막 증착 방법의 한 예로서 유기 전계발광표시장치(ELD:electro luminescent display)와 같은 표시장치에서 전극층이나 전자주입층을 위한 증착 방법의 종류를 살펴보면, 소오스 물질에 에너지를 주는 방법에 따라 전자빔 증착법, 저항가열 증착법, 고온셀 증착법 등이 있다. As an example of a conventional film deposition method, a type of deposition method for an electrode layer or an electron injection layer in a display device such as an organic electroluminescent display (ELD), according to a method of energizing a source material Vapor deposition, resistive heating vapor deposition, high temperature cell vapor deposition, and the like.

이와 같은 증착 방법에서는 증착 재료(source) 물질들은 증착 공정이 이루어지는 증착 챔버의 하부에 놓이고, 여기서 에너지를 전달 받아 기화된다. 기판은 챔버에서 증착 재료 물질이 놓여 에너지를 받는 부분(증착원)의 위쪽을 지나면서, 기화되어 위쪽으로 확산되는 재료 물질 증기와 닿게 된다. 증착막은 기판의 하면에 형성된다. In such a deposition method, the deposition material (source) materials are placed in the lower portion of the deposition chamber where the deposition process is performed, where the energy is delivered to the vaporization. The substrate is brought into contact with the vapor of the vaporized material material as it passes over the energized portion (deposition source) where the vapor deposition material material is placed in the chamber. The vapor deposition film is formed on the lower surface of the substrate.

도1은 저항가열 증착법이 이루어지는 증착 챔버 구성의 간략화된 일 예를 나타내는 측단면도이다. 1 is a side cross-sectional view showing a simplified example of a deposition chamber configuration in which a resistive heating deposition method is performed.

도시된 바에 따르면, 챔버(10) 천정에 기판 홀더(20)가 구비되어 챔버(10) 상부에서 기판(30)을 잡고 있다. 기판(30)의 아래쪽에는 기판(30)보다 넓게 설치되 어 기판(30)에 증착물질이 닿는 것을 조절하는 메인 셔터(40)가 구비된다. 챔버(10) 하부에는 증착원이 기판(30)의 면적에 따라 혹은 증착 시킬 물질에 따라 1개 이상 구비될 수 있다. 증착원은 자체 저항 가열 방식의 보트(boat)로 이루어지며, 재료가 담기는 홈이 상면쪽으로 형성된 용기형 보트(50)의 개방부를 커버할 수 있도록 증착원 셔터가 구비될 수도 있다. As shown, the substrate holder 20 is provided on the ceiling of the chamber 10 to hold the substrate 30 above the chamber 10. The main shutter 40 is provided below the substrate 30 to be wider than the substrate 30 to control the deposition material on the substrate 30. One or more deposition sources may be provided under the chamber 10 depending on the area of the substrate 30 or the material to be deposited. The deposition source may be formed of a boat of a self-resistance heating method, and a deposition source shutter may be provided to cover the opening of the container-type boat 50 in which the groove containing the material is formed toward the upper surface.

용기형 보트(50)에는 증착 재료(60)가 많이 공급되어 다수의 기판에 대한 증착이 이루어지는 동안 셔터가 증착을 통제하고, 증착 재료에 대한 가열은 계속될 수도 있다. 그러나, 재료의 소모가 많아지므로 기판별로 증착을 할 때마다 용기형 보트(50)에 소량의 증착 재료(60)를 공급하고 전원을 인가하는 방법을 많이 사용한다. 보트(50)는 가열과 냉각을 반복적으로 겪게 되므로 열충격에 강하고, 고온에서 안정성을 유지할 수 있는 물질로 형성되는 것이 바람직하다. 질화붕소(BN:Boron Nitride)는 상당 고온에서도 안정성을 유지할 수 있으므로 보트(50)의 재료로 사용될 수 있다. The containerized boat 50 is supplied with a large amount of deposition material 60 so that the shutter controls the deposition while the deposition on the plurality of substrates takes place, and heating to the deposition material may continue. However, since the consumption of the material increases, a method of supplying a small amount of the deposition material 60 to the vessel-type boat 50 and applying power every time deposition is performed for each substrate. Since the boat 50 undergoes heating and cooling repeatedly, the boat 50 is preferably formed of a material that is resistant to thermal shock and can maintain stability at high temperatures. Boron nitride (BN) can be used as a material of the boat 50 because it can maintain stability even at a considerable temperature.

증착이 이루어지는 챔버(10) 내에는 통상 증발된 물질이 방해없이 쉽게 증착 대상 면에 닿을 수 있도록 진공이 인가되며, 진공 인가를 위해 증착 챔버(10)에는 진공 펌프를 가지는 진공 라인(미도시)이 연결되어 있다. 진공 증착 방법은 통상 수 마이크로 메터 두께의 증착막 형성에 사용된다. In the chamber 10 where the deposition is performed, a vacuum is generally applied so that the evaporated material can easily reach the surface to be deposited without interference, and a vacuum line (not shown) having a vacuum pump is provided in the deposition chamber 10 for vacuum application. It is connected. Vacuum deposition methods are commonly used to form deposition films of several micrometers thickness.

그런데, 질화붕소 보트를 이용한 자체 저항 가열 방식의 열증착을 실시함에 있어서 알미늄 같은 증착 재료(60)가 보트(50)에 공급되지 않은 상황에서 보트(50) 양단의 단자에 전원(70)이 인가될 경우가 있다. 이 경우, 알미늄의 증착에 의한 열 의 발산 없이 보트(50)만 통상의 증착 공정시보다 훨씬 높은 온도로 가열되므로 보트(50)에 무리를 가하게 되어 보트(50)가 파손되는 위험이 있다. 증착 재료(60)가 공급된 경우에도, 전원(70)이 인가된 후 적절한 시간 내에 전원(70)을 차단하지 않으면 증착 재료(60)가 모두 증발로 소진되어 보트(50)에 무리를 가하게 된다. 보트가 통상의 증착 공정 온도보다 고온으로 가열되고 냉각되는 과정이 반복되면 보트(50)에 열충격을 가하여 보트(50)가 깨지는 요인이 된다. However, in performing a self-resistance heating method using a boron nitride boat, the power supply 70 is applied to the terminals at both ends of the boat 50 when no deposition material 60 such as aluminum is supplied to the boat 50. There may be a case. In this case, since only the boat 50 is heated to a much higher temperature than in the normal deposition process without heat dissipation due to the deposition of aluminum, the boat 50 may be overwhelmed and the boat 50 may be damaged. Even when the deposition material 60 is supplied, if the power supply 70 is not shut off within an appropriate time after the power supply 70 is applied, all of the deposition material 60 is exhausted by evaporation, which causes an excessive load on the boat 50. . If the boat is heated and cooled to a higher temperature than the normal deposition process temperature, the boat 50 is thermally shocked to cause the boat 50 to break.

또한, 보트가 얇게 금이 가거나 기타 파손된 상태에서 다시 보트에 내장된 저항에 전원이 인가될 경우, 손상 부위에서 스파크가 발생하는 등의 위험이 있다. 그러나, 종래의 경우, 이런 위험을 방지하기 위해서는 작업자가 손상 여부를 육안으로 일일히 점검하는 방법 외에 적합한 방법이 없어 작업상의 불편과 위험이 상시 존재하는 문제가 있었다.In addition, when the boat is thinly cracked or otherwise damaged, when the power supply is applied to the resistance built into the boat again, there is a risk of sparking at the damaged part. However, in the related art, in order to prevent such a risk, there is a problem in that there is always an inconvenience and risk of work because there is no suitable method besides a method of visually checking whether the worker is damaged.

본 발명은 상술한 종래의 저항 가열식 증착 장비 사용에 따른 문제를 해결하기 위한 것으로, 작업자의 육안 확인 외에 보트의 파손 여부를 수시로 자동 점검하여 위험을 방지하고 작업자의 확인을 위한 대기 시간을 절약할 수 있는 저항 가열식 증착 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is to solve the problems caused by the use of the conventional resistance heating deposition equipment described above, in addition to the naked eye of the operator to check the damage of the boat from time to time to prevent the danger and reduce the waiting time for the operator confirmation It is an object to provide a resistive heating deposition method.

본 발명은 저항 가열식 증착을 실시함에 있어서 보트에 무리한 전력이 인가되어 보트가 파손되는 것을 방지하고 보트의 수명을 연장시킬 수 있는 증착 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. An object of the present invention is to provide a deposition method capable of preventing the boat from being damaged by extending the life of the boat by applying excessive power to the boat in carrying out resistance heating deposition.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 증착 재료를 가열 용기에 넣고 전원으로 용기를 가열하는 저항 가열식 증착 방법에 있어서, 용기에 전원을 인가하는 단계, 용기에 증착 재료 공급 여부를 판단하는 단계, 용기의 파손 여부를 점검하는 단계, 재료의 증착이 이루어지는 것을 확인하는 단계가 구비되며, 용기에 전원이 인가된 상태에서 상기 재료 공급 여부를 판단하는 단계와 상기 보트 파손 여부를 점검하는 단계가 계속적으로 이루어지는 것을 특징으로 한다. The present invention for achieving the above object is a resistance heating deposition method for heating a container with a power source by depositing a deposition material, the step of applying power to the container, determining whether to supply the deposition material to the container, Checking whether there is a damage, checking that the deposition of the material is provided, the step of determining whether to supply the material in the state that the power is applied to the container and the step of checking whether the boat is damaged continuously It features.

본 발명에서 계속적인 판단과 점검을 실시하기 위해 각 단계들 가운데 일부 과정을 환류시키는 방법을 사용할 수 있다. In the present invention, a method of refluxing some of the steps may be used to perform continuous judgment and check.

본 발명에서 증착 재료 공급 여부는 보트의 저항에 정상적인 전류가 흐르는 상황에서 인가 전압이 일정 이상인가를 체크하여 알 수 있다.In the present invention, whether or not the deposition material is supplied can be known by checking whether the applied voltage is higher than or equal to a predetermined current in a situation where a normal current flows through the resistance of the boat.

본 발명에서 용기의 파손 여부는 보트 저항에 인가되는 전압이 일정 이상인가 혹은 전류가 흐르는 가를 첵크하여 판단할 수 있다. In the present invention, whether or not the container is damaged can be determined by checking whether the voltage applied to the boat resistance is above a certain level or whether a current flows.

본 발명에서 증착 재료의 소모 여부는 증착 재료의 공급 여부와 같이 정상 전류 상황에서 인가 전압이 일정 이상인가를 첵크하거나 증착막 형성에 있어서 증착율이 설정된 증착율의 가령 1/3 이하인가를 첵크하는 방법으로 확인할 수 있다. In the present invention, whether or not the evaporation material is consumed is checked by checking whether the applied voltage is a certain level or more in a normal current situation, such as whether or not the evaporation material is supplied, or whether the evaporation rate is, for example, 1/3 or less of the set evaporation rate in the deposition film formation. Can be.

이상에서 인가 전압이 일정 이상인가를 판단하는 전압 기준은 실험을 통해 확립할 수 있으며, 증착율은 증착이 이루어지는 중에 안정되게 유지된다는 것을 전제로 한다.In the above, a voltage criterion for determining whether the applied voltage is above a certain level can be established through experiments, and it is assumed that the deposition rate is kept stable during the deposition.

이하 도면을 참조하면서 본 발명의 일 실시예를 통해 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.                     

도2는 본 발명을 수행하기 위한 저항 가열식 증착 장치의 일 예를 나타내는 구성도이며, 도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 저항 가열식 증착 방법을 나타내는 흐름도이다.Figure 2 is a block diagram showing an example of a resistive heating deposition apparatus for performing the present invention, Figure 3 is a flow chart showing a resistive heating deposition method according to an embodiment of the present invention.

도시된 바에 따르면, 우선, 질화붕소 보트(50) 전극에 전원(70)이 인가되면서 본 발명에 따른 방법이 시작된다. 보트(50)에 전원(70)이 인가되면 첫째로 보트(50) 내에 증착 재료(60)가 공급되어 있는지가 확인된다(110). 증착 재료(60) 공급 여부는 보트(50)에 정상적인 전류가 흐르는 상황인가를 검사하고 전류가 정상 범위, 패턴을 가지는 경우에 인가 전압이 일정 이상인가를 체크하여 알 수 있다. As shown, first, the method according to the invention begins with the application of a power supply 70 to the boron nitride boat 50 electrode. When power 70 is applied to boat 50, it is first checked whether deposition material 60 is supplied in boat 50 (110). Whether or not the deposition material 60 is supplied can be determined by inspecting whether the current flows in the boat 50 in a normal state and checking whether the applied voltage is above a certain level when the current has a normal range and pattern.

시작과 함께 인가되는 전원(70)을 통한 전류는 점차적으로 높아져 정상상태에서 일정을 유지하게 되며, 전류량은 증착 공정시의 보트(50)의 온도를 고려하여 결정된다. 보트(50)의 증착 온도는 증착 재료(60)의 기화가 잘 이루어지도록 융점보다는 충분히 높고 기화점보다 높은 온도가 될 것이다. The current through the power supply 70 applied with the start is gradually increased to maintain a constant in the steady state, the amount of current is determined in consideration of the temperature of the boat 50 during the deposition process. The deposition temperature of the boat 50 will be a temperature that is sufficiently above the melting point and above the vaporization point to allow vaporization of the deposition material 60 well.

증착 재료(60)로 흔히 사용되는 알미늄이 보트(50)에 공급된 경우 보트(50)에 흐르는 전류는 알미늄을 통해 주로 흐르게 되므로 보트(50) 전체의 저항은 작은 상태이고 보트(50)에 걸리는 전압은 전류가 일정한 정상상태의 경우 작은 상태를 유지하게 된다. 저항 가열에 의해 보트(50)의 온도는 계속 증가되고 증착 재료(60)가 없는 경우 전류는 질화붕소 보트(50)를 통해서만 흐르게 되므로 저항은 높아지고, 전압도 높은 상태를 나타낸다. 따라서, 전압이 일정 이상일 경우 증착 재료(60)가 보트(50)에 공급되지 않았다고 판단한다. When aluminum, which is commonly used as the deposition material 60, is supplied to the boat 50, the current flowing in the boat 50 mainly flows through the aluminum, so that the resistance of the boat 50 as a whole is small and is applied to the boat 50. The voltage is kept small when the current is constant. The resistive heating causes the temperature of the boat 50 to continue to increase, and in the absence of the deposition material 60, current flows only through the boron nitride boat 50, resulting in high resistance and high voltage. Therefore, it is determined that the deposition material 60 is not supplied to the boat 50 when the voltage is above a certain level.

전압 측정은 보트(50)에 인가되는 전원(power supply:70)에 장치된 전압계( 미도시)를 통해 이루어질 수 있으며, 전원(70)에는 보트(50)를 통해 흐르는 전류도 첵크할 수 있는 전류계(미도시)도 부착된다. 이들 전압계와 전류계의 측정 값은 전원(70)에 통신선으로 연결된 콘트롤러용 컴퓨터(C)에 의해 감시되며, 증착 재료(60)가 보트(50)에 공급되지 않았다고 판단되는 경우는 컴퓨터(C)의 자동 셧다운 프로그램이 작동하여 제어 명령을 전원 스위치(80)로 보내 전원(70)을 차단하고 별도로 설치된 경보기를 통해 경고음을 울리거나 모니터(D)를 통해 경고 표시를 띄울 수 있다(170).The voltage measurement may be made through a voltmeter (not shown) installed in a power supply 70 applied to the boat 50, and the power meter 70 may check a current flowing through the boat 50. (Not shown) is also attached. The measured values of these voltmeters and ammeters are monitored by the controller computer C connected to the power supply 70 by a communication line, and when it is determined that the deposition material 60 has not been supplied to the boat 50, The automatic shutdown program may be operated to send a control command to the power switch 80 to cut off the power 70 and sound an alarm through a separately installed alarm or display a warning through the monitor D (170).

증착 재료(60)가 보트(50)에 공급되어 있다고 판단되는 경우 다음 단계에서 보트의 파손 여부가 검사된다(120). 보트(50)의 파손 여부는 보트(50) 저항에 인가되는 전압이 일정 이상인가 혹은 전류가 흐르는 가를 첵크하여 판단할 수 있다. 보트(50)가 파손된 경우, 전류의 통로가 막히므로 전류는 흐르지 않게 되거나 전류량이 줄어드는 것을 볼 수 있다. 전류가 줄어들 경우 전원(70)의 전류계(미도시)의 측정치를 통해 콘트롤러용 컴퓨터(C)가 이를 감지하고 증착 재료가 공급되지 않은 경우와 마찬가지로 자동 셧다운 프로그램을 작동시켜 전원 스위치(80)를 통해 보트에서 전원(70)을 차단하고 경고 신호를 울리거나 경고 표시를 띄울 수 있다(170).If it is determined that the deposition material 60 has been supplied to the boat 50, the boat is inspected for damage in the next step (120). Whether the boat 50 is damaged can be determined by checking whether the voltage applied to the boat 50 resistance is above a certain level or whether a current flows. When the boat 50 is broken, since the passage of the current is blocked, it can be seen that the current does not flow or the amount of current decreases. When the current decreases, the controller computer C detects this through a measurement of an ammeter (not shown) of the power supply 70, and operates the automatic shutdown program through the power switch 80 as in the case where no deposition material is supplied. In the boat, the power supply 70 may be shut off and a warning signal may be sounded or a warning sign may be displayed 170.

전압과 전류에 모두 이상이 없는 경우, 일단 증착이 이루어지고 있는 지를 판단하게 된다(130). 이는 후단계(160)에서의 환류를 고려하여 판단하는 측면이 많다. 증착이 이루어지는 것은 증착 센서(S) 및 증착 센서와 연결된 센서 콘트롤러(S.C)를 컴퓨터와 연결시켜 첵크할 수 있다. 증착이 이루어지지 않는 경우, 증착이 완료된 것인지를 판단한다(180). When there is no abnormality in both the voltage and the current, it is determined whether the deposition is performed once (130). This has many aspects in consideration of the reflux in the later step 160. The deposition may be performed by connecting the deposition sensor S and the sensor controller S.C connected to the deposition sensor with a computer. If the deposition is not made, it is determined whether the deposition is completed (180).                     

증착이 완료된 것이라면, 보트에 증착 재료 잔류물이 있는 지를 확인하고(190) 증착 재료가 남은 경우라면 재료가 모두 소모되어 다음 기판을 처리할 수 있도록 초기 단계(110)로 환류되어 증착이 계속 이루어지도록 한다. 증착 재료가 소진된 경우라면, 전원을 차단하여 해당 기판에 대한 증착을 끝내고 다음 기판을 증착할 준비를 하게 된다(200). 한편, 증착이 이루어지지 않는 경우로써 증착이 완료되지 않은 경우에는 초기 단계(110)로 환류되어 증착이 계속 이루어지도록 한다. If the deposition is complete, check if there is any deposition material residue in the boat (190), and if the deposition material remains, the material is exhausted and returned to the initial stage 110 to process the next substrate so that the deposition can continue. do. If the deposition material is exhausted, the power is cut off to finish the deposition on the substrate and prepare to deposit the next substrate (200). On the other hand, when the deposition is not made, if the deposition is not completed, reflux to the initial step 110 to continue the deposition.

그리고, 증착이 이루어지는 경우라면 증착율이 정상적인 증착 공정을 수행할 수준이 되는 가를 판단한다(140). 가령, 증착율이 미리 정해진 증착율에 도달하였는가를 직접 감지하여 셔터를 치우고 기판에 대한 증착을 시작할 것인가를 판단할 수도 있고, 통상 정상 증착율에 이르는 시간을 충분히 고려하여 일정 시간 후 기판에 대한 증착을 시작할 것인가를 판단할 수도 있다. 가령, 기판단 증착 시간이 10분이고 정상 증착율까지 오르는 데 통상 1분 30초의 시간이 필요하다면 일정 시간을 2분으로 세팅하여 증착 프로그램을 진행할 수 있다. 정상적인 증착을 할 시간이나 증착율에 이르지 못한 경우는 기준 시간이나 증착율에 이르기까지 이전의 단계(110 내지 130)를 순환하게 되며, 기준에 이르는 경우에는 셔터를 치우는 등의 방법으로 기판 증착을 실시한다(150).If the deposition is performed, it is determined whether the deposition rate is a level for performing a normal deposition process (140). For example, by directly detecting whether the deposition rate has reached a predetermined deposition rate, it is possible to determine whether to start the deposition on the substrate by removing the shutter, and whether to start deposition on the substrate after a certain time in consideration of the time to reach the normal deposition rate. You can also judge. For example, if the substrate deposition time is 10 minutes and a time of 1 minute and 30 seconds is normally required to reach the normal deposition rate, the deposition program may be performed by setting a predetermined time to 2 minutes. If the time for the normal deposition or the deposition rate is not reached, the previous steps 110 to 130 are cycled until the reference time or the deposition rate, and when the reference is reached, the substrate deposition is performed by removing the shutter ( 150).

기판 증착을 실시하면서도 다음 단계에서 증착 재료가 다 소모되었는 지를 첵크한다(160). 재료가 다 소모되었다고 콘트롤러용 컴퓨터를 통해 판단되면 재료가 공급되지 않은 경우나, 보트가 파손된 경우와 마찬가지로 전원차단, 경고 표시 가 이루어진다(170). 재료가 남은 경우라고 판단되면 시작으로부터 이전까지의 단계(110 내지 150)를 다시 순환하게 된다. 이 과정에서 기판에 대한 증착 상황은 변화가 없으므로 기판에 대한 증착을 계속된다. While performing the substrate deposition, it is checked whether the deposition material is exhausted in the next step (160). If it is determined through the controller computer that the material is exhausted, the power is turned off and a warning is displayed as in the case where the material is not supplied or the boat is damaged (170). If it is determined that the material is left, the steps 110 to 150 from the start to the previous cycle are repeated. In this process, the deposition situation on the substrate is not changed, so the deposition on the substrate is continued.

증착 재료의 소모 여부는 증착 재료의 공급 여부와 같이 정상 전류 상황에서 인가 전압이 일정 이상인가를 첵크하거나 증착막 형성에 있어서 증착 센서를 통해 증착율이 설정된 정상 증착율의 가령 1/3 이하인가를 첵크하는 방법으로 확인할 수 있다. How to check whether the evaporation material is consumed checks whether the applied voltage is above a certain level in the normal current situation such as whether the evaporation material is supplied or whether the evaporation rate is set to, for example, 1/3 or less of the normal evaporation rate set by the evaporation sensor in the deposition film formation. You can check with

이상에서 나타난 실시예는 본 발명의 예시이며 본 발명은 이상의 실시예에 국한된 것이 아님은 충분히 이해되어야 한다. 가령, 이상의 실시예에서는 증착 재료의 공급 여부를 판단하는 단계와 보트의 파손 여부를 판단하는 단계가 차례로 이루어지지만 그 순서는 바뀔 수 있으며, 동시적으로 진행하는 것도 가능하다.The embodiment shown above is an illustration of the present invention and it should be fully understood that the present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the above embodiment, the step of determining whether the deposition material is supplied and the step of determining whether the boat is damaged are performed in sequence, but the order may be changed, and it may be performed simultaneously.

또한, 이상의 실시예에서는 기판별로 증착 재료를 공급하고 전원을 인가, 중지하는 형태를 보이고 있으나, 한 번 증착 재료를 공급하고 다수의 기판에 대해서 증착을 실시하는 경우에도 본 발명을 적용할 수 있음은 물론이다.In addition, in the above embodiments, the deposition material is supplied to each substrate, and the power is applied or stopped. However, the present invention may be applied to the case where the deposition material is supplied once and the deposition is performed on a plurality of substrates. Of course.

본 발명에 따르면 보트의 파손 여부를 지속적으로 자동 점검하여 위험을 방지하고 작업자의 확인을 위한 대기 시간을 절약할 수 있다.According to the present invention it is possible to continuously check whether the boat is damaged automatically to prevent danger and save waiting time for the confirmation of the operator.

본 발명에 따르면 저항 가열식 증착을 실시함에 있어서 증착 재료가 담기는 보트에 무리한 고온이 인가되어 보트가 파손되는 것을 방지할 수 있고 보트의 수명을 연장시킬 수 있다. According to the present invention, in carrying out resistance heating deposition, excessive high temperature is applied to the boat containing the deposition material to prevent the boat from being damaged and to extend the life of the boat.                     

본 발명에 따르면, 보트 수명 연장에 따른 설비 가동의 증가와 유지 보수 비용 감소를 가져올 수 있다.
According to the present invention, it is possible to increase equipment operation and reduce maintenance costs due to the extension of boat life.

Claims (6)

증착 재료를 가열 용기에 넣고 전원으로 용기를 가열하는 저항 가열식 증착 방법에 있어서, A resistance heating vapor deposition method in which a vapor deposition material is put in a heating container and the container is heated by a power source, 용기에 전원을 인가하는 단계; Applying power to the container; 상기 용기에 대한 상기 증착 재료 공급 여부를 판단하는 단계; Determining whether the deposition material is supplied to the container; 상기 용기의 파손 여부를 점검하는 단계; Checking whether the container is broken; 상기 증착 재료의 증착이 이루어지는 것을 확인하는 단계를 포함하며, Confirming that the deposition material is deposited; 상기 용기에 전원이 인가된 상태에서 상기 증착 재료 공급 여부를 판단하는 단계와 상기 용기의 파손 여부를 점검하는 단계가 계속적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 저항 가열식 증착 방법. Determining whether the deposition material is supplied in a state where power is applied to the vessel, and checking whether the vessel is broken or not; 제 1 항에 있어서, 증착 재료의 증착이 이루어지는 것을 확인하는 단계의 결과에 따라 상기 증착 재료 공급 여부 판단 단계와 상기 용기 파손 여부 점검 단계가 계속적으로 실시되는 것을 특징으로 하는 저항 가열식 증착 방법.2. The resistive heating deposition method as claimed in claim 1, wherein the step of determining whether the deposition material is supplied and the step of checking whether the container is broken are continuously performed according to the result of the step of confirming that the deposition material is deposited. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 증착 재료는 상기 용기에 비해 전기전도도가 높은 도체이며, The deposition material is a conductor having a higher electrical conductivity than the container, 상기 증착 재료 공급 여부를 판단하는 단계는 상기 용기에 인가되는 전압이 일정 이상인가를 확인하는 방법으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 저항 가열식 증착 방법. The step of determining whether the deposition material is supplied is a resistance heating deposition method comprising the method of confirming whether the voltage applied to the container is a predetermined or more. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 용기의 파손 여부를 판단하는 단계는 상기 용기를 흐르는 전류가 일정 이하인 것을 확인하는 방법으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 저항 가열식 증착 방법. Determining whether or not the container is damaged is a resistance heating deposition method comprising the method of confirming that the current flowing through the container is less than a predetermined. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 증착 재료의 소모 여부를 판단하는 단계가 더 포함되며,The method may further include determining whether the deposition material is consumed. 상기 증착 재료의 소모 여부 판단은 증착 센서를 이용하여 측정된 증착율이 설정된 증착율의 일정 비율 이하인가를 첵크하는 방법으로 이루어지는 것임을 특징으로 하는 저항 가열식 증착 방법.Determination of the consumption of the deposition material is a resistive heating deposition method comprising the method of checking whether the deposition rate measured using a deposition sensor is less than a predetermined ratio of the set deposition rate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 용기에 대한 상기 증착 재료 공급 여부를 판단하는 단계에서 상기 증착 재료가 공급되지 않았다고 판단되는 경우, 또는, 상기 용기의 파손 여부를 점검하는 단계에서 상기 용기가 파손되었다고 판단되는 경우에는 상기 용기에 인가되는 전원을 차단하는 셧 다운 기능이 실시되는 것을 특징으로 하는 저항 가열식 증착 방법.If it is determined that the deposition material is not supplied in the step of determining whether the deposition material is supplied to the container, or if it is determined that the container is broken in the step of checking whether the container is broken, the container is applied to the container. A resistive heating deposition method, characterized in that a shutdown function is performed to cut off a power supply.
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