KR101037183B1 - 메인터넌스 관리 시스템 - Google Patents

Abstract

메인터넌스 관리 시스템이 제공된다. 메인터넌스 관리 시스템은 하나 이상의 아이템의 모션 카운트가 입력되는 입력부, 각 아이템별로 세트 카운트가 저장되어 있는 데이터 베이스부, 및 각 아이템의 모션 카운트와 세트 카운트를 비교하는 비교부를 포함한다.

메인터넌스, 모션 카운트, 세트 카운트

Description

메인터넌스 관리 시스템{Maintenance Management System}

본 발명은 메인터넌스 관리 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 소자나 디스플레이 장치의 제조 설비에 대한 메인터넌스 관리 시스템에 관한 것이다.

반도체 소자나 디스플레이 장치의 제조는 증착, 식각, 세정, 에칭 등과 같은 다양한 단위 공정을 요구한다. 각 단위 공정은 제조 설비 내에서 진행된다.

반도체 소자나 디스플레이 장치의 제조 설비는 매우 복잡한 구조를 갖는 다양한 부품들로 이루어져 있다. 각 부품들은 서로 다른 부품들과 유기적으로 결합되어, 목표로 하는 제조 공정을 정밀하게 수행하는데에 기여한다.

한편, 설비나 부품은 사용회수나 시간의 경과에 따라 노후하기 마련이다. 만약, 설비나 부품이 노후화나 기타 다른 이유로 불량이 발생하면, 이로부터 제조되는 제품에도 문제가 생긴다. 뿐만 아니라, 작업자의 안전도 위협받을 수 있다. 따라서, 제품 수율을 관리하기 위해서는 주기적으로 설비나 부품을 메인터넌스(maintenace)해 주어야 한다.

그런데, 각 설비나 부품마다 메인터넌스 주기가 상이하므로, 다양한 부품들의 메인터넌스 주기를 모두 정밀하게 관리하는 것은 매우 어려운 일이다. 하나의 부품에 대한 메인터넌스 주기를 누락하더라도, 그에 따른 결과는 제품의 수율이나 신뢰도 측면 뿐만 아니라, 작업자의 안전성 측면에서도 매우 치명적일 수 있다.

본 발명은 이러한 점들에 근거해 착안된 것으로서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 설비 또는 부품의 메인터넌스 관리가 쉽고도 정확한 메인터넌스 관리 시스템을 제공하고자 하는 것이다.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 메인터넌스 관리 시스템은 하나 이상의 아이템의 모션 카운트가 입력되는 입력부, 상기 각 아이템별로 세트 카운트가 저장되어 있는 데이터 베이스부, 및 상기 각 아이템의 모션 카운트와 세트 카운트를 비교하는 비교부를 포함한다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 메인터넌스 관리 시스템은 하나 이상의 아이템의 모션 카운트가 입력되는 제1 입력부, 상기 각 아이템의 메인터넌스가 수행된 시점이 입력되는 제2 입력부, 및 상기 각 아이템의 모션 카운트, 및 상기 각 아이템의 연속된 메인터넌스 시점 사이의 모션 카운트가 표시되는 디스플레이부를 포함한다.

기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

삭제

본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.

즉, 본 발명의 실시예들에 따른 메인터넌스 관리 시스템에 의하면, 사용자가 현재의 아이템이 어느 정도 사용되었는지 이해하기 용이하고, 앞으로 메인터넌스까지 어느 정도 남았는지 개략적인 예측이 가능하다. 또, 정확한 메인터넌스 시점을 알 수 있기 때문에, 메인터넌스의 시기를 놓침으로 인하여 발생할 수 있는 설비 불량을 최대한 방지할 수 있다. 또, 아이템별로 관리되기 때문에, 부품의 수가 많아 관련된 아이템의 종류가 많더라도 누락되지 않고 쉽게 관리될 수 있다. 나아가, 이러한 관리 시스템은 자동으로 구현될 수 있으므로, 관리에 따른 업무 부담이 경감될 수 있다.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

하나의 소자(elements)가 다른 소자와 "접속된(connected to)" 또는 "커플링된(coupled to)" 이라고 지칭되는 것은, 다른 소자와 직접 연결 또는 커플링된 경우 또는 중간에 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 하나의 소자가 다른 소자와 "직접 접속된(directly connected to)" 또는 "직접 커플링된(directly coupled to)"으로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자를 개재하지 않은 것을 나타낸다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.

이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대해 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 메인터넌스 관리 시스템의 개략적인 구성도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 메인터넌스 관리 시스템은 입력부(100), 데이터 베이스부(200), 및 비교부(300)를 포함한다.

입력부(100)는 하나 이상의 아이템(item)의 모션 카운트(motion count)를 입력받는 유닛이다. 여기서, 상기 하나 이상의 아이템은 메인터넌스 관리 대상이 되는 아이템을 지칭한다.

상기 메인터넌스는 예를 들어, 장비의 부품 교체, 교환, 고장 수리, 점검, 최적화를 위한 모니터링, 기타 유지 보수의 행위를 포함한다. 따라서, 상기 메인터넌스의 대상은 설비 또는 설비를 구성하는 부품일 수 있다.

설비나 각 부품들의 메인터넌스는 이들을 사용하는 횟수나 시간 등에 의해 그 주기가 결정된다. 부품별로, 특별한 문제가 발생하지 않았다면, 그 회수 이상이나 그 시간 이상 사용시 노후화에 따른 불량이 발생하거나, 그 위험도가 높아지는 특정 회수 또는 시간이 설정될 수 있다. 상기 특정 회수 또는 특정 시간에 이르렀을 때 제공되는 메인터넌스는 부품의 종류나 상황에 따라 상이하다. 다만, 적어도 그 회수 또는 시간을 체크함으로써, 적시에 설비나 부품의 상황을 확인하는 것만으로도 불량률을 감소시키고, 불측의 사고를 방지하는데 매우 유효한 효과가 있다.

몇몇 설비나 부품들은 바로 그 부품의 사용이 아니라, 주변 부품의 사용 회수나 시간에 의해 메인터넌스가 필요한 시기를 유추할 수 있다. 또, 몇몇 설비나 부품들은 여러 부품들의 사용에 관한 종합적인 정보에 의해 메인터넌스가 필요한 시기가 분석될 수도 있다. 나아가, 몇몇의 설비나 부품들은 사용 회수 또는 시간 이외의 다른 파라미터의 측정에 의해 메인터넌스 필요 시기가 판단될 수 있다. 따라서, 상기 메인터넌스 관리 대상이 되는 아이템은 메인터넌스 대상이 되는 당해 설비나 부품 뿐만 아니라, 상기 설비나 부품의 상태를 유추할 수 있는 주변 부품의 사용 회수, 기간 또는 기타 파라미터들을 포함한다.

습식 식각 장비의 경우에 메인터넌스 관리 대상이 되는 아이템의 예를 들어 설명하면, 습식 식각이 진행된 시간, 습식 식각에 사용된 기판의 개수, 분사 노즐의 이동 회수, 배기 시간, 배기 횟수, 클리닝 회수 등이 상기 아이템으로 활용될 수 있다. 다만, 위 아이템들은 당해 부품의 메인터넌스 시기 측정을 위한 기준으로만 판단되는 것은 아니며, 예를 들어, 분사 노즐의 이동 회수라는 아이템을 체크함 으로써, 장비 내의 보울 세정을 위한 메인터넌스 시기를 판단할 수도 있다. 이러한 아이템과 부품들의 메인터넌스 시기 결정은 장비 레시피 또는 기타 경험에 의해 서로 연관지어진 것일 수 있다.

데이터 베이스부(200)에는 각 아이템별 세트 카운트(set count)가 저장되어 있다. 각 아이템별 세트 카운트는 장비나 부품의 메인터넌스가 필요한 시기로 판단될 수 있는 시점의 아이템의 모션 카운트로 설정된다. 장비나 부품의 메인터넌스가 필요한 시기의 판단은 장비의 레시피나, 메인터넌스 이력 등이 토대가 된다.

입력부(100)에 입력된 아이템의 모션 카운트와 데이터 베이스부(200)에 저장된 그 아이템의 세트 카운트는 비교부(300)에 제공된다. 비교부(300)는 이들 두 카운트를 비교하여, 모션 카운트가 세트 카운트에 이르렀는지 판단한다. 상기 판단 결과는 메인터넌스의 정보로서 활용될 수 있다.

몇몇 실시예에서, 메인터넌스 관리 시스템은 디스플레이부(400), 알람 발생부(500) 및 리셋부(60)를 더 포함할 수 있다.

더욱 구체적으로 설명하면, 디스플레이부(400)는 모션 카운트 및 세트 카운트를 가시적으로 보여준다.

알람 발생부(500)는 모션 카운트가 세트 카운트에 이르러 세트 카운트와 같아지거나, 이를 초과하면 알람을 생성한다. 알람은 경고음 또는 경고 메시지 등으로 생성될 수 있다. 알람이 경고 메시지로 생성된 경우, 디스플레이부(400)에 의해 표시될 수 있다. 사용자에게 상기와 같은 알람이 전달되면, 사용자는 해당 모션 카운트에 연관된 설비나 부품을 메인터넌스할 것을 결정할 수 있다.

리셋부(600)는 아이템의 모션 카운트를 초기화시킨다. 예를 들어, 모션 카운트가 세트 카운트와 같거나 초과하였고, 그 결과 메인터넌스가 진행되었으면, 다시 차회 메인터넌스 시점을 계산하기 위해, 모션 카운트를 초기화한다. 리셋부(600)는 사용자의 의도에 따라 동작하도록 설계될 수 있다. 이를 위하여, 리셋부(600)는 리셋 입력부를 포함할 수 있다.

도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 메인터넌스 관리 시스템의 디스플레이부로부터 표시된 화면을 예시적으로 도시한다.

도 2를 참조하면, 제1 열에는 각 아이템이 표시되고, 제2 열에는 각 아이템별로 설정된 세트 카운트가 표시된다. 제3 열에는 각 아이템의 실제 모션 카운트가 표시된다. 제4 열에는 모션 카운트의 단위가, 제5 열에는 리셋 시간이 표시되어 있으며, 마지막 제6 열에는 리셋 입력부가 표시되어 있다. 사용자는 도 2에 도시된 화면만으로도 현재의 아이템이 어느 정도 사용되었는지 짐작할 수 있다. 또, 리셋 시간이 표시되므로, 앞으로 메인터넌스까지 어느 정도 남았는지 개략적인 예측이 가능하다. 도면으로 도시하지는 않았지만, 만약 모션 카운트가 세트 카운트와 같거나 크게 되면, 화면의 정중앙에 경고 메시지가 표시되어, 사용자가 쉽게 알 수 있도록 할 수 있다.

상기 표시들은 모두 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 메인터넌스 관리 시스템에 의해 자동으로 구현될 수 있다. 따라서, 사용자의 메인터넌스 관리에 따른 업무 부담을 경감할 수 있다. 또, 아이템별로 관리되기 때문에, 부품의 수가 많아 관련된 아이템의 종류가 많더라도 누락되지 않고 쉽게 관리될 수 있다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 메인터넌스 관리 시스템의 개략적인 구성도이다.

도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 메인터넌스 관리 시스템은 제1 입력부(110), 제2 입력부(120)와 디스플레이부(410)를 포함한다. 제1 입력부(110)에는 하나 이상의 아이템의 모션 카운트가 입력된다. 제2 입력부(120)에는 각 아이템의 메인터넌스가 수행된 시점이 입력된다. 제1 입력부(110)와 제2 입력부(120)에 입력된 결과는 디스플레이부에 의해 화면으로 출력된다.

본 실시예에서는 별도의 세트 카운트가 구비되지는 않지만, 적어도 이전 메인터넌스가 수행된 시점이 표시되므로, 사용자로서는 개략적인 메인터넌스 주기를 분석할 수 있다. 따라서, 향후 메인터넌스 시점에 대한 예측이 가능하다. 또, 사용자는 이렇게 분석된 메인터넌스 주기와 그 때의 해당 아이템의 모션 카운트를 비교 분석함으로써, 적절한 세트 카운트를 도출할 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 메인터넌스 관리 시스템의 개략적인 구성도이다.

도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 메인터넌스 관리 시스템의 디스플레이부로부터 표시된 화면을 예시적으로 도시한다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 메인터넌스 관리 시스템의 개략적인 구성도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100: 입력부 200: DB부

300: 비교부 400: 디스플레이부

500: 알람 발생부 600: 리셋부

Claims (5)

1. 하나 이상의 아이템의 모션 카운트가 입력되는 입력부;

   상기 각 아이템별로 세트 카운트가 저장되어 있는 데이터 베이스부;

   상기 각 아이템의 모션 카운트와 세트 카운트를 비교하는 비교부; 및

   상기 하나 이상의 아이템 중 소정 아이템의 모션 카운트가 상기 아이템의 세트 카운트와 같아지거나 초과되어 상기 아이템에 대한 메인터넌스가 진행된 경우, 상기 아이템의 모션 카운트를 초기화시키는 리셋부를 포함하는 메인터넌스 관리 시스템.
2. 제1 항에 있어서,

   상기 각 아이템의 모션 카운트 및 상기 각 아이템의 세트 카운트를 표시하는 디스플레이부를 더 포함하는 메인터넌스 관리 시스템.
3. 삭제
4. 제1 항에 있어서,

   상기 비교부에서 상기 각 아이템의 초기 모션 카운트 또는 상기 리셋부에 의해 리셋된 이후의 모션 카운트가 상기 각 아이템의 세트 카운트보다 같거나 크다고 판단되면, 알람을 생성하는 알람 발생부를 더 포함하는 메인터넌스 관리 시스템.
5. 하나 이상의 아이템의 모션 카운트가 입력되는 제1 입력부;

   상기 각 아이템의 메인터넌스가 수행된 시점이 입력되는 제2 입력부;

   상기 각 아이템의 모션 카운트, 및 상기 각 아이템의 연속된 메인터넌스 시점 사이의 모션 카운트가 표시되는 디스플레이부; 및

   상기 하나 이상의 아이템 중 소정 아이템의 모션 카운트가 상기 아이템의 세트 카운트와 같아지거나 초과되어 상기 아이템에 대한 메인터넌스가 진행된 경우, 상기 아이템의 모션 카운트를 초기화시키는 리셋부를 포함하는 메인터넌스 관리 시스템.

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