KR101035245B1 - 태양전지 제조용 씨비디 장치 - Google Patents

태양전지 제조용 씨비디 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101035245B1
KR101035245B1 KR1020090119708A KR20090119708A KR101035245B1 KR 101035245 B1 KR101035245 B1 KR 101035245B1 KR 1020090119708 A KR1020090119708 A KR 1020090119708A KR 20090119708 A KR20090119708 A KR 20090119708A KR 101035245 B1 KR101035245 B1 KR 101035245B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chemical liquid
chemical
solar cell
storage chamber
substrate
Prior art date
Application number
KR1020090119708A
Other languages
English (en)
Inventor
김우삼
송병호
Original Assignee
주식회사 디엠에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 디엠에스 filed Critical 주식회사 디엠에스
Priority to KR1020090119708A priority Critical patent/KR101035245B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101035245B1 publication Critical patent/KR101035245B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)

Abstract

본 발명은 CIGS계 태양전지 제조용 씨비디(CBD) 장치에 관한 것으로서, 버퍼층 형성을 위한 약액이 저장된 약액 저장챔버와 상기 약액 저장챔버의 상부를 개폐함과 동시에 기판이 약액에 잠기도록 할 수 있는 로딩커버를 구비하고, 또한 약액을 공급하는 약액공급부 및 약액을 교반시키는 교반수단을 더 구비함으로써, 약액 저장챔버의 개폐 동작과 기판 로딩/언로딩 동작의 동시 수행이 가능하여 공정 시간의 단축은 물론 공정 효율이 증대될 수 있게 하고, 또한 공기를 이용하여 약액을 공급함으로써, 약액의 오염을 방지할 뿐 아니라, 간단한 구조의 약액 교반수단을 통해 약액을 효과적으로 교반시킬 수 있는 태양전지 제조용 씨비디 장치에 관한 것이다.
기판, 태양전지, 교반수단

Description

태양전지 제조용 씨비디 장치{Chemical Bath Deposition apparatus for manufacturing solar cell}
본 발명은 CIGS계 태양전지 제조용 씨비디(CBD) 장치에 관한 것으로서, 약액 저장챔버의 개폐와 기판의 로딩 또는 언로딩 동작을 동시 수행할 수 있는 로딩커버를 구비함으로써, 상기 기판의 신속한 로딩 또는 언로딩이 가능하여 공정 효율이 증대될 수 있고, 또한 에어를 이용한 약액 공급 및 약액 교반을 수행함으로써, 약액의 오염 방지는 물론 약액을 효과적으로 교반시킬 수 있는 태양전지 제조용 씨비디 장치에 관한 것이다.
일반적으로 태양전지(Solar Cell)는 빛 에너지를 직접 전기 에너지로 변환하는 반도체 소자의 하나로서, 다결정(poly crystal) 및 단결정(single crystal) 실리콘 태양전지 또는 비정질 실리콘 태양전지와 같은 실리콘계 태양전지와 화합물 반도체 태양전지 등으로 크게 분류된다.
상기와 같은 태양전지는 전력 생산을 위해 다수개의 모듈(module)과 태양전지 패널(panel)로 구성되는 태양전지 어레이(array)를 구성함으로써, 전기 에너지 를 발전하게 된다.
일반적으로 실리콘계 태양전지는 실리콘 웨이퍼(silicon wafer)를 가공하여 전자(electron)와 정공(hole)이 각각 구비되는 다른 극성의 N(negative)형 반도체 및 P(positive)형 반도체를 접합시키고 전극을 형성함으로써, P-N접합에 의한 태양광 발전의 원리를 이용하여 빛 에너지에 의한 전자의 이동을 통해 전기 에너지를 생산하게 되는 광전지이다.
한편 화합물 반도체 태양전지의 하나로서 CIGS계 태양전지는 구리(Cu), 인듐(In), 갈륨(Ga), 셀렌(Se) 등의 원소로 이루어지는 광흡수계수가 높은 광흡수층을 유리(glass) 또는 폴리머(polymer) 등의 기판상에 증착하여 전기에너지를 생산하게 되는 태양전지로서, 두께 1~2㎛의 박막으로도 고효율의 태양전지 제조가 가능하며, 또한 전기, 광학적 안정성이 우수하여 매우 이상적인 광흡수층을 형성할 수 있어 저가, 고효율의 태양전지 재료로 연구되어 지고 있다.
상기와 같은 화합물 반도체 태양전지는 일반적으로 기판상에 배면전극, 광흡수층, 버퍼층, 투명전극층, 반사방지막, 및 그리드 등의 박막층이 적층 형성됨으로써, 하나의 단위 박막을 형성하기 때문에 상기 박막층을 형성하기 위한 스퍼터 증착 공정이나 이베퍼 증착 공정 등 다수의 처리 공정을 통해 제조된다.
따라서 종래의 태양전지 제조 공정은 상기와 같은 박막층을 형성시키기 위한 스퍼터 증착 챔버, 이베퍼 증착 챔버, 버퍼층 증착 챔버, 열처리 챔버 등 각각의 공정을 수행하기 위한 다수의 장비 등이 사용되고 있으며, 또한 이외에도 세정장비, 건조장비, 반송장비 등 다수의 공정 수행 장비에 의해 이루어지게 되는 것이 다.
여기서 버퍼층 증착 챔버는 기판 상부에 버퍼층을 적층 형성하기 위해 증착 공정을 수행하는 씨비디(CBD) 장치의 하나로서, 챔버 내에 약액[황화카드뮴(CdS) 용액]을 투입한 후, 상기 약액에 기판이 잠기도록 하여 기판상에 버퍼층이 증착되도록 하는 것이다.
그러나 상기와 같은 종래의 씨비디 장치는 다음과 같은 문제점들이 있었다.
첫째, 약액 공급 펌프를 이용하여 약액을 챔버 내에 공급함으로써, 펌프라인의 오염으로 인해 약액이 2차적으로 오염되는 문제점이 있었고, 둘째, 챔버의 개폐와는 별도로 기판 로딩수단을 구비하여 기판이 약액에 투입되게 함으로써, 기판 로딩 시간의 연장으로 인한 공정 효율 저하의 문제점이 있었으며, 셋째, 약액을 교반하기 위하여 챔버 전체의 진동을 유발하는 교반장치를 구비함으로써, 설비 비용이 현저히 증가될 뿐 아니라, 제조 단가 또한 증가하게 되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 약액 저장 챔버의 개폐와 기판의 로딩/언로딩 동작이 연동되어 작동되게 함으로써, 기판의 로딩/언로딩 시간이 현저히 단축될 수 있게 하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 별도의 약액 공급펌프를 사용하지 않고, 약액이 공기압에 의해 약액 저장챔버 내에 투입되게 함으로써, 약액의 오염이 최소화되도록 하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 공기압을 이용한 간단한 구조의 약액 교반수단을 채택함으로써, 효율적인 교반을 통해 증착 품질이 향상되게 할 뿐 아니라, 설비 비용을 절감할 수 있는 씨비디 장치를 제공하고자 하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판상에 버퍼층을 형성하기 위한 약액이 저장된 약액 저장챔버와, 상기 약액 저장챔버의 상부를 개폐할 수 있게 설치하되 상기 개폐와 연동되어 상기 기판을 승강시킬 수 있게 구비되는 로딩커버와, 상기 약액 저장챔버에 약액을 공급하는 약액공급부, 및 상기 약액을 교반시키는 교반수단을 포함하여 구성된다.
본 발명의 상기 로딩커버는 상기 약액 저장챔버의 상부를 개폐하는 개폐판과 상기 개폐판의 하측부에 결합되어 상기 기판을 고정 지지하는 로더로 구성될 수 있 다.
이때 상기 로더는 상기 기판의 하측부를 지지하는 받침부와 상기 받침부를 지지할 수 있게 이격 설치되는 복수의 지지대로 구성될 수 있다.
한편 상기 약액공급부는 상기 로딩커버에 관통 설치되는 약액공급관과 상기 약액공급관에 약액을 주입하는 약액저장조로 구성된다.
또한 상기 약액저장조의 상부에는 저장된 약액의 상부면에 공기압을 가하여 약액이 상기 약액공급관에 주입될 수 있도록 에어펌프를 설치하여 약액이 공급되도록 할 수 있다.
또 상기 교반수단은 상기 약액 저장챔버의 측면부에 설치하되, 저장된 약액의 측면에서 공기압을 가할 수 있게 약액에 잠기도록 설치되는 에어건으로 구성된다.
또 상기 교반수단은 상기 약액 저장챔버의 저면부에 설치하되, 저장된 약액의 하측면에서 상 방향으로 공기압을 가할 수 있게 설치되는 에어건으로 구성될 수 있다.
또 상기 교반수단은 상기 약액 저장챔버의 측면부 상측에 설치하되, 저장된 약액의 상부면에 공기압을 가할 수 있도록 설치되는 에어건으로 구성될 수 있다.
여기서 상기 에어건은 암모니아수(NH4OH)와 에어를 선택적으로 분사시키도록 할 수 있다.
또한 상기 교반수단은 초음파를 이용하여 약액을 교반시키는 초음파 발진기 로 구성될 수 있다.
또 상기 약액 저장챔버의 양측부에는 상기 기판을 이송시키는 이송수단이 연결 설치되는 것이 바람직하다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 첫째, 기판의 로딩 및 언로딩 시간이 감소되어 공정 시간의 단축은 물론 공정 효율 또한 현저히 증대될 수 있는 효과가 있고, 둘째, 공기압에 의한 약액 공급으로 인해 약액의 오염이 최소화됨으로써, 기판의 불량률이 감소될 수 있는 효과가 있으며, 셋째, 에어를 이용한 간단한 구조의 약액 교반수단을 채택함으로써, 설비 비용 감소는 물론 버퍼층의 증착 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이하 본 발명에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 태양전지 제조용 씨비디 장치의 개략적인 구성도를 나타낸 것이다.
본 발명은 CIGS계 태양전지의 광흡수층과 투명전도막(TCO 층) 사이에 형성되는 버퍼층을 화학적 용액 성장법을 통해 형성하기 위한 씨비디(CBD:Chemical Bath Deposition) 장치로서, 기판(100)의 상부면에 증착된 광흡수층[구리(Cu), 인듐(In), 구리갈륨(Cu/Ga) 및 셀레나이드 화합물 증착층]의 상부에 버퍼층을 적층 형성하기 위한 것이다.
본 발명은 도시된 바와 같이, 약액 저장챔버(10), 로딩커버(20), 약액공급부(40), 및 교반수단(80)으로 구성된다.
약액 저장챔버(10)는 기판(100)상에 버퍼층을 형성하기 위한 약액(CdS 용액)(150)이 수용되는 부분으로서, 내부가 비어 있고 상부가 개방된 용기 형상으로 구성될 수 있으며, 내부에는 기판(100)이 완전히 잠길 정도의 약액(150)이 투입된다.
이때 약액 저장챔버(10)의 하측부에는 저장된 약액(150)을 일정 온도로 가열시키기 위한 가열수단(도시하지 않음)이 구비된다.
가열수단은 약액(150)이 약 40℃ ~ 80℃에서 기판(100)과 반응하게 되므로 약액 저장챔버(10)를 가열하여 저장된 약액(150)의 온도가 공정이 진행되는 동안에 상기 온도로 유지되도록 하는 것이다.
이때 가열수단은 통상적인 히팅라인을 약액 저장챔버(10)에 설치하여 구성할 수 있을 것이다.
한편 약액 저장챔버(10)의 하측부에는 증착이 완료된 약액(150)을 배출시킬 수 있는 배출구(17)가 형성되며, 양 측부에는 기판(100)을 반송하는 이송수단(110,120)이 각각 연결 설치되는 것이 바람직하다.
이송수단(110,120)은 다수개의 이송롤러나 컨베이어벨트 등이 사용될 수 있을 것이다.
한편 로딩커버(20)는 약액 저장챔버(10)의 상부에 결합되는 것으로서, 개폐 판(21)과 로더(25)로 구성된다.
여기서 로딩커버(20)는 약액 저장챔버(10)의 상부를 개폐할 수 있게 설치하되, 상기 개폐 동작과 연동되어 기판(100)을 약액 저장챔버(10) 내의 저면에 위치하게 함으로써, 기판(100)의 신속한 로딩 또는 언로딩을 가능하게 하는 것이다.
여기서 개폐판(21)은 약액 저장챔버(10)의 상부를 개방 또는 밀폐시키기 위한 것으로서, 통상적인 일정 두께의 도어 패널로 구성될 수 있으며, 상,하 방향으로 승강 가능하게 설치된다.
이때 개폐판(21)과 약액 저장챔버(10)의 밀착부에는 약액(150)의 외부 누출이 방지될 수 있게 오링(O-ring)(15)이 설치되는 것이 바람직하다.
개폐판(21)의 승강은 별도의 승강수단(도시하지 않음)을 설치하여 승강시킬 수 있을 것이다.
이때 승강수단은 실린더(유압 또는 공압)를 이용하거나 또는 구동모터에 의해 작동되는 이송스크류 등 다양한 형태의 리프트장치가 사용될 수 있을 것이다.
한편 로더(25)는 기판(100)을 고정 지지할 수 있게 개폐판(21)에 설치되는 것으로서, 개폐판(21)의 승강 작동과 연동되어 기판(100)을 승강시킴으로써, 기판(100)이 약액 저장챔버(10) 내의 약액(150)에 잠기거나 또는 이탈되도록 하는 것이다.
여기서 로더(25)는 받침부(28)와 지지대(26)로 구성되는 것으로서, 도 2를 참조하여 설명한다.
도 2는 로더(25)의 일 실시예의 사시도를 나타낸 것이다.
도시된 바와 같이, 받침부(28)는 기판(100)을 지지하는 것으로서, 메쉬(mash) 형태의 사각 금속망으로 형성될 수 있다.
받침부(28)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상부면에 기판(100)이 안착된 상태에서 기판(100)이 약액 저장챔버(10)의 저면에 위치하게 하여 기판(100)이 약액(150) 내에 신속하게 잠기도록 함으로써, 기판(100)과 약액(150)의 반응을 유도하게 되는 것이다.
한편 지지대(26)는 상단부가 개폐판(21)의 하측면에 고정 결합되고, 하단부는 받침부(28)의 각 모서리부에 각각 결합되어 다수개가 설치되는 것으로서, 일정 길이의 바(bar) 형태로 형성될 수 있을 것이다.
따라서 로더(25)는 개폐판(21)의 승강 작동과 연동되어 승강됨으로써, 기판(100)이 약액 저장챔버(10)의 저면에 신속하게 로딩되거나 또는 언로딩되도록 하는 것이다.
로더(25)는 상기와 같은 형태의 받침부(28)와 지지대(26)로 한정되는 것은 아니며, 기판(100)의 하측면 또는 측면을 지지하여 기판(100)을 승강시킬 수 있는 다양한 형태의 지지수단이 사용될 수 있을 것이다.
한편 약액공급부(40)는 개폐판(21) 상부에 설치된다.
약액공급부(40)는 기판(100)과 반응하여 기판(100) 상부면에 버퍼층을 형성하는 약액(150)을 공급하는 것으로서, 로딩커버(20)의 개폐판(21)에 관통 설치되는 약액공급관(41)과 약액공급관(41)에 약액(150)을 주입하는 약액저장조(45)로 구성된다.
약액저장조(45)는 약액 저장챔버(10) 내에 투입되는 약액(150)의 일정량이 저장되는 부분으로서, 커버가 구비된 통상적인 저장용기로 구성될 수 있다.
한편 약액공급관(41)은 약액(150)을 약액 저장챔버(10) 내로 투입하는 역할을 하는 것으로서 일단은 약액저장조(45)에 결합되고, 타단은 개폐판(21)을 관통하여 약액 저장챔버(10) 내에 위치하도록 설치된다.
이때 약액공급관(41)에는 약액(150)의 투입을 조절할 수 있도록 밸브(도시하지 않음)가 설치될 수 있을 것이다.
한편 약액저장조(45) 내의 상부에는 저장된 약액(150)의 상부면을 가압하여 약액(150)을 약액공급관(41)에 주입시키는 에어펌프(46)가 설치될 수 있다.
따라서 에어펌프(46)는 약액(150)의 상부면에 공기압을 가함으로써, 약액(150)이 상기 가압력에 의해 약액공급관(41)을 통해 약액 저장챔버(10) 내로 투입되도록 함으로써, 약액(150) 투입 과정에서의 약액(150)의 오염이 방지될 수 있게 하는 것이다.
약액공급부(40)는 개폐판(21)에 설치되어 개폐판(21)과 함께 이동되도록 설치되거나 또는 약액 저장챔버(10)의 측면에 설치될 수도 있을 것이다.
한편 약액공급관(41)은 3℃ ~ 5℃ 정도의 저온을 유지하는 것이 바람직하다.
약액(150)은 CdS4와 Cs(NH3)2 및 NH4OH 의 혼합용액이 사용될 수 있으며, 또는 NH4OH(암모니아수)는 하기에서 설명하는 교반수단(80)을 통해 공급될 수도 있을 것이다.
교반수단(80)은 약액 저장챔버(10)에 설치되는 것으로서, 약액 저장챔버(10) 내에 저장된 약액(150)에 공기압을 가하여 약액(150)이 균일하게 혼합되게 함으로써, 버퍼층이 기판(100) 상부면에 균일하게 증착되도록 하기 위한 것이다.
이때 교반수단(80)은 공기를 분사하는 에어건(50,60,70)으로 구성될 수 있다.
에어건(50)은 도시된 바와 같이, 약액 저장챔버(10)의 양측면 상부에 각각 설치되는 것으로서, 약액(150)의 상부면에 공기압을 가하여 약액(150)을 교반시키게 된다.
한편 약액(150)에 잠기도록 약액 저장챔버(10)의 양측면 하측부에 설치되는 에어건(60)은 약액(150)의 측면 방향에서 공기압을 가하여 약액(150)을 교반시키게 된다.
또한 약액 저장챔버(10)의 저면에 설치되는 에어건(70)은 공기압을 상 방향으로 토출시킴으로써, 약액(150)을 교반시키게 된다.
그러나 에어건(50,60,70)의 설치 위치와 개수는 약액 저장챔버(10) 및 기판(100)의 형태와 크기를 고려하여 공기압이 적정 위치에 가해질 수 있도록 다양하게 구성할 수 있을 것이다.
도 3은 에어건(50)의 일 실시예의 부분 사시도를 나타낸 것이다.
에어건(50)은 도시된 바와 같이, 내부가 비어 있고 일정 크기의 두께와 폭을 가지는 몸체부(51)와 몸체부(51)의 선단부에 설치되어 공기압을 외부로 토출시키는 분사구(55)로 구성된다.
분사구(55) 일정 크기의 폭을 가지는 슬릿(slit) 형태로 형성될 수 있다.
이때 에어건(50)의 몸체부(51)는 에어펌프(도시하지 않음)와 연결될 것이다.
따라서 에어건(50)은 분사구(55)를 통해 약액(150)에 공기압을 가함으로써, 약액(150)을 교반시키게 되는 것이다.
한편 에어건(60,70)은 선단부에 분사구가 형성되는 삼각 형상으로 도시되어 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 약액 저장챔버(10)의 상측부에 설치되는 에어건(50)과 동일한 형상으로 구비될 수도 있다.
한편 NH4OH(암모니아수)는 약액공급부(40)로부터 투입되지 않고, 에어건(50,60,70)을 통해 공급될 수도 있을 것이다.
즉 에어건(50,60,70)은 별도의 암모니아수 공급부로부터 NH4OH(암모니아수)를 공급받아 적정량의 NH4OH(암모니아수)와 에어를 선택적으로 분사시켜 약액(150)을 교반시킬 수도 있을 것이다.
한편 에어건(50,60,70) 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같은 구조로 한정되는 것은 아니며, 다수의 분사노즐이 구비된 분사관이나 또는 다양한 형태의 샤워헤드로 구성될 수 있을 것이다.
또한 교반수단(80)은 에어건(50,60,70) 외에 초음파 발진기로 구성함으로써, 초음파를 이용하여 약액(150)의 분자를 진동시킴으로써, 약액(150)을 교반시킬 수도 있을 것이다.
이하 도 1을 참조하여 본 발명의 작동 과정을 상세히 설명한다.
먼저 로딩커버(20)의 개폐판(21)은 상승하여 약액 저장챔버(10)를 개방시키게 되고, 이때 로더(25)의 받침부(28)는 약액 저장챔버(10)의 상부에 위치하게 된다.
이때 기판(100)은 이송수단(110)에 의해 약액 저장챔버(10)로 이송된 후, 별도의 기판 장착로봇(도시하지 않음) 등에 의해 로더(25)의 받침부(28) 상부에 안착된다.
기판(100)이 받침부(28)에 안착되면 로딩커버(20)는 하향 이동하여 약액 저장챔버(10)를 밀폐시키게 되고, 이때 기판(100)은 받침부(28)와 함께 하향 이동하여 약액 저장챔버(10)의 저면에 위치하게 되는 것이다.
상기와 같이 기판(100)이 약액 저장챔버(10) 내에 로딩된 후, 로딩커버(20)에 의해 약액 저장챔버(10)의 밀폐가 완료되면, 약액공급부(40)는 공기압을 이용하여 약액저장조(45) 내의 약액(150)을 약액공급관(41)을 통해 약액 저장챔버(10) 내에 투입시키게 되는 것이다.
이때 약액(150)은 기판(100) 전체가 완전히 잠길 수 있을 정도의 양이 투입된다.
한편 약액 저장챔버(10)의 가열수단은 약액(150)을 적정 온도(40℃ ~ 80℃)로 가열시켜 약액(150)이 기판(100)과 반응하여 기판(100) 상부면에 버퍼층이 증착되도록 하게 되며, 이때 교반수단(80)은 공정 수행 동안에 약액(150)에 공기압을 가하여 약액(150)을 교반하게 되는 것이다.
한편 버퍼층 증착이 완료되면, 로딩커버(20)는 다시 상승하여 약액 저장챔 버(10)를 개방시킴과 동시에 기판(100)을 상승시키게 되고, 이 후, 기판(100)은 로봇에 의해 이송수단(120)으로 옮겨진 후, 후속 공정(세정공정)에 투입되고, 새로운 기판(100)은 다시 로딩커버(20)의 로더(25)에 장착된 후, 상기와 같은 동일한 증착 공정을 거치게 되는 것이다.
따라서 본 발명은 약액 저장챔버(10)의 개폐와 기판(100)의 로딩/언로딩 동작이 연동되어 작동됨으로써, 기판(100)의 로딩 및 언로딩 시간을 현저히 단축시킬 수 있을 뿐 아니라, 별도의 약액 공급펌프를 사용하지 않게 되어 약액(150)의 오염을 방지할 수 있게 되며, 또한 공기압을 이용한 간단한 구조의 약액 교반수단(80)을 채택함으로써, 효율적인 교반을 통해 증착 품질 또한 향상시킬 수 있게 되는 것이다.
이상, 상기의 실시 예는 단지 설명의 편의를 위해 예시로서 설명한 것에 불과하므로 특허청구범위를 한정하는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 태양전지 제조용 씨비디 장치의 개략적인 구성도,
도 2는 본 발명의 로딩커버의 일 실시예의 사시도,
도 3은 본 발명의 에어건의 일 실시예의 부분 사시도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 약액 저장챔버 15 : 오링
17 : 배출구 20 : 로딩커버
21 : 개폐판 25 : 로더
26 : 지지대 28 : 받침부
40 : 약액공급부 41 : 약액공급관
45 : 약액저장조 46 : 에어펌프
50,60,70 : 에어건 51 : 몸체부
55 : 슬릿 80 : 교반수단
100 : 기판 110,120 : 이송수단
150 : 용액

Claims (11)

  1. 기판상에 버퍼층을 형성하기 위한 약액이 저장된 약액 저장챔버;
    상기 약액 저장챔버의 상부를 개폐할 수 있게 설치하되, 상기 개폐와 연동되어 상기 기판을 승강시킬 수 있게 구비되는 로딩커버;
    상기 약액 저장챔버에 약액을 공급하는 약액공급부; 및
    상기 약액을 교반시키는 교반수단;
    을 포함하여 구성되는 태양전지 제조용 씨비디 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 로딩커버는,
    상기 약액 저장챔버의 상부를 개폐하는 개폐판과 상기 개폐판의 하측부에 결합되어 상기 기판을 고정 지지하는 로더로 구성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 씨비디 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 로더는 상기 기판의 하측부를 지지하는 받침부와 상기 받침부를 지지할 수 있게 이격 설치되는 복수의 지지대로 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 씨비디 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 약액공급부는,
    상기 로딩커버에 관통 설치되는 약액공급관과 상기 약액공급관에 약액을 주입하는 약액저장조로 구성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 씨비디 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 약액저장조의 상부에는,
    저장된 약액의 상부면에 공기압을 가하여 약액이 상기 약액공급관에 주입될 수 있도록 에어펌프가 설치되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 씨비디 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 교반수단은 상기 약액 저장챔버의 측면부에 설치하되, 저장된 약액의 측면에서 공기압을 가할 수 있게 약액에 잠기도록 설치되는 에어건으로 구성된 것을 특징으로 하는 박막 태양전지 제조용 씨비디 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 교반수단은 상기 약액 저장챔버의 저면부에 설치하되, 저장된 약액의 하측면에서 상 방향으로 공기압을 가할 수 있게 설치되는 에어건으로 구성된 것을 특징으로 하는 박막 태양전지 제조용 씨비디 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 교반수단은 상기 약액 저장챔버의 측면부 상측에 설치하되, 저장된 약액의 상부면에 공기압을 가할 수 있도록 설치되는 에어건으로 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 씨비디 장치.
  9. 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 에어건은 암모니아수(NH4OH)와 에어를 선택적으로 분사시키는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 씨비디 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 교반수단은 초음파를 이용하여 약액을 교반시키는 초음파 발진기로 구성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 씨비디 장치.
  11. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 약액 저장챔버의 양측부에는 상기 기판을 이송시키는 이송수단이 연결 설치되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 씨비디 장치.
KR1020090119708A 2009-12-04 2009-12-04 태양전지 제조용 씨비디 장치 KR101035245B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090119708A KR101035245B1 (ko) 2009-12-04 2009-12-04 태양전지 제조용 씨비디 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090119708A KR101035245B1 (ko) 2009-12-04 2009-12-04 태양전지 제조용 씨비디 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101035245B1 true KR101035245B1 (ko) 2011-05-19

Family

ID=44366183

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090119708A KR101035245B1 (ko) 2009-12-04 2009-12-04 태양전지 제조용 씨비디 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101035245B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101097712B1 (ko) * 2011-05-31 2011-12-22 에스엔유 프리시젼 주식회사 화학적 용액 성장법을 이용한 증착장치
WO2013187627A1 (ko) * 2012-06-14 2013-12-19 에스엔유 프리시젼 주식회사 글래스 기판 증착장치 및 이를 이용하는 글래스 기판 증착방법

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002020108A (ja) 2000-07-04 2002-01-23 Japan Science & Technology Corp 水溶液中半導体薄膜の製造方法及びその製造装置
KR100372752B1 (ko) 2000-05-18 2003-02-17 한국과학기술원 황화카드뮴 막의 제조방법 및 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100372752B1 (ko) 2000-05-18 2003-02-17 한국과학기술원 황화카드뮴 막의 제조방법 및 장치
JP2002020108A (ja) 2000-07-04 2002-01-23 Japan Science & Technology Corp 水溶液中半導体薄膜の製造方法及びその製造装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101097712B1 (ko) * 2011-05-31 2011-12-22 에스엔유 프리시젼 주식회사 화학적 용액 성장법을 이용한 증착장치
WO2013187627A1 (ko) * 2012-06-14 2013-12-19 에스엔유 프리시젼 주식회사 글래스 기판 증착장치 및 이를 이용하는 글래스 기판 증착방법
KR101388419B1 (ko) * 2012-06-14 2014-05-12 에스엔유 프리시젼 주식회사 글래스 기판 증착장치 및 이를 이용하는 글래스 기판 증착방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101129038B1 (ko) 인라인 기판처리 장치
TWI451521B (zh) 基板處理設備及基板處理方法
KR19990006968A (ko) 세정건조처리장치
CN101866981B (zh) 制造太阳能电池的薄膜沉积处理组件、系统及清洗方法
US8138009B2 (en) Method of fabricating thin film solar cell and apparatus for fabricating thin film solar cell
JP2012129188A (ja) 色素吸着装置、色素吸着方法、基板処理装置及び基板処理方法
KR101478151B1 (ko) 대면적 원자층 증착 장치
KR101035245B1 (ko) 태양전지 제조용 씨비디 장치
JP5006245B2 (ja) カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法およびその装置
KR101373746B1 (ko) 플라즈마를 이용한 기판 처리 장치
KR20110133690A (ko) 연속 공정 수행이 가능한 플라즈마 반응장치
US20120090546A1 (en) Source supplying unit, method for supplying source, and thin film depositing apparatus
KR101139587B1 (ko) 씨비디(ｃｂｄ) 박막 제조장치
CN101719479A (zh) 移送基板用托盘及具有该托盘的真空处理装置
KR101284704B1 (ko) 박막형 태양전지 제조용 열처리 장치, 열처리 방법 및 이를 이용한 박막형 태양전지 제조 방법
KR101092067B1 (ko) 인라인 방식의 태양전지 제조용 씨비디(ｃｂｄ) 장치
KR101220006B1 (ko) 인라인 타입의 태양전지 제조장치 및 이에 의하여 제조된 태양전지
US9093222B2 (en) Dye adsorption apparatus and dye adsorption method
CN106486557B (zh) 一种深紫外光化学水浴沉积制备硫化镉纳米薄膜的方法
US9249507B2 (en) Chemical bath deposition (CBD) apparatus
KR101220045B1 (ko) 태양전지 제조용 열처리장치 및 이에 의하여 제조된 태양전지
KR20110072356A (ko) 기판처리시스템, 그에 사용되는 기판처리시스템의 공정모듈
KR101097712B1 (ko) 화학적 용액 성장법을 이용한 증착장치
KR101149169B1 (ko) 태양전지 제조용 스퍼터 증착 장치
JP2013051267A (ja) 槽キャリア及び基板処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160420

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170426

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180502

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee