KR101034238B1 - 스핀 헤드 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판을 지지 및 회전시키는 스핀 헤드를 제공한다. 스핀헤드는 상면 중앙에 패인공간이 형성되고, 가스공급라인으로부터 가스가 공급되는 통공이 중앙에 형성된 상판과, 상판의 패인공간에 위치하며 상판의 통공으로 공급된 가스가 흐르는 유로가 저면에 형성된 안내판을 포함한다. 패인공간의 저면과 상판 상면의 가장자리면을 연결하는 연결면은 패인공간의 저면 및 가장자리면에 수직하고, 안내판의 외측면과 나란하게 제공된다. 이러한 형상에 의하여, 유로를 통해 공급된 가스는 연결면과 안내판의 외측면 사이의 공간을 따라 기판의 배면에 대체적으로 수직하게 제공된다.

기판, 스핀 헤드, 척 핀, 세정

Description

스핀 헤드{A SPIN HEAD}

본 발명은 기판 처리를 위한 장치 및 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 반도체 공정 등에서 기판을 지지하며 회전 가능한 스핀 헤드에 관한 것이다.

반도체 공정은 웨이퍼 상에 박막, 이물질, 파티클 등을 식각하거나 세정하는 공정을 포함한다. 이와 같은 공정은 패턴 면이 위 또는 아래를 향하도록 웨이퍼를 스핀 헤드 상에 놓고, 스핀 헤드를 고속으로 회전시키고, 웨이퍼 상에 처리액을 공급함으로써 이루어진다. 스핀 헤드에는 회전시 웨이퍼가 스핀 헤드의 측방향으로 이동되는 것을 방지하기 위해 웨이퍼의 측부를 지지하는 척 핀들이 설치된다. 척 핀들은 기판이 스핀 헤드 상에 로딩 또는 언 로딩 될 때 기판이 놓이는 공간을 제공하는 대기 위치와 스핀 헤드 상에 놓인 기판이 회전되면서 공정이 수행될 때 기판의 측부와 접촉되는 지지 위치 간에 이동된다. 따라서 대기 위치에 놓인 척 핀들 사이에 제공된 공간은 지지 위치에 놓인 척 핀들 사이에 제공된 공간보다 넓다.

일반적으로 척 핀들이 지지 위치에 놓여 기판을 지지할 때, 기판의 회전시 원심력에 의해 척 핀들은 대기 위치를 향하는 방향으로 힘을 받는다. 척 핀이 공정 진행 중 원심력에 의해 대기 위치를 향하는 방향으로 이동하면, 공정 진행 중 척 핀이 기판을 안정적으로 지지하지 못하고 공정 불량이 발생된다.

그리고, 회전하는 기판상에 공급된 처리액은 원심력에 의하여 기판의 에지영역으로 이동하며 기판의 패턴면을 처리한 후, 기판으로부터 비산되거나 기판의 외주면을 따라 흘러내린다. 기판의 외주면을 따라 흐르는 처리액은 기판의 비패턴면으로 유입되어 비패턴면을 오염시킨다.

본 발명은 기판을 안정적으로 지지할 수 있는 구조를 가진 스핀 헤드를 제공한다.

또한, 본 발명은 고속 회전시에도 척 핀들이 안정적으로 기판의 측부와 접촉될 수 있는 구조를 가진 스핀 헤드를 제공한다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명은 스핀 헤드를 제공한다. 기판이 놓이는 스핀 헤드는 중앙에 상하방향으로 관통된 통공이 제공되는 하판; 상기 하판의 상부에 설치되며 상면 중앙에 패인공간이 형성된, 그리고 중앙에 상기 하판의 통공과 통하는 통공이 형성된 상판; 상기 패인공간에 위치하며, 저면에 상기 상판의 통공 및 상기 하판의 통공을 통해 공급된 가스가 흐르는 유로가 형성된 안내판; 상기 하판으로부터 상부로 돌출되도록 배치되는 척 핀들; 상기 스핀 헤드에 놓인 기판의 측부를 지지하는 지지위 치와 상기 상판에 기판이 놓일 수 있도록 상기 지지위치에 비해 상기 상판의 중심에서 더 멀리 떨어진 대기위치간에 상기 척 핀들을 이동시키는 척 핀 이동유닛을 포함하되, 상기 상판의 상면은 가장자리면이 상기 안내판의 상면보다 높게 제공되며, 상기 척 핀들의 상단은 상기 가장자리면보다 높게 제공된다.

상기 상판은 상기 가장자리면과 상기 패인공간의 저면을 연결하는 연결면을 가지되, 상기 연결면은 상기 안내판의 외측면보다 큰 직경을 갖는다.

상기 가장자리면은 수평면으로 제공되며, 상기 연결면은 상기 가장자리면에 대해 수직하게 제공된다.

상기 패인공간의 저면은 수평면으로 제공되며, 상기 연결면은 상기 패인공간의 저면에 대해 수직하게 제공된다.

상기 연결면은 상기 안내판의 외측면과 평행하게 제공된다.

상기 안내판의 가장자리에는 링형상의 버퍼공간이 형성되고, 상기 유로는 상기 버퍼공간과 상기 상판의 통공을 연결하고, 상기 버퍼공간으로부터 상기 안내판의 외측끝단까지 연장되는 통로로 제공된다.

본 발명에 의하면, 기판과 스핀헤드 사이로 분출되는 가스의 완충작용으로 기판이 안정적으로 지지될 수 있다.

본 발명에 의하면, 고속으로 기판이 회전되는 경우에도 척 핀들이 기판의 측부와 접촉되는 지지 위치에 안정적으로 유지될 수 있다.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 14를 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.

아래의 실시예에서는 약액, 린스액, 그리고 건조가스를 사용하여 기판(W)을 세정하는 장치를 예로 들어 설명한다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 않으며, 기판(W)을 회전시키면서 공정을 수행하는 다양한 종류의 장치에 모두 적용될 수 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(1)를 개략적으로 보여주는 평면도이다. 도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 유체 공급 유닛(10), 용기(20), 승강 유닛(30), 그리고 스핀 헤드(40)를 가진다. 유체 공급 유닛(10)은 기판 처리를 위한 처리액이나 처리 가스를 기판(W)으로 공급한다. 스핀 헤드(40)는 공정 진행시 기판(W)을 지지하고, 기판(W)을 회전시킨다. 용기(20)는 공정에 사용된 약액 및 공정시 발생됨 흄(fume)이 외부로 튀거나 유출되는 것을 방지한다. 승강 유닛(30)은 스핀 헤드(40) 또는 용기(20)를 상하로 승강시키며, 용기(20) 내에서 용기(20)와 스핀 헤드(40) 간의 상대 높이를 변화시킨다. 이하, 각각의 구성에 대해서 상세히 설명한다.

(유체 공급 유닛)

도 1을 참조하면, 유체 공급 유닛(10)은 스핀 헤드(40)에 놓인 기판(W)의 상면으로 처리액이나 처리 가스를 공급한다. 유체 공급 유닛(10)은 약액 공급 노즐(120), 린스액 공급 노즐(140), 그리고 건조 가스 공급 노즐(160)을 가진다. 약액 공급 노즐(120)은 복수의 종류의 약액들을 기판(W)으로 공급한다. 약액 공급 노즐(120)은 복수의 분사기들(121), 지지 바(122), 그리고 바 이동기(123)를 가진다. 분사기들(121)은 용기(20)의 일측에 배치된다. 분사기(121)는 약액 저장부(도시되지 않음)와 연결되어 이로부터 약액을 공급받는다. 각각의 분사기(121)는 서로 상이한 종류의 약액을 저장하는 약액 저장부와 연결된다. 분사기들(121)은 일방향으로 나란하게 배치된다. 각각의 분사기(121)는 상부로 돌출된 돌기(121a)를 가지고, 돌기(121a)의 측면에는 홈(도시되지 않음)이 형성될 수 있다. 약액은 황산, 질산, 암모니아, 불산 등이거나, 이들과 탈이온수의 혼합액일 수 있다. 각각의 분사기(121)의 끝단에는 토출구(도시되지 않음)가 형성된다.

지지 바(122)는 복수의 분사기들(121) 중 어느 하나와 결합하고, 이를 스핀 헤드(40)에 놓인 기판(W)의 상부로 이동시킨다. 지지 바(122)는 긴 로드 형상을 가지며, 지지 바(122)는 그 길이 방향이 분사기들(121)이 배열되는 방향과 수직하도록 배치된다. 지지 바(122)의 하면에는 분사기(121)와의 결합을 위한 홀더(도시되지 않음)가 제공되고, 홀더는 분사기(121)의 돌기(121a)에 형성된 홈에 삽입 가능한 암들(도시되지 않음)을 가진다. 암들은 돌기(121a)의 외측에서 돌기(121a)의 홈을 향하는 방향으로 회전 또는 이동될 수 있는 구조로 제공될 수 있다.

바 이동기(123)는 스핀 헤드(40)에 놓인 기판(W)의 상부 위치와 분사기들(121)의 상부 위치 간에 지지 바(122)를 직선 이동시킨다. 바 이동기(123)는 브라켓(123a), 가이드 레일(123b), 그리고 구동기(도시되지 않음)를 가진다. 가이드 레일(123b)은 분사기들(121)의 외측에서부터, 분사기(121), 그리고 용기(20)를 지나 용기(20)의 외측까지 길게 일직선으로 연장된다. 가이드 레일(123b)에는 이를 따라 이동 가능하도록 브라켓(123a)이 결합되고, 브라켓(123a)에는 지지 바(122)가 고정결합된다. 구동기는 브라켓(123a)을 직선이동시키는 구동력을 제공한다. 브라켓(123a)의 직선 이동은 모터와 스크류를 가지는 어셈블리에 의해 이루어질 수 있다. 선택적으로 브라켓(123a)의 직선 이동은 벨트와 풀리, 그리고 모터를 가진 어셈블리에 의해 이루어질 수 있다. 선택적으로 브라켓(123a)의 직선 이동은 리니어 모터에 의해 이루어질 수 있다.

용기(20)의 다른 일측에는 린스액 공급 노즐(140)이 배치되고, 용기(20)의 또 다른 일측에는 건조가스 공급 노즐(160)이 배치된다. 린스액 공급 노즐(140)은 분사기(141), 지지 바(142), 그리고 구동기(144)를 가진다. 분사기(141)는 지지 바(142)의 일 끝단에 고정 결합된다. 지지 바(142)의 다른 끝단에는 구동기(144)에 의해 회전되는 회전축(도시되지 않음)이 고정 결합된다. 분사기(141)는 린스액 저장부(도시되지 않음)로부터 린스액을 공급받는다. 건조가스 공급 노즐(160)은 린스액 공급 노즐(140)과 대체로 유사한 구조를 가진다. 건조가스 공급 노즐(160)은 이소프로필 알코올과 질소 가스를 공급한다. 질소 가스는 가열된 질소 가스일 수 있다.

(용기)

도 2는 용기의 단면도이고, 도 3은 용기를 종방향으로 절단한 사시도이다. 도 2와 도 3을 참조하면, 용기(20)는 내부에 상부가 개방되고 기판(W)이 처리되는 공간(32)을 가지고, 공간(32)에는 스핀 헤드(40)의 몸체(42)가 배치된다. 스핀 헤드(40)의 회전 축(44)은 용기(20)의 바닥면에 형성된 개구를 통해 몸체(42)로부터 용기(20) 외부까지 돌출된다. 회전 축(42)에는 이에 회전력을 제공하는 모터와 같은 구동기(44)가 고정 결합된다.

용기(20)는 공정에 사용된 약액들을 분리하여 회수할 수 있는 구조를 가진다. 이는 약액들의 재사용이 가능하게 한다. 용기(20)는 복수의 회수통들(220, 240, 260)을 가진다. 각각의 회수통(220, 240, 260)은 공정에 사용된 처리액들 중 서로 상이한 종류의 처리액을 회수한다. 본 실시 예에서 용기(20)는 3개의 회수통들을 가진다. 각각의 회수통들을 내부 회수통(220), 중간 회수통(240), 그리고 외부 회수통(260)이라 칭한다.

내부 회수통(220)은 스핀 헤드(40)를 감싸는 환형의 링 형상으로 제공되고, 중간 회수통(240)은 내부 회수통(220)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공되며, 외부 회수통(260)은 중간 회수통(240)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 각각의 회수통(220, 240, 260)은 용기(20) 내에서 공간(22)과 통하는 유입구(227, 247, 267)를 가진다. 각각의 유입구(227, 247, 267)는 스핀 헤드(40)의 둘레에 링 형상으로 제공된다. 기판(W)으로 분사되어 공정에 사용된 약액들은 기판(W)의 회전으로 인한 원심력에 의해 유입구(227, 247, 267)를 통해 회수통(220, 240, 260)으로 유 입된다. 외부 회수통(260)의 유입구(267)는 중간 회수통(240)의 유입구(247)의 수직 상부에 제공되고, 중간 회수통(240)의 유입구(247)는 내부 회수통(220)의 유입구(227)의 수직 상부에 제공된다. 즉, 내부 회수통(220), 중간 회수통(240), 그리고 외부 회수통(260)의 유입구(227, 247, 267)들은 서로 간에 높이가 상이하도록 제공된다.

내부 회수통(220)은 외벽(222), 바닥벽(224), 내벽(226), 그리고 안내벽(228)을 가진다. 외벽(222), 바닥벽(224), 내벽(226), 그리고 안내벽(228) 각각은 링 형상을 가진다. 외벽(222)은 스핀 헤드(40)로부터 멀어지는 방향으로 하향 경사진 경사벽(222a)과 이의 하단으로부터 아래 방향으로 수직하게 연장되는 수직벽(222b)을 가진다. 바닥벽(224)은 수직벽(222b)의 하단으로부터 스핀 헤드(40)를 향하는 방향으로 수평하게 연장된다. 바닥벽(224)의 끝단은 경사벽(222a)의 상단과 동일한 위치까지 연장된다. 내벽(226)은 바닥벽(224)의 안쪽 끝단으로부터 위 방향으로 수직하게 연장된다. 내벽(226)은 그 상단이 경사벽(222a)의 상단과 일정거리 이격되도록 하는 위치까지 연장된다. 내벽(226)과 경사벽(222a) 사이의 상하 방향으로 이격된 공간은 상술한 내부 회수통(220)의 유입구(227)로서 기능한다.

내벽(226)에는 링을 이루는 배치로 복수의 개구들(223)이 형성된다. 각각의 개구들(223)은 슬릿 형상으로 제공된다. 개구(223)는 내부 회수통(220)으로 유입된 가스들이 용기(20) 내 아래 공간을 통해 외부로 배출되도록 하는 배기구로서 기능한다. 바닥벽(224)에는 배출관(225)이 결합된다. 내부 회수통(220)을 통해 유입된 처리액은 배출관(225)을 통해 외부의 약액 재생을 위한 시스템으로 배출된다.

안내벽(228)은 내벽(226)의 상단으로부터 스핀 헤드(40)로부터 멀어지는 방향으로 하향 경사진 경사벽(228a)과 이의 하단으로부터 아래로 상하 방향으로 수직하게 연장되는 수직벽(228b)을 가진다. 수직벽(228b)의 하단은 바닥벽(224)으로부터 일정거리 이격되게 위치된다. 안내벽(228)은 유입구(227)를 통해 유입된 처리액이 외벽(222), 바닥벽(224), 내벽(226)으로 둘러싸인 공간(229)으로 원활하게 흐를 수 있도록 안내한다.

중간 회수통(240)은 외벽(242), 바닥벽(244), 내벽(246), 그리고 돌출벽(248)을 가진다. 중간 회수통(240)의 외벽(242), 바닥벽(244), 그리고 내벽(246)은 내부 회수통(220)의 외벽(222), 바닥벽(224), 그리고 내벽(226)과 대체로 유사한 형상을 가지나, 중간 회수통(240)이 내부 회수통(220)을 감싸도록 내부 회수통(220)에 비해 큰 크기를 갖는다. 중간 회수통(240)의 외벽(242)의 경사벽(242a)의 상단과 내부 회수통(220)의 외벽(222)의 경사벽(222a)의 상단은 상하 방향으로 일정 거리 이격되게 위치되며, 이격된 공간은 중간 회수통(240)의 유입구(247)로서 기능한다. 돌출벽(248)은 바닥벽(244)의 끝단으로부터 아래 방향으로 수직하게 연장된다. 중간 회수통(240)의 내벽(246)의 상단은 내부 회수통(220)의 바닥벽(224)의 끝단과 접촉된다. 중간 회수통(240)의 내벽(246)에는 가스의 배출을 위한 슬릿 형상의 배기구들(243)이 링을 이루는 배열로 제공된다. 바닥벽(244)에는 배출관(245)이 결합되며, 중간 회수통(240)을 통해 유입된 처리액은 배출관(245)을 통해 외부의 약액 재생을 위한 시스템으로 배출된다.

외부 회수통(260)은 외벽(262)과 바닥벽(264)을 가진다. 외부 회수통(260)의 외벽(262)은 중간 회수통(240)의 외벽(242)과 유사한 형상을 가지나, 외부 회수통(260)이 중간 회수통(240)을 감싸도록 중간 회수통(240)에 비해 큰 크기를 갖는다. 외부 회수통(260)의 외벽(262)의 경사벽(262a)의 상단과 중간 회수통(240)의 외벽(242)의 경사벽(242b)의 상단은 상하 방향으로 일정 거리 이격되게 위치되며, 이격된 공간은 외부 회수통(260)의 유입구(267)로서 기능한다. 바닥벽(264)은 대체로 원판 형상을 가지며, 중앙에 회전 축(44)이 삽입되는 개구가 형성된다. 바닥벽(264)에는 배출관(265)이 결합되고, 외부 회수통(260)을 통해 유입된 처리액은 배출관(265)을 통해 외부의 약액 재생을 위한 시스템으로 배출된다. 외부 회수통(260)은 용기(20) 전체의 외벽으로서 기능한다. 외부 회수통(260)의 바닥벽(264)에는 배기관(263)이 결합되며, 외부 회수통(260)으로 유입된 가스는 배기관(263)을 통해 외부로 배기한다. 또한, 내부 회수통(220)의 내벽(226)에 제공된 배기구(223) 및 중간 회수통(240)의 내벽(246)에 제공된 배기구(243)를 통해 흘러나온 가스는 외부 회수통(260)에 연결된 배기관(263)을 통해 외부로 배기된다. 배기관(263)은 바닥벽(264)으로부터 상부로 일정 길이 돌출되도록 설치된다.

본 실시예에서는 용기가 처리액들을 분리회수할 수 있는 구조로 복수의 회수통들을 구비하는 것으로 설명하였다. 그러나 용기는 내부 회수통 및 중간 회수통 없이 단일의 회수통만으로 제공될 수 있다.

(승강 유닛)

도 2와 도 3을 참조하면, 승강 유닛(30)은 용기(20)를 상하 방향으로 직선 이동시킨다. 용기(20)가 상하로 이동됨에 따라 스핀 헤드(40)에 대한 용기(20)의 상대 높이가 변경된다. 승강 유닛(30)은 브라켓(32), 이동 축(34), 그리고 구동기(36)를 가진다. 브라켓(32)은 용기(20)의 외벽에 고정설치되고, 브라켓(32)에는 구동기(36)에 의해 상하 방향으로 이동되는 이동 축(34)이 고정결합된다. 기판(W)이 스핀 헤드(40)에 놓이거나, 스핀 헤드(40)로부터 들어 올려질 때 스핀 헤드(40)가 용기(20)의 상부로 돌출되도록 용기(20)는 하강한다. 또한, 공정이 진행시에는 기판(W)에 공급된 처리액의 종류에 따라 처리액이 기설정된 회수통(220, 240, 260)으로 유입될 수 있도록 용기(20)의 높이가 조절한다. 상술한 바와 반대로, 승강 유닛(30)은 스핀 헤드(40)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.

(스핀 헤드)

다음에는 도 4와 도 5를 참조하여 스핀 헤드(40)의 구조에 대해 설명한다. 도 4는 스핀 헤드(40)의 평면도이고, 도 5는 도 4의 선 Ⅰ-Ⅰ를 따라 절단한 스핀 헤드(40)의 단면도이다. 스핀 헤드(40)는 가스 공급 부재(300), 몸체(400), 척 핀들(500), 그리고 척 핀 이동 유닛(600)을 가진다.

도 4와 도 5를 참조하면, 몸체(400)는 상판(420), 하판(440), 그리고 안내판(460)을 가진다. 상판(420), 하판(440), 그리고 안내판(460)은 나사(도시되지 않음)에 의해 서로 고정결합된다. 상판(420)은 지지체(421)와 삽입체(426)를 가진다. 지지체(421)는 상부에서 바라볼 때 대체로 원형으로 제공되는 상면(422)을 가진다. 지지체(421)의 상면(422) 중 가장자리면(423)은 수평면으로 제공되고, 중앙에는 오목하게 패인 공간(422a)이 형성된다. 패인 공간(422a)의 저면(424)은 가장자리면(423)보다 낮게 위치되며 수평면으로 제공된다. 가장자리면(423)과 패인 공간의 저면(424) 사이에는 연결면(425)이 제공되며, 연결면(425)은 가장자리면(423) 및 패인공간(422a)의 저면(424)과 수직하게 제공된다. 삽입체(426)는 지지체(421)의 하면 중앙 영역에서 아래로 연장된다. 삽입체(426)는 상판(420)과 하판(440)이 결합될 때 상판(420)이 하판(440) 상의 정위치에 안정적으로 놓이도록 한다. 상판(420)에는 상하 방향으로 지지체(421)와 삽입체(426)를 관통하는 통공(342)이 형성된다.

안내판(460)은 상체(461)와 삽입체(466)를 가진다. 상체(461)는 상부에서 바라볼 때 대체로 원형으로 제공되는 상면(462)을 가진다. 상체(461)는 상판(420)의 지지체(421)의 패인공간(422a)보다 조금 작은 직경을 가진다. 안내판(460)의 상체(461)의 상면(462)은 외측면(463)에 대해 수직하게 제공된다. 안내판(460)의 상체(461)의 상면(462)은 상판(420)의 지지체(421)의 가장자리면(423)보다 낮은 높이에 위치되도록 제공되고, 외측면(463)은 상판(420)의 지지체(421)의 연결면(425)과 평행하도록 제공된다. 공정 처리시, 기판(W)이 가스압에 의해 부유된 상태로 회전하게 되면, 기판(W)의 하면과 안내판(460)의 상면(462) 사이의 공간의 압력이 주변 압력보다 낮아지게 된다(이하, '음압'이라 함). 이러한 음압의 발생으로, 안내판(460)의 상면(462)과 대향하는 기판(W)의 영역이 오목하게 휘어지는 휨 현상이 일어난다. 이 때, 안내판(460)의 상면(462)이 상판(420)의 지지체(421)의 가장자리면(423)과 동일한 높이로 제공되는 경우, 휨 현상이 발생한 기판(W)의 영역이 안내판(460)의 상면(462)과 부딪혀 기판(W)이 파손될 수 있다. 그러나, 본 발명은 안내판(460)의 상체(461)의 상면(462)이 상판(420)의 지지체(421)의 가장자리면(423)보 다 낮은 높이로 제공되므로 음압에 의한 휨 현상이 발생되더라도 기판(W)과 안내판(460)의 상면(462)이 부딪히지 않는다.

삽입체(466)는 상체(461)의 저면 중앙영역에서 아래 방향으로 돌출되게 제공된다. 삽입체(466)는 상판(420)에 제공된 통공(342)에 삽입되고, 상체(461)는 상판(420)의 상면(422)에 제공된 공간(422a) 내에 위치된다.

안내판(460)의 저면에는 상판(420)의 통공(342) 및 하판(440)의 통공(445)을 통해 공급된 가스가 흐르는 유로가 제공된다. 그리고, 안내판(460)의 저면 가장자리에는 링 형상으로 오목하게 패인 버퍼공간(346)이 제공된다. 유로는 상판(420)에 제공된 통공(342)과 버퍼공간(346)을 연결하는 복수의 통로(344)들과 버퍼공간(346)으로부터 안내판(460)의 외측단까지 연장되는 통로(348)들로 제공된다. 안내판(460)의 저면은 대체로 상판(420)의 지지체(421)의 상면(422)과 접촉되나, 안내판(460)의 저면에 형성된 통로(344)들을 통하여 상판(420)의 통공(342) 및 하판(440)의 통공(445)을 통해 공급된 가스가 버퍼공간(346)을 제공된다. 그리고, 버퍼공간(346)으로 공급된 가스는 안내판(460)의 외측단까지 연장된 통로(348)를 통하여 외부로 유출된다.

하판(440)은 상판(420)의 아래에 배치되며, 상판(420)을 지지한다. 하판(440)은 지지체(441)와 하부커버(448)를 가진다. 지지체(441)는 상부에서 바라볼 때 대체로 원형으로 제공되는 상면(446)을 가진다. 하판(440)의 지지체(441)의 상면(446)은 상판(420)의 지지체(421)의 상면(423)에 대해 큰 직경을 가진다. 상판(420)의 지지체(421)는 그 상면(423)이 기판(W)보다 근소한 차이로 작게 제공되 고, 하판(440)의 지지체(441)는 그 상면(446)이 기판(W)보다 크게 제공된다. 하판(440)의 지지체(441)의 상면(446)은 전체적으로 수평면으로 제공된다. 하판(440)의 중심에는 상하 방향으로 관통된 통공(445)이 형성된다. 하판(440)의 통공(445)은 상판(420)의 삽입체(426)의 길이보다 길게 제공된다. 하판(440)의 통공(445)은 상판(420)의 삽입체(426)의 크기와 상응하는 크기를 가지며, 상판(420)은 그 삽입체(426)가 하판(440)의 통공에 끼워지도록 위에서 아래를 향하는 방향으로 삽입된다.

지지체(441)는 그 가장자리를 따라 아래 방향으로 링 형상으로 돌출된 외벽(442)을 가진다. 외벽(442)에는 그 내측면에서 외측면까지 연장되게 관통된 관통 홀(444)이 형성된다. 또한, 지지체(441)의 가장자리에는 관통 홀(444)로부터 지지체(441)의 상면(446)까지 연장된 핀 홀(447)이 형성된다. 관통 홀(444)과 핀 홀(447)은 척 핀 이동 유닛(600) 및 척 핀(500)의 일부를 위치시키고, 이들을 조립하기 위한 공간으로서 제공된다. 또한, 핀 홀(447)은 후술하는 대기 위치와 지지 위치 간에 척 핀(500)의 이동을 안내한다. 핀 홀(447)은 슬릿 형상으로 형성된다. 핀 홀(447)은 그 길이 방향이 하판(440)의 반경 방향을 따르도록 형성된다. 핀 홀(447)의 폭은 척 핀(500)의 지름과 동일하거나 이보다 조금 넓게 형성된다. 관통 홀(444) 및 핀 홀(447) 각각은 척 핀(500)의 수와 동일하게 제공된다.

하부 커버(448)는 상부 및 하부가 관통된 내부 공간을 가진 링 형상으로 제공된다. 하부 커버(448)는 하판(440)의 지지체(441)에 고정결합된다. 지지체(441)와 하부 커버(448) 사이에는 일정 공간(449)이 제공되며, 그 공간(449) 내에는 척 핀 이동 유닛(600)이 배치된다.

또한, 하판(440)의 통공(445)에는 회전축(44)이 아래에서 위를 향하는 방향으로 삽입 고정된다. 회전축(44)의 내부에는 상하 방향으로 형성된 가스 공급 라인(320)이 제공된다. 가스 공급라인(320)은 외부의 가스 공급부(도시되지 않음)와 연결된다. 도 6은 가스 공급라인으로 유입된 가스가 기판의 후면으로 제공되는 경로를 나타내는 도면이다. 도 6을 참조하면, 가스 공급부를 통해 가스 공급라인(320)으로 유입된 가스는 가스 공급라인(320)을 따라 위를 향하는 방향으로 흐른 후, 안내판(460)의 저면에 형성된 통로(344)를 따라 버퍼 공간(346)까지 흐른다. 버퍼공간(346)과 연결된 통로(348)를 통해 빠져나온 가스는 상판(420)의 연결면(425)과 안내판(460)의 외측면(463) 사이의 공간을 따라 상향 분출되고, 이후 상판(420)의 가장자리면(423)과 기판(W) 사이의 틈을 통해 상판(420)의 외부로 배출된다. 상판(420)의 지지체(421)의 연결면(425)은 패인 공간(422a)의 저면(424)과 수직하게 제공되고, 안내판(460)의 상체(461)의 외측면(463)은 연결면(425)과 평행하게 제공되므로, 지지체(421)의 연결면(425)과 안내판(460)의 외측면(463) 사이의 공간을 따라 상향 분출되는 가스는 대체적으로 기판(W)의 하면에 대해 수직하게 배출된다. 이와 같은 가스의 흐름에 의해 기판(W)은 가스압에 의해 상판(420)으로부터 이격되고, 기판(W)의 상부로 공급된 처리액 또는 처리가스는 위 가스에 의해 기판(W)의 후면으로 유입되는 것이 방지된다. 상술한 가스 공급 라인(320), 통로(344), 버퍼 공간(346), 그리고 통로(348)는 서로 조합되어 상술한 가스 공급 부재(300)로서 기능한다.

본 실시예들에서는 기판(W)이 스핀 헤드(40)에 가스압에 의해 부유된 상태로 스핀 헤드(40)에 지지되는 구조를 설명하였다. 그러나 이와 달리, 스핀 헤드(40)는 복수의 지지 핀들(도시되지 않음)을 구비하고, 기판(W)은 지지 핀 상에 놓여질 수 있다.

척 핀(500)은 몸체(400)가 회전될 때 기판(W)이 정 위치에서 측 방향으로 이탈되지 않도록 기판(W)의 측부를 지지한다. 도 7은 몸체(400)에 설치된 척 핀(500)을 확대하여 보여주는 사시도이다. 도 4 내지 도 7을 참조하면, 척 핀(500)은 하판(440)의 상면으로부터 상부로 돌출되도록 하판(440)의 가장자리 영역에 위치된다. 척 핀(500)은 복수 개가 제공되며, 모두 동일한 형상 및 크기를 가진다. 척 핀(500)은 지지부(520), 중앙부(540), 그리고 체결부(560)를 가진다. 지지부(520)는 평평한 상면(521)으로부터 아래로 갈수록 지름이 점진적으로 감소된 후 다시 아래로 갈수록 지름이 점진적으로 증가하는 형상을 가진다. 따라서 지지부(520)는 정면에서 바라볼 때 측부에 안쪽으로 오목한 오목부(522)를 가진다. 척 핀(500)은 지지부(520)가 상판(420)의 지지체(421)의 상면(422)의 가장자리부(423)보다 높게 위치되도록 제공된다. 오목부(522)에는 기판(W)의 측부가 접촉된다. 중앙부(540)는 지지부(520)의 하단으로부터 이와 동일한 지름으로 아래방향으로 연장된다. 체결부(560)는 중앙부(540)로부터 아래 방향으로 연장된다. 체결부(560)에는 척 핀 이동 유닛(600)과의 체결을 위한 나사홀(도시되지 않음)이 형성된다.

척 핀들(500)은 지지 위치와 대기 위치 간에 이동되도록 제공된다. 지지 위치는 공정 진행시 척 핀들(500)이 기판(W)의 측부와 접촉되는 위치이고, 대기 위치 는 기판(W)이 스핀 헤드(40)에 놓일 수 있도록 기판(W)보다 넓은 공간을 제공하는 위치이다. 따라서 지지 위치는 대기 위치에 비해 몸체(400)의 중앙에 더 가까운 위치이다. 척 핀(500)은 다섯 개 이상이 제공되며, 본 실시예에서는 여섯 개의 척 핀들(500)이 제공되었다.

척 핀 이동 유닛(600)은 척 핀(500)을 지지 위치와 대기 위치 간에 이동시킨다. 척 핀 이동 유닛(600)은 회전 로드(620), 축 핀(640), 구동 부재(660), 그리고 탄성 부재(680)를 가진다. 회전 로드(620)는 척 핀(500)과 동일한 개수로 제공되며, 하나의 회전 로드(620)에는 하나의 척 핀(500)이 결합된다. 회전 로드(620)는 상부에서 바라볼 때 그 길이 방향이 몸체(400)의 반경 방향과 동일하게 하판(440) 내 공간(449)에 배치된다. 회전 로드(620)의 외측단(626)은 하판(440)의 외벽(442)에 제공된 통로(444) 내에 위치된다. 회전 로드(620)의 외측단(626)에는 나사 홈이 형성되고, 척 핀(500)과 회전 로드(620)는 나사(629)에 의해 서로 고정 결합된다.

회전 로드(620)는 축 핀(640)에 의해 몸체(400)에 고정된다. 축 핀(640)은 상부에서 바라볼 때 몸체(400)의 반경 방향과 수직한 방향으로 제공된다. 회전 로드(620)는 축 핀(640)을 기준축으로 하여 회전 가능하도록 제공된다. 몸체(400)는 회전 로드(620)의 회전 범위를 제한하는 스토퍼(690)를 가진다. 스토퍼(690)는 원통의 관 형상을 가진다. 스토퍼(690)는 그 길이 방향이 몸체(400)의 반경 방향을 따라 배치되도록 제공된다. 스토퍼(690)에는 그 내부에 스토퍼(690)를 관통하는 관통공(692)이 형성된다. 회전 로드(620)는 그 두께가 관통공(692)의 직경보다 작게 제공되며, 스토퍼(690)의 통공(692)를 관통하도록 제공된다. 축 핀(640)은 회전 로드(620)를 스토퍼(690)에 고정 설치한다.

회전 로드(620)는 제 1 부분(621)과 제 2 부분(622)을 가진다. 제 1 부분(621)은 축 핀(640)을 기준으로 척 핀(500)이 결합되는 부분이고, 제 2 부분(622)은 이와 반대 부분이다. 회전 로드(620)의 제 1 부분(621)이 승강하면(즉, 제 2 부분(622)이 하강하면) 척 핀(500)은 지지 위치로 이동되고, 회전 로드(620)의 제 1 부분(621)이 하강하면(즉, 제 2 부분(622)이 승강하면) 척 핀(500)은 대기 위치로 이동된다. 회전 로드(620)는 제 2 부분(622)이 제 1 부분(621)에 비해 무겁게 제공된다. 또한, 회전 로드(620)의 제 2 부분(622)과 후술하는 종동 자석(662)의 무게의 합은 회전 로드(620)의 제 1 부분(621)과 척 핀(500)의 무게의 합보다 무겁게 제공된다. 이는 외부에서 별도의 외력을 인가하지 않을 때, 중력에 의해 제 2 부분(622)이 하강되도록 하여 척 핀(500)이 지지 위치에 위치되도록 하여, 공정 진행시 척 핀(500)이 기판(W)의 측부와 접촉을 유지하게 한다.

또한, 회전 로드(620)는 몸체(400)가 회전되는 동안에 역 원심력에 의해 척 핀(500)이 기판(W)의 중심을 향하는 방향으로 힘을 받도록 형상지어진다. 이는 회전 로드(620)의 제 2 부분(622)에 몸체(400)의 반경 방향으로 원심력이 가해질 때, 제 2 부분(622)의 내측단(627)이 몸체(400)의 중심에서 멀어지는 방향으로 하향 회전되도록 제 2 부분(622)의 형상을 제공함으로써 가능하다. 회전 로드(620)의 제 2 부분(622) 중 몸체(400)의 중심에 가장 인접한 내측단(627)은 제 1 부분(621)과 인접한 부분에 비해 낮은 높이로 제공된다.

일 예에 의하면, 회전 로드(620)의 제 2 부분(622)은 제 1 선부(623), 제 2 선부(624), 그리고 제 3 선부(625)를 가진다. 제 1 선부(623), 제 3 선부(625), 그리고 제 2 선부(624)는 순차적으로 배치되며, 제 1 선부(623)는 제 1 부분(621)과 가장 인접한 부분이다. 제 3 선부(625)는 제 1 선부(623)와 제 2 선부(624)를 연결하는 부분으로, 제 3 선부(625)에서 제 1 선부(623)와 연결되는 부분은 제 2 선부(624)와 연결되는 부분보다 높게 위치된다. 예컨대, 제 1 선부(623)와 제 2 선부(624)는 각각 직선으로 제공되고, 제 1 선부(623)와 제 2 선부(624)는 서로 평행하게 제공되며, 제 3 선부(625)는 제 1 선부(623) 및 제 2 선부(624)와 수직하게 제공될 수 있다. 선택적으로 제 3 선부(625)는 제 1 선부(623)에서 제 2 선부(624)로 갈수록 점진적으로 높이가 낮아지도록 경사지게 제공될 수 있다.

제 1 부분(621)은 제 2 부분(622)의 제 1 선부(623)로부터 대체로 직선으로 계속 연장되는 선부를 가진다. 제 2 부분(622)의 제 1 선부(623)는 그 상면 및 하면이 각각 이 제 1 부분(621)의 선부의 상면 및 하면보다 조금 낮게 제공될 수 있다.

그러나 회전 로드는 상술한 바와 달리 다양한 형상으로 제공될 수 있다. 예컨대, 도 8과 같이 회전 로드(620a)는 제 1 부분(621a)과 제 2 부분(622a)을 가지며, 제 2 부분(622a)은 제 1 선부(623a)와 제 2 선부(624a) 만을 구비하고, 제 2 선부(624a)는 제 1 선부(623a)의 아래쪽에 제 1 선부(623a)의 일부분이 제 2 선부(624a)의 일부분과 접촉되도록 제공될 수 있다. 또한, 도 9과 같이 회전 로드(620b)는 제 1 부분(621b)와 제 2 부분(622b)를 가지고, 제 2 부분(62b2)은 제 1 선부(623b)와 제 3 선부(625b)만을 구비하며, 제 3 선부(625b)는 제 1 선부(623b)로부터 멀어질수도록 하향 경사지게 제공될 수 있다.

본 실시예와 같은 형상의 회전 로드들(620, 620a, 620b)을 사용시, 몸체(400)가 회전될 때 척 핀(500)은 원심력에 의해 기판(W)으로부터 멀어지도록 힘을 받는 대신, 이와 반대로 역 원심력에 의해 기판(W)을 향하는 방향으로 힘을 받게 하므로, 공정 진행시 기판(W)을 더욱 안정적으로 지지할 수 있다.

탄성 부재(680)는 외부에서 별도의 외력이 작용하지 않으면, 탄성력에 의해 척 핀(500)이 지지 위치에 위치되도록 한다. 탄성 부재(680)는 회전 로드(620)에 탄성력을 제공하여, 회전 로드(620)의 제 2 선부(624)가 아래로 내려가고 제 1 선부(623)가 위로 올라가는 방향으로 회전되도록 한다. 탄성 부재(680)는 복수 개가 제공되며, 하나의 탄성 부재(680)는 하나의 회전 로드(620)와 결합된다. 일 예에 의하면, 탄성 부재(680)로 스프링이 제공된다. 스프링(680)은 제 2 선부(624)의 상부에 위치되고, 일단은 몸체(400)에 고정 설치되며, 타단은 제 2 선부(624)에 고정설치된다. 스프링(680)은 제 2 선부(624)를 아래로 밀어주는 방향으로 탄성력을 제공하도록 압축된 상태로 설치된다. 또는 척 핀(500)이 대기 위치에 있을 때 스프링(680)은 압축 상태로 유지되고, 척 핀(500)이 지지 위치에 있을 때 스프링(680)은 평형 상태로 유지되도록 제공될 수 있다. 이와 달리 스프링은 제 1 선부(623)의 상부에 위치되고, 그 타단이 제 1 선부(623)에 고정설치될 수 있다. 이 경우, 스프링(680)은 제 1 선부(623)를 위로 당기는 방향으로 탄성력을 제공하도록 인장된 상태로 설치된다.

구동 부재(660)는 척 핀(500)이 지지 위치에서 대기 위치로 이동되도록 한다. 일 예에 의하면, 구동 부재(660)는 자력을 이용하여 척 핀(500)이 지지 위치에서 대기 위치로 이동되도록 회전 로드(620)를 축 핀(640)을 중심으로 회전시킨다. 구동 부재(660)는 종동 자석(662), 구동 자석(664), 그리고 구동기(666)를 가진다. 종동 자석(662)은 회전 로드(620)에 고정 설치되고, 구동 자석(664)은 종동 자석(662)의 아래에서 종동 자석(662)과 대향되게 배치된다. 종동 자석(662)은 서로 상이한 극성이 상하 방향으로 제공되도록 배치된다. 종동 자석(662)은 복수 개가 제공되어, 하나의 회전 로드(620)에 하나의 종동 자석(662)이 설치된다. 예컨대, 종동 자석(662)은 회전 로드(620)의 내측단(627)에 설치될 수 있다. 구동 자석(664)은 모든 종동 자석(662)들과 대향될 수 있도록 링 형상으로 제공된다. 종동 자석(662)들과 구동 자석(664)은 동일한 극성끼리 서로 마주보도록 배치된다. 종동 자석(662)들과 구동 자석(664) 각각으로 영구 자석이 사용된다.

구동 자석(664)에는 구동기(666)가 연결된다. 구동기(666)로는 실린더가 사용될 수 있다. 구동기(666)는 구동 자석(664)을 제 1 위치와 제 2 위치 간에 직선 이동시킨다. 제 1 위치는 제 2 위치보다 높은 위치이다. 제 1 위치에 있을 때 구동 자석(664)에 의해 종동 자석(662)에 제공되는 척력은 종동 자석(662)에 제공되는 탄성력 및 중력의 합보다 크도록 제공된다. 또한, 제 2 위치에 있을 때 구동 자석(664)에 의해 종동 자석(662)에 제공되는 척력은 종동 자석(662)에 제공되는 탄성력 및 중력의 합보다 작도록 제공된다. 탄성 부재(680)가 제공되지 않는 경우에는, 제 1 위치에서 척력은 중력보다 크게 제공되고, 제 2위치에서 척력은 중력보다 작도록 종동 자석(662)과 구동 자석(664)이 제공된다. 구동 자석(664)이 제 1 위치에서 제 2 위치로 이동시, 구동 자석(664)의 이동이 천천히 이루어지도록 구동기(666)가 제어된다. 이는 구동 자석(664)이 급속히 제 1 위치에서 제 2 위치로 이동되는 경우, 탄성력에 의해 척 핀(500)이 빠르게 대기 위치에서 지지 위치로 이동되고, 이로 인해 기판(W)이 척 핀(500)에 의해 손상될 수 있기 때문이다. 일 예에 의하면, 구동 자석(664)이 종동 자석(662)으로부터 멀어질 때 구동 자석(664)의 속도는 구동 자석(664)이 종동 자석(662)을 향해 이동될 때 구동 자석(664)의 속도보다 느리게 제공된다.

상술한 예와 달리, 구동 자석(664)으로는 전자석이 사용될 수 있다. 이 경우, 구동 자석(664)은 몸체(400)에 고정설치되고, 구동 자석(664)에 제공되는 코일에 전류의 공급 여부에따라 종동 자석(662)의 승강 여부를 제어할 수 있다. 이 경우, 구동기는 별도로 제공되지 않을 수 있다. 또한, 구동 자석(664)으로 전자석이 사용되는 경우, 구동 자석(664)의 코일에 인가되는 전류의 방향을 제어함으로써 종동 자석(662)의 승강 및 하강을 각각 제어할 수 있다. 이 경우, 탄성 부재(680)는 제공되지 않을 수 있다.

상술한 예에서는 구동 부재에 의해 척 핀이 지지 위치에서 대기 위치로 이동되고, 탄성력 또는 중력에 의해 척 핀이 대기 위치에서 지지 위치로 이동되는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 반대로 구동 부재에 의해 척 핀이 대기 위치에서 지지 위치로 이동되고, 탄성력에 의해 척 핀이 지지 위치에서 대기 위치로 이동되도록 제공될 수 있다.

도 10 내지 도 13는 각각 척 핀들(500)이 지지 위치에 있을 때와 대기 위치에 있을 때의 척 핀(500) 및 척 핀 이동 유닛(600)의 상태를 보여준다. 도 10와 도 11은 각각 척 핀들(500)이 대기 위치에 있을 때 스핀 헤드(40)의 단면도 및 평면도이고, 도 12과 도 13는 각각 척 핀들(500)이 지지 위치에 있을 때 스핀 헤드(40)의 단면도 및 평면도이다. 도 10와 도 11을 참조하면, 기판(W)이 스핀 헤드(40)에 로딩 또는 언로딩 될 때, 척 핀들(500)은 대기 위치에 위치된다. 구동 자석(664)은 승강기에 의해 제 2 위치에서 제 1 위치로 상승한다. 회전 로드(620)는 제 2 부분(622)이 위로 올라가는 방향으로 회전되고, 척 핀들(500)은 대기 위치로 이동된다. 도 12과 도 13를 참조하면, 기판(W)이 스핀 헤드(40) 상에 놓인 상태에서 공정이 진행될 때 척 핀들(500)은 지지 위치에 위치된다. 구동 자석(664)은 승강기에 의해 제 1 위치에서 제 2 위치로 하강한다. 회전 로드(620)는 제 2 부분(622)이 아래로 내려가는 방향으로 회전되고, 척 핀들(500)은 지지 위치로 이동된다.

도 14은 기판(W)이 회전되면서 공정이 진행될 때, 역 원심력에 의해 척 핀(500)이 기판(W)을 향하는 방향으로 힘을 받는 상태를 보여준다. 몸체(400)가 회전됨에 따라 원심력에 의해 회전 로드(620)의 제 2 부분(622)은 몸체(400)의 중심에서 가장자리를 향하는 방향으로 힘(a)을 받는다. 그러나 상술한 회전 로드(620)의 제 2 부분(622)의 형상으로 인해, 회전 로드(620)는 제 2 부분(622)이 아래로 향하는 방향으로 회전하도록 힘(b)을 받는다. 이로 인해 척 핀(500)은 계속적으로 기판(W)의 중심을 향하는 방향으로 힘(c)을 인가한다. 즉, 몸체(400)가 회전될 때, 척 핀(500)은 원심력에 의해 기판(W)으로부터 멀어지는 방향으로 이동되는 것이 아 니라, 역 원심력에 의해 기판(W)을 향하는 방향으로 계속적으로 힘을 인가하여 기판(W)을 안정적으로 지지한다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

도 1은 본 발명의 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 평면도이다.

도 2는 본 발명의 용기를 보여주는 단면도이다.

도 3은 도 2의 용기 내부를 보여주는 종방향으로 절단된 용기의 사시도이다.

도 4는 제 1 실시예에 따른 스핀 헤드의 평면도이다.

도 5는 도 4의 선 Ⅰ-Ⅰ를 따라 절단한 스핀 헤드의 단면도이다.

도 6은 가스 공급라인으로 유입된 가스가 기판의 후면으로 제공되는 경로를 나타내는 도면이다.

도 7은 도 4의 스핀 헤드에서 몸체에 설치된 척 핀을 보여주는 사시도이다.

도 8과 도 9은 각각 회전 로드의 변형 예를 보여주는 도면들이다.

도 10 및 도 11은 각각 척 핀들이 지지 위치에 있을 때 제 1 실시예의 스핀 헤드의 평면도 및 단면도이다.

도 12 및 도 13는 각각 척 핀들이 대기 위치에 있을 때 제 1 실시예의 스핀 헤드의 평면도 및 단면도이다.

도 14은 기판이 회전시 척 핀에 작용되는 역 원심력을 보여주는 도면이다.

Claims (6)

1. 기판이 놓이는 스핀헤드에 있어서,

   중앙에 상하방향으로 관통된 통공이 제공되는 하판;

   상기 하판의 상부에 설치되며 상면 중앙에 패인공간이 형성된, 그리고 중앙에 상기 하판의 통공과 통하는 통공이 형성된 상판;

   상기 패인공간에 위치하며, 저면에 상기 상판의 통공 및 상기 하판의 통공을 통해 공급된 가스가 흐르는 유로가 형성된 안내판;

   상기 하판으로부터 상부로 돌출되도록 배치되는 척 핀들;

   상기 스핀 헤드에 놓인 기판의 측부를 지지하는 지지위치와 상기 상판에 기판이 놓일 수 있도록 상기 지지위치에 비해 상기 상판의 중심에서 더 멀리 떨어진 대기위치간에 상기 척 핀들을 이동시키는 척 핀 이동유닛을 포함하되,

   상기 상판의 상면은 가장자리면이 상기 안내판의 상면보다 높게 제공되며,

   상기 척 핀들의 상단은 상기 가장자리면보다 높게 제공되는 것을 특징으로 하는 스핀 헤드.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 상판은

   상기 가장자리면과 상기 패인공간의 저면을 연결하는 연결면을 가지되,

   상기 연결면은 상기 안내판의 외측면보다 큰 직경을 갖는 것을 특징으로 하 는 스핀 헤드.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 가장자리면은 수평면으로 제공되며,

   상기 연결면은 상기 가장자리면에 대해 수직하게 제공되는 것을 특징으로 하는 스핀 헤드
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 패인공간의 저면은 수평면으로 제공되며,

   상기 연결면은 상기 패인공간의 저면에 대해 수직하게 제공되는 것을 특징으로 하는 스핀 헤드.
5. 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 하나의 항에 있어서,

   상기 연결면은

   상기 안내판의 외측면과 평행하게 제공되는 것을 특징으로 하는 스핀 헤드.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 안내판의 가장자리에는 링형상의 버퍼공간이 형성되고,

   상기 유로는

   상기 버퍼공간과 상기 상판의 통공을 연결하고, 상기 버퍼공간으로부터 상기 안내판의 외측끝단까지 연장되는 통로로 제공되는 것을 특징으로 하는 스핀 헤드.

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