KR102406723B1 - 척 어셈블리 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 척 어셈블리는 기판이 장착되기 위한 장소를 제공하며, 적어도 일면에 개구를 갖는 회전 테이블, 상기 회전 테이블의 회전 중심과 동심을 이루도록 배치되는 회전부, 상기 회전 테이블 내부에 배치되는 힌지부, 상기 힌지부에 힌지 결합되며, 상기 회전 테이블의 회전 방향에 수직한 방향으로 승하강 이동하는 승하강부, 상기 힌지부 및 상기 개구에 삽입되어 상기 기판을 지지할 수 있는 척핀과 각각 힌지 결합되는 링크부를 포함하며, 상기 척핀은, 상기 승하강부의 승하강 이동에 따라 상기 회전 테이블의 회전 중심 방향 또는 반대 방향으로 힌지 이동하는 것을 특징으로 한다.

Description

척 어셈블리{Chuck assembly}
본 발명은 반도체 기판의 지지를 위한 척 어셈블리에 관한 것이다.
반도체 제조 공정은 반도체 기판을 식각하고 세정하는 단계를 포함한다. 반도체 기판은 회전 테이블 상에 배치되어 고속으로 회전될 수 있으며, 회전하는 기판 상에 처리액이나 세정액 등의 유체를 공급할 수 있다.
회전 테이블에는 기판을 지지하기 위해 복수 개의 척핀이 마련된다. 척핀은 회전 테이블에 마련되는 이동 수단에 의해 기판을 지지한 상태로 고정하는 지지 위치와 기판으로부터 이격되는 대기 위치로 이동할 수 있다.
종래에는 척핀 전체가 지지 위치 및 대기 위치로 수평 이동하거나, 회전 테이블의 회전 방향에 대해 수직한 방향과 평행하는 방향을 회전축으로하여 회전 이동함으로써 지지 위치 및 대기 위치로 이동하는 척 어셈블리들이 개발되었다. 그러나, 종래 척 어셈블리들은 척핀 전체가 수평 이동 또는 회전 이동 함에 따라, 척핀과 회전 테이블이 연결되는 지점에서 이격이 발생하였고, 공급되는 유체가 이격을 통해 유입되는 문제가 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 회전 테이블에 대해 힌지 이동하여 기판을 지지할 수 있는 척핀을 포함하는 척 어셈블리를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 척핀이 지지 위치 및 대기 위치로 이동하더라도 유체가 회전 테이블 내로 유입되지 않는 구조의 척 어셈블리를 제공하는 것이다.
본 발명은 척 어셈블리에 관한 것으로, 기판이 장착되기 위한 장소를 제공하며, 적어도 일면에 개구를 갖는 회전 테이블, 상기 회전 테이블의 회전 중심과 동심을 이루도록 배치되는 회전부, 상기 회전 테이블 내부에 배치되는 힌지부, 상기 힌지부에 힌지 결합되며, 상기 회전 테이블의 회전 방향에 수직한 방향으로 승하강 이동하는 승하강부, 상기 힌지부 및 상기 개구에 삽입되어 상기 기판을 지지할 수 있는 척핀과 각각 힌지 결합되는 링크부를 포함하며, 상기 척핀은, 상기 승하강부의 승하강 이동에 따라 상기 회전 테이블의 회전 중심 방향 또는 반대 방향으로 힌지 이동하는 것을 특징으로 한다.
구체적으로, 상기 링크부는, 상기 회전 테이블 내부에서 상기 회전 테이블의 회전 중심 방향과 나란하게 배치되며, 상기 척핀은, 상기 회전 테이블의 회전 방향에 수직한 방향으로 배치될 수 있다.
구체적으로, 상기 척핀은, 상기 링크부에 힌지 결합되는 일단부와, 상기 기판을 지지하기 위한 타단부를 포함하며, 상기 승하강부가 하강함에 따라 상기 타단부가 상기 회전 테이블의 회전 중심 방향으로 힌지 이동하여 상기 기판을 지지하고, 상기 승하강부가 승강함에 따라 상기 타단부가 상기 회전 테이블의 회전 중심의 반대 방향으로 힌지 이동하여 상기 기판으로부터 이격될 수 있다.
구체적으로, 상기 척 어셈블리는 상기 척핀과 상기 회전 테이블의 회전 중심 사이에 배치되어 제2 기판을 지지할 수 있는 제2 척핀을 더 포함하며, 상기 링크부는, 상기 제2 척핀과 힌지 결합될 수 있다.
구체적으로, 상기 힌지부는, 상기 승하강부가 원위치로 복귀하도록 탄성력을 작용하는 스프링을 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 척 어셈블리는 상기 회전부를 회전시키고, 상기 승하강부를 승하강 이동시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 척 어셈블리는 상기 개구에 배치되어 상기 척핀과 상기 회전 테이블 사이를 밀폐시키는 개스킷을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 척 어셈블리는 척핀의 위치가 변하는 경우에도 척핀과 회전 테이블이 연결되는 지점 사이의 개구로 유체가 유입되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 척 어셈블리에서 a는 기판이 배치되는 상부면과 b는 하부면을 각각 나타낸 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 척 어셈블리의 상부면을 나타낸 개념도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 척 어셈블리에 기판이 지지된 모습을 나타낸 개념도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 척 어셈블리에 기판이 지지된 모습을 나타낸 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 척 어셈블리의 단면도의 일부이다.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예 및 도면으로부터 더욱 명백해질 것이다. 그러나 이들 실시예와 도면은 본 발명을 예시적으로 설명하기 위한 것으로 본 발명의 범위가 이들 실시예 및 도면에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
이하에서, 기판은 그 표면에 반도체 원료를 육성하여 반도체 기능층을 형성하기 위해 제공되는 것 및 이를 고정하기 위한 수단을 포괄하여 의미한다.
이하에서, 기판이 척 어셈블리 또는 회전 테이블에 대해 장착된다는 것은, 기판이 회전 테이블의 적어도 일면을 통해 연장되는 척핀에 의해 고정된 상태로 지지되는 것을 의미한다. 기판이 척 어셈블리 또는 회전 테이블에 대해 장착된 경우, 기판은 외력이 가해지더라도 척 어셈블리 또는 회전 테이블에 대해 이탈하지 않으며, 회전 테이블과 함께 회전할 수 있다.
이하에서, 척핀이 지지 위치에 배치되는 것은, 척핀이 기판에 접촉하여 기판을 척 어셈블리 또는 회전 테이블에 장착하는 것을 의미한다. 척핀이 대기 위치에 배치되는 것은, 척핀이 기판으로부터 이격되는 것을 의미한다.
이하에서, 회전 테이블은 회전부를 회전 중심으로 가질 수 있으며, 중심은 회전 중심을 의미한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1 내지 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 척 어셈블리(1)의 개념도이다.
도 1을 참조하면, 척 어셈블리(1)는 회전 테이블(10), 회전부(20), 척핀(14), 등을 포함한다.
회전 테이블(10)은 일면에 기판(S)이 장착되기 위한 장소를 제공한다. 회전 테이블(10)은 회전부(20)를 중심으로 방사상으로 배치되는 복수 개의 개구(16)를 가질 수 있으며, 각각의 개구(16)에는 후술할 척핀(14)이 배치될 수 있다. 척핀(14)은 회전 테이블(10)의 상기 일면으로부터 돌출되어 연장되는 형태로 배치될 수 있으며, 이에 따라 회전 테이블(10)의 상기 일면과 기판(S)은 척핀(14)에 의해 소정의 거리만큼 이격될 수 있다. 기판(S)은 척핀(14)에 의해 회전 테이블(10)에 장착되어 후술할 회전부(20)에 의해 회전 테이블(10)과 함께 회전할 수 있다.
척핀(14)은 후술할 승하강부(11)의 이동에 따라 지지 위치 또는 대기 위치로 이동할 수 있다. 척핀(14)은 지지 위치에서 기판(S)을 회전 테이블(10)에 장착시킬 수 있다. 척핀(14)이 대기 위치로 이동하는 경우 기판(S)은 회전 테이블(10)로부터 제거될 수 있다. 척핀(14)의 개수 및 위치는 한정되지 않는다.
회전 테이블(10)은 원판 형태일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 회전 테이블(10)의 중심에는 회전부(20)가 마련될 수 있으며, 회전 테이블(10)은 회전부(20)를 회전 중심으로 하여 회전할 수 있다. 회전부(20)는 회전축(21)을 포함할 수 있다.
도 1의 b를 참조하면, 회전 테이블(10)에서 기판(S)이 장착되는 상기 일면에 대한 반대면에는 회전 테이블(10)의 회전 중심을 이루는 회전축(21) 및 승하강부(11)가 마련된다. 회전축(21)은 후술할 구동부에 의해 동력을 전달받아 회전 테이블(10)을 회전시킬 수 있다. 승하강부(11)는 척핀(14)을 지지 위치 또는 대기 위치로 이동시킬 수 있다. 승하강부(11)는 상기 구동부로부터 동력을 전달받아 척핀(14)의 위치를 변경할 수 있다.
도 2를 참조하면, 회전 테이블(10)에는 복수 개의 척핀(14)이 방사상으로 배치될 수 있다. 바람직하게는, 상기 복수 개의 척핀(14)은 회전부(20)에 대해 서로 대칭하는 위치에 배치될 수 있다. 척핀(14)은 회전 테이블(10)의 가장자리에 배치될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 척핀(14)의 위치에 따라 배치될 수 있는 기판(S)의 직경이 결정될 수 있다.
도 3을 참조하면, 척핀(14)은 회전 테이블(10)의 일면을 통해 돌출되어 연장하는 형태로 배치될 수 있다. 척핀(14)의 일단부는 회전 테이블(10)의 내부에 배치될 수 있으며, 타단부가 회전 테이블(10)의 일면을 통해 돌출되어 연장될 수 있다. 척핀(14)의 타단부가 기판을 지지할 수 있다.
도 4를 참조하면, 회전 테이블(10)에 마련되는 복수 개의 척핀(14)이 그 타단부에서 기판(S)을 지지하도록 배치될 수 있다. 기판(S)은 회전 테이블(10)의 일면으로부터 미리 정해진 거리만큼 이격되도록 배치될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 척 어셈블리의 단면도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 척 어셈블리에서 척핀(14)의 작동 방법을 나타내기 위해 상기 척 어셈블리의 단면의 일부를 확대하여 도시한 것이다.
도 5를 참조하면, 척 어셈블리는 승하강부(11), 힌지부(12), 링크부(13), 개스킷(15) 등을 더 포함한다.
회전 테이블(10)에서 기판(S)이 장착되는 일면에는 하나 이상의 개구(16)가 형성되며, 척핀(14)은 상기 개구(16) 내에 배치된다. 개구(16)의 직경은 척핀(14)의 직경보다 더 큰 것으로, 개구(16) 내에서 척핀(14)이 지지 위치 또는 대기 위치로 이동할 수 있다. 척핀(14)은 회전 테이블(10)의 회전 방향에 수직한 방향으로 배치된다. 즉, 척핀(14)은 회전 테이블(10)에서 기판(S)이 장착되는 일면에 대해 수직한 방향으로 배치된다.
척핀(14)은 회전 테이블(10) 내부에 마련되는 링크부(13)에 일단부가 연결되며, 타단부가 상기 기판(S)을 지지하기 위해 제공될 수 있다. 구체적으로, 척핀(14)은 일단부가 링크부(13)에 힌지 결합할 수 있다. 척핀(14)은 후술할 승하강부(11)의 이동에 따라 지지 위치 또는 대기 위치로 이동할 수 있다. 보다 구체적으로, 척핀(14)은 후술할 링크부(13)가 승하강부(11)에 의해 이동함에 따라, 링크부(13)에 힌지 결합된 척핀(14)이 지지 위치 또는 대기 위치로 힌지 이동할 수 있다.
척핀(14)의 상기 타단부는 척핀(14)이 지지 위치에 있을 때에 기판(S)의 가장자리를 지지할 수 있도록 상기 기판(S)의 가장자리에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 척핀(14)의 상기 타단부는 척핀(14)이 지지 위치에 있을 때에 기판(S)이 회전 테이블(10) 방향 및 회전 테이블(10) 중심의 반대 방향으로 이동하지 않도록 상기 기판(S)을 지지하는 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 척핀(14)의 상기 타단부는 기판(S)의 가장자리의 적어도 일면을 끼울 수 있는 홈(도시하지 않음)을 구비할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 이에 따라, 복수 개의 척핀(14)이 지지 위치에서 기판(S)을 지지하는 경우, 기판(S)은 적어도 회전 테이블(10) 방향과 회전 테이블(10) 중심의 반대 방향으로는 이탈하지 않게 된다.
도 5를 참조하면, 승하강부(11)는 회전 테이블(10)의 일면을 통과하여 연장되도록 배치되며, 상기 일면에 대해 승하강 이동하도록 마련된다. 예를 들어, 상기 승하강 이동은 A 방향으로 이동을 의미한다. 승하강부(11)의 일단부는 구동부(도시하지 않음)에 연결될 수 있으며, 구동부에 의해 승하강 이동하도록 마련될 수 있다. 승하강부(11)의 타단부는 힌지부(12)에 힌지 결합될 수 있다.
힌지부(12)는 일단부가 상기 승하강부(11)와, 타단부가 회전 테이블(10)의 내벽에 각각 힌지 결합하도록 마련된다. 승하강부(11)가 A 방향으로 승하강 이동함에 따라, 힌지부(12)는 상기 내벽에 대한 결합부를 중심으로 B 방향으로 힌지 이동할 수 있다. 힌지부(12)는 스프링(도시하지 않음)을 구비할 수 있으며, 상기 스프링은 상기 승하강부(11)의 승강에 따라 압축되고, 승하강부(11)에 대한 외력이 제거되는 경우 팽창하여 힌지부(12)를 원위치로 복귀시키며 승하강부(11)를 하강시킬 수 있다.
링크부(13)는 일단부가 상기 승하강부(11)와 힌지부(12)가 힌지 결합되는 부분에 결합되도록 마련될 수 있다. 또는 링크부(13)는 일단부가 상기 승하강부(11) 및 힌지부(12) 중 어느 하나에 결합될 수 있다. 이에 따라, 링크부(13)는 승하강부(11)의 승하강 이동이나 힌지부(12)의 힌지 이동에 따라 이동하도록 마련된다. 링크부(13)는 타단부가 상기 척핀(14)에 힌지 결합되도록 마련될 수 있다. 링크부(13)의 타단부는 척핀(14)의 일단부와 힌지 결합할 수 있다. 힌지부(12)가 B 방향으로 힌지 이동함에 따라, 링크부(13)는 C 방향으로 수평 이동할 수 있다.
척핀(14)은 일단부가 링크부(13)에 힌지 결합한다. 링크부(13)가 C 방향으로 이동함에 따라, 척핀(14)은 D 방향으로 힌지 이동할 수 있다.
도 5를 참조하여, 척핀(14)의 이동에 대해 구체적으로 부연한다.
승하강부(11)의 일단부에 회전 테이블(10) 방향으로 외력이 가해지면, 승하강부(11)는 회전 테이블(10)의 일면에 대해 승강 이동(A 방향)할 수 있다. 승하강부(11)가 승강함에 따라 상기 승하강부(11)의 타단부가 승강하게 되며, 힌지부(12)를 힌지 이동(B 방향)시키게 된다. 힌지부(12)는 승하강부(11)와 연결된 일단부가 회전 테이블(10)의 중심 방향으로 힌지 이동하게 된다. 힌지부(12)의 일단부가 힌지 이동함에 따라 힌지부(12)에 연결되는 링크부(13)가 수평 이동(C 방향)하게 된다. 링크부(13)는 회전 테이블(10)의 중심 방향으로 이동하게 된다. 링크부(13)가 이동함에 따라 링크부(13)의 타단부에 연결된 척핀(14)이 힌지 이동(D 방향)하게 된다. 척핀(14)에서 기판(S)을 지지하기 위한 타단부가 회전 테이블(10) 중심의 반대 방향으로 힌지 이동하게 된다. 이처럼, 승하강부(11)가 승강하면 척핀(14)의 상기 타단부가 회전 테이블(10)의 회전 중심의 반대 방향으로 힌지 이동하게 된다. 즉, 승하강부(11)가 승강하면 척핀(14)이 기판(S)으로부터 이격될 수 있다. 즉, 승하강부(11)가 승강하면 척핀(14)은 대기 위치로 이동하게 된다.
승하강부(11)의 일단부에 대한 외력이 제거되면, 승하강부(11)는 회전 테이블(10)의 일면에 대해 하강 이동(A 방향)할 수 있다. 승하강부(11)에 대한 외력이 제거되면, 힌지부(12)의 스프링의 탄성력에 의해 힌지부(12)가 원위치로 힌지 이동(B 방향)하여 복귀할 수 있으며, 이에 따라 승하강부(11)가 하강 이동하는 것일 수 있다. 승하강부(11)와 힌지부(12)가 각각 원위치로 이동함에 따라 힌지부(12)에 연결되는 링크부(13)가 수평 이동(C 방향)하게 된다. 링크부(13)는 회전 테이블(10) 중심의 반대 방향으로 이동하게 된다. 링크부(13)가 이동함에 따라 링크부(13)의 타단부에 연결된 척핀(14)이 힌지 이동(D 방향)하게 된다. 척핀(14)에서 기판(S)을 지지하기 위한 타단부가 회전 테이블(10)의 중심 방향으로 힌지 이동하게 된다. 이처럼, 승하강부(11)가 하강하면 척핀(14)의 상기 타단부가 회전 테이블(10)의 회전 중심 방향으로 힌지 이동하게 된다. 즉, 승하강부(11)가 하강하면 척핀(14)이 기판(S)에 접촉하여 지지할 수 있다. 즉, 승하강부(11)가 하강하면 척핀(14)은 지지 위치로 이동하게 된다.
도 5를 참조하면, 척핀(14)은 회전 테이블(10)에 마련되는 개구(16)에 배치될 수 있다. 척핀(14)과 개구(16) 사이에는 척핀(14)의 이동을 보장하면서 회전 테이블(10)에 대한 밀봉을 제공하는 개스킷(15)이 마련된다.
개스킷(15)은 개구(16)에 배치되어 척핀(14)과 회전 테이블(10) 사이를 밀폐시킨다. 개스킷(15)은 개구(16)의 깊이 방향을 따라 연장되며 적어도 일부가 개구(16)의 내벽에 고정될 수 있다.
개스킷(15)은 척핀(14)과 회전 테이블(10)의 표면 사이에 배치되며, 회전 테이블(10)의 표면과 나란한 높이로 마련될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
개스킷(15)은 기판(S)에 공급된 유체가 회전 테이블(10)의 개구(16)로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 개스킷(15)은 상기 유체가 승하강부(11), 힌지부(12), 링크부(13), 회전부(20) 및 구동부(도시하지 않음)와 같이 회전 테이블(10) 내부 및 외부의 구성요소와 접촉하는 것을 방지할 수 있다.
개스킷(15)은 연질의 소재로 이루어져 척핀(14)의 이동에 따라 변형을 수반하는 것일 수 있으나, 변형되는 경우에도 척핀(14)과 회전 테이블(10) 사이의 밀봉을 유지하는 것일 수 있다. 또한, 척핀(14)이 원위치로 이동하면 개스킷(15)도 최초의 형상으로 변형할 수 있으며, 이러한 경우에도 척핀(14)과 회전 테이블(10) 사이의 밀봉을 유지할 수 있다.
예를 들어, 척핀(14)이 지지 위치에 있는 경우, 개스킷(15)은 최초 상기 척핀(14)과 개구(16) 사이를 밀폐시키는 링 형상으로 배치될 수 있다. 척핀(14)이 대기 위치로 이동함에 따라, 즉 척핀(14)이 회전 테이블(10) 중심의 반대 방향으로 이동함에 따라 회전부(20)와 척핀(14) 사이에 배치되는 개스킷(15)의 적어도 일부분은 늘어나고, 척핀(14)과 회전 테이블(10) 가장자리 사이 개스킷(15)의 적어도 일부분은 일그러질 수 있다. 척핀(14)이 대기 위치로 복귀하는 경우, 개스킷(15)은 최초의 링 형상으로 복원될 수 있다.
개스킷(15)은 테플론, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 폴리염화비닐, 폴리옥시메틸렌, 폴리락트산, 폴리벤즈이미다졸 및 나일론으로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상을 포함할 수 있고, 바람직하게는 테플론으로 이루어질 수 있다.
이상과 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 척 어셈블리는 척핀을 회전 테이블에 대해 힌지 이동시켜 지지 위치 및 대기 위치로 이동하게 하여 척핀과 회전 테이블 사이의 간극 발생을 최소화시키며, 척핀과 회전 테이블 사이에 배치되는 개스킷을 통해 척핀이 배치되는 개구에 대한 밀봉을 제공하여 공급 유체로부터 척 어셈블리를 보호하여 척 어셈블리의 수명을 연장시키고 오작동을 방지할 수 있다.
본 발명은 상기에서 설명한 실시예로 한정되지 않으며, 상기 실시예들의 조합 또는 상기 실시예 중 적어도 어느 하나와 공지 기술의 조합을 또 다른 실시예로서 포함할 수 있음은 물론이다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
1: 척 어셈블리
10: 회전 테이블 11: 승하강부
12: 힌지부 13: 링크부
14: 척핀 15: 개스킷
16: 개구 20: 회전부
21: 회전축 S: 기판

Claims (7)

  1. 기판이 장착되기 위한 장소를 제공하며, 적어도 일면에 개구를 갖는 회전 테이블;
    상기 회전 테이블의 회전 중심과 동심을 이루도록 배치되는 회전부;
    상기 회전 테이블 내부에 배치되는 힌지부;
    상기 힌지부에 힌지 결합되며, 상기 회전 테이블의 회전 방향에 수직한 방향으로 승하강 이동하는 승하강부;
    상기 힌지부 및 상기 개구에 삽입되어 상기 기판을 지지할 수 있는 척핀과 각각 힌지 결합되는 링크부를 포함하며,
    상기 척핀은,
    상기 승하강부의 승하강 이동에 따라 상기 회전 테이블의 회전 중심 방향 또는 반대 방향으로 힌지 이동하며,
    상기 링크부는,
    상기 회전 테이블 내부에서 상기 회전 테이블의 회전 중심 방향과 나란하게 배치되고, 상기 회전 테이블의 회전 중심 방향에서 수평 이동 가능한 것을 특징으로 하는 척 어셈블리.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 척핀은,
    상기 회전 테이블의 회전 방향에 수직한 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 척 어셈블리.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 척핀은,
    상기 링크부에 힌지 결합되는 일단부와,
    상기 기판을 지지하기 위한 타단부를 포함하며,
    상기 승하강부가 하강함에 따라 상기 타단부가 상기 회전 테이블의 회전 중심 방향으로 힌지 이동하여 상기 기판을 지지하고,
    상기 승하강부가 승강함에 따라 상기 타단부가 상기 회전 테이블의 회전 중심의 반대 방향으로 힌지 이동하여 상기 기판으로부터 이격되는 것을 특징으로 하는 척 어셈블리.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 척핀과 상기 회전 테이블의 회전 중심 사이에 배치되어 제2 기판을 지지할 수 있는 제2 척핀을 더 포함하며,
    상기 링크부는,
    상기 제2 척핀과 힌지 결합되는 것을 특징으로 하는 척 어셈블리.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 힌지부는,
    상기 승하강부가 원위치로 복귀하도록 탄성력을 작용하는 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 척 어셈블리.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 회전부를 회전시키고, 상기 승하강부를 승하강 이동시키는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 척 어셈블리.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 개구에 배치되어 상기 척핀과 상기 회전 테이블 사이를 밀폐시키는 개스킷을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 척 어셈블리.
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