KR101032950B1 - 유기 전계 발광 소자의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 생산 단가를 감소시키고, 수명을 연장할 수 있는 유기 전계 발광 소자의 제조방법에 관한 것이다. 이 방법은, 발광 영역이 정의된 투명 기판을 제공하는 단계; 상기 기판의 발광 영역을 제외한 나머지 부위에 열과 행 방향으로 다수개의 지그재그 형태의 보조 전극을 형성하는 단계; 상기 투명 기판의 발광 영역 상에 각각의 보조 전극과 전기적으로 연결되는 투명 전극, 상기 투명 전극의 상하 부위에 라인 형태의 제 1 보조 투명 전극, 및 상기 보조 전극과 상기 투명 전극 사이의 공간에 제 2 보조 투명 전극을 동시에 형성하는 단계; 결과물 상에 절연층을 형성하는 단계; 상기 절연층을 선택적으로 패터닝하여 상기 보조 전극의 중앙 부위를 덮도록 행 방향으로 음극 분리 격벽을 형성하는 동시에, 상기 음극 분리 격벽으로부터 열 방향으로 연장되어 보조 전극과 투명 전극의 일부를 덮는 보조 음극 분리 격벽을 형성하는 단계; 상기 보조 음극 분리 격벽을 선택적으로 패터닝하여 상기 투명 전극을 노출시키고, 상기 보조 전극과 대응되는 부분을 덮는 절연 패턴을 형성하는 단계; 상기 절연 패턴이 구비된 기판 상에 상기 노출된 투명 전극을 덮고, 상기 제 1, 제 2 보조 투명 전극 및 절연 패턴의 일부를 덮는 유기 발광층을 형성하는 단계; 및 상기 유기 발광층이 구비된 기판 상에 음극 분리 격벽 사이에 배치되는 금속 전극을 형성하는 단계;를 포함한다.
Description
도 1a 내지 도 1f는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 설명하기 위한 공정별 평면도.
도 2는 도 1d의 Ⅰ- Ⅱ를 따라 절단한 음극 분리 격벽 및 절연층을 나타내는 단면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10: 투명 기판 11: 보조 전극
12: 투명 전극 12a: 제 1 보조 투명 전극
12b: 제 2 보조 투명 전극 13: 음극 분리 격벽
13a: 보조 음극 분리 격벽 14: 절연 패턴
15: 유기 발광층 16: 금속 전극
본 발명은 유기 전계 발광 소자의 제조방법에 관한 것이고, 특히, 생산 단가를 감소시키고, 수명을 연장할 수 있는 유기 전계 발광 표시장치의 제조방법에 관 한 것이다.
최근 표시 장치의 대형화에 따라 공간 점유도가 적은 평면 표시 장치에 대한 요구가 증대되고 있는데, 이러한 평면 표시 장치 중 하나로서 유기 전계 발광 소자의 기술이 빠른 속도로 발전하고 있으며, 이미 여러 시제품들이 발표된 바 있다.
유기 전계 발광 소자는 ITO와 같은 투명 전극과 일함수가 낮은 금속(Ca, Li, Al, Mg, Ag 등)을 사용한 금속 전극 사이에 유기 발광층이 있는 구조로 구성되어 있다. 이와 같은 유기 전계 발광 소자에 순방향의 전압이 인가되면, 투명 전극 및 금속 전극이 유기 발광층에 각각 정공과 전자를 주입시켜 주고, 주입된 정공과 전자는 결합하여 엑시톤(exciton)을 형성하고, 엑시톤이 발광 재결합(radiative recombination)을 하게 되어, 전기 발광 현상이 일어난다.
종래기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법은, 투명 기판 상에 스트라이프 형태의 투명 전극 및 보조 전극이 각각 형성된다. 결과물 상에 발광 영역을 정의하는 절연층이 형성되고, 절연층 상에 음극 분리 격벽이 형성된다. 절연층은 포지티브 감광성 수지 또는 폴리이미드로 이루어지고, 음극 분리 격벽은 네가티브 감광성 수지로 이루어진다. 이어서, 그로부터 얻어지는 결과물 상에 유기 발광층 및 금속 전극이 차례로 형성된다. 금속 전극은 알루미늄으로 이루어진다.
그러나, 종래기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법에 있어서는, 보조 전극, 투명 전극, 절연층 및 음극 분리 격벽 등 네 번의 사진식각 공정을 반복해야 하는데 이는 공정 비용 및 시간 증가의 원인이 되며, 특히, 절연층 및 음극 분리 격벽으로 사용되는 감광성 수지 및 폴리이미드는 매우 고가의 물질들이기 때문에, 패널 가격 상승에 주요 원인이 된다. 또한, 알루미늄 재질의 금속 전극과 유기 발광층간의 접착력이 좋지 않기 때문에, 외부의 산소 및 수분이 금속 전극과 유기 발광층간의 취약 접착 부위를 통해 패널로 침투될 수 있으므로, 패널의 수명이 단축될 수 있는 문제가 있었다.
따라서, 본 발명은 선행기술에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법에 내재되었던 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은, 패널의 생산 단가를 감소시키고, 수명을 연장할 수 있는 유기 전계 발광 장치의 제조방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일면에 따라, 유기 전계 발광 소자의 제조방법이 제공되고: 이 방법은, 발광 영역이 정의된 투명 기판을 제공하는 단계; 상기 기판의 발광 영역을 제외한 나머지 부위에 열과 행 방향으로 다수개의 지그재그 형태의 보조 전극을 형성하는 단계; 상기 투명 기판의 발광 영역 상에 각각의 보조 전극과 전기적으로 연결되는 투명 전극, 상기 투명 전극의 상하 부위에 라인 형태의 제 1 보조 투명 전극, 및 상기 보조 전극과 상기 투명 전극 사이의 공간에 제 2 보조 투명 전극을 동시에 형성하는 단계; 결과물 상에 절연층을 형성하는 단계; 상기 절연층을 선택적으로 패터닝하여 상기 보조 전극의 중앙 부위를 덮도록 행 방향으로 음극 분리 격벽을 형성하는 동시에, 상기 음극 분리 격벽으로부터 열 방향으로 연장되어 보조 전극과 투명 전극의 일부를 덮는 보조 음극 분리 격벽을 형성하는 단계; 상기 보조 음극 분리 격벽을 선택적으로 패터닝하여 상기 투명 전극을 노출시키고, 상기 보조 전극과 대응되는 부분을 덮는 절연 패턴을 형성하는 단계; 상기 절연 패턴이 구비된 기판 상에 상기 노출된 투명 전극을 덮고, 상기 제 1, 제 2 보조 투명 전극 및 절연 패턴의 일부를 덮는 유기 발광층을 형성하는 단계; 및 상기 유기 발광층이 구비된 기판 상에 음극 분리 격벽 사이에 배치되는 금속 전극을 형성하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 다른 일면에 따라, 상기 보조 전극은 Cr 및 Mo으로 구성되는 군으로부터 선택되는 어느 하나로 이루어진다.
본 발명의 다른 일면에 따라, 상기 절연층은 포지티브 감광성 수지막 및 폴리이미드막으로 구성되는 군으로부터 선택되는 어느 하나로 이루어진다.
본 발명의 다른 일면에 따라, 상기 음극 분리 격벽 및 보조 음극 분리 격벽은, 상기 절연층에 대한 후면 노광을 이용하여 형성한다.
본 발명의 다른 일면에 따라, 상기 절연 패턴은 상기 보조 음극 분리 격벽에 대한 전면 노광을 이용하여 형성한다.
본 발명의 다른 일면에 따라, 상기 음극 분리 격벽은 역사다리꼴 단면 형상을 갖고, 상기 절연 패턴은 사다리꼴 단면 형상을 갖는다.
본 발명의 다른 일면에 따라, 상기 유기 발광층은 진공 증착 방식을 이용하여 형성한다.
본 발명의 또 다른 일면에 따라, 상기 금속 전극은 진공 증착 방식을 이용하여 형성한다.
(실시예)
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상술하기로 한다.
도 1a 내지 도 1f는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 설명하기 위한 공정별 평면도이다.
도 1a에 도시한 바와 같이, 발광 영역이 정의된 투명 기판(10)을 제공한 다음, 투명 기판(10)의 발광 영역을 제외한 나머지 부위에 열과 행 방향으로 다수개의 보조 전극(11)이 형성된다. 보조 전극(11)은 크롬(Cr) 또는 몰리브덴(Mo)으로 이루어지며, 지그재그(
) 형태를 갖는다.
도 1b에 도시한 바와 같이, 투명 기판(10)의 발광 영역 상에 각각의 보조 전극(11)과 전기적으로 연결되는 투명 전극(12), 상기 투명 전극(12)의 상하 부위에 라인 형태의 제 1 보조 투명 전극(12a), 및 보조 전극(11)과 투명 전극(12) 사이의 공간에 제 2 보조 투명 전극(12b)이 동시에 형성된다. 투명 전극(12), 제 1 및 제 2 보조 투명 전극(12a,12b)은 모두 ITO로 이루어진다.
도 1c에 도시한 바와 같이, 결과물 상에 절연층(도시안됨)이 형성된다. 절연층은 포지티브 감광성 수지막, 또는 폴리이미드막으로 이루어진다. 절연층에 대한 후면 노광 및 현상 공정을 차례로 수행함으로써, 역사다리꼴 단면 형상을 가지면서, 보조 전극(11)의 중앙 부위를 덮도록 행 방향으로 음극 분리 격벽(13)이 형성됨과 동시에, 음극 분리 격벽(13)으로부터 열 방향으로 연장되어 보조 전극(11)과 투명 전극(12)의 일부를 덮는 보조 음극 분리 격벽(13a)이 형성된다. 음극 분 리 격벽(13)은 후속적으로 형성되는 금속 전극 간의 쇼트를 방지하게 된다.
도 1d에 도시한 바와 같이, 보조 음극 분리 격벽(13a)에 대한 전면 노광 및 현상 공정을 차례로 수행함으로써, 사다리꼴 단면 형상의 단면을 가지면서, 투명 전극(12)을 노출시키고, 상기 보조 전극(11)과 대응되는 부분을 덮는 절연 패턴(14)이 형성된다. 즉, 절연 패턴(14)은 발광 영역을 침범하지 않도록 형성된다. 한편, 종래기술에서는 음극 분리 격벽 및 절연층을 형성하기 위해 고가의 감광성 수지막이 두 번 도포되지만, 본 발명에서는 포지티브 감광성 수지막이 한 번만 도포된 다음, 후면 및 전면 노광 공정을 통해 음극 분리 격벽(13) 및 절연 패턴(14)이 모두 형성된다. 즉, 종래기술과 비교할 때에, 감광성 수지막의 형성 공정이 1회 생략되므로, 공정 비용 및 시간이 감소될 수 있다.
도 1e에 도시한 바와 같이, 결과물 상에 상기 노출된 투명 전극(12)을 덮고, 상기 제 1, 제 2 보조 투명 전극(12a,12b) 및 절연 패턴(14)의 일부분을 덮는 유기 발광층(15)이 형성된다. 유기 발광층(15)은 진공 증착 방식을 이용하여 형성된다.
도 1f에 도시한 바와 같이, 유기 발광층(15)이 구비된 기판 상에 음극 분리 격벽(13) 사이에 배치되는 금속 전극(16)이 형성된다. 금속 전극(16)은 알루미늄으로 이루어지며, 진공 증착 방식을 이용하여 형성된다. 이때, 금속 전극(16)과 제 1 및 제 2 보조 투명 전극(12a,12b)의 일부가 서로 접촉되는데, 알루미늄 재질의 금속 전극(16)과 ITO 재질의 제 1 및 제 2 보조 투명 전극(12a,12b)간의 접착력이, 금속 전극(16)과 유기 발광층(15)간의 접착력보다 크기 때문에, 제 1 및 제 2 보조 투명 전극(12a,12b)은 유기 발광층(15)과 금속 전극(16)간의 접착력을 보조해 준다. 따라서, 산소 및 수분이 금속 전극(16)과 유기 발광층(15)간의 취약 접착 부위를 통해 패널로 침투하는 것을 최소화할 수 있으므로, 패널의 수명을 연장할 수 있게 된다. 그런 후에, 도면에 도시하지는 않았지만, 산소 또는 수분의 침투에 의해 패널이 손상되는 것을 방지하기 위해 봉지 공정이 진행된다.
한편, 도 2는 도 1d의 Ⅰ- Ⅱ를 따라 절단한 음극 분리 격벽 및 절연층을 나타내는 단면도로서, 상기와 같은 제조공정을 통해 형성되는 음극 분리 격벽(13) 및 절연 패턴(14)은 각각 역사다리꼴 및 사다리꼴 단면 형상을 갖는다.
본 발명의 상기한 바와 같은 구성에 따라, 보조 전극 및 투명 전극의 형태를 변형하고, 투명 전극 상하좌우 부위에 금속 전극과 접촉되는 보조 투명 전극들을 추가로 형성함으로써, 금속 전극과 유기 발광층간의 접착력을 향상시킬 수 있다. 이에 따라, 산소 및 수분이 금속 전극과 유기 발광층간의 취약 접착 부위를 통해 패널로 침투하는 것을 최소화하여, 패널의 수명을 연장할 수 있다.
또한, 본 발명은 감광성 수지막을 한 번만 도포한 다음, 후면 및 전면 노광 공정을 통해 음극 분리 격벽 및 절연층을 형성함으로써, 패널의 생산 단가를 감소시킬 수 있다.
본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명이 그에 한정되는 것은 아니고 이하의 특허청구의 범위에 의해 마련되는 본 발명의 정신이나 분야를 이탈하지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변화될 수 있다는 것을 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자는 용이하게 알 수 있다.
Claims (8)
- 유기 전계 발광 소자의 제조방법에 있어서,발광 영역이 정의된 투명 기판을 제공하는 단계;상기 기판의 발광 영역을 제외한 나머지 부위에 열과 행 방향으로 다수개의 지그재그 형태의 보조 전극을 형성하는 단계;상기 투명 기판의 발광 영역 상에 각각의 보조 전극과 전기적으로 연결되는 투명 전극, 상기 투명 전극의 상하 부위에 라인 형태의 제 1 보조 투명 전극, 및 상기 보조 전극과 상기 투명 전극 사이의 공간에 제 2 보조 투명 전극을 동시에 형성하는 단계;결과물 상에 절연층을 형성하는 단계;상기 절연층을 선택적으로 패터닝하여 상기 보조 전극의 중앙 부위를 덮도록 행 방향으로 음극 분리 격벽을 형성하는 동시에, 상기 음극 분리 격벽으로부터 열 방향으로 연장되어 보조 전극과 투명 전극의 일부를 덮는 보조 음극 분리 격벽을 형성하는 단계;상기 보조 음극 분리 격벽을 선택적으로 패터닝하여 상기 투명 전극을 노출시키고, 상기 보조 전극과 대응되는 부분을 덮는 절연 패턴을 형성하는 단계;상기 절연 패턴이 구비된 기판 상에 상기 노출된 투명 전극을 덮고, 상기 제 1, 제 2 보조 투명 전극 및 절연 패턴의 일부를 덮는 유기 발광층을 형성하는 단계; 및상기 유기 발광층이 구비된 기판 상에 음극 분리 격벽 사이에 배치되는 금속 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 보조 전극은 Cr 및 Mo으로 구성되는 군으로부터 선택되는 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 절연층은 포지티브 감광성 수지막 및 폴리이미드막으로 구성되는 군으로부터 선택되는 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 음극 분리 격벽 및 보조 음극 분리 격벽은, 상기 절연층에 대한 후면 노광을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 절연 패턴은 상기 보조 음극 분리 격벽에 대한 전면 노광을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 음극 분리 격벽은 역사다리꼴 단면 형상을 갖고, 상기 절연 패턴은 사다리꼴 단면 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 유기 발광층은 진공 증착 방식을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 금속 전극은 진공 증착 방식을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020040097410A KR101032950B1 (ko) | 2004-11-25 | 2004-11-25 | 유기 전계 발광 소자의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020040097410A KR101032950B1 (ko) | 2004-11-25 | 2004-11-25 | 유기 전계 발광 소자의 제조방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20060058386A KR20060058386A (ko) | 2006-05-30 |
| KR101032950B1 true KR101032950B1 (ko) | 2011-05-09 |
Family
ID=37153468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020040097410A KR101032950B1 (ko) | 2004-11-25 | 2004-11-25 | 유기 전계 발광 소자의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101032950B1 (ko) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020079161A (ko) * | 2001-04-13 | 2002-10-19 | 엘지전자주식회사 | 유기 ｅｌ소자 및 그의 제조방법 |
| JP2004103582A (ja) | 2002-09-05 | 2004-04-02 | Lg Electron Inc | 有機ｅｌディスプレイパネル及びその製造方法 |
| KR20040090165A (ko) * | 2003-04-16 | 2004-10-22 | 엘지전자 주식회사 | 유기 ｅｌ 디스플레이 패널의 제조방법 |
| KR20050014411A (ko) * | 2003-07-31 | 2005-02-07 | 엘지전자 주식회사 | 보조 전극을 덮는 절연막이 형성된 유기 전계 발광 소자및 그 제조 방법 |
-
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- 2004-11-25 KR KR1020040097410A patent/KR101032950B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020079161A (ko) * | 2001-04-13 | 2002-10-19 | 엘지전자주식회사 | 유기 ｅｌ소자 및 그의 제조방법 |
| JP2004103582A (ja) | 2002-09-05 | 2004-04-02 | Lg Electron Inc | 有機ｅｌディスプレイパネル及びその製造方法 |
| KR20040090165A (ko) * | 2003-04-16 | 2004-10-22 | 엘지전자 주식회사 | 유기 ｅｌ 디스플레이 패널의 제조방법 |
| KR20050014411A (ko) * | 2003-07-31 | 2005-02-07 | 엘지전자 주식회사 | 보조 전극을 덮는 절연막이 형성된 유기 전계 발광 소자및 그 제조 방법 |
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| KR20060058386A (ko) | 2006-05-30 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| N231 | Notification of change of applicant | ||
| N231 | Notification of change of applicant | ||
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