JP2000148090A - 有機el素子およびその製造方法 - Google Patents

有機el素子およびその製造方法

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JP2000148090A
JP2000148090A JP10325405A JP32540598A JP2000148090A JP 2000148090 A JP2000148090 A JP 2000148090A JP 10325405 A JP10325405 A JP 10325405A JP 32540598 A JP32540598 A JP 32540598A JP 2000148090 A JP2000148090 A JP 2000148090A
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organic
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forming
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Yoichi Fukuda
洋一 福田
Tokuji Nagasaki
篤司 長崎
Masataka Kajikawa
政隆 梶川
Koichi Takayama
浩一 高山
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の層構成の有機EL素子では、不要箇所
が実質的に発光しないものを高い歩留まりの下に製造す
ることが困難である。 【解決手段】 基板上に第1の電極,発光層を含む1〜
複数の有機層および第1の電極とは反対の極性の電極と
して使用される第2の電極を積層することによって形成
された有機EL素子は、発光領域と、非発光領域とを有
する。非発光領域においては、第1の電極または第2の
電極と有機層とが絶縁膜によって電気的に絶縁されてお
り、かつ、引き回しパターンと有機層もまた絶縁膜によ
って電気的に絶縁されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機EL素子およ
びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】蛍光性を有する有機材料を発光材料とし
て用いた有機EL素子は、無機EL素子に比べて低電圧
で駆動させることができる等の利点を有する。表示素子
として、あるいは、バックライト等の面光源として、有
機EL素子の実用化が進められている。
【0003】図4(a)に示すように、有機EL素子1
0aの最も簡単な構成は、透明基板11上に陽極12,
発光層13,陰極14が順次積層された層構成を有す
る。通常、陽極12を透明電極で形成し、透明基板11
側を発光観察面とする。この有機EL素子には、その特
性を向上させるため、正孔輸送層や電子輸送(注入)層
が必要に応じて併設される。
【0004】図4(b)は、正孔輸送層15が併設され
た有機EL素子10bを示している。同図に示したよう
に、正孔輸送層15は、陽極12と発光層13との間に
設けられる。
【0005】図4(c)は、電子輸送(注入)層16が
併設された有機EL素子10cを示している。電子輸送
(注入)層16は、発光層13と陰極14との間に設け
られる。
【0006】図4(d)は、正孔輸送層15および電子
輸送(注入)層16が併設された有機EL素子10dを
示している。この有機EL素子10dでは、透明基板上
11上に陽極12,正孔輸送層15,発光層13,電子
輸送(注入)層16,陰極14が順次積層されている。
【0007】有機EL素子用の透明基板としては、透明
ガラス基板または透明樹脂基板が多用されている。ま
た、陽極としては、Au等の仕事関数が大きい金属もし
くは合金からなる透明電極、または、ITO,Sn
2 ,ZnO等の導電性酸化物からなる透明電極が一般
に使用されている。陰極としては、仕事関数が小さい金
属,合金またはこれらの混合物、例えばCa,Al,A
l−Li合金,Mg−Ag合金,Mg−Al合金,Mg
−In合金等からなるものが一般に使用されている。
【0008】発光層,正孔輸送層および電子輸送層はそ
れぞれ有機材料によって形成される(以下、これらの層
を「有機層」と総称する)。有機層は、通常、トリス
(8−ヒドロキシキノリナト)アルミニウム(アルミニ
ウムキノリノール錯体)(以下、このものを「Al
3 」と略記する)やN,N´−ジフェニル−N,N´
−ビス(3−メチルフェニル)1,1´−ビフェニル−
4,4´−ジアミン(トリフェニルジアミン誘導体)
(以下、このものを「TPD」と略記する)によって代
表される低分子系材料によって形成されるが、ポリパラ
フェニレンビニレン誘導体によって代表される高分子系
材料をその材料として使用することも試みられている。
【0009】前述のように、有機EL素子は透明基板上
に所定の層を積層して、当該透明基板側を発光観察面と
する薄膜発光素子であるが、基板とは反対の側(基板上
に積層されている層側)を発光観察面とする有機EL素
子も提案されている。この場合、発光観察面側の電極
(陽極でも陰極でもよい)を透明電極にする。
【0010】ところで、有機EL素子によって所望の文
字あるいは図形を表示しようとする場合には、通常、1
つの基板上に1または複数の発光領域が形成され、か
つ、当該発光領域の平面視上の外側には非発光領域が形
成される。更に、発光領域を構成している陽極と電源と
を電気的に接続するための引き回しパターン(配線)、
または、発光領域を構成している陰極と電源とを電気的
に接続するための引き回しパターン(配線)が形成され
る。
【0011】図5は、透明基板側を発光観察面とする7
セグメント表示用有機EL素子における透明電極の配置
仕様を示す概略平面図である。
【0012】同図に示したように、7セグメント表示用
有機EL素子では、通常、透明基板20の片面に7つの
透明電極(陽極)21a,21b,21c,21d,2
1e,21fおよび21gが8の字状に配置され、これ
らの透明電極21a〜21gのそれぞれには、透明電極
材料からなる引き回しパターン22a,22b,22
c,22d,22e,22fまたは22gが連続して形
成される。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】例えば図5に示した7
セグメント表示用有機EL素子を製造するにあたって、
7つの透明電極21a〜21gを平面視上覆うようにし
て当該透明電極21a〜21g上に発光層を含む単純形
状(たとえば矩形)の1〜複数の有機層23(図5参
照)を形成し、この有機層23上に同様単純形状(たと
えば矩形)の陰極(図5においては図示せず)を形成す
ることによって目的とする有機EL素子を得ることがで
きれば、その歩留まりが向上する。
【0014】しかしながら、上記のようにして7セグメ
ント表示用有機EL素子を製造した場合には、引き回し
パターン22a〜22g上にも有機層23および陰極が
形成されることから、当該引き回しパターン22a〜2
2g上に形成された有機層23も発光してしまう。
【0015】したがって、表示精度を高めるためには、
透明基板20の他方の面(電極,有機層および引き回し
パターンが形成されている面とは反対側の観察面)の所
定箇所にマスク(遮光膜)を設けて、引き回しパターン
22a〜22g上に形成された有機層23からの発光を
マスキングすることが必要になる。
【0016】しかしながら、透明基板20の他方の面に
たとえマスク(遮光膜)を設けたとしても、透明基板2
0に厚みがあることから、前記の発光を完全にマスクキ
ングすることは困難である。
【0017】勿論、上記の7セグメント表示用有機EL
素子を製造するにあたって、7つの透明電極21a〜2
1g上にのみ発光層を含む1〜複数の有機層および陰極
を形成するようにすれば、表示精度の高い7セグメント
表示用有機EL素子を得ることが可能である。しかしな
がら、このような有機EL素子は、下記の理由からその
歩留まりが悪い。
【0018】すなわち、有機EL素子用の発光材料は一
般に有機溶媒に弱く、有機溶媒と接するとその発光能が
低下もしくは消失してしまう。このため、所望形状の有
機層を形成しようとする際には、エッチング法によって
所望形状に成形するのではなく、その成膜時に所定形状
のマスクを用いることによって、目的とする形状の有機
層を直接形成することが望ましい。有機層上に所望形状
の陰極を形成しようとする際にも、当該陰極の成膜時に
所定形状のマスクを用いることによって、目的とする陰
極を直接形成することが望ましい。
【0019】しかしながら、所定形状のマスクを用いた
陰極の成膜時においては、マスクと有機層との間に隙間
があり、かつ、透明基板と有機層との間に段差があるこ
とから、陰極材料が有機層および透明電極(陽極)の各
側面に回り込んで無用の短絡を生じやすい。このような
短絡を防止するためには、有機層の成膜時に使用するマ
スクおよび陰極の成膜時に使用するマスクをそれぞれ高
精度に作製し、かつ、成膜時にこれらのマスクを正確に
位置合わせすることが必要となる。その結果として、目
的とする7セグメント表示用有機EL素子の歩留まりが
低下する。
【0020】本発明の目的は、不要箇所が実質的に発光
せず、高い歩留まりの下に製造することが可能な有機E
L素子およびその製造方法を提供することにある。
【0021】
【課題を解決するための手段】本発明の有機EL素子
は、基板上に第1の電極層、発光層を含む1〜複数の有
機層および前記第1の電極とは反対の極性の電極として
使用される第2の電極層を有し、前記第1の電極層およ
び前記第2の電極層が存在するが発光すべきでない領域
において、前記第1の電極層と前記第2の電極層との間
に絶縁層が設けられている。
【0022】また、本発明の有機EL素子の製造方法
は、基板上に第1の電極を形成する工程と、前記第1の
電極上および該第1の電極の平面視上の外側に発光層を
含む1〜複数の有機層を形成する工程と、前記第1の電
極とは反対の極性の電極として使用される第2の電極を
前記有機層上に形成する工程とを含み、前記第1の電極
を形成する工程または前記第2の電極を形成する工程
が、前記第1の電極または前記第2の電極と電源とを電
気的に接続するための引き回しパターンも形成するもの
であり、さらに、前記引き回しパターンと前記有機層と
を電気的に絶縁する絶縁膜を形成する工程を含む。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、実施例を挙げて本発明を詳
細に説明する。
【0024】(実施例1)まず、ガラス基板の片面に成
膜した膜厚2000オングストロームのITO膜をパタ
ーニングして、7セグメント表示用の電極(陽極)およ
びこれらの陽極に接続された7つの引き回しにパターン
を形成する。
【0025】図1は、上記の陽極および引き回しパター
ンを形成した後のガラス基板の概略を示す斜視図であ
る。
【0026】同図に示したように、ガラス基板1の片面
1aには、それぞれがITO膜からなる7つの陽極2
a,2b,2c,2d,2e,2fおよび2gが形成さ
れており、これの陽極2a〜2gは、平面視上、8の字
状に配置されている。そして、これの陽極2a〜2gの
各々には、それぞれがITO膜からなる引き回しパター
ン3a,3b,3c,3d,3e,3fまたは3gが接
続されている。各引き回しパターン3a〜3gの一端は
それぞれ平面視上矩形に成形されており、電極取り出し
部として利用される。各電極取り出し部は、ガラス基板
1の縁部に形成されている。
【0027】少なくとも引き回しパターン3a〜3gそ
れぞれにおける電極取り出し部および陽極2a〜2gを
覆い、少なくとも引き回しパターン3a〜3gの電極取
り出し部以外の部分を露出するマスクを形成する。この
マスクを介して前記の片面1aのうちで当該マスクによ
って覆われていない部分に、電気絶縁膜としてのSiO
2 膜を電子ビーム蒸着法によって形成する。SiO2
の膜厚は、概ね500〜2500オングストロームの範
囲内で適宜選択可能である。たとえば、その膜厚を50
0オングストロームとする。
【0028】図2は、SiO2 膜まで形成したガラス基
板1を示す斜視図であり、図中の符号4が上記のSiO
2 膜を示している。
【0029】この後、陽極2a〜2g,電極取り出し部
を除く引き回しパターン3a〜3gおよびSiO2 膜4
の中央部をそれぞれ覆うようにして、正孔輸送層として
のTPD膜(膜厚500オングストローム)および発光
層兼電子輸送(注入)層としてのAlq3 膜(膜厚50
0オングストローム)を抵抗加熱型の真空蒸着法によっ
て順次積層することにより有機層を形成する。さらに、
この有機層上に陰極としてのMg−Ag合金膜(膜厚1
000オングストローム)を抵抗加熱型真空蒸着法によ
って形成する。Mg−Ag合金膜まで形成することによ
り、7セグメント表示用有機EL素子が得られる。
【0030】図3は、このようにして得られた7セグメ
ント表示用有機EL素子9の概略を示す斜視図である。
【0031】同図に示したように、この7セグメント表
示用有機EL素子9においては、陽極2a〜2g,引き
回しパターン3a〜3gの一部およびSiO2 膜4の一
部をそれぞれ覆うようにして、TPD膜とAlq3 膜と
の積層物からなる上記の有機層5が形成されており、当
該有機層5は、平面視上、矩形を呈する。そして、この
有機層5上に形成されている上記のMg−Ag合金膜
(陰極)6もまた、平面視上、矩形を呈する。
【0032】上記の7セグメント表示用有機EL素子9
においては、陽極2a〜2g上のみならず、電極取り出
し部を除く引き回しパターン3a〜3gそれぞれの上に
も有機層5およびMg−Ag合金膜(陰極)6が形成さ
れている。このような7セグメント表示用有機EL素子
9を実際に作成し、通電したところ、陽極2a〜2g上
に形成された有機層5からの発光(Alq3 層からの発
光)のみが観察され、引き回しパターン3a〜3g上に
形成された有機層5からの発光(Alq3 層からの発
光)は認められなかった。したがって、所望の表示を高
精度に行うことが可能であった。
【0033】また、この7セグメント表示用有機EL素
子9を製造するにあたっては、上述のように有機層5お
よびMg−Ag合金膜(陰極)6のパターニングは不要
であり、それぞれを所定の大きさの矩形に成膜するだけ
でよいので、その歩留まりが高い。
【0034】(実施例2)SiO2 膜に代えてカプトン
型ポリイミド樹脂膜をスピンコート法によって形成した
以外は実施例1と同じ要領で、7セグメント表示用有機
EL素子を作製した。カプトン型ポリイミド樹脂膜の膜
厚は、概ね500〜2500オングストロームの範囲内
で適宜選択可能である。本実施例では、その膜厚を50
0オングストロームとした。
【0035】この7セグメント表示用有機EL素子に通
電したところ、陽極上に形成された有機層からの発光
(Alq3 層からの発光)のみが観察され、引き回しパ
ターン上に形成された有機層からの発光(Alq3 層か
らの発光)は認められなかった。したがって、所望の表
示を高精度に行うことが可能であった。
【0036】また、この7セグメント表示用有機EL素
子を製造するにあたっては、実施例1と同様に有機層5
およびMg−Ag合金膜(陰極)6のパターニング不要
であり、それぞれを所定の大きさの矩形に成膜するだけ
でよいので、その歩留まりが高い。
【0037】以上、実施例を挙げて本発明を説明した
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。
【0038】例えば、上記の実施例では7セグメント表
示用有機EL素子を作製したが、本発明の有機EL素子
は所望の文字あるいは図形を表示するためのものであれ
ば7セグメント表示用有機EL素子に限定されるもので
はない。例えば、ドットマトリックス表示用の素子、パ
ターン表示素子等であってもよい。
【0039】また、非発光領域を形成するために成膜す
る電気絶縁膜は、所望の電気絶縁性を有していればよ
く、当該電気絶縁膜は、SiO2 以外の無機材料やカプ
トン型ポリイミド樹脂以外の有機材料によって形成して
もよい。
【0040】実施例ではガラス基板上に電気絶縁膜を形
成したが、当該電気絶縁膜は、有機層上に形成してもよ
い。有機層上に電気絶縁膜を形成する場合においても、
有機層および当該有機層上に形成すべき電極は、平面視
上、目的とする発光領域より面積が広い所望の形状、例
えば矩形,円形等とすることができる。
【0041】また、基板表面に形成する電極(第1の電
極)の形状を、目的とする発光領域より面積が広い所望
の形状、例えば矩形,円形等とし、有機層上に形成する
電極(第2の電極)の平面視上の形状を、目的とする発
光領域の平面視上の形状と同じ形状として、当該電極
(第2の電極)に引き回しパターンを接続するようにし
てもよい。
【0042】電気絶縁膜の開口のパターンによって発光
領域を画定すれば、上下の電極はどのような形状でもよ
い。一対の矩形電極の間に表示パターンの開口を有する
電気絶縁膜を形成してもよい。
【0043】基板材料,陽極材料,有機層の層構成,有
機層を構成する各層の材料および陰極材料ならびに基板
上への各層の積層順も、有機EL素子を得ることができ
さえすれば特に限定されるものではなく、公知の材料を
用いて公知の順に積層することができる。たとえば、図
4(a)〜4(d)のどの層構成を用いてもよい。電気
絶縁膜は電極層のどの位置に挿入してもよい。
【0044】
【発明の効果】以上説明したように、不要箇所が実質的
に発光せず、高い歩留まりの下に製造することが可能な
有機EL素子が提供される。表示精度の高い有機EL素
子を得ることが容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1で7セグメント表示素子用に形成した
陽極および引き回しパターンの概略を示す斜視図であ
る。
【図2】実施例1で7セグメント表示素子用に形成した
陽極,引き回しパターンおよび電気絶縁膜の概略を示す
斜視図である。
【図3】実施例1で作製した7セグメント表示素子用有
機EL素子の概略を示す斜視図である。
【図4】有機EL素子の層構成の例を概略的に示す側面
図である。
【図5】透明基板側を発光観察面とするタイプの7セグ
メント表示用有機EL素子における透明電極の配置仕様
の一例を示す平面図である。
【符号の説明】
1…ガラス基板 2a〜2g…陽極 3a〜3g…引き回しパターン 4…電気絶縁膜(SiO2 膜) 5…有機層 6…Mg−Ag合金膜(陰極) 9…7セグメント表示素子用有機EL素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 梶川 政隆 神奈川県横浜市青葉区荏田西1−3−1 スタンレー電気株式会社技術研究所内 (72)発明者 高山 浩一 神奈川県横浜市青葉区荏田西1−3−1 スタンレー電気株式会社技術研究所内 Fターム(参考) 5C080 AA06 BB02 DD28 EE05 JJ06

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に第1の電極層、発光層を含む1
    〜複数の有機層および前記第1の電極とは反対の極性の
    電極として使用される第2の電極層を有し、 前記第1の電極層および前記第2の電極層が存在するが
    発光すべきでない領域において、前記第1の電極層と前
    記第2の電極層との間に絶縁層が設けられている有機E
    L素子。
  2. 【請求項2】 前記第1の電極層と前記第2の電極層の
    一方が表示用の電極と該電極と電源とを電気的に接続す
    るための引き回しパターンを有し、前記絶縁層が前記引
    き回しパターンの領域に形成されている請求項1記載の
    有機EL素子。
  3. 【請求項3】 前記第1の電極層が陽極として使用され
    る透明電極であり、該透明電極と前記有機層との間に電
    気絶縁層が設けられている、請求項1に記載の有機EL
    素子。
  4. 【請求項4】 複数の発光領域を有し、これらの発光領
    域が個別に制御される、請求項1〜3のいずれかに記載
    の有機EL素子。
  5. 【請求項5】 前記複数の発光領域が、8の字状に配置
    された7つの発光領域である請求項4に記載の有機EL
    素子。
  6. 【請求項6】 基板上に第1の電極を形成する工程と、
    前記第1の電極上および該第1の電極の平面視上の外側
    に発光層を含む1〜複数の有機層を形成する工程と、前
    記第1の電極とは反対の極性の電極として使用される第
    2の電極を前記有機層上に形成する工程とを含み、前記
    第1の電極を形成する工程または前記第2の電極を形成
    する工程が、前記第1の電極または前記第2の電極と電
    源とを電気的に接続するための引き回しパターンも形成
    するものであり、 さらに、前記引き回しパターンと前記有機層とを電気的
    に絶縁する絶縁膜を形成する工程を含む、有機EL素子
    の製造方法。
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