KR101029275B1 - 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 폴리실리콘 절단공정에서 이물질에 오염된 절삭유를 효과적으로 재생할 수 있도록 한 새로운 구조의 절삭유 재생장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 폴리실리콘 절단공정의 절삭유 재생장치는 폐유를 필터유닛을 통과시켜 재생하므로 효율이 높을 뿐 아니라, 필터유닛으로 절삭유를 역류시켜 필터체를 세척할 수 있으므로, 필터체의 수명을 증가시켜 유지보수의 빈도를 낮추고, 비용을 절감할 수 있는 우수한 효과가 있다.
본 발명에 따른 폴리실리콘 절단공정의 절삭유 재생장치는 폐유를 필터유닛을 통과시켜 재생하므로 효율이 높을 뿐 아니라, 필터유닛으로 절삭유를 역류시켜 필터체를 세척할 수 있으므로, 필터체의 수명을 증가시켜 유지보수의 빈도를 낮추고, 비용을 절감할 수 있는 우수한 효과가 있다.
Description
본 발명은 폴리실리콘 웨이퍼의 절단공정에 있어서 이물질에 오염된 절삭유를 효과적으로 재생할 수 있도록 한 새로운 구조의 절삭유 재생장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 또는 솔라셀의 제작에 사용되는 실리콘 웨이퍼는 폴리실리콘을 고온으로 가열하여 잉곳을 생산하고, 이를 100~200㎛의 두께로 절단하여 제작된다. 그리고, 잉곳을 절단할 때는 통상 와이어소우 머신(wire saw machine) 또는 다이아몬드 와이어소우 머신(Diamond wire saw machine)을 사용하게 되는데, 이때 절삭유(coolant)로서 수용성 오일인 디에틸렌글리콜(diethylene glycol, DEG)이나 폴리에틸렌글리콜(polyehtylene glycol, PEG) 등을 사용한다.
한편, 잉곳 절단 공정에 사용된 후에 배출되는 절삭유에는 약 3~10%, 통상 4~8% 정도의 실리콘(Si) 입자가 함유되며 배출시 온도는 약 60℃ 이상 이므로, 잉곳 절단공정에 사용된 절삭유는 재생과정과 냉각과정을 거쳐 다시 사용된다.
이때, 웨이퍼 절단공정에서 사용되는 절삭유의 재생방법은, 도 1에 도시한 바와 같이, 데칸터 타입의 원심분리기(1)를 이용하여 사용된 절삭유인 공정 폐유에 함유된 큰 입자만을 제거한 후 절단 공정에 다시 투입하여 2~3회 재사용하고, 최종적으로는 폐기물 업체로 반출하여 폐기하고 있다.
그런데, 이러한 방법으로 절삭유를 재생하는 것은 효율이 낮을 뿐 아니라, 고가의 절삭유가 다량 폐기됨으로써 비용 측면에서 매우 불리한 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 폴리실리콘 웨이퍼의 절단공정에 있어서 이물질에 오염된 절삭유를 효과적으로 재생할 수 있도록 한 새로운 구조의 절삭유 재생장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 이물질에 오염된 절삭유인 폐유를 저장하는 폐유저장탱크(10)와; 상기 저장탱크에 연결된 공급라인(20)과; 하우징(31)과, 하우징(31)의 내부에 설치되어 하우징(31)의 내부공간을 공급챔버(33)와 배출챔버(34)로 나누는 필터체(32)로 구성되며, 상기 하우징(31)에는 상기 공급챔버(33)에 연결되는 공급포트(35) 및 순환포트(36)와, 상기 배출챔버(34)와 연결되는 배출포트(37)가 형성되고, 상기 공급포트(35)에는 상기 공급라인(20)이 연결되는 필터유닛(30)과; 상기 순환포트(36)와 폐유저장탱크(10)를 연결하는 순환라인(40)과; 상기 배출포트(37)에 연결된 배출라인(50)과; 상기 배출라인(50)에 연결된 절삭유 저장탱크(60)와; 상기 절삭유 저장탱크(60)에 저장된 절삭유를 필터유닛(30)의 배출챔버(34)로 공급하여 필터체(32)를 세척하는 세척유닛(70)을 포함하며, 상기 하우징(31)의 공급포트(35)로 공급된 폐유의 일부는 상기 필터체(32)를 통과하여 필터링된 후 배출챔버(34)와 배출포트(37)를 통해 절삭유 저장탱크(60)에 저장되고, 필터체(32)를 통과하지 않은 폐수는 배출포트(37)를 통해 폐유저장탱크(10)로 순환되며, 상기 세척유닛(70)을 이용하여 배출챔버(34)로 절삭유를 공급하면 필터체(32)를 역으로 통과하는 절삭유에 의해 필터체(32)가 세척되는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치가 제공된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 폐유저장탱크(10)는 1차 탱크(11)와, 1차 탱크(11)에 연결되며 상기 공급라인(20)과 순환라인(40)이 연결되며 일측에 드레인(12a)이 형성된 2차 탱크(12)를 포함하여, 필터유닛(30)에 의해 농축된 폐수를 2차 탱크(12)에 저장한 후 드레인(12a)을 통해 외부로 배출할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치가 제공된다.
본 발명의 또다른 특징에 따르면, 상기 필터유닛(30)은 중앙부에 길이방향의 통공이 형성된 다수개의 미세관필터(32a)를 다발형태로 뭉쳐 구성되어, 각 미세관필터(32a)의 통공이 공급챔버(33)를 형성하고 외부공간이 배출챔버(34)를 형성하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치가 제공된다.
본 발명의 또다른 특징에 따르면, 상기 필터유닛(30)의 미세관필터(32a)는 AL2O3 재질인 중공타입 세라믹 멤브레인 필터인 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치가 제공된다.
본 발명의 또다른 특징에 따르면, 상기 공급라인(20)의 중간부에는 공급펌프(21)와, 공급펌프(21)의 후단에 연결되는 유량조절밸브(22)가 구비되며, 상기 공급펌프(21)와 유량조절밸브(22)의 사이에 형성된 분기부(23)와 상기 폐유저장탱크(10)를 연결하며 중간에는 보조조절밸브(81)가 구비된 역류라인(80)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치가 제공된다.
본 발명의 또다른 특징에 따르면, 상기 세척유닛(70)은 상기 절삭유 저장탱크(60)와 하우징(31)의 배출챔버(34)를 연결하는 세척라인(71)과, 상기 세척라인(71)의 중간부에 연결된 세척펌프(72)를 포함하며, 상기 배출라인(50)과 세척라인(71)에는 제어밸브(51,73)가 구비되어 배출라인(50)과 세척라인(71)을 상호 역으로 개폐할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치가 제공된다.
본 발명의 또다른 특징에 따르면, 상기 순환라인(40)에는 압력조절밸브(41)와, 상기 압력조절밸브(41)를 바이패스하도록 상기 순환라인(40)에 연결된 바이패스밸브(42)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치가 제공된다.
본 발명에 따른 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치는 폐유를 필터유닛을 통과시켜 재생하므로 효율이 높을 뿐 아니라, 필터유닛으로 절삭유를 역류시켜 필터체를 세척할 수 있으므로, 필터체의 수명을 증가시켜 유지보수의 빈도를 낮추고, 비용을 절감할 수 있는 우수한 효과가 있다.
도 1은 종래의 절삭유 재생장치를 도시한 참고도,
도 2는 본 발명에 따른 절삭유 재생장치를 도시한 라인 구성도,
도 3은 본 발명에 따른 절삭유 재생장치의 필터유닛을 도시한 구성도,
도 4는 도 3의 A-A선 단면을 도시한 참고도,
도 5는 본 발명에 따른 절삭유 재생장치의 필터체를 예시한 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 절삭유 재생장치의 작용을 설명하기 위한 참고도,
도 7은 본 발명에 따른 절삭유 재생장치의 여과 과정 및 세척 과정을 보여주는 참고도이다.
도 2는 본 발명에 따른 절삭유 재생장치를 도시한 라인 구성도,
도 3은 본 발명에 따른 절삭유 재생장치의 필터유닛을 도시한 구성도,
도 4는 도 3의 A-A선 단면을 도시한 참고도,
도 5는 본 발명에 따른 절삭유 재생장치의 필터체를 예시한 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 절삭유 재생장치의 작용을 설명하기 위한 참고도,
도 7은 본 발명에 따른 절삭유 재생장치의 여과 과정 및 세척 과정을 보여주는 참고도이다.
이하, 본 발명을 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 2내지 도 5는 본 발명에 따른 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치를 도시한 것으로, 이물질에 오염된 절삭유인 폐유를 저장하는 폐유저장탱크(10)와; 상기 저장탱크에 연결된 공급라인(20)과; 상기 공급라인(20)과 폐유저장탱크(10)를 연결하는 역류라인(80)과; 상기 공급라인(20)에 연결되어 폐유를 재생하는 필터유닛(30)과; 상기 필터유닛(30)과 폐유저장탱크(10)를 연결하는 순환라인(40)과; 상기 필터유닛(30)에 연결된 배출라인(50)과; 상기 배출라인(50)에 연결된 절삭유 저장탱크(60)와; 필터유닛(30)에 연결된 세척유닛(70)으로 구성된다.
이를 자세히 설명하면, 상기 폐유저장탱크(10)는 1차 탱크(11)와, 1차 탱크(11)에 연결되며 상기 공급라인(20)과 순환라인(40)이 연결되는 2차 탱크(12)로 구성된다. 상기 1차 탱크(11)는 웨이퍼 절단공정에서 발생된 절삭유의 폐유를 수집하여, 절삭유 재생장치를 이용하여 절삭유를 재생하는 중에는 폐유를 저장하는 버퍼링의 기능을 한다. 상기 2차 탱크(12)는 솔레노이드밸브(12c)가 연결된 드레인(12a)이 하측에 형성된 것으로, 상기 1차 탱크(11)에서 공급된 폐유를 저장하여 상기 필터유닛(30)으로 공급하고 상기 필터유닛(30)을 통과하면서 농축된 폐유를 저장하여 최종적으로 상기 드레인(12a)을 통해 외부로 배출하는 기능을 한다. 이때, 상기 2차 탱크(12)에는 히터(12b)가 구비되어 2차 탱크(12)에 저장되는 폐유를 가열하여 점도를 조절할 수 있도록 한다.
상기 공급라인(20)은 중간부에 공급펌프(21)가 구비되어 2차 탱크(12)에 저장된 폐유를 상기 필터유닛(30)으로 공급하는 것으로, 상기 공급펌프(21)의 후단에는 유량조절밸브(22)가 구비되어 필터유닛(30)으로 공급되는 폐유의 유량을 조절할 수 있도록 구성된다.
상기 역류라인(80)은 상기 공급펌프(21)와 유량조절밸브(22)의 사이에 형성된 분기부(23)와 상기 2차 탱크(12)를 연결하여 상기 공급라인(20)의 유량조절밸브(22)를 이용하여 폐유의 유량을 조절함에 따라 남은 여유분의 폐유가 2차 탱크(12)로 역류되도록 한다. 이때, 상기 역류라인(80)의 중간에는 보조조절밸브(81)가 구비되어 역류라인(80)의 저항을 공급라인(20) 내부의 저항보다 높게 유지하도록 함으로써, 상기 유량조절밸브(22)를 이용하여 공급라인(20)을 통해 필터유닛(30)으로 공급되는 폐유의 양을 조절할 수 있도록 한다. 즉, 상기 보조조절밸브(81)가 없을 경우, 역류라인(80)의 저항이 공급라인(20)의 저항보다 낮아져 공급라인(20)을 통해 공급되는 폐유 전부가 역류라인(80)을 통해 2차 탱크(12)로 역류되거나, 역류라인(80)의 저항이 지나치게 높아져 역류라인(80)이 기능을 할 수 없게 될 수 있으나, 상기 역류라인(80)에 보조조절밸브(81)를 연결하여, 유량조절밸브(22)의 개폐량에 따라 역류라인(80)의 저항을 조절하여, 적절한 양의 폐유만이 역류라인(80)을 통해 2차 탱크(12)로 역류되도록 할 수 있다.
상기 필터유닛(30)은 도 3 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 하우징(31)과, 하우징(31)의 내부에 설치되어 하우징(31)의 내부공간을 공급챔버(33)와 배출챔버(34)로 나누는 필터체(32)로 구성된다.
상기 하우징(31)은 강도가 높은 금속재의 통형상으로 구성된 것으로, 둘레면에는 상기 공급챔버(33)에 연결되는 공급포트(35) 및 순환포트(36)와, 상기 배출챔버(34)와 연결되는 배출포트(37)가 형성된다. 이때, 상기 공급포트(35) 및 순환포트(36)는 하우징(31)의 길이방향 양단에 형성되고, 상기 배출포트(37)는 하우징(31)의 측면에 형성된다.
상기 필터체(32)는 중앙부에 길이방향의 통공이 형성된 다수개의 미세관필터(32a)를 다발형태로 뭉쳐 구성된 것으로, 통공의 개방된 양단이 상기 공급포트(35) 및 순환포트(36)에 연결되도록 하우징(31)의 내부에 설치된다. 따라서, 각 미세관필터(32a)의 통공이 공급챔버(33)를 형성하고 외부공간이 배출챔버(34)를 형성한다. 이때, 각 미세관필터(32a)는 고온에 견딜 수 있는 것으로 미세한 다공이 형성된 AL2O3 재질의 중공타입 세라믹 멤브레인 필터로 구성되어, 도 3에 도시한 바와 같이, 각 미세관필터(32a)의 통공 즉, 공급챔버(33)로 폐유가 공급되면, 폐유의 일부는 미세관필터(32a)의 둘레면을 통과하여 외부 즉, 배출챔버(34)로 배출된다. 이때, 폐유에 포함된 이물질은 미세관필터(32a)에 의해 걸러져 깨끗하게 재생된 절삭유만이 배출챔버(34)로 배출된다. 그리고, 미세관필터(32a)의 둘레면을 통과하지 못한 폐유는 미세관필터(32a)의 통공 즉 공급채버(33)를 통해 배출포트(37)로 배출된다.
이때, 도 3 내지 도 5의 경우, 상기 필터체(32)는 미세관필터(32a)가 매우 듬성듬성하게 설치되는 것으로 도시되어 있으나, 이는 이해를 돕기 위한 참고로서 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 필터체(32)는 도 7에 도시한 바와 같이 미세관필터(32a)가 매우 빽빽하게 설치될 수도 있다. 또한, 상기 필터체(32)의 미세관필터(32a)의 통공이 상기 공급포트(35)와 순환포트(36)로 연결되도록 하는 방법으로는, 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 하우징(31)의 내부 양단에 상기 통공과 연결되는 다수개의 관통공(39a)이 형성된 격판(39)을 설치하는 방법과, 미세관필터(32a)의 단부를 원형으로 가압하여 미세관필터(32a)의 단부에 틈이 없도록 밀착시키는 방법을 포함하여 다양한 방법이 사용될 수 있으므로, 자세한 설명은 생략한다.
상기 순환라인(40)은 상기 순환포트(36)와 2차 탱크(12)의 사이를 연결하여, 미세관필터(32a)의 통공을 통해 배출포트(37)로 배출된 폐유를 2차 탱크(12)로 순환시키는 기능을 한다. 이때, 상기 순환라인(40)의 중간부에는 압력조절밸브(41)가 구비되어 순환라인(40)에 저항을 발생시킴으로써, 필터유닛(30)의 공급포트(35)로 공급된 폐유의 흐름에 적절한 저항을 가하여 폐유가 필터체(32)를 통해 배출챔버(34)로 배출되도록 한다. 또한, 상기 순환라인(40)에는 바이패스밸브(42)가 상기 압력조절밸브(41)를 바이패스하도록 연결된다. 상기 바이패스밸브(42)는 원격제어에 의해 신속하게 개폐되는 솔레노이드밸브로 구성되며, 후술하는 방법에 의해 상기 세척유닛(70)을 이용하여 필터체(32)를 세척할 때 바이패스밸브(42)를 반복적으로 개폐시켜 세척효율을 향상시킬 수 있도록 한다.
상기 배출라인(50)은 상기 하우징(31)의 배출포트(37)에 연결되어 필터유닛(30)을 통과하여 재생된 절삭유를 배출하는 기능을 한다.
상기 절삭유 저장탱크(60)는 상기 배출라인(50)에 연결되어 배출라인(50)을 통해 배출된 절삭유를 저장하는 것으로, 내부에 저장된 절삭유를 가열하는 히터(61)가 구비되어 절삭유의 점도를 조절할 수 있도록 구성되며, 일측에는 배출관(62)이 구비되어 내부에 저장된 재생된 절삭유를 잉곳 절단공정으로 순환시킬 수 있다.
상기 세척유닛(70)은 상기 절삭유 저장탱크(60)와 하우징(31)의 배출챔버(34)를 연결하는 세척라인(71)과, 상기 세척라인(71)의 중간부에 연결된 세척펌프(72)로 구성된다. 이때, 상기 하우징(31)의 일측에는 배출챔버(34)와 연결되는 세척포트(38)가 형성되고, 상기 세척라인(71)은 상기 세척포트(38)에 연결된다. 또한, 상기 세척라인(71)과 배출라인(50)에는 각각 별도의 제어밸브(51,73)가 구비되어, 배출라인(50)과 세척라인(71)을 상호 역으로 개폐할 수 있도록 구성된다. 상기 제어밸브(51,73)는 원격으로 제어되는 솔레노이드밸브를 이용한다.
이와 같이 구성된 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치를 이용하여 절삭유를 재생하는 방법을 설명하면 다음과 같다.
우선, 상기 1차 탱크(11)에 적절한 양의 폐유가 저장되면 폐유를 2차 탱크(12)로 공급한 후 1차 탱크(11)에 폐유를 다시 수집한다. 그리고, 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 공급펌프(21)를 작동시키면, 폐유중의 일부는 필터유닛(30)을 통과하여 재생되고 재생된 절삭유는 배출라인(50)을 통해 절삭유 저장탱크(60)로 수집된 후 배출관(62)을 통해 잉곳 절단공정으로 공급된다. 그리고, 필터유닛(30)에서 미세관필터(32a)의 둘레면을 통과하지 못한 폐유는 순환라인(40)을 통해 2차 탱크(12)로 순환된다. 이때, 상기 배출라인(50)의 제어밸브(51)는 개방되고 세척라인(71)의 제어밸브(73)는 폐쇄되며, 작업자는 상기 유량조절밸브(22)와 보조조절밸브(81) 및 압력조절밸브(41)를 조절하여 폐유의 흐름과 폐유가 필터체(32)를 통과하는 압력을 조절할 수 있다.
그리고, 2차 탱크(12)로 순환된 폐유는 전술한 과정을 반복하여 반복적으로 농축되며, 폐유가 일정수준으로 농축되면 상기 2차 탱크(12)의 드레인(12a)을 개방하여 폐유를 정해진 수집탱크 등으로 배출하여 폐기한다. 그리고, 상기 1차 탱크(11)에 저장된 폐유를 2차 탱크(12)로 옮겨 전술한 과정을 거쳐 재생한다.
그리고, 필터체(32)에 달라붙은 이물질을 제거하는 방법을 설명하면 다음과 같다. 우선, 폐유의 재생과정인 여과과정을 수행 중 필터체(32)에 달라붙은 이물질에 의해 필터링효율이 떨어질 경우에는, 도 6에 도시한 바와 같이 세척과정을 수행하게 되는데, 이는 상기 공급펌프(21)를 중지하고 배출라인(50)의 제어밸브(51)를 폐쇄하며 세척라인(71)의 제어밸브(73)와 순환라인의 압력상승을 막기 위한 바이패스밸브(42)를 개방한 상태에서, 상기 세척유닛(70)의 세척펌프(72)를 작동시켜 상기 여과된 절삭유탱크(60)에 저장된 절삭유를 세척수로서 상기 공급포트(38)의 내부로 공급한다(도 7 참고).
이와 같이 공급포트(38)의 내부로 고압으로 절삭유를 강제로 공급하면, 절삭유가 배출챔버(34)에서 공급챔버(33)로 역으로 유입되면서 필터체(32)의 내부에 달라붙은 이물질을 떼어낸 후 이물질과 함께 상기 순환라인(40)을 통해 2차 탱크(12)로 순환되어, 필터체(32)에 달라붙은 이물질을 제거할 수 있다.
세척 과정이 완료되면 필터체(32) 내부의 분리된 이물질이 다시 필터체(32)에 붙지 않도록 플러싱 과정을 수행하게 되는데, 바이패스밸브(42)가 개방된 상태에서 배출라인의 제어밸브(51)와 세척라인의 제어밸브(73)를 폐쇄하고 세척펌프(72)가 정지된 상태에서 공급펌프(21)를 가동시키면 필터체(32) 내부의 압력이 없는 상태에서 이물질이 2차 탱크(12)로 유입된다. 이후 바이패스밸브(42)와 세척라인의 제어밸브(73)를 폐쇄하고 배출라인의 제어밸브(51)는 개방하여 다시 여과과정을 수행하게 된다.
플러싱 과정은 미립자인 실리콘(Si) 입자를 함유한 절삭유가 여과 과정시 필터체(32) 내부로 침투하여 세척불능의 상태가 되지 않도록 하기 위한 것으로, 세척시간은 짧고 주기는 자주 반복할 때 세척시 이물질이 포함된 세척수를 외부로 방출하지 않고 폐 절삭유를 최대한 재생할 수 있도록 하여 재생 효율을 높일 수 있도록 구성된 것이다.
이와 같이 구성된 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치는 필터유닛(30)을 이용하여 폐유에 포함된 이물질을 제거하여 절삭유를 재생하므로, 재생효율이 높을 뿐 아니라, 필터유닛(30)으로 절삭유를 역류시켜 필터체(32)를 세척할 수 있으므로, 필터체(32)의 수명을 증가시켜 유지보수의 빈도를 낮추고, 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.
또한, 상기 폐유저장탱크(10)는 1차 탱크(11)와, 1차 탱크(11)에 연결되며 상기 공급라인(20)과 순환라인(40)이 연결되며 일측에 드레인(12a)이 형성된 2차 탱크(12)로 나뉘어져, 폐수를 재생하는 도중에 잉곳 절단공정에서 발생되는 폐유를 1차 탱크(11)에 저장함으로써, 절삭유 재생공정을 효과적으로 제어하고, 폐유의 농축정도를 정확히 확인할 수 있는 장점이 있다.
또한, 상기 필터유닛(30)은 중앙부에 길이방향의 통공이 형성된 다수개의 미세관필터(32a)를 다발형태로 뭉쳐 구성하므로, 필터의 표면적을 최대화 할 수 있으며, 미세관필터(32a)가 고온에 견딜 수 있는 AL2O3 재질의 중공타입 세라믹 멤브레인 필터로 제작되어 필터링 효율을 높일 수 있는 장점이 있다.
그리고, 상기 공급라인(20)에 역류라인(80)이 연결되어, 공급라인(20)을 통해 필터유닛(30)으로 공급되는 폐유의 양을 효과적으로 조절할 수 있는 장점이 있다.
또한, 세척유닛(70)의 배출라인(50)과 세척라인(71)에 각각 제어밸브(51,73)를 구비하여, 절삭유 재생작업시 또는 필터에 달라붙은 이물질을 제거할 때, 폐유 및 절삭유의 흐름을 효율적으로 제어할 수 있는 장점이 있다.
그리고, 상기 순환라인(40)에는 압력조절밸브(41)와, 상기 압력조절밸브(41)를 바이패스하도록 상기 순환라인(40)에 연결된 바이패스밸브(42)가 더 구비되어, 폐유가 필터유닛(30)을 통과하면서 재생되는 정도를 조절할 수 있으며, 필터체(32)를 세척할 때 상기 바이패스밸브(42)를 반복적으로 개폐시켜 압력을 변화시킴으로써, 필터체(32)를 효과적으로 세척할 수 있도록 할 수 있는 장점이 있다.
10. 폐유저장탱크 20. 공급라인
30. 필터유닛 40. 순환라인
50. 배출라인 60. 절삭유 저장탱크
70. 세척유닛
30. 필터유닛 40. 순환라인
50. 배출라인 60. 절삭유 저장탱크
70. 세척유닛
Claims (7)
- 이물질에 오염된 절삭유인 폐유를 저장하는 폐유저장탱크(10)와;
상기 저장탱크에 연결된 공급라인(20)과;
하우징(31)과, 하우징(31)의 내부에 설치되어 하우징(31)의 내부공간을 공급챔버(33)와 배출챔버(34)로 나누는 필터체(32)로 구성되며, 상기 하우징(31)에는 상기 공급챔버(33)에 연결되는 공급포트(35) 및 순환포트(36)와, 상기 배출챔버(34)와 연결되는 배출포트(37)가 형성되고, 상기 공급포트(35)에는 상기 공급라인(20)이 연결되는 필터유닛(30)과;
상기 순환포트(36)와 폐유저장탱크(10)를 연결하는 순환라인(40)과;
상기 배출포트(37)에 연결된 배출라인(50)과;
상기 배출라인(50)에 연결된 절삭유 저장탱크(60)와;
상기 절삭유 저장탱크(60)에 저장된 절삭유를 필터유닛(30)의 배출챔버(34)로 공급하여 필터체(32)를 세척하는 세척유닛(70)을 포함하며,
상기 필터유닛(30)은 중앙부에 길이방향의 통공이 형성된 다수개의 미세관필터(32a)를 다발형태로 뭉쳐 구성되어, 각 미세관필터(32a)의 통공이 공급챔버(33)를 형성하고 외부공간이 배출챔버(34)를 형성하고,
상기 하우징(31)의 공급포트(35)로 공급된 폐유의 일부는 상기 필터체(32)를 통과하여 필터링된 후 배출챔버(34)와 배출포트(37)를 통해 절삭유 저장탱크(60)에 저장되고, 필터체(32)를 통과하지 않은 폐수는 배출포트(37)를 통해 폐유저장탱크(10)로 순환되며,
상기 세척유닛(70)을 이용하여 배출챔버(34)로 절삭유를 공급하면 필터체(32)를 역으로 통과하는 절삭유에 의해 필터체(32)가 세척되는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치. - 청구항 1에 있어서,
상기 폐유저장탱크(10)는 1차 탱크(11)와, 1차 탱크(11)에 연결되며 상기 공급라인(20)과 순환라인(40)이 연결되며 일측에 드레인(12a)이 형성된 2차 탱크(12)를 포함하여, 필터유닛(30)에 의해 농축된 폐수를 2차 탱크(12)에 저장한 후 드레인(12a)을 통해 외부로 배출할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치. - 삭제
- 청구항 1에 있어서,
상기 필터유닛(30)의 미세관필터(32a)는 AL2O3 재질인 중공타입 세라믹 멤브레인 필터인 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치. - 청구항 1에 있어서,
상기 공급라인(20)의 중간부에는 공급펌프(21)와, 공급펌프(21)의 후단에 연결되는 유량조절밸브(22)가 구비되며, 상기 공급펌프(21)와 유량조절밸브(22)의 사이에 형성된 분기부(23)와 상기 폐유저장탱크(10)를 연결하며 중간에는 보조조절밸브(81)가 구비된 역류라인(80)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치. - 청구항 1에 있어서,
상기 세척유닛(70)은 상기 절삭유 저장탱크(60)와 하우징(31)의 배출챔버(34)를 연결하는 세척라인(71)과, 상기 세척라인(71)의 중간부에 연결된 세척펌프(72)를 포함하며, 상기 배출라인(50)과 세척라인(71)에는 제어밸브(51,73)가 구비되어 배출라인(50)과 세척라인(71)을 상호 역으로 개폐할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치. - 청구항 1에 있어서,
상기 순환라인(40)에는 압력조절밸브(41)와, 상기 압력조절밸브(41)를 바이패스하도록 상기 순환라인(40)에 연결된 바이패스밸브(42)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치.
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|---|---|---|---|
| KR1020100100086A KR101029275B1 (ko) | 2010-10-14 | 2010-10-14 | 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치 |
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR101579840B1 (ko) | 2014-07-22 | 2015-12-24 | 주식회사 세신머티리얼즈 | 수용성 폐슬러리 재생방법 및 재생장치 |
| KR101596480B1 (ko) | 2015-09-04 | 2016-02-22 | 주식회사 세신이엔지 | 여과판의 스크래핑이 가능한 여과장치 |
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2010
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