KR101005846B1 - Slipring assembly for polar test device - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A slip-ring assembly for a polar test device is provided to shield electric noise in high speed rotation. CONSTITUTION: A slip ring unit(110) is comprised of a pair of conductive slip rings and a pair of insulating barriers. The conductive slip rings have a semicircular ring shape and have both ends which are opposite to each other. The conductive insulting barrier is combined with the top and bottom of the conductive slip rings. The slip ring unit is combined with a rotor of a polar test device and is electrically connected to the rotor. A brush unit(120) is combined in a holder and electrically connects the holder to an external power source.

Description

극성 테스트 장치용 슬립링 조립체{SLIPRING ASSEMBLY FOR POLAR TEST DEVICE}SLIPRING ASSEMBLY FOR POLAR TEST DEVICE}

본 발명은 슬립링 조립체에 관한 것으로서, 특히 반도체나 엘씨디 장치의 극성 테스트를 하기 위한 검사장치에 사용되는 슬립링 조립체에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to slip ring assemblies, and more particularly to slip ring assemblies for use in inspection devices for polarity testing of semiconductor or LCD devices.

일반적으로 슬립링은 회전체를 갖는 회전 부분의 전기회로와 고정부분의 전기회로를 회전 중에도 배선의 꼬임없이 전기적 접속이 이루어지게 하는 것이다.In general, the slip ring is to allow the electrical circuit of the rotating portion having the rotating body and the electrical circuit of the fixed portion to be electrically connected without twisting the wires even during rotation.

이러한 슬립링은 회전 반도체 장치, 건설 중장비, 원심 분리기 등과 같이 고속으로 회전되는 곳에 전기 신호를 안정적으로 공급하기 위해 산업 전반에 걸쳐 사용되고 있다.Such slip rings are used throughout the industry to reliably supply electric signals to high speed rotating parts such as rotating semiconductor devices, heavy construction equipment, and centrifuges.

이 중 회전 반도체 장치, 예컨대 반도체, 엘씨디, 엘이디 등과 같은 반도체 소자의 전기적 상태의 불량 여부를 검사하기 위한 장치에 채용되는 슬립링은 단순히 외부 전원과 반도체 소자 사이를 전기적으로 연결해 주는 기능만이 있어 완성된 반도체 소자의 극성 테스트는 진행할 수 없는 단점이 있다.Among these, a slip ring employed in a device for inspecting a defective electrical state of a semiconductor device such as a semiconductor, an LCD, an LED, and the like is simply a function of electrically connecting an external power supply and a semiconductor device. The polarity test of the semiconductor device can not be performed.

또한, 종래의 반도체 검사 장치에 사용되는 슬립링은 구리 전선이나 구리에 은도금된 전선을 사용하므로 고속 회전에 의한 마찰 저항이 크게 발생되어 전기적 노이즈가 발생되는 문제점이 있다.
In addition, since the slip ring used in the conventional semiconductor inspection apparatus uses a copper wire or a wire silver plated with copper, a frictional resistance caused by high speed rotation is greatly generated, thereby causing electrical noise.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 각종 검사 장치 상에서 회전되는 대상물의 전기적 결함 검사와 더불어 극성 테스트도 함께 진행할 수 있고, 고속 회전 시 발생되는 전기적 노이즈를 차폐할 수 있는 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
The present invention is to solve the above problems, the polarity test can be carried out together with the electrical defect inspection of the object rotated on the various inspection apparatus, slip for the polarity test apparatus that can shield the electrical noise generated during high-speed rotation It is an object to provide a ring assembly.

본 발명의 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체는 반원의 링 형상으로 서로 양단부가 이격된 상태로 마주하는 한 쌍의 도전성 슬립링 및 상기 한 쌍의 도전성 슬립링 상하면에 결합되는 한 쌍의 절연성 베리어를 가지고, 극성 테스트 장치의 회전체에 결합되어 상기 회전체와 전기적으로 연결되는 슬립링부 및 외부 전원과 연결된 홀더 및 상기 외부 전원과 통전되도록 상기 홀더에 결합되며, 상기 도전성 슬립링에 접촉되는 브러쉬를 가진 브러쉬부를 포함한다.The slip ring assembly for the polarity test apparatus of the present invention has a pair of conductive slip rings facing each other with a semicircular ring shape spaced apart from each other, and a pair of insulating barriers coupled to upper and lower surfaces of the pair of conductive slip rings. And a brush having a brush coupled to the rotating body of the polarity test apparatus, the slip ring part electrically connected to the rotating body, the holder connected to an external power source, and the holder connected to the external power source, and the brush contacting the conductive slip ring. Contains wealth.

상기 브러쉬는 상기 홀더에 상하의 복수개의 단으로 배치되며, 각 단에 복수개가 형성될 수 있다.The brush may be arranged in a plurality of upper and lower stages in the holder, and a plurality of brushes may be formed in each stage.

상기 도전성 슬립링은 파라듐(Pd)과, 금(Au)과, 은(Ag) 및 구리(Cu)를 포함하는 합금일 수 있다.The conductive slip ring may be an alloy including palladium (Pd), gold (Au), silver (Ag), and copper (Cu).

상기 도전성 슬립링은 상기 합금 상에 니켈-인(Ni-P) 및 은(Ag)이 순차적으로 도금될 수 있다.The conductive slip ring may be plated with nickel-phosphorus (Ni-P) and silver (Ag) sequentially on the alloy.

상기 니켈-인(Ni-P) 및 상기 은(Ag)의 도금 두께비는 2:1일 수 있다.
The plating thickness ratio of the nickel-phosphorus (Ni-P) and the silver (Ag) may be 2: 1.

극성 테스트 장치용 슬립링 조립체에 의하면, 도전성 슬립링이 한 쌍이 구비되고, 서로 이격된 상태로, 각각 서로 다른 전류를 흐르게 하므로, 180도 회전될 때마다 한 쌍의 도전성 슬립링 각각에 흐르는 전류의 극성이 바뀌게 되어 대상물을 회전시키면서 극성 변화에 대한 테스트를 수행할 수 있는 장점을 가진다.According to the slip ring assembly for the polarity test apparatus, a pair of conductive slip rings are provided and spaced apart from each other, so that different currents flow, so that each time a 180 degree rotation is performed, The polarity is changed, which has the advantage of performing a test for the polarity change while rotating the object.

또한, 도전성 슬립링이 합금으로 형성됨으로써, 분당 3000rpm 이상으로 회전 시 종래 구리 또는 구리에 은 도금된 것보다 마찰 저항이 감소되어 전기 전도성 향상 및 전기적인 노이즈를 차폐할 수 있는 장점이 있다.In addition, since the conductive slip ring is formed of an alloy, the frictional resistance is reduced compared to conventional copper or silver plated copper when rotating at 3000 rpm or more, thereby improving electrical conductivity and shielding electrical noise.

또한, 상기 합금 상에 니켈-인을 도금하여 강도를 증가시킬 수 있고, 그 위에 은을 도금함으로써 전기 전도성을 향상시킬 수 있다.In addition, it is possible to increase the strength by plating nickel-phosphorus on the alloy, it is possible to improve the electrical conductivity by plating silver thereon.

또한, 브러쉬를 복수개 구비하여 브러쉬에 가해지는 텐션을 분산하고, 도전성 슬립링의 계속적인 고속 회전에 의하여 도전성 슬립링에 접촉된 브러쉬의 파손에 의한 전기적 접속이 끊어지는 것을 방지하기 위해 상하로 복수개의 단으로 브러쉬를 배치함으로써, 부분적으로 브러쉬가 파손되더라도 대상물의 극성 테스트에 지장을 주지 않는 장점이 있다.
In addition, a plurality of brushes are provided to disperse the tension applied to the brushes, and a plurality of brushes are disposed up and down in order to prevent the electrical connection due to breakage of the brush in contact with the conductive slip rings due to continuous high-speed rotation of the conductive slip rings. However, by arranging the brushes, the brush does not interfere with the polarity test of the object even if the brush is partially damaged.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 2는 도 1의 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체를 개략적으로 나타낸 분해 사시도.1 is a perspective view schematically showing a slip ring assembly for a polarity test device according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view schematically showing the slip ring assembly for the polarity test device of FIG.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체에 대하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the slip ring assembly for the polarity test apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체를 개략적으로 나타낸 분해 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing a slip ring assembly for a polarity test device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is an exploded perspective view schematically showing the slip ring assembly for a polarity test device of FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체(100)는 극성 테스트 장치의 회전체(미도시)에 결합되어 상기 회전체와 전기적으로 연결되는 슬립링부(110) 및 외부 전원(미도시)과 연결되어 상기 슬립링부(110)에 전원을 인가하는 브러쉬부(120)를 포함한다.1 and 2, the slip ring assembly 100 for the polarity test device of the present invention is coupled to a rotating body (not shown) of the polarity test device is a slip ring 110 and electrically connected to the rotating body and The brush unit 120 is connected to an external power source (not shown) to apply power to the slip ring unit 110.

상기 슬립링부(110)는 도전성 슬립링(111) 및 절연성 베리어(112)를 포함한다.The slip ring unit 110 includes a conductive slip ring 111 and an insulating barrier 112.

상기 도전성 슬립링(111)은 반원의 링 형상으로, 한 쌍이 구비되어 서로 양 단부가 소정 간격 이격 배치되어 양측이 개방된 링 형상, 즉 만일 한 쌍의 도전성 슬립링(111)의 양 단부가 서로 결합 시 폐쇄된 링 형상을 형성할 수 있다.The conductive slip ring 111 is a semi-circular ring shape, and a pair is provided so that both ends thereof are spaced apart from each other by a predetermined interval, so that both sides are open, that is, if both ends of the pair of conductive slip rings 111 are mutually When engaged, it is possible to form a closed ring shape.

상기 도전성 슬립링(111)은 파라듐(Pd)과 금(Au)과, 은(Ag)과, 구리(Cu) 및 기타 불순물을 포함하는 합금으로 형성될 수 있다.The conductive slip ring 111 may be formed of an alloy including palladium (Pd), gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), and other impurities.

한편, 상기 도전성 슬립링(111)에는 도금이 될 수 있는데, 상기 도금은 상기 합금을 베이스로 하여 니켈-인(Ni-P) 및 은(Ag)이 순차적으로 이루어질 수 있다. Meanwhile, the conductive slip ring 111 may be plated, and the plating may include nickel-phosphorus (Ni-P) and silver (Ag) sequentially based on the alloy.

즉, 상기 합금 상에 니켈-인(Ni-P)이 도금되고, 니켈-인(Ni-P) 상에 은(Ag)이 도금된 형태로, 상기 니켈-인(Ni-P)을 도금함으로써 강도를 증가시킬 수 있고, 상기 은(Ag)을 도금함으로써 전기 전도성을 높여 전기적 노이즈를 최소화할 수 있다.That is, the nickel-phosphorus (Ni-P) is plated on the alloy and silver (Ag) is plated on the nickel-phosphorus (Ni-P), thereby plating the nickel-phosphorus (Ni-P). The strength can be increased, and by plating the silver (Ag), the electrical conductivity can be increased to minimize the electrical noise.

이를 위해 상기 니켈-인(Ni-P)과 은(Ag)의 도금 두께는 2:1의 비율로 이루어질 수 있다.To this end, the plating thickness of the nickel-phosphorus (Ni-P) and silver (Ag) may be 2: 1.

예컨대, 상기 도전성 슬립링(111)은 베이스인 상기 합금이 0.25mm의 두께이고, 상기 니켈-인(Ni-P)이 4㎛, 상기 은(Ag)이 8㎛의 두께로 형성될 수 있다.For example, the conductive slip ring 111 may have a thickness of 0.25 mm as a base, a thickness of 4 μm of nickel-phosphorus (Ni-P), and a thickness of 8 μm of silver (Ag).

상기 절연성 베리어(112)는 피크 소재로, 상기 한 쌍의 도전성 슬립링(111)의 상하면에 결합되어 한 쌍의 도전성 슬립링(111)이 서로 이격된 상태로, 이격된 부분이 개방부가 되는 링 형상을 형성할 수 있다.The insulating barrier 112 is a peak material, and is coupled to the upper and lower surfaces of the pair of conductive slip rings 111 so that the pair of conductive slip rings 111 are spaced apart from each other and the spaced apart portions are opened. The shape can be formed.

상기 절연성 베리어(112)는 상기 한 쌍의 도전성 슬립링(111)과 일대일로 대응되도록 한 쌍이 서로 이격 배치되면서 서로 결합된 상태에서 상기 도전성 슬립링(111)의 상하에 각각 결합되며, 한 쌍이 서로 구별되도록 일측의 절연성 베리어(112)는 도전성 슬립링(111)과 동일한 형태로 형성되고, 타측은 도전성 슬립링(111)과 다른 형태로 형성될 수 있다.The insulating barrier 112 is coupled to the upper and lower portions of the conductive slip ring 111 in a state where the pair is spaced apart from each other so as to correspond to the pair of conductive slip rings 111 in a one-to-one manner, and the pair is coupled to each other. The insulating barrier 112 on one side may be formed in the same shape as the conductive slip ring 111, and the other side may be formed in a different shape from the conductive slip ring 111.

즉, 절연성 베리어(112)는 도전성 슬립링(111)의 상부 및 하부에 각각 결합되도록 2개가 마련되되, 2개의 절연성 베리어(112)는 각각 한 쌍이 구비되어 볼트 등에 의해 서로 이격 결합된 상태로 상기 도전성 슬립링(111)의 상하부에 각각 결합된다.That is, two insulating barriers 112 are provided to be coupled to the upper and lower portions of the conductive slip ring 111, respectively, and two insulating barriers 112 are each provided with a pair and are spaced apart from each other by a bolt or the like. Coupled to the upper and lower portions of the conductive slip ring 111, respectively.

상기 브러쉬부(120)는 홀더(121) 및 브러쉬(122)를 포함한다.The brush unit 120 includes a holder 121 and a brush 122.

상기 홀더(121)는 외부 전원과 연결되고, 일측에 복수개의 홀(미도시)이 형성되며, 절연성 소재로 이루어진다.The holder 121 is connected to an external power source, a plurality of holes (not shown) are formed on one side, and made of an insulating material.

상기 브러쉬(122)는 복수개가 구비되며, 일측이 상기 홀더(121)의 홀 내에 삽입되어 상기 외부 전원과 접속되며, 타측이 상기 도전성 슬립링(111)에 접촉되어 상기 도전성 슬립링(111)에 전원이 인가되게 한다.A plurality of brushes 122 are provided, one side of which is inserted into a hole of the holder 121 to be connected to the external power source, and the other side of the brush 122 contacts the conductive slip ring 111 to the conductive slip ring 111. Allow power to be applied.

상기 브러쉬(122)는 외부 전원의 (+) 전류 및 (-) 전류 각각의 이동 경로를 제공하기 위해 홀더(121)의 양측에 구분되게 배치되며, 각 측에 배치된 브러쉬(122)는 상하로 복수개의 단을 이루도록 이격 형성될 수 있으며, 각 단을 형성하는 브러쉬(122)도 복수개가 마련될 수 있다.
The brush 122 is disposed on both sides of the holder 121 to provide a movement path of each of the positive and negative currents of the external power source, and the brushes 122 disposed on each side are vertically disposed. It may be spaced apart to form a plurality of stages, a plurality of brushes 122 for forming each stage may also be provided.

상기와 같은 구조의 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체(100)는 극성 테스트 장치의 회전체에 상기 슬립링부(110)가 삽입 결합되어 슬립링부(110)의 도전성 슬립링(111)과 회전체 사이에 전기적인 접속이 이루어진다.In the slip ring assembly 100 for the polarity test device having the above structure, the slip ring 110 is inserted into and coupled to the rotating body of the polarity test device, and is formed between the conductive slip ring 111 of the slip ring 110 and the rotating body. Electrical connection is made.

즉, 한 쌍의 도전성 슬립링(111) 중 어느 하나가 회전체의 어느 한 도선에 연결되고, 나머지 하나가 회전체의 나머지 한 도선에 연결된다.That is, any one of the pair of conductive slip rings 111 is connected to any one wire of the rotating body, and the other is connected to the other one of the rotating body.

상기 한 쌍의 도전성 슬립링(111) 각각의 외면에는 상기 양측으로 구분 배치된 브러쉬(122)들이 접촉되어 상기 회전체의 회전 시 동반 회전되는 한 쌍의 도전성 슬립링(111)을 통해 외부 전원을 상기 회전체 상에 접속되어 테스트되는 반도체 소자 등의 대상물에 인가하게 된다.The outer surface of each of the pair of conductive slip rings 111 is in contact with the brushes 122 arranged in both sides to contact the external power source through a pair of conductive slip rings 111 that are rotated together when the rotating body is rotated. It is applied to an object, such as a semiconductor element, connected and tested on the rotating body.

이때, 상기 한 쌍의 도전성 슬립링(111)은 계속되는 회전에 의해 반복적으로 (+) 전류가 통하는 브러쉬(122)들 및 (-) 전류가 통하는 브러쉬(122)들과 교대로 접촉되므로, 상기 회전체 상에 접속된 반도체 소자 등의 대상물로 전원이 인가되었다 차단되었다를 반복함으로써 테스트 대상물에의 극성 변화를 감지할 수 있게 된다.
In this case, the pair of conductive slip rings 111 are alternately contacted with the brushes 122 through which positive current flows and the brushes 122 through which negative current flows through repeated rotation. It is possible to detect a change in the polarity of the test object by repeating that the power is applied to the object such as a semiconductor element connected on the whole and shut off.

상기와 같은 구조의 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체(100)에 의하면, 도전성 슬립링(111)이 한 쌍이 구비되고, 서로 이격된 상태로, 각각 서로 다른 전류가 흐르므로, 180도 회전될 때마다 한 쌍의 도전성 슬립링(111) 각각에 흐르는 전류의 극성이 바뀌게 되어 대상물을 회전시키면서 극성 변화에 대한 테스트를 수행할 수 있는 장점을 가진다.According to the slip ring assembly 100 for the polarity test device having the above structure, a pair of conductive slip ring 111 is provided, spaced apart from each other, so that each different current flows, each time it is rotated 180 degrees Since the polarity of the current flowing through each of the pair of conductive slip rings 111 is changed, the polarity change can be performed while the object is rotated.

또한, 도전성 슬립링(111)이 합금으로 형성됨으로써, 분당 3000rpm 이상으로 회전 시 종래 구리 또는 구리에 은 도금된 것보다 마찰 저항이 감소되어 전기 전도성 향상 및 전기적인 노이즈를 차폐할 수 있는 장점이 있다.In addition, since the conductive slip ring 111 is formed of an alloy, the frictional resistance is reduced compared to the conventional copper or copper plated silver when rotating at 3000 rpm or more, thereby improving electrical conductivity and shielding electrical noise. .

또한, 상기 합금 상에 니켈-인을 도금하여 강도를 증가시킬 수 있고, 그 위에 은을 도금함으로써 전기 전도성을 향상시킬 수 있다.In addition, it is possible to increase the strength by plating nickel-phosphorus on the alloy, it is possible to improve the electrical conductivity by plating silver thereon.

또한, 브러쉬(122)를 복수개 구비하여 브러쉬(122)에 가해지는 텐션을 분산하고, 도전성 슬립링(111)의 계속적인 고속 회전에 의하여 도전성 슬립링(111)에 접촉된 브러쉬(122)들의 파손에 의한 전기적 접속이 끊어지는 것을 방지하기 위해 상하로 복수개의 단으로 브러쉬(122)를 배치함으로써, 부분적으로 브러쉬가 파손되더라도 대상물의 극성 테스트에 지장을 주지 않는 장점이 있다.
In addition, a plurality of brushes 122 are provided to disperse the tension applied to the brushes 122, and the brushes 122 that are in contact with the conductive slip rings 111 are damaged by continuous high speed rotation of the conductive slip rings 111. By arranging the brushes 122 in a plurality of stages up and down in order to prevent the electrical connection from being broken, there is an advantage that the polarity test of the object is not disturbed even if the brushes are partially broken.

100... 슬립링 조립체
110... 슬립링부
111... 도전성 슬립링
112... 절연성 베리어
120... 브러쉬부
121... 홀더
122... 브러쉬100 ... slip ring assembly
110 ... slip ring
111 ... conductive slip ring
112. Insulating Barrier
120 ... Brush
121 ... holder
122 ... Brush

Claims (5)

반원의 링 형상으로 서로 양단부가 이격된 상태로 마주하는 한 쌍의 도전성 슬립링 및 상기 한 쌍의 도전성 슬립링 상하면에 결합되는 한 쌍의 절연성 베리어를 가지고, 극성 테스트 장치의 회전체에 결합되어 상기 회전체와 전기적으로 연결되는 슬립링부; 및
외부 전원과 연결된 홀더 및 상기 외부 전원과 통전되도록 상기 홀더에 결합되며, 상기 도전성 슬립링에 접촉되는 브러쉬를 가진 브러쉬부;를 포함하는 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체.
It has a pair of conductive slip rings facing each other in a semi-circular ring shape with both ends spaced apart from each other, and a pair of insulating barriers coupled to upper and lower surfaces of the pair of conductive slip rings, and coupled to a rotating body of the polarity test apparatus. A slip ring electrically connected to the rotating body; And
And a brush portion coupled to the holder so as to be electrically connected to a holder connected to an external power source and having a brush in contact with the conductive slip ring.
청구항 1에 있어서,
상기 브러쉬는 상기 홀더에 상하의 복수개의 단으로 배치되며, 각 단에 복수개가 형성되는 것을 특징으로 하는 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체.
The method according to claim 1,
The brush is disposed in the holder in a plurality of upper and lower stages, characterized in that the plurality is formed in each stage slip ring assembly for the test device.
청구항 1에 있어서,
상기 도전성 슬립링은 파라듐(Pd)과, 금(Au)과, 은(Ag) 및 구리(Cu)를 포함하는 합금인 것을 특징으로 하는 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체.
The method according to claim 1,
And the conductive slip ring is an alloy comprising palladium (Pd), gold (Au), silver (Ag), and copper (Cu).
청구항 3에 있어서,
상기 도전성 슬립링은 상기 합금 상에 니켈-인(Ni-P) 및 은(Ag)이 순차적으로 도금된 것을 특징으로 하는 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체.
The method according to claim 3,
The conductive slip ring is a slip ring assembly for the polarity test device, characterized in that the nickel-phosphorus (Ni-P) and silver (Ag) is sequentially plated on the alloy.
청구항 4에 있어서,
상기 니켈-인(Ni-P) 및 상기 은(Ag)의 도금 두께비는 2:1인 것을 특징으로 하는 극성 테스트 장치용 슬립링 조립체.
The method according to claim 4,
And the plating thickness ratio of the nickel-phosphorus (Ni-P) and the silver (Ag) is 2: 1.
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KR20040013846A (en) * 2002-08-08 2004-02-14 이민호 fiber products for emitting far infrared ray and method for making the same
KR200413846Y1 (en) 2006-01-24 2006-04-11 소재춘 The structure of the slip ring combined
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