KR101003066B1 - 액정 글래스 기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치 - Google Patents

액정 글래스 기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101003066B1
KR101003066B1 KR1020100070753A KR20100070753A KR101003066B1 KR 101003066 B1 KR101003066 B1 KR 101003066B1 KR 1020100070753 A KR1020100070753 A KR 1020100070753A KR 20100070753 A KR20100070753 A KR 20100070753A KR 101003066 B1 KR101003066 B1 KR 101003066B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
dust cover
golf tee
susceptor
glass substrate
sliding body
Prior art date
Application number
KR1020100070753A
Other languages
English (en)
Inventor
류자호
김용혁
Original Assignee
(주)거성
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)거성 filed Critical (주)거성
Priority to KR1020100070753A priority Critical patent/KR101003066B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101003066B1 publication Critical patent/KR101003066B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

액정 글래스 기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치가 개시된다. 본 발명은, 골프티(10); 원통 뚜껑형상의 부재로서, 상부에 상기 골프티가 통과하기 위한 골프티통과홀(22)이 형성된 상부더스트덮개(20); 원통형상의 부재로서, 중앙에 세로방향으로 상기 골프티가 통과하기 위한 골프티연장홀(42)이 형성된 하부더스트덮개(40); 및 원통형상의 부재로서, 상기 상부더스트덮개(20) 및 하부더스트덮개(40)의 사이에 위치하고, 내주면에 상기 골프티의 연장방향과 평행하게 배치된 슬라이딩볼(32)을 포함하는 중앙슬라이딩몸체(30)를 포함하고, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 내주면은 상기 상부더스트덮개(20) 및 하부더스트덮개(40)의 내주면보다 내측에 위치하고, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 상부의 외주면과 상기 상부더스트덮개(20)의 하부의 내주면이 체결되고, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 하부의 외주면과 상기 하부더스트덮개(40)의 상부의 내주면이 체결되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 상기 중앙슬라이딩몸체의 내부가 상기 리프팅장치의 외부와 차폐되어 외부의 파티클이 상기 슬라이딩볼(32)로의 접근이 방지되어 골프티파손율이 감소한다.

Description

액정 글래스 기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치{Apparatus for lifting a LCD glass substrate in susceptor of LCD glass substrate}
본 발명은 액정 글래스 기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 서스셉터에서 발생하는 금속성 파티클의 리프팅장치 내부로의 유입 및 융착이 방지됨으로써 골프티의 상하운동의 방해현상 및 골프티의 파손현상이 방지되는 액정 글래스 기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치에 관한 것이다.
도 1a 는 액정글래스기판을 운반하는 서스셉터를 나타내는 도면이고, 도 1b 내지 1d 는 도 1a 의 서스셉터에 부착된 종래의 리프팅장치를 나타내는 도면이고, 도 1e 는 종래의 리프팅장치의 롤러에 금속성 파티클이 유입 및 유착된 모습을 촬상한 도면이다.
도 1a에서, 서스셉터(susceptor, 1)는 LCD 장치를 제조하는 공정에 있어서 액정 글래스 기판을 운반하는 도구이다. 서스셉터(1)는 평판형상의 부재로서 금속성재료로 형성된다. 서스셉터(1)의 외곽에는 골프티홀(7)이 형성되어 있고, 골프티홀(7)에는 리프팅장치(2) 및 골프티(3)가 설치되어 있다. 골프티(3)는 막대형상의 부재로서 리프팅장치(2)의 내부에서 활주하여 상하운동한다. 상부로 이동된 골프티(3)는 액정글래스기판을 지지하여 액정글래스기판을 서스셉터(1)의 상부면으로부터 더 상부로 이동시킴으로써 액정글래스기판을 서스셉터(1)로부터 이탈시킨다.
도 1b 내지 1d에서, 리프팅장치(2)는 내부에 부싱롤러(4)가 형성되어 있으며, 부싱롤러(4)는 부싱롤러홀(5)에 삽입되어 골프티(3)를 수평적으로 다방면에서 지지한다. 골프티(3)는 골프티부싱홀(6)의 내부를 통과하며, 부싱롤러(4)는 부싱롤러축(61)을 통해 리프팅장치(2)에 고정된다.
그러나, 도 1a 내지 1d와 같은 종래의 리프팅장치에 의하면, 서스셉터(1)에서 발생하는 금속성 파티클이 부싱롤러(4)에 유입 및 융착되어 골프티(3)의 파손현상이 발생한다는 문제점이 있다.
도 1e 는 종래의 리프팅장치의 롤러에 금속성 파티클이 유착된 현상을 나타내는 도면이다.
종래의 리프팅장치(2)는 부싱롤러(4)가 부싱롤러홈(5)에 위치하고, 부싱롤러는 리프팅장치의 내외부 즉 서스셉터와 연통되어 있다. 서스셉터는 특성상 금속성 파티클이 많이 발생한다. 따라서 결국 부싱롤러는 서스셉터에서 발생한 금속성 파티클에 노출되어 있다. 금속성 파티클이 부싱롤러(4)의 면으로 유입되고 융착되면, 골프티(3)가 부싱롤러(4)와 접하는 면이 평활하지 않게 되어, 결국 골프티부싱홀(6)의 내부에서 골프티(3)는 완전한 수직운동을 못하게 되고, 결국 완전하게 액정글래스기판을 수직으로 지지하지 못하는 골프티는 휘어지거나 파손되게 된다. 하나의 골프티의 파손은 액정글래스기판의 수평 불균형 및 위치이탈을 야기하여 결국 액정글래스기판의 파손까지도 야기한다. 즉 파티클이 부싱롤러에 유착됨으로써 골프티의 불완전한 수직운동이 방해되어 골프티 및 더 나아가 액정글래스기판의 파손현상이 발생한다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 부싱롤러에 금속성 파티클이 유착되는 현상을 방지함으로써 골프티 및 액정글래스기판의 파손현상이 방지되는 액정글래스기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치를 제공하는 것이다.
전술한 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 액정 글래스 기판을 지지하는 판상형상의 부재인 서스셉터의 내부에 삽입되는 리프팅장치에 있어서, 상기 액정 글래스 기판을 하부에서 지지하는 막대형상의 부재로서, 상부에 평면방향으로 돌출된 골프티머리부(12)를 포함하는 골프티(10); 원통 뚜껑형상의 부재로서, 상부에 상기 골프티가 통과하기 위한 골프티통과홀(22)이 형성된 상부더스트덮개(20); 원통형상의 부재로서, 중앙에 세로방향으로 상기 골프티가 통과하기 위한 골프티연장홀(42)이 형성된 하부더스트덮개(40); 및 원통형상의 부재로서, 상기 상부더스트덮개(20) 및 하부더스트덮개(40)의 사이에 위치하고, 내주면에 상기 골프티의 연장방향과 평행하게 배치된 슬라이딩볼(32)을 포함하는 중앙슬라이딩몸체(30)를 포함하고, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 내주면은 상기 상부더스트덮개(20) 및 하부더스트덮개(40)의 내주면보다 내측에 위치하고, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 상부의 외주면과 상기 상부더스트덮개(20)의 하부의 내주면이 체결되고, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 하부의 외주면과 상기 하부더스트덮개(40)의 상부의 내주면이 체결됨으로써, 상기 중앙슬라이딩몸체의 내부가 상기 리프팅장치의 외부와 차폐되어 외부의 파티클이 상기 슬라이딩볼(32)로의 접근이 방지되는 것을 특징으로 한다.
일 실시예에서, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 내주면에는 수평방향으로 환형으로 대칭으로 배열되고 수직방향으로 상기 골프티와 나란하에 연장된 슬라이딩볼삽입홈(34)을 포함하고, 상기 슬라이딩볼(32)은 상기 슬라이딩볼삽입홈(34)의 내부에 위치하고, 상기 슬라이딩볼삽입홈(34)은 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 상부와 하부에 대칭적으로 2개의 장소에 위치하는 것을 특징으로 한다.
일 실시예에서, 상기 하부더스트덮개(40)의 골프티연장홀(42)이 상기 하부더스트덮개(40)의 하부면과 만나는 지점은 하부방향으로 진행할수록 상기 골프티연장홀(42)의 직경이 증가하도록 곡면지어 경사지게 형성된 것을 특징으로 한다.
일 실시예에서, 상기 하부더스트덮개(40)의 외부면에 위치하며 상기 하부더스트덮개(40)의 전체를 덮는 뚜껑형상의 부재인 서스셉터고정덮개(50)를 더 포함하고, 상기 서스셉터고정덮개(50)는, 하부면의 중앙에 상기 골프티연장홀(42)과 연통된 서스셉터고정덮개홀(52)을 포함하고, 상기 서스셉터의 하부면과 나사결합하기 위한 나사결합홀(54)이 형성된 나사날개편(56)을 이용하여 상기 서스셉터의 하부면과 체결되어 고정되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 서스셉터고정덮개홀(52)의 직경은 상기 골프티(10)의 외경보다는 크고, 상기 골프티연장홀(42)의 직경보다는 작은 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 본 발명의 서스셉터용 리프팅장치를 구성하는 부분을 3개부분으로 분리하고, 이 3개의 분리부분은 결합부분이 완전히 외부와 차폐하는 구조를 취함으로써, 외부의 파티클이 내부로 인입할 수 없기 때문에 파티클 유입 및 유착현상이 방지되어 골프티의 파손현상이 방지된다.
도 1a 는 액정글래스기판을 운반하는 서스셉터를 나타내는 도면이다.
도 1b 내지 1d 는 도 1a 의 서스셉터에 부착된 종래의 리프팅장치를 나타내는 도면이다.
도 1e 는 종래의 리프팅장치의 롤러에 금속성 파티클이 유입 및 유착된 모습을 촬상한 도면이다.
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 서스셉터용 리프팅장치(100)를 나타내는 분해사시도 및 측단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 서스셉터용 리프팅장치(100)의 수평단면도로서, 중앙슬라이딩몸체의 슬라이딩볼이 위치한 곳에서의 여러 직경들의 위치관계를 나타내는 도면이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 효과를 나타내는 도면으로서 외부와 완전히 차폐된 슬라이딩 볼을 나타내는 투명사시도 및 측단면도이다.
도 7a 내지 7d는 본 발명의 더스트덮개와 몸체가 핀결합하는 실시예를 나타내는 도면이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 서스셉터용 리프팅장치(100)를 나타내는 분해사시도 및 측단면도이다.
본 발명에 따른 서스셉터용 리프팅장치(100)는 골프티(10), 상부더스트덮개(20), 중앙슬라이딩몸체(30), 하부더스트덮개(40)를 포함한다.
골프티(10)는 상기 액정 글래스 기판을 하부에서 지지하는 막대형상의 부재로서, 상부에 평면방향으로 돌출된 골프티머리부(12)를 포함한다. 액정글래스기판은 골프티머리부(12)위에 놓여지며, 골프티(10)는 후술할 중앙슬라이딩몸체(30)의 내부에서 상하운동한다.
상부더스트덮개(20)는, 원통 뚜껑형상의 부재로서, 상부에 상기 골프티가 통과하기 위한 골프티통과홀(22)이 형성되어 있다. 상부더스트덮개(20)는 후술할 중앙슬라이딩몸체(30)의 상부와 결합한다.
하부더스트덮개(40)는, 원통형상의 부재로서, 중앙에 세로방향으로 상기 골프티가 통과하기 위한 골프티연장홀(42)이 형성되어 있다.
중앙슬라이딩몸체(30)는, 원통형상의 부재로서, 상기 상부더스트덮개(20) 및 하부더스트덮개(40)의 사이에 위치하고, 내주면에 상기 골프티의 연장방향과 평행하게 배치된 슬라이딩볼(32)을 포함한다.
본 발명에서, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 내주면은 상기 상부더스트덮개(20) 및 하부더스트덮개(40)의 내주면보다 내측에 위치한다.
또한 본 발명에서, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 상부의 외주면과 상기 상부더스트덮개(20)의 하부의 내주면이 체결되고, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 하부의 외주면과 상기 하부더스트덮개(40)의 상부의 내주면이 체결된다. 체결방법은 나사결합, 핀결합 및 볼트결합등이 가능하다. 이러한 결합관계에 의해, 상기 중앙슬라이딩몸체의 내부가 상기 리프팅장치의 외부와 차폐되어 외부의 파티클이 상기 슬라이딩볼(32)로의 접근이 방지된다.
일 실시예에서 중앙슬라이딩몸체(30)의 상부의 외주면과 상기 상부더스트덮개(20)의 하부의 내주면이 체결 및 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 하부의 외주면과 상기 하부더스트덮개(40)의 상부의 내주면이 체결은 나사결합에 의해 형성된다. 상부 및 하부 더스트덮개의 내측면 및 몸체의 외측면이 나사결합한다.
이 실시예에 의하면, 몸체의 내측 즉 슬라이딩볼이 위치하는 공간과 몸체의 외측 즉 서스셉터의 공간이 완전히 밀폐되어 파티클이 슬라이딩볼에 유착될 확률이 전혀 제거된다.
일 실시예에서, 중앙슬라이딩몸체(30)의 상부의 외주면과 상기 상부더스트덮개(20)의 하부의 내주면이 체결 및 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 하부의 외주면과 상기 하부더스트덮개(40)의 상부의 내주면이 체결은 핀결합 혹은 볼트결합으로 형성된다. 즉 도 7a 내지 7d에 나타난 바와 같이, 상부더스트덮개의 외측에서 내측방향으로 관통된 핀홀(701) 및 상기 핀홀(701)과 연통되어 상기 몸체에 형성된 핀고정홀(702)을 차례로 핀(711) 혹은 볼트가 통과함으로써 상기 상부더스트덮개와 몸체가 고정된다. 하부더스트덮개와 몸체의 경우도 마찬가지이다.
본 실시예에 의하면, 나사결합으로 형성하였을 때 발생가능한 몸체와 상부더스트덮개사이 및 몸체와 하부더스트덮개사이에 존재하는 트러스트(trust)문제가 발생하지 않는다. 즉 몸체의 외측 및 더스트덮개의 내측에 형성된 나사면은 완전한 수평이 아니고 경사질 수밖에 없는데 이들이 결합하면 몸체와 더스트덮개사이에 미세한 경사틀림 즉 트러스트가 발생할 수 밖에 없다. 따라서 본 실시예에서는 핀 및 볼트를 이용하여 몸체와 더스트덮개를 체결함으로써 나사결합시 발생가능한 경사틀림현상을 방지하면서도 몸체를 더스트덮개에 용이하게 고정시킬 수 있도록 하였다.
한편, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 내주면에는 수평방향으로 환형으로 대칭으로 배열되고 수직방향으로 상기 골프티와 나란하에 연장된 슬라이딩볼삽입홈(34)을 포함하고, 상기 슬라이딩볼(32)은 상기 슬라이딩볼삽입홈(34)의 내부에 위치한다.
일 실시예에서, 슬라이딩볼삽입홈(34)은 수직방향으로 연장되며, 수직방향으로 연장되는 슬라이딩볼삽입홈(34)은 수평방향으로 3방향, 5방향 혹은 그 이상의 대칭적인 구조로 위치할 수 있다. 즉 슬라이딩삽입홈은 수평방향으로 3,5,7방향등의 대칭적인 구조를 가질수 있다. 또한, 슬라이딩삽입홈에 삽입되는 슬라이딩볼의 개수는 1개부터 N 개까지 다양한 실시예가 가능하다. 이렇게 함으로써, 슬라이딩볼이 골프티를 수평방향 및 수직방향에 모두 대칭적이고 안정적으로 지지할 수 있다. 도 2의 실시예는 수평방향으로 5방향, 수직방향으로 3열구조를 가지는 슬라이딩볼의 구조를 나타낸다.
일 실시예에서, 슬라이딩볼 삽입홈(34)은 수직방향으로 배열되며, 그 길이(슬라이딩볼삽입홈의 깊이)는 상기 슬라이딩볼 삽입홈(34)에 포함되는 슬라이딩볼(32)의 직경 r * 슬라이딩볼의 개수 n 도 작고, 슬라이딩볼(32)의 직경 r * 슬라이딩볼의 개수 (n-1) 보다 크다. 이는 슬라이딩볼삽입홈(34)의 깊이를 슬라이딩볼의 전체 크기보다 작게 형성함으로써 슬라이딩볼을 용이하게 삽입 및 고정하기 위함이고, 상부 및 하부더스트덮개(20,40)에 의해 슬라이딩볼을 고정하는 위치관계를 형성함으로써 중앙슬라이딩몸체(30), 상부 및 하부더스트덮개(20,40)을 보다 간단한 형상으로 제조하여 제조단가를 감소시키기 위함이다.
또한 일 실시예에서, 슬라이딩볼삽입홈(34)은 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 상부와 하부에 대칭적으로 2개의 장소에 위치하는 것을 특징으로 한다. 이는 골프티(10)가 수평적으로 지지하는 지지점이 상하 균형을 이루도록 함으로써 골프티(10)의 상하운동을 더욱 원활하게 하기 위함이다. 특히 슬라이딩삽입홈(34)은 중앙슬라이딩몸체(30)의 상부 및 하부 말단에 위치시키는 것이 바람직하다.
한편, 슬라이딩볼삽입홈 및 슬라이딩볼의 수평적 배열은 골프티(10)를 수평적으로 대칭적으로 지지할 수 있는 한 어떠한 배열이라도 가능하다. 도 2의 실시예에서는 수평적으로 5개의 슬라이딩볼삽입홈(34)을 배열하였지만, 수평적으로 대칭적인 한 2,3,4,6,7,8... 의 어떠한 수의 조합도 가능하다.
도 4는 본 발명에 따른 서스셉터용 리프팅장치(100)의 수평단면도로서, 중앙슬라이딩몸체의 슬라이딩볼이 위치한 곳에서의 여러 직경들의 위치관계를 나타내는 도면이다.
도 4에서, 도면부호 401,402,403 은 각각 골프티(10)의 외주면, 중앙슬라이딩몸체(30)의 내주면, 중앙슬라이딩몸체(30)의 중심으로부터 슬라이딩볼삽입홈(34)의 저면까지를 반지름으로 한 원주면을 의미한다.
즉 슬라이딩볼(32)은 원주면(403)을 저면으로하여 원주면(402)로부터 높이 h1 만큼 돌출된 상태로 골프티의 외주면(401)과 접하고 있다.
따라서, 슬라이딩볼(32)의 돌출된 높이 h1 에의해 골프티(10)의 외주면(401)은 중앙슬라이딩몸체의 내주면(402)에 접촉하지 않은 상태에서 슬라이딩볼(32)의 상부에서 활주한다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 효과를 나타내는 도면으로서 외부와 완전히 차폐된 슬라이딩 볼을 나타내는 투명사시도 및 측단면도이다.
도 5 및 도 6에 나타난 바와 같이, 본 발명의 상부더스트덮개,중앙슬라이딩몸체, 하부더스트덮개의 결합구조에 의해 외부의 파티클이 중앙슬라이딩몸체(30)의 내부로 들어올 틈이 존재하지 않게 된다. 이러한 틈의 비존재는 다음 2가지에 의해 달성된다. 첫째 중앙슬라이딩몸체의 중앙슬라이딩몸체의 상부의 외주면과 상부더스트덮개의 하부의 내주면이 나사결합하는 구조이다. 이 구조에 의해 도 5,6의 틈 A1 이 완전히 차폐된다. 둘째는 중앙슬라이딩몸체의 하부의 외주면과 하부더스트덮개의 상부의 내주면이 나사결합하는 구조이다. 이 구조에 의해 도 5,6의 틈 A2 가 완전히 차폐된다. 결국 본 발명의 리프팅장치의 측면방향으로 진입하는 파티클은 완전히 차폐가능하다.
물론 본 발명의 수직방향으로 진입하는 파티클은 여전히 차폐되지 않는다. 예를 들면 본 발명의 리프팅장치 상부인 B1에서 진입하는 파티클이나 하부인 B2에서 진입하는 파티클은 여전히 차폐되지 않는다. 그러나, 첫째 B1에서 진입하는 파티클은 골프티의 머리부에 의해 거의 대부분이 차폐되고, 둘째 하부의 B2에서 진입하는 파티클은 B2 부분이 서스셉터로부터 멀리 이격되어 있기 때문에 그 양이 많지 않아서 파티클로 인한 부정적인 영향이 거의 없다. 결국 종래의 문제점은 측면방향 및 종래의 리프팅장치의 개통된 홈에서 발생하는 파티클의 유입 및 유착현상을 방지하기 위한 것이고 이것이 더욱 심각한 문제였으나, 본 발명은 이러한 점을 완벽히 해결하였다.
본 발명의 일 실시예에서, 도 2,3 및 5에 나타난 바와 같이, 상기 하부더스트덮개(40)의 골프티연장홀(42)이 상기 하부더스트덮개(40)의 하부면과 만나는 지점은 하부방향으로 진행할수록 상기 골프티연장홀(42)의 직경이 증가하도록 형성되고 바람직하게는 곡면지어 경사지게 형성된 것을 특징으로 한다. 즉 도 5에서 골프티연장홀(42)의 하부직경 r2 는 상부직경 r1 보다 크다. 즉 상부직경 r1 으로부터 하부직경 r2 까지의 경사면은 경사각도 a 만큼 경사지며, 더욱 바람직하게는 곡면형상으로 형성된다.
이 실시예에 의하면, 골프티(10)가 파손되어 교체시에 골프티(10)의 유입위치인 하부더스트덮개(40)의 입구쪽에 유격을 둠으로써, 보다 용이하게 파손된 골프티가 제거될 수 있다. 특히 골프티의 파손시에는 파손잔여물등에 의해 중앙슬라이딩몸체(30)의 내면과의 마찰등이 증가하는데 상기와 같이 골프티가 회동가능하도록하는 공간의 유격을 형성시킴으로써 마찰을 줄이고 원활하게 제거할수 있다.
본 발명의 다른 실시예에서, 도 3에 나타난 바와 같이, 본 발명에 따른 서스셉터용 리프팅장치(100)는, 상기 하부더스트덮개(40)의 외부면에 위치하며 상기 하부더스트덮개(40)의 전체를 덮는 뚜껑형상의 부재인 서스셉터고정덮개(50)를 더 포함한다.
한편 상기 서스셉터고정덮개(50)는, 하부면의 중앙에 상기 골프티연장홀(42)과 연통된 서스셉터고정덮개홀(52)을 포함하고, 상기 서스셉터의 하부면과 나사결합하기 위한 나사결합홀(54)이 형성된 나사날개편(56)을 이용하여 상기 서스셉터의 하부면과 체결되어 고정된다.
이 실시예에 의하면, 본 발명에 따른 리프팅장치가 서스셉터(1)에 보다 견고히 고정가능하다.
또한 일 실시예에서, 상기 서스셉터고정덮개홀(52)의 직경은 상기 골프티(10)의 외경보다는 크고, 상기 골프티연장홀(42)의 직경보다는 작은 것을 특징으로 한다. 이는 서스셉터고정덮개홀(52)의직경을 골프티연장홀(42)의 직경보다 작게함으로써, 동작상태시에 외부의 파티클이 중앙슬라이딩몸체(30)의 내부로 유입되는 것을 방지한다. 한편, 비동작상태시에는 서스셉터고정덮개홀(52)을 제거하면되므로, 서스셉터고정덮개홀(52)의 작은 직경이 골프티의 제거작업을 방해하지는 않는다.
이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 서스셉터용 리프팅장치
10: 골프티 20: 상부더스트덮개
30: 중앙슬라이딩 몸체 40: 하부더스트덮개
50: 서스셉터고정덮개 32: 슬라이딩볼
34:슬라이딩볼삽입홈 42:골프티연장홀
52:서스셉터고정덮개홀

Claims (7)

  1. 액정 글래스 기판을 지지하는 판상형상의 부재인 서스셉터의 내부에 삽입되는 리프팅장치에 있어서,
    상기 액정 글래스 기판을 하부에서 지지하는 막대형상의 부재로서, 상부에 평면방향으로 돌출된 골프티머리부(12)를 포함하는 골프티(10)
    원통 뚜껑형상의 부재로서, 상부에 상기 골프티가 통과하기 위한 골프티통과홀(22)이 형성된 상부더스트덮개(20);
    원통형상의 부재로서, 중앙에 세로방향으로 상기 골프티가 통과하기 위한 골프티연장홀(42)이 형성된 하부더스트덮개(40); 및
    원통형상의 부재로서, 상기 상부더스트덮개(20) 및 하부더스트덮개(40)의 사이에 위치하고, 내주면에 상기 골프티의 연장방향과 평행하게 배치된 슬라이딩볼(32)을 포함하는 중앙슬라이딩몸체(30)를 포함하고,
    상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 내주면은 상기 상부더스트덮개(20) 및 하부더스트덮개(40)의 내주면보다 내측에 위치하고,
    상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 상부의 외주면과 상기 상부더스트덮개(20)의 하부의 내주면이 체결되고, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 하부의 외주면과 상기 하부더스트덮개(40)의 상부의 내주면이 체결됨으로써, 상기 중앙슬라이딩몸체의 내부가 상기 리프팅장치의 외부와 차폐되어 외부의 파티클이 상기 슬라이딩볼(32)로의 접근이 방지되는 것을 특징으로 하는 액정글래스기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 상부의 외주면과 상기 상부더스트덮개(20)의 하부의 내주면의 체결 및 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 하부의 외주면과 상기 하부더스트덮개(40)의 상부의 내주면이 체결은 나사결합인 것을 특징으로 하는 액정글래스 기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 상부의 외주면과 상기 상부더스트덮개(20)의 하부의 내주면의 체결 및 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 하부의 외주면과 상기 하부더스트덮개(40)의 상부의 내주면의 체결은 핀결합인 것을 특징으로 하는 액정글래스 기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 내주면에는 수평방향으로 환형으로 대칭으로 배열되고 수직방향으로 상기 골프티와 나란하게 연장된 슬라이딩볼삽입홈(34)을 포함하고,
    상기 슬라이딩볼(32)은 상기 슬라이딩볼삽입홈(34)의 내부에 위치하고,
    상기 슬라이딩볼삽입홈(34)은 상기 중앙슬라이딩몸체(30)의 상부와 하부에 대칭적으로 2개의 장소에 위치하는 것을 특징으로 하는 액정글래스기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 하부더스트덮개(40)의 골프티연장홀(42)이 상기 하부더스트덮개(40)의 하부면과 만나는 지점은 하부방향으로 진행할수록 상기 골프티연장홀(42)의 직경이 증가하도록 곡면지어 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 액정글래스기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 하부더스트덮개(40)의 외부면에 위치하며 상기 하부더스트덮개(40)의 전체를 덮는 뚜껑형상의 부재인 서스셉터고정덮개(50)를 더 포함하고,
    상기 서스셉터고정덮개(50)는,
    하부면의 중앙에 상기 골프티연장홀(42)과 연통된 서스셉터고정덮개홀(52)을 포함하고,
    상기 서스셉터의 하부면과 나사결합하기 위한 나사결합홀(54)이 형성된 나사날개편(56)을 이용하여 상기 서스셉터의 하부면과 체결되어 고정되는 것을 특징으로 하는 액정글래스기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 서스셉터고정덮개홀(52)의 직경은 상기 골프티(10)의 외경보다는 크고, 상기 골프티연장홀(42)의 직경보다는 작은 것을 특징으로 하는 액정글래스기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치.
KR1020100070753A 2010-07-22 2010-07-22 액정 글래스 기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치 KR101003066B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100070753A KR101003066B1 (ko) 2010-07-22 2010-07-22 액정 글래스 기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100070753A KR101003066B1 (ko) 2010-07-22 2010-07-22 액정 글래스 기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101003066B1 true KR101003066B1 (ko) 2010-12-21

Family

ID=43513205

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100070753A KR101003066B1 (ko) 2010-07-22 2010-07-22 액정 글래스 기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101003066B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170001185A (ko) 2015-06-26 2017-01-04 이태호 글래스 기판을 지지하기 위한 서스셉터용 지지장치
KR101873990B1 (ko) * 2016-06-03 2018-07-04 (주)엘아이엠 증착장비의 서셉터 승강 가이드용 볼 부싱
KR20200066410A (ko) 2018-11-30 2020-06-10 주식회사 와이에스 서스셉터의 글래스 기판 지지용 리프트 핀

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100833315B1 (ko) 2007-04-06 2008-05-28 우범제 리프트 핀 홀더

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100833315B1 (ko) 2007-04-06 2008-05-28 우범제 리프트 핀 홀더

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170001185A (ko) 2015-06-26 2017-01-04 이태호 글래스 기판을 지지하기 위한 서스셉터용 지지장치
KR101873990B1 (ko) * 2016-06-03 2018-07-04 (주)엘아이엠 증착장비의 서셉터 승강 가이드용 볼 부싱
KR20200066410A (ko) 2018-11-30 2020-06-10 주식회사 와이에스 서스셉터의 글래스 기판 지지용 리프트 핀

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102883973B (zh) 薄晶片运载器
KR101003066B1 (ko) 액정 글래스 기판을 지지하는 서스셉터용 리프팅장치
US7304837B2 (en) Housing for a liquid crystal display module
RU2682339C2 (ru) Универсальное колесное устройство и чемодан, снабженный таким устройством
JP2008311351A5 (ko)
CN1852845A (zh) 基片储存盒
JP5579653B2 (ja) ケーブルクランプ及びケーブルクランプの取り付け構造
KR20090056963A (ko) 웨이퍼 카세트
CN1966364A (zh) 输送托盘以及输送系统
JP5936929B2 (ja) ノズルストッカ
US20190139792A1 (en) Wafer container and method for holding wafer
US8210355B2 (en) Tray assembly
CN206918587U (zh) 一种具有防震动功能的显示器底座
CN110504207A (zh) 支撑结构、托盘支撑组件和工艺腔室
JP2010135387A (ja) ウエハ収納容器
CN205855370U (zh) 用于存放基板的卡匣
CN205706790U (zh) 便于固定的管道夹持机构
CN210729361U (zh) 一种适用于遮光处理的水平式离心管振荡盒
CN207698287U (zh) 电路板插架装置
CN207787182U (zh) 用于玻璃盖板加工的定位篮筐
KR101162034B1 (ko) 웨이퍼 캐리어
CN210654289U (zh) 一种包装盒的托盘结构
CN206194713U (zh) 晶圆盒
TW202317746A (zh) 篩選裝置及磁力架
KR102205134B1 (ko) 기판처리챔버 내 이오나이저의 장착구조

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131213

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141209

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151204

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190117

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200116

Year of fee payment: 10