KR101002001B1 - 마스크 입자 제거 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기 EL 소자의 유기물 증착에 사용되는 마스크 상에 부착된 입자를 제거하는 장치에 관한 것으로, 특히 점착제에 입자를 부착시켜 제거하는 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 마스크 입자 제거 장치는, 상기 마스크의 표면에 밀착되어 회전하며 상기 마스크 표면 상의 입자를 제거하도록 표면에 점착제가 도포된 원기둥형의 롤러; 및 상기 롤러의 중심축의 양단에 상기 롤러가 회전 가능하도록 연결되고, 상기 중심축과 소정 거리를 유지한 채로 평행하게 형성된 원통형의 손잡이부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 마스크 입자 제거 장치는 상기 중심축의 양단으로부터 동축으로 연장된 연장축의 양단에 설치되어 회전하는 가이드 휠을 더 포함하되, 상기 가이드 휠의 내측간 거리가 상기 마스크의 폭과 일치하도록 하여 상기 롤러가 상기 마스크의 폭과 평행하게 직진할 수 있도록 가이드하는 것이 바람직하며, 상기 점착제는 상기 마스크를 변형시키지 않도록 점착력이 결정되는 것이 바람직하다.
마스크, 입자, 유기 EL

Description

마스크 입자 제거 장치{Apparatus for removing particle on a mask}
도 1은 유기 EL 소자의 증착 공정에 사용되는 마스크의 사시도.
도 2는 유기 EL 소자의 증착 공정의 개략도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크 입자 제거 장치의 사시도.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크 입자 제거 장치의 평면도.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크 입자 제거 장치에 의한 입자 제거 방법을 도시한 개략도.
본 발명은 유기 EL 소자의 유기물 증착에 사용되는 마스크 상에 부착된 입자를 제거하는 장치에 관한 것으로, 특히 점착제에 입자를 부착시켜 제거하는 장치에 관한 것이다.
유기 EL 소자의 유기물 증착 공정에는 도 1에 도시된 바와 같은 마스크(1)가 사용되며, 유기물은 마스크(1)에 형성된 개구(2)를 통해 도 2에 개략적으로 도시된 방식에 따라 기판(3) 상에 증착된다.
이 과정에서 일부 유기물은 개구(2) 주위에 달라붙게 되고, 이에 따라 개구(2) 크기가 감소되거나 막히게 되어 원활한 증착이 이루어지지 않아 소자 생산 수율이 감소되는 문제점이 발생하며, 이를 방지하기 위하여 마스크(1)는 주기적으로 세정이 되어야만 한다.
증착을 마친 마스크는 세정이 되며, 세정된 마스크는 스톡(stock)챔버에 저장이 된다. 이후에 진행될 증착 공정을 위해, 저장된 마스크는 증착용 챔버로 이송되는데, 이송 과정 또는 증착용 챔버에 장착되는 과정에서 공기 중의 입자들이 마스크 표면에 부착되는 경우가 발생한다. 이러한 경우, 부착된 입자에 의해 개구의 크기가 감소되게 되어 소자의 증착이 원활하게 진행되지 못하는 문제점이 존재한다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 증착용 챔버에 마스크를 장착하기 전에 점착제가 도포된 롤러를 이용하여 마스크에 부착된 입자를 단순한 수작업으로 제거할 수 있는 마스크 입자 제거 장치를 제공하는데 있다.
또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 증착용 챔버 내부에서 점착제가 도포된 플레이트를 이용하여 마스크에 부착된 입자를 제거할 수 있는 마스크 입자 제거 장치를 제공하는데 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 마스크 입자 제거 장치는, 상기 마스크의 표면에 밀착되어 회전하며 상기 마스크 표면 상의 입자를 제거하도록 표면에 점착제가 도포된 원기둥형의 롤러; 및 상기 롤러의 중심축의 양단에 상기 롤러가 회전 가능하도록 연결되고, 상기 중심축과 소정 거리를 유지한 채로 평행하게 형성된 원통형의 손잡이부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 마스크 입자 제거 장치는 상기 중심축의 양단으로부터 동축으로 연장된 연장축의 양단에 설치되어 회전하는 가이드 휠을 더 포함하되, 상기 가이드 휠의 내측간 거리가 상기 마스크의 폭과 일치하도록 하여 상기 롤러가 상기 마스크의 폭과 평행하게 직진할 수 있도록 가이드하는 것이 바람직하며, 상기 점착제는 상기 마스크를 변형시키지 않도록 점착력이 결정되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 다른 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 마스크 입자 제거 장치는, 상기 마스크 표면 상의 입자를 제거하기 위하여 표면에 점착제가 도포된 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 플레이트는 유리 또는 플라스틱으로 이루어진 것이 바람직하고, 상기 점착제는 상기 마스크를 변형시키지 않도록 점착력이 결정되는 것이 바람직하다.
이하 첨부도면을 참조하여 본 발명의 제 1 실시예에 대해 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크 입자 제거 장치에 대한 사시도이다. 제 1 실시예에 따른 마스크 입자 제거 장치는 롤러(10), 손잡이부(20) 및 가이드 휠(30)로 구성된다.
롤러(10)는 원기둥형이며, 그 표면에는 점착제가 도포되어 있다. 점착제는 표면에 코팅되는 것이 가능하다. 롤러의 길이는 마스크(1)에 형성된 개구(2)의 길이와 같거나 긴 것이 바람직하다.
손잡이부(20)는 'ㄷ'자 형태이며, 손잡이(21) 및 연결부(22)로 구성된다. 손 잡이(21)는 롤러의 중심축(11)과 평행하게 위치되며, 작업자가 손으로 잡기 편할 정도의 굵기를 갖는 것이 바람직하다. 연결부(22)는 끝단(22a)이 롤러의 중심축(11)과 회전 가능하도록 연결되며, 손잡이(21)와 롤러의 중심축(11)을 연결한다.
가이드 휠(30)은 롤러(10)의 중심축(11)으로부터 동축으로 연장된 연장축(31)을 중심으로 회전한다. 가이드 휠(30)은 반경이 롤러(10)의 반경보다 마스크(1)의 두께만큼 크도록 형성된다.
가이드 휠(30)의 내측면(31) 간의 거리는 마스크(1)의 폭과 일치하도록 함으로서 롤러(10)를 가이드하도록 한다. 즉, 작업자가 손잡이(21)를 잡고 밀면, 마스크(1)의 가장자리 바깥쪽에 위치하는 가이드 휠(30)은 마스크(1)의 가장자리를 따라 전진하게 되며, 이에 따라 롤러(10)의 방향은 마스크(1)의 폭과 평행한 상태가 유지된다.
도 4는 제 1 실시예에 따른 마스크 입자 제거 장치의 상면도이다. 마스크 입자 제거 장치는 롤러(10)가 마스크(1)상에 올려지도록 장착된다. 가이드 휠(30)은 마스크(1)의 가장자리 바깥쪽에 위치하며, 롤러(10)와는 반경이 마스크(1) 두께만큼 차이가 나므로 롤러(10)는 마스크(1)의 표면에 접촉된 상태로 유지된다.
이러한 상태에서 작업자가 손잡이(21)를 잡고 밀면 마스크(1) 상에 접촉된 채로 롤러(10)가 회전하면서 도면상에 도시된 화살표 방향으로 전진하게 되고, 롤러(10)의 표면에 도포된 점착제에는 마스크(1)에 부착되어 있던 입자들이 달라붙게 되어 마스크(1)의 표면으로부터 입자가 제거된다.
상기 제거 과정에서 롤러(10)에 도포된 점착제와 마스크(1) 표면과의 분리가 마스크(1)의 변형을 가져오지 않을 정도로 분리되는 것이 바람직하며, 이러한 분리가 가능하도록 점착제의 점착력이 결정된다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명의 제 2 실시예에 대해 상세히 설명한다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크 입자 제거 장치에 의한 입자 제거 방법을 도시한 개략도이다. 제 2 실시예에 의한 마스크 입자 제거 장치는 증착용 챔버에서 사용된다.
마스크 입자 제거 장치는 점착제(41)가 도포된 플레이트(40)로 구성된다. 점착제(41)는 플레이트(40)상에 코팅이 되는 것도 가능하다. 증착용 챔버에 마스크(1)가 장착되고, 증착될 기판이 마스크(1) 상에 위치되기 전에 플레이트(40)를 마스크(1)상에 위치시켜(도 5a), 도면에 도시된 화살표 방향으로 이동시켜 마스크(1) 표면에 접촉시킨 후(도 5b), 화살표 방향으로 다시 분리함으로서(도 5c) 마스크(1)상의 입자(P)는 점착제(41)에 달라붙어 마스크(1) 표면으로부터 분리된다.
플레이트(40)는 자중에 의해 마스크(1)를 변형시키는 것을 방지하기 위해 유리 또는 플라스틱으로 이루어진 것이 바람직하며, 점착제(41)의 점착력은 플레이트(40)와의 분리시에 마스크(1)가 변형되지 않도록 결정되는 것이 바람직하다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 마스크 입자 제거 장치는 세정 된 마스크가 증착용 챔버로 이송되는 과정 또는 이송된 이후에 표면에 부착되는 입자를 저렴한 장비로 빠르고 간단하게 제거되도록 함으로서 증착이 원활하게 진행되어 소자 생산 수율이 증가되도록 하는 효과를 갖는다.

Claims (8)

  1. 유기 EL 소자의 증착에 사용되는 마스크의 표면에 부착된 입자를 제거하기 위한 마스크 입자 제거 장치에 있어서,
    상기 마스크의 표면에 밀착되어 회전하며 상기 마스크 표면 상의 입자를 제거하도록 표면에 점착제가 도포된 원기둥형의 롤러; 및
    상기 롤러의 중심축의 양단에 상기 롤러가 회전 가능하도록 연결되고, 상기 중심축과 소정 거리를 유지한 채로 평행하게 형성된 원통형의 손잡이부를 포함하고,
    상기 마스크 입자 제거 장치는,
    상기 중심축의 양단으로부터 동축으로 연장된 연장축의 양단에 설치되어 회전하는 가이드 휠을 더 포함하되, 상기 가이드 휠의 내측간 거리가 상기 마스크의 폭과 일치하도록 하여 상기 롤러가 상기 마스크의 폭과 평행하게 직진할 수 있도록 가이드하는 것을 특징으로 하는 마스크 입자 제거 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 유기 EL 소자의 증착에 사용되는 마스크의 표면에 부착된 입자를 제거하기 위한 마스크 입자 제거 장치에 있어서,
    상기 마스크 표면 상의 입자를 제거하기 위하여 표면에 점착제가 도포된 플레이트를 포함하고,
    상기 플레이트는
    유리 또는 플라스틱으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스크 입자 제거 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 손잡이부는 'ㄷ'자 형태인 것을 특징으로 하는 마스크 입자 제거 장치.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 점착제는 상기 플레이트 상에 코팅된 것을 특징으로 하는 마스크 입자 제거 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2000507385A (ja) * 1996-12-30 2000-06-13 サムスン ディスプレイ デヴァイスィス カンパニー リミテッド シャドーマスク除じん方法および装置
KR200199845Y1 (ko) * 2000-05-10 2000-10-16 홍대식 청정실용 신발 바닥 먼지제거 메트

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