KR100990747B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 대상물이 안착되는 챔버와;상기 챔버의 상부에서 결합되어 내부 공간을 형성하고, 상기 대상물을 가열하는 적어도 하나의 열원이 장착되는 히팅블럭과;상기 챔버와 상기 히팅블럭 사이에 구비되는 석영창과;상기 챔버의 하부면을 관통하여 상기 내부 공간에 돌출되는 몸체의 외주면에 반사막이 형성되며, 상기 대상물에서 방출되는 방사선을 감지하여 상기 대상물의 온도를 측정하고, 상기 몸체의 일측에서 가스를 통과시켜 상기 방사선의 입사 경로상에 이물질의 생성을 방지하는 온도 측정 장치; 및상기 챔버의 외부 일측에 마련되어 상기 내부 공간 및 상기 온도 측정 장치의 내부로 가스를 공급하는 가스공급부;를 포함하는 기판 처리 장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 온도 측정 장치는,상기 대상물에서 방출되는 방사선을 입사받고, 외주면에 상기 반사막이 형성되는 튜브형 라드와;상기 튜브형 라드의 하단에 결합되고 상기 방사선을 전달하는 광학 파이버와;상기 튜브형 라드와 상기 광학 파이버 사이에 구비되는 투과창과;상기 튜브형 라드 및 상기 광학 파이버의 연결부위를 감싸는 라드연결몸체; 및상기 광학 파이버에서 전달된 방사선을 통해 상기 대상물의 온도를 측정하는 고온계;를 포함하고,상기 투과창의 상면과 접하는 상기 튜브형 라드의 하단면 및 상기 라드연결몸체에는 상기 가스공급부에서 공급된 가스가 통과하는 가스분사통로가 적어도 하나 이상 수평으로 형성되는 기판 처리 장치.
- 청구항 2에 있어서,상기 챔버의 내측 하부면에는 상기 챔버의 하부면을 관통하여 돌출되는 상기 튜브형 라드를 감싸 보호하는 피팅고정판이 구비되는 기판 처리 장치.
- 청구항 2에 있어서,상기 라드연결몸체는,상기 튜브형 라드가 수직으로 삽입되도록 상하 관통되고, 상기 가스분사통로가 형성되는 상부 라드연결몸체와;상기 상부 라드연결몸체와 상기 튜브형 라드 사이에 결합되는 제1기밀수단과;상기 상부 라드연결몸체의 하부에 결합되어 상기 광학 파이버가 수직으로 삽입되도록 상하로 관통되며 상기 투과창이 안착되는 안착홈이 상단면에 형성되는 하부 라드연결몸체와;상기 투과창의 둘레를 따라 상기 투과창과 상기 안착홈 사이에 결합되는 제2기밀수단; 및상기 상부 라드연결몸체 및 상기 하부 라드연결몸체의 결합 부위를 둘러싸고, 상기 가스분사통로의 내부 압력을 조절하는 압력제어블럭;을 포함하는 기판 처리 장치.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020090112269A KR100990747B1 (ko) | 2009-11-19 | 2009-11-19 | 기판 처리 장치 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020090112269A KR100990747B1 (ko) | 2009-11-19 | 2009-11-19 | 기판 처리 장치 |
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KR1020090059597A Division KR100954859B1 (ko) | 2009-07-01 | 2009-07-01 | 온도 측정 장치 |
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KR100990747B1 true KR100990747B1 (ko) | 2010-10-29 |
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KR1020090112269A KR100990747B1 (ko) | 2009-11-19 | 2009-11-19 | 기판 처리 장치 |
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KR (1) | KR100990747B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101820098B1 (ko) | 2016-03-31 | 2018-01-19 | 참엔지니어링(주) | 증착 장치 및 증착 방법 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008182228A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-08-07 | Applied Materials Inc | 熱処理チャンバにおけるウエハ支持体の温度測定及び制御 |
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2009
- 2009-11-19 KR KR1020090112269A patent/KR100990747B1/ko active IP Right Grant
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008182228A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-08-07 | Applied Materials Inc | 熱処理チャンバにおけるウエハ支持体の温度測定及び制御 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101820098B1 (ko) | 2016-03-31 | 2018-01-19 | 참엔지니어링(주) | 증착 장치 및 증착 방법 |
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