KR100990133B1 - 오엘이디 자동입력파괴장치 - Google Patents

오엘이디 자동입력파괴장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100990133B1
KR100990133B1 KR1020100060608A KR20100060608A KR100990133B1 KR 100990133 B1 KR100990133 B1 KR 100990133B1 KR 1020100060608 A KR1020100060608 A KR 1020100060608A KR 20100060608 A KR20100060608 A KR 20100060608A KR 100990133 B1 KR100990133 B1 KR 100990133B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chamber
oled
flange
cell
unit
Prior art date
Application number
KR1020100060608A
Other languages
English (en)
Inventor
윤석래
이세희
박원영
이규찬
Original Assignee
주식회사 이엘
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 이엘 filed Critical 주식회사 이엘
Priority to KR1020100060608A priority Critical patent/KR100990133B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100990133B1 publication Critical patent/KR100990133B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N7/00Analysing materials by measuring the pressure or volume of a gas or vapour
    • G01N7/14Analysing materials by measuring the pressure or volume of a gas or vapour by allowing the material to emit a gas or vapour, e.g. water vapour, and measuring a pressure or volume difference

Abstract

본 발명은 OLED 자동입력 파괴장치에 관한 것으로, 챔버 내부에 OLED 셀을 한번에 8개까지 넣고, 챔버 내부의 대기압 가스를 제거하여 진공상태로 만들며, 모터 컨트롤러에 의해 임의의 시간별로 순차적 OLED 셀을 파괴하며, OLED 내부에 주입된 가스 성분 조성의 변화와 가스량을 알기 위한 것이다.
상기 본 발명의 OLED 자동입력 파괴장치는 진공상태의 챔버에 게이지가 구비되어 있어 직접연결이 가능한 포트를 제공하여 미량의 가스라도 압력의 변화를 정확히 측정할 수 있도록 제공하는 효과와 8개의 OLED 셀을 한번에 넣을 수 있기 때문에 초기 한번만 대기압의 가스를 제거하면, 하나의 OLED 셀에서 발생한 미량의 가스만큼을 제거하는 시간만 소요되기 때문에 매번 대기압의 가스를 제거해야 하는 경우 보다 상당한 시간을 단축하는 효과를 제공한다.

Description

오엘이디 자동입력파괴장치{OLED appratus providing automatically input and break }
본 발명은 OLED(organic light-emitting diode) 자동입력 파괴장치에 관한 것으로, 챔버 내부에 OLED 셀을 한번에 8개까지 넣고, 챔버 내부의 대기압 가스를 제거하여 진공상태로 만들며, 모터 컨트롤러에 의해 임의의 시간별로 순차적 OLED 셀을 파괴하며, OLED 내부에 주입된 가스 성분 조성의 변화와 가스량을 알기 위한 것이다.
현재 OLED 셀의 가스량을 분석하기 위해 수동방식으로 OLED 셀을 한개를 챔버에 넣고 파괴시켜, OLED 셀 내부에 구비된 가스량을 측정하고 있다.
상기 OLED 셀의 내부가스 조성 및 정량분석을 하기 위해 OLED 셀이 구비되는 챔버는 진공상태가 되어야 한다.
하지만, 현재 사용하는 챔버는 한번에 하나의 OLED 셀을 측정하는 경우 매번 챔버를 열고 닫음으로 인해 챔버내부 대기압의 가스를 제거하는데 시간이 많이 소요되는 불편함이 있다.
또한, OLED 셀 파괴시 셀 파편이 발생하여 측정되는 포트로 들어가는 문제점이 발생한다.
또한, 파괴를 위해 사용자가 Feedthrough를 손으로 돌려 파괴하는 번거로움이 생긴다.
본 발명은 상기와 같이 제안된 내용을 개선하고자 다음과 같이 제시한 것으로,
본 발명은 기존의 수동방식에서 벗어나 한번에 8개까지의 셀을 자동으로 파괴시켜 측정하는 장비로써, 최근의 차세대 디스플레이인 OLED 셀 내부 가스에 대한 조성, 정량 분석을 위한 장비를 만드는데 목적이 있다.
또한, OLED 셀 내부에는 미량의 가스가 존재하며, 제조 과정시 일정 비율과 일정 압력의 가스를 OLED 셀 내부에 주입하며, 주입된 가스의 성분 조성에 변화가 생기거나 가스량의 차이가 있는 경우 OLED 셀에 불량이 나타날 수 있으므로, OLED 셀 내부의 가스 조성 및 정량 분석을 통해 불량의 원인을 파악하고, 해결방안을 조기에 찾음으로 공정과정의 비용을 절감하는 것을 목적으로 한다.
또한, 자동으로 한번에 여러개를 파괴하여 시간별로 가스성분의 변화와 가스량을 측정하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 OLED 셀 파괴에 따른 챔버 내부를 진공상태로 만들기 위한 상측 플랜지(100)와 중간 플랜지(110)가 챔버 고정볼트(140)로 결합되며, 하측 플랜지(120) 상단에 형성된 돌기에 걸림으로 상기 챔버고정볼트(140)로 결합된 상측과 중간 플랜지(100,110)가 결합되고, 챔버 내부 중앙에 8개로 이루어지며, 중앙에 핀홀(160)이 형성된 OLED 셀 지지판(150) 사이에 공간을 형성시켜 고정되고, 상측 플랜지(100)와 중간 플랜지(110) 사이에 가스켓(130)이 구비되어 챔버의 내부 진공 시 외부로부터 공기가 유입되지 않도록 구비되는 챔버부(10)와, 상기 챔버부(10) 내부에 구비되는 OLED 셀을 설정된 시간별로 파괴하기 위해 구동모터(200)와 피드스루(210)와 상기 피드스루(210) 일측에 셀파괴핀(260) 구비되는 구동부(20)와, 상기 구동부(20)의 구동모터(200)와 피드스루(210)의 이동 대기시간 설정과 파라미터 설정을 해주고, 설정된 데이터를 전달해주기 위해 입력선(300)이 구비되는 제어부(30)와, 상기 챔버부(10) 내부에서 파괴되는 OLED 셀에서 발생하는 가스조성과 가스량을 측정하기 위해 Pump포트, Gauge포트, Inlet포트가 구비되는 측정부(40)와, 상기 챔버부(10) 내부의 수분흡착을 최소화하기 위해 최대500℃까지 온도를 조절하는 히터제어기(500)와 챔버부(10)를 감싸는 열선이 내장된 히터커버(510)가 구비되는 히터부(50)를 포함하여 구성한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 구동부(20)는 피드스루(210) 하측에 상측 연결플랜지(220)와 하측 연결 플랜지(230)가 플랜지 볼트(240)로 결합되고, 상측 연결플랜지(220)와 하측 연결플랜지(230) 내부에 관통된 홀을 통해 피드스루(210)와 연결된 핀 축(250)과 셀 파괴 핀(260)이 챔버 내부로 삽입되며, 챔버내부 각각의 셀지지판(150)에 형성된 핀홀(160)로 삽입되어 셀을 파괴하고, 상기 하측 플랜지(230) 외주면에 측정부(40) Pump포트(400)와 Inlet포트(410)와 Gauge포트(420)가 형성되고, 각각의 포트에는 OLED 셀이 파괴될 때 생기는 파편과 외부에서의 유입되는 수분을 제거해 주기 위해 필터(430)가 구비되는 것을 특징으로 한다.
삭제
삭제
삭제
삭제
본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 나타난다.
상기 본 발명의 OLED 자동입력 파괴장치는 진공상태의 챔버에 게이지가 구비되어 있어 직접연결이 가능한 포트를 제공하여 미량의 가스라도 압력의 변화를 정확히 측정할 수 있도록 제공하는 효과를 가진다.
또한, 8개의 OLED 셀을 한번에 넣을 수 있기 때문에 초기 한번만 대기압의 가스를 제거하면, 하나의 OLED 셀에서 발생한 미량의 가스만큼을 제거하는 시간만 소요되므로 매번 대기압의 가스를 제거해야 하는 경우 보다 상당한 시간을 단축하는 효과를 제공한다.
또한, 다른 셀이 파괴되는 현상을 방지하기 위해 8개의 넓은 원판을 층층이 쌓고 그 사이에 OLED 셀을 두고, 중앙에 직경2mm의 작은 홀을 내어 그 틈으로 피드스루가 이동하여 OLED 셀을 파괴함으로 파편으로 다른 셀이 파괴되는 현상을 방지하는 효과를 가진다.
또한, 피드스루에 모터를 달아 컨트롤러를 이용하여 단계별로 내려가는 시간을 조절할 수 있어 사람이 직접 피드스루를 돌려 OLED 셀을 파괴하는 번거로움을 제거하는 효과를 가진다.
또한, 전용 Heating Mantle가 구비되어 챔버 내부에 수분 흡착을 최소화하여 수분에 의한 측정오차를 최소화 할 수 있으며, 최대 500℃까지 가열이 가능함을 제공한다.
도 1은 OLED 자동입력파괴장치에 대한 기본 사시도이다.
도 2는 OLED 자동입력파괴장치에 대한 챔버 사시도이다.
도 3은 OLED 자동입력파괴장치에 대한 챔버 단면도이다.
도 4는 OLED 자동입력파괴장치에 대한 챔버 분해도이다.
도 5는 OLED 자동입력파괴장치에 대한 작동상태도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해서 상세하게 설명한다.
본 발명의 제품구성은 도 1과 도 2와 도 3과 도 4에서 나타내고 있으며, 도 5에서는 본 발명의 작동상태를 나타내고 있다.
본 발명은 OLED 자동입력파괴장치에 관한 것이며, 하나씩 측정하는 기존의 OLED 파괴장치를 한번의 다수개의 OLED 셀을 자동으로 파괴하여 측정할 수 있도록 구성한 것으로, 내용은 다음과 같다.
상기 본 발명의 제품구성은 크게 OLED 셀을 파괴하기 위해 구비되는 구동부(20)와, OLED 셀을 진공상태로 만들기 위한 챔버부(10)와, OLED 셀 파괴 시간 및 피드스루(210) 이동 대기시간과 파라미터설정을 하기 위한 제어부(30)와, OLED 셀 내부에 내장된 가스성분과 가스량을 측정하고, 진공상태를 만들기 위한 측정부(40)와, 챔버부(10) 내부의 수분을 제거해 주기 위한 히터부(50)로 나뉜다.
이하 아래에서는 각부에 대한 구성품을 설명한다.
상기 챔버부(10)의 구성품으로는 각각의 포트가 외주면에 형성되는 하측플랜지(120)와, 하측 플랜지(120) 상측에 결합되는 중간 플랜지(110)가 구비되며, 중간 플랜지(110) 상측 면에 가스켓(130)이 삽입될 수 있도록 홈이 형성되어 있다.
또한, 상기 중간 플랜지(110) 상측 면에 가스켓(130)이 삽입되고, 챔버부(10)를 덮는 상측 플랜지(100)가 구비된다.
또한, 내부에 OLED 셀 지지판(150)이 구비되며, 상측 플랜지(100)와 중간플랜지(110)를 고정하는 챔버 고정볼트(140)가 구비된다.
상기 구동부(20)의 구성품으로는 상측 플랜지(100) 상측 중앙 홀에 접합되는 하측 연결플랜지(230)와 하측 연결 플랜지(230)와 플랜지 볼트(240)로 고정되는 상측 연결 플랜지(220)가 구비된다. 이때, 상측 연결플랜지(220)와 하측 연결플랜지(230) 내부는 관통으로 형성된다.
또한, 상측 연결 플랜지(220) 상측에 결합되는 피드스루(210)와 피드스루(210) 상측에는 구동모터(200)가 구비된다.
또한, 피드스루(210) 하측에는 내부에서 나오는 핀축(250)이 구비되며, 핀축(250) 하측에는 셀 파괴 핀(260)이 구비된다.
상기 제어부(30)는 구동모터(200)와 피드스루(210)를 제어하기 위해 구비되며, 제어부(30) 전면에는 상태확인을 위한 디스플레이(320)가 구비되며, 제어하기 위한 작동버튼(310)과, 구동시간을 제어하는 시각버튼(340)과 사용자에게 알려주기 위한 알람버튼(330)과 데이터를 피드스루(210)로 보내기 위한 입력선(300)이 구비된다.
상기 측정부(40)는 가스량을 진공상태를 만들기 위한 Pump 포트(400)와 진공을 확인하기 위한 Gauge 포트(420)와 가스량 측정을 위한 Inlet 포트(410)가 구비된다.
상기 히터부(50)는 챔버 내부의 수분을 제거하기 위해 챔버를 덮는 히터커버(510)와 히터온도를 제어하기 위한 히터제어기(500)가 구비된다.
상기와 같이 본 발명의 OLED 자동입력파괴장치의 구성품을 설명하였으며, 다음과 같이 도면을 참고하여 연결 방법과 상세 내용을 설명한다.
도 1과 도 3과 도 4에서 보는 바와 같이, 챔버부(10)의 하측플랜지(120)는 내부에 OLED 셀 지지판(150)이 중앙에 고정되며, OLED 셀 지지판(150)은 8개의 지지판이 공간을 두고 결합되어 있다.
상기 OLED 셀 지지판(150) 중앙에는 셀 파괴 핀(260)을 통과시키기 위해 핀 홀(160)이 형성되고, OLED 셀이 중앙에 위치하여 셀 파괴 핀(260)이 통과하여 OLED 셀을 파괴시키는 것이다.
상기와 같이 하측 플랜지(120) 내부에 OLED 셀이 고정됨으로 구비되며, 중간플랜지(110)와 상측플랜지(100)가 챔버 고정볼트(140)를 통해 결합된다.
이때, 중간플랜지(110)와 상측 플랜지(100) 사이에 가스켓(130)이 구비되어 진공 시 외부의 공기가 챔버 내부로 들어가지 않도록 하기 위한 것이다.
상기 챔버 고정볼트(140)로 결합된 상측 플랜지(100)와 중간플랜지(110)는 하측플랜지(120)에 형성된 돌기에 걸림으로 결합된다.
또한, 구동부(20)는 상기 상측 플랜지(100) 중앙에 하측 연결 플랜지(230)가 접합되며, 하측 연결플랜지(230) 상부면에 상측 연결플랜지(220) 하부 면이 맞닿게 되며, 플랜지 볼트(240)로 체결된다.
이때, 상측 연결플랜지(220)와 하측 연결플랜지(230) 내부는 관통되어 있으며, 관통된 곳으로 피드스루(210) 하부에 형성된 핀축(250)과 셀 파괴 핀(260)이 통과하게 되는 것이다.
상기 상측 연결플랜지(220) 상부면과 피드스루(210) 하부 면과 접합되며, 피드스루10)를 작동하기 위해 상측에 구동모터(200)가 구비되는 것이다.
본 발명의 제어부(30)는 구동모터(200)와 피드스루(210)에 데이터를 입력하기 위해 구비되며, 입력값을 전달하는 입력선(300)이 구동모터(200)와 제어부(30) 간에 연결되며, 피드스루(210)는 한번에 4mm씩 고정적으로 내려가게 되며, 제어부(30)에서 이동 대기시간을 설정한다.
또한, 상기 제어부(30) 전면에는 사용자가 확인할 수 있는 디스플레이(320)가 구비되며, 구동모터(200)와 피드스루(210)를 작동하기 위한 작동버튼(310)이 구비되며, 사용자에게 알려주기 위한 알람버튼(330)과 대기시간을 설정하기 위한 시각버튼(340)이 구비된다.
또한, 측정부(40)는 하측 플랜지(120) 외주면에 형성되며, 3개의 포트로 이루어지며, 각각의 포트는 1/4 인치 SUS 튜브로 형성된다.
상기 각각의 포트는 챔버 내부를 진공상태로 만들기 위해 Pump 포트(400)가 형성되며, 포트 중간에 수분이 유입되는 것을 막기 위해 필터(430)가 구비된다.
또한, 가스량과 진공상태를 확인하기 위해 구비되는 Inlet 포트(410)와 Gauge 포트(420) 중간에는 챔버 내부에서 셀이 파괴될 때 생기는 셀 파편을 측정장비로 유입되지 않도록 하기 위해 필터(430)가 구비되는 것이다.
본 발명의 히터부(50)는 챔버부(10) 내부에 수분흡착을 최소화하여 수분에 의한 측정오차를 최소화하기 위해 히터커버(510)가 챔버부(10)를 감싸고 있으며, 히터커버(510) 내부에는 열선이 내장되어 있고, 외부의 히터 제어기(500)와 연결되어 온도를 조절할 수 있는 것이다.
이때, 히터부(50)의 온도는 500℃까지 가열이 가능하도록 하였다.
상기와 같이 본 발명의 연결방법과 상세내용을 설명하였으며, 다음과 같이 제어부(30)를 통해 구동모터(200)와 피드스루(210)의 작동과 이에 따른 OLED 셀의 파괴 과정을 설명한다.
도 5에서 보는 바와 같이, 구동모터(200)와 피드스루(210)의 작동으로 OLED 셀 지지판(150)에 형성된 핀홀(160)을 따라 셀 파괴 핀(260)이 통과하며, OLED 셀을 파괴시키는 것이다.
상기와 같이 작동하기 위해서는 제어부(30)에서 이루어지며, 작동버튼(310) 중에 정지버튼을 누르면 구동부(20)의 피드스루(210)가 초기 상태로 이동하게 된다.
상기 제어부(30)의 디스플레이(320)를 확인하며 파라미터 셋팅 화면으로 이동시키고, 피드스루(210)의 셀 파괴 핀(260)이 4mm 아래로 이동하기 전 대기시간(초)을 설정한다.
이때, 설정시간은 1~9999초까지 설정이 가능하다.
또한, 피드스루(210)의 셀 파괴 핀(260)이 바닥상태에서의 대기시간도 설정이 가능하다.
상기와 같이 하나하나의 OLED 셀 지지판(150)의 핀 홀(160)을 통과하며, 대기시간을 설정할 수 있어 사용자가 원하는 측정을 할 수 있도록 하는 것이다.
상기의 설정이 끝나면 시작버튼과 정지버튼으로 본 발명의 장치를 제어하는 것이다.
따라서, 하나의 OLED 셀을 파괴하는 것을 한번에 8개의 셀 지지판(150)을 파괴시킴으로 시간을 단축하며, 정확한 측정을 하기 위한 것이다.
10. 챔버부 20. 구동부
30. 제어부 40. 측정부
50. 히터부
100. 상측플랜지 110. 중간플랜지
120. 하측플랜지 130. 가스켓
140. 챔버 고정볼트 150. OLED 셀 지지판
160. 핀홀
200. 구동모터 210. 피드스루
220. 상측 연결플랜지 230. 하측 연결플랜지
240. 플랜지 볼트 250. 핀축
260. 셀 파괴 핀
300. 입력선 310. 작동버튼
320. 디스플레이 330. 알람버튼
340. 시각버튼
400. Pump 포트 410. Inlet 포트
420. Gauge 포트 430. 필터
500. 히터 제어기 510. 히터커버

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. OLED 셀 파괴에 따른 챔버 내부를 진공상태로 만들기 위한 상측 플랜지(100)와 중간 플랜지(110)가 챔버 고정볼트(140)로 결합되며, 하측 플랜지(120) 상단에 형성된 돌기에 걸림으로 상기 챔버고정볼트(140)로 결합된 상측과 중간 플랜지(100,110)가 결합되고, 챔버 내부 중앙에 8개로 이루어지며, 중앙에 핀홀(160)이 형성된 OLED 셀 지지판(150) 사이에 공간을 형성시켜 고정되고, 상측 플랜지(100)와 중간 플랜지(110) 사이에 가스켓(130)이 구비되어 챔버의 내부 진공 시 외부로부터 공기가 유입되지 않도록 구비되는 챔버부(10);
    상기 챔버부(10) 내부에 구비되는 OLED 셀을 설정된 시간별로 파괴하기 위해 구동모터(200)와 피드스루(210)와 상기 피드스루(210) 일측에 셀파괴핀(260) 구비되는 구동부(20);
    상기 구동부(20)의 구동모터(200)와 피드스루(210)의 이동 대기시간 설정과 파라미터 설정을 해주고, 설정된 데이터를 전달해주기 위해 입력선(300)이 구비되는 제어부(30);
    상기 챔버부(10) 내부에서 파괴되는 OLED 셀에서 발생하는 가스조성과 가스량을 측정하기 위해 Pump포트, Gauge포트, Inlet포트가 구비되는 측정부(40);
    상기 챔버부(10) 내부의 수분흡착을 최소화하기 위해 최대500℃까지 온도를 조절하는 히터제어기(500)와 챔버부(10)를 감싸는 열선이 내장된 히터커버(510)가 구비되는 히터부(50);
    를 포함하여 구성한 것을 특징으로 하는 OLED 자동입력파괴장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 구동부(20)는 피드스루(210) 하측에 상측 연결플랜지(220)와 하측 연결 플랜지(230)가 플랜지 볼트(240)로 결합되고, 상측 연결플랜지(220)와 하측 연결플랜지(230) 내부에 관통된 홀을 통해 피드스루(210)와 연결된 핀 축(250)과 셀 파괴 핀(260)이 챔버 내부로 삽입되며, 챔버내부 각각의 셀지지판(150)에 형성된 핀홀(160)로 삽입되어 셀을 파괴하고, 상기 하측 플랜지(230) 외주면에 측정부(40) Pump포트(400)와 Inlet포트(410)와 Gauge포트(420)가 형성되고, 각각의 포트에는 OLED 셀이 파괴될 때 생기는 파편과 외부에서의 유입되는 수분을 제거해 주기 위해 필터(430)가 구비되는 것을 특징으로 하는 OLED 자동입력파괴장치.

  5. 삭제
KR1020100060608A 2010-06-25 2010-06-25 오엘이디 자동입력파괴장치 KR100990133B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100060608A KR100990133B1 (ko) 2010-06-25 2010-06-25 오엘이디 자동입력파괴장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100060608A KR100990133B1 (ko) 2010-06-25 2010-06-25 오엘이디 자동입력파괴장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100990133B1 true KR100990133B1 (ko) 2010-10-29

Family

ID=43135877

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100060608A KR100990133B1 (ko) 2010-06-25 2010-06-25 오엘이디 자동입력파괴장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100990133B1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000292762A (ja) * 1999-04-12 2000-10-20 Ricoh Co Ltd 液晶セル内気泡のガス分析装置および該ガス分析装置を使用した液晶セル内気泡のガス分析方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000292762A (ja) * 1999-04-12 2000-10-20 Ricoh Co Ltd 液晶セル内気泡のガス分析装置および該ガス分析装置を使用した液晶セル内気泡のガス分析方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5942065B1 (ja) センサユニット及び気密性検査装置
KR102097626B1 (ko) 리모컨으로 동작되는 화재감지기용 복합 테스트 장비
KR101590956B1 (ko) 배터리 관통시험장치 및 배터리 관통시험방법
KR100990133B1 (ko) 오엘이디 자동입력파괴장치
CN103994986A (zh) 一种便携式感烟火灾探测器响应阈值检测装置
CN107315026B (zh) 自燃点试验仪及其使用方法
US10690728B2 (en) Plasma-generating device
JP2006308030A (ja) ガス漏れ検出装置とそれを用いたガス充填装置
KR20160036179A (ko) 이동형 경도 측정장치
KR101142969B1 (ko) 열 감지스위치 테스트 장치
CN103196639B (zh) 膜片测漏仪
CN202002778U (zh) 电芯自动测漏机
US9217274B2 (en) Gas filling apparatus
CN208606964U (zh) 一种自动检测装置及系统
CN205483530U (zh) 高效键盘检键机
KR101959688B1 (ko) 체크밸브 차압유닛의 공기누설 테스트 장치
CN219573375U (zh) 航空发动机用陶瓷气缸的气密性测验装置
CN115575874A (zh) 一种分光机自动验机的方法
KR101991065B1 (ko) 방수 시험용 지그 장치
CN109916441A (zh) 用于家用电器的测试方法和测试系统
CN210051629U (zh) 一种电池针刺试验装置
CN218584754U (zh) 一种室内用一氧化碳检测报警器
CN203275029U (zh) 膜片测漏仪
CN219200821U (zh) 控制阀测试设备
CN217981708U (zh) 一种多层片式电容产品集群耐压自动测试装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
GRNT Written decision to grant
X701 Decision to grant (after re-examination)
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130730

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141020

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151106

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161012

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170809

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191113

Year of fee payment: 10