KR100986803B1 - 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치 - Google Patents

반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치에 관한 것으로서, 소정의 높이와 크기를 가지도록 다수개의 프레임이 결합되어 형성되는 고정몸체부와, 상기 고정몸체부의 상부에 설치되고, 하부에는 고정몸체부를 구성하는 롤러지지구에 결합되는 회전 롤러 샤프트를 중심으로 연마부를 수직방향으로 회동작동시킬 수 있도록 가스탱크 각도조절용 회동수단이 장착되며, 내부에는 장착되는 가스탱크를 회전작동시킬 수 있도록 가스탱크 연마구동수단이 장착되는 연마부와, 상기 고정몸체부의 일측에 설치되고 상기 연마부의 회동작동을 통한 가스탱크의 수직작동시 상기 가스탱크의 내부에 연마석, 연마재, 방청재를 공급하는 연마재 공급부와, 상기 고정몸체부의 하부에 설치되고 상기 가스탱크의 내면 연마 후 연마부의 회동작동을 통한 상기 가스탱크의 수직작동시 배출되는 연마석, 연마재, 연마시 제거된 슬러지가루, 일반용수, 디아이워터를 외부로 배출시키는 연마재와 세척용수 배출부를 포함하여 이루어지되, 상기 고정몸체부는 다수개의 수직프레임과 수평프레임이 결합되어 형성되는 프레임결합체와, 상기 수평프레임의 전·후 동일선상에 각각 장착되는 롤러지지구와, 상기 프레임결합체의 전방 또는 후방에 장착되는 작업대를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 가스탱크 연마구동수단과 가스탱크 각도조절용 회동수단을 통해 가스탱크의 회전작동과 수직작동이 용이하고 위치이동 없이 제자리에서 상기 가스탱크의 내부에 연마재와 연마액을 공급할 수 있을 뿐만 아니라 가스탱크의 내면세척과 내면건조를 할 수 있는 효과가 있다.
고정몸체부, 연마부, 연마재 공급부, 연마재와 세척용수 배출부, 세척건조부, 승·하강 리프트 장치, 가스탱크, 호이스트.

Description

반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치{With semiconductor gas tank inside polishing the inside washing and the multifunctional processing system where the inside dryness is possible}
본 발명은 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 한 장비를 통해서 가스탱크의 내면연마, 내면세척, 내면건조를 진행할 수 있도록 한 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치에 관한 것이다.
일반적으로 주강, 주철, 냉간압연으로 제작되는 가스실린더로 초순도 가스반도체용특수가스를 저장하고 있는 탱크 등의 내면은 거울과 같은 표면 조도와 청결을 이루어야 한다. 즉, 상기 탱크 내면의 표면 조도와 청결이 떨어질 경우에는 각종 불순물과 유해물질 등이 탱크 내면에 부착되면서 미생물들이 번식을 할 수 있게 된다.
이와 같이 탱크 내에 미생물들이 부착되어 번식을 시작하게 되면 탱크 내에 저장된 각종가스나 약품 등을 오염시키게 되어 위생적인 제품을 생산할 수 없게 되며 반도체부품생산시 큰 문제를 발생시킬 수 있게 된다.
또한, 상기와 같은 미생물들의 번식으로 인해 탱크 내면이 쉽게 부식되기 때문에 탱크 내면의 표면 조도를 경면화시키지 않으면 안 된다.
그리고 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 등록실용신안 제410971호로 가스용기 내면 연마기가 제안되었으며, 상기 가스용기 내면 연마기는 전후방향으로 연장되는 지지축이 구비된 기대와, 하단이 상기 지지축에 회전가능하게 결합되어 좌우방향으로 기울일 수 있도록 된 상부바디와, 양단이 상기 기대와 상부바디에 각각 연결되어 신축에 의해 상기 상부바디를 좌우로 기울일 수 있도록 된 엑츄에이터와, 상기 상부바디에 수평방향으로 장착되는 회전축과, 이 회전축의 양측에 상호 평행하게 장착되는 한쌍의 회전판과, 상기 가스용기를 지지할 수 있도록 구성되며 상기 회전판의 사이에 회전가능하게 수평방향으로 장착되는 복수개의 컨테이너와, 상기 회전판과 컨테이너를 회전시킬 수 있도록 된 구동장치를 포함하여 구성된다.
이와 같이 구성된 종래 기술에 따른 가스용기 내면 연마기에 의하면, 가스용기의 연마시 상기 상부바디가 좌우로 기울어짐으로써 상기 컨테이너가 요동 운동을 하게 되어 상기 가스용기의 하측 바닥부와 상측 헤드부를 연마할 수는 있는데, 종래 기술에 의한 요동방식은 컨테이너와 구동수단 등의 모든 구조물이 설치된 상부바디를 좌우로 기울어지게 함으로써 이루어지는 것이기 때문에 상기 상부바디를 기울어지도록 하기 위한 큰 구동력이 필요한 문제점이 있다.
그리고 상기와 같은 종래의 가스탱크의 내면 연마기는 탱크의 내면을 연마하 는 한 가지 기능만을 수행함으로써 상기 탱크의 내면 연마 후 세척과정을 별도로 거쳐야만 하는 문제점이 있었다.
즉, 상기 탱크의 내면 연마 후 별도의 세척장치로 연마된 탱크를 이동시킨 후 다시 세척을 해야함으로써 작업시간과 경비는 증가하고 그에 따른 넓은 작업공간이 요구되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 가스탱크 연마구동수단과 가스탱크 각도조절용 회동수단을 통해 가스탱크의 회전작동과 수직작동이 용이하고 위치이동 없이 제자리에서 상기 가스탱크의 내부에 연마석, 연마재, 방청재를 공급하여 내면연마를 수행할 수 있을 뿐만 아니라 일반용수, 디아이워터, 엔투오질소를 이용하여 가스탱크의 내면세척과 내면건조를 할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
또한, 가스탱크의 내부로 연마재의 공급시 연마재가 구비된 호퍼가 지주에 형성되는 가이드 라인을 따라 상·하, 좌·우로 이동하는 호퍼 지지대를 이용하여 동선이동 없이도 작업자가 안정된 자세와 별도의 장비 없이 연마재를 공급할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 소정의 높이와 크기를 가지도록 다수개의 프레임이 결합되어 형성되는 고정몸체부와, 상기 고정몸체부의 상부에 설치되고, 하부에는 고정몸체부를 구성하는 롤러지지구에 결합되는 회전 롤러 샤프트를 중심으로 연마부를 수직방향으로 회동작동시킬 수 있도록 가스탱크 각도조절용 회동수단이 장착되며, 내부에는 장착되는 가스탱크를 회전작동시킬 수 있도록 가스탱크 연마구동수단이 장착되는 연마부와, 상기 고정몸체부의 일측에 설치되고 상기 연마부의 회동작동을 통한 가스탱크의 수직작동시 상기 가스탱크의 내부에 연마석, 연마재, 방청재를 공급하는 연마재 공급부와, 상기 고정몸체부의 하부에 설치되고 상기 가스탱크의 내면 연마 후 연마부의 회동작동을 통한 상기 가스탱크의 수직작동시 배출되는 연마석, 연마재, 연마시 제거된 슬러지가루, 일반용수, 디아이워터를 외부로 배출시키는 연마재와 세척용수 배출부를 포함하여 이루어지되, 상기 고정몸체부는 다수개의 수직프레임과 수평프레임이 결합되어 형성되는 프레임결합체와, 상기 수평프레임의 전·후 동일선상에 각각 장착되는 롤러지지구와, 상기 프레임결합체의 전방 또는 후방에 장착되는 작업대를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 가스탱크 연마구동수단과 가스탱크 각도조절용 회동수단을 통해 가스탱크의 회전작동과 수직작동이 용이하고 위치이동 없이 제자리에서 상기 가스탱크의 내부에 연마석, 연마재, 방청재를 공급하여 내면연마를 수행할 수 있을 뿐만 아니라 일반용수, 디아이워터, 엔투오질소를 이용하여 가스탱크의 내면세척과 내면건조를 할 수 있는 효과가 있다.
또한, 또한, 가스탱크의 내부로 연마재의 공급시 연마재가 구비된 호퍼가 지주에 형성되는 가이드 라인을 따라 상·하, 좌·우로 이동하는 호퍼 지지대를 이용하여 동선이동 없이도 작업자가 안정된 자세와 별도의 장비 없이 연마재를 공급할 수 있는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 구성을 첨부된 도면을 참조로 설명하면, 도 1은 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기를 나타낸 정면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기를 나타낸 측면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기를 구성하는 고정몸체부를 나타낸 사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기를 구성하는 연마부의 안전커버, 곡면커버 레일 지지프레임, 상단부 안전커버를 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기를 구성하는 연마부의 클램프 결합체를 나타낸 사시도이며, 도 7은 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기를 구성하는 연마부의 가스탱크 연마구동수단을 나타낸 사시도이고, 도 8은 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기를 구성하는 연마부의 가스탱크 각도조절용 회동수단을 나타낸 사시도이며, 도 9는 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기를 구성하는 연마재 공급부를 나타낸 분해사시도이고, 도 10은 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기를 구성하는 연마재와 세척용수 배출부를 나타낸 사시도이며, 도 11은 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기를 구성하는 세척건조부를 나타낸 사시도이고, 도 12는 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기를 구성하는 세척건조부의 구성을 나타낸 개략도이다.
본 발명인 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기(10)는 다수개의 프레임이 결합되어 형성되는 고정몸체부(20)와, 상기 고정몸체부(20)의 상부에 설치되는 연마부(30)와, 상기 고정몸체부(20)의 일측에 설치되는 연마재 공급부(40)와, 상기 고정몸체부(20)의 하부에 설치되는 연마재와 세척용수 배출부(50)와, 상기 고정몸 체부(20)의 일측에 설치되는 세척건조부(60) 등으로 구성된다.
상기 고정몸체부(20)는 소정의 높이와 길이를 가지는 다수개의 수직프레임(211)과 수평프레임(212)이 결합되어 형성되는 프레임결합체(21)와, 상기 수평프레임(212)의 상부 전·후 동일선상에 각각 장착되는 롤러지지구(22)와, 상기 프레임결합체(21)의 전방 또는 후방에 장착되는 작업대(23)로 구성된다.
즉, 상기 고정몸체부(20)는 다수개의 수평프레임(212)을 결합하여 사각형 형상의 틀을 형성한 후 상기 수평프레임(212)의 하부에 다수개의 수직프레임(211)을 결합하여 소정의 높이를 가지도록 한 것이다.
그리고 상기 수평프레임(212)의 상부 동일선상에 장착되는 롤러지지구(22)는 후설할 회전 롤러 샤프트를 지지하고, 본 발명에서 상기 롤러지지구(22)는 중앙 부분에 위치하는 예를 들어 설명하기로 한다.
또한, 상기 프레임결합체(21)의 전방 또는 후방에 장착되는 작업대(23)는 소정의 크기를 가지는 패널과, 상기 패널을 지지하는 프레임과, 상기 패널의 일측에 장착되고 상기 패널과 지면을 연결하는 계단 등으로 구성된다.
상기 고정몸체부(20)의 상부에 설치되는 연마부(30)는 연마프레임 결합체(31)와, 상기 연마프레임 결합체(31)의 전·후방에 각각 장착되는 안전커버(32)와, 상기 안전커버(32)의 상부 좌·우측 가장자리 부분에 일측이 각각 결합되는 곡면커버 레일 지지프레임(33)과, 상기 안전커버(32)의 좌·우측 끝단에 각각 장착되는 클램프 결합체(34)와, 상기 안전커버(32)의 상부에 장착되는 상단부 안전커버(35)와, 내부에는 장착되는 가스탱크(80)를 회전작동시키기 위한 가스탱크 연마구동수단(36)과, 상기 연마프레임 결합체(31)를 수직방향으로 회동작동시키는 가스탱크 각도조절용 회동수단(37)으로 구성된다.
그리고 상기 연마프레임 결합체(31)는 다수개의 프레임(311)이 결합되어 형성되되, 본 발명에서 상기 연마프레임 결합체(31)는 사각틀 형상으로 형성되는 예를 들어 설명하기로 한다.
또한, 상기 연마프레임 결합체(31)의 하부 중앙에 장착되는 회전 롤러 샤프트(313)는 소정의 길이를 가지고 형성되고 양단이 상기 고정몸체부(20)의 롤러지지부(22)에 결합지지된다.
이때, 상기 회전 롤러 샤프트(313)는 롤러지지부(22)에 양단이 결합되는 것과 별도로 고정브라켓(312)을 통해 상기 연마프레임 결합체(31)에 고정된다.
상기 연마프레임 결합체(31)의 전·후방에 각각 장착되는 안전커버(32)는 소정의 크기와 두께를 가지는 패널로 형성되고 일측에는 내부의 상태를 육안으로 확인할 수 있도록 하나 이상의 유리창(321)이 장착된다.
상기 안전커버(32)의 좌·우측 끝단에 각각 장착되는 클램프 결합체(34)는 외부와 연통하는 연통공(342)이 각각 형성되는 이중격판(341)이 외측에 장착되고, 내측에는 상기 가스탱크(80)의 끝단을 수용하면서 내면으로 가스탱크(80)를 지지 및 회전작동시키는 롤러(343)가 장착된다.
상기 안전커버(32)의 상부에 장착되는 상단부 안전커버(35)는 소정의 길이를 가지고 곡면지게 형성되는 곡면판(351)과 상기 곡면판(351)의 도중에 장착되는 다수개의 곡면프레임(352)으로 구성된다.
상기 연마프레임 결합체(31)에 장착되어 내부에 장착되는 가스탱크(80)를 전·후 방향으로 회전작동시키기 위한 가스탱크 연마구동수단(36)은 다수개의 롤러(362)가 구비된 롤러 샤프트(361)가 상기 연마프레임 결합체(31)의 상부 전방과 후방에 각각 대칭 장착되고 상기 연마프레임 결합체(31)의 하부에는 상기 롤러 샤프트(361)에 장착되는 풀리(363)에 회전력을 전달할 수 있도록 구동풀리(365)가 구비되는 모터(364)가 장착된다.
상기 연마프레임 결합체(31)를 수직방향으로 회동작동시키는 가스탱크 각도조절용 회동수단(37)은 상기 고정몸체부(20)의 일측에 유·공압실린더(371)가 수평장착되고, 상기 유·공압실린더(371)의 로드(372)와 회전 롤러 샤프트(313)에는 조인트(373)가 결합된다.
즉, 상기 가스탱크 각도조절용 회동수단(37)은 유·공압실린더(371)의 후진 작동시 상기 연마프레임 결합체(31)를 수직방향으로 회동시키게 되고 유·공압실린더(371)의 전진 작동시 상기 연마프레임 결합체(31)를 수평방향으로 회동작동시키게 되는 것이다.
상기 고정몸체부(20)의 일측에 설치되는 연마재 공급부(40)는 호퍼 이동용 레일겸 지지프레임(41)와, 상기 호퍼 이동용 레일겸 지지프레임(41)에 장착되는 호퍼 지지대(42)와, 상기 호퍼 지지대(42)에 장착되는 호퍼(43)로 구성된다.
즉, 상기 연마재 공급부(40)는 연마부(30)의 회동작동을 통한 가스탱크(80)의 수직장착시 상기 가스탱크(80)의 내부에 연마석, 연마재, 방청재를 공급하는 역할을 하게 되는 것이다.
그리고 상기 호퍼 이동용 레일겸 지지프레임(41)은 소정의 높이를 가지며 원통 형상으로 형성되는 지주(411)와, 상기 지주(411)의 상부에 위치하고 하부 방향으로 형성되는 가이드 라인(412)과, 상기 지주(411)의 내부에 위치하고 상부에 장착되는 모터(413)의 작동시 회전작동하는 노즐상하 스크류 회전축(414)으로 구성된다.
여기서, 상기 가이드 라인(412)은 여러 방향으로 형성될 수 있으며 본 발명에서 상기 가이드 라인(412)은 수직, 경사, 수직방향이 연속해서 형성되는 예를 들어 설명하기로 한다.
상기 호퍼 이동용 레일겸 지지프레임(41)에 장착되는 호퍼 지지대(42)는 상기 지주(411)에 장착되는 노즐상하 스크류 회전축(414)에 결합되는 연결조인트(421)와, 상기 연결조인트(421)에 장착되는 원통 형상의 연결브라켓(422)과, 상기 연결브라켓(422)에 장착되는 사다리 형상의 지지대(423)로 구성된다.
그리고 상기 호퍼 지지대(42)를 구성하는 지지대(423)의 하부 일측에 장착되는 호퍼(43)는 원통 형상의 상부와 깔때기 형상의 하부가 일체로 형성된다.
즉, 상기 호퍼(43)는 내부에 연마석, 연마재, 방청재가 저장되고 하부에 형성되는 개폐밸브(431)의 개·폐 작동을 통해서 내부에 저장된 연마석, 연마재, 방청재를 상기 가스탱크(80)의 내부에 공급하게 되는 것이다.
그리고 본 발명에서는 상기 호퍼(43)의 내부에 연마재가 저장되는 예를 들어 설명하기로 한다.
상기 고정몸체부(20)의 하부에 설치되는 연마재와 세척용수 배출부(50)는 사 각박스 형상으로 상부가 개방형성되고, 하부 일측에는 외부와 연통하는 배출구(52)가 구비된 배출용케이스(51)와, 상기 배출용케이스(51)의 저면 상부에 간격을 두고 장착되는 세척용수 배출구(53)와, 상기 세척용수 배출구(53)의 상부에 안착되고 다수개의 여과공(55)이 형성되는 여과망(54)으로 구성된다.
즉, 상기 연마재와 세척용수 배출부(50)는 상기 가스탱크(80)의 내면 연마나 세척 후 연마부(30)의 회동작동을 통한 상기 가스탱크(80)의 수직장착시 배출되는 연마재를 보관하면서 미세가루나 세척액은 외부로 배출시키는 역할을 하게 된다.
그리고 상기와 같은 역할을 수행하는 연마재와 세척용수 배출부(50)의 하부에는 높낮이 조절과 전·후 방향으로 슬라이딩 작동할 수 있도록 승·하강 리프트 장치(70)가 선택장착된다. 이때, 상기 연마재와 세척용수 배출부(50)의 하부 양측 동일선상에는 다수개의 바퀴(56)가 장착된다.
여기서, 상기 연마재와 세척용수 배출부(50)를 승·하강시키는 승·하강 리프트 장치(70)는 상부와 하부에 각각 위치하는 상·하부 고정판(71, 72))과, 상기 상·하부 고정판(71) 사이에 장착되는 리프트(73) 및 유·공압실린더(74)와, 상기 상부 고정판(71)의 상부 양측에 장착되는 삼각형 형상의 슬라이드 바(75)로 구성된다.
즉, 상기 연마재와 세척용수 배출부(50)는 리프트(73) 및 유·공압실린더(74)를 이용하여 승·하강작동되고 상기 연마재와 세척용수 배출부(50)에 장착되는 다수개의 바퀴(56)와 슬라이드 바(75)를 통해서 슬라이딩 작동하게 되는 것이다.
상기 고정몸체부(20)의 일측에 설치되는 세척건조부(60)는 고정지주(61)와, 상기 고정지주(61)의 일측에 장착되는 노즐 스크류 프레임(63)와, 상기 노즐상하 스크류 회전축(64)과 결합되는 노즐 지지대(66)와, 상기 노즐 지지대(66)에 장착되는 세척용수, 디아이워터, 핫엔투오질소 공급노즐(67)로 구성된다.
여기서, 상기 고정지주(61)는 소정의 높이를 가지고 단면이 사각형 형상으로 형성되며 상부에는 세척, 건조 좌우위치 조절용실린더(62)가 장착되고, 상기 고정지주(61)의 일측에 고정장착되는 노즐 스크류 프레임(63)는 내부에 노즐상하 스크류 회전축(64)이 장착되고 상부에는 스크류 모터(65)가 장착된다.
또한, 상기 노즐상하 스크류 회전축(64)과 결합되는 노즐 지지대(66)는 상기 세척, 건조 좌우위치 조절용실린더(62)의 작동시 상기 노즐상하 스크류 회전축(64)을 따라 이동하게 된다.
그리고 상기 노즐 지지대(66)에 장착되는 세척용수, 디아이워터, 핫엔투오질소 공급노즐(67)은 상기 스크류 모터(65)의 작동시 분배기(68)를 통해 공급되는 세척용수, 디아이워터, 핫엔투오질소 중 하나를 상기 가스탱크(80)의 내부에 공급하게 된다.
여기서, 상기 분배기(68)에 공급되는 일반용수와 디아이워터(80℃)는 상기 가스탱크(80)의 내면세척을 위한 것이고, 엔투오질소(150℃)는 상기 가스탱크(80)의 내면건조를 위한 것이다.
즉, 상기 세척건조부(60)는 분배기(68)를 통해 순차적으로 공급되는 일반용수와 디아이워터를 통해 가스탱크(80)의 내면을 세척한 후 상기 분배기(68)를 통해 공급되는 엔투오질소를 이용하여 가스탱크(80)의 내면을 건조할 수 있도록 한 것이다.
상기와 같이 구성되는 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기의 실시 예를 첨부된 도면을 참조로 설명하면, 도 13 내지 15는 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기 사용상태를 나타낸 도면이다.
먼저, 다수개의 수직프레임(211)과 수평프레임(212)이 결합되어 형성되는 프레임결합체(21)와, 상기 수평프레임(212)의 전·후 동일선상에 각각 장착되는 롤러지지구(22)와, 상기 프레임결합체(21)의 전방 또는 후방에 장착되는 작업대(23)로 구성되는 고정몸체부(20)를 형성한다.
그리고 상기 고정몸체부(20)의 상부에 다수개의 프레임(311)이 결합되어 형성되고 하부 중앙에는 고정몸체부(20)를 구성하는 롤러지지부(22)에 양단이 각각 결합되면서 고정브라켓(312)을 통해 상기 프레임(311)에 고정되는 회전 롤러 샤프트(313)가 장착되는 연마프레임 결합체(31)와, 유리창(321)이 구비되고 상기 연마프레임 결합체(31)의 전·후방에 각각 장착되는 안전커버(32)와, 상기 안전커버(32)의 상부 좌·우측 가장자리 부분에 일측이 각각 결합되는 곡면커버 레일 지지프레임(33)과, 상기 안전커버(32)의 좌·우측 끝단에 각각 장착되며, 외측에는 외부와 연통하는 연통공(342)이 각각 형성되는 이중격판(341)이 장착되고, 내측에는 상기 가스탱크(80)의 끝단을 수용하면서 내면으로 가스탱크(80)를 지지 및 회전작동시키는 롤러(343)가 장착되는 클램프 결합체(34)와, 곡면판(351)의 내부에 다 수개의 곡면프레임(352)이 결합되어 형성되고 상기 안전커버(32)의 상부에 장착되는 상단부 안전커버(35)와, 상기 연마프레임 결합체(31)의 상부 전방과 후방에 다수개의 롤러(362)가 구비된 롤러 샤프트(361)가 각각 장착되고 상기 연마프레임 결합체(31)의 하부에는 상기 롤러 샤프트(361)에 장착되는 풀리(363)에 회전력을 전달할 수 있도록 구동풀리(365)가 구비되는 모터(364)가 장착되는 가스탱크 연마구동수단(36)과, 상기 고정몸체부(20)의 일측에 유·공압실린더(371)가 수평장착되고, 상기 유·공압실린더(371)의 로드(372)와 회전 롤러 샤프트(313)에는 상기 유·공압실린더(371)의 작동시 상기 연마프레임 결합체(31)를 수직방향으로 회동작동시키는 조인트(373)가 결합되는 가스탱크 각도조절용 회동수단(37)으로 구성되는 연마부(30)를 장착한다.
다음으로, 상기 고정몸체부(20)의 일측에 원통 형상으로 형성되는 지주(411)의 상부에는 하부 방향으로 가이드 라인(412)이 형성되고 내부에는 상부에 장착되는 모터(413)의 작동시 회전작동하는 노즐상하 스크류 회전축(414)이 장착되는 호퍼 이동용 레일겸 지지프레임(41)와, 상기 지주(411)에 장착되는 노즐상하 스크류 회전축(414)에 연결조인트(421)가 결합되고, 상기 연결조인트(421)에는 원통 형상의 연결브라켓(422)이 장착되며, 상기 연결브라켓(422)에는 사다리 형상의 지지대(423)가 장착되는 호퍼 지지대(42)와, 상기 지지대(423)의 하부 일측에 장착되고 내부에는 연마재가 저장되는 호퍼(43)로 구성되는 연마재 공급부(40)를 장착한다.
그리고 상기 고정몸체부(20)의 하부에 사각박스 형상으로 상부가 개방형성되고 하부 일측에는 외부와 연통하는 배출구(52)가 형성되는 배출용케이스(51)와, 상 기 배출용케이스(51)의 저면 상부에 간격을 두고 장착되는 세척용수 배출구(53)와, 상기 세척용수 배출구(53)의 상부에 안착되고 다수개의 여과공(55)이 형성되는 여과망(54)으로 구성되는 연마재와 세척용수 배출부(50)를 장착한다.
이때, 상기 연마재와 세척용수 배출부(50)의 하부에 높낮이 조절과 전·후 방향으로 슬라이딩 작동할 수 있도록 승·하강 리프트 장치(70)가 장착되되, 상기 연마재와 세척용수 배출부(50)의 하부 양측 동일선상에는 다수개의 바퀴(56)가 장착된다.
그리고 상기 승하강 슬라이드 장치(70)는 상부와 하부에 각각 위치하는 상·하부 고정판(71, 72))과, 상기 상·하부 고정판(71) 사이에 장착되는 리프트(73) 및 유·공압실린더(74)와, 상기 상부 고정판(71)의 상부 양측에 장착되는 삼각형 형상의 슬라이드 바(75)로 구성된다.
다음으로 상기 고정몸체부(20)의 일측으로 소정의 높이를 가지며 상부에는 세척, 건조 좌우위치 조절용실린더(62)가 장착되는 고정지주(61)와, 상기 고정지주(61)의 일측에 장착되고 내부에는 노즐상하 스크류 회전축(64)이 상부에는 스크류 모터(65)가 장착되는 노즐 스크류 프레임(63)과, 상기 노즐상하 스크류 회전축(64)과 결합되어 상기 세척, 건조 좌우위치 조절용실린더(62)의 작동시 상기 노즐상하 스크류 회전축(64)을 따라 이동하는 노즐 지지대(66)와, 상기 노즐 지지대(66)에 장착되고 상기 스크류 모터(65)의 작동시 분배기(68)를 통해 공급되는 일반용수, 디아이워터, 핫엔투오질소 공급노즐(67)을 포함하여 구성되는 세척건조부(60)를 장착하면 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기(10)의 조립은 완료되는 것이다.
여기서, 상기 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기(10)의 조립순서는 상기 과정과 다르게 형성될 수 있음을 밝힌다.
그리고 상기 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기(10)를 통한 가스탱크(80)의 내면연마, 내면세척, 내면건조시, 상기 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기(10)의 주변으로 상기 가스탱크(80)의 이동 및 운반을 위한 전동체인 호이스트 이동용 프레임(100)이 구비된 호이스트(90)가 설치된다.
이와 같이 구성되는 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기를 사용하고자 할 경우에는 다음과 같다.
먼저, 상기 가스탱크(80)가 적층된 장소로 호이스트(90)의 전동체인 호이스트 이동용 프레임(100)을 이동한 후, 상기 전동체인 호이스트 이동용 프레임(100)을 이용하여 가스탱크(80)를 적재한 다음, 상기 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기(10)를 구성하는 연마부(30)의 내부에 상기 가스탱크(80)를 장착한다.
즉, 상기 연마부(30)를 구성하는 상단부 안전커버(35)를 제거한 상태에서 클램프 결합체(34)의 롤러(343)와 상기 롤러 샤프트(361)의 롤러(362)에 가스탱크(80)를 안착한 후 상기 상단부 안전커버(35)를 덮는다.
그리고 상기 연마부(30)를 구성하는 가스탱크 각도조절용 회동수단(37)을 이용하여 상기 가스탱크(80)를 수직방향으로 회동작동시킨다.
즉, 상기 유·공압실린더(371)의 작동을 통한 로드(372)가 후진하면서 상기 연마프레임 결합체(31)를 회동작동시켜서 상기 가스탱크(80)가 구비되는 연마부(30)를 수직작동시키게 되는 것이다.
이를 좀더 보충설명하면, 상기 유·공압실린더(371)가 후진작동하면, 상기 유·공압실린더(317)와 연결된 로드(372)가 조인트(373)를 당기고, 다시 상기 조인트(373)는 회전 롤러 샤프트(313)를 회전작동시켜서 상기 연마프레임 결합체(31)를 회동작동시키게 되는 것이다.
다음으로 상기 연마재 공급부(40)를 작동시켜 연마재가 저장된 호퍼(43)를 상기 가스탱크(80)의 상부에 위치되도록 한다.
즉, 상기 호퍼(43)는 모터(413)의 작동시 지주(411)의 가이드 라인(412)을 따라 이동하는 호퍼 지지대(42)와 함께 이동하여 상기 개폐밸브(431)가 가스탱크(80)의 상부에 위치되도록 하는 것이다.
그리고 작업자가 상기 가스탱크(80)의 상부 덮개를 개방한 후, 상기 호퍼(43)에 장착되는 개폐밸브(431) 조작하여 개방하면, 상기 호퍼(43)의 내부에 저장된 연마재는 상기 가스탱크(80)의 내부에 공급되는 것이다.
다음으로 상기 가스탱크(80)의 내부에 연마재를 공급한 후, 상기 호퍼(43)는 상기 개폐밸브(431)를 조작하여 폐쇄한 다음 상기 모터(413)의 작동시 지주(411)의 가이드 라인(412)을 따라 이동하는 호퍼 지지대(42)와 함께 상부로 이동한다.
그리고 상기 연마부(30)의 가스탱크 각도조절용 회동수단(37)을 이용하여 상기 가스탱크(80)가 구비되는 연마부(30)가 수평이 되도록 한다.
즉, 상기 유·공압실린더(371)가 전진 작동하면, 상기 유·공압실린더(371) 와 연결된 로드(372)는 조인트(373)를 밀고 상기 조인트(373)는 다시 회전 롤러 샤프트(313)를 당기게 됨으로써 상기 가스탱크(80)가 장착된 연마부(30)를 처음 상태로 되돌리게 되는 것이다.
다음으로 상기 가스탱크 연마구동수단(36)의 모터(364)를 구동시키면, 상기 모터(364)에서 발생한 회전력은 상기 모터(364)와 연결된 구동풀리(365)를 거쳐 롤러 샤프트(361)에 장착되는 풀리(363)를 회전작동시키게 된다.
즉, 상기 풀리(363)는 회전작동하면서 롤러 샤프트(361)에 장착되는 다수개의 롤러(362)를 회전작동시켜 상기 가스탱크(80)를 회전작동시키게 되는 것이다.
다음으로 상기 가스탱크(80)는 롤러(343, 362)의 회전작동에 따라 연동회전작동하고 가스탱크(80)의 내부에 수용된 연마재는 계속해서 위치이동에 따른 낙하 운동을 통해서 가스탱크(80)의 내면을 연마하게 되는 것이다.
그리고 상기 가스탱크(80)의 연마가 끝나면, 상기 가스탱크(80)는 상기 연마부(30)의 가스탱크 각도조절용 회동수단(37)의 작동을 통해 수직방향으로 장착하게 되는 것이다.
다음으로, 상기 가스탱크(80)의 하부 덮개를 작업자가 개방하면, 상기 가스탱크(80)의 내부에 저장된 연마재는 하중에 의하여 낙하하면서 연마재와 세척용수 배출부(50)로 이동하게 되는 것이다.
이때, 상기 연마부(30)의 하부에 위치한 연마재와 세척용수 배출부(50)는 여과망(54)을 이용하여 크기가 있는 연마재는 보관하고 상기 가스탱크(80)의 내면 연마를 통해 발생한 가루는 여과공(55)을 거쳐서 외부로 배출하게 되는 것이다.
다음으로 상기 가스탱크(80)의 내부에서 연마재를 배출한 후 상기 세척건조부(60)를 이용하여 세척용수, 디아이워터, 핫엔투오질소를 공급한다.
즉, 상기 세척용수, 디아이워터, 핫엔투오질소 공급노즐(67)이 장착되는 노즐 지지대(66)를 세척, 건조 좌우위치 조절용실린더(62)의 작동을 통해 상기 가스탱크(80)의 내면에 위치하게 한 후 상기 스크류 모터(65)를 이용하여 분배기(68)에서 일반용수를 공급받아 상기 가스탱크(80)의 내면을 세척하게 되는 것이다.
다음으로 일반용수를 통한 상기 가스탱크(80)의 내면 세척이 끝난 후, 상기 가스탱크(80)의 내면으로 80℃ 전, 후의 디아이워터를 공급하여 한번 더 상기 가스탱크(80)의 내면을 세척한 다음, 엔투오질소(150℃)를 이용하여 상기 가스탱크(80)의 내면을 건조한다.
이때, 상기 일반용수와 디아이워터는 상기 가스탱크(80)의 내면세척 후 개방된 하부 밸브를 통해서 연마재와 세척용수 배출부(50)로 전달되는 것이다.
그리고 상기 가스탱크(80)의 내면연마, 내면세척, 내면건조가 순차적으로 끝나면, 상기 세척건조부(60)는 처음 상태로 이동시킨 다음, 상기 가스탱크(80)의 상, 하부 덮개를 모두 폐쇄한 상태에서 상기 가스탱크 각도조절용 회동수단(37)을 이용하여 상기 가스탱크(80)를 처음 상태(수평상태)로 유지시킨다.
다음으로 상기 가스탱크(80)는 호이스트(90)의 전동체인 호이스트 이동용 프레임(100)을 통해 이송된 후, 상기 전동체인 호이스트 이동용 프레임(100)를 이용하여 다음에 세척할 가스탱크(80)를 상기 연마부(30)에 장착한 다음, 상기와 같은 진행과정을 통해 상기 가스탱크(80)를 연마 및 세척하면 되는 것이다.
이상에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명인 반도체용 가스탱크 내면 연마 및 세척기를 설명함에 있어 특정형상 및 방향을 위주로 설명하였으나, 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치를 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치를 나타낸 정면도.
도 3은 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치를 나타낸 측면도.
도 4는 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치를 구성하는 고정몸체부를 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치를 구성하는 연마부의 안전커버, 곡면커버 레일 지지프레임, 상단부 안전커버를 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치를 구성하는 연마부의 클램프 결합체를 나타낸 사시도.
도 7은 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치를 구성하는 연마부의 가스탱크 연마구동수단을 나타낸 사시도.
도 8은 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치를 구성하는 연마부의 가스탱크 각도조절용 회동수단을 나타낸 사시도.
도 9는 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치를 구성하는 연마재 공급부를 나타낸 분해사시도.
도 10은 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치를 구성하는 연마재와 세척용수 배출부를 나타낸 사시도.
도 11은 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치를 구성하는 세척건조부를 나타낸 사시도.
도 12는 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치를 구성하는 세척건조부의 구성을 나타낸 개략도.
도 13 내지 15는 본 발명에 따른 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치의 사용상태를 나타낸 도면.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명.
10 : 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치,
20 : 고정몸체부, 21 : 프레임결합체,
22 : 롤러지지구, 23 : 작업대,
30 : 연마부, 31 : 연마프레임 결합체,
32 : 안전커버, 33 : 곡면커버 레일 지지프레임,
34 : 클램프 결합체, 35 : 상단부 안전커버,
36 : 가스탱크 연마구동수단, 37 : 가스탱크 각도조절용 회동수단,
40 : 연마재 공급부, 41 : 호퍼 이동용 레일겸 지지프레임,
42 : 호퍼 지지대, 43 : 호퍼,
50 : 연마재와 세척용수 배출부, 51 : 배출용케이스,
52 : 세척용수 배출구, 54 : 여과망,
55 : 여과공, 60 : 세척건조부,
61 : 고정지주, 62 : 세척, 건조 좌우위치 조절용실린더,
63 : 노즐 스크류 프레임, 64 : 노즐상하 스크류 회전축,
65 : 스크류 모터, 66 : 노즐 지지대,
67 : 세척용수, 디아이워터, 핫엔투오질소 공급노즐,
70 : 승·하강 리프트 장치, 80 : 가스탱크,
90 : 호이스트, 100: 호이스트 이동용 프레임.

Claims (8)

  1. 소정의 높이와 크기를 가지도록 다수개의 프레임이 결합되어 형성되는 고정몸체부(20)와,
    상기 고정몸체부(20)의 상부에 설치되고, 하부에는 고정몸체부(20)를 구성하는 롤러지지구(22)에 결합되는 회전 롤러 샤프트(313)를 중심으로 연마부(30)를 수직방향으로 회동작동시킬 수 있도록 가스탱크 각도조절용 회동수단이 장착되며, 내부에는 장착되는 가스탱크(80)를 회전작동시킬 수 있도록 가스탱크 연마구동수단이 장착되는 연마부(30)와,
    상기 고정몸체부(20)의 일측에 설치되고 상기 연마부(30)의 회동작동을 통한 가스탱크(80)의 수직작동시 상기 가스탱크(80)의 내부에 연마석, 연마재, 방청재를 공급하는 연마재 공급부(40)와,
    상기 고정몸체부(20)의 하부에 설치되고 상기 가스탱크(80)의 내면 연마 후 연마부(30)의 회동작동을 통한 상기 가스탱크(80)의 수직작동시 배출되는 연마석, 연마재, 연마시 제거된 슬러지가루, 일반용수, 디아이워터를 외부로 배출시키는 연마재와 세척용수 배출부(50)를 포함하여 이루어진 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치(10)에 있어서,
    상기 고정몸체부(20)는 다수개의 수직프레임(211)과 수평프레임(212)이 결합되어 형성되는 프레임결합체(21)와, 상기 수평프레임(212)의 전·후 동일선상에 각각 장착되는 롤러지지구(22)와, 상기 프레임결합체(21)의 전방 또는 후방에 장착되는 작업대(23)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정몸체부(20)의 일측으로 상기 연마부(30)의 회동작동을 통한 가스탱 크(80)의 수직작동시 상기 가스탱크(80)의 내면에 일반용수, 디아이워터, 엔투어질소를 공급할 수 있도록 세척건조부(60)가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치.
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 연마부(30)는,
    다수개의 프레임(311)이 결합되어 형성되고 하부 중앙에는 고정몸체부(20)를 구성하는 롤러지지부(22)에 양단이 각각 결합되면서 고정브라켓(312)을 통해 상기 프레임(311)에 고정되는 회전 롤러 샤프트(313)가 장착되는 연마프레임 결합체(31)와,
    유리창(321)이 구비되고 상기 연마프레임 결합체(31)의 전·후방에 각각 장착되는 안전커버(32)와,
    상기 안전커버(32)의 상부 좌·우측 가장자리 부분에 일측이 각각 결합되는 곡면커버 레일 지지프레임(33)과,
    상기 안전커버(32)의 좌·우측 끝단에 각각 장착되며, 외측에는 외부와 연통하는 연통공(342)이 형성된 이중격판(341)이 장착되고, 내측에는 상기 가스탱크(80)의 끝단을 수용하면서 내면으로 가스탱크(80)를 지지 및 회전작동시키는 롤러(343)가 장착되는 클램프 결합체(34)와,
    곡면판(351)의 내부에 다수개의 곡면프레임(352)이 결합형성되고 상기 안전커버(32)의 상부에 장착되는 상단부 안전커버(35)와,
    상기 연마프레임 결합체(31)의 상부 전방과 후방에 다수개의 롤러(362)가 구비된 롤러 샤프트(361)가 각각 장착되고 상기 연마프레임 결합체(31)의 하부에는 상기 롤러 샤프트(361)에 장착되는 풀리(363)에 회전력을 전달할 수 있도록 구동풀리(365)가 구비되는 모터(364)가 장착되는 가스탱크 연마구동수단(36)과,
    상기 고정몸체부(20)의 일측에 유·공압실린더(371)가 수평장착되고, 상기 유·공압실린더(371)의 로드(372)와 회전 롤러 샤프트(313)에는 상기 유·공압실린더(371)의 작동시 상기 연마프레임 결합체(31)를 수직방향으로 회동작동시키는 조인트(373)가 결합되는 가스탱크 각도조절용 회동수단(37)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치.
  5. 청구항 1에 있어서, 상기 연마재 공급부(40)는,
    원통 형상으로 형성되는 지주(411)의 상부에는 하부 방향으로 가이드 라인(412)이 형성되고 내부에는 상부에 장착되는 모터(413)의 작동시 회전작동하는 노즐상하 스크류 회전축(414)이 장착되는 호퍼 이동용 레일겸 지지프레임(41)과,
    상기 지주(411)에 장착되는 노즐상하 스크류 회전축(414)에 연결조인트(421)가 결합되고, 상기 연결조인트(421)에는 원통 형상의 연결브라켓(422)이 장착되며, 상기 연결브라켓(422)에는 사다리 형상의 지지대(423)가 장착되는 호퍼 지지대(42)와,
    상기 지지대(423)의 하부 일측에 장착되고 내부에는 연마재가 저장되는 호퍼(43)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치.
  6. 청구항 1에 있어서, 상기 연마재와 세척용수 배출부(50)는,
    사각박스 형상으로 상부가 개방형성되고 하부 일측에는 외부와 연통하는 배출구(52)가 형성되는 배출용케이스(51)와,
    상기 배출용케이스(51)의 저면 상부에 간격을 두고 장착되는 세척용수 배출구(53)와,
    상기 세척용수 배출구(53)의 상부에 안착되고 다수개의 여과공(55)이 형성되는 여과망(54)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 연마재와 세척용수 배출부(50)의 하부에는 높낮이 조절과 전·후 방향으로 슬라이딩 작동할 수 있도록 승·하강 리프트 장치(70)가 장착되되, 상기 연마재와 세척용수 배출부(50)의 하부 양측 동일선상에는 다수개의 바퀴(56)가 장착되고,
    상기 승·하강 리프트 장치(70)는 상부와 하부에 각각 위치하는 상·하부 고정판(71, 72))과, 상기 상·하부 고정판(71) 사이에 장착되는 리프트(73) 및 유·공압실린더(74)와,
    상기 상부 고정판(71)의 상부 양측에 장착되는 삼각형 형상의 슬라이드 바(75)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치.
  8. 청구항 2에 있어서, 상기 세척건조부(60)는,
    소정의 높이를 가지며 상부에는 세척, 건조 좌우위치 조절용실린더(62)가 장 착되는 고정지주(61)와,
    상기 고정지주(61)의 일측에 장착되고 내부에는 노즐상하 스크류 회전축(64)이 상부에는 스크류 모터(65)가 장착되는 노즐 스크류 프레임(63)와,
    상기 노즐상하 스크류 회전축(64)과 결합되어 상기 세척, 건조 좌우위치 조절용실린더(62)의 작동시 상기 노즐상하 스크류 회전축(64)을 따라 이동하는 노즐 지지대(66)와,
    상기 노즐 지지대(66)에 장착되고 상기 스크류 모터(65)의 작동시 분배기(68)를 통해 공급되는 일반용수, 디아이워터, 엔투오질소를 상기 가스탱크(80)의 내면에 공급하는 일반용수, 디아이워터, 핫엔투오질소 공급노즐(67)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체용 가스탱크 내면연마와 내면세척 및 내면건조가 가능한 다기능 가공장치.
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