KR100981134B1 - A high-purity silicon ingot with solar cell grade, a system and method for manufacturing the same by refining a low-purity scrap silicon - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의하면, 저순도 실리콘 스크랩을 정련하여 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 연속 제조하기 위한 시스템으로서, 진공 체임버; 상기 진공 체임버 내에 배치되고, 수직축을 가지며, 상부의 열도가니와 하부의 냉도가니로 이루어지고, 유도코일에 의해 둘러싸여 있으며, 상기 열도가니는 냉각이 되지 아니하며, 전기전도성의 비금속 재료로 이루어지고, 상기 냉도가니는 수냉구조를 가지고 있으며, 열전도성 및 전기전도성의 금속 재료로 이루어지는 하부개방형 도가니; 상기 진공 체임버 내에 배치되며, 상기 하부 개방형 도가니에 상기 저순도 실리콘 스크랩을 공급하는 실리콘 스크랩 공급 수단; 상기 진공 체임버 내에 배치되며, 상기 하부 개방형 도가니에 공급된 상기 저순도 실리콘 스크랩에 플라즈마를 조사하는 플라즈마 아크 가열원;및 상기 진공 체임버 내에 배치되고, 상기 저순도 실리콘 스크랩으로부터 얻어진 용탕 표면에 반응성 가스를 공급하는 반응성 가스 공급 수단을 포함하는 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 연속 제조하기 위한 시스템이 제공된다.According to the present invention, a system for continuously producing solar cell-grade high-purity silicon ingot by refining low-purity silicon scrap, comprising: a vacuum chamber; Disposed in the vacuum chamber, having a vertical axis, consisting of an upper crucible and a lower crucible, surrounded by an induction coil, the thermal crucible is not cooled, and is made of an electrically conductive nonmetallic material, Cold crucible has a water-cooled structure, the bottom open crucible made of a thermally conductive and electrically conductive metal material; Silicon scrap supply means disposed in the vacuum chamber and supplying the low purity silicon scrap to the lower open crucible; A plasma arc heating source disposed in the vacuum chamber and irradiating a plasma to the low purity silicon scrap supplied to the lower open crucible; and a reactive gas disposed in the vacuum chamber to obtain a reactive gas on the molten surface obtained from the low purity silicon scrap. A system is provided for continuous production of solar cell grade high purity silicon ingots comprising a reactive gas supply means for supplying.

태양전지, 실리콘, 정련 Solar Cell, Silicon, Refining

Description

저순도 실리콘 스크랩을 정련하여 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템, 방법 및 그에 의해 제조된 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴{A high-purity silicon ingot with solar cell grade, a system and method for manufacturing the same by refining a low-purity scrap silicon} System and method for manufacturing solar-grade high-purity silicon ingot by refining low-purity silicon scrap, and a high-purity silicon ingot with solar cell grade, a system and method for manufacturing the same by refining a low-purity scrap silicon}

본 발명은 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템, 방법 및 그에 의해 얻어진 고순도 실리콘 주괴, 보다 상세하게는 저순도 실리콘 스크랩을 정련하여 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템, 방법 및 그에 의해 제조된태양 전지급 고순도 실리콘 주괴에 관한 것이다. The present invention relates to a system, a method for producing a high purity silicon ingot, and a system, a method for producing a solar cell-grade high purity silicon ingot by refining a high purity silicon ingot obtained, and more particularly, a low purity silicon scrap. Solar cell grade high purity silicon ingot.

근래, 광전지(Photovoltaic, 이하 "PV") 산업은, 그의 주요 재료인 결정질 실리콘의 심각한 부족 문제에 직면하고 있다. 이는 재료원인, 마이크로전자 산업으로부터의 폐기물이 줄어들고 있기 때문이다.In recent years, the photovoltaic ("PV") industry faces a serious shortage of crystalline silicon, its main material. This is because waste from the microelectronics industry, a material source, is shrinking.

실리콘 원료의 이용 비율을 높이기 위하여, 실리콘 잉곳으로부터 실리콘 웨이퍼를 제조하거나 웨이퍼에 각종 회로를 인쇄하는 도중에 발생하는 불량 실리콘 기판 스크랩(이하 "실리콘 스크랩"이라 한다)을 재이용하는 것이 바람직하다. 하지만, 실리콘 스크랩은 불순물을 함유하기 때문에, 재사용되기 전에 순도를 높이는 것이 필수적이다.In order to increase the utilization rate of the silicon raw material, it is preferable to reuse the defective silicon substrate scrap (hereinafter referred to as "silicon scrap") which occurs during the manufacture of the silicon wafer from the silicon ingot or the printing of various circuits on the wafer. However, since silicon scrap contains impurities, it is essential to increase the purity before reuse.

서로 다른 소스들로부터 얻어지는 실리콘 스크랩은 예를 들면, 보론, 인, 비소 그리고 안티몬 등의 각종 다른 불순물 원소들을 함유할 수 있다. 불순물 원소의 유형에 따라, 불순물 정련 방법도 달리 해야한다. 게다가, 다른 불순물 원소들을 함유하는 실리콘 스크랩이 정련 공정의 용융 단계 동안 함께 혼합될 경우, 고순도 실리콘이 얻어지지 않는다. 더군다나, 실리콘 스크랩이 용융에 의해 적당히 또는 전혀 제거될 수 없는 불순물 원소들을 함유한다면, 불순물 원소들은 결국 정련후에 실리콘내에 잔존하게 되고, 고순도 실리콘이 얻어지지 않는다.Silicon scrap obtained from different sources may contain various other impurity elements such as, for example, boron, phosphorus, arsenic and antimony. Depending on the type of impurity element, the impurity refining method should be different. In addition, high purity silicon is not obtained when silicon scrap containing other impurity elements are mixed together during the melting step of the refining process. Furthermore, if the silicon scrap contains impurity elements that cannot be removed properly or at all by melting, the impurity elements eventually remain in the silicon after refining and no high purity silicon is obtained.

저순도 실리콘으로부터 고-품질 PV 재료를 생산하는 정련 기법에 대하여 조사하기 위한 목적으로, PV 생산을 위한 대안의 실리콘 소스를 찾기 위한 시도가 이루어지고 있다. 이의 목표는 변환 효율 및 비용 측면에서 모두 고전적인 재료와 경쟁할 수 있는 다결정질 웨이퍼 및 광전지를 안출하는 것이다. 이러한 접근들 중 하나로, 업그레이드된 야금 실리콘의 정련법에 대한 조사가 이루어지고 있다. Attempts have been made to find alternative silicon sources for PV production, with the aim of investigating refining techniques for producing high-quality PV materials from low purity silicon. Its goal is to create polycrystalline wafers and photovoltaic cells that can compete with classical materials both in terms of conversion efficiency and cost. In one of these approaches, investigations have been made on refining upgraded metallurgical silicon.

플라즈마를 이용한 야금-등급 실리콘의 정련이 몇몇 연구 그룹에 의해 연구되어 왔다. 프랑스의 한 연구 그룹은 반응성 가스로 첨가된 산소로 유도 아르곤 플라즈마를 이용한 바 있다. 모든 실험은 낮은 단위(<250g)에 관하여 수행됐다. 그리고 일본의 다른 연구 그룹은 불순물중 하나인 보론의 제거를 연구하여 전자 빔, 아크 플라즈마, 그리고 방향성 응고를 결합한 정련 공정을 개발한 바 있다. 전자 빔은 인의 제거에 이용되었고, 플라즈마 처리는 물을 이용하여 보론을 제거 하였으며, 그리고 두개의 방향성 응고 단계는 금속 불순물들을 제거하였다. 이러한 연구들에서 처리된 실로콘의 양은 배치당 300kg에 이르렀다. 하지만 상기 공정은 야금 등급으로부터 직접 태양전지 등급의 실리콘을 제조하는 것은 가능할지라도, 비용 효율이 높지 않으며, 배치 타입으로 생산성이 낮은 문제점을 가지고 있다.Refining metallurgical-grade silicon using plasma has been studied by several research groups. A research group in France used an induced argon plasma with oxygen added as a reactive gas. All experiments were performed on low units (<250 g). Another research group in Japan has studied the removal of one of the impurities, boron, and developed a refining process that combines electron beam, arc plasma, and directional solidification. The electron beam was used to remove phosphorus, the plasma treatment used water to remove boron, and the two directional solidification steps removed metal impurities. The amount of xylocon treated in these studies amounted to 300 kg per batch. However, this process has the problem that although it is possible to manufacture solar cell grade silicon directly from metallurgical grade, it is not cost effective and has low productivity as a batch type.

상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명은 고 용해효율 연속 주조 장치를 이용하여 저순도 실리콘 스크랩을 정련하여 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. In order to solve the problems of the prior art as described above, the present invention provides a system and method for manufacturing solar cell-grade high-purity silicon ingot by refining low-purity silicon scrap using a high melting efficiency continuous casting device. It aims to do it.

또한, 본 발명은 저순도 실리콘 스크랩을 정련하여 얻어지는 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제공하는 것을 목적으로 한다.Moreover, an object of this invention is to provide the solar cell grade high purity silicon ingot obtained by refine | purifying low purity silicon scrap.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른, 저순도 실리콘 스크랩을 정련하여 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템은,According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a system for manufacturing a solar-grade high-purity silicon ingot by refining low-purity silicon scrap,

진공 체임버;Vacuum chamber;

상기 진공 체임버 내에 배치되고, 수직축을 가지며, 상부의 열도가니와 하부의 냉도가니로 이루어지고, 유도코일에 의해 둘러싸여 있으며, 상기 열도가니는 냉각이 되지 아니하며, 전기전도성의 비금속 재료로 이루어지고, 상기 냉도가니는 수냉구조를 가지고 있으며, 열전도성 및 전기전도성의 금속 재료로 이루어지는 하부 개방형 도가니;Disposed in the vacuum chamber, having a vertical axis, consisting of an upper crucible and a lower crucible, surrounded by an induction coil, the thermal crucible is not cooled, and is made of an electrically conductive nonmetallic material, The cold crucible has a water cooling structure and includes a bottom open crucible made of a thermally conductive and electrically conductive metal material;

상기 진공 체임버 내에 배치되며, 상기 하부 개방형 도가니에 저순도 실리콘 스크랩을 공급하는 실리콘 스크랩 공급 수단;Silicon scrap supply means disposed in the vacuum chamber and supplying low purity silicon scrap to the lower open crucible;

상기 진공 체임버 내에 배치되며, 상기 하부 개방형 도가니에 공급된 상기 저순도 실리콘 스크랩에 플라즈마를 조사하는 플라즈마 아크 가열원;및 A plasma arc heating source disposed in the vacuum chamber and radiating plasma to the low purity silicon scrap supplied to the lower open crucible; and

상기 진공 체임버 내에 배치되고, 상기 저순도 실리콘 스크랩으로부터 얻어진 용탕 표면에 반응성 가스를 공급하는 반응성 가스 공급 수단을 포함한다.A reactive gas supply means disposed in the vacuum chamber and supplying a reactive gas to a molten surface obtained from the low purity silicon scrap.

바람직하게는, 상기 열도가니는 상단부가 둘레방향으로 일체화되어 있고, 하단부는 둘레방향의 적어도 일부가 종방향의 슬릿들에 의해 세그먼트로 분할된 구조를 이루며, 상기 냉도가니는 둘레방향의 적어도 일부분이 종방향의 슬릿들에 의해 상단부로부터 하단부까지 세그먼트로 분할되는 구조를 이룬다.Preferably, the thermal crucible has an upper end integrated in the circumferential direction, and the lower end has a structure in which at least a portion of the circumferential direction is divided into segments by longitudinal slits, and the cold crucible has at least a portion in the circumferential direction. The slits in the longitudinal direction form a segment divided from the upper end to the lower end.

바람직하게는, 상기 종방향의 슬릿들중 적어도 일부가 상기 열도가니와 상기 냉도가니에 걸쳐서 직선적으로 이어진다.Preferably, at least some of the longitudinal slits run linearly across the hot crucible and the cold crucible.

바람직하게는, 상기 전기전도성의 비금속재료는 흑연이다.Preferably, the electrically conductive nonmetallic material is graphite.

바람직하게는, 상기 열도가니의 외부는 자기장을 투과시키는 단열재로 둘러싸인다.Preferably, the outside of the crucible is surrounded by a heat insulating material that transmits a magnetic field.

바람직하게는, 상기 반응성 가스는 산소와 수소로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 어느 하나 이상이다.Preferably, the reactive gas is at least one selected from the group consisting of oxygen and hydrogen.

바람직하게는, 상기 반응성 가스는 고순도 물(pure water)을 가스화 하여 얻어진다.Preferably, the reactive gas is obtained by gasifying high purity water.

본 발명의 다른 측면에 따른 저순도 실리콘 스크랩을 정련하여 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 연속 제조하기 위한 방법은,According to another aspect of the present invention, a method for continuously manufacturing solar-grade high-purity silicon ingot by refining low-purity silicon scrap is provided.

상기 저순도 실리콘 스크랩을 진공 체임버 내에 배치된 하부 개방형 도가니에 공급하는 단계;Feeding the low purity silicon scrap into a lower open crucible disposed in a vacuum chamber;

상기 저순도 실리콘 스크랩을 용융시키고 및 상기 저순도 실리콘 스크랩으로 부터 얻어진 용탕에 포함된 휘발성 불순물을 휘발시키기 위하여, 상기 하부 개방형 도가니에 유도 가열열을 인가하고 상기 저순도 실리콘 스크랩에 플라즈마를 조사하는 단계;Applying induction heating heat to the lower open crucible and irradiating a plasma to the lower open crucible to melt the low purity silicon scrap and volatilize volatile impurities contained in the molten metal obtained from the low purity silicon scrap. ;

상기 저순도 실리콘 스크랩으로부터 얻어진 용탕에 포함된 난휘발성 불순물을 상기 휘발성 불순물 형태로 반응시키기 위해서, 상기 저순도 실리콘 스크랩으로부터 얻어진 용탕의 표면에 반응성 가스를 공급하는 단계;및Supplying a reactive gas to the surface of the melt obtained from the low purity silicon scrap in order to react the nonvolatile impurities contained in the melt obtained from the low purity silicon scrap in the form of the volatile impurities; and

상기 휘발성 불순물 및 상기 난휘발성 불순물이 제거된 용탕을 서냉하여 방향성 응고를 행하는 단계를 포함하고, Slow cooling the molten metal from which the volatile impurities and the non-volatile impurities have been removed, and performing directional solidification;

여기서, 상기 하부 개방형 도가니는, 수직축을 가지며, 상부의 열도가니와 하부의 냉도가니로 이루어지고, 유도코일에 의해 둘러싸여 있으며, 상기 열도가니는 냉각이 되지 아니하며, 전기전도성의 비금속 재료로 이루어지고, 상기 냉도가니는 수냉구조를 가지고 있으며, 열전도성 및 전기전도성의 금속 재료로 이루어진다.Here, the lower open crucible has a vertical axis, consists of the upper crucible and the lower crucible, surrounded by an induction coil, the thermal crucible is not cooled, made of an electrically conductive non-metallic material, The cold crucible has a water cooling structure and is made of a thermally conductive and electrically conductive metal material.

바람직하게는, 상기 휘발성 불순물은 Si보다 끓는점이 낮으면서 방향성응고에 의한 제거가 불가능한 정도의 평형 분배 계수를 갖는 불순물이고, 상기 난휘발성 물질은 Si 보다 끓는점이 높으면서 방향성응고에 의한 제거가 불가능한 정도의 평형 분배 계수를 갖는 불순물이다.Preferably, the volatile impurity is an impurity having a boiling point lower than Si and having an equilibrium partition coefficient that cannot be removed by directional solidification, and the nonvolatile material has a high boiling point than Si and cannot be removed by directional solidification It is an impurity having an equilibrium partition coefficient.

바람직하게는, 상기 하부 개방형 도가니의 상기 열도가니는 상단부가 둘레방향으로 일체화되어 있고, 하단부는 둘레방향의 적어도 일부가 종방향의 슬릿들에 의해 세그먼트로 분할된 구조를 이루며, 상기 냉도가니는 둘레방향의 적어도 일부 분이 종방향의 슬릿들에 의해 상단부로부터 하단부까지 세그먼트로 분할되는 구조를 이룬다.Preferably, the thermal crucible of the lower open crucible has an upper end integrated in the circumferential direction, and the lower end has a structure in which at least a portion of the circumferential direction is divided into segments by longitudinal slits, and the cold crucible At least a part of the direction forms a segment which is divided into segments from an upper end to a lower end by longitudinal slits.

바람직하게는, 상기 하부 개방형 도가니의 상기 종방향의 슬릿들중 적어도 일부가 상기 열도가니와 상기 냉도가니에 걸쳐서 직선적으로 이어진다.Preferably, at least some of the longitudinal slits of the lower open crucible run straight across the hot crucible and the cold crucible.

바람직하게는, 상기 하부 개방형 도가니의 상기 전기전도성의 비금속재료는 흑연이다.Preferably, the electrically conductive nonmetallic material of the lower open crucible is graphite.

바람직하게는, 상기 열도가니의 외부는 자기장을 투과시키는 단열재로 둘러싸인다.Preferably, the outside of the crucible is surrounded by a heat insulating material that transmits a magnetic field.

바람직하게는, 상기 공급되는 반응성 가스는 산소와 수소의 혼합물로 이루어진다.Preferably, the supplied reactive gas consists of a mixture of oxygen and hydrogen.

바람직하게는, 상기 공급되는 반응성 가스는 고순도 물을 가스화하여 얻어진다.Preferably, the supplied reactive gas is obtained by gasifying high purity water.

본 발명의 또 다른 측면에 따른 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴는 상기 방법 들 중 어느 하나를 이용하여 얻어진다.A solar cell grade high purity silicon ingot according to another aspect of the invention is obtained using any of the above methods.

본 발명에 의하면 변환 효율 및 비용 측면에서 모두 만족스러운, 저순도 실리콘 스크랩으로부터 태양전지급 고-품질 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템 및 방법을 얻을 수 있다. The present invention provides a system and method for producing solar cell-grade high-quality silicon ingots from low-purity silicon scrap, which are both satisfactory in terms of conversion efficiency and cost.

또한, 본 발명에 의하면, 연속 주조 타입으로 생산성이 높은, 저순도 실리콘 스크랩으로부터 태양전지 등급의 고품질 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템 및 방법을 얻을 수 있다.In addition, according to the present invention, a system and method for producing high quality silicon ingot of solar cell grade from low-purity silicon scrap having high productivity in continuous casting type can be obtained.

또한, 본 발명에 의하면 저순도 실리콘 스크랩으로부터 태양전지급 고-품질 실리콘 주괴를 얻을 수 있다. According to the present invention, solar cell grade high-quality silicon ingots can be obtained from low-purity silicon scrap.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 이용하여 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 저순도 실리콘 스크랩을 정련하여 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템은, As shown in FIG. 1, a system for manufacturing solar cell-grade high purity silicon ingot by refining low purity silicon scrap according to the present invention,

진공 체임버(A); 상기 진공 체임버(A) 내에 배치되고, 수직축을 가지며, 상부의 열도가니(10)와 하부의 냉도가니(2)로 이루어지고, 유도코일(1)에 의해 둘러싸여 있으며, 상기 열도가니(10)는 냉각이 되지 아니하며, 전기전도성의 비금속 재료로 이루어지고, 상기 냉도가니(2)는 수냉구조를 가지고 있으며, 열전도성 및 전기전도성의 금속 재료로 이루어지는 도가니(B); 상기 진공 체임버(A) 내에 배치되며, 상기 도가니(B)에 저순도 실리콘 스크랩을 공급하는 실리콘 스크랩 공급 수단(C); 상기 진공 체임버(A) 내에 배치되며, 상기 도가니(B)에 공급된 상기 저순도 실리콘 스크랩에 플라즈마를 조사하는 플라즈마 아크 가열원(D);및 상기 진공 체임버(A) 내에 배치되고, 상기 저순도 실리콘 스크랩으로부터 얻어진 용탕(5) 표면에 반응성 가스를 공급하는 반응성 가스 공급 수단(E)을 포함한다. Vacuum chamber (A); It is disposed in the vacuum chamber (A), has a vertical axis, consists of a hot crucible 10 of the upper and a cold crucible 2 of the lower, surrounded by an induction coil (1), the thermal crucible 10 is Crucible (B) that is not cooled, made of an electrically conductive nonmetallic material, the cold crucible (2) has a water-cooled structure, made of a thermally conductive and electrically conductive metal material; Silicon scrap supply means (C), disposed in the vacuum chamber (A), for supplying low-purity silicon scrap to the crucible (B); A plasma arc heating source (D) disposed in the vacuum chamber (A) and irradiating a plasma to the low purity silicon scrap supplied to the crucible (B); and disposed in the vacuum chamber (A), the low purity Reactive gas supply means (E) which supplies a reactive gas to the surface of the molten metal 5 obtained from the silicon scrap is included.

상기 도가니(B)에 저순도 실리콘 스크랩을 공급하기 위해 진공 체임버(A) 내에 상기 실리콘 스크랩 공급 수단(C)이 배치된다. 이러한 실리콘 스크랩 공급 수단(C)으로는, 예를 들면 철로 만들어진 부품들을, 고온-진공 상태에서 녹의 형성 을 방지하기 위하여 스테인레스 강으로 만들어진 부품들로 대체하고 통상의 그리스를 진공 상태에서의 이용을 위한 그리스로 대체하여 고온-진공 상태에서의 이용을 위해 개조된, 상업적으로 이용가능한 진동 부품 공급기(예를 들면, SANKI Co, Ltd의 JA-타입 벌크 호퍼)가 이용될 수 있다.The silicon scrap supply means (C) is arranged in the vacuum chamber (A) to supply low purity silicon scrap to the crucible (B). With such silicon scrap supply means C, for example, parts made of iron are replaced with parts made of stainless steel in order to prevent the formation of rust in the hot-vacuum state and ordinary grease is used for use in a vacuum state. Commercially available vibratory component feeders (eg JA-type bulk hoppers from SANKI Co, Ltd), which have been adapted for use in hot-vacuum conditions in place of grease, can be used.

그 다음, 저순도 실리콘 스크랩의 용융을 돕고, 용탕(5)의 표면으로부터 불순물들을 고온에서 휘발시키기 위하여 플라즈마 아크 가열원(D)이 진공 체임버(A) 내에 설치된다.Then, a plasma arc heating source D is installed in the vacuum chamber A to help melt the low-purity silicon scrap and to volatilize impurities at a high temperature from the surface of the melt 5.

플라즈마 아크 가열원(D)은 상기 도가니(B)에 공급된 상기 저순도 실리콘 스크랩에 고 에너지를 갖는 플라즈마를 조사하여 저순도 실리콘 스크랩을 용융시키게 된다. 이에 의해 저순도 실리콘 스크랩이 용융되고, 일단 용융이 시작되게 되면, 그 다음, 열도가니(10) 주변의 유도코일(1)에 흐르는 전류에 의한 전자기 유도 현상이 전체 저순도 실리콘 스크랩 장입물의 용융을 확보하게된다. The plasma arc heating source D irradiates the plasma having high energy to the low purity silicon scrap supplied to the crucible B to melt the low purity silicon scrap. As a result, the low-purity silicon scrap is melted, and once melting begins, electromagnetic induction due to the current flowing in the induction coil 1 around the thermal crucible 10 causes the melting of the entire low-purity silicon scrap charge. Secured.

저순도 실리콘 스크랩으로부터 얻어진 용탕(5)에 포함되어 있는 불순물들 중에서 가장 핵심적인 원소인 보론과 인은 다른 불순물에 비해서 제거가 특히 곤란하다. 보론과 인은 평형 분배 계수가 각각 0.8, 0.35로 타 불순물에 비해 1에 가까워 상기 도가니(B)에서 융해후 서냉에 의한 일방향응고시스템에 의해서는 불순물 편석이 잘 일어나지 않는다.Among the impurities contained in the molten metal 5 obtained from the low-purity silicon scrap, boron and phosphorus, which are the most important elements, are particularly difficult to remove than other impurities. Boron and phosphorus have equilibrium distribution coefficients of 0.8 and 0.35, respectively, so that they are close to 1 compared to other impurities, and impurity segregation is less likely to occur in the crucible (B) by unidirectional coagulation system by slow cooling.

이러한 보론과 인의 제거를 위해서는 고에너지를 인가하여 이들 불순물들을 고온에서 휘발시켜 가스화하는 방법이 이용된다. 그러나, 인은 실리콘에 비해 증기압이 높아 고에너지 인가시 실리콘이 휘발되기전에 플라즈마 아크 가열원(D) 및 도 가니(B)의 유도가열에 의해 실리콘 보다 먼저 휘발되지만, 보론은 실리콘에 비해 증기압이 낮아 고에너지 인가시 보론이 휘발되기전에 실리콘이 먼저 휘발되는 문제점을 가지고 있다. 따라서, 플라즈마 아크 가열원(D)은 보론의 제거에 대해서는 한계가 있다. In order to remove boron and phosphorus, a method of applying high energy to volatilize these impurities at a high temperature and gasifying is used. However, phosphorus has a higher vapor pressure than silicon, but volatilizes it earlier than silicon by induction heating of plasma arc heating source (D) and crucible (B) before silicon is volatilized when high energy is applied. When high energy is applied, silicon has a problem of volatilizing before boron is volatilized. Therefore, the plasma arc heating source D has a limitation with respect to the removal of boron.

그 다음, 반응성 가스 공급 수단(E)이 상기 저순도 실리콘 스크랩으로 부터 얻어진 용탕(5) 표면에 반응성 가스, 즉 불순물의 휘발을 촉진시키는데 적합한 가스, 바람직하게는 산소와 수소의 혼합물을 공급하여 보론을 제거하기 위하여 진공 체임버(A) 내에 도가니(B)의 용융물의 상부에 설치되게 된다. 바람직하게는 산소와 수소의 혼합물은 정제된 고순도 물을 가스화시킴으로써 용이하게 공급할 수 있다. 이렇게 공급된 반응성 가스는 도가니(B)의 용탕(5) 내부에 형성되는 와류에 의해 용탕(5) 표면으로 확산되어 이동되는 불순물과 반응하여 불순물의 휘발을 돕게 된다.  Then, the reactive gas supply means E supplies boron by supplying a reactive gas, ie, a mixture of oxygen and hydrogen, to the surface of the molten metal 5 obtained from the low purity silicon scrap, which is suitable for promoting volatilization of impurities. It is to be installed on top of the melt of the crucible (B) in the vacuum chamber (A) to remove the. Preferably the mixture of oxygen and hydrogen can be readily supplied by gasifying purified high purity water. The reactive gas supplied in this way reacts with the impurities diffused and moved to the surface of the molten metal 5 by vortices formed in the molten metal 5 of the crucible B to help volatilize the impurities.

보론(끓는점: 2820K)은 실리콘(끓는점: 2540K) 보다 휘발성이 적지만, 반응성 가스, 즉, 산소와 수소를 동시에 첨가하게 되면 휘발성이 높아질 수 있다. 이러한 조건 하에서, 보론은 BHO(주로), BO 그리고 BH2의 형태로 증발한다. 1850K에서, BOH는 BO보다 10배나 휘발성이 높기 때문에, 보론의 효과적인 제거를 위해서는 산소 뿐만 아니라 수소 또는 물을 필요로 하게된다. Boron (boiling point: 2820K) is less volatile than silicon (boiling point: 2540K), but it can become more volatile when the reactive gases, ie, oxygen and hydrogen, are added at the same time. Under these conditions, boron evaporates in the form of BHO (mainly), BO and BH2. At 1850 K, BOH is 10 times more volatile than BO, requiring hydrogen or water as well as oxygen for effective removal of boron.

한편, 도가니(B)는 진공 체임버(A) 내에 배치되며 하부 개방형의 고 용해효율 전자기연속주조를 위해 다음과 같이 구성된다.On the other hand, the crucible (B) is disposed in the vacuum chamber (A) and is configured as follows for the high melting efficiency electromagnetic continuous casting of the lower open type.

1. 전자기압 효과보다는 가열효과가 중요한 용탕의 상부에 대응하는 도가니(B)의 상부에는, 고 융점인 비금속 소재중에서 전기전도성이 뛰어난 소재로 냉각하지 아니하는 구조의 도가니(이른바 "열도가니")를 제작하였다. 따라서, 열도가니에서 발생되는 유도발열량이 용탕의 가열에 기여하도록 한다. 1. The crucible (B), which corresponds to the upper part of the molten metal, whose heating effect is more important than the electromagnetic pressure effect, is a crucible of a structure that does not cool with a material having excellent electrical conductivity among nonmetallic materials having a high melting point (so-called "thermal crucible"). Was produced. Therefore, the amount of induction heat generated in the thermal crucible contributes to the heating of the molten metal.

2. 가열효과보다는 전자기압의 효과가 상대적으로 더 중요하며, 유도코일(1)을 빠져나와 응고가 개시되는 용탕의 하부에 대응하는 도가니(B)의 하부에는, 고 열전도도의 도전성 금속 재료의 수냉하는 구조를 갖는 도가니(이른바 "냉도가니")를 제작하여, 용탕과 도가니사이에 접촉이 이루어지지 아니하도록 하였다. 2. The effect of electromagnetic pressure is more important than the heating effect, and at the bottom of the crucible (B) corresponding to the lower part of the molten metal which exits the induction coil (1) and starts to solidify, a high thermal conductivity conductive metal material A crucible (so-called "cold crucible") having a water-cooling structure was manufactured to prevent contact between the molten metal and the crucible.

따라서, 원료의 용해 효율을 현격히 향상시키면서도 용탕의 전 구간에 걸쳐 전자기력이 용탕의 정수압보다 큰 상태로 유지시킬 수 있다.Therefore, it is possible to keep the electromagnetic force greater than the hydrostatic pressure of the molten metal over the entire section of the molten metal while significantly improving the dissolution efficiency of the raw material.

이를 위해, 상기 도가니(B)는 수직축을 가지며, 상부의 열도가니(10)와 하부의 냉도가니(2)로 이루어지고, 유도코일(1)에 의해 둘러싸여 있다.  To this end, the crucible (B) has a vertical axis, consisting of a thermal crucible 10 of the upper portion and a cold crucible 2 of the lower portion, and is surrounded by an induction coil (1).

상기 열도가니(10)는 냉각이 되지 아니하며, 전기전도성의 비금속 재료로 이루어진다. 상기 냉도가니(2)는 수냉구조를 가지고 있으며, 열전도성 및 전기전도성의 금속 재료로 이루어진다. The thermal crucible 10 is not cooled and is made of an electrically conductive nonmetallic material. The cold crucible 2 has a water cooling structure and is made of a thermally conductive and electrically conductive metal material.

상기 열도가니(10)는 상단부가 둘레방향으로 일체화되어 있고, 하단부는 둘레방향의 적어도 일부가 종방향의 슬릿(3)들에 의해 세그먼트(4)로 분할된 구조를 이룬다. 바람직하게는, 상기 냉도가니(2)는 둘레방향의 적어도 일부분이 종방향의 슬릿(3)들에 의해 상단부로부터 하단부까지 세그먼트(4)로 분할되는 구조를 이룬다.The thermal crucible 10 has a structure in which an upper end is integrated in the circumferential direction, and at least a portion of the lower end is divided into segments 4 by slits 3 in the longitudinal direction. Preferably, the cold crucible 2 has a structure in which at least a portion in the circumferential direction is divided into segments 4 from the upper end to the lower end by longitudinal slits 3.

상기 유도 코일(1)은 열도가니(10)의 외부에 둘러싸여, 전류가 인가됨에 따 라 발생된 자기장을 상기 열도가니(10)의 슬릿(3)들을 통하여 상기 열도가니(10)의 내부까지 투과시켜 원료를 가열 용해시킨다. 또한 저순도 실리콘 스크랩으로부터 얻어진 용탕(5)내에 와류를 형성시켜 불순물들 중에서 가장 핵심적인 원소인 보론과 인을 용탕(5) 표면으로 확산이동시켜 후술하는 이들의 제거 과정을 돕는 역할을 한다.The induction coil 1 is surrounded by the outside of the thermal crucible 10, and transmits a magnetic field generated as a current is applied to the inside of the thermal crucible 10 through the slits 3 of the thermal crucible 10. To dissolve the raw material by heating. In addition, by forming a vortex in the molten metal (5) obtained from the low-purity silicon scrap to diffuse the boron and phosphorus, the most important elements of the impurities to the surface of the molten metal (5) serves to help the removal process described below.

상기 종방향의 슬릿들(3)중 적어도 일부가 상기 열도가니(10)와 상기 냉도가니(2)에 걸쳐서 직선적으로 이어지는 것이 바람직하다. It is preferred that at least some of the longitudinal slits 3 extend linearly across the crucible 10 and the cold crucible 2.

상기 열도가니(10)의 전기전도성의 비금속재료는 흑연인 것이 바람직하다. 그리고, 상기 도가니(B)는 상부인 열도가니(10)를 둘러싸는 단열재의 자기장 투과덮개를 추가로 포함하는 것이 바람직하다.The electrically conductive nonmetallic material of the thermal crucible 10 is preferably graphite. And, the crucible (B) preferably further comprises a magnetic field transparent cover of the heat insulating material surrounding the upper crucible 10.

연속주조를 위해서는 우선 더미바(7)로 도가니(B)의 아래를 막은 상태에서 도가니(B)안에 저순도 실리콘 스크랩(6)을 장입하고, 초기 용탕(5)을 용탕 돔(dome)이 도가니(B) 상단 5 mm 아래에 이르기까지 형성시킨 후, 저순도 실리콘 스크랩(6)을 계속적으로 보급하면서 더미바(7)를 일정 속도로 하강시키며 연속적으로 주괴(8)를 제조한다.For continuous casting, first, the low purity silicon scrap 6 is charged into the crucible B while the dummy bar 7 is closed under the crucible B, and the initial dome 5 is a crucible dome. (B) After forming up to 5 mm below the upper end, the low purity silicon scrap 6 is continuously replenished while the dummy bar 7 is lowered at a constant speed to continuously manufacture the ingot 8.

도 2 내지 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 시스템에 사용될 수 있는 여러가지 태양의 도가니 구조를 예시한다. 2-4 illustrate crucible structures of various aspects that can be used in a system according to a preferred embodiment of the present invention.

도2에 나타낸 제1 태양의 도가니는 상부의 열도가니(10)와 하부의 냉도가니(2)로 이루어져 있다. 즉, 냉도가니(2)의 상부에 내역 50㎜, 외경 80㎜, 높이 30㎜인 흑연소재의 열도가니(10)를 얹어 놓은 구조이다. The crucible of the 1st aspect shown in FIG. 2 consists of a thermal crucible 10 of the upper part, and the cold crucible 2 of the lower part. That is, it is a structure in which the thermal crucible 10 of graphite material of 50 mm, an outer diameter of 80 mm, and a height of 30 mm was put on the upper part of the cold crucible 2.

전자기압 효과보다는 가열효과가 중요한 상부의 열도가니(10)는 고융점인 비금속소재 중에서 전기전도성이 뛰어난 것으로 이루어지며, 냉각구조를 가지지 아니한다. 따라서, 열도가니(10)에서 발생되는 유도발열량이 용탕(5)의 가열에 기여하도록 하였다. The upper crucible 10, which has a heating effect rather than an electromagnetic pressure effect, is made of a high melting point non-metallic material having excellent electrical conductivity, and does not have a cooling structure. Therefore, the amount of induced heat generated in the thermal crucible 10 contributes to the heating of the molten metal 5.

이에 반하여 가열효과보다는 전자기압의 효과가 상대적으로 더 중요하며, 유도코일(1)을 빠져나와 응고가 개시되는 하부의 냉도가니(2)는 고 열전도성 및 전기전도성의 금속재료로 제작하고 수냉하는 구조로 하였다. On the contrary, the effect of electromagnetic pressure is more important than the heating effect, and the cold crucible 2 which exits the induction coil 1 and starts to solidify is made of a metal material of high thermal conductivity and electric conductivity and water cooled. It was made into a structure.

냉도가니(2)는 둘레방향의 적어도 일부분이 종방향의 슬릿(3)들에 의해 상단부에서 하단부까지 세그먼트(4)로 분할되는 구조로 이루어진다. The cold crucible 2 has a structure in which at least a part of the circumferential direction is divided into segments 4 from the upper end to the lower end by the longitudinal slits 3.

열도가니(10)의 외부는 저순도 실리콘 스크랩(6)의 가열효과 향상과 유도코일(1)의 보호를 위해서 자기장 차폐효과가 없는 단열재(11)를 이용하여 단열시켰다.The outside of the thermal crucible 10 was insulated using a heat insulating material 11 having no magnetic field shielding effect in order to improve the heating effect of the low-purity silicon scrap 6 and to protect the induction coil 1.

제1 태양의 도가니에서는 흑연소재의 열도가니(10)에서 생성된 유도발열량이 냉각수로 손실되지 않고 저순도 실리콘 스크랩(6)의 가열 및 용해에 기여하여 연속적인 용해공정이 가능하였으나 용탕(5)과 도가니와의 접촉이 억제되지 않은 문제점이 관찰되었다. 이는, 용탕(5)의 정수압보다 전자기압이 작아 용탕(5)을 도가니와 무접촉상태로 유지하기 어렵기 때문이다. In the crucible of the first aspect, the induction calorific value generated in the thermal crucible 10 of the graphite material is not lost to the cooling water but contributes to the heating and melting of the low-purity silicon scrap 6, thereby enabling continuous dissolution process. The problem that contact with the crucible was not suppressed was observed. This is because the electromagnetic pressure is smaller than the hydrostatic pressure of the molten metal 5, so that it is difficult to maintain the molten metal 5 in a non-contact state with the crucible.

도 3에 나타낸 제2 태양의 도가니는 내경 50mm, 외경 80mm, 높이 30mm인 흑연소재의 열도가니(10)를 종방향의 슬릿(3) 12개에 의해 12개의 세그먼트(4)로 완전히 분할한 후 냉도가니(2) 위에 위치시켰으며, 비금속재료의 열도가니(10) 하단 부와 상기 전기전도성 재료의 냉도가니(2) 상단부에 형성된 종방향의 슬릿(3)들은 상기 두 도가니의 경계 부근에서도 전자기력이 도절되지 않도록 서로 연속되게 하였다. 나머지 조건은 도 2의 제1 태양의 도가니에서와 동일하다.The crucible of the second aspect shown in FIG. 3 is divided into 12 segments 4 by twelve slits 3 in the longitudinal direction after the thermal crucible 10 of graphite material having an inner diameter of 50 mm, an outer diameter of 80 mm, and a height of 30 mm. Positioned above the cold crucible (2), the longitudinal slits (3) formed at the lower end of the thermal crucible (10) of the non-metallic material and the upper part of the cold crucible (2) of the electrically conductive material have electromagnetic force near the boundary of the two crucibles. It was made continuous to each other so as not to be stolen. The remaining conditions are the same as in the crucible of the first aspect of FIG.

제2 태양의 도가니에서는 전자기압이 향상되어 용탕(5)과 도가니와의 접촉을 막을 수 있었지만, 비교예에서와 마찬가지로 초기 용탕(5) 생성 후 저순도 실리콘 스크랩(6)을 투입하는 경우에 응고피막이 용탕(5)의 표면에 쉽게 형성되어 연속적인 용해공정이 이루어질 수 없었다. 이는, 총유도발열량의 약 50%가 냉도가니(2)에서 발생 도가니냉각공정에서 손실되기 때문으로 보인다. In the crucible of the second aspect, the electromagnetic pressure was improved to prevent the contact between the molten metal 5 and the crucible, but as in the comparative example, when the low-purity silicon scrap 6 was introduced after the initial molten metal 5 was produced, the solidification A film was easily formed on the surface of the molten metal 5, and a continuous dissolution process could not be achieved. This is because about 50% of the total induction calorific value is lost in the crucible cooling process generated in the cold crucible (2).

도 4에 나타낸 제3 태양의 도가니는 내경 50mm, 외경 80mm, 높이 30mm인 흑연 소재의 열도가니(10)를 상단부는 둘레방향으로 일체화되어 있는 구조로 하고, 하단부는 길이 20mm인 슬릿(3)에 의해 12개의 세그먼트(4)로 분할된 구조로 되어 있고, 상기 비금속재료의 열도가니(10) 하단부와 상기 전기전도성 재료의 냉도가니(2) 상단부에 형성된 종방향의 슬릿(3)들은 상기 두 도가니의 경계 부근에서도 전자기력이 도절되지 않도록 서로 연속되게 하였다. 나머지 조건은 도 2의 제 1 태양의 도가니와 도 3의 제 2 태양의 도가니와 동일하다.The crucible of the third aspect shown in FIG. 4 has a structure in which a thermal crucible 10 of graphite material having an inner diameter of 50 mm, an outer diameter of 80 mm, and a height of 30 mm has a structure in which the upper end is integrated in the circumferential direction, and the lower end is in a slit 3 having a length of 20 mm. The longitudinal slits 3 formed at the lower end of the thermal crucible 10 of the non-metal material and the upper end of the cold crucible 2 of the electrically conductive material are formed in the two crucibles. The electromagnetic force was continuously connected to each other so as not to be stolen even near the boundary of. The remaining conditions are the same as the crucible of the first aspect of FIG. 2 and the crucible of the second aspect of FIG. 3.

제3 태양의 도가니에서는 용탕(5)과 도가니와의 접촉도 억제하면서 저순도 실리콘 스크랩(6)을 170g/min 이상의 속도로 투입하여 연속적으로 용해주조하는 것이 가능하다.In the crucible of the third aspect, it is possible to continuously melt-cast the low-purity silicon scrap 6 at a rate of 170 g / min or more while suppressing contact between the molten metal 5 and the crucible.

요컨데, 슬릿(3)이 없는 흑연소재의 열도가니(10)를 사용하는 제 1 태양의 도가니와 같은 경우에는 용탕(5)의 정수압보다 전자기압이 작아 용탕(5)을 도가니 와 무접촉상태로 유지하기 어려운 반면, 제 2, 3 태양의 도가니와 같이 열도가니(10)를 사용하더라도 하단부로부터 적어도 일부분을 종방향의 슬릿(3)을 내는 경우에는 전자기압을 용탕(5)의 정수압보다 동일하거나 크게 유지할 수 있다.In other words, in the case of the crucible of the first embodiment using the thermal crucible 10 of the graphite material without the slit 3, the electromagnetic pressure is smaller than the hydrostatic pressure of the molten metal 5 so that the molten metal 5 is in contact with the crucible. On the other hand, even if the thermal crucible 10 is used as in the crucibles of the second and third aspects, the electromagnetic pressure is equal to or greater than the hydrostatic pressure of the molten metal 5 when the slits 3 in the longitudinal direction are at least partially from the lower end. It can be kept large.

따라서 제 3 태양의 도가니와 같이 도가니의 상부를 흑연과 같이 비금속 소재 중에서 전기전도성이 뛰어난 소재로 제작하여 수냉하지 않고 도가니 하부는 동과 같이 고 열전도성의 전기전도성 금속 소재로 제작하여 수냉하는 구조로 하며, 이때 또한 상부 도가니의 상단부는 둘레방향으로 일체화되어 있고 하단부는 종방향의 슬릿(3)들에 의하여 둘레 방향으로 여러 개의 세그먼트(4)로 분할된 구조로 함으로써, 저순도 실리콘 스크랩을 도가니와의 무접촉 상태를 유지하면서도 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴로 효율적으로 연속 용해주조할 수 있다.Therefore, as the crucible of the third embodiment, the upper part of the crucible is made of a non-metallic material such as graphite, which has excellent electrical conductivity, and is not water cooled, but the lower part of the crucible is made of a high thermal conductivity electrically conductive metal material such as copper, and thus cooled. At this time, the upper part of the upper crucible is integrated in the circumferential direction and the lower part is divided into the plurality of segments 4 in the circumferential direction by the slits 3 in the longitudinal direction. It can efficiently and continuously cast by solar cell class high purity silicon ingot while maintaining contactless state.

한편, 본 발명의 다른 측면에 따른 저순도 실리콘 스크랩을 정련하여 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 연속 제조하기 위한 방법은,On the other hand, a method for continuously manufacturing a solar cell-grade high-purity silicon ingot by refining low-purity silicon scrap according to another aspect of the present invention,

상기 저순도 실리콘 스크랩을 진공 체임버 내에 배치된 하부 개방형 도가니에 공급하는 단계; 상기 저순도 실리콘 스크랩을 용융시키고 및 상기 저순도 실리콘 스크랩으로 부터 얻어진 용탕에 포함된 휘발성 불순물을 휘발시키기 위하여, 상기 하부 개방형 도가니에 유도 가열열을 인가하고 상기 저순도 실리콘 스크랩에 플라즈마를 조사하는 단계; 상기 저순도 실리콘 스크랩으로부터 얻어진 용탕에 포함된 난휘발성 불순물을 상기 휘발성 불순물 형태로 반응시키기 위해서, 상기 저순도 실리콘 스크랩으로부터 얻어진 용탕의 표면에 반응성 가스를 공급하는 단계;및 상 기 휘발성 불순물 및 상기 난휘발성 불순물이 제거된 용탕을 서냉하여 방향성 응고를 행하는 단계를 포함하고, Feeding the low purity silicon scrap into a lower open crucible disposed in a vacuum chamber; Applying induction heating heat to the lower open crucible and irradiating a plasma to the lower open crucible to melt the low purity silicon scrap and volatilize volatile impurities contained in the molten metal obtained from the low purity silicon scrap. ; Supplying a reactive gas to the surface of the molten metal obtained from the low purity silicon scrap in order to react the nonvolatile impurities contained in the molten metal obtained from the low purity silicon scrap in the form of the volatile impurities; and the volatile impurities and the egg Slow cooling the molten metal from which volatile impurities have been removed, and performing directional solidification;

여기서, 상기 하부 개방형 도가니는, 수직축을 가지며, 상부의 열도가니와 하부의 냉도가니로 이루어지고, 유도코일에 의해 둘러싸여 있으며, 상기 열도가니는 냉각이 되지 아니하며, 전기전도성의 비금속 재료로 이루어지고, 상기 냉도가니는 수냉구조를 가지고 있으며, 열전도성 및 전기전도성의 금속 재료로 이루어진다.Here, the lower open crucible has a vertical axis, consists of the upper crucible and the lower crucible, surrounded by an induction coil, the thermal crucible is not cooled, made of an electrically conductive non-metallic material, The cold crucible has a water cooling structure and is made of a thermally conductive and electrically conductive metal material.

이를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.This will be described in more detail as follows.

먼저, 불순물을 함유하는 저순도 실리콘 스크랩을 진공 체임버 내에 배치된 하부 개방형 도가니에 공급한다. First, a low purity silicon scrap containing impurities is fed to a lower open crucible disposed in a vacuum chamber.

그 다음, 저순도 실리콘 스크랩을 용융시키고 및 상기 저순도 실리콘 스크랩으로 부터 얻어진 용탕에 포함된 휘발성 불순물을 휘발시키기 위하여, 상기 하부 개방형 도가니에 유도 가열열을 인가하고 상기 저순도 실리콘 스크랩에 플라즈마를 조사한다. 여기서, 휘발성 불순물은 Si보다 끓는점이 낮으면서 방향성응고에 의한 제거가 불가능한 정도의 평형 분배 계수를 갖는 불순물로 예를 들면, 인과 같은 불순물을 지칭한다. 고에너지를 갖는 플라즈마 및 도가니의 유도 가열열에 의해 저순도 실리콘 스크랩이 용융되며, 상기 저순도 실리콘 스크랩으로 부터 얻어진 용탕에 포함된 휘발성 불순물, 예를 들면 P, BHO, BO 및 BH2 등의 제거가 가능하다. Then, induction heating heat is applied to the lower open crucible and the plasma is irradiated to the lower open crucible to melt low purity silicon scrap and volatilize volatile impurities contained in the molten metal obtained from the low purity silicon scrap. do. Here, volatile impurities are impurities having a boiling point lower than Si and having an equilibrium partition coefficient that cannot be removed by directional solidification and refer to impurities such as phosphorus, for example. Low-purity silicon scrap is melted by induction heating heat of plasma and crucible with high energy, and volatile impurities, such as P, BHO, BO and BH2, contained in the molten metal obtained from the low-purity silicon scrap can be removed. Do.

그리고, 상기 저순도 실리콘 스크랩으로부터 얻어진 용탕에 포함된 난휘발성 불순물을 상기 휘발성 불순물 형태로 반응시키기 위해서, 상기 저순도 실리콘 스크랩으로부터 얻어진 용탕의 표면에 반응성 가스를 공급한다. 상기 난휘발성 물질은 Si 보다 끓는점이 높으면서 방향성응고에 의한 제거가 불가능한 정도의 평형 분배 계수를 갖는 불순물을 지칭한다. 반응성 가스, 예를 들면 고순도의 물로부터 얻어지는 수소와 산소의 혼합물을 공급함으로써 난휘발성 불순물로 분류되는 보론을 상기 휘발성 불순물로 분류되는 BHO, BO 및 BH2 형태로 변환시켜 상기 단계에 의해서 제거가 용이하게 된다. Then, in order to react the nonvolatile impurities contained in the molten metal obtained from the low purity silicon scrap in the form of the volatile impurities, a reactive gas is supplied to the surface of the molten metal obtained from the low purity silicon scrap. The nonvolatile material refers to an impurity having a boiling point higher than that of Si and an equilibrium partition coefficient that is impossible to remove by directional solidification. By supplying a mixture of hydrogen and oxygen obtained from high purity water, for example, a reactive gas, boron, which is classified as nonvolatile impurities, is converted into BHO, BO, and BH2 forms, which are classified as volatile impurities, for easy removal by the step. do.

이렇게, 보론과 인을 제거한 다음, 실리콘 용탕(5)을 방향성 응고시키게되면, Al, Fe, Ti, Cu 등의 불순물들이 편석된 실리콘 주괴를 얻게되고, 이러한 불순물들이 편석된 부분만을 절단에 의해 제거함으로써, 최종물로 태양전지급 고순도 실리콘 주괴를 연속 주조하는 것이 가능하다.Thus, when boron and phosphorus are removed, and then the silicon molten metal 5 is directionally solidified, a silicon ingot in which impurities such as Al, Fe, Ti, and Cu are segregated is obtained, and only those parts where these impurities are segregated are removed by cutting. As a result, it is possible to continuously cast a solar cell class high purity silicon ingot as a final product.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 저순도 실리콘 스크랩을 정련하여 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템의 구성을 개략적으로 설명하기 위한 측면도.1 is a side view for schematically illustrating a configuration of a system for manufacturing solar cell-grade high purity silicon ingot by refining low purity silicon scrap according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 시스템에 사용될 수 있는 제1 태양의 도가니 구조를 나타내는 단면도.2 is a cross-sectional view illustrating the crucible structure of the first aspect that may be used in a system according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 시스템에 사용될 수 있는 제2 태양의 도가니 구조를 나타내는 단면도.3 is a cross-sectional view illustrating a crucible structure of a second aspect that may be used in a system according to a preferred embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 시스템에 사용될 수 있는 제3 태양의 도가니 구조를 나타내는 단면도.4 is a cross-sectional view illustrating a crucible structure of a third aspect that may be used in a system according to a preferred embodiment of the present invention.

Claims (16)

저순도 실리콘 스크랩을 정련하여 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 연속 제조하기 위한 시스템으로서,A system for continuously manufacturing solar-grade high-purity silicon ingots by refining low-purity silicon scraps, 진공 체임버;Vacuum chamber; 상기 진공 체임버 내에 배치되고, 수직축을 가지며, 상부의 열도가니와 하부의 냉도가니로 이루어지고, 유도코일에 의해 둘러싸여 있으며, 상기 열도가니는 냉각이 되지 아니하며, 전기전도성의 비금속 재료로 이루어지고, 상기 냉도가니는 수냉구조를 가지고 있으며, 열전도성 및 전기전도성의 금속 재료로 이루어지는 하부개방형 도가니;Disposed in the vacuum chamber, having a vertical axis, consisting of an upper crucible and a lower crucible, surrounded by an induction coil, the thermal crucible is not cooled, and is made of an electrically conductive nonmetallic material, Cold crucible has a water-cooled structure, the bottom open crucible made of a thermally conductive and electrically conductive metal material; 상기 진공 체임버 내에 배치되며, 상기 하부 개방형 도가니에 상기 저순도 실리콘 스크랩을 공급하는 실리콘 스크랩 공급 수단;Silicon scrap supply means disposed in the vacuum chamber and supplying the low purity silicon scrap to the lower open crucible; 상기 진공 체임버 내에 배치되며, 상기 하부 개방형 도가니에 공급된 상기 저순도 실리콘 스크랩에 플라즈마를 조사하는 플라즈마 아크 가열원;및 A plasma arc heating source disposed in the vacuum chamber and radiating plasma to the low purity silicon scrap supplied to the lower open crucible; and 상기 진공 체임버 내에 배치되고, 상기 저순도 실리콘 스크랩으로부터 얻어진 용탕 표면에 반응성 가스를 공급하는 반응성 가스 공급 수단을 포함하는 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 연속 제조하기 위한 시스템.And a reactive gas supply means disposed in the vacuum chamber, the reactive gas supply means for supplying a reactive gas to the melt surface obtained from the low purity silicon scrap. 제1 항에 있어서, 상기 열도가니는 상단부가 둘레방향으로 일체화되어 있고, 하단부는 둘레방향의 적어도 일부가 종방향의 슬릿들에 의해 세그먼트로 분할된 구 조를 이루며, 상기 냉도가니는 둘레방향의 적어도 일부분이 종방향의 슬릿들에 의해 상단부로부터 하단부까지 세그먼트로 분할되는 구조를 이루는 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템.The crucible of claim 1, wherein an upper end portion is integrated in a circumferential direction, and a lower end portion has a structure in which at least a portion of the circumferential direction is divided into segments by longitudinal slits. A system for producing solar cell-grade high purity silicon ingots, wherein at least a portion is structured into segments, from top to bottom, by longitudinal slits. 제2 항에 있어서, 상기 종방향의 슬릿들중 적어도 일부가 상기 열도가니와 상기 냉도가니에 걸쳐서 직선적으로 이어지는 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템.3. The system of claim 2, wherein at least some of the longitudinal slits run linearly across the thermal crucible and the cold crucible. 제1 항에 있어서, 상기 전기전도성의 비금속재료는 흑연인 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템.The system of claim 1, wherein the electrically conductive nonmetallic material is graphite. 제1 항에 있어서, 상기 열도가니의 외부는 자기장을 투과시키는 단열재로 둘러싸이는 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템.The system of claim 1, wherein the exterior of the thermal crucible is surrounded by a heat insulator that transmits a magnetic field. 제1 항에 있어서, 상기 반응성 가스 공급 수단에 의해 공급되는 상기 반응성 가스는 산소와 수소의 혼합물인 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템.2. The system of claim 1, wherein the reactive gas supplied by the reactive gas supply means is a mixture of oxygen and hydrogen. 제6 항에 있어서, 상기 반응성 가스 공급 수단에 의해 공급되는 상기 반응성 가스는 고순도 물을 가스화하여 얻어지는 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 시스템.7. A system according to claim 6, wherein said reactive gas supplied by said reactive gas supply means is obtained by gasifying high purity water. 저순도 실리콘 스크랩을 정련하여 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 연속 제조하기 위한 방법으로서,As a method for continuously manufacturing solar-grade high-purity silicon ingot by refining low-purity silicon scrap, 상기 저순도 실리콘 스크랩을 진공 체임버 내에 배치된 하부 개방형 도가니에 공급하는 단계;Feeding the low purity silicon scrap into a lower open crucible disposed in a vacuum chamber; 상기 저순도 실리콘 스크랩을 용융시키고 및 상기 저순도 실리콘 스크랩으로 부터 얻어진 용탕에 포함된 휘발성 불순물을 휘발시키기 위하여, 상기 하부 개방형 도가니에 유도 가열열을 인가하고 상기 저순도 실리콘 스크랩에 플라즈마를 조사하는 단계;Applying induction heating heat to the lower open crucible and irradiating a plasma to the lower open crucible to melt the low purity silicon scrap and volatilize volatile impurities contained in the molten metal obtained from the low purity silicon scrap. ; 상기 저순도 실리콘 스크랩으로부터 얻어진 용탕에 포함된 난휘발성 불순물을 상기 휘발성 불순물 형태로 반응시키기 위해서, 상기 저순도 실리콘 스크랩으로부터 얻어진 용탕의 표면에 반응성 가스를 공급하는 단계;및Supplying a reactive gas to the surface of the melt obtained from the low purity silicon scrap in order to react the nonvolatile impurities contained in the melt obtained from the low purity silicon scrap in the form of the volatile impurities; and 상기 휘발성 불순물 및 상기 난휘발성 불순물이 제거된 용탕을 서냉하여 방향성 응고를 행하는 단계를 포함하고, Slow cooling the molten metal from which the volatile impurities and the non-volatile impurities have been removed, and performing directional solidification; 여기서, 상기 하부 개방형 도가니는, 수직축을 가지며, 상부의 열도가니와 하부의 냉도가니로 이루어지고, 유도코일에 의해 둘러싸여 있으며, 상기 열도가니는 냉각이 되지 아니하며, 전기전도성의 비금속 재료로 이루어지고, 상기 냉도가니는 수냉구조를 가지고 있으며, 열전도성 및 전기전도성의 금속 재료로 이루어지는 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 연속 제조하기 위한 방법.Here, the lower open crucible has a vertical axis, consists of the upper crucible and the lower crucible, surrounded by an induction coil, the thermal crucible is not cooled, made of an electrically conductive non-metallic material, The cold crucible has a water-cooled structure, and is a method for continuously producing a solar cell-grade high purity silicon ingot made of a thermally conductive and electrically conductive metal material. 제 8항에 있어서, 상기 휘발성 불순물은 Si보다 끓는점이 낮으면서 방향성응고에 의한 제거가 불가능한 정도의 평형 분배 계수를 갖는 불순물이고, 상기 난휘발성 물질은 Si 보다 끓는점이 높으면서 방향성응고에 의한 제거가 불가능한 정도의 평형 분배 계수를 갖는 불순물인 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 연속 제조하기 위한 방법.10. The method of claim 8, wherein the volatile impurities are lower boiling points than Si and have an equilibrium partition coefficient that is impossible to remove by directional coagulation. A method for continuously producing solar cell grade high purity silicon ingots which are impurities having an equilibrium distribution coefficient of degree. 제8 항에 있어서, 상기 하부 개방형 도가니의 상기 열도가니는 상단부가 둘레방향으로 일체화되어 있고, 하단부는 둘레방향의 적어도 일부가 종방향의 슬릿들에 의해 세그먼트로 분할된 구조를 이루며, 상기 냉도가니는 둘레방향의 적어도 일부분이 종방향의 슬릿들에 의해 상단부로부터 하단부까지 세그먼트로 분할되는 구조를 이루는 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 방법.The crucible of claim 8, wherein the thermal crucible of the lower open crucible has an upper end integrated in the circumferential direction, and the lower end has a structure in which at least a portion of the circumferential direction is divided into segments by longitudinal slits. And wherein the at least a portion in the circumferential direction is divided into segments from the upper end to the lower end by longitudinal slits. 제10 항에 있어서, 상기 하부 개방형 도가니의 상기 종방향의 슬릿들중 적어도 일부가 상기 열도가니와 상기 냉도가니에 걸쳐서 직선적으로 이어지는 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 방법.The method of claim 10, wherein at least some of the longitudinal slits of the lower open crucible extend straight across the thermal crucible and the cold crucible. 제8 항에 있어서, 상기 하부 개방형 도가니의 상기 전기전도성의 비금속재료는 흑연인 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 방법.The method of claim 8, wherein the electrically conductive nonmetallic material of the lower open crucible is graphite. 제8 항에 있어서, 상기 열도가니의 외부는 자기장을 투과시키는 단열재로 둘러싸이는 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 방법.The method of claim 8, wherein the exterior of the thermal crucible is surrounded by a heat insulator that transmits a magnetic field. 제8 항에 있어서, 상기 공급되는 반응성 가스는 산소와 수소의 혼합물로 이루어지는 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 방법.The method of claim 8, wherein the supplied reactive gas consists of a mixture of oxygen and hydrogen. 제14 항에 있어서, 상기 공급되는 반응성 가스는 고순도 물을 가스화하여 얻어지는 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴를 제조하기 위한 방법.15. The method of claim 14, wherein the supplied reactive gas is obtained by gasifying high purity water. 제8 항 내지 제 15항 중 어느 한 항 따른 방법을 이용하여 얻어진 태양 전지급 고순도 실리콘 주괴.A solar cell grade high purity silicon ingot obtained using the method according to any one of claims 8 to 15.
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