KR100980183B1 - 노즐 보관 장치 및 도포 장치 - Google Patents

Abstract

노즐 보관 장치는, 토출구로부터 토출액을 아래쪽으로 토출하는 노즐을 보관한다. 노즐 보관 장치는, 돌기 부재와 공급 배관과 저류 기구와 세정액 공급 수단을 구비하고 있다. 돌기 부재는, 공급구가 설치되는 상면이 노즐의 토출구에 대향하는 위치에 배치된다. 공급 배관은, 세정액을 공급하는 공급원으로부터 공급구까지를 연통한다. 저류 기구는, 공급 배관에 접속되고, 돌기 부재의 상면보다도 위쪽에서 세정액을 저류 가능하다. 세정액 공급 수단은, 돌기 부재의 상면 상에 세정액이 액돌출된 상태로, 또한, 저류 기구에 세정액이 저류된 상태가 되도록 공급원으로부터 세정액을 공급한다.

Description

노즐 보관 장치 및 도포 장치{NOZZLE STORING APPARATUS AND COATING APPARATUS}

본 발명은, 노즐 보관 장치 및 도포 장치에 관한 것으로, 보다 특정적으로는, 액체를 토출하는 노즐의 비토출 시에 당해 노즐을 보관하기 위한 노즐 보관 장치 및 그것을 이용한 도포 장치에 관한 것이다.

종래, 액체를 기판 등에 도포하는 도포 장치 등에 있어서, 액체를 토출하는 노즐을 세정하기 위한 기술이 있다. 예를 들어, 특허 문헌 1(일본 공개특허공보 2005－3433호)에는, 세정 대상이 되는 노즐에 대해서 세정액을 공급하는 세정 용액 공급 수단에 의해서 당해 노즐을 세정하는 노즐 세정 장치가 개시되어 있다. 이 노즐 세정 장치에 있어서는, 세정 용액 공급 수단은, 노즐의 옆쪽 근방의 위치에 설치되고, 세정액의 액적을 형성하여 당해 액적을 노즐에 대해서 옆쪽으로부터 공급한다. 또, 공급된 액적은, 노즐의 근방에 배치되는 흡인 수단에 의해서 흡인됨으로써 회수된다.

여기서, 도포 장치를 가동하고 있지 않을 때에 노즐을 보관하는 경우를 생각한다. 노즐을 보관하는 경우에도, 건조된 도포액이 노즐의 구멍에 막히는 것을 방 지하는 등의 목적으로, 노즐의 선단 부분이 건조되지 않도록 당해 선단 부분을 액체에 묻혀 둘 필요가 있다. 상기 특허 문헌 1의 세정 장치는, 노즐을 보관하는 경우에도 이용할 수 있고, 당해 세정 장치에 의해서 노즐이 건조되는 것을 방지할 수 있다. 그러나, 상기 특허 문헌 1의 세정 장치에서는, 보관 중에 있어서 액체(세정액)를 항상 공급하지 않으면 안되어 보관용 액체를 다량으로 낭비한다는 문제가 있다.

그러므로, 본 발명의 목적은, 보관용 액체를 효율적으로 사용하여 노즐을 보관할 수 있는 노즐 보관 장치 및 도포 장치를 제공하는 것이다.

본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해서 이하의 구성을 채용하였다. 즉, 본 발명의 제1 국면은, 토출구로부터 토출액을 아래쪽으로 토출하는 노즐을 보관하기 위한 노즐 보관 장치이다. 노즐 보관 장치는, 돌기 부재와 공급 배관과 저류(貯留) 기구와 세정액 공급 수단을 구비하고 있다. 돌기 부재는, 공급구가 설치되는 상면이 노즐의 토출구에 대향하는 위치에 배치된다. 공급 배관은, 세정액을 공급하는 공급원으로부터 공급구까지를 연통한다. 저류 기구는, 공급 배관에 접속되고 돌기 부재의 상면보다도 위쪽에서 세정액을 저류 가능하다. 세정액 공급 수단은, 돌기 부재의 상면 상에 세정액이 액돌출된 상태로, 또한, 저류 기구에 세정액이 저류된 상태가 되도록 공급원으로부터 세정액을 공급한다.

제2 국면에 있어서는, 노즐 보관 장치는, 저류 기구를 통해 공급 배관으로부터 세정액을 흡인하는 세정액 흡인 수단을 더 구비하고 있어도 된다.

제3 국면에 있어서는, 노즐 보관 장치는, 저류 기구에 저류되어 있는 세정액의 액량을 검지하는 검지 수단을 더 구비하고 있어도 된다. 이 때, 세정액 공급 수단은, 검지 수단에 의해 검지된 액량에 의거하여 공급원으로부터 세정액을 공급한다.

제4 국면에 있어서는, 노즐 보관 장치는, 노즐의 하면과 돌기 부재의 상면이 소정의 간격으로 대향하도록 노즐 및 돌기 부재의 적어도 한 쪽을 이동시키는 이동 수단을 더 구비하고 있어도 된다. 이 때, 세정액 공급 수단은, 노즐을 세정하는 경우에는, 세정액이 돌기 부재의 상면 상에 용출되도록 공급구로 세정액을 공급한다. 이동 수단은, 노즐을 세정하는 경우에는, 돌기 부재의 상면 상에 용출된 세정액이 노즐의 하면에만 접촉하도록 소정의 간격을 설정한다.

제5 국면에 있어서는, 돌기 부재의 상면의 직경은, 노즐의 하면의 직경보다도 작아도 된다.

제6 국면에 있어서는, 노즐 보관 장치는, 공급구로부터 세정액을 흡인하는 세정액 흡인 수단을 더 구비하고 있어도 된다.

제7 국면에 있어서는, 돌기 부재는, 상면의 주위에, 외주를 향함에 따라 낮아지는 경사면을 갖고 있어도 된다.

제8 국면에 있어서는, 토출액은, 유기 EL 재료 또는 정공 수송 재료라도 된다. 이 때, 세정액은, 토출액에 포함되는 용매와 동일한 용매를 포함한다.

또한, 본 발명은, 상기 제1~제8 국면에서의 노즐 보관 장치를 구비하고, 기판에 대해서 노즐로부터 도포액을 토출함으로써 당해 기판에 도포를 행하는 도포 장치의 형태로 제공되어도 된다.

제1 국면에 의하면, 노즐의 보관 시에 있어서는, 돌기 부재의 상면 상에는 세정액이 액돌출된 상태가 된다. 이것에 의하면, 노즐의 토출구를 세정액에 접촉 한 상태로 보관할 수 있음과 더불어, 세정액을 항상 공급할 필요가 없기 때문에, 세정액을 효율적으로 사용할 수 있다. 또한, 제1 국면에 의하면, 액돌출된 상태의 세정액이 증발했다고 해도, 돌기 부재의 상면보다도 위쪽에서 세정액을 저류하는 저류 기구에 의해서, 액돌출된 상태의 세정액의 양을 유지할 수 있다. 즉, 돌기 부재의 상면 상에 있어서 세정액을 장시간 액돌출된 상태로 유지할 수 있고, 노즐을 보다 장시간 보관할 수 있다.

제2 국면에 의하면, 세정액 흡인 수단에 의해서, 보관 시에 노즐에 부착한 세정액을 노즐로부터 제거할 수 있다. 또한, 세정액 흡인 수단은 저류 기구를 통해 공급구로부터 세정액을 흡인하므로, 흡인을 행하기 위한 흡인구나 흡인을 행하기 위한 배관을 별도로 설치할 필요가 없다. 따라서, 도포 장치의 구성을 간이화할 수 있다.

제3 국면에 의하면, 저류 기구에 저류되어 있는 세정액의 액량을 검지 수단에 의해서 검지함으로써, 돌기 부재의 상면 상에 액돌출된 세정액이 없어진(또는 적어진) 것을 검지할 수 있다. 따라서, 검지 수단에 의해 검지된 액량에 의거하여 세정액을 공급함으로써, 돌기 부재의 상면 상에 액돌출된 세정액이 증발해도, 계속해서 노즐을 보관할 수 있다.

제4 국면에 의하면, 돌기 부재의 상면 상에 용출되는 세정액이 노즐의 하면에만 접촉하도록 하여 노즐의 세정이 행해진다. 이것에 의하면, 흡인 동작에 있어서, 노즐의 하면에만 부착된 세정액을 제거하면 되기 때문에, 노즐의 측면에도 세정액이 부착되어 있는 경우에 비해 제거가 용이해지고, 세정에 의해서 노즐에 부착 된 세정액을 확실히 제거할 수 있다.

제5 국면에 의하면, 상면의 직경이, 노즐의 하면의 직경보다도 작게 설정되므로, 당해 상면과 당해 하면의 간격을 상당히 작게 해도, 공급구로부터 용출되는 세정액이 노즐의 측면에 부착되는 일이 없다. 따라서, 노즐의 측면에 세정액이 부착되는 것을 보다 확실히 방지할 수 있다.

또, 제5 국면에 있어서, 제6 국면에서의 세정액 흡인 수단을 노즐 세정 장치가 더 구비하는 경우, 세정액의 흡인 동작은, 공급구와 노즐의 거리가 가까울수록 흡인 효과가 커진다. 이 경우, 제5 국면에 의하면, 흡인이 충분히 행해지도록 공급구와 노즐의 거리를 충분히 근접시킬 수 있으므로, 세정액 흡인 수단에 의한 세정액의 제거를 더 확실히 행할 수 있다.

제6 국면에 의하면, 세정액 흡인 수단에 의해서, 세정 시에 노즐에 부착된 세정액을 노즐로부터 제거할 수 있다. 또한, 세정액 흡인 수단은 공급구로부터 세정액을 흡인하므로, 흡인을 행하기 위한 흡인구를 별도로 설치할 필요가 없다. 따라서, 도포 장치의 구성을 간이화할 수 있다.

제7 국면에 의하면, 돌기 부재가 경사면을 갖는 형상이므로, 돌기 부재는, 상면의 직경을 작게 할 수 있음과 더불어, 돌기 부재 전체로서는 굵기를 확보할 수 있고, 돌기 부재의 강도를 확보할 수 있다.

제8 국면에 의하면, 유기 EL 재료나 정공 수송 재료를 도포하는 노즐을 보관하기 위해서 노즐 보관 장치를 적용할 수 있다.

또, 본 발명이 도포 장치의 형태로 제공되는 경우에는, 기판에 대해서 노즐 로부터 도포액을 토출함으로써 당해 기판에 도포를 행하는 도포 장치에 노즐 보관 장치를 적용할 수 있고, 당해 도포 장치의 노즐을, 세정액을 효율적으로 사용하여 보관할 수 있다.

본 발명의 이들 및 다른 목적, 특징, 국면, 효과는 첨부 도면과 대조하여, 이하의 상세한 설명으로부터 더욱 확실해질 것이다.

(제1 실시 형태)

(1) 도포 장치의 구성

이하, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 노즐 보관 장치에 대해 설명한다. 제1 실시 형태에서는, 노즐 보관 장치가, 유기 EL(electroluminescence) 표시 장치를 제조하기 위해서 이용되는 도포 장치의 일부로서 구성되는 경우를 예로서 설명한다. 이 도포 장치는, 스테이지 상에 적재된 기판에 대해서 유기 EL 재료나 정공 수송 재료 등의 도포액을 노즐로부터 토출함으로써 소정의 패턴 형상으로 도포하는 것이다. 또한, 도포 장치는, 유기 EL 재료나 정공 수송 재료 등의 복수 종류의 도포액을 이용하여 도포를 행하는 것이 가능하지만, 이하에서는, 그들의 대표로서 유기 EL 재료를 도포액으로서 이용하는 경우를 예로서 설명을 행한다.

우선, 도 1 및 도 2를 참조하여, 도포 장치의 전체 구성을 설명한다. 도 1은, 도포 장치(10)의 구성을 나타내는 평면도 및 정면도이다. 도 1a는, 도포 장치(10)를 상측에서 본 도면이고, 도 1b는, 도포 장치(10)를 측면에서 Y축 정방향의 방향으로 본 도면이다. 또, 도 2는, 도포 장치(10)의 각부와 제어부의 접속 관계 를 나타내는 도면이다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 도포 장치(10)는 노즐 유닛(1)과 노즐 이동 기구(2)와 보관부(3a 및 3b)와 액받침부(4R 및 4L)와 스테이지(5)와 스테이지 이동 기구(6)를 구비하고 있다. 이하에서는, 2개의 보관부(3a 및 3b)를 특별히 구별하지 않는 경우에는 단순히 「보관부(3)」라고 기재하고, 2개의 액받침부(4R 및 4L)를 특별히 구별하지 않는 경우에는 단순히 「액받침부(4)」라고 기재하는 것으로 한다.

또, 도 2에 나타낸 바와 같이, 도포 장치(10)는 제어부(7)를 구비하고 있다. 제어부(7)는, 노즐 유닛(1), 노즐 이동 기구(2), 스테이지 이동 기구(6), 세정액 공급부(8) 및 보관부 이동 기구(9)와 전기적으로 접속되어 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 스테이지(5)에는 도포 처리의 대상이 되는 기판(W)이 적재된다. 기판(W)에는, X축 방향으로 평행하게 등간격으로 복수 개의 홈이 형성되어 있다. 본 도포 장치(10)는, 이 홈에 대해서 유기 EL 재료를 토출함으로써 홈에 유기 EL 재료를 흘려 넣는다. 또한, 도시하지 않지만, 스테이지(5)에는, 가열 기구나 흡착 기구가 설치되어 있다. 가열 기구는, 유기 EL 재료가 도포된 기판(W)을 스테이지(5) 상에서 예비 가열 처리하기 위한 것이다. 흡착 기구는, 기판(W)을 스테이지(5) 상에 흡착하여 고정하기 위한 것이다.

스테이지 이동 기구(6)는, 스테이지(5)의 하측에 접속된다. 구체적으로는, 스테이지 이동 기구(6)는, 선회부(61), 평행 이동 테이블(62), 가이드 받침부(63), 및 가이드 부재(64)를 갖고 있다. 가이드 부재(64)는, 노즐 이동 기구(2)의 아래 쪽을 통과하도록 도 1에 나타낸 Y축 방향으로 연장하여 설치되어 고정된다. 가이드 받침부(63)는, 가이드 부재(64) 상을 슬라이딩 이동하도록 가이드 부재(64) 상에 설치된다. 평행 이동 테이블(62)은 가이드 받침부(63)의 상면에 고정 설치된다. 평행 이동 테이블(62)은, 내부의 모터(도시하지 않음)로부터의 구동력에 의해서 가이드 부재(64)를 따른 도시 Y축 방향으로의 이동이 가능하다. 선회부(61)는 평행 이동 테이블(62)의 상면에 고정 설치된다. 선회부(61)는, 내부의 모터(도시하지 않음)로부터의 구동력에 의해서 Z축을 중심으로 한 회동이 가능하다. 상기 스테이지(5)는, 선회부(61)의 상면에 고정 설치된다. 이상에서, 스테이지(5)는, 스테이지 이동 기구(6)에 의해서 Y축 방향으로 평행 이동이 가능함과 더불어, Z축을 중심으로 하여 회전 가능하다(도 1a에 나타낸 화살표 참조). 또한, 스테이지 이동 기구(6)의 동작은 제어부(7)에 의해서 제어된다.

또, 스테이지(5)의 위쪽에는 도포 기구(노즐 유닛(1) 및 노즐 이동 기구(2))가 배치된다. 노즐 이동 기구(2)는 X축 방향(스테이지(5)의 적재면과 평행한 방향)으로 연장되는 레일(21)을 갖고, 레일(21)을 따라서 이동 가능하도록 노즐 유닛(1)이 노즐 이동 기구(2)에 접속된다. 노즐 유닛(1)은, 노즐로부터 도포액을 토출함으로써 기판에 대해서 도포를 행하는 도포 기구로서, 예를 들어 적색의 유기 EL 재료의 도포액을 토출하는 3개의 노즐(11, 12, 및 13)을 가진다. 노즐 유닛(1)의 각 노즐(11~13)은 도포액을 토출하는 방향이 (연직)하향이 되도록 노즐 유닛(1)의 하측에 배치된다. 또한, 각 노즐(11~13)은, Y축 방향에 관해서 조금 어긋난 위치에 배치된다. 구체적으로는, 각 노즐(11~13)은 Y축 방향에 관해서, 기판(W)에 형성된 홈의 3열분의 길이(Y축 방향의 길이)만큼 간격을 두고 배치되어 있다. 노즐 유닛(1)의 이동, 및, 각 노즐(11~13)로부터의 유기 EL 재료의 토출은, 제어부(7)에 의해서 제어된다.

레일(21)은, X축 방향에 대해 기판(W)보다도 길게 구성되고, 노즐 유닛(1)은, X축 방향에 관해서 기판(W)의 폭보다도 넓은 범위를 이동하는 것이 가능하다(도 1b에 나타내는 노즐 이동폭 참조). 즉, 노즐 유닛(1)이 레일(21)의 일단으로부터 타단까지 이동하는 경우, 노즐 유닛(1)의 각 노즐(11~13)은, 기판(W)을 횡단하도록 이동한다. 따라서, 노즐 유닛(1)이 레일(21)의 일단으로부터 타단까지 이동함으로써, X축 방향에 관해서 기판(W)의 일단으로부터 타단까지 유기 EL 재료를 도포할 수 있다. 다만, 노즐 유닛(1)이 레일(21)의 일단으로부터 타단까지 이동하는 동안에 각 노즐(11~13)로부터 유기 EL 재료가 토출되면, 기판(W)에 유기 EL 재료가 도포될 뿐만 아니라, 기판(W)의 외측에 있어서도 유기 EL 재료가 토출되게 된다. 따라서, 기판(W)의 외측에서 토출된 도포액을 받는 목적으로 액받침부(4) 및 보관부(3)가 설치되어 있다. 액받침부(4) 및 보관부(3)는 노즐의 이동폭(도 1b 참조)보다도 내측에 설치된다.

2개의 액받침부(4)는, X축 방향에 관해서 기판(W)의 양측에 배치된다. 액받침부(4R)는, 상단부(41R), 연결부(42R), 및 하단부(43R)를 구비하고 있다. 상단부(41R)는, 상면에 슬릿(44R)을 갖는 상자형 형상으로, 당해 슬릿(44R)은 X축 방향을 따라서 신장되어 있다. 상단부(41R)는, 각 노즐(11~13)로부터 토출되는 도포액이 슬릿을 통과하도록 배치된다. 상단부(41R)의 바닥면의 가장 낮은 위치에는 배 출 유로(도시하지 않음)가 설치되어 있고, 상단부(41R) 내에 받아진 도포액은 당해 배출 유로로부터 하단부(43R)에 배출된다. 여기서, 노즐(11~13)로부터 토출된 도포액은, 토출 직후는 액기둥 상태(도포액이 직선 막대 형상으로 되어 있는 상태)를 유지하고 있지만, 토출되고 나서의 거리가 길어짐에 따라 액적화되고, 나아가서는 미스트화(액적화보다도 미세한 상태)된다. 따라서, 본 실시 형태에서는, 도포액이 액적화·미스트화되기 전에 상단부(41R)에 의해서 도포액을 회수한다. 또, 상단부(41R) 내에 있어서 도포액이 미스트화되었다고 해도, 상단부(41R)가 슬릿(44R)을 가지므로, 미스트화된 도포액이 상단부(41R)의 외부로 들뜨는 것을 방지할 수 있다.

또, 하단부(43R)는, 연결부(42R)에 의해서 상단부(41R)와 연결되어 있다. 하단부(43R)는, 상면이 개구한 상자형의 형상이다. 하단부(43R)는, 상단부(41R)의 배출 유로로부터 배출된 도포액을 회수함과 더불어, 상단부(41R)에서 회수할 수 없던 도포액을 회수한다. 예를 들어, 상단부(41R)와 기판(W) 사이의 틈새로부터 하부로 새는 도포액은, 하단부(43R)에서 회수된다. 또한, 하단부(43R)의 바닥면의 가장 낮은 위치에는 배출 유로(도시하지 않음)가 설치되어 있고, 하단부(43R) 내에 회수된 도포액은 당해 배출 유로로부터 외부로 배출된다.

또한, 액받침부(4L)는, 액받침부(4R)와 동일한 구성을 갖고 있다. 즉, 액받침부(4L)의 상단부(41L)는 액받침부(4R)의 상단부(41R)에 상당하고, 액받침부(4L)의 하단부(43L)는 액받침부(4R)의 하단부(43R)에 상당한다. 액받침부(4L)는, X축 방향에 관한 길이가 액받침부(4R)와 상이한 점을 제외하고 액받침부(4R)와 동일한 기능을 갖는 것이다.

보관부(3)는 도포 장치(10)의 정지 중(도포를 하지 않는 동안)에 있어서, 각 노즐(11~13)의 선단이 건조하지 않도록 각 노즐(11~13)을 보관한다. 즉, 도포 장치(10)의 정지 중에 있어서 각 노즐(11~13)은 보관부(3)의 위쪽에 배치되고, 보관부(3)는 각 노즐(11~13)을 세정하기 위한 세정액을 노즐(11~13)의 각 선단에 공급한다. 또한, 세정액은, 예를 들어, 도포액이 유기 용매를 포함하는 용액인 경우, 당해 유기 용매를 포함하는 액체(당해 유기 용매의 순용매라도 됨)이다. 구체적으로는, 도포액의 용매가 톨루엔이면, 세정액으로서 톨루엔을 이용하면 된다.

보관부(3)는, 기판(W)을 중심으로 하여 액받침부(4L)의 외측에 배치된다. 또한, 각 노즐(11~13)로부터 토출된 도포액을 완전히 받을 수 있도록 보관부(3)와 액받침부(4L)의 사이에는 틈새가 없도록 양자를 배치하는 것이 바람직하다. 보관부(3)는 보관부 이동 기구(9)에 의해서 Y축 방향 및 Z축 방향으로 평행 이동이 가능하다. 또한, 도 1에 있어서는 보관부(3)의 구성의 일부만을 나타내는 것으로 하고, 보관부(3)의 상세한 구성은 도 3 및 도 4에 나타낸 것으로 한다.

또, 본 실시 형태에서는, 2개의 보관부(3a 및 3b)가 이용된다. 2개의 보관부(3a 및 3b)는, 세정 대상이 되는 도포액의 종류에 따라 구분하여 사용된다. 즉, 보관부(3a)는, 예를 들어 수계의 정공 수송 재료를 토출하는 노즐을 보관·세정할 때에 이용되고, 보관부(3b)는, 예를 들어 용제계의 유기 EL 재료를 토출하는 노즐을 보관·세정할 때에 이용된다. 각 보관부(3a 및 3b)는, Y축 방향으로 이동하는 것이 가능하고, Y축 방향으로 이동함으로써, 어느 한 쪽의 보관부가 각 노 즐(11~13)의 토출구의 바로 아래 위치(노즐로부터 토출된 도포액이 닿는 위치)에 위치하도록 배치된다. 또한, 도 1은, 보관부(3a)를 이용하는 경우의 배치를 나타내고 있다. 본 실시 형태와 같이, 복수의 보관부를 구비함으로써 복수 종류의 도포액에 용이하게 대응할 수 있다.

도 3은, 보관부(3)의 구성을 나타내는 사시도이다. 또, 도 4는 보관부(3)의 A－A＇단면도이다. 또한, 보관부(3a)와 보관부(3b)는 동일한 구성이므로, 도 3 및 도 4에서는 보관부(3a)와 보관부(3b) 중 어느 한 쪽만을 보관부(3)로서 나타내고 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 보관부(3)는 액회수부(30), 돌기 부재(31~33), 공급 배관(34~36), 및 저류 기구(37~39)를 구비하고 있다.

액회수부(30)는, 각 노즐(11~13)로부터 토출된 토출액(도포액)이나, 돌기 부재(31~33)로부터 공급되는 세정액을 회수하기 위한 부재이다. 회수부(30)는, 경사진 바닥면을 갖는 상자형의 형상이다. 바닥면은, X축 방향을 따라서 신장되는 평탄한 부분을 가진다. 당해 바닥면의 최하 위치에는, 도시하지 않는 배출구가 설치되어 있고, 바닥면에 부착된 도포액 및 세정액은, 경사진 바닥면 상을 지나 당해 배출구로부터 배출된다.

또한, 도시하지 않지만, 액회수부(30)의 아래쪽에는, 액받침부(4L)의 하단부(43L)와 동일한 기능을 갖는 부재, 즉 액회수부(30)로부터 배출된 도포액을 회수함과 더불어, 액회수부(30)에서 회수할 수 없던 도포액을 회수하기 위한 부재를 설치해 두어도 된다. 당해 부재는, 바닥면을 갖는 상자형의 형상으로, 당해 바닥면의 가장 낮은 위치에는 배출 유로가 설치된다. 이것에 의해 당해 부재 내에 회수 된 도포액은 당해 배출 유로로부터 외부로 배출된다. 또, 다른 실시 형태에 있어서는, 액받침부(4L)의 하단부(43L)를 X축 부(負)방향으로 크게 하여, 액회수부(30)의 아래쪽을 하단부(43L)에 의해서 커버하도록 해도 된다.

액회수부(30)의 바닥면에는, 3개의 돌기 부재(31~33)가 설치된다. 3개의 돌기 부재(31~33)는 3개의 노즐(11~13)에 대응하고 있고, 대응하는 각 노즐을 각각 보관한다. 즉, 돌기 부재(31)는 노즐(11)에 대응하고, 돌기 부재(32)는 노즐(12)에 대응하며, 돌기 부재(33)는 노즐(13)에 대응하고 있다. 또, 각 노즐(11~13)의 각 토출구의 높이(Z축 방향에 관한 위치)는 동일하고, 3개의 돌기 부재(31~33)의 상면(31a~33a)의 Z축 방향에 관한 위치는 동일하다. 3개의 돌기 부재(31~33)는, X축 방향을 따라서 거의 1열로 배치되어 있지만, 노즐(11~13)과 동일하게, Y축 방향에 관해서 약간 어긋나 배치되어 있다.

돌기 부재(31)는, 보관 시에 있어서 노즐(11)에 대향하도록 배치되는 상면(31a)을 갖고 있다. 또, 상면(31a)에는 공급구가 설치된다. 자세한 것은 후술하지만, 보관 시에 있어서 공급구로부터 세정액이 공급됨으로써 노즐(11)의 선단에 세정액이 부착되게 된다.

공급 배관(34)은 세정액을 공급하는 공급원(도시하지 않음)으로부터 돌기 부재(31)의 공급구까지를 연통하고 있다. 세정액이 공급원으로부터 공급되는 경우, 세정액은 이 공급 배관(34)을 지나 공급구까지 공급된다.

또, 공급 배관(34)에는 저류 기구(37)가 접속된다. 또한, 도 3에서는, 도면을 보기 쉽게 할 목적으로 저류 기구(37~39)의 일부만을 나타내고, 저류 기구에 포 함되는 저류 탱크의 구성을 생략하고 있다. 본 실시 형태에서는 공급 배관(34)으로부터 저류 기구(37)의 배관이 분기하고 있으므로, 세정액이 공급원으로부터 공급되면, 공급구에 세정액이 공급됨과 더불어 저류 기구(37)에도 세정액이 공급된다. 저류 기구(37)는, 돌기 부재(31)의 상면(31a)보다도 위쪽에서 세정액을 저류 가능한 구성이다. 구체적으로는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 저류 기구(37)는 돌기 부재(31)의 상면(31a)보다도 위측에 배치되는 저류 탱크(37a)를 갖고 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 저류 기구(37)는, 공급 배관(34)으로부터 분기하는 배관과, 거기에 접속되는 저류 탱크(37a)를 갖는 구성이지만, 다른 실시 형태에 있어서는, 저류 탱크(37a)를 갖지 않는 구성이어도 된다. 즉, 저류 기구(37)는, 돌기 부재(31)의 상면(31a)보다도 위쪽에서 세정액을 저류 가능하면, 공급 배관(34)으로부터 분기하는 배관에 의해서만 구성되어도 된다.

이상에 있어서는 돌기 부재(31)에 관한 구성을 설명했지만, 돌기 부재(32 및 33)의 구성도 돌기 부재(31)와 동일하다. 즉, 돌기 부재(32 및 33)는, 보관 시에 있어서 노즐(12 및 13)에 각각 대향하도록 배치되는 상면(32a 및 33a)을 갖고 있다. 또, 상면(32a 및 33a)에는 공급구가 각각 1개씩 설치된다. 공급 배관(35)은, 상기 공급원으로부터 상면(32a)의 공급구까지를 연통하고 있고, 공급 배관(36)은, 상기 공급원으로부터 상면(33a)의 공급구까지를 연통하고 있다. 또, 공급 배관(35)에는 저류 기구(38)가 접속되고, 공급 배관(36)에는 저류 기구(39)가 접속되어 있다. 저류 기구(38 및 39)는 각각, 각 돌기 부재(32 및 33)의 상면(32a 및 33a)보다도 위쪽에서 세정액을 저류 가능하고, 구체적으로는, 당해 상면(32a 및 33a)보다도 위쪽에 배치되는 저류 탱크를 갖고 있다. 또, 도 2에 나타내는 세정액 공급부(8)는, 공급 배관(34~36)에 각각 설치된 펌프 등에 의해 구성되고, 제어부(7)의 지령에 따라서 공급원으로부터 세정액을 공급한다.

또, 전술한 바와 같이, 보관부(3)는 보관부 이동 기구(9)에 의해서 Y축 방향으로 평행 이동이 가능하다. 본 실시 형태에서는, 보관부(3)는, 도포 동작이 행해질 때에는, 액회수부(30)의 바닥면이 각 노즐(11~13)의 바로 아래 위치가 되는 위치에 있고, 보관 시(도포 장치(10)의 가동이 정지하고 있을 때)에는, 각 돌기 부재(31~33)의 상면(31a~33a)이 각각 대응하는 노즐(11~13)의 토출구에 대향하는 위치에 이동된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 보관부(3)는 노즐(11~13)에 부착한 도포액을 세정하는 목적으로도 이용된다. 즉, 노즐(11~13)에는, 그로부터 토출하는 도포액이 토출구 부근에 부착하므로, 보관부(3)는, 각 돌기 부재(31~33)의 각 공급구로부터 용출하는 세정액을 각 노즐(11~13)에 대해서 가함으로써 각 노즐(11~13)을 세정하는 것이 가능하다.

(2) 도포 장치에서의 도포 동작

다음으로, 상기와 같이 구성된 도포 장치(10)의 동작을 설명한다. 우선, 도포 장치(10)의 도포 동작의 개요에 대해 설명한다. 도포 장치(10)에서의 도포 처리의 대상이 되는 기판(W)은, 도시하지 않는 반송 로봇 등에 의해서 도포 장치(10)에 반입되고 스테이지(5) 상에 적재된다. 기판(W)은, 거기에 형성된 복수 개의 홈이 X축 방향으로 평행이 되도록 적재된다. 또한, 도포 장치(10)에 반입되어 오는 기판(W)에는, 양극 및 정공 수송층이 이미 형성되어 있는 것으로 한다.

도포 장치(10)에 반입된 기판(W)이 스테이지(5)에 고정되면, 제어부(7)는 스테이지(5) 및 노즐 유닛(1)을 초기 위치에 이동시킨다. 구체적으로는, 제어부(7)는, 미리 정해진 초기 위치에 스테이지(5)를 기판(W)마다 이동시킴과 더불어 레일(21)의 일단에 노즐 유닛(1)을 이동시킨다. 또한, 스테이지(5)의 초기 위치는, 기판(W)에 있어서 Y축 방향으로 나란히 형성된 복수 개의 홈 중 가장 Y축 정방향측에 있는 홈의 바로 위에 노즐(11)(각 노즐(11~13) 중에서 가장 Y축 정방향측에 있는 노즐)이 위치하는 위치이다. 이상과 같이 스테이지(5) 및 노즐 유닛(1)이 초기 위치에 배치되면, 제어부(7)는 도포 동작을 개시한다.

도포 동작에 있어서 우선, 제어부(7)는 노즐 유닛(1) 및 스테이지 이동 기구(6)를 제어하고, 노즐 유닛(1) 및 스테이지 이동 기구(6)의 동작을 개시시킨다. 즉, 제어부(7)는 노즐 유닛(1)의 X축 방향 이동과 스테이지(5)의 Y축 방향 이동을 제어함과 더불어, 각 노즐(11~13)에 의한 유기 EL 재료의 토출을 제어한다. 이것에 의해서, 이후 노즐 유닛(1)의 X축 방향 이동 동작(제1 동작)과 스테이지(5)의 Y축 방향 이동 동작(제2 동작)이 반복된다.

구체적으로는, 우선 제1 동작으로서 노즐 유닛(1)의 각 노즐(11~13)로부터 적색의 유기 EL 재료가 토출됨과 더불어 노즐 유닛(1)이 레일(21)의 일단으로부터 타단으로 이동한다. 또한, 전술과 같이, 각 노즐(11~13)은 Y축 방향에 관해서, 기판(W)에 형성된 홈의 3열분의 길이(Y축 방향의 길이)만큼 간격을 두고 배치되어 있다. 그 때문에, 1회의 제1 동작에 있어서는, 서로 2열씩 간격을 둔 3열분의 홈에 대해서 도포가 행해진다. 이것에 의해서, 기판(W)에 형성된 홈에 대한 3열분의 도포가 완료된다. 다음으로, 제2 동작으로서 기판(W)에 형성된 홈의 9열분의 길이만큼 Y축의 정방향에 스테이지(5)가 피치 이송된다. 이후, 제1 동작과 제2 동작을 반복함으로써 기판(W)으로의 도포가 3열분씩 행해진다. 이것에 의해서, 기판(W)에 유기 EL 재료가 스트라이프 형상으로 도포되어 간다.

제1 동작 및 제2 동작은, 기판(W)의 유효 영역(홈이 형성되어 있는 영역)에 대해서 유기 EL 재료가 도포될 때까지 행해진다. 또한, 이 시점에서는, X축 방향에 관해서는 기판(W)의 유효 영역 이외의 부분에 대해서도 유기 EL 재료가 도포되지만, 유효 영역 이외의 영역에 도포된 유기 EL 재료는, 후술하는 제거 처리에 의해서 제거된다. 이상에 의하여, 1장의 기판(W)에 대한 도포 동작이 종료된다.

또한, 도포 장치(10)에서의 도포 처리가 완료된 기판(W)은, 도시하지 않는 반송 로봇에 의해 도포 장치(10)로부터 반출된다. 반출된 기판(W)에 대해서는, 기판(W)의 유효 영역 이외의 영역에 도포된 유기 EL 재료가 제거된다. 제거 처리는, 기판(W) 상의 유기 EL 재료를 제거하는 방법이면 어떠한 방법이어도 되고, 예를 들어, 레이저 어블레이션에 의해서 유기 EL 재료를 제거하는 방법이어도 되고, 제거 영역에 미리 마스킹 테이프를 붙여 두는 방법이어도 된다. 그리고, 제거 처리가 완료된 기판(W)에 대해서 건조 처리(베이크 처리)가 행해진다. 이상에 의하여, 적색의 유기 EL 재료에 대해서 도포·건조 처리가 완료된 것이 된다. 이 후, 기판(W)에 대해서는, 적색의 경우와 동일하게, 녹색 및 청색의 유기 EL 재료에 대해 도포·건조 처리가 행해진다. 즉, 녹색의 유기 EL 재료를 도포하는 처리, 도포된 녹색의 유기 EL 재료를 건조시키는 처리, 청색의 유기 EL 재료를 도포하는 처리, 및 도포된 청색의 유기 EL 재료를 건조시키는 처리가 순서대로 행해진다. 이와 같이 적색, 녹색 및 청색의 유기 EL 재료에 대해 도포·건조 처리가 행해짐으로써 유기 EL 표시 장치의 발광층이 형성된다. 또한, 발광층이 형성된 기판에 대해서 예를 들어 진공 증착법에 의해 음극 전극이 발광층 상에 형성됨으로써 유기 EL 표시 장치가 제조된다.

(3) 대기 상태에서의 도포 장치의 동작

도포 장치(10)는, 전술한 도포 동작이 행해지지 않은 경우(장치가 가동하고 있지 않은 경우), 대기 상태가 된다. 이 대기 상태에서는, 노즐 유닛(1)은 소정의 위치에 퇴피되고, 각 노즐(11~13)은 세정액에 접한 상태로 보관된다. 이하, 가동 상태로부터 대기 상태로 이행하는 동작 및 대기 상태로부터 가동 상태로 이행하는 동작을 설명한다.

도 5는, 가동 상태로부터 대기 상태로의 이행 및 대기 상태로부터 가동 상태로의 이행에 관한 도포 장치(10)의 동작의 흐름을 나타내는 흐름도이다. 도 5에 나타낸 흐름도에서는, 도포 동작을 행하고 있던 도포 장치(10)에 대해서 가동을 정지하는 지시가 행해진 후에서의 도포 장치(10)의 동작을 나타내고 있다.

우선, 단계 S1에 있어서, 제어부(7)는 도포 처리 시에 이동하고 있던 노즐 유닛(1)을 정지시킨다. 또한, 노즐 유닛(1)은, 노즐 이동 기구(2)의 양단 중, 보관부(3)의 위쪽에 위치하는 일단(도 1a에 나타낸 좌측의 일단)에서 정지한다. 보다 구체적으로는, 노즐 유닛(1)은, 각 노즐과 거기에 대응하는 각 돌기 부재와의 X 축 방향에 관한 위치가 동일해지는 위치에서 정지한다. 여기에서는, 당해 위치가 노즐 유닛(1)의 퇴피 위치이다. 계속되는 단계 S2에 있어서, 제어부(7)는 노즐 유닛(1)에 대해서 제어 지령을 부여함으로써 각 노즐(11~13)에 의한 도포액의 토출을 정지시킨다.

다음으로, 단계 S3에 있어서, 제어부(7)는, 보관부 이동 기구(9)에 제어 지령을 부여함으로써 보관부(3)의 위치를 전환한다. 구체적으로는, 제어부(7)는, 액회수부(30)의 바닥면이 각 노즐(11~13)의 바로 아래 위치에 위치하고 있던 보관부(3)를, 각 돌기 부재(31~33)가 각 노즐(11~13)의 바로 아래 위치에 위치하도록 이동시킨다.

단계 S3의 다음의 단계 S4에 있어서, 제어부(7)는, 세정액 공급부(8)에 제어 지령을 부여함으로써, 공급원으로부터 각 공급 배관을 통해 각 돌기 부재(31~33)의 공급구로 세정액을 공급한다. 이때, 세정액 공급부(8)는 각 돌기 부재(31~33)의 상면(31a~33a) 상에 세정액이 액돌출될 정도로 세정액을 공급한다. 이하, 돌기 부재(31)를 예로서, 단계 S4의 상세를 설명한다. 또한, 이하에서는 3개의 돌기 부재(31~33) 중 돌기 부재(31)를 예로서 설명하지만, 다른 돌기 부재(32 및 33)에 대해서도 돌기 부재(31)와 동일하다.

도 6은, 보관 시에 있어서 세정액이 공급된 후의 보관부(3)의 상태를 나타내는 도면이다. 또한, 도 6에서는 3개의 돌기 부재(31~33) 중에서 돌기 부재(31)에 공급되는 세정액의 상태만을 나타내고 있지만, 세정액의 상태는, 다른 돌기 부재(32 및 33)에 있어서도 도 6과 동일한 상태가 된다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 단계 S4에 있어서는, 세정액 공급부(8)에 의해서 세정액이 공급되는 것에 의해서, 돌기 부재(31)의 상면(31a) 상에 세정액(L)이 액돌출된다. 즉, 상면(31a)의 공급구로부터 소정량의 세정액이 용출하도록 세정액이 공급되면, 세정액은, 표면 장력에 의해서 상면(31a)에 대해서 돌출된 상태(액돌출된 상태)가 된다. 단계 S4에 있어서는, 세정액 공급부(8)는 돌기 부재(31)의 상면(31a) 상에 세정액(L)이 액돌출된 상태가 될 때까지 세정액을 공급하고, 당해 상태가 되면 공급을 정지한다. 구체적으로는, 세정액 공급부(8)는 상면(31a) 상에 세정액이 액돌출된 상태가 되기에 충분한 양의 세정액을 공급한 후, 공급을 정지한다. 또한, 공급량이 너무 많으면, 표면 장력에 의해서 반구면 형상으로 액돌출된 상태가 무너지고, 상면(31a)으로부터 액회수부(30)의 바닥면으로 다소의 세정액이 넘쳐 흐르므로, 세정액 공급부(8)는, 액돌출된 상태가 무너지지 않을 정도로 세정액을 공급하는 것이 바람직하다. 이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 보관 중에 있어서 세정액을 항상 공급할 필요는 없기 때문에, 소비하는 세정액의 양을 줄일 수 있고 세정액을 효율적으로 사용할 수 있다.

또, 단계 S4에 있어서, 세정액이 공급될 때, 세정액은 상면(31a)의 공급구 뿐만이 아니라 저류 기구(37)에도 공급된다. 그리고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 돌기 부재(31)의 상면(31a) 상에 세정액(L)이 액돌출되는 경우, 저류 기구(37) 내에는 상면(31a)보다도 위쪽의 위치까지(도 6에서는, 저류 탱크(37a) 내의 높이까지) 세정액이 저류되는 상태가 된다. 이 상태에서는, 저류 기구(37) 내의 세정액의 압력과 상면(31a) 상의 세정액(L)이 받는 표면 장력의 밸런스에 의해(일정 높이 및 크기로) 액돌출되어 있게 된다.

도 5의 설명으로 돌아와, 단계 S4의 다음 단계 S5에 있어서, 제어부(7)는, 보관부 이동 기구(9)에 제어 지령을 부여함으로써, 보관부(3)를 위쪽에 이동시킨다. 보관부(3)는, 각 돌기 부재(31~33)의 상면(31a~33a)이 각각 대응하는 각 노즐(11~13)의 토출구에 각각 소정의 간격을 두고 대향하도록 이동된다. 이 소정의 간격은, 이미 정해져 있고, 구체적으로는, 각 돌기 부재(31~33)의 상면(31a~33a) 상에 액돌출된 세정액에 각 노즐(11~13)의 하면이 적어도 접촉하는 간격이다. 환언하면, 소정의 간격은, 상면(31a~33a) 상에 액돌출된 세정액의 높이보다도 작게 설정된다. 또한, 액돌출된 세정액의 높이 및 크기는, 세정액의 종류나 돌기 부재의 재질 (PTFE(폴리테트라플루오르에틸렌) 등이 이용됨) 외, 공급구의 크기나 저류 기구에서의 배관의 굵기 등에 의존한다.

또한, 본 실시 형태에서는, 보관 시(후술하는 세정 시에 있어서도 동일)에 있어서 각 노즐(11~13)과 각 돌기 부재(31~33)가 접촉하지 않기 때문에, 각 노즐(11~13)과 각 돌기 부재(31~33)가 접촉함으로써 각 노즐(11~13)의 위치가 어긋나는 일이 없다. 즉, 각 노즐(11~13)의 위치가 어긋나는 결과, 도포 동작에 있어서 도포액을 정확한 위치에 도포할 수 없게 되는 것을 방지할 수 있다.

이상의 단계 S5의 동작에 의해서, 보관부(3)의 각 돌기 부재(31~33)의 상면(31a~33a)이, 각 노즐(11~13)의 토출구와 대향하는 위치에 배치된 것이 되고, 노즐(11)의 토출구는 세정액(L)에 접촉하는 상태가 된다. 이것에 의해서, 토출구가 건조하지 않도록 노즐(11~13)을 보관할 수 있다.

여기서, 상면(31a~33a) 상에 액돌출된 상태의 세정액(L)은 증발한다. 따라서, 만일 세정액을 보충하는 수단이 없다고 하면, 시간이 경과함에 따라 상면(31a~33a) 상에 액돌출된 세정액(L)의 양이 점차 감소된다. 그리고, 액돌출된 세정액(L)의 양이 일정 양보다도 적어지면(저류 기구(37~39)에서의 세정액의 액면의 높이가 일정 위치보다도 낮아지면), 노즐의 토출구가 세정액에 접촉하지 않게 된다. 이와 같이, 세정액을 보충하는 수단이 없으면, 노즐을 세정액에 묻힌 상태로 보관할 수 없게 된다는 문제가 있다. 이 문제를 해결하기 위해, 제1 실시 형태에서는, 저류 기구(37~39)를 설치하는 구성을 채용하고 있다. 즉, 제1 실시 형태에서는, 저류 기구(37~39)에는 상면(31a~33a)보다도 위쪽의 위치까지 세정액이 저류되고 있으므로, 상면(31a~33a) 상에 액돌출된 세정액(L)이 감소하면, 저류 기구(37~39) 내의 세정액의 압력에 의해서 세정액이 각 돌기 부재(31~33)의 공급구에 보충된다. 따라서, 제1 실시 형태에서는, 세정액이 증발해도 상면(31a~33a) 상에 있어서 액돌출된 상태를 유지할 수 있고, 저류 기구를 설치하지 않은 경우에 비해 보다 장시간 노즐을 보관할 수 있다.

도 5의 설명으로 돌아와, 단계 S5의 다음 단계 S6에 있어서, 제어부(7)는, 사용자로부터 도포 장치(10)를 가동하는 지시가 있었는지 여부를 판정한다. 가동 지시가 있던 경우에는 제어부(7)는 후술하는 단계 S7의 동작을 실행한다. 한편, 가동 지시가 없는 경우에는, 제어부(7)는 단계 S6의 동작을 재차 실행하고, 가동 지시가 있을 때까지 단계 S6의 동작을 소정 시간 간격으로 반복한다. 즉, 제어부(7)는 가동 지시가 있을 때까지 대기하고, 가동 지시가 있으면 단계 S7의 동작을 실행한다.

도포 장치(10)를 가동하는 지시가 있으면, 단계 S7 및 S8의 동작이 실행됨으로써 도포 장치(10)가 대기 상태로부터 가동 상태가 된다. 즉, 단계 S7에 있어서, 제어부(7)는, 보관부 이동 기구(9)에 제어 지령을 부여함으로써 보관부(3)를 아래쪽의 위치(단계 S5가 실행되기 전의 위치)에 되돌린다. 이것에 의해서, 노즐(11~13)로부터 충분히 멀어진 위치에 보관부(3)가 이동되므로, 도포 처리에 있어서, 노즐(11~13)이 이동해도 노즐(11~13)과 보관부(3)가 충돌하는 일이 없다. 계속해서 단계 S8에 있어서, 제어부(7)는 보관부 이동 기구(9)에 제어 지령을 부여함으로써 보관부(3)의 위치를 전환한다. 구체적으로는, 제어부(7)는, 돌기 부재(31~33)가 노즐(11~13)의 바로 아래 위치에 위치하고 있던 보관부(3)를, 액회수부(30)의 바닥면이 노즐(11~13)의 바로 아래 위치에 위치하도록 이동시킨다. 이것에 의해서, 도포 처리에 있어서 노즐(11~13)로부터 도포액이 토출되어도 보관부(3)에서의 도포액의 튀어오름을 억제할 수 있다. 가동 상태로 이행할 때까지의 도포 장치(10)의 동작은 이상의 단계 S1~S8에서 종료된다. 이상의 동작의 후, 도포 장치(10)는 도포 처리를 재개할 수 있다.

이상과 같이, 제1 실시 형태에 의하면, 노즐(11~13)의 보관 시에 있어서, 보관부(3)의 각 돌기 부재(31~33)의 상면(31a~33a)을 각 노즐(11~13)에 각각 대향 하도록 배치함과 더불어 상면(31a~33a) 상에 세정액을 액돌출된 상태로 한다. 이것에 의해서, 각 노즐(11~13)의 토출구를 세정액에 접촉한 상태로 보관할 수 있음과 더불어, 세정액을 항상 공급할 필요가 없기 때문에, 세정액을 효율적으로 사용할 수 있다. 또한, 제1 실시 형태에 의하면, 저류 기구(37~39)를 설치함으로써 저류 기구(37~39)에 저류된 세정액과 상면(31a~33a) 상에 액돌출된 세정액의 펌프 헤드(揚程) 차이에 의해서, 상면(31a~33a) 상에 세정액이 자동적으로 보충된다. 이것에 의해서, 상면(31a~33a) 상에 있어서 세정액을 장시간 액돌출된 상태로 유지할 수 있고, 각 노즐(11~13)을 보다 장시간 보관할 수 있다.

또한, 상기 보관부(3)는 각 노즐(11~13)을 세정하는 목적으로도 이용된다. 구체적으로는, 세정 동작을 행할 때, 제어부(7)는 우선, 상기 단계 S1~S3과 동일한 동작을 행한다. 다음으로, 제어부(7)는 세정액 공급부(8)에 제어 지령을 부여함으로써 세정액 공급부(8)에 세정액의 공급을 행하게 한다. 이것에 의해서, 세정액 공급부(8)는, 보관부(3)의 각 돌기 부재(31~33)의 공급구로부터 세정액을 용출한다. 또한, 세정 동작에 있어서는, 보관 시와 달리 세정액은 항상 공급된다. 다음으로, 제어부(7)는, 상기 단계 S5와 동일한 동작을 행한다. 이것에 의해서, 보관부(3)의 각 돌기 부재(31~33)의 상면(31a~33a)이, 각 노즐(11~13)의 토출구와 대향하는 위치에 배치된 것이 되고, 노즐(11)의 토출구는 세정액에 접촉하는 상태가 된다. 그 결과, 각 노즐(11~13)이 세정액에 의해서 세정된다. 또한, 세정 시에 있어서, 각 돌기 부재(31~33)의 공급구로부터 용출된 세정액은, 각 돌기 부재(31~33)로부터 액회수부(30)의 바닥면으로 흘러가 액회수부(30)의 배출구로부터 배출된다. 세정액은, 이미 정해진 소정 시간 용출되고, 이것에 의해서 노즐의 세정이 종료된다. 노즐의 세정이 종료된 후에는, 제어부(7)가 상기 단계 S7 및 S8의 동작을 행함으로써 도포 동작이 가능해진다. 또한, 세정 처리는, 도포 장치(10)에 의한 1일 의 작업의 개시 전 또는 종료 후에 행해져도 되고, 소정 매수의 기판에 대한 도포 처리가 종료할 때마다 행해져도 되며, 소정 시간 간격으로 행해져도 된다. 또, 세정 처리는, 작업자에 의해서 수동으로 제어부(7)에 지시된 것에 따라 개시되어도 되고, 소정의 조건에 따라서 제어부(7)에 의해서 자동적으로 개시되도록 해도 된다. 이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 노즐의 세정과 보관의 양쪽 모두의 동작을 보관부(3)를 이용하여 행할 수 있다.

(제2 실시 형태)

다음으로, 제2 실시 형태에 따른 노즐 보관 장치에 대해 설명한다. 전술한 제1 실시 형태에 있어서는, 대기 상태로부터 가동 상태로 이행한 경우, 및 노즐의 세정이 종료된 경우, 각 노즐(11~13)에는 세정액이 남아 부착되어 있을 가능성이 있다. 따라서, 제1 실시 형태에 있어서는, 각 노즐(11~13)에 남은 세정액을 제거하는 수단이 설치되는 것이 바람직하다. 제2 실시 형태에서는, 세정액을 제거하는 수단으로서 공급구로부터 세정액을 흡인하는 세정액 흡인 수단을 설치한다. 또한, 상기 저류 기구(37~39)를 이용하여 세정액 흡인 수단을 실현함으로써 도포 장치의 구성을 간이화한다. 이하, 제1 실시 형태와의 차이점을 중심으로 제2 실시 형태의 상세를 설명한다.

도 7은, 제2 실시 형태에서의 도포 장치의 각부와 제어부의 접속 관계를 나타내는 도면이다. 또, 도 8은, 제2 실시 형태에서의 보관부(3)의 구성을 나타내는 단면도이다. 도 8은, 도 4에 나타낸 A－A＇단면도에 대응하는 도면이다. 또, 도 8은, 대기 상태에서의 보관부(3) 상태를 나타내고 있다. 또한, 도 7 및 도 8에 있 어서는, 도 2 및 도 4와 동일한 구성 요소에 대해서는 도 2 및 도 4와 동일한 참조 부호를 부여하고, 상세한 설명을 생략한다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 제2 실시 형태에 있어서는, 도포 장치(노즐 보관 장치)는 세정액 흡인부(101)를 더 구비하고 있다. 또, 도 8에 나타낸 바와 같이, 보관부(3)의 저류 기구(37)는 흡인 배관(37b)을 갖는 구성이다. 세정액 흡인부(101)는 흡인 펌프 등에 의해 구성되고, 그 동작은 제어부(7)에 의해서 제어된다. 흡인 배관(37b)은 저류 탱크(37a)와 세정액 흡인부(101)를 접속한다. 또한, 이상의 점을 제외하고, 제2 실시 형태에서의 도포 장치의 구성은 제1 실시 형태와 동일하다.

다음으로, 제2 실시 형태에서의 도포 장치의 동작을 설명한다. 제2 실시 형태에 있어서도 제1 실시 형태와 동일하게, 가동 상태로부터 대기 상태로 이행하는 경우에는 도 5에 나타낸 단계 S1~S5의 동작이 행해진다. 단계 S1~S5의 동작에 의해서, 보관부(3) 상태는 도 8에 나타낸 상태가 된다. 보관 시에 있어서는, 이 상태로 각 노즐(11~13)이 보관된다.

또, 제2 실시 형태의 동작은, 대기 상태로부터 가동 상태로 이행할 때에 있어서, 각 노즐(11~13)에 부착된 세정액이 세정액 흡인부(101)에 의해서 흡인되는 점에서 제1 실시 형태와 상이하다. 도 8을 예를 들어 설명하면, 도 8에 나타낸 대기 상태에 있어서, 사용자로부터의 가동 지시가 있으면, 세정액 흡인부(101)에 의해서 각 저류 기구(37)의 세정액이 흡인된다. 이것에 의해서, 상면(31a) 상에 액돌출되어 있는 세정액(노즐(11)에 부착되어 있는 세정액 :L)이 공급구에 흡인되어 회수된다. 또한, 상기에 있어서는, 3개의 돌기 부재(31~33) 중 돌기 부재(31)를 예로서 설명했지만, 다른 돌기 부재(32 및 33)에 있어서도 돌기 부재(31)와 동일한 동작이 행해진다. 이상과 같이 하여, 제2 실시 형태에 있어서는, 각 노즐(11~13)에 남은 세정액을 세정액 흡인부(101)에 의해서 제거할 수 있다.

구체적으로는, 도 5에 나타낸 단계 S6의 판정 결과가 긍정이 된 후, 제어부(7)는 세정액 흡인부(101)에 제어 지령을 부여함으로써, 세정액 흡인부(101)에 흡인 동작을 행하게 한다. 즉, 세정액 흡인부(101)는, 저류 기구(37~39)를 통해 각 공급 배관(34~36)으로부터 세정액을 흡인한다. 이것에 의해서, 각 상면(31a~33a) 상의 세정액이 각 공급구로 회수된다. 제2 실시 형태에 있어서는, 세정액 흡인부(101)에 의한 흡인 동작의 후, 단계 S7의 동작이 행해진다.

또, 세정액 흡인부(101)에 의한 흡인 동작은, 세정 처리의 종료 후, 도포 동작을 재개하기 전에도 행해진다. 즉, 세정 처리에 있어서 세정액이 미리 정해진 소정 시간 용출되면, 세정액 공급부(8)는 세정액의 공급을 정지한다. 그리고, 세정액 흡인부(101)는 보관 시와 동일한 흡인 동작을 행한다. 이 흡인 동작에 의해서, 세정 시에 각 노즐(11~13)에 부착한 세정액을 각 돌기 부재(31~33)의 공급구로부터 흡인할 수 있고, 세정 시에 각 노즐(11~13)에 부착한 세정액을 제거할 수 있다. 이상의 흡인 동작의 후, 제어부(7)가 상기 단계 S7 및 S8의 동작을 행함으로써 도포 동작이 가능해진다.

이상과 같이, 제2 실시 형태에 있어서는, 세정액 흡인부(101)에 의해서 각 노즐(11~13)에 부착한 세정액을 제거할 수 있으므로, 도포 동작을 행할 때에 각 노 즐(11~13)에 세정액이 남는 일이 없다. 또한, 제2 실시 형태에 의하면, 세정액 흡인부(101)에 의해서 흡인을 행하기 위한 배관을 저류 기구에 의해서 실현하고 있다. 즉, 흡인을 행하기 위한 배관을 별도로 설치할 필요가 없기 때문에, 도포 장치의 구성을 간이화할 수 있다.

(제3 실시 형태)

다음으로, 제3 실시 형태에 따른 노즐 보관 장치에 대해 설명한다. 전술한 제1 실시 형태에 있어서는, 돌기 부재(31~33)의 상면(31a~33a) 상에 액돌출된 세정액이 증발함으로써, 저류 기구(37~39)에 저류된 세정액의 양이 점차 감소되어 간 결과, 저류되어 있는 세정액의 양이 일정 양 이하가 되면(저류 기구에서의 세정액의 액면의 높이가 일정 높이 이하가 되면), 상면(31a~33a) 상에 세정액이 액돌출되지 않게 된다(통상, 저류 기구에서의 세정액의 액면의 높이가 상면의 높이와 동일해지면, 상면(31a~33a) 상에 세정액이 액돌출되지 않게 된다). 따라서, 제1 실시 형태에 있어서는, 저류 기구가 없는 구성에 비하면 장시간 노즐을 보관할 수 있지만, 어느 정도의 시간이 경과하면 노즐을 보관할 수 없게 된다. 제3 실시 형태에서는, 저류 기구(37~39)에 저류된 세정액의 양을 검지하고, 상면(31a~33a) 상에 세정액이 액돌출되지 않도록 전에 세정액을 재차 공급한다. 이것에 의해서, 노즐을 보관할 수 있는 시간적 제한을 없앨 수 있다. 이하, 제1 실시 형태와의 차이점을 중심으로 제3 실시 형태의 상세를 설명한다.

도 9는, 제3 실시 형태에서의 도포 장치의 각부와 제어부의 접속 관계를 나타내는 도면이다. 또한, 도 9에 있어서는, 도 2와 동일한 구성 요소에 대해서는 도 2와 동일한 참조 부호를 부여하여 상세한 설명을 생략한다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 제3 실시 형태에 있어서는, 도포 장치(노즐 보관 장치)는 액량 검지부(102)를 더 구비하고 있다. 액량 검지부(102)는, 각 저류 기구(37~39)에 설치되고, 각 저류 기구(37~39)의 액량을 검지한다. 구체적으로는, 저류 기구(37~39)에 저류되어 있는 세정액의 양이 일정 소정량 이하가 된(저류 기구에서의 세정액의 액면의 높이가 일정 높이 이하가 된) 것을 검지한다. 액량 검지부(102)에 의한 검지 결과는, 제어부(7)에 통지된다. 즉, 저류 기구(37~39)에 저류되어 있는 어느 세정액의 양이 미리 정해진 소정량 이하가 된 것을 검지하면, 액량 검지부(102)는 제어부(7)에 대해서 통지를 행한다.

도 10은, 제3 실시 형태에서의 도포 장치의 동작의 흐름을 나타내는 흐름도이다. 또한, 도 10에 있어서, 도 5에 나타낸 단계와 동일한 동작을 행하는 단계에 대해서는 도 5와 동일한 단계 번호를 부여하고, 상세한 설명을 생략한다.

제3 실시 형태에 있어서도 제1 실시 형태와 동일하게, 가동 상태로부터 대기 상태로 이행할 때 단계 S1~S5의 동작이 행해진다. 제3 실시 형태에 있어서는, 단계 S5의 후, 단계 S11의 동작이 행해진다. 즉, 단계 S11에 있어서, 제어부(7)는 세정액을 재공급할지 여부를 판정한다. 이 판정은, 구체적으로는, 저류 기구(37~39)에 저류되어 있는 어느 세정액의 양이 미리 정해진 소정량 이하가 된 취지의 통지가 액량 검지부(102)로부터 있었는지 여부에 의해서 행해진다. 상기 통지가 액량 검지부(102)로부터 있던 경우, 제어부(7)는, 세정액을 재공급한다고 판정하고 단계 S12의 동작을 행한다. 한편, 액량 검지부(102)로부터 상기 통지가 없 는 경우, 제어부(7)는 세정액을 재공급하지 않는다고 판정하고 단계 S6의 동작을 행한다.

단계 S12에 있어서는, 제어부(7)는 세정액 공급부(8)에 제어 지령을 부여함으로써, 세정액 공급부(8)에 세정액을 재차 공급시킨다. 단계 S12에서 세정액이 공급되는 공급량은 미리 정해진 양으로 해도 된다. 이 단계 S12에 의해서, 저류 기구(37~39)에 저류되어 있는 세정액의 양이 상기 소정량보다 많아지고, 노즐의 보관을 계속할 수 있게 된다. 단계 S12의 후, 단계 S6의 동작이 행해진다.

제3 실시 형태에 있어서도, 단계 S6의 동작은 제1 실시 형태와 동일하다. 즉, 제어부(7)는, 사용자로부터 도포 장치를 가동하는 지시가 있었는지 여부를 판정하고, 가동 지시가 있던 경우에는 후술하는 단계 S7의 동작을 실행한다. 한편, 가동 지시가 없는 경우에는, 제어부(7)는 단계 S11의 동작을 재차 실행한다. 따라서, 제어부(7)는 가동 지시가 있을 때까지 단계 S11 및 S6의 동작을 소정 시간 간격으로 반복하고, 필요에 따라서 단계 S12의 동작을 행한다. 즉, 제어부(7)는 가동 지시가 있을 때까지 대기함과 더불어 세정액의 재공급이 필요하다고 판단한 경우(단계 S11에서 YES)에는 세정액의 재공급을 행한다. 또한, 단계 S7 및 S8의 동작은 제1 실시 형태와 동일하다.

이상과 같이, 제3 실시 형태에 의하면, 노즐을 보관할 수 없게 되는 것, 즉 저류 기구(37~39)에 저류되어 있는 세정액의 양이 소정량 이하가 된 것을 검지하고, 검지한 것에 따라 세정액을 재공급한다. 이것에 의하면, 공급원의 세정액이 없어지지 않는 한 계속해서 노즐을 보관할 수 있다. 제3 실시 형태에 의하면, 장 기간(예를 들어 1일) 노즐을 보관하는 경우에도 상면 상의 세정액이 없어지는 일이 없다.

또한, 상기 제3 실시 형태에 있어서는, 제2 실시 형태에 있어서 나타낸 세정액 흡인 수단을 설치하지 않는 구성으로 했지만, 제3 실시 형태에 있어서도 당해 세정액 흡인 수단을 설치하는 구성으로 해도 된다. 이것에 의하면, 제2 실시 형태와 동일하게, 간단하고 쉬운 구성으로, 각 노즐(11~13)에 부착한 세정액을 제거할 수 있다.

또, 상기 제3 실시 형태에 있어서는, 저류 기구(37~39)에 세정액을 재공급하는 배관(라인)을 별도로 설치하도록 해도 된다. 도 11은, 제3 실시 형태에서의 변형 예에서의 보관부(3)의 구성을 나타내는 도면이다. 도 11에 나타낸 바와 같이, 제3 실시 형태의 변형예에 있어서는, 공급 배관(34)과 저류 기구(37)의 분기 부분과 공급원의 사이에 밸브(103)가 설치된다. 또, 밸브(103)와 공급원 사이의 공급 배관과 저류 탱크(37a)를 접속하는 재공급 배관(37c)이 설치된다. 또한, 밸브(103)의 개폐는 제어부(7)에 의해서 제어된다. 또한, 도 11에서는, 돌기 부재(31)에 관한 구성만을 나타내고 있지만, 다른 돌기 부재(32 및 33)에 대해서도 도 11과 동일하게 밸브 및 재공급 배관이 설치된다.

도 11에 나타낸 변형 예에 있어서는, 상기 단계 S4에 있어서 세정액이 공급될 때에는, 제어부(7)에 의해 밸브(103)가 개방된다. 따라서, 공급원으로부터 공급되는 세정액은 공급 배관(34)을 지나 돌기 부재(31)의 공급구에 공급된다. 한편, 상기 단계 S12에 있어서 세정액이 재공급될 때에는, 제어부(7)에 의해서 밸 브(103)가 폐쇄된다. 따라서, 공급원으로부터 공급되는 세정액은, 재공급 배관(37c)을 지나 저류 탱크(37a)에 공급된다. 이상과 같이, 보관 시에 있어서 세정액을 재공급하는 경우에는, 공급원으로부터 저류 탱크(37a)에 세정액이 직접 공급되도록 해도 된다. 또한, 이상에 있어서는, 돌기 부재(31)에 관한 동작만을 설명했지만, 다른 돌기 부재(32 및 33)에서의 동작도 돌기 부재(31)에 관한 동작과 동일하다.

(제4 실시 형태)

다음으로, 제4 실시 형태에 따른 노즐 보관 장치에 대해 설명한다. 제4 실시 형태에 있어서는, 도포 장치(노즐 보관 장치)는, 전술한 노즐의 보관 동작에 더하여 노즐의 세정 동작을 행한다. 이하, 제2 실시 형태와의 차이점을 중심으로 제4 실시 형태의 상세를 설명한다.

제4 실시 형태에 따른 도포 장치의 구성은, 보관부(보다 특정적으로는 보관부의 돌기 부재)를 제외하고, 제2 실시 형태에 따른 노즐 보관 장치와 동일한 구성이다. 이하, 도 12 및 도 13을 참조하여 보관부의 구성에 대해 설명한다.

도 12는, 제4 실시 형태에서의 보관부의 구성을 나타내는 사시도이다. 또한, 제4 실시 형태에 있어서도 제2 실시 형태의 보관부(3a)와 보관부(3b)와 동일하게, 도포 장치는 2개의 보관부를 구비하고 있지만, 2개의 보관부는 동일한 구성이므로, 도 12에서는 2개의 보관부 중 한 쪽만을 보관부(110)로서 나타내고 있다. 도 12에 나타낸 바와 같이, 보관부(110)는 액회수부(30), 돌기 부재(111~113), 공급 배관(34~36) 및 저류 기구(37~39)를 구비하고 있다. 또한, 도 12에 있어서는, 도 3과 동일한 구성 요소에 대해서는 도 3과 동일한 참조 부호를 부여하고, 상세한 설명을 생략한다.

도 12에 나타낸 바와 같이, 제4 실시 형태에 있어서는, 각 돌기 부재(111~113)의 형상이 제2 실시 형태와는 상이하다. 이하, 도 13을 참조하여, 돌기 부재(111)를 예로 들어 돌기 부재의 구성에 대해 설명한다.

도 13은, 도 12에 나타낸 돌기 부재(111) 및 노즐(11)을 나타내는 도면이다. 도 13에 나타낸 바와 같이, 돌기 부재(111)는, 평면상의 상면(111a)을 갖고 있다. 이 상면(111a)은(보관 시와 동일) 세정 시에 있어서 노즐(11)의 하면(토출구가 설치되는 면 : 11a)에 대향하도록 배치된다. 또, 상면(111a)에는 공급구가 설치된다. 자세한 것은 후술하지만, 세정 시에 있어서 공급구로부터 세정액이 공급됨으로써 노즐(11)의 선단에 세정액을 가할 수 있다.

또, 돌기 부재(111)는 원주상의 외형을 갖고 있고, 상면(111a)은 대략 원형이다. 한편, 노즐(11)은 원주 형상이고, 그 하면(11a)은 대략 원형이다. 여기서, 돌기 부재(111)의 선단의 직경은, 노즐(11)의 선단의 직경보다도 작다. 즉, 상면(111a)의 직경 φ1은, 노즐(11)의 하면(11a)의 직경 φ2보다도 작다. 예를 들어, 2개의 직경의 비는 φ1：φ2=3：5로 설정되고, 구체적으로는, 상면(111a)의 직경 φ1은 φ1=3[mm]로, 노즐(11)의 하면(11a)의 직경 φ2는 φ2=5[mm]로 설정된다. 또, 돌기 부재(111)는, 상면(111a)의 주위에, 외주로 향함에 따라 낮아지는 경사면(111b)을 갖고 있다. 경사면(111b)을 갖는 형상인 것에 의해, 돌기 부재(111)는, 상면(111a)의 직경을 작게 함과 더불어 돌기 부재(111) 전체로서는 굵기를 확 보할 수 있고, 강도를 확보할 수 있다.

이상에 있어서는 돌기 부재(111)에 관한 구성을 설명했지만, 돌기 부재(112 및 113)의 구성도, 도 13에 나타낸 돌기 부재(111)의 구성과 동일하다. 즉, 돌기 부재(112 및 113)는, 세정 시에 있어서 노즐(12 및 13)에 각각 대향하도록 배치되는 상면(112a 및 113a)을 갖고 있다. 상면(112a 및 113a)에는 공급구가 각각 1개씩 설치된다. 또, 돌기 부재(112)는, 상면(112a)의 주위에, 외주를 향함에 따라 낮아지는 경사면(112b)을 갖고 있고, 돌기 부재(113)는 상면(113a)의 주위에 외주를 향함에 따라 낮아지는 경사면(113b)을 갖고 있다.

다음으로, 제4 실시 형태에 따른 도포 장치(노즐 보관 장치)의 동작에 대해 설명한다. 도포 동작 및 보관 시의 동작에 대해서는, 제4 실시 형태에서의 동작은, 제2 실시 형태에서의 동작과 동일하다. 제4 실시 형태에 있어서는, 도포 장치는, 도포 동작 및 노즐의 보관 동작에 더하여 노즐을 세정하는 동작을 행한다. 이하, 도 14를 참조하여 세정 동작에 대해 설명한다.

도 14는, 제4 실시 형태에서의 세정 동작의 흐름을 나타내는 흐름도이다. 또한, 도 14에 나타낸 세정 동작은, 도포 장치에 의한 1일의 작업의 개시 전 또는 종료 후에 행해져도 되고, 소정 매수의 기판에 대한 도포 처리가 종료할 때마다 행해져도 되며, 소정 시간 간격으로 행해져도 된다. 또, 세정 동작은, 작업자에 의해서 수동으로 제어부(7)에 지시된 것에 따라 개시되어도 되고, 소정의 조건에 따라서 제어부(7)에 의해서 자동적으로 개시되도록 해도 된다.

도 14에 있어서는, 우선 단계 S21에 있어서, 제어부(7)는 도포 처리 시에 이 동하고 있던 노즐 유닛(1)을 정지시킨다. 또한, 노즐 유닛(1)은, 노즐 이동 기구(2)의 양단 중 보관부(110)의 위쪽에 위치하는 일단(도 1a에 나타낸 좌측의 일단)에서 정지한다. 보다 구체적으로는, 노즐 유닛(1)은, 각 노즐과 거기에 대응하는 각 돌기 부재와의 X축 방향에 관한 위치가 동일해지는 위치에서 정지한다. 여기에서는, 당해 위치가 노즐 유닛(1)의 퇴피 위치이다. 계속해서 단계 S22에 있어서, 제어부(7)는 노즐 유닛(1)에 대해서 제어 지령을 부여함으로써 각 노즐(11~13)에 의한 도포액의 토출을 정지시킨다.

단계 S22의 다음 단계 S23에 있어서, 제어부(7)는 보관부 이동 기구(9)에 제어 지령을 부여함으로써 보관부(110)의 위치를 전환한다. 구체적으로는, 제어부(7)는, 액회수부(30)의 바닥면이 각 노즐(11~13)의 바로 아래 위치에 위치하고 있던 보관부(110)를, 각 돌기 부재(111~113)가 각 노즐(11~13)의 바로 아래 위치에 위치하도록 이동시킨다.

단계 S23의 다음 단계 S24에 있어서, 제어부(7)는 세정액 공급부(8)에 제어 지령을 부여함으로써, 공급원으로부터 각 공급 배관을 통해 각 돌기 부재(111~113)의 공급구로 세정액을 공급한다. 도 15는, 단계 S24의 동작이 행해진 시점의 돌기 부재(111)를 나타내는 도면이다. 또한, 도 15는, 도 12에 나타낸 보관부(110)의 B－B＇단면도이다. 이하, 돌기 부재(111)를 예로 들어 단계 S24의 상세를 설명한다. 또한, 이하에서는 3개의 돌기 부재(111~113) 중 돌기 부재(111)를 예로서 설명하지만, 다른 돌기 부재(112 및 113)에 대해서도 돌기 부재(111)와 동일하다.

도 15에 나타낸 바와 같이, 공급원으로부터 돌기 부재(111)의 공급구로 세정 액이 공급되는 것에 의해서 공급구로부터 세정액이 용출한다. 이때, 세정액 공급부(8)는 상면(111a)으로부터 소정의 높이(h)까지 세정액(L)이 용출하도록 공급하는 세정액의 유량을 제어한다. 또한, 용출되는 세정액의 높이(h)는, 돌기 부재 및 노즐의 재질이나, 세정액의 종류나, 공급구의 크기나, 공급 유량 등에 의존한다. 여기에서는, 돌기 부재의 재질을 PTFE(폴리테트라플루오르에틸렌)로 하고, 노즐의 재질을 폴리이미드로 하며, 세정액을 유기용매(톨루엔 등)로 하고, 공급구의 구멍 직경을 2[mm]로 하며, 공급 유량을 10~25[ml／min]로 한다. 본 실시 형태에서는, 세정액이 적당한 높이까지 용출되도록 세정액의 공급량을 제어할 필요가 있으므로, 세정액 공급부(8)는 공급량의 미세조정이 가능한 유량 조정 기구를 구비하는 것이 바람직하다. 공급구로부터 용출된 세정액은, 경사면(111b)을 지나 액회수부(30)의 바닥면에 흘러 떨어지고 바닥면에 설치된 배출구로부터 배출된다.

도 14의 설명으로 돌아와, 단계 S24의 다음 단계 S25에 있어서, 제어부(7)는, 보관부 이동 기구(9)에 제어 지령을 부여함으로써 보관부(110)를 위쪽에 이동시킨다. 즉, 보관부(110)는, 각 돌기 부재(111~113)의 상면(111a~113a)이, 각각 대응하는 각 노즐(11~13)의 토출구에 각각 소정의 간격(d)을 두고 대향하도록 이동된다. 도 16은, 단계 S25의 동작이 행해진 시점의 돌기 부재(111)를 나타내는 도면이다. 또한, 도 16은, 도 12에 나타내는 보관부(110)의 B－B＇단면도이다. 이하, 돌기 부재(111)를 예로서 단계 S25의 상세를 설명한다. 또한, 도 16에서는 3개의 돌기 부재(111~113) 중 돌기 부재(111)를 예로서 나타내고 있지만, 다른 돌기 부재(112 및 113)에 대해서도 돌기 부재(111)와 동일하다.

단계 S25에 있어서, 돌기 부재(111)의 상면(111a)은 노즐(11)의 토출구에 각각 소정의 간격(d)을 두고 대향하도록 이동된다. 이 소정의 간격(d)은 이미 정해져 있고, 구체적으로는, 도 16에 나타낸 바와 같이, 상면(111a) 상에 용출된 세정액(L)이 노즐(11)의 하면(11a)에 접촉하는 간격이다. 즉, 소정의 간격(d)은 상면(111a) 상에 용출된 세정액(L)의 높이(h)보다도 작아지도록 설정된다. 예를 들어, 세정액이 유기 용매(예를 들어 톨루엔)이고, 돌기 부재(111)의 상면(111a)의 직경 φ1을 3 [mm]로 하고, 공급구의 구멍 직경을 2 [mm]로 하며, 노즐(11)의 하면(11a)의 직경 φ2를 5 [mm]로 하고, 세정액의 공급량을 20 [ml／min]로 한 경우, 소정의 간격(d)을 d ≤0.5 [mm]로 하는 것이 바람직한 것을 알 수 있었다. 즉, 각 조건을 상기와 같이 설정함으로써, 상면(111a~113a) 상에 용출된 세정액(L)이 노즐(11)의 하면(11a)에 접촉하고, 노즐(11)을 효과적으로 세정할 수 있는 것을 알 수 있었다.

또, 본 실시 형태에 있어서는, 상면(111a)의 직경 φ1은, 노즐(11)의 하면(11a)의 직경 φ2보다도 작다. 따라서, 세정액은 노즐(11)의 하면(11a)에만 부착되고, 공급구로부터 용출되는 세정액(L)이 노즐(11)의 측면에 부착되는 일이 없다.

이상의 단계 S25의 동작에 의해서, 보관부(110)의 각 돌기 부재(111~113)의 상면(111a~113a)이, 각 노즐(11~13)의 토출구와 대향하는 위치에 배치된 것이 되고, 각 노즐(11~13)의 토출구는 세정액에 접촉하는 상태가 된다(도 16). 이것에 의해서, 각 노즐(11~13)을 세정액에 의해서 세정할 수 있다. 또한, 본 실시 형태 에서는, 세정 시에 있어서 각 노즐(11~13)과 각 돌기 부재(111~113)가 접촉하지 않기 때문에, 각 노즐(11~13)과 각 돌기 부재(111~113)가 접촉함으로써 각 노즐(11~13)의 위치가 어긋나는 일이 없다. 즉, 각 노즐(11~13)의 위치가 어긋나는 결과, 도포 동작에 있어서 도포액을 정확한 위치에 도포할 수 없게 되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 세정액의 공급은, 세정이 개시되고 나서(단계 S25의 동작이 종료되고 나서) 미리 정해진 소정 시간 동안 계속된다. 그 후, 단계 S26의 동작이 행해진다.

도 14의 설명으로 돌아와, 단계 S25의 다음 단계 S26에 있어서, 제어부(7)는, 세정액 공급부(8)에 제어 지령을 부여함으로써, 공급원으로부터의 세정액의 공급을 정지한다. 또한, 계속해서 단계 S27에 있어서, 세정액 흡인부(101)에 제어 지령을 부여함으로써, 세정액 흡인부(101)에 세정액의 흡인을 개시시킨다. 이것에 의해서, 저류 기구(37~39)를 통해 각 돌기 부재(111~113)의 공급구 부근의 세정액이 흡인되고, 공급구 부근의 세정액이 제거된다. 즉, 각 돌기 부재(111~113)의 상면(111a~113a) 상의 세정액, 및 각 노즐(11~13)에 부착한 세정액이 흡인되어 제거된다. 또한, 전술한 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서는, 각 노즐(11~13)의 하면에만 세정액이 부착되어 있으므로, 노즐(11)의 측면에도 세정액이 부착되어 있는 경우에 비해 흡인 동작을 용이하고 또한 확실히 행할 수 있다. 세정액 흡인부(101)는, 미리 소정 시간 동안 흡인 동작을 행한 후, 흡인 동작을 종료한다. 이상의 단계 S27의 후, 단계 S28의 동작이 행해진다.

단계 S28에 있어서, 제어부(7)는, 보관부 이동 기구(9)에 제어 지령을 부여 함으로써, 보관부(110)를 하부의 위치(단계 S25가 실행되기 전의 위치)에 되돌린다. 이것에 의해서, 노즐(11~13)로부터 충분히 떨어진 위치에 보관부(110)가 이동되므로, 도포 처리에 있어서 노즐(11~13)이 이동해도 노즐(11~13)과 보관부(110)가 충돌하는 일이 없다. 계속해서 단계 S29에 있어서, 제어부(7)는, 보관부 이동 기구(9)에 제어 지령을 부여함으로써 보관부(110)의 위치를 전환한다. 구체적으로는, 제어부(7)는, 돌기 부재(111~113)가 노즐(11~13)의 바로 아래 위치에 위치하고 있던 보관부(110)를, 액회수부(30)의 바닥면이 노즐(11~13)의 바로 아래 위치에 위치하도록 이동시킨다. 이것에 의해서, 도포 처리에 있어서 노즐(11~13)로부터 도포액이 토출되어도 보관부(110)에서의 도포액의 튀어오름을 억제할 수 있다. 도포 장치의 세정 동작은 이상의 단계 S21~S29의 동작에서 종료한다. 세정 동작의 후, 도포 장치는 도포 처리를 재개할 수 있다.

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 도포 장치는, 노즐의 하면에만 세정액을 가하여 세정을 행한다. 이것에 의하면, 흡인 동작에 있어서, 노즐의 하면에만 부착한 세정액을 제거(흡인)하면 되기 때문에, 노즐의 측면에도 세정액이 부착되어 있는 경우에 비해 흡인 동작을 용이하고 확실히 행할 수 있다. 즉, 세정에 의해서 노즐에 부착한 세정액을 확실히 제거할 수 있다.

또, 본 실시 형태에 있어서는, 상면의 직경 φ1은, 노즐의 하면의 직경 φ2보다도 작다. 그 때문에, 상기 소정의 간격을 상당히 작게 해도, 공급구로부터 용출되는 세정액이 노즐의 측면에 부착하는 일이 없다. 한편, 단계 S27에서의 세정액의 흡인 동작은, 공급구와 노즐의 거리가 가까울수록 흡인 효과가 커진다. 본 실시 형태에 의하면, 흡인이 충분히 행해지도록 공급구와 노즐의 거리를 근접시킬 수 있으므로, 이 이유에 의해서, 흡인 동작을 확실히 행할 수 있다.

또한, 제4 실시 형태에 있어서는, 제2 실시 형태와 같이 도포 장치가 세정액 흡인부(101)를 구비하는 경우에 있어서 도포 장치(노즐 보관 장치)가 행하는 세정 동작에 대해 설명했지만, 제1 및 제3 실시 형태에 따른 도포 장치와 같이 도포 장치가 세정액 흡인부(101)를 구비하지 않은 경우라도, 도포 장치는 세정 동작을 행하는 것이 가능하다. 또한, 이 경우, 도포 장치는, 도 14에 나타낸 단계 S27을 실행하지 않고(단계 S27을 스킵하고), 단계 S26의 후 단계 S28을 행하도록 해도 된다.

(돌기 부재의 변형 예)

다음으로, 도 17~도 20을 대조하여, 상기 제4 실시 형태에서의 돌기 부재의 변형 예의 구성을 설명한다. 또한, 도 17~도 20에서는, 도포 장치에 설치되는 3개의 돌기 부재 중 1개의 돌기 부재의 구성을 예로서 나타내고 있지만, 다른 2개의 돌기 부재에 대해서도 도시하고 있는 돌기 부재와 동일한 구성이다.

도 17 및 도 18은, 상기 실시 형태의 변형 예에서의 돌기 부재의 구성을 나타내는 도면이다. 도 17 및 도 18에 있어서는, 돌기 부재(121)의 상면(121a)의 직경은, 노즐(11)의 하면(11a)의 직경보다 크다. 또한, 본 변형예에 있어서, 상면(121a)에 설치되는 공급구의 구멍 직경은, 노즐(11)의 하면(11a)의 직경보다 작다. 본 변형예에 있어서, 상기 간격(d)이 너무 작은 경우에는, 도 18에 나타낸 바와 같이, 세정액(L)이 노즐(11)의 측면에도 접촉된다. 따라서, 세정 시에서의 상 면(121a)과 하면(11a)의 간격(d)은, 상면(121a)에 설치된 공급구로부터 용출되어 있는 세정액(L)이 하면(11a)에만 접촉하는 거리로 설정된다. 여기서, 공급구로부터 용출되고 있는 세정액(L)을 수평면(XY면에 평행한 면)에서 절단했을 때의 단면 형상은 대략 원형이 되지만, 상기 간격(d)은, 예를 들어, 상면(121a)으로부터의 거리가 d＇인 수평면에서의 세정액(L)의 단면의 직경이 하면(11a)의 직경보다도 작아지는 거리 d＇보다도 크게 설정되어도 된다. 이상과 같이, 돌기 부재(121)의 상면(121a)의 직경을 노즐(11)의 하면(11a)의 직경보다 크게 해도 되고, 이 경우에도, 상기 간격(d)을 적정한 간격으로 함으로써, 노즐(11)의 측면에 세정액을 부착시키지 않고 세정을 행할 수 있다.

도 19 및 도 20은, 다른 변형예에서의 돌기 부재의 구성을 나타내는 도면이다. 도 19에 있어서는, 돌기 부재(131)의 상면(131a)은, 오목형의 곡면이다. 또, 도 20에 있어서는, 돌기 부재(141)의 상면(141a)은, 볼록형의 곡면이다. 또한, 도 19 및 도 20에서는, 돌기 부재(131)의 상면(131a)의 직경은, 노즐(11)의 하면(11a)의 직경보다도 크고, 돌기 부재(141)의 상면(141a)의 직경은, 노즐(11)의 하면(11a)의 직경보다 크다. 또, 상면(131a 또는 141a)에 설치되는 공급구의 구멍 직경은, 노즐(11)의 하면(11a)의 직경보다 작다. 도 19 및 도 20에 나타낸 바와 같이, 돌기 부재의 상면은, 평면이 아니고 곡면이어도 된다. 도 19 및 도 20에 나타내는 변형 예에 있어서는, 세정 시에서의 상면(131a 또는 141a)의 공급구와 노즐(11)의 하면(11a)의 간격(d)은, 도 17 및 도 18에 나타낸 변형 예와 동일하게, 상면(131a 또는 141a)에 설치된 공급구로부터 용출되고 있는 세정액(L)이 하 면(11a)에만 접촉하는 거리로 설정된다. 예를 들어, 상기 간격(d)은, 상면(131a 또는 141a)의 공급구로부터의 거리가 d＇인 수평면에서의 세정액(L)의 단면의 직경이 하면(11a)의 직경보다도 작아지는 거리 d＇보다도 크게 설정되어도 된다. 또, 도 20에 나타낸 바와 같이, 돌기 부재(141)의 상면(141a)을 볼록형의 곡면으로 하는 경우, 상면(141a) 상에 액돌출된 세정액(L)의 높이는, 돌기 부재의 상면을 평면으로 하는 경우보다도 작아진다. 따라서, 상기 간격(d)이 보다 작아지므로, 공급구로부터 세정액(L)을 흡인할 때의 흡인 효과가 보다 커진다. 또한, 상기 제4 실시 형태와 같이 돌기 부재(111)의 상면(111a)의 직경이 노즐(11)의 하면(11a)의 직경보다도 작은 경우라도, 당해 상면(111a)을 곡면으로 해도 된다. 이것에 의해서, 상기 실시 형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

(그 외의 변형 예)

또한, 상기 제1~제4 실시 형태에서는, 각 노즐(11~13)을 세정할 때, 보관부(3)(또는 110)를 이동시킴으로써 각 돌기 부재(31~33)(또는 111~113)의 상면(31a~33a)(또는 111a~113a)을 각 노즐(11~13)에 대향하는 위치에 배치하였다. 여기서, 다른 실시 형태에 있어서는, 각 돌기 부재(31~33)(또는 111~113)가 각 노즐(11~13)에 대해서 상대적으로 이동되면 되고, 보관부(3)(또는 110)를 이동시키는 대신에, 각 노즐(11~113)(노즐 유닛(1))을 이동시키도록 해도 되며, 보관부(3)(또는 110) 및 각 노즐(11~13)(노즐 유닛(1))의 쌍방을 이동시키도록 해도 된다.

또, 상기 제1~제4 실시 형태에서는, 도포 장치는 3개의 노즐(11~13)에 의해서 도포액을 도포하는 것이고, 보관부(3)는 각 노즐(11~13)에 대응하는 3개의 돌기 부재(31~33)(또는 111~113)를 갖고 있었다. 여기서, 다른 실시 형태에 있어서는, 노즐의 개수는 몇 개라도 괜찮다.

전술한 실시 형태에서는, 본 발명에 따른 노즐 보관 장치가 도포 장치와 일체적으로 구성되는 경우와 예로서 설명했지만, 노즐 보관 장치는 도포 장치와 별체로 구성되는 것이어도 된다. 또, 전술한 실시 형태에서는, 도포액으로서 유기 EL 재료나 정공 수송 재료를 도포액으로 한 유기 EL 표시 장치의 제조 장치(도포 장치)를 일례로 하여 설명했지만, 본 발명에 따른 노즐 보관 장치는 다른 도포 장치에도 이용할 수 있다. 예를 들어, 레지스트액이나 SOG(Spin On Glass)액이나 PDP(플라스마 디스플레이 패널)를 제조하는데 사용되는 형광 재료를 도포하는 장치에도 본 노즐 보관 장치를 이용할 수 있다. 또, 액정 칼라 디스플레이를 칼라 표시하기 위해서 액정 셀 내에 구성되는 칼라 필터를 제조하기 위해서 사용되는 색재를 도포하는 장치에도 본 노즐 보관 장치를 이용할 수 있다.

또, 도포 장치가 노즐의 세정을 목적으로 하여 구성되는 경우에는, 도포 장치는 다음과 같이 구성되어도 된다. 즉, 도포 장치(노즐 세정 장치)는, 돌기 부재와 세정액 공급 수단과 이동 수단을 구비하는 구성이어도 된다. 돌기 부재는, 상면에 공급구가 설치된다. 세정액 공급 수단은, 세정액이 돌기 부재의 상면 상에 용출되도록 공급구로 세정액을 공급한다. 이동 수단은, 노즐의 하면과 돌기 부재의 상면이 소정의 간격으로 대향하도록 노즐 및 돌기 부재의 적어도 한 쪽을 이동시킨다. 또, 이동 수단은, 돌기 부재의 상면 상에 용출된 세정액이 노즐의 하면에만 접촉하도록 소정의 간격을 설정한다.

본 발명은, 보관용 액체를 효율적으로 사용하여 노즐을 보관하는 것 등을 목적으로 하여, 예를 들어, 유기 EL 표시 장치를 제조하기 위해서 이용되는 도포 장치로서 이용하는 것이 가능하다.

이상, 본 발명을 상세하게 설명해 왔지만, 전술의 설명은 모든 점에 있어서 본 발명의 예시에 지나지 않고, 그 범위를 한정하려고 하는 것은 아니다. 본 발명의 범위를 일탈하지 않고 여러 가지의 개량이나 변형을 행할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.

도 1은, 도포 장치(10)의 구성을 나타내는 평면도 및 정면도이다.

도 2는, 도포 장치(10)의 각부와 제어부의 접속 관계를 나타내는 도면이다.

도 3은, 보관부(3)의 구성을 나타내는 사시도이다.

도 4는, 보관부(3)의 A－A＇단면도이다.

도 5는, 가동 상태로부터 대기 상태로의 이행 및 대기 상태로부터 가동 상태로의 이행에 관한 도포 장치의 동작의 흐름을 나타내는 흐름도이다.

도 6은, 보관 시에 있어서 세정액이 공급된 후의 보관부(3) 상태를 나타내는 도면이다.

도 7은, 제2 실시 형태에서의 도포 장치의 각부와 제어부의 접속 관계를 나타내는 도면이다.

도 8은, 제2 실시 형태에서의 보관부(3)의 구성을 나타내는 단면도이다.

도 9는, 제3 실시 형태에서의 도포 장치의 각부와 제어부의 접속 관계를 나타내는 도면이다.

도 10은, 제3 실시 형태에서의 도포 장치의 동작의 흐름을 나타내는 흐름도이다.

도 11은, 제3 실시 형태에서의 변형예에서의 보관부(3)의 구성을 나타내는 도면이다.

도 12는, 보관부(110)의 구성을 나타내는 사시도이다.

도 13은, 도 12에 나타내는 돌기 부재(111) 및 노즐(11)을 나타내는 도면이 다.

도 14는, 제4 실시 형태에 따른 도포 장치의 세정 동작의 흐름을 나타내는 흐름도이다.

도 15는, 단계 S24의 동작이 행해진 시점의 돌기 부재(111)를 나타내는 도면이다.

도 16은, 단계 S25의 동작이 행해진 시점의 돌기 부재(111)를 나타내는 도면이다.

도 17은, 제4 실시 형태의 변형예에서의 돌기 부재의 구성을 나타내는 도면이다.

도 18은, 제4 실시 형태의 변형예에서의 돌기 부재의 구성을 나타내는 도면이다.

도 19는, 다른 변형예에서의 돌기 부재의 구성을 나타내는 도면이다.

도 20은, 다른 변형예에서의 돌기 부재의 구성을 나타내는 도면이다.

Claims (9)

1. 토출구로부터 토출액을 아래쪽으로 토출하는 노즐을 보관하기 위한 노즐 보관 장치로서,

   공급구가 설치되는 상면이 상기 노즐의 토출구에 대향하는 위치에 배치되는 돌기 부재와,

   세정액을 공급하는 공급원으로부터 상기 공급구까지를 연통하는 공급 배관과,

   상기 공급 배관에 접속되고 상기 돌기 부재의 상면보다도 위쪽에서 세정액을 저류 가능한 저류 기구와,

   상기 돌기 부재의 상면 상에 세정액이 액돌출된 상태로, 또한 상기 저류 기구에 세정액이 저류된 상태가 되도록 상기 공급원으로부터 세정액을 공급하는 세정액 공급 수단을 구비하는, 노즐 보관 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 저류 기구를 통해 상기 공급 배관으로부터 세정액을 흡인하는 세정액 흡인 수단을 더 구비하는, 노즐 보관 장치.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 저류 기구에 저류되어 있는 세정액의 액량을 검지하는 검지 수단을 더 구비하고,

   상기 세정액 공급 수단은, 상기 검지 수단에 의해 검지된 액량에 의거하여 상기 공급원으로부터 세정액을 공급하는 것을 특징으로 하는, 노즐 보관 장치.
4. 청구항 1에 있어서,

   상기 노즐의 하면과 상기 돌기 부재의 상면이 소정의 간격으로 대향하도록 상기 노즐 및 상기 돌기 부재의 적어도 한 쪽을 이동시키는 이동 수단을 더 구비하고,

   상기 세정액 공급 수단은, 상기 노즐을 세정하는 경우에는, 세정액이 상기 돌기 부재의 상면 상에 용출되도록 상기 공급구로 세정액을 공급하고,

   상기 이동 수단은, 상기 노즐을 세정하는 경우에는, 상기 돌기 부재의 상면 상에 용출된 세정액이 상기 노즐의 하면에만 접촉하도록 상기 소정의 간격을 설정하는, 노즐 보관 장치.
5. 청구항 4에 있어서,

   상기 돌기 부재의 상면의 직경은, 상기 노즐의 하면의 직경보다도 작은 것을 특징으로 하는, 노즐 보관 장치.
6. 청구항 4 또는 청구항 5에 있어서,

   상기 공급구로부터 세정액을 흡인하는 세정액 흡인 수단을 더 구비하는, 노 즐 보관 장치.
7. 청구항 4에 있어서,

   상기 돌기 부재는, 상기 상면의 주위에, 외주를 향함에 따라 낮아지는 경사면을 갖는, 노즐 보관 장치.
8. 청구항 1에 있어서,

   상기 토출액은, 유기 EL 재료 또는 정공 수송 재료이고,

   상기 세정액은, 상기 토출액에 포함되는 용매와 동일한 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는, 노즐 보관 장치.
9. 기판에 대해서 노즐로부터 도포액을 토출함으로써 당해 기판에 도포를 행하는 도포 장치에 있어서, 상기 도포 장치는

   하나 이상의 노즐을 포함하는 노즐 유닛,

   상기 노즐을 이동시키는 노즐 이동 기구,

   상기 노즐을 보관하는 노즐 보관 장치,

   도포 처리 대상이 되는 기판을 적재하는 스테이지,

   상기 스테이지를 이동시키는 스테이지 이동기구 및

   상기 도포 장치의 도포 동작을 제어하는 제어부를 포함하고,

   이 때, 상기 노즐 보관 장치는 제1항 기재의 구성을 갖는 것을 특징으로 하는, 도포 장치.

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