KR100965224B1 - Apparatus for maintaining temperature of gas tank - Google Patents

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Abstract

반도체 제조 공정에 사용되는 가스를 보관하는 가스탱크의 온도를 일정하게 유지하는 가스탱크 온도유지장치를 개시한다. 본 발명의 가스탱크 온도유지장치는, 유연성을 가지며 평면으로 이루어지는 발열체, 발열체를 감싸는 보호커버, 발열체에 전원을 공급하는 전선, 발열체에 결합되어 전선을 보호하는 전선 보호부를 포함한다.A gas tank temperature holding apparatus for maintaining a constant temperature of a gas tank storing a gas used in a semiconductor manufacturing process is disclosed. The gas tank temperature holding apparatus of the present invention includes a flexible and flat heating element, a protective cover surrounding the heating element, an electric wire for supplying power to the heating element, and a wire protection unit coupled to the heating element to protect the electric wire.

히터, 온도, 가스, 탱크, 반도체, 전선, 보호 Heater, temperature, gas, tank, semiconductor, wires, protection

Description

가스탱크 온도유지장치{Apparatus for maintaining temperature of gas tank}Apparatus for maintaining temperature of gas tank

본 발명은 가스탱크 온도유지장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정에 사용되는 가스를 보관하는 가스탱크의 온도를 일정하게 유지하는 가스탱크 온도유지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas tank temperature holding device, and more particularly to a gas tank temperature holding device for maintaining a constant temperature of the gas tank for storing the gas used in the semiconductor manufacturing process.

일반적으로 반도체 소자는 사진, 식각, 박막 증착, 이온 주입, 금속 배선 등 복수의 공정을 수행함으로써 제조된다. 이와 같은 공정들 중 대부분은 그 공정을 진행하기 위해 다양한 종류의 가스(Gas)들이 사용된다. 이러한 가스들은 가스 탱크에 보관된다. 가스 탱크에 보관된 가스는 반도체 소자를 제조하는 공정에 사용할 때에 설정된 온도를 유지한 상태로 반도체 제조 장치에 공급된다. 이를 위하여 상술한 가스탱크에는 가스의 온도가 설정된 온도로 유지될 수 있도록 일종의 히터인 온도유지장치가 감싸여진다. 가스탱크 온도유지장치는 가스 탱크의 일부를 감쌀 수 있도록 유연성이 있는 재질로 이루어지며, 내부에는 전기에 의하여 발열되는 발열체가 배치되고, 이 발열체를 감싸는 절연체를 포함한다. 특히, 이러한 가스 탱크 온도유지장치를 사용할 때 발열체에 연결되는 전선이 반복적으로 움직이게 되면서 특정 부분이 약해져 끊어져 가스탱크 온도유지장치 전체를 교체해야하는 문제점이 있다. In general, semiconductor devices are manufactured by performing a plurality of processes, such as photographing, etching, thin film deposition, ion implantation, and metal wiring. Most of these processes use various kinds of gases (Gas) to carry out the process. These gases are stored in gas tanks. The gas stored in the gas tank is supplied to the semiconductor manufacturing apparatus in the state which maintained the set temperature at the time of using for the process of manufacturing a semiconductor element. To this end, the above-described gas tank is wrapped with a temperature maintaining device which is a kind of heater so that the temperature of the gas can be maintained at a set temperature. Gas tank temperature maintenance device is made of a material that is flexible to wrap a portion of the gas tank, the heating element is generated by the electricity generated inside, and includes an insulator surrounding the heating element. In particular, when using such a gas tank temperature holding device is a wire that is repeatedly connected to the heating element as a specific portion is weakened, there is a problem that the entire gas tank temperature holding device needs to be replaced.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 발열체에 연결되는 전선이 반복적인 사용으로 인하여 끊어지는 것을 방지함으로써 내구성을 증대시키는 가스탱크 온도유지장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been proposed to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a gas tank temperature maintaining apparatus for increasing durability by preventing the wires connected to the heating element from being broken due to repeated use. .

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 유연성을 가지면 평면으로 이루어지는 발열체, 상기 발열체를 감싸는 보호커버, 상기 발열체에 전원을 공급하는 전선, 상기 발열체에 결합되어 상기 전선을 보호하는 전선 보호부를 포함하는 가스탱크 온도유지장치를 제공한다.In order to achieve the object as described above, the present invention, if flexible, a heating element made of a flat surface, a protective cover surrounding the heating element, an electric wire for supplying power to the heating element, the wire protection is coupled to the heating element to protect the wire It provides a gas tank temperature maintenance device comprising a portion.

상기 전선 보호부는 상기 발열체에 고정되는 고정부와 상기 고정부에 회전될 수 있도록 결합되는 회전부를 포함하며, 상기 고정부는 상기 발열체에 결합되는 베이스부재, 상기 베이스부재에 결합되며 내부에 상기 전선이 수용되는 통로를 구비하며 외주면에 고정홈이 제공되는 제1 연결부재, 상기 연결부재의 외주에 배치되며 내부에 상기 전선이 수용되는 통로를 구비하는 제2 연결부재, 상기 제2 연결부재에 결합되어 상기 제1 연결부재의 고정홈에 밀착되는 고정부재들을 포함하는 것이 바람직하다.The wire protection part includes a fixing part fixed to the heating element and a rotating part coupled to be rotatable to the fixing part, wherein the fixing part is coupled to the base member and the base member to be coupled to the heating element, and the wire is received therein. A first connection member having a passageway and having a fixing groove provided on an outer circumferential surface thereof, a second connection member disposed on an outer circumference of the connection member and having a passage therein for receiving the wire therein, the second connection member being coupled to the second connection member It is preferable to include fixing members in close contact with the fixing groove of the first connection member.

상기 베이스부재는 상기 발열체에 일정한 간격으로 띄워져 배치되며 상기 제1 연결부재가 결합되는 연결부재 지지부, 상기 연결부재 지지부의 양측에서 연장되어 밴딩되고 상기 발열체에 밀착되며 가운데 부분에 접착공간이 제공되는 연장부들 을 포함하는 것이 바람직하다.The base member is spaced apart from the heating element at regular intervals, the connection member support portion to which the first connection member is coupled, extending from both sides of the connection member support portion is bent and in close contact with the heating element is provided with an adhesive space in the center portion It is preferred to include extensions.

상기 연장부는 상기 발열체와 동일한 재질로 이루어지는 접착부재에 의하여 발열체에 접착되는 것이 바람직하다.The extension part is preferably bonded to the heating element by an adhesive member made of the same material as the heating element.

상기 가스탱크 온도유지장치는 온도를 설정하는 컨트롤러를 포함하고, 상기 발열체의 온도를 일정하게 유지하는 바이메탈 스위치, 상기 바이메탈 스위치에 직렬로 연결되는 휴즈를 더 포함하는 것이 바람직하다.The gas tank temperature holding device preferably includes a controller for setting a temperature, and further includes a bimetal switch for maintaining a constant temperature of the heating element, and a fuse connected in series with the bimetal switch.

상기 컨트롤러에는 상기 발열체의 온도를 측정할 수 있는 온도 측정 센서가 연결되는 것이 바람직하다.Preferably, the controller is connected to a temperature measuring sensor capable of measuring the temperature of the heating element.

이와 같은 본 발명은 전선이 전선 보호부에 수납되어 보호되므로 전선이 반복하여 움직이는 경우에도 전선이 끊어지는 것을 방지할 수 있어 가스탱크 온도유지장치의 내구성을 증대시키는 효과가 있다.As described above, the present invention can protect the electric wires from being broken even when the electric wires are repeatedly moved because the electric wires are stored in the electric wire protection unit, thereby increasing the durability of the gas tank temperature maintaining apparatus.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 실시 예가 적용되는 예를 도시한 도면이고, 가스탱크(T)에 감싸여져 배치되는 가스탱크 온도유지장치(1)를 도시하고 있다. 가스탱크(T)는 반도체 제조 공정 중에서 사용되는 가스를 보관하는 것으로 가스의 온도를 일정하게 유지하여 공급하게 된다. 이러한 가스탱크(T)는 통상의 것이 사용될 수 있다. 가스탱크 온도유지장치(1)는, 가스탱크(T)의 외주면 일부를 감싸 사용될 수 있으며, 유연성이 있는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 그리고 이러한 가스탱크 온도유지장치(1)는 전기가 공급되어 발열되는 구조로 이루어지는 것이 바람직하다. FIG. 1 is a view showing an example to which an embodiment according to the present invention is applied and shows a gas tank temperature maintaining apparatus 1 wrapped and disposed in a gas tank T. As shown in FIG. The gas tank T stores the gas used in the semiconductor manufacturing process and supplies the gas at a constant temperature. Such a gas tank (T) can be used conventional. The gas tank temperature holding device 1 may be used by wrapping a portion of the outer circumferential surface of the gas tank T, and preferably made of a flexible material. And the gas tank temperature holding device 1 is preferably made of a structure in which electricity is supplied to generate heat.

도 2는 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 사시도로, 가스탱크 온도유지장치(1)를 도시하고 있다. 가스탱크 온도유지장치(1)는 상술한 가스탱크(T)의 일부를 감싸면서 배치되고 서로 마주하는 양쪽 끝 부분에 결합된 밸크로 패스너(3, 5)와 같은 체결수단에 의하여 가스탱크(T)에 결합된 상태를 유지할 수 있다. 그리고 이러한 가스탱크 온도유지장치(1)는 그 내부에 발열을 위하여 전기를 공급하는 전선이 결합되고 이러한 전선을 보호하기 위한 전선 보호부(7)를 포함한다. 2 is a perspective view for explaining an embodiment of the present invention, showing a gas tank temperature holding device (1). Gas tank temperature holding device (1) is a gas tank (T) by a fastening means, such as Velcro fasteners (3, 5) are arranged to surround a portion of the above-described gas tank (T) and coupled to both ends facing each other. You can stay connected to). And the gas tank temperature holding device 1 is coupled to the wire for supplying electricity for heat generation therein and includes a wire protector 7 for protecting such a wire.

도 3은 도 2의 주요부를 상세하게 도시한 도면이고, 도 4는 도 3의 분해 사시도로, 가스탱크 온도유지장치(1)를 도시하고 있다. 가스탱크 온도유지장치(1)는 상술한 전선 보호부(7)와 함께 발열체(11), 이 발열체(11)를 감싸는 보호커버(13)를 포함한다.FIG. 3 is a detailed view of the main part of FIG. 2, and FIG. 4 is an exploded perspective view of FIG. 3, showing the gas tank temperature holding apparatus 1. The gas tank temperature holding device 1 includes a heating element 11 and a protective cover 13 surrounding the heating element 11 together with the above-described wire protection part 7.

상술한 발열체(11)는 유연성을 가지는 판(plate)으로 이루어지며 전기가 공급되면 발열되는 소재로 이루어지는 것이 바람직하다. 그리고 이 발열체(11)의 앞면과 뒷면 모두를 감싸는 보호커버(13)가 배치된다. 이러한 보호커버(13)는 가스탱크(T) 측으로 향하는 부분은 열이 잘 전달되고 외부 측으로는 열을 차단하여 보온성을 유지할 수 있는 통상의 재질로 이루어질 수 있다. 특히, 이러한 보호커버(13)는 절연재로 이루어지는 것이 바람직하다.The above-described heating element 11 is preferably made of a plate (flexible) and made of a material that generates heat when electricity is supplied. And a protective cover 13 is disposed to cover both the front and rear of the heating element (11). The protective cover 13 may be made of a conventional material that is heat-transmitted well toward the gas tank (T) side and keeps warmth by blocking the heat to the outside. In particular, the protective cover 13 is preferably made of an insulating material.

상술한 발열체(11)에는 외부의 전원과 연결되는 전선(15)이 결합된다. 이러 한 전선(15)은 발열체(11)에 결합되어 발열체(11)가 일정한 온도까지 가열될 수 있도록 전기를 공급하는 역할을 한다. 전선(15)은 상술한 발열체(11)와 동일한 재질로 이루어지는 접착부재(17)에 의하여 끝 부분이 발열체(11)에 접착되어 고정된다.The above-described heating element 11 is coupled to the wire 15 connected to the external power source. The wire 15 is coupled to the heating element 11 serves to supply electricity so that the heating element 11 can be heated to a certain temperature. The end of the electric wire 15 is adhered to the heating element 11 and fixed by the adhesive member 17 made of the same material as the heating element 11 described above.

상술한 전선 보호부(7)는 발열체(11)에 고정되는 고정부(21)와 이 고정부(21)에 회전 가능하게 결합되는 회전부(23)를 포함할 수 있다.The wire protection part 7 may include a fixing part 21 fixed to the heating element 11 and a rotating part 23 rotatably coupled to the fixing part 21.

고정부(21)는 베이스부재(25)와 제1 연결부재(27)를 포함할 수 있다. 베이스부재(25)는 가운데 부분에 상술한 발열체(11)에서 일정한 거리가 띄워지는 위치에 연결부재 지지부(25a)가 배치되고, 이 연결부재 지지부(25a)의 양측이 연장되어 연장부(25b, 25c)들을 포함한다. 연장부(25b, 25c)들은 연결부재 지지부(25a)에서 연장되어 밴딩되고 이 부분이 발열체(11)에 밀착된다. 이때 연장부(25b, 25c)는 가운데 부분이 뚫어져 접착 공간(25d, 25e)이 제공된다. 이 접착공간(25d, 25e)은 접착부재(29)들에 의하여 접착이 될 때 접촉되는 면적을 넓혀 접착성을 향상시킨다. 접착부재(29)들은 발열체(11)와 동일한 재질로 이루어지며 접착제에 의하여 발열체(11)에 결합되는 것이 바람직하다.The fixing part 21 may include a base member 25 and a first connection member 27. The base member 25 has a connection member support portion 25a disposed at a position at which a predetermined distance is lifted from the above-described heating element 11 in the center portion thereof, and both sides of the connection member support portion 25a extend to extend an extension portion 25b, 25c). The extension portions 25b and 25c extend and bend from the connection member support portion 25a, and this portion is in close contact with the heating element 11. At this time, the extension portions 25b and 25c are perforated to provide the adhesive spaces 25d and 25e. The adhesive spaces 25d and 25e increase the area of contact when they are bonded by the adhesive members 29 to improve adhesiveness. The adhesive members 29 may be made of the same material as the heat generator 11 and coupled to the heat generator 11 by an adhesive.

제1 연결부재(27)는 가운데 부분에 관통된 통로(27a)가 제공되고, 외주면은 고정홈(27b)이 제공된다. 제1 연결부재(27)의 통로(27a)는 전선(15)이 수납되는 곳이다. 이러한 통로(27a)는 상술한 연결부재 지지부(25a)와도 연결되어 전선(15)이 통과할 수 있는 구조로 이루어지는 것이 바람직하다. 상술한 고정홈(27b)은 외주면을 따라 원주 방향으로 홈이 파인 형태로 이루어진다. The first connection member 27 is provided with a passage 27a penetrated in the center portion thereof, and an outer circumferential surface thereof is provided with a fixing groove 27b. The passage 27a of the first connecting member 27 is where the electric wire 15 is accommodated. The passage 27a is also preferably connected to the above-described connecting member support 25a to have a structure through which the wire 15 can pass. The above-mentioned fixing groove 27b is formed in a groove shape in the circumferential direction along the outer circumferential surface.

그리고 회전부(23)는 상술한 고정부(21)에 결합된다. 회전부(23)는 상술한 제1 연결부재(27)의 외주면을 감싸면서 배치되는 제2 연결부재(31)를 포함할 수 있다. 제2 연결부재(31)는 내부에 전선(15)이 삽입될 수 있는 통로(도시생략)가 배치된다. 제2 연결부재(31)는 축 방향을 기준으로 방사상 방향으로 결합구멍(31a)이 제공되고, 이 결합구멍(31a)에 볼트 등으로 이루어지는 고정부재(33)들이 결합된다. 이러한 고정부재(33)들은 제2 연결부재(31)를 관통하여 제1 연결부재(27)의 고정홈(27b)에 밀착되어 고정되는 것이다.
특히, 이러한 고정부재(33)들의 선단부가 제1 연결부재(27)의 고정홈(27b)에 배치되면서 제1 연결부재(27)의 측면에서 약간 떨어진 상태로 배치되면, 제1 연결부재(27)와 제2 연결부재(31)는 서로 결합 상태를 유지하면서도 상대적인 회전이 가능하게 된다. 이러한 구조는 제1 연결부재(27)의 가운데 부분에 고정홈(27b)이 제공되므로 고정홈(27b)이 있는 부분과 비교하여 볼 때 제1 연결부재(27)의 상단 및 하단 측이 외주 방향으로 돌출되어 이루어진다. 이와 같이 제1 연결부재(27)의 상단 및 하단 측의 돌출된 부분에 고정부재(33)들의 선단부가 걸리면서 제1 연결부재(27)와 제2 연결부재(31)가 서로 이탈되는 것이 방지되며 동시에 일정한 범위 내에서 서로 회전 운동을 할 수 있다.
따라서 제2 연결부재(31)에 연결되는 보호관(35)이 일정한 구간의 범위 내에어 어느 정도 움직여도 그 내부에 삽입된 전선(15)이 꼬이거나 비틀림 정도를 줄일 수 있어 전선이 손상되는 것을 감소시킬 수 있다. 따라서 본 발명의 실시 예는 종래기술에 비하여 안정성이 증대될 수 있다. 상술한 보호관(35)은 일단에 소켓 또는 단자 형태로 구성되어 외부와 전기공급장치(도시생략) 또는 컨트롤러(C)에 연결될 수 있다.And the rotating part 23 is coupled to the fixing part 21 described above. The rotating unit 23 may include a second connecting member 31 disposed to surround the outer circumferential surface of the first connecting member 27 described above. The second connection member 31 has a passage (not shown) in which the wire 15 can be inserted. The second connection member 31 is provided with a coupling hole 31a in the radial direction with respect to the axial direction, and fixing members 33 made of bolts or the like are coupled to the coupling hole 31a. The fixing members 33 penetrate the second connection member 31 to be fixed to the fixing groove 27b of the first connection member 27.
In particular, when the distal ends of the fixing members 33 are disposed in the fixing groove 27b of the first connecting member 27 while being slightly separated from the side of the first connecting member 27, the first connecting member 27 ) And the second connection member 31 can be relatively rotated while maintaining a coupling state with each other. In this structure, since the fixing groove 27b is provided in the center portion of the first connecting member 27, the upper and lower sides of the first connecting member 27 are circumferentially compared to the portion having the fixing groove 27b. It is made to protrude into. In this way, while the front end portions of the fixing members 33 are caught on the protruding portions of the upper and lower sides of the first connecting member 27, the first connecting member 27 and the second connecting member 31 are prevented from being separated from each other. At the same time, they can rotate with each other within a certain range.
Therefore, even if the protection pipe 35 connected to the second connection member 31 moves to some extent within a certain range, the wire 15 inserted therein can be twisted or twisted to reduce the damage to the wire. Can be. Therefore, the embodiment of the present invention can be increased in stability compared to the prior art. The protective tube 35 is configured in the form of a socket or a terminal at one end may be connected to the outside and the electricity supply (not shown) or controller (C).

한편, 가스탱크 온도유지장치(1)에는 컨트롤러(C)에 연결되는 온도 측정 센서(51)가 배치될 수 있다. 이러한 온도 측정 센서(51)는 발열체(11)의 온도를 측정하여 그 측정값을 컨트롤러(C)에 전송할 수 있다. 또한, 가스탱크 온도유지장치(1)에 연결되는 전선에는 바이메탈 스위치(53), 휴즈(55)가 직렬로 배치되다. 이러한 바이메탈 스위치(53)에 의하여 발열체(11)의 온도를 설정된 값으로 유지할 수 있다. 그리고 상술한 휴즈(55)는 전선에 과전류가 흐르는 경우에는 휴즈가 끊어져 가스탱크 온도유지장치(1)를 보호할 수 있다. On the other hand, the gas tank temperature holding device 1 may be a temperature measuring sensor 51 connected to the controller (C). The temperature measuring sensor 51 may measure the temperature of the heating element 11 and transmit the measured value to the controller C. In addition, a bimetal switch 53 and a fuse 55 are arranged in series in the wire connected to the gas tank temperature holding device 1. The temperature of the heating element 11 may be maintained at a set value by the bimetal switch 53. In addition, the fuse 55 may protect the gas tank temperature maintaining apparatus 1 by cutting off the fuse when an overcurrent flows through the wire.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 가스탱크 온도유지장치는 전선(15)의 전선 보호부(7) 및 보호관(35)의 내부에 배치되어 외력에 의하여 손상되는 것을 방지할 수 있는 것이다. 특히, 전선 보호부(7)의 고정부(21)와 회전부(23)는 어느 정도 서로 상대적인 운동이 가능하여 내부에 수용된 전선이 비틀리거나 꼬이는 것을 줄일 수 있는 것이다. The gas tank temperature maintaining apparatus of the present invention thus formed is disposed inside the wire protection part 7 and the protection pipe 35 of the wire 15 to prevent damage by external force. In particular, the fixing part 21 and the rotating part 23 of the wire protection part 7 are able to move relative to each other to some extent to reduce the twist or twist of the wire received therein.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 적용되는 일 예를 도시한 도면이다.1 is a diagram illustrating an example applied to explain an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시 예의 대략적인 형상을 도시한 도면이다.2 is a view showing an approximate shape of an embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 주요부분을 상세하게 도시한 도면이다.3 is a view illustrating in detail the main part of FIG.

도 4는 도 3을 분해하여 주요부를 도시한 분해 사시도이다.4 is an exploded perspective view illustrating the main part by disassembling FIG. 3.

도 5는 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 블록도이다.5 is a block diagram for explaining an embodiment of the present invention.

Claims (6)

전기적인 에너지를 공급받아 발열되는 발열체;A heating element that generates heat by receiving electrical energy; 상기 발열체를 감싸는 보호커버;A protective cover surrounding the heating element; 상기 발열체에 전원을 공급하는 전선;An electric wire for supplying power to the heating element; 상기 발열체에 결합되어 상기 전선을 보호하는 전선 보호부를 포함하며,A wire protection unit coupled to the heating element to protect the wires, 상기 전선 보호부는The wire protector 상기 발열체에 결합되는 베이스부재에 고정되는 고정부, 상기 고정부에 회전가능하게 결합되는 회전부를 포함하며,A fixing part fixed to the base member coupled to the heating element, a rotating part rotatably coupled to the fixing part, 상기 고정부는 내부에 상기 전선이 수용되는 통로가 제공되어 상기 통로에 상기 전선이 배치되며 외주면에 고정홈이 제공된 제1 연결부재로 이루어지고,The fixing part is provided with a passage in which the wire is accommodated therein, and the wire is disposed in the passage and includes a first connection member provided with a fixing groove on an outer circumferential surface thereof. 상기 회전부는 상기 제1 연결부재의 외주면에 배치되며 내부에 상기 전선이 수용되는 통로가 제공되어 상기 통로에 상기 전선이 배치된 제2 연결부재를 구비하고,The rotating part is disposed on an outer circumferential surface of the first connection member and provided with a passage through which the wire is received, and includes a second connection member having the wire disposed therein. 상기 제2 연결부재에 결합되어 상기 제1 연결부재의 고정홈에 접촉되는 고정부재들에 의하여 상기 제1 연결부재와 상기 제2 연결부재가 회전 가능하게 결합되는 것을 포함하는 가스탱크 온도유지장치.The gas tank temperature maintenance device comprising the first connection member and the second connection member rotatably coupled by the fixing member coupled to the second connection member in contact with the fixing groove of the first connection member. 삭제delete 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 베이스부재는The base member 상기 발열체에 일정한 간격으로 띄워져 배치되며 상기 제1 연결부재가 결합되는 연결부재 지지부;A connection member support part spaced apart from the heating element at a predetermined interval and coupled to the first connection member; 상기 연결부재 지지부의 양측에서 연장되어 밴딩되고 상기 발열체에 밀착되며 가운데 부분에 접착공간이 제공되는 연장부들;Extension parts extending from both sides of the connection member support part to be bent and in close contact with the heating element, and an adhesive space provided at a center portion thereof; 을 포함하는 가스탱크 온도유지장치.Gas tank temperature maintenance device comprising a. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 연장부는 The extension portion 상기 발열체와 동일한 재질로 이루어지는 접착부재에 의하여 발열체에 접착되는 가스탱크 온도유지장치.Gas tank temperature maintenance device is bonded to the heating element by the adhesive member made of the same material as the heating element. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 가스탱크 온도유지장치는The gas tank temperature maintaining device 온도를 설정하는 컨트롤러를 포함하고,Includes a controller to set the temperature, 상기 발열체의 온도를 일정하게 유지하는 바이메탈 스위치,Bimetal switch for maintaining a constant temperature of the heating element, 상기 바이메탈 스위치에 직렬로 연결되는 휴즈,A fuse connected in series with the bimetal switch; 를 더 포함하는 가스탱크 온도유지장치.Gas tank temperature maintenance device further comprising. 청구항 5에 있어서,The method according to claim 5, 상기 컨트롤러에는 The controller 상기 발열체의 온도를 측정할 수 있는 온도 측정 센서가 연결되는 가스탱크 온도유지장치.Gas tank temperature maintenance device that is connected to a temperature sensor for measuring the temperature of the heating element.
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