KR100898592B1 - Electric cable for generation of heat - Google Patents

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Abstract

반도체 제조 공정에 사용되는 가스가 이동되는 관로에 설치되어 가스를 가열하거나 또는 가스가 이동 중에 온도가 떨어지는 것을 방지하는 발열 케이블을 개시한다.Disclosed is a heating cable installed in a conduit through which a gas used in a semiconductor manufacturing process is moved to heat the gas or prevent the temperature from dropping while the gas moves.

본 발명의 발열 케이블은, 복수의 전선, 전선들을 감싸는 제1 절연부, 제1 절연부의 외주에 감싸여 배치되는 발열체, 제1 절연부가 일정한 간격으로 벗겨져 전선들이 노출되어 발열체와 연결되는 발열체 연결부, 발열체의 외주에 감싸여 배치되는 제2 절연부, 제2 절연부가 길이 방향을 따라 연장되어 가스 관로에 고정되는 고정부를 포함한다.The heating cable according to the present invention includes a plurality of electric wires, a first insulation part surrounding the wires, a heating element wrapped around the first insulation part and disposed thereon, a first insulation part peeled off at regular intervals, and a heating element connection part connected to the heating element by exposing the wires; And a second insulating part wrapped around the outer circumference of the heating element, and a second insulating part extending along the length direction and fixed to the gas pipeline.

반도체, 가스, 가열, 발열, 고정, 케이블 Semiconductor, gas, heating, heating, fixing, cable

Description

발열 케이블{Electric cable for generation of heat} Heating cable {Electric cable for generation of heat}

본 발명은 발열 케이블에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정에 사용되는 가스의 이동 관로에 설치되어 이동되는 가스의 온도가 저하되는 방지하는 발열 케이블에 관한 것이다.The present invention relates to a heating cable, and more particularly, to a heating cable that is installed in the moving pipe of the gas used in the semiconductor manufacturing process to prevent the temperature of the gas to be moved is lowered.

일반적으로 반도체 소자는 사진, 식각, 박막 증착, 이온 주입, 금속 배선 등 복수의 공정을 수행함으로써 제조된다. 이와 같은 공정들 중 대부분은 그 공정을 진행하기 위해 다양한 종류의 가스(Gas)들이 사용된다. 이러한 다양한 종류의 가스들은 각각의 관로들을 통하여 반도체 제조 설비 내로 공급된다. 이때 관로를 따라 이동되는 가스는 이동 중에 온도가 설정치 이하로 떨어지는 것을 방지하여 위하여 실리콘 피복으로 이루어지는 발열 케이블이 감겨진다. 발열 케이블은 전기에 의하여 열을 발생시킴으로써 가스 관로를 이동하는 가스의 온도가 저하되는 것을 방지할 수 있는 것이다. In general, semiconductor devices are manufactured by performing a plurality of processes, such as photographing, etching, thin film deposition, ion implantation, and metal wiring. Most of these processes use various kinds of gases (Gas) to carry out the process. These various kinds of gases are supplied into the semiconductor manufacturing facility through respective pipelines. At this time, the gas traveling along the pipe is wound with a heating cable made of silicon sheath to prevent the temperature from falling below the set value during the movement. The heat generating cable can prevent the temperature of the gas moving through the gas pipeline from being lowered by generating heat by electricity.

가스 관로에 발열 케이블을 고정하는 작업은 우선 가스 관로에 발열 케이블을 배치하고 결속부재(일명 ; 케이블 타이)로 가스 관로에 발열 케이블을 순차적으로 고정한다. 그리고 발열 케이블과 가스 관로에 테이프 등을 감아 발열 케이블과 가스 관로를 견고하게 고정하는 것이다.For fixing the heating cable to the gas pipeline, first, the heating cable is arranged in the gas pipeline, and the heating cable is sequentially fixed to the gas pipeline with a tie member (aka cable tie). Then, the tape is wound around the heating cable and the gas line to firmly fix the heating cable and the gas line.

이와 같은 종래의 발열 케이블을 가스 관로에 고정하는 작업은 작업이 불편하여 작업성이 떨어지고 작업 시간이 장시간 소요되는 문제점이 있다. 또한 가늘고 긴 가스 관로가 통상적으로 여러 개 배치되어 있는데 특정한 가스 관로에만 발열 케이블을 설치하는 경우 작업자가 선택된 가스 관로가 아닌 다른 인접한 가스 관로에 발열 케이블을 고정하는 오류를 범하는 문제점이 있다.The conventional fixing of the heating cable to the gas pipeline has a problem in that the work is inconvenient, the workability is inferior and the work time is long. In addition, a plurality of thin and long gas pipelines are usually arranged, but when a heating cable is installed only in a specific gas pipeline, an operator makes a mistake of fixing the heating cable to an adjacent gas pipeline other than the selected gas pipeline.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 작업성이 편리하여 작업 공수를 줄임은 물론 선택된 가스 관로에 발열 케이블을 정확하게 시공할 수 있는 발열 케이블을 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been proposed to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a heating cable that can be installed in the selected gas pipeline as well as reducing the work maneuverability is convenient workability. .

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 복수의 전선, 상기 전선들을 감싸는 제1 절연부, 상기 제1 절연부의 외주에 감싸여 배치되는 발열체, 상기 제1 절연부가 일정한 간격으로 벗겨져 상기 전선들이 노출되어 상기 발열체가 연결되는 발열체 연결부, 상기 발열체의 외주에 감싸여 배치되는 제2 절연부, 상기 제2 절연부가 길이 방향을 따라 연장되어 가스 관로에 고정되는 고정부를 포함하는 발열 케이블을 제공한다.In order to achieve the object as described above, the present invention, a plurality of wires, a first insulation portion surrounding the wires, a heating element wrapped around the first insulation portion is disposed, the first insulation is peeled off at regular intervals A heating cable including a heating element connecting part to which the wires are exposed to connect the heating element, a second insulating part wrapped around the outer circumference of the heating element, and a fixing part fixed in the gas pipeline by extending the second insulating part in a longitudinal direction; to provide.

또한 본 발명은 복수의 전선, 상기 전선들을 감싸는 제1 절연부, 상기 제1 절연부의 외주에 감싸여 배치되는 발열체, 상기 제1 절연부가 일정한 간격으로 벗겨져 상기 전선들이 노출되어 상기 발열체가 연결되는 발열체 연결부, 상기 발열체의 외주에 감싸여 배치되는 제2 절연부, 상기 제2 절연부의 외주에 감싸여 배치되는 피복부, 상기 피복부가 길이 방향을 따라 연장되어 가스 관로에 끼워지는 고정부를 포함하는 발열 케이블을 제공한다.In addition, the present invention is a plurality of wires, a first insulation portion surrounding the wires, a heating element wrapped around the outer peripheral portion of the first insulation portion, the first insulation is peeled off at regular intervals, the heating element is exposed to the heating elements are connected to the heating element A heat generating part including a connecting part, a second insulating part wrapped around the outer circumference of the heating element, a covering part wrapped around the second insulating part, and a fixing part extending in the longitudinal direction to be fitted into the gas pipeline. Provide the cable.

상기 고정부는 탄성력을 가지며 서로 대칭 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.It is preferable that the fixing portions have elasticity and are symmetrical with each other.

상기 고정부는 내주면이 서로 대응하는 라운드 모양으로 이루어지는 것이 바람직하다.It is preferable that the fixing portion has a round shape in which the inner circumferential surfaces thereof correspond to each other.

상기 제1 절연부와 제2 절연부는 실리콘 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.Preferably, the first insulating portion and the second insulating portion are made of a silicon material.

이와 같은 본 발명은 가스 관로를 따라 단지 고정부들을 끼움 결합하는 작업에 의하여 가스 관로에 발열 케이블을 고정함으로써 작업성이 향상되는 효과가 있다. 또한, 본 발명의 실시 예는 가스 관로를 감싸는 형태로 고정부들에 의하여 고정됨으로써 외부의 충격으로 인하여 가스 관로의 손상을 방지함은 물론 열 손실을 줄여 가스 관로 내부의 온도를 유지하는 효과가 있다.The present invention has the effect of improving the workability by fixing the heating cable to the gas pipeline by the operation of fitting only the fixing portion along the gas pipeline. In addition, the embodiment of the present invention has the effect of maintaining the temperature inside the gas pipeline by reducing the heat loss as well as preventing damage to the gas pipeline due to the external impact by being fixed by the fixing portion in the form surrounding the gas pipeline.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예를 설명하기 위한 도면으로, 발열 케이블을 도시하고 있다. 발열 케이블은 복수의 전선(1, 3), 전선(1, 3)들을 감싸는 제1 절연부(5), 제1 절연부(5)의 외주에 배치되는 발열체(7), 발열체(7)의 외주에 배치되는 제2 절연부(9), 제2 절연부(9)의 외주에 배치되는 피복부(11), 그리고 피복부(11)가 길이 방향으로 연장되어 서로 마주하여 배치되는 고정부(13, 15)를 포함한다.1 is a view for explaining a first embodiment of the present invention, it shows a heating cable. The heating cable includes a plurality of electric wires 1, 3, a first insulation part 5 surrounding the electric wires 1, 3, and a heat generation element 7 and a heat generation element 7 disposed on the outer circumference of the first insulation part 5. A second insulating portion 9 disposed on the outer circumference, a covering portion 11 disposed on the outer circumference of the second insulating portion 9, and a fixing portion extending in the longitudinal direction to face each other ( 13, 15).

전선(1, 3)은 서로 일정한 거리가 띄워진 상태로 나란하게 배치된다. 그리고 전선(1, 3)은 외주에 제1 절연부(5)가 감싸여진다. 이러한 전선(1, 3)은 도시는 생 략하였으나 외부의 전원과 연결될 수 있다.The wires 1 and 3 are arranged side by side in a state where a predetermined distance from each other. The wires 1 and 3 are surrounded by the first insulating portion 5 on the outer circumference. These wires (1, 3) is omitted, but may be connected to an external power source.

제1 절연부(5)는 일정한 간격으로 전선(1, 3)이 교대로 노출되도록 홈이 파인 발열체 연결부(17)들을 구비한다. 즉 일정한 간격으로 발열체 연결부(17)를 구비하며, 이 발열체 연결부(17)는 전선(1, 3)들 각각 교대로 노출되어 발열체(7)에 전기를 통하게 할 수 있다. 또한, 제1 절연부(5)는 절연성이 우수한 절연재로 이루어지는 것이 바람직하다. 이러한 절연재로 실리콘 재질이 사용될 수 있다.The first insulator 5 has grooved heating element connections 17 so that the wires 1 and 3 are alternately exposed at regular intervals. That is, the heating element connecting portion 17 is provided at regular intervals, and the heating element connecting portion 17 may be exposed to each of the wires 1 and 3 alternately to allow electricity to the heating element 7. Moreover, it is preferable that the 1st insulating part 5 consists of an insulating material excellent in insulation. Silicone material may be used as the insulating material.

발열체(7)는 제1 절연부(5)의 외주에 감싸여 배치된다. 이러한 발열체(7)는 전기가 통할 때 발열되는 것으로 가늘고 긴 모양의 와이어 또는 필라멘트가 감겨진 형태로 이루어질 수 있다. 이러한 발열체(7)는 일정한 간격으로 배치되는 발열체 연결부(17)에서 각각 전선(1, 3)과 연결되어 전기에 의하여 가열되는 것이다. 이러한 발열체(7)는 일 예로 와이어 형태의 필라멘트를 도시하여 설명하고 있으나 이에 한정되는 것은 아니며 전기에 의하여 발열되는 것이면 어떠한 것이라고 적용이 가능하다.The heating element 7 is disposed wrapped around the outer circumference of the first insulating portion 5. The heating element 7 may generate heat when electricity is passed, and may be formed in a form in which a long elongated wire or filament is wound. The heating elements 7 are connected to the wires 1 and 3 in the heating element connecting portions 17 arranged at regular intervals, and are heated by electricity. The heating element 7 is illustrated as an example of a filament in the form of a wire, but the present invention is not limited thereto, and any heating element 7 may be used.

발열체(7)의 외주에는 제2 절연부(9)가 감싸여 배치된다. 제2 절연부(9)는 제1 절연부(5)와 마찬가지로 실리콘 재질로 이루어질 수 있다. 특히, 이러한 제2 절연부(9)는 발열체(7)에서 발생하는 열을 가스 관로(p)로 잘 전달할 수 있는 재질로 이루어지는 것도 가능하다.On the outer circumference of the heating element 7, the second insulating portion 9 is wrapped and disposed. The second insulating part 9 may be made of a silicon material similarly to the first insulating part 5. In particular, the second insulator 9 may be made of a material capable of transferring heat generated from the heating element 7 to the gas pipe p well.

상술한 제2 절연부(9)의 외주에는 피복부(11)가 제공된다. 피복부(11)는 전선 및 절연부들을 보호하는 역할을 할 수 있다. 그리고 이 피복부(11)는 일부가 연장되어 고정부(13, 15)를 구비한다.The covering part 11 is provided in the outer periphery of the 2nd insulating part 9 mentioned above. The covering part 11 may serve to protect the wires and the insulating parts. A part of the covering part 11 is extended to include the fixing parts 13 and 15.

고정부(13, 15)는, 도 1 및 도 3에 도시하고 있는 바와 같이, 피복부(11)에서 연장되는 탄성체로 이루어지며, 가스 관로(p)를 감쌀 수 있도록 내주면이 라운드 형태로 이루어지고 서로 마주하여 대칭을 이루는 구조를 가진다. 또한 고정부(13, 15)는 압출 성형에 의하여 제작되므로 길이 방향으로 길게 배치되는 것이 바람직하다. 이러한 고정부(13, 15)는 가스 관로(p)의 외주면을 감싸면서 서로 모아지는 방향으로 자체 탄성력을 가져 가스 관로(p)에 끼움 결합될 수 있다(도 2에 도시하고 있음).As shown in FIGS. 1 and 3, the fixing parts 13 and 15 are made of an elastic body extending from the covering part 11, and have an inner circumferential surface in a round shape so as to surround the gas pipeline p. They have symmetrical structures facing each other. In addition, since the fixing parts 13 and 15 are manufactured by extrusion molding, it is preferable that the fixing parts 13 and 15 are arranged long in the longitudinal direction. These fixing parts 13 and 15 may have a self-elasticity in the direction of gathering each other while surrounding the outer circumferential surface of the gas pipeline p and may be fitted to the gas pipeline p (shown in FIG. 2).

한편, 도 4는 본 발명의 제2 실시 예로, 발열 케이블을 도시하고 있다. 본 발명의 다른 실시 예의 발열 케이블은 제1 실시 예에서 설명한 점과 다른 부분만을 설명하고 제1 실시 예와 동일한 부분은 상술한 설명으로 대치한다.4 illustrates a heating cable as a second embodiment of the present invention. The heat generating cable according to another embodiment of the present invention describes only the parts different from those described in the first embodiment, and the same parts as the first embodiment are replaced with the above description.

상술한 제1 실시 예의 설명에서는 피복부(11)가 연장되어 고정부(13, 15)들을 고정한 예를 설명하고 있으나, 본 발명의 제2 실시 예에서는 발열체(5)의 외주에 제공되는 제2 절연부(51)가 연장되어 고정부(53, 55)를 이루는 점에 차이가 있다. 이러한 구성은 제2 절연부(51)가 상술한 제1 실시 예의 피복부(11)의 역할을 대신 할 수 있는 경우에 더욱 간단하게 제작할 수 있는 것이다. In the above description of the first embodiment, an example in which the cover part 11 is extended to fix the fixing parts 13 and 15 is described. However, in the second embodiment of the present invention, the second part provided on the outer circumference of the heating element 5 is described. There is a difference in that the insulating portion 51 extends to form the fixing portions 53 and 55. Such a configuration can be more simply manufactured when the second insulating portion 51 can take the role of the covering portion 11 of the first embodiment described above.

따라서 본 발명의 제2 실시 예는 제1 실시 예와 작용 및 효과는 동일하지만 더욱 간단한 구조로 제작할 수 있음을 의미한다. 물론 제2 실시 예의 고정부(53, 55)는 제1 실시 예에서 설명한 고정부(13, 15)와 동일한 작용 효과를 가질 수 있다. Therefore, the second embodiment of the present invention means that the operations and effects are the same as those of the first embodiment, but can be manufactured in a simpler structure. Of course, the fixing parts 53 and 55 of the second embodiment may have the same effect as the fixing parts 13 and 15 described in the first embodiment.

이러한 본 발명의 실시 예들의 발열 케이블을 이용하여 가스 관로(p)에 결합 하는 과정을 설명하면 다음과 같다. Referring to the process of coupling to the gas pipeline (p) using the heating cable of the embodiments of the present invention as follows.

우선 작업자는 선택된 가스 관로(p)에 발열 케이블의 고정부(13, 15)를 끼운다. 그러면 고정부(13, 15)는 자체 탄성력에 의하여 가스 관로(p)에 고정되어 결합상태를 유지한다. 그리고 작업자는 선택된 가스 관로(p)를 따라 이동하면서 가스 관로(p)에 발열 케이블의 고정부(13, 15)를 끼우는 과정을 반복한다. 이에 따라 가스 관로(p)에 발열 케이블을 설치하는 작업이 이루어지는 것이다. First, the operator inserts the fixing parts 13 and 15 of the heating cable in the selected gas pipeline p. Then, the fixing parts 13 and 15 are fixed to the gas pipeline p by their elastic force to maintain a coupling state. And the operator repeats the process of fitting the fixing portion (13, 15) of the heating cable to the gas pipeline (p) while moving along the selected gas pipeline (p). As a result, the work of installing the heating cable in the gas pipeline p is performed.

따라서 작업자는 별도의 가스 관로(p)에 발열 케이블 결속부재를 사용할 필요가 없으므로 작업 시간을 단축시킬 수 있다. 또한 발열 케이블 설치 작업이 매우 용이하여 선택된 가스 관로(p)를 확인하면서 작업을 수행할 수 있어 인접하는 다른 가스 관로에 발열 케이블을 설치하는 오류를 방지할 수 있다.Therefore, the operator does not need to use the heating cable binding member in a separate gas pipeline (p), thereby reducing the work time. In addition, the installation of the heating cable is very easy to perform the operation while confirming the selected gas pipeline (p) can prevent the error of installing the heating cable in another adjacent gas pipeline.

또한 본 발명의 실시 예들은 발열 케이블의 제거 작업도 단지 발열 케이블의 일부를 당겨 용이하게 할 수 있어 작업성을 매우 향상시킬 수 있다. In addition, embodiments of the present invention can be easily removed by pulling a portion of the heating cable can also greatly improve the workability.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 발열 케이블을 도시한 도면이다.1 is a view showing a heating cable for explaining an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시 예의 발열 케이블이 가스 관로에 설치된 상태를 도시한 도면이다.2 is a view showing a state in which the heating cable of the embodiment of the present invention is installed in the gas pipeline.

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ부를 잘라서 본 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 2.

도 4는 도 3에 대응하는 또 다른 실시 예를 도시한 도면이다.4 is a diagram illustrating still another embodiment corresponding to FIG. 3.

Claims (5)

복수의 전선;A plurality of wires; 상기 전선들을 감싸는 제1 절연부;A first insulating part surrounding the wires; 상기 제1 절연부의 외주에 감싸여 배치되는 발열체;A heating element wrapped around an outer circumference of the first insulation part; 상기 제1 절연부가 일정한 간격으로 벗겨져 상기 전선들이 노출되어 상기 발열체가 연결되는 발열체 연결부;A heating element connecting portion to which the first insulation is peeled off at regular intervals so that the wires are exposed to connect the heating element; 상기 발열체의 외주에 감싸여 배치되는 제2 절연부;A second insulating part wrapped around the outer circumference of the heating element; 상기 제2 절연부가 길이 방향을 따라 연장되어 가스 관로에 고정되는 고정부;A fixing part in which the second insulating part extends along the length direction and is fixed to the gas pipeline; 를 포함하는 발열 케이블.Heating cable comprising a. 복수의 전선;A plurality of wires; 상기 전선들을 감싸는 제1 절연부;A first insulating part surrounding the wires; 상기 제1 절연부의 외주에 감싸여 배치되는 발열체;A heating element wrapped around an outer circumference of the first insulation part; 상기 제1 절연부가 일정한 간격으로 벗겨져 상기 전선들이 노출되어 상기 발열체가 연결되는 발열체 연결부;A heating element connecting portion to which the first insulation is peeled off at regular intervals so that the wires are exposed to connect the heating element; 상기 발열체의 외주에 감싸여 배치되는 제2 절연부;A second insulating part wrapped around the outer circumference of the heating element; 상기 제2 절연부의 외주에 감싸여 배치되는 피복부;A covering part wrapped around an outer circumference of the second insulating part; 상기 피복부가 길이 방향을 따라 연장되어 가스 관로에 끼워지는 고정부;A fixing part in which the coating part extends along a length direction and is fitted into a gas pipeline; 를 포함하는 발열 케이블.Heating cable comprising a. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 고정부는The fixing part 탄성력을 가지며 서로 대칭 구조로 이루어지는 발열 케이블.Heating cable with elasticity and symmetrical structure. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 고정부는 The fixing part 내주면이 서로 대응하는 라운드 모양으로 이루어지는 발열 케이블.A heat generating cable, which has a round shape whose inner circumferential surfaces correspond to each other. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 제1 절연부와 제2 절연부는The first insulation portion and the second insulation portion 실리콘 재질로 이루어지는 발열 케이블.Heat generating cable made of silicone material.
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