KR100990743B1 - Apparatus for maintaining temperature of gas tank - Google Patents

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Abstract

반도체 제조 공정에 사용되는 가스를 보관하는 가스탱크의 온도를 일정하게 유지하는 가스탱크 온도유지장치를 개시한다. A gas tank temperature holding apparatus for maintaining a constant temperature of a gas tank storing a gas used in a semiconductor manufacturing process is disclosed.

본 발명의 가스탱크 온도유지장치는, 전기적인 에너지를 공급받아 발열되는 발열체, 발열체를 감싸는 보호커버, 보호커버의 일단에 결합되는 제1 연결부재, 보호커버의 타단에 결합되는 제2 연결부재, 제1 연결부재와 제2 연결부재에 결합되는 연결 띠들, 연결 띠들에 결합되어 대응되는 연결 띠들을 서로 결합하는 버클들을 포함한다.Gas tank temperature maintenance device of the present invention, a heating element that is heated by receiving electrical energy, a protective cover surrounding the heating element, a first connecting member coupled to one end of the protective cover, the second connecting member coupled to the other end of the protective cover, Connection bands coupled to the first connection member and the second connection member, and the buckle is coupled to the connection belts to couple the corresponding connection belts to each other.

히터, 반도체, 가스, 탱크, 센서, 버클, 비발열, 발열체 Heater, Semiconductor, Gas, Tank, Sensor, Buckle, Non-Heating, Heating Element

Description

가스탱크 온도유지장치{Apparatus for maintaining temperature of gas tank}Apparatus for maintaining temperature of gas tank

본 발명은 가스탱크 온도유지장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정에 사용되는 가스를 보관하는 가스탱크의 온도를 일정하게 유지하는 가스탱크 온도유지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas tank temperature holding device, and more particularly to a gas tank temperature holding device for maintaining a constant temperature of the gas tank for storing the gas used in the semiconductor manufacturing process.

일반적으로 반도체 소자는 사진, 식각, 박막 증착, 이온 주입, 금속 배선 등의 공정을 수행함으로써 제조된다. 이와 같은 공정들 중 대부분은 그 공정을 진행하기 위해 다양한 종류의 가스(Gas)들이 사용된다. 이러한 가스들은 가스탱크에 보관된다. 가스탱크에 보관된 가스는 반도체 소자를 제조하는 공정에서 설정된 온도를 유지한 상태로 반도체 제조 장치에 공급된다. 이를 위하여 상술한 가스탱크에는 가스의 온도가 설정된 온도로 유지될 수 있도록 일종의 히터인 온도유지장치가 감싸여져 배치된다. 가스탱크 온도유지장치는 가스탱크의 일부를 감쌀 수 있도록 유연성이 있는 재질로 이루어지며, 내부에는 전기에 의하여 발열되는 발열체가 배치되고, 이 발열체를 감싸는 절연체를 포함한다. In general, semiconductor devices are manufactured by performing processes such as photography, etching, thin film deposition, ion implantation, and metal wiring. Most of these processes use various kinds of gases (Gas) to carry out the process. These gases are stored in gas tanks. The gas stored in the gas tank is supplied to the semiconductor manufacturing apparatus while maintaining the set temperature in the process of manufacturing the semiconductor element. To this end, the above-described gas tank is wrapped with a temperature maintaining device, which is a kind of heater, so that the temperature of the gas can be maintained at a set temperature. The gas tank temperature maintaining apparatus is made of a material that is flexible to cover a part of the gas tank, and a heat generating element generated by electricity is disposed therein, and includes an insulator surrounding the heat generating element.

종래의 가스탱크 온도유지장치는 가스탱크에 감싸여지고 탄성력을 가진 끈이 연결된 고리들에 의하여 가스탱크 온도유지장치의 양끝이 연결되어 가스탱크에 고정된다. 그러나 이와 같이 가스탱크 온도유지장치가 가스탱크에 고정되는 종래의 구조는 고정 작업이 매우 불편할 뿐만 아니라 가스탱크 온도 유지장치가 가스탱크의 외주면에 균일하게 밀착된 상태로 유지되어 고정되기 어려운 단점이 있다. 따라서 종래의 가스탱크 온도유지장치는 가스의 온도를 정밀하게 제어하여 가스를 반도체 제조 라인에 공급할 필요가 있으나 이에 충분하게 만족하지 못하는 문제점이 있다.Conventional gas tank temperature holding device is connected to both ends of the gas tank temperature holding device is fixed to the gas tank by a ring that is wrapped in the gas tank and the elastic strap is connected. However, the conventional structure in which the gas tank temperature holding device is fixed to the gas tank is not only very inconvenient to the fixing operation but also has a disadvantage in that the gas tank temperature maintaining device is maintained in a uniform state in close contact with the outer circumferential surface of the gas tank and is difficult to be fixed. . Therefore, the conventional gas tank temperature maintenance device needs to supply the gas to the semiconductor manufacturing line by precisely controlling the temperature of the gas, but there is a problem that it is not satisfactory enough.

또한, 종래의 가스탱크 온도유지장치는 가스탱크에 수용된 가스의 온도를 감지하기 위하여 그 내부에 온도감지센서가 배치되고, 이 온도감지센서가 컨트롤러에 연결되어 있다. 따라서 온도감지센서는 가스탱크의 온도가 아닌 가스탱크 온도유지장치의 발열체 온도를 측정하여 제어하게 된다. 따라서 종래의 가스탱크 온도유지장치는 온도 측정의 정밀도가 떨어져 반도체 라인으로 공급되는 가스의 온도를 정밀하게 제어하는데 한계가 있다.In addition, in the conventional gas tank temperature maintaining apparatus, a temperature sensing sensor is disposed therein to sense the temperature of the gas contained in the gas tank, and the temperature sensing sensor is connected to the controller. Therefore, the temperature sensor is to measure and control the heating element temperature of the gas tank temperature holding device, not the temperature of the gas tank. Therefore, the conventional gas tank temperature holding device has a limitation in precisely controlling the temperature of the gas supplied to the semiconductor line because the temperature measurement accuracy is poor.

따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로써, 본 발명의 목적은 가스탱크에 용이하게 체결되도록 하여 작업성을 향상시키는 가스탱크 온도유지장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been proposed to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a gas tank temperature maintaining apparatus which is easily fastened to a gas tank to improve workability.

또한, 본 발명은 가스탱크의 외주면에 양호하게 밀착되도록 하고 가스탱크의 온도를 정확하게 측정하여 정밀하게 가스의 온도를 제어함으로써 반도체 공급 라인 에 공급되는 가스의 신뢰성을 증대시킬 수 있는 가스탱크 온도유지장치를 제공하는데 있다.In addition, the present invention is a gas tank temperature maintenance device that can be closely adhered to the outer circumferential surface of the gas tank and to increase the reliability of the gas supplied to the semiconductor supply line by accurately measuring the temperature of the gas tank to control the temperature of the gas precisely To provide.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 전기적인 에너지를 공급받아 발열되는 발열체, 상기 발열체를 감싸는 보호커버, 상기 보호커버의 일단에 결합되는 제1 연결부재, 상기 보호커버의 타단에 연결되어 상기 제1 연결부재와 대응되는 배치되는 제2 연결부재, 상기 제1 연결부재와 상기 제2 연결부재에 결합되는 연결 띠들, 상기 연결 띠들에 결합되어 대응되는 상기 연결 띠들을 서로 결합하는 버클들을 포함하는 가스탱크 온도유지장치를 제공한다.In order to achieve the object as described above, the present invention, the heating element is generated by receiving electrical energy, a protective cover surrounding the heating element, a first connection member coupled to one end of the protective cover, the other end of the protective cover A second connecting member connected to correspond to the first connecting member, connecting straps coupled to the first connecting member and the second connecting member, and a buckle coupled to the connecting straps to connect the corresponding connecting straps to each other. It provides a gas tank temperature maintenance device comprising a.

상기 제1 연결부재와 제2 연결부재는 타공부들을 구비한 몸체부, 상기 몸체부에 결합되어 상기 연결 띠를 고정하는 연결 띠 고정부들을 포함하는 것이 바람직하다.Preferably, the first connection member and the second connection member include a body part having perforations, and a connection band fixing part coupled to the body part to fix the connection band.

또한, 본 발명은 발열부, 상기 발열부에 연장되어 배치되는 비발열부, 상기 비발열부에 설치되는 제1 온도측정센서들, 상기 제1 온도측정센서들에서 측정된 온도 신호에 따라 상기 발열부를 제어하는 컨트롤러를 포함하는 가스탱크 온도유지장치를 제공하는데 있다.In addition, the present invention controls the heating unit in accordance with a heating signal, a non-heating unit extending to the heating unit, the first temperature measuring sensors installed in the non-heating unit, the temperature signal measured by the first temperature measuring sensors The present invention provides a gas tank temperature maintaining apparatus including a controller.

상기 발열부는 발열체, 상기 발열체의 외부를 감싸는 보호커버로 이루어지는 것이 바람직하다.The heating unit is preferably made of a heating element, a protective cover surrounding the outside of the heating element.

상기 제1 온도측정센서들은 가스탱크에 접촉하는 면에 제공되는 것이 바람직하다.The first temperature measuring sensors are preferably provided on the surface in contact with the gas tank.

상기 발열부에는 제2 온도측정센서들이 설치되고, 측정된 신호값을 상기 컨트롤로에 전송하는 것이 바람직하다.Second temperature measuring sensors are installed in the heating unit, and it is preferable to transmit the measured signal value to the control.

상기 발열부에는 발열체의 온도를 일정하게 유지하는 바이메탈 스위치들, 상기 바이메탈 스위치에 직렬로 연결되는 휴즈들을 포함하는 것이 바람직하다.The heating unit preferably includes bimetal switches for maintaining a constant temperature of the heating element, and fuses connected in series with the bimetal switch.

이와 같은 본 발명은 가스탱크 온도유지장치로 가스탱크를 감싼 후 가스탱크 온도유지장치의 양쪽에 설치된 버클을 채우는 것으로 가스탱크의 외주면에 견고하게 고정할 수 있어 작업성이 매우 편리하여 작업 공수를 줄일 수 있는 효과가 있다. The present invention can be secured to the outer peripheral surface of the gas tank by filling the buckle installed on both sides of the gas tank temperature holding device after wrapping the gas tank with the gas tank temperature holding device is very convenient workability to reduce the labor It can be effective.

또한 본 발명은 가스탱크 온도유지장치가 가스탱크에 밀착된 상태로 고정될 수 있고 비발열부(가스탱크) 측에 온도측정센서를 설치하여 가스탱크의 온도를 비교적 정확하게 측정하여 발열체의 온도를 제어할 수 있어 반도체 제조 라인에 공급되는 가스의 온도를 정밀하게 제어하여 공급할 수 있으므로 신뢰성을 증대시키는 효과를 가진다.In addition, the present invention can be fixed in a state in which the gas tank temperature holding device is in close contact with the gas tank and by installing a temperature sensor on the non-heating unit (gas tank) side to measure the temperature of the gas tank relatively accurately to control the temperature of the heating element Since the temperature of the gas supplied to the semiconductor manufacturing line can be precisely controlled and supplied, it has the effect of increasing the reliability.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 사용되고 있는 상태를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시한 예를 펼쳐서 도시한 도면으로, 가스탱크(T)에 감싸여져 배치될 수 있는 가스탱크 온도유지장치(1)를 도시하고 있다. 가스탱크(T) 는 반도체 제조 공정 중에서 사용되는 가스를 보관하는 것으로 가스의 온도를 일정하게 유지하여 공급하게 된다. 이러한 가스탱크(T)는 통상의 것이 사용될 수 있다.1 is a perspective view showing a state that is used to explain an embodiment of the present invention, Figure 2 is a view showing the example shown in Figure 1 unfolds, a gas that can be wrapped wrapped in the gas tank (T) The tank temperature holding device 1 is shown. The gas tank T stores the gas used in the semiconductor manufacturing process and supplies the gas at a constant temperature. Such a gas tank (T) can be used conventional.

가스탱크 온도유지장치(1)는 가스탱크(T)의 외주면에 감싸여져 가스탱크(T)의 온도를 일정하게 유지하는데 사용될 수 있으며 어느 정도 유연성이 있는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 가스탱크 온도유지장치(1)는 전기가 공급되어 발열되는 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.Gas tank temperature holding device (1) is wrapped around the outer peripheral surface of the gas tank (T) can be used to maintain a constant temperature of the gas tank (T) is preferably made of a flexible material to some extent. The gas tank temperature holding device 1 preferably has a structure in which electricity is supplied to generate heat.

가스탱크 온도유지장치(1)는, 도 5에 도시하고 있는 바와 같이, 발열체(3)와 이 발열체(3)에 감싸여져 배치되는 보호커버(5, 7)를 포함한다. 발열체(3)는 전기를 외부에서 공급받아 컨트롤러(C, 도 8에 도시하고 있음)에 의하여 세팅된 온도까지 가열되어 가스탱크(T)의 온도를 유지할 수 있는 것이다. 또한, 보호커버(5, 7)는 절연체로 이루어지는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 5, the gas tank temperature holding device 1 includes a heating element 3 and protective covers 5 and 7 disposed to be wrapped around the heating element 3. The heating element 3 is supplied with electricity from outside to be heated to a temperature set by the controller C (shown in FIG. 8) to maintain the temperature of the gas tank T. In addition, it is preferable that the protective covers 5 and 7 consist of an insulator.

이러한 가스탱크 온도유지장치(1)는 가스탱크(T)의 외부에 감싸여질 때 서로 마주하는 양끝 부분에 제1 연결부재(9)와 제2 연결부재(11)가 배치된다. When the gas tank temperature maintaining apparatus 1 is wrapped in the outside of the gas tank T, the first connection member 9 and the second connection member 11 are disposed at both ends facing each other.

제1 연결부재(9)는, 도 3과 도 4에 도시하고 있는 바와 같이, 가운데 부분에 일정한 간격으로 타공부(9a)들이 제공된 몸체(9b), 이 몸체(9b)에 결합되며 후술하는 연결 띠를 고정하는 연결 띠 고정부(9c)가 제공된다. As shown in FIGS. 3 and 4, the first connection member 9 is coupled to the body 9b and the body 9b provided with the perforations 9a at regular intervals in a central portion thereof. A connecting strip fixing portion 9c for fixing the strip is provided.

본 발명의 실시 예에서는 제1 연결부재(9)에 대하여 설명하고 있으나, 제1 연결부재(9)와 제2 연결부재(11)는 배치된 위치만 다를 뿐 동일한 구조로 이루어지므로 제2 연결부재(11)의 상세한 설명은 제1 연결부재(9)의 설명으로 대치하기로 한다.In the exemplary embodiment of the present invention, the first connection member 9 is described, but the first connection member 9 and the second connection member 11 are formed in the same structure except that the second connection member is different from each other in the disposed position. Detailed description of (11) will be replaced by the description of the first connecting member (9).

제1 연결부재(9)는 금속재 플레이트로 이루어질 수 있다. 몸체부(9b)는 상술한 보호커버(5, 7)들 사이에 배치되어 접착제 등으로 고정된다. 이때 타공부(9a)들은 몸체부(9b)의 가운데 부분에 뚫어져 있으므로 상술한 보호커버(5, 7)들이 서로 직접 밀착되어 접착제로 고정될 수 있다. 제1 연결부재(9)가 보호커버(5, 7)들 사이에 배치되어 접착제 등으로 고정될 때 보호커버(5, 7)들이 서로 접착되는 면적을 증대시켜 견고하고 안정성 있게 결합될 수 있다.The first connection member 9 may be made of a metal plate. The body portion 9b is disposed between the above-described protective covers 5 and 7 and fixed with an adhesive or the like. At this time, since the perforations 9a are perforated in the center portion of the body 9b, the above-described protective covers 5 and 7 may be directly adhered to each other to be fixed with an adhesive. When the first connection member 9 is disposed between the protective covers 5 and 7 and fixed with an adhesive or the like, the protective covers 5 and 7 may be firmly and stably coupled by increasing the area in which the protective covers 5 and 7 are bonded to each other.

몸체부(9b)에 결합되는 연결 띠 고정부(9c)는 몸체부(9b)와 같은 재질로 이루어지며 대략 사각형의 고리 형태로 이루어져 용접에 의하여 몸체부(9b)에 일체로 결합될 수 있다. 이러한 연결 띠 고정부(9c)는 일정한 간격으로 다수가 제공되는 것이 바람직하다. The connection strip fixing part 9c coupled to the body part 9b is made of the same material as the body part 9b and may be integrally coupled to the body part 9b by welding by being formed in a substantially rectangular ring shape. It is preferable that a plurality of such connecting strip fixing portions 9c be provided at regular intervals.

이러한 제1 연결부재(9)는 가스탱크 온도유지장치(1)를 가스탱크(T)에 감쌀 때 서로 마주하는 위치에 제2 연결부재(11)가 배치되는 것이 바람직하다.It is preferable that the first connection member 9 is disposed at a position in which the second connection member 11 faces each other when the gas tank temperature maintaining apparatus 1 is wrapped in the gas tank T.

제1 연결부재(9)와 제2 연결부재(11)에는 다수의 연결 띠(13, 15)들이 결합되는 것이 바람직하다. 그리고 이러한 연결 띠(13, 15)들에는 서로 암, 수를 이루어 대응되어 결합될 수 있는 버클(17, 19)들이 결합된다. 즉, 가스탱크 온도유지장치(1)가 가스탱크(T)를 감싸고 마주하는 버클(17, 19)들을 서로 결합함으로써 가스탱크 온도유지장치(1)를 가스탱크(T)의 외주면에 고정시킬 수 있는 구조로 이루어지는 것이다. It is preferable that a plurality of connection bands 13 and 15 are coupled to the first connection member 9 and the second connection member 11. In addition, the connection bands 13 and 15 are coupled to the buckle 17 and 19 which may be coupled to each other by a number of females and females. That is, the gas tank temperature holding device 1 can fix the gas tank temperature holding device 1 to the outer circumferential surface of the gas tank T by coupling the buckle 17 and 19 facing and enclosing the gas tank T to each other. It is made of a structure.

이러한 가스탱크 온도유지장치(1)의 구조는 설치 작업이 매우 편리하여 작업성을 향상시킬 수 있다.The structure of the gas tank temperature holding device 1 is very convenient installation work can be improved workability.

한편, 도 1과 도 2에 도시하고 있는 바와 같이, 가스탱크 온도유지장치(1)는 발열체가 배치되어 발열이 이루어지는 발열부(b) 그리고 발열부(b)에서 연장되어 보호커버(5, 7)들로 구성되고 발열체가 생략되는 비발열부(a)를 포함한다.On the other hand, as shown in Figures 1 and 2, the gas tank temperature holding device 1 extends from the heat generating portion (b) and the heat generating portion (b) where the heating element is disposed to generate heat, and the protective cover (5, 7) ) And a non-heating unit (a) in which the heating element is omitted.

비발열부(a)에는 컨트롤러(C)에 연결되는 제1 온도측정센서(35)들이 일정한 간격으로 배치된다. 특히 제1 온도측정센서(35)는, 도 7에 도시하고 있는 바와 같이, 가스탱크(T)를 향하는 면의 보호커버(7, 가스탱크(T)에 접촉하는 면)에 결합되는 것이 바람직하다. 이러한 제1 온도측정센서(35)는 실제 가스탱크(T)의 온도를 측정하여 그 측정값을 컨트롤러(C)에 전송하기 위한 것이다. 이러한 구조는 가스탱크(T)의 온도를 직접 측정하여 정확한 가스탱크(T)의 내부의 가스 온도를 측정하기 위한 것이다.In the non-heating unit a, the first temperature measuring sensors 35 connected to the controller C are disposed at regular intervals. In particular, as shown in FIG. 7, the first temperature measuring sensor 35 is preferably coupled to a protective cover 7 (a surface in contact with the gas tank T) facing the gas tank T. As shown in FIG. . The first temperature measuring sensor 35 measures an actual temperature of the gas tank T and transmits the measured value to the controller C. This structure is to measure the temperature of the gas tank (T) directly to accurately measure the gas temperature inside the gas tank (T).

발열부(b)에는 컨트롤러(C)에 연결되는 제2 온도측정센서(37, 도 8에 도시하고 있음)들이 제공된다. 이러한 제2 온도측정센서(37)들은 가스탱크 온도유지장치의 발열부(b)의 온도를 측정하는 것이다. 즉, 컨트롤러(C)는 제2 온도측정센서(37)들에 의하여 측정된 실제 발열부(b)의 온도 값과 제1 온도측정센서(35)에서 측정된 목표 온도 값을 비교하여 세팅된 온도 값에 근접하도록 제어하는 것이다.The heat generating part b is provided with a second temperature measuring sensor 37 (shown in FIG. 8) connected to the controller C. The second temperature measuring sensors 37 measure the temperature of the heat generating part b of the gas tank temperature maintaining apparatus. That is, the controller C compares the temperature value of the actual heating unit b measured by the second temperature measuring sensors 37 with the target temperature value measured by the first temperature measuring sensor 35, and is set. Is to control the value.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 가스탱크 온도유지장치(1)를 가스탱크(T)에 설치하는 과정을 설명하면 다음과 같다.Referring to the process of installing the gas tank temperature holding device 1 of the present invention made in this way to the gas tank (T) as follows.

작업자는 가스탱크 온도유지장치(1)를 가스탱크(T)의 외주면에 감싸여지도록 배치한다. 이때 비발열부(a)에 배치된 제1 온도측정센서(35)들이 가스탱크(T)에 밀착되는 방향을 향하도록 배치한다. 그리고 버클(17, 19)들을 당겨서 서로 대응하는 것들끼리 끼움 결합한다. 그러면 가스탱크 온도유지장치(1)는 가스탱크(T)의 외주면에 밀착된 상태로 견고하게 고정되는 것이다.The operator arranges the gas tank temperature holding device 1 to be wrapped around the outer circumferential surface of the gas tank T. At this time, the first temperature measuring sensors 35 disposed in the non-heating unit (a) are arranged to face in a direction in which the gas tank (T) is in close contact. And by pulling the buckle (17, 19) to combine the corresponding ones to each other. Then, the gas tank temperature holding device 1 is firmly fixed in close contact with the outer circumferential surface of the gas tank T.

그리고 가스탱크(T)의 온도를 일정하게 유지하기 위하여 발열체(3, 도 5에 도시하고 있음)에 전기를 가하여 온도를 증가시킨다. 이때 컨트롤러(C)는 비발열부(a)에 설치된 제1 온도측정센서(35)의 측정 값을 입력받아 세팅 값과 같아질 때까지 발열부(b)를 가열한다. 또한, 제2 온도측정센서(37)의 측정 값을 입력받아 과열이 이루어지지 않도록 제어한다. 특히, 바이메탈 스위치(B)와 휴즈(F)는 직렬로 연결되어 바이메탈 스위치(B)의 오작동이 있어 과열이 발생할 경우 휴즈(F)가 끊어져 과열을 방지할 수 있다.In order to maintain a constant temperature of the gas tank (T), electricity is applied to the heating element 3 (shown in FIG. 5) to increase the temperature. At this time, the controller C receives the measured value of the first temperature measuring sensor 35 installed in the non-heating unit a, and heats the heat generating unit b until it is equal to the setting value. In addition, the control unit is controlled to prevent overheating by receiving the measured value of the second temperature measuring sensor 37. In particular, the bimetal switch (B) and the fuse (F) is connected in series, there is a malfunction of the bimetal switch (B), if the overheat occurs, the fuse (F) can be cut off to prevent overheating.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 사용 예를 도시한 도면이다.1 is a view showing an example of use for explaining an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 실시 예를 펼쳐서 도시한 도면이다.FIG. 2 is a view showing the embodiment of FIG.

도 3은 도 1의 주요부인 연결부재를 상세하게 도시한 도면이다.3 is a view showing in detail the connecting member which is the main part of FIG.

도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ부를 잘라서 본 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV of FIG. 2.

도 5는 도 2의 Ⅴ-Ⅴ를 잘라서 본 단면도이다.5 is a cross-sectional view taken along line VV of FIG. 2.

도 6은 도 2의 외측면을 도시한 도면이다.FIG. 6 is a view illustrating the outer side of FIG. 2.

도 7은 도 2의 내측면(가스탱크에 접촉되는 면)을 도시한 도면이다.FIG. 7 is a view illustrating the inner side (surface in contact with the gas tank) of FIG. 2.

도 8은 본 발명의 실시 예의 구성도이다.8 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.

Claims (7)

삭제delete 삭제delete 발열부;Heating unit; 상기 발열부에 연장되어 배치되는 비발열부;A non-heating unit disposed to extend in the heat generating unit; 상기 비발열부에 설치되는 제1 온도측정센서들;First temperature measuring sensors installed in the non-heating unit; 상기 제1 온도측정센서들에서 측정된 온도 신호에 따라 상기 발열부를 제어하는 컨트롤러;A controller for controlling the heating unit according to the temperature signals measured by the first temperature measuring sensors; 를 포함하는 가스탱크 온도유지장치.Gas tank temperature maintenance device comprising a. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 발열부는 The heating portion 발열체;Heating element; 상기 발열체의 외부를 감싸는 보호커버;A protective cover surrounding the outside of the heating element; 로 이루어지는 가스탱크 온도유지장치.Gas tank temperature maintenance device consisting of. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 제1 온도측정센서들은The first temperature measuring sensors 가스탱크에 접촉하는 면에 제공되는 가스탱크 온도유지장치.Gas tank temperature holding device provided on the surface in contact with the gas tank. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 발열부에는The heating portion 제2 온도측정센서들이 설치되고, 측정된 신호값을 상기 컨트롤로에 전송하는 가스탱크 온도유지장치.Gas tank temperature maintenance device is provided with a second temperature measuring sensor, and transmits the measured signal value to the control. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 발열부에는The heating portion 발열체의 온도를 일정하게 유지하는 바이메탈 스위치들;Bimetal switches for maintaining a constant temperature of the heating element; 상기 바이메탈 스위치에 직렬로 연결되는 휴즈들;Fuses connected in series with the bimetal switch; 을 포함하는 가스탱크 온도유지장치.Gas tank temperature maintenance device comprising a.
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