KR100961798B1 - 저밀착성 재료, 수지 성형틀 및 방오성 재료 - Google Patents

저밀착성 재료, 수지 성형틀 및 방오성 재료 Download PDF

Info

Publication number
KR100961798B1
KR100961798B1 KR1020077027278A KR20077027278A KR100961798B1 KR 100961798 B1 KR100961798 B1 KR 100961798B1 KR 1020077027278 A KR1020077027278 A KR 1020077027278A KR 20077027278 A KR20077027278 A KR 20077027278A KR 100961798 B1 KR100961798 B1 KR 100961798B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
low
adhesion
sro
resin
materials
Prior art date
Application number
KR1020077027278A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080015803A (ko
Inventor
타카키 쿠노
요시노리 노구치
케이지 마에다
사토시 키타오카
나오키 카와시마
마사토 요시야
세이이치 수다
Original Assignee
토와 가부시기가이샤
자이단호진 화인 세라믹스 센터
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 토와 가부시기가이샤, 자이단호진 화인 세라믹스 센터 filed Critical 토와 가부시기가이샤
Publication of KR20080015803A publication Critical patent/KR20080015803A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100961798B1 publication Critical patent/KR100961798B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/56—Coatings, e.g. enameled or galvanised; Releasing, lubricating or separating agents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/38—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the material or the manufacturing process
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/56—Coatings, e.g. enameled or galvanised; Releasing, lubricating or separating agents
    • B29C33/60—Releasing, lubricating or separating agents
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/50—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on rare-earth compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/50—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on rare-earth compounds
    • C04B35/505—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on rare-earth compounds based on yttrium oxide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64—Burning or sintering processes
    • C04B35/645—Pressure sintering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3213—Strontium oxides or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3225—Yttrium oxide or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3227—Lanthanum oxide or oxide-forming salts thereof

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Abstract

수지 성형틀(1)의 형면(6)이, Y2O3와 다른 산화물 La2O3로 생성된 고용체(La-Y2O3)로 이루어지는 저밀착성 재료(3)로 구성된다. La2O3는, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 La를 포함하고, Y2O3보다 강한 염기성을 갖는다. 저밀착성 재료(3)에서, Y2O3와 La2O3의 전체에 대해 La2O3이 소정의 비율을 갖는다. 이로써, 저밀착성 재료(3)에서, 이온 반경에 기인하여 단위면적당의 사이트 수가 Y2O3보다 감소하고, 염기성에 기인하여 염기성 물질 사이의 결합력이 Y2O3보다 약해지고, 비율에 기인하여 보형성이 유지된다. 따라서, Y2O3보다 낮은 밀착성과, 우수한 보형성을 갖는 저밀착성 재료(3)에 의해, 형면(6)이 구성된다. 염기성 물질에 대한 밀착성이 Y2O3보다 낮으면서 우수한 보형성을 갖는 저밀착성 재료와, 우수한 이형성 및 보형성을 갖는 수지 성형틀이 얻어진다.
저밀착성 재료, 방오성 재료

Description

저밀착성 재료, 수지 성형틀 및 방오성 재료{LOW ADHESION MATERIAL, RESIN MOLDING DIE, AND SOIL RESISTANT MATERIAL}
본 발명은, 염기성을 갖는 물질에 대해 낮은 밀착성을 갖는 재료(이하 「저밀착성 재료」라고 한다)와, 그와 같은 저밀착성 재료에 의해 적어도 형면(型面)이 구성된 수지 성형틀(成形型)과, 유기물로 이루어지는 오염의 부착을 방지하는 기능을 갖는 방오성 재료에 관한 것이다.
종래에서는, 트랜스퍼 성형, 사출 성형, 및 압축 성형 등에 의해, 다음과 같이 하여 경화수지를 갖는 성형체를 완성시키고 있다. 즉, 수지 성형용의 금형에 마련된 캐비티를 유동성 수지에 의해 충전된 상태로 하고, 그 유동성 수지를 경화시켜서 경화수지를 형성하여, 성형체를 완성시키고 있다. 그리고, 금형 재료로서는, 주로 공구강이 사용되고 있다. 또한, 이젝트 기구를 사용하여 금형으로부터 성형체를 돌출함에 의해, 성형체를 취출하기 쉽게 하고 있다.
여기서, 성형체를 용이하게 취출하기 위해서는, 금형의 표면(형면)과 경화수지 사이의 이형성을 향상시킨다는, 환언하면, 형면과 경화수지 사이의 밀착성을 저하시키는 것이 바람직하다. 이를 위해서는, 예를 들면, 유동성 수지에 대한 양호한 비젖음성(非濡性)을 갖는 폴리테트라플루오로에틸렌이나 실리콘 고무 등의 유기 재 료가, 형면-경화수지 사이의 이형성을 개선하는 재료로서 유망하다고 고려된다.
실제로, 고이형성 재료로서 이와 같은 유기 재료를 형면에 스프레이 또는 도포한 후에 건조시켜서 코팅하는 방법이 제안되어 있다(예를 들면, 일본특개평7-329099호 공보의 제 3 페이지 내지 제 4페이지 : 특허 문헌 1 참조). 이에 의하면, 우수한 이형성을 갖는 수지 성형용의 금형이, 일단은 실현된다.
또한, 리드 프레임이나 프린트 기판 등에 장착된 LSI(Large Scale Integration) 칩 등의 칩상태 전자부품(이하 「칩」이라고 한다)을 수지 밀봉하는 경우에는, 유동성 수지로서, 세라믹스로 이루어지는 필러를 함유하는 열경화성 수지, 예를 들면, 염기성을 갖는 에폭시 수지가 사용된다. 이 필러는 형면을 마모시키기 때문에, 형면에 내마모성을 갖는 금속계 고경도(高硬度) 재료를 형성하는 것이 행하여지고 있다.
이 경우에는, Cr, TiC, 또는 CrN 등의 내마모성에 우수한 금속계 고경도 재료를 도금, PVD(Physical Vapor Deposition), 또는 CVD(Chemical Vapor Deposition) 등에 의해 형면에 코팅하는 방법이 이용된다.
또한, 칩을 수지 밀봉하는 경우에는, 성형체로부터 제조되는 완성품(패키지)의 신뢰성을 확보하기 위해, 성형체를 이형할 때에 성형체에 가능한 한 외력이 가해지지 않는 것이 바람직하다. 따라서, 형면을 구성하는 재료로서, 이형성에 우수한 재료를 제공하는 것이 바람직하고 있다.
또한, 본 출원의 발명자들은, 공기중에서 안정한 소결체인 Y2O3가 에폭시 수 지에 대해 양호한 이형성을 갖는 것을 발견하였다. 그리고, 본 출원의 발명자들에 의해, Y2O3를 사용하여 형면을 구성하는 것이 제안되어 있다(일본특개2005-274478호 공보의 제 8페이지 : 특허 문헌 2 참조). 여기서, 에폭시 수지는 염기성의 수지이고, Y2O3는 염기성 산화물이다. 이 때문에, 염기성을 갖는 에폭시 수지에 대해 Y2O3가 양호한 이형성을 갖는다는 것은, 에폭시 수지에 대해 이형성에 우수한 재료로서는 염기성을 갖는 재료가 적당한 것을 나타내는 것이라고 생각된다.
또한, 염기성을 갖는 물질에 대한 어떤 재료의 결합력은, 그 재료의 염기성이 강할수록 작은 것으로 생각된다. 따라서, Y2O3보다도 더욱 이형성에 우수한 재료, 환언하면 Y2O3보다 밀착성이 한층 작은 재료로서, Y2O3보다 강한 염기성을 갖는 염기성 산화물이 생각된다. 여기서, 본 출원서류 전체에서의 염기성이란, 전자쌍(電子對)의 공여성, 즉 전자쌍을 공여하는 성질을 말하고, 또는, 프로톤이 수여되는 성질을 말한다(예를 들면, 이화학사전 제 4판, 이와나미서점, 1987년, p. 161).
또한, 수지 성형틀에 한하지 않고, 예를 들면, 유동성을 갖는 에폭시 수지 등의 염기성을 갖는 물질이 접촉하는 부재의 표면에는, 미량의 경화수지 등이 부착하고 있다. 그리고, 그와 같은 부재를 계속해서 사용하면, 그와 같은 표면에 경화수지 등으로 이루어지는 오염이 부착한다.
특허 문헌 1 : 일본 특개평7-329099호 공보(제 3페이지 내지 제 4페이지)
특허 문헌 2 : 일본 특개2005-274478호 공보(제 8페이지)
상술한 종래의 기술에 의하면, 다음의 문제가 있다.
첫째, 금형이나 부재 등에 사용되는 종래의 재료에서는, 표면에 경화수지 등으로 이루어지는 오염이 고착하기 쉽다. 따라서, 이 오염을 제거하기 위해서는 정기적으로 표면을 클리닝할 필요가 있기 때문에, 그 작업이 번잡하다.
둘째, 종래의 금형 재료를 사용하는 경우에는, 경화수지가 형면에 고착하기 쉽기 때문에, 성형체를 금형으로부터 취출하기 위해 다수의 이젝트 기구를 필요로 하고 있다. 이것이, 금형의 대형화와 복잡화를 초래하고 있다.
셋째, 폴리테트라플루오로에틸렌이나 실리콘 고무 등의 유기 재료를 형면에 코팅한 경우에는, 이들의 유기 재료가 마모하기 쉽다. 따라서, 금형의 이형성을 개선하는 고이형성 재료로서 이들의 유기 재료를 단독으로 사용하는 것은, 현실적으로 곤란하다.
넷째, Cr, TiC, 또는 CrN 등의 내마모성에 우수한 금속계 고경도 재료를 형면에 성막하는 경우에는, 이들의 금속계 고경도 재료가 유동성 수지에 대해 충분한 비젖음성을 갖고 있지 않기 때문에, 금속계 고경도 재료와 형면 사이의 이형성이 불충분하게 된다. 특히 칩을 수지 밀봉하는 경우에는, 신뢰성의 견지에서, 성형체를 이형할 때에 가능한 한 외력이 성형체에 가해지지 않을 것이 요구되기 때문에, 전술의 이형성이 불충분한 것은 큰 문제가 된다.
다섯째, Y2O3보다 강한 염기성을 갖는 염기성 산화물의 단체는, 공기중에 방치되면 공기중의 물과 이산화탄소를 흡수하기 쉽기 때문에, 수산화물과 탄산염을 생성한다. 이로써, 이와 같은 염기성 산화물의 단체로 이루어지는 소결체는, 공기중에 방치되면 붕괴나 조해(潮解)에 이른다. 이 때문에, 이와 같은 염기성 산화물의 단체는, 공기중에서의 화학적인 안정성이 낮다고 할 수 있다. 따라서, 이와 같은 염기성 산화물의 단체는, 공기중에서의 보형성(일정한 형상을 유지하는 특성)이 낮기 때문에, 수지 성형틀의 재료로서는 부적당하다.
본 발명의 목적은, 염기성을 갖는 물질에 대해 Y2O3보다 낮은 밀착성을 갖음과 함께, 우수한 보형성을 갖는 저밀착성 재료를 제공하는 것, 우수한 이형성과 보형성을 갖는 수지 성형틀을 제공하는 것, 및 유기물로 이루어지는 오염의 부착을 방지하는 기능을 갖는 방오성 재료를 제공하는 것이다.
과제를 해결하기 위한 수단
본 발명의 저밀착성 재료는, 염기성을 갖는 물질에 대한 낮은 밀착성을 갖는 저밀착성 재료이다. 그 저밀착성 재료는, Y2O3로 이루어지는 제 1의 재료와 제 2의 재료로 적어도 생성되고, 제 1의 재료와 제 2의 재료의 전체에 대해 제 2의 재료의 비율이 소정의 값인 경우에는 보형성, 즉 일정한 형상을 유지하는 특성을 갖는다. 또한, 제 2의 재료는 산화물로 이루어진다. 그 산화물은, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함한다는 조건 및 제 1의 재료보다 강한 염기성을 갖는다는 조건중 적어도 어느 하나를 충족시킨다.
또한, 본 발명의 저밀착성 재료는, 제 2의 재료가 La2O3로 이루어지고, 제 1의 재료와 제 2의 재료로 생성된 고용체를 적어도 포함하고 있는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 저밀착성 재료는, 제 2의 재료가 La2O3로 이루어지고, 제 1의 재료와 제 2의 재료로 적어도 생성된 복합산화물을 포함하고 있어도 좋다.
또한, 본 발명의 저밀착성 재료는, 제 2의 재료가 La2O3로 이루어지고, Y2O3와 La2O3로 생성된 고용체와, Y2O3와 La2O3로 생성된 복합산화물을 적어도 포함하는 혼합물이라도 좋다.
또한, 본 발명의 저밀착성 재료는, 제 2의 재료가 SrO로 이루어지고, 제 1의 재료와 제 2의 재료로 생성된 고용체를 포함하고 있어도 좋다.
또한, 본 발명의 저밀착성 재료는, 제 2의 재료가 SrO로 이루어지고, 제 1의 재료와 제 2의 재료로 생성된 복합산화물을 포함하고 있어도 좋다.
또한, 본 발명의 저밀착성 재료는, 제 2의 재료가 SrO로 이루어지고, Y2O3와 SrO로 생성된 고용체와, Y2O3와 SrO로 생성된 복합산화물을 포함하는 혼합물이라도 좋다.
또한, 본 발명의 다른 국면의 저밀착성 재료는, 염기성을 갖는 물질에 대한 낮은 밀착성을 갖는 저밀착성 재료이다. 그 저밀착성 재료는, Y2O3로 이루어지는 제 1의 재료와 해당 제 1의 재료 이외의 복수의 재료로 적어도 생성된다. 그 저밀착성 재료는, 제 1의 재료와 복수의 재료의 전체에 대한 복수의 재료의 각각의 비율이 소정의 값인 경우에는, 보형성, 즉 일정한 형상을 유지하는 특성을 갖는다. 복수의 재료의 각각은 산화물로 이루어진다. 산화물의 각각은, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함한다는 조건 및 제 1의 재료보다 강한 염기성을 갖는다는 조건중 적어도 하나를 충족시킨다.
또한, 본 발명의 수지 성형틀은, 캐비티가 마련되고, 캐비티에 충전되어 있고 염기성을 갖는 유동성 수지를 경화시켜서 경화수지를 형성하는 경우에 사용됨과 함께, 유동성 수지가 접촉하는 면으로 이루어지는 형면과 경화수지 사이에서의 낮은 밀착성을 갖는 수지 성형틀이다. 또한, 형면의 적어도 일부가 저밀착성 재료로 구성되어 있다. 그 저밀착성 재료는, Y2O3로 이루어지는 제 1의 재료와 제 2의 재료로 적어도 구성되어 있다. 또한, 저밀착성 재료는, 제 1의 재료와 제 2의 재료의 전체에 대해 제 2의 재료의 비율이 소정의 값인 경우에는 보형성, 즉 일정한 형상을 유지하는 특성을 갖는다. 제 2의 재료는 산화물로 이루어진다. 그 산화물은, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함한다는 조건 및 제 1의 재료보다 강한 염기성을 갖는다는 조건중 적어도 한쪽을 충족시킨다.
또한, 본 발명에 관한 수지 성형틀은, 캐비티가 마련되고, 캐비티에 충전되어 있고 염기성을 갖는 유동성 수지를 경화시켜서 경화수지를 형성하는 경우에 사용됨과 함께, 유동성 수지가 접촉하는 면으로 이루어지는 형면과 경화수지 사이에서의 낮은 밀착성을 갖는 수지 성형틀이다.
또한, 형면의 적어도 일부를 포함하는 부분이 저밀착성 재료로 구성되어 있다. 또한, 저밀착성 재료는, Y2O3로 이루어지는 제 1의 재료와 해당 제 1의 재료 이외의 복수의 재료로 적어도 구성되어 있다. 그 저밀착성 재료는, 제 1의 재료와 복수의 재료의 전체에 대한 복수의 재료의 각각의 비율이 소정의 값인 경우에는 보형성을 갖는다. 복수의 재료의 각각은 산화물로 이루어진다. 산화물의 각각은, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함한다는 조건 및 제 1의 재료보다 강한 염기성을 갖는다는 조건중 적어도 한쪽을 충족시킨다.
발명의 효과
본 발명에 의하면, 다음의 3개의 효과를 얻을 수 있다. 첫째, 저밀착성 재료가 Y2O3보다 강한 염기성을 갖는 산화물을 원재료에 포함하는 것이 가능해진다. 그리고, 저밀착성 재료의 원재료에 이와 같은 산화물이 포함되어 있는 경우에는, 저밀착성 재료와 염기성을 갖는 물질 사이의 결합력이 Y2O3 단체의 경우보다 약하게 된다. 따라서, 염기성을 갖는 물질에 대한 밀착성이 Y2O3 단체의 그것보다 낮은 저밀착성 재료가 얻어진다.
둘째, 저밀착성 재료가, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함하는 산화물을 원재료에 포함하는 것이 가능해진다. 그리고, 이와 같은 산화물을 원재료에 포함하는 경우에는, 물질에 대한 밀착성이 Y2O3 단체의 그것보다 낮은 저밀착성 재료를 얻을 수 있다. 그 이유는 다음과 같다고 생각된다.
본 발명에서는, Y2O3와, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함하는 산화물로부터, 저밀착성 재료가 생성된다. 이로써, 저밀착성 재료의 표면에서는, Y2O3 단체의 표면에서 보다도, 단위면적당의 노출하는 이온 수가 감소하기 때문에, 단위면적당의 사이트 수가 감소한다. 그리고, 이들의 사이트는, 물질의 분자와 저밀착성 재료의 분자와의 화학 결합에 기여하는 것이다. 따라서, 물질에 대한 밀착성이 Y2O3 단체의 그것보다 낮은 저밀착성 재료를 얻을 수 있다고 생각된다.
셋째, Y2O3와 제 2의 재료의 전체에 대해, Y2O3보다 강한 염기성을 갖는 산화물로 이루어지는 제 2의 재료가 소정의 비율을 갖는다. 또는, Y2O3와 그 Y2O3 이외의 복수의 재료의 전체에 대해, Y2O3보다 강한 염기성을 각각 갖는 산화물로 이루어지는 복수의 재료가, 각각 소정의 비율을 갖는다. 그리고, 그들의 소정의 비율하에서는 그 저밀착성 재료가 보형성을 갖는다.
이로써, Y2O3보다 강한 염기성을 갖는 산화물을 포함하고 있는 경우, 즉 Y2O3보다 공기중에서의 안정성이 낮은 산화물을 포함하고 있는 경우에도, 보형성을 갖는 저밀착성 재료를 얻을 수 있다. 또한, 그 산화물의 단체 또는 그들의 산화물의 단체의 각각보다 보형성이 큰 저밀착성 재료를 얻을 수 있다. 또한, 본 출원 서류의 전체에서, 「복수의 재료」란 「복수 종류의 재료」를 의미한다.
또한, 본 발명에 의하면, 저밀착성 재료는 고용체와 복합산화물중의 어느 하나를 적어도 포함한다. 그들의 고용체와 복합산화물은, Y2O3와 La2O3로부터, 또는, Y2O3와 SrO로부터, 각각 생성된다. 그리고, La2O3와 SrO는, 어느것이나 Y2O3보다 강한 염기성을 갖는 산화물이다.
따라서, 염기성을 갖는 물질에 대한 밀착성에 관해, Y2O3 단체보다 낮은 밀착성을 각각 갖는 고용체와 복합산화물과의 어느 하나를 적어도 포함하는 저밀착성 재료를 얻을 수 있다. 또한, La와 Sr은, 어느것이나 Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질이다. 따라서, 각각의 물질에 대한 밀착성이 Y2O3 단체의 그것보다 낮은 고용체와 복합산화물의 어느 하나를 적어도 포함하는 저밀착성 재료를 얻을 수 있다.
더하여, 그들의 고용체와 복합산화물에서는, 물질의 비율에 관해 다음의 2개의 것을 말할 수 있다. 첫째, Y2O3와 La2O3의 전체에 대해, La2O3이 소정의 비율을 갖는 것이다. 둘째, Y2O3와 SrO의 전체에 대해, SrO가 소정의 비율을 갖는 것이다.
이들에 의해, 그들의 고용체와 복합산화물은, Y2O3보다 강한 염기성을 갖는 산화물, 즉 Y2O3보다 보형성이 열악한 산화물(La2O3 또는 SrO)의 단체에 비교하여, 보형성이 양호하다. 따라서, Y2O3보다 공기중에서의 안정성이 나쁜 산화물을 포함하고 있는 경우에도, 양호한 보형성을 갖는 저밀착성 재료를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 저밀착성 재료는 혼합물로 이루어진다. 그리고, 그와 같은 혼합물은 구체적으로는 2종류 있다. 하나의 혼합물은, Y2O3와 La2O3로 각각 생성된 고용체와 복합산화물을 적어도 포함하는 혼합물이다. 또하나의 혼합물은, Y2O3와 SrO로 각각 생성된 고용체와 복합산화물을 적어도 포함하는 혼합물이다.
상술한 바와 같이, 그들의 고용체와 복합산화물은, 물질(특히 염기성을 갖는 물질)에 대한 밀착성이 Y2O3 단체의 그것보다 낮음과 함께, Y2O3보다 보형성이 나쁜 산화물(La2O3 또는 SrO)의 단체보다도, 보형성이 양호하다. 따라서, 그들의 고용체와 복합산화물의 혼합물로 이루어짐과 함께, Y2O3보다 공기중에서의 안정성이 나쁜 산화물을 포함하고 있는 경우에도, 양호한 보형성을 갖는 저밀착성 재료를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 수지 성형틀에서, 염기성을 갖는 유동성 수지가 접촉하는 형면의 적어도 일부가, 저밀착성 재료로 구성된다. 그 저밀착성 재료는, Y2O3로 이루어지는 제 1의 재료와 제 2의 재료로, 또는, Y2O3와 그 Y2O3 이외의 복수의 재료로, 적어도 구성된다. 제 2의 재료와, Y2O3 이외의 복수의 재료는, 각각 산화물로 이루어진다. 그들의 산화물은, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함한다는 조건 및 Y2O3보다 강한 염기성을 갖는다는 조건중 적어도 한쪽을 충족시킨다.
이로써, 저밀착성 재료는, 경화수지(특히 염기성을 갖는 경화수지)에 대한 밀착성이 Y2O3 단체의 그것보다 낮다. 따라서, 이 저밀착성 재료가 고이형성 재료로서 기능함에 의해, 형면에서의 밀착성, 특히 염기성을 갖는 경화수지에 대한 밀착성이 Y2O3 단체의 그것보다 낮은 밀착성, 환언하면, 높은 이형성을 갖는 수지 성형틀을 얻을 수 있다.
더하여, 저밀착성 재료에서는, Y2O3와 제 2의 재료의 전체에 대해, Y2O3보다 강한 염기성을 갖는 산화물로 이루어지는 제 2의 재료가 소정의 비율을 갖는다. 또는, Y2O3와 그 Y2O3 이외의 복수의 재료의 전체에 대해, Y2O3보다 강한 염기성을 각각 갖는 산화물로 이루어지는 복수의 재료가 각각 소정의 비율을 갖는다. 그리고, 그와 같은 소정의 비율하에서 저밀착성 재료는 보형성을 갖는다.
이로써, Y2O3보다 강한 염기성을 갖는 산화물을 포함하고 있는 경우, 즉 Y2O3보다 공기중에서의 안정성이 나쁜 산화물을 포함하고 있는 경우에도, 양호한 보형성을 갖는 저밀착성 재료를 얻을 수 있다. 따라서, 수지 성형틀에서, 양호한 보형성을 갖는 저밀착성 재료에 의해 형면의 적어도 일부가 구성된다.
본 발명의 저밀착성 재료는, 유기물로 이루어지는 오염의 부착을 방지하는 기능을 갖는 방오성 재료로서도 이용될 수 있는 것이다.
본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징, 국면 및 이점은, 첨부한 도면과 관련하여 이해되는 본 발명에 관한 다음의 상세한 설명으로부터 분명해질 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에 관한 저밀착성 재료의 제조 방법을 도시하는 흐름도.
도 2는 본 발명의 실시예 1에 관한 저밀착성 재료의 원재료에서의 Y2O3와 La2O3의 전체에 대한 La2O3의 첨가량과, Y2O3 및 La2O3로 생성된 생성물과 염기성을 갖는 물질인 에폭시 수지 사이에서의 밀착력과의 관계를 도시하는 관계도.
도 3은 본 발명의 실시예 2에 관한 저밀착성 재료의 원재료에서의 Y2O3와 SrO의 전체에 대한 SrO의 첨가량과, Y2O3 및 SrO로 생성된 생성물과 염기성을 갖는 물질인 에폭시 수지 사이에서의 밀착력과의 관계를 도시하는 관계도.
도 4는 본 발명의 실시예 3에 관한 수지 성형틀을 도시하는 단면도.
도 5는 도 4에 도시되는 수지 성형틀의 변형예를 도시하는 단면도.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
1, 10 : 상형(수지 성형틀)
2 : 하형
3 : 고이형성 재료(저밀착성 재료)
4 : 수지 유로
5 : 캐비티
6 : 형면
7 : 기판
8 : 칩
9 : 와이어
11 : 성형틀 본체
12 : 이형층
본 발명에 관한 수지 성형틀(1, 10)은, 염기성을 갖는 유동성 수지를 경화시켜서 염기성을 갖는 경화수지를 형성하는 경우에 사용되고, 유동성 수지가 접촉하는 면으로 이루어지는 형면(6)과 경화수지 사이에서 낮은 밀착성을 갖는다. 이 수지 성형틀(1, 10)은, 형면(6)이 저밀착성 재료(3)로 구성되어 있다.
그리고, 저밀착성 재료(3)는, Y2O3와 다른 산화물로 생성된 고용체이다. 그것의 산화물은 La2O3이고, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질인 La를 포함함과 함께, Y2O3보다 강한 염기성을 갖고 있다. 그 저밀착성 재료(3)에서는, Y2O30와 La2O3의 전체에 대해 La2O3이 소정의 비율을 가지며, 저밀착성 재료(3)는 이 비율하에서 보형성을 갖고 있다.
실시예 1
본 발명에 관한 저밀착성 재료는, 염기성을 갖는 물질(예를 들면, 에폭시 수지 등)에 대한 낮은 밀착성을 갖는 저밀착성 재료이고, 다음의 2개의 특징을 갖는다.
제 1의 특징은 이하와 같다. 제 1의 특징은, Y2O3로 이루어지는 제 1의 재료와 해당 제 1의 재료 이외의 다른 재료(단일한 또는 복수 종류의 재료)로 적어도 생성되는 것이다. 또한, 제 1의 특징은, 다른 재료가 산화물로 이루어지고, 그 산화물 또는 그들의 산화물은, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함한다는 조건 및 Y2O32보다 강한 염기성을 갖는다는 조건중 적어도 한쪽을 충족시키는 것이다.
제 2의 특징은, Y2O3와 다른 재료의 전체에 대해 다른 재료가 소정의 비율을 가지며, 그 소정의 비율하에서 저밀착성 재료가 보형성을 갖는 것이다. 또한, 다른 재료가 복수의 종류로 이루어지는 경우에는, 그들의 재료가 각각 소정의 비율을 갖는다.
본 발명에 관한 저밀착성 재료의 실시예 1을, 도 1과 도 2를 참조하여 설명한다. 도 1은, 본 실시예에 관한 저밀착성 재료의 제조 방법을 도시하는 흐름도이다. 도 2는, 본 실시예에 관한 저밀착성 재료의 원재료에서의 Y2O3와 La2O3의 전체에 대한 La2O3의 첨가량과, Y2O3 및 La2O3로 생성된 생성물과 염기성을 갖는 물질인 에폭시 수지 사이에서의 밀착력과의 관계를 도시하는 관계도이다.
또한, 여기서 말하는 La2O3의 「첨가량」이란, 도 2의 데이터를 얻을 때에 사용된 시료의 원재료에서의 첨가량을 의미하고 있고, 그들의 시료 자체에서의 La2O3의 비율, 즉 시료를 실제로 분석하여 얻어진 비율을 의미하는 것은 아니다.
또한, 「Y2O3와 La2O3의 전체에 대한 La2O3의 ~량」은, Y2O3와 La2O3의 량의 합계를 100mol%로 한 경우의, La2O3의 량(mol%)을 의미한다. 용어 「첨가량」 및 「전체에 대한」의 의미는, 이하의 설명에서도 마찬가지이다.
본 실시예에서는, 실험과 분석에 의거하여, 저밀착성 재료로서, 제 1의 재 료(Y2O3)와 제 2의 재료(La2O3)로 생성된 La2O3-Y2O3 의(擬)2원계 재료를 채용하였다. 구체적으로는, La2O3-Y2O3 의2원계 재료중, 고용체(La-Y2O3)와, 고용체(La-Y2O3)와 복합산화물(LaYO3)로 이루어지는 혼합물과, 복합산화물(LaYO3)을, 채용하였다. 그리고, 이들의 저밀착성 재료에 포함되는 물질 및 원재료로서, 다음의 물질 및 원재료를 채용하였다.
우선, 제 1의 재료(Y2O3)에 포함되는 Y의 이온인 Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질로서, La를 채용하였다. 여기서, Y3 +의 이온 반경은 1.02Å(102pm)이고, La3 +의 이온 반경은 1.16Å(116pm)이다(lpm=10-12m). 또한, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질(La)을 포함하는 것과, Y2O3보다 강한 염기성을 갖는 것의 어느 하나의 조건도 충족시키는 산화물로 이루어지는 제 2의 재료로서, La2O3을 채용하였다.
여기서, 산화물 표면의 산·염기성을 나타내는 지표의 하나로서, 등전점(Isoelectric point of Surface : IEPS)을 이용한다. IEPS가 7보다 크면 염기성이고, 7보다 작으면 산성이다. IEPS의 값은, 산화물을 구성하는 카치온(양이온)의 전하와 그 이온 반경과의 비로 정리할 수 있다(참고 문헌 : George A Parks, "The Isoelectric points of solid Oxides. solid Hydroxides. and Aqueous Hydroxo complex systems", 65, 177-198(1965)).
그리고, IEPS는, 다음의 식으로 표시된다.
IEPS=A-B[(Z/R)+0.029C+a] … 식 1
Z : 카치온의 가수(價數)
R=r++2r0 …… 식 2
r+ : 카치온 반경(Å)
r0 : 산소 이온 반경(Å)
A, B : 정수
C : M-OH 결합의 결정장(結晶場) 안정화 에너지에 관한 보정 계수
a : 수화물의 배위수에 관한 계수(M-OH기의 산소 이온과 프로톤 사이의 쿨론 인력 에너지에 관련된 것)
상기 식 1, 식 2에 따라 산출한 IEPS는, Y2O3=9.5, La2O3=9.8이고, La2O3은 Y2O3에 비하여 한층 강한 염기성을 가지고 있다고 할 수 있다.
본 실시예에 관한 저밀착성 재료의 제조 방법, 예를 들면 분말혼합법을, 도 1을 참조하여 설명한다.
우선, 공정(S1)에서, 제 1의 재료인 Y2O3의 분말을, 필요한 양만큼 준비한다. 다음에, 공정(S2)에서 제 2의 재료인 La2O3의 분말을 소정량만큼 첨가하고, 또한 공정(S3)에서 용매를 첨가한다. 다음에, 공정(S4)에서 볼밀 혼합을 행한다. 다음에, 공정(S5)에서, 볼밀 혼합된 혼합 재료를 건조시켜서 체에 친다. 다음에, 공정(S6)에서, 소정의 형상을 형성하기 위한 금형을 사용하여, 소정의 압력으로 혼합 재료를 성형한다.
다음에, 공정(S7)에서, 성형된 성형체를 소정의 온도에 의해 소정의 시간만큼 핫 프레스(Hot Press)에 의해 가압 소성한다. 이 경우에서의 처리 조건은, 예를 들면, 온도가 1350℃이고 시간이 1시간, 프레스 압력이 40MPa이다. 다음에, 공정(S8)에서, 가압 소성된 소결체에 관해, 소정의 온도에 의해 소정의 시간만큼 열처리하고, 고용체화 반응 또는 복합산화물화 반응을 촉진시킨다. 이 경우에서의 처리 조건은, 예를 들면, 온도가 1550℃이고 시간이 5시간이다.
여기까지의 공정(S1 내지 S8)에 의해, La2O3-Y2O3 의2원계 재료의 소결체로 이루어지고 소정의 형상을 갖는 저밀착성 재료을 얻을 수 있다. 또한, 제조 방법으로서는 공침법(共沈法)을 사용할 수도 있다.
도 2는, 원재료에서의 Y2O3와 La2O3의 전체에 대한 La2O3의 첨가량과, Y2O3 및 La2O3로 생성된 생성물(La2O3-Y2O3 의2원계 재료)과 염기성을 갖는 물질인 에폭시 수지 사이에서 밀착력과의 관계를 도시하고 있다. 또한, 이하의 설명에서는, 저밀착성 재료의 용도로서, 수지 성형틀에 사용되는 경우를 상정한다.
본 실시예에서는, 원재료에서의 Y2O3와 La2O3의 전체에 대한 La2O3의 첨가량은 , 5mol%, 10mol%, 30mol% 및 50mol%라는 4종류이다. 이 4종류의 첨가량의 각각의 La2O3-Y2O3 의2원계 재료로 이루어지는 시료를 제작하였다. 그들의 시료를 제작할 때에는, 상술한 제조 방법을 사용하였다.
그리고, 각 시료와, La2O3의 첨가량이 0mol%와 같은 재료(Y2O3 단체)를 사용하여 실험을 행하고, 얻어진 데이터에 의거하여 밀착력을 산출하였다. 그 결과, 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, La2O3의 첨가량이 늘어남에 따라 밀착력이 저하된다는 결과가 얻어졌다. 또한, 도 2에 도시된 밀착력의 값의 모두가 수지 성형틀용의 저밀착성 재료로서 사용할 수 있는 범위 내에 있는 것을 알았다. 또한, 그들의 각 시료는, 어느것이나 수지 성형틀로서 사용할 수 있을 정도의 양호한 보형성을 갖고 있다.
또한, 제 1의 재료(Y2O3)와 제 2의 재료(La2O3)로 제작된 시료인 La2O3-Y2O3 의2원계 재료를 분석한 바, 다음의 결과가 얻어졌다. La2O3의 첨가량이 5mol% 및 10mol%인 시료는, Y2O3 solid solution(Y2O3 고용체), 즉 고용체(La-Y2O3)이다.
그리고, La2O3의 첨가량이 30mol%인 시료는, 고용체(La-Y2O3)와 복합산화물(LaY2O3)로 이루어지는 혼합물이였다. 그리고, La2O3의 첨가량이 50mol%인 시료는, 복합산화물(LaYO3)이었다. 이로써, 고용체(La-Y2O3)와, 고용체(La-Y2O3)와 복합산화물(LaYO3)로 이루어지는 혼합물과, 복합산화물(LaYO3)은, 어느것이나, 수지 성형틀용의 저밀착성 재료로서 사용할 수 있는 범위 내의 낮은 밀착력을 갖음과 함께, 수지 성형틀로서 사용할 수 있을 정도의 보형성을 갖는다고 할 수 있다.
따라서, 고용체(La-Y2O3)와, 고용체(La-Y2O3)와 복합산화물(LaYO3)로 이루어지 는 혼합물과, 복합산화물(LaYO3)은, 어느것이나 본 발명에 관한 저밀착성 재료에 상당한다.
그런데, 도 2에 도시된 밀착력은, 다음과 같이 하여 측정되었다. 우선, 염기성을 갖는 물질로서, 열경화성 수지인 에폭시 수지를 준비한다. 다음에, 그 에폭시 수지와 La2O3-Y2O3 의2원계 재료를 접촉시키고, 175℃의 분위기에서 에폭시 수지를 경화시켜서 경화수지를 형성한다. 이로써, 에폭시 수지로 이루어지는 경화수지와 그 의2원계 재료가 접착한다.
다음에, 175℃의 분위기에서, 접착 계면에 대한 수직 방향에 따라 경화수지와 그 의2원계 재료를 인장하고, 이들이 박리한 시점에서의 하중을 측정한다. 다음에, 접착 계면의 면적으로 의해 그 하중을 나눈셈한다. 이로써, 그 의2원계 재료와 경화수지 사이의 밀착력을 산출한다. 이 밀착력이, 그 의2원계 재료로 이루어지는 수지 성형틀으로부터 경화수지가 이형할 때에 필요한 단위면적당의 힘(이형력)에 상당한다.
본 실시예에 의하면, 수지 성형틀로서 사용할 수 있는 범위 내의 낮은 밀착력과, 수지 성형틀로서 사용할 수 있을 정도의 양호한 보형성을 각각 갖는 저밀착성 재료를 얻을 수 있다. 낮은 밀착력을 갖는 저밀착성 재료를 얻을 수 있는 것에 관해서는, 이온 반경과 염기성에 관한 다음의 2개의 이유에 기인하는 것이라고 생각된다.
제 1의 이유는, 「La2O3-Y2O3 의2원계 재료가, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질인 La를 포함하는 것」에 기인하고 있다고 생각된다. 즉, Y2O3에 Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 La3 +을 포함시킴에 의해, 의2원계 재료의 표면에서 노출하는 단위면적당의 카치온 수가, Y2O3 단체의 표면에서보다 감소한다.
그 결과로서, 의2원계 재료의 표면에서는, 물질(본 실시예에서는 에폭시 수지)의 분자와 표면 카치온이 산소를 매개로 하여 행하는 화학 결합에 기여하는 사이트의 수가, Y2O3 단체의 경우보다 감소한다. 따라서 물질에 대한 밀착성이 Y2O3 단체 그것보다 낮은 저밀착성 재료(La2O3-Y2O3 의2원계 재료)가 얻어진다고 생각된다.
제 2의 이유는, 「La2O3-Y2O3 의2원계 재료가, Y2O3보다 강한 염기성을 갖는 산화물인 La2O3을 포함하는 것」에 기인하고 잇다고 생각된다. 이로써, Y2O3 단체보다 강한 염기성을 갖는 의2원계 재료가 얻어지고, 한층 에폭시 수지의 염기성에 가까워졌기 때문이라고 생각된다.
따라서 그 의2원계 재료와 염기성을 갖는 물질 사이의 결합력이 Y2O3 단체의 경우보다 약하게 되기 때문에, Y2O3 단체보다 우수한 저밀착성 재료(La2O3-Y2O3 의2원계 재료)를 얻을 수 있다고 생각된다.
그런데, 필요하게 되는 밀착력의 범위는, 저밀착성 재료의 용도에 따라 다양하다. 저밀착성 재료가 수지 성형틀에 사용되는 경우에는, La2O3의 첨가량이 0mol% 인 재료, 즉 Y2O3 단체라도, 실용상의 관점에서 그 저밀착성 재료를 사용할 수 있다. 환언하면, 도 2에서의 La2O3의 첨가량이 0mol%인 2.57㎏f/㎠(25.2N/㎠) 정도의 밀착력을 갖는 재료는, 수지 성형틀용의 저밀착성 재료로서 사용 가능하다.
한편, 용도에 따라서는, 실용상의 관점에서, 한층 우수한 이형성을 갖는 재료, 즉 한층 작은 밀착력을 갖는 재료가 요구되고 있다. 여기서, 도 2로부터 분명한 바와 같이, 저밀착성 재료인 La2O3-Y2O3 의2원계 재료와 염기성을 갖는 물질 사이의 밀착력을 한층 작게 하기 위해서는, 원재료에서의 La2O3의 첨가량을 증가시키면 좋다.
그러나, 제 1의 재료(Y2O3)와 제 2의 재료(La2O3)로 생성되는 La2O3-Y2O3 의2원계 재료에서, 원재료에서의 La2O3의 첨가량을 더욱 늘려 가면, 공기중에서의 안정성이 낮아진다는 문제가 생긴다. 이것은, La2O3이 공기중의 수증기, 이산화탄소를 흡수하기 쉽다는 성질을 갖는, 환언하면 공기중에서의 안정성이 낮다는 성질을 갖는 것에 기인한다(이 성질에 관해서는, 예를 들면, 이화학사전 제 4판, 이와나미서점, 1987년, p.503을 참조). 그리고, La2O3-Y2O3 의2원계 재료의 형상을 유지할 수 없는, 즉 수지 성형틀의 형상을 유지할 수 없다는 문제가 생긴다.
따라서 보형성이라는 관점에서, La2O3-Y2O3 의2원계 재료의 원재료에서의 La2O3의 첨가량의 상한을 정할 필요가 있다. 그리고, 그 결과로서, 생성된 La2O3-Y2O3 의2원계 재료에서의 La2O3의 비율의 상한을 정할 필요가 있다. 또한, 여기서 말하는 La2O3의 비율은, 생성된 의2원계 재료에서의 제 1의 재료(Y2O3)와 제 2의 재료(La2O3)의 전체에 대해 제 2의 재료(La2O3)의 비율을 의미하고 있고, 환언하면 의2원계 재료를 실제로 분석하여 얻어진 비율을 의미한다. 이 「비율」의 의미는, 이하의 설명에서도 마찬가지이다.
그래서, La2O3-Y2O3 의2원계 재료에서의 제 1의 재료(Y2O3)와 제 2의 재료(La2O3)의 전체에 대해 제 2의 재료(La2O3)의 비율의 범위를, 다음의 순서로 정한다. 우선, Y2O3와 La2O3의 혼합 재료를 열처리하여 얻어지는 물질을, 상정한다. 다음에, 상태도에 의거하여, 상정된 물질이 미리 정해진 물질로서 존재하는 것이 가능한, La2O3의 비율의 범위를 발견한다.
여기서 말하는 「미리 정해진 물질」이란, 고용체(La-Y2O3)와, 고용체(La-Y2O3)와 복합산화물(LaY2O3)로 이루어지는 혼합물과, 복합산화물(LaYO3)중의 어느 하나이다. 다음에, 발견된 비율의 범위를, La2O3의 비율의 범위로서 채용한다.
여기서 사용하는 상태도는, "Phase Diagram of the System La2O3-Y2O3 at High Temperatures"(Masao MIZUN0,et al., Yogio-Kyokai-Shi, 84 [7] 347(1976))라는 문헌에 기재되어 있다. 이 상태도에 의하면, La2O3-Y2O3 의2원계 재료가, 고용체(La-Y2O3)와, 고용체(La-Y2O3)와 복합산화물(LaYO3)로 이루어지는 혼합물과, 복합산화물(LaY2O3)의 어느 하나로서 존재하는 것이 가능한 La2O3의 비율의 범위는, 그 하한이 0mol%를 초과하고 있고 또한 그 상한이 75mol% 부근이다.
이로써, La2O3-Y2O3 의2원계 재료에서, La2O3의 비율의 범위가 0% 을 초과하며 또한 약 75mol% 이하라는 경우에, 본 실시예에 관한 저밀착성 재료를 얻을 수 있는 것을 알 수 있다. 또한, La2O3의 비율이 거의 75mol%를 초과하면, La2O3-Y2O3 의2원 계 재료가 La2O3 solid solution(La2O3 고용체)이 된다. 이 경우에는, 공기중에서의 화학적 안정성이 낮다는 성질을 갖는 La2O3을 주격자(主格子)로 하는 La2O3 고용체가 포함된다. 따라서 공기중에서의 La2O3-Y2O3 의2원계 재료의 안정성이 낮아진다고 생각된다.
그런데, La2O3의 비율과, 생성된 La2O3-Y2O3 의2원계 재료의 종류와의 관계에 관해, 상술한 상태도에 도시된 열처리 온도가 1860℃인 경우를 예로 들어 설명한다. 상태도에 의하면, La2O3의 비율이 0mol%를 초과하여 20mol% 부근까지는, 고용체(La-Y2O3)가 생성된다. 마찬가지로, 20mol% 부근부터 40mol% 부근까지는, 고용체(La-Y2O3)와 복합산화물(LaYO3)로 이루어지는 혼합물이 생성된다. 마찬가지로, 40mol% 부근부터 75mol% 부근까지는, 복합산화물(LaYO3)이 생성된다.
또한, 열처리되어 생성된 La2O3-Y2O3 의2원계 재료중에서, 고용체(La-Y2O3)와, 고용체(La-Y2O3)와 복합산화물(LaYO3)로 이루어지는 혼합물과, 복합산화물(LaYO3)은, 수지 성형틀로서 사용된될 때에 가열되는 온도(180℃ 정도)에서도, 또는 실온에서도, 안정하게 존재한다.
따라서 이들의 La2O3-Y2O3 의2원계 재료는, 상술한 온도(열처리 온도를 포함한다)에서 보형성을 갖는다. 이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 의하면, La2O3-Y2O3 의2원계 재료로 이루어지고, 실온부터 열처리 온도까지의 범위에서 보형성을 갖는 저밀착성 재료를 얻을 수 있다.
실시예 2
본 발명에 관한 저밀착성 재료의 실시예 2를 설명한다. 본 실시예에서는, 실험과 분석에 의거하여, 저밀착성 재료로서, 제 1의 재료(Y2O3)와 제 2의 재료(SrO)로 생성된 SrO-Y2O3 의2원계 재료를 채용하였다. 더욱 구체적으로 말하면, SrO-Y2O3 의2원계 재료중, 고용체(Sr-Y2O3)와, 고용체(Sr-Y2O3)와 복합산화물(SrY2O4)로 이루어지는 된 혼합물과, 복합산화물(SrY2O4)을, 채용하였다. 그리고, 이들의 저밀착성 재료에 포함되는 물질 및 원재료로서, 다음의 물질 및 원재료를 채용하였다.
우선, 제 1의 재료(Y2O3)에 포함되는 Y의 이온인 Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖 는 물질로서, Sr을 채용하였다. 여기서, Y3 +의 이온 반경은 1.02Å(102pm)이고, Sr3 +의 이온 반경은 1.18Å(118pm)이다.
또한, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질(Sr)을 포함하는 것과, Y2O3보다 강한 염기성을 갖는 것의 어느 하나의 조건도 충족시키는 산화물로 이루어지는 제 2의 재료로서, SrO를 채용하였다. 염기성에 관해서는, 이미 설명한 식 1, 식 2에 따라 산출한 IEPS는, Y2O3=9.5, SrO=12.8이고, SrO는 Y2O3에 비하여 한층 강한 염기성을 갖는다고 말할 수 있다.
본 실시예에서는, Y2O3에 SrO를 소정량만큼 첨가하여, Y2O3와 SrO를 포함하는 SrO-Y2O3 의2원계 재료를 생성한다. 이 의2원계 재료의 제조 방법은, 실시예 1의 그것과 거의 마찬가지이므로, 그 설명은 반복하지 않는다.
본 실시예에 관한 저밀착성 재료를, 도 3을 참조하면서 설명한다. 도 3은, 본 실시예에 관한 저밀착성 재료의 원재료에서의 Y2O3와 SrO의 전체에 대한 SrO의 첨가량과, Y2O3 및 SrO로 생성된 생성물과 염기성을 갖는 물질인 에폭시 수지 사이에서 밀착력과의 관계를 도시하는 관계도이다.
도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 본 실시예에서는, 원재료에서의 Y2O3와 SrO의 전체에 대한 SrO의 첨가량은, 10mol% 및 19mol%라는 2종류이다. 그 2종류의 각각의 SrO-Y2O3 의2원계 재료로 이루어지는 시료를 제작하였다. 그리고, 각 시료 와, SrO의 첨가량이 0mol%인 재료(Y2O3 단체)를 사용하여 실험을 행하고, 얻어진 데이터에 의거하여 밀착력을 산출하였다. 그 결과, 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, SrO의 첨가량이 늘어남에 따라 밀착력이 저하된다는 결과가 얻어졌다.
또한, 도 3에 도시된 밀착력의 값에 관해, 그들의 모두가 수지 성형틀용의 저밀착성 재료로서 사용할 수 있는 범위 내에 있는 것을 알았다. 또한, 그들의 각 시료는, 어느것이나 수지 성형틀로서 사용할 수 있을 정도의 양호한 보형성을 갖고 있다. 또한, 도 3에 도시된 밀착력은 실시예 1의 경우와 같은 실험을 행하여 산출되었다.
또한, 제 1의 재료(Y2O3)와 제 2의 재료(SrO)로부터 각각 제작된 시료, 즉 SrO-Y2O3 의2원계 재료를 분석한 바, 다음의 결과가 얻어졌다. SrO의 첨가량이 10mol% 및 19mol%인 시료는, 어느것이나 고용체(Sr-Y2O3)와 복합산화물(SrY2O4)로 이루어지는 혼합물이였다.
이로써, 고용체(Sr-Y2O3)와 복합산화물(SrY2O4)로 이루어지는 혼합물은, 수지 성형틀용의 저밀착성 재료로서 사용할 수 있는 범위 내의 낮은 밀착력을 갖음과 함께, 수지 성형틀로서 사용할 수 있을 정도의 양호한 보형성을 갖는다고 할 수 있다. 따라서 고용체(Sr-Y2O3)와 복합산화물(SrY2O4)로 이루어지는 혼합물은, 본 발명에 관한 저밀착성 재료에 상당한다. 또한, 이 혼합물을 구성하는 고용체(Sr-Y2O3)와 복합산화물(SrY2O4)은, 어느것이나 Y2O3와 SrO로 생성된 SrO-Y2O3 의2원계 재료이다.
그런데, 실시예 1에서 설명한 바와 같이, SrO의 첨가량이 0mol%인 재료, 즉 Y2O3 단체를, 실용상의 관점에서 저밀착성 재료로서 수지 성형틀에 사용할 수 있다. 그리고, 실시예 1의 경우와 마찬가지로, 본 실시예에서도, 한층 작은 밀착력을 갖는 SrO-Y2O3 의2원계 재료를 얻기 위해서는, 원재료에서의 SrO의 첨가량을 늘리면 좋다.
그러나, 제 1의 재료(Y2O3)와 제 2의 재료(SrO)로 제작되고 SrO-Y2O3 의2원계 재료에서, 원재료에서의 SrO의 첨가량을 더욱 늘려 가면, 공기중에서의 안정성이 낮아진다는 실시예 1의 경우와 같은 문제가 생긴다. 이것은, SrO가 공기중의 이산화탄소라고 결합하여 탄산염(SrCO3)가 된다는 성질을 갖는 것에 기인하고 있다.
또한, 이것은, SrO가 물과 심하게 반응하여 수산화물이 된다는 성질을 갖는 것에도 기인하고 있다(이 성질에 관해서는, 예를 들면, 이화학사전 제 4판, 이와나미서점, 1987년, p.496을 참조). 그 결과로서, 저밀착성 재료의 형상을 유지할 수가 없고, 즉 수지 성형틀의 형상을 유지할 수가 없다는 문제가 생긴다.
따라서 보형성이라는 관점에서, SrO-Y2O3 의2원계 재료의 원재료에서의 SrO의 첨가량의 상한을 정할 필요가 있다. 그리고, 그 결과로서, 생성된 SrO-Y2O3 의2원계 재료에서의 SrO의 비율의 상한을 정할 필요가 있다.
그래서, 실시예 1의 경우와 마찬가지로 하여, SrO-Y2O3 의2원계 재료에서의 Y2O3와 SrO의 전체에 대한 SrO의 비율의 상한을, 상태도에 의거하여 정한다. 본 실 시예에서 사용하는 상태도는, "Phase diagrams of yttrium sesquioxide-strontium oxide and ytterbium sesqui oxide-strontium Oxide systems"(S.G.Treswatskii,e tal., Izv.Akad.Nauk SSSR, Neorg. Mater., 7 [10] 1808-1811 (1971))라는 문헌에, 또한, 동 문헌에 관한 Translation "Inorg.Mater.(Engl.Transl), 7 [10] 1614-1617 (1971)"에, 각각 기재되어 있다.
이미 설명한 바와 같이, 도 3에서 원재료에서의 SrO의 첨가량이 10mol%, 19mol%인 시료는, 생성된 SrO-Y2O3 의2원계 재료로서, 고용체(Sr-Y2O3)와 복합산화물(SrY2O4)로 이루어지는 혼합물이였다. 또한, 이들의 혼합물은, 이 상태도에서는 「C-Y2O3ss+SrY2O4」(Y2O3고용체+SrY2O4을 나타낸다)로 기재된 영역에 상당하고, 이미 설명한 바와 같이 본 발명에 관한 저밀착성 재료에 상당한다.
또한, 이 상태도에 의거하여, SrO-Y2O3 의2원계 재료의 원재료에에서 도 3에 도시된 상태로부터 SrO의 첨가량이 더욱 늘려진 경우를 생각한다. 이 경우에는, 상태도로부터, SrO의 첨가량이 어느 정도의 값이 되면, 생성된 SrO-Y2O3 의2원계 재료가 복합산화물(SrY2O4)이 되는 것을 알 수 있다. 그리고, 상태도로부터, 그 복합산화물(SrY2O4)에서의 SrO의 비율은 50mol%이라고 한다.
여기서, 공기중에서 화학적 안정성에 뒤떨어지는 SrO와 화학적 안정성에 우수한 Y2O3로 이루어지는 복합산화물(SrY2O4)은, SrO 단체에 비하면 성질이나 결정 구조가 완전히 다르고, 공기중에서는 화학적으로 안정하다.
또한, 상태도에 의하면, 시료중에 포함되는 복합산화물(SrY2O4)의 비율은, SrO의 첨가량의 증가에 수반하여 증대한다고 한다. 또한, 도 3으로부터, SrO의 첨가량을 증가시키면 밀착성이 향상하기 대문에, 복합산화물(SrY2O4) 단체는, Y2O3 단체보다 밀착성에 우수한 것이라고 추찰된다. 이상으로부터, 복합산화물(SrY2O4) 단체는 본 발명에 관한 저밀착성 재료에 상당한다고 생각된다.
그런데, 이 상태도에 의하면, SrO의 첨가량을 더욱 증가하여 가면, 생성된 SrO-Y2O3 의2원계 재료에는 SrOss(SrO 고용체)가 포함되는 것을 알 수 있다. 이 경우에는, 공기중에서의 화학적 안정성이 낮다는 성질을 갖는 SrO가 SrO-Y2O3 의2원계 재료에 포함되게 된다. 따라서 공기중에서의 SrO-Y2O3 의2원계 재료의 화학적 안정성이 낮아진다고 생각된다.
또한, 이 상태도에 의거하여, SrO-Y2O3 의2원계 재료의 원재료에서의 SrO의 첨가량이 10mol%의 상태(도 3 참조)로부터 더욱 줄어든 경우를 생각한다. 이 경우에는, 상태도로부터, SrO의 첨가량이 어느 정도의 값이 되면, 생성된 SrO-Y2O3 의2원계 재료가, Y2O3ss(Y2O3 고용체), 즉 고용체(Sr-Y2O3)가 되는 것을 알 수 있다. 상태도에 의하면, 고용체(Sr-Y2O3)는, 열처리 온도가 1970℃인 경우에, Sr0의 비율이 0mol%를 초과하고 또한 1.5mol% 이하인 SrO-Y2O3 의2원계 재료로서 실현될 수 있다.
고용체(Sr-Y2O3)가 본 발명에 관한 저밀착성 재료에서 구하여지는 특성을 충족시키는지의 여부에 관해, SrO-Y2O3 의2원계 재료의 상태도 및 이미 기술한 실험의 결과(도 3을 포함한다) 등으로부터 도출되는 다음의 3점에 의거하여 검토한다.
제 1의 점은, 상태도에 의하면, SrO의 비율은, SrO의 비율이 0mol%인 Y2O3 단체와, 고용체(Sr-Y2O3)와, 고용체(Sr-Y2O3)와 복합산화물(SrY2O4)로 이루어지는 혼합물이라는 순서로, 높아지고 있는 것이다.
제 2의 점은, 염기성을 갖는 물질에 대한 밀착성은, SrO의 비율이 0mol%인 Y2O3 단체로부터 시작되고 SrO의 비율이 늘어남에 따라 저하되는 것이다(도 3 참조).
제 3의 점은, Y2O3 단체와, 고용체(Sr-Y2O3)와 복합산화물(SrY2O4)로 이루어지는 혼합물의 어느것이나, 밀착성과 보형성과의 관점에서 본 발명에 관한 저밀착성 재료에서 구하여지는 특성을 구비하는 것이다.
우선, 특성중, 염기성을 갖는 물질에 대한 밀착성에 관해 검토한다. 이 밀착성은, 낮을수록 바람직하다. SrO의 비율은, Y2O3 단체보다 고용체(Sr-Y2O3)쪽이 높다(상술한 제 1의 점). 또한, 이미 기술한 실험의 결과로부터, 염기성을 갖는 물질에 대한 밀착성은, SrO의 비율이 늘어남에 따라 저하된다(상술한 제 2의 점). 따라서 고용체(Sr-Y2O3)는 Y2O3 단체보다 낮은 밀착성을 갖는다.
한편, 고용체(Sr-Y2O3)보다도 높은 밀착성을 갖는 Y2O3 단체는, 이미 기술한 실험의 결과로부터, 저밀착성 재료에서 구하여지는 낮은 밀착성을 충족시키고 있다(상술한 제 3의 점). 이로써, Y2O3 단체보다 낮은 밀착성을 갖는 고용체(Sr-Y2O3)는, 저밀착성 재료에서 구하여지는 밀착성을 갖고 있다고 말할 수 있다.
다음에, 특성중 보형성에 관해 검토한다. 이 보형성은, 양호한 것이 바람직하다. SrO-Y2O3 의2원계 재료에서는, 공기중에서의 화학적 안정성이 낮다는 성질을 갖는 SrO의 비율이 늘어날수록, 환언하면 Y2O3 단체, 고용체(Sr-Y2O3), 고용체(Sr-Y2O3)와 복합산화물(SrY2O4)로 이루어지는 혼합물의 순서로, 보형성이 열화한다고 생각된다.
또한, 고용체(Sr-Y2O3)보다 보형성이 낮다고 생각되는 상술한 혼합물은, 이미 기술한 실험의 결과로부터, 저밀착성 재료에서 구하여지는 보형성을 갖고 있다(상술한 제 3의 점). 따라서 고용체(Sr-Y2O3)는, 저밀착성 재료에서 구하여지는 높은 보형성을 갖는다고 말할 수 있다. 이상의 검토에 의해, 고용체(Sr-Y2O3)는, 본 발명에 관한 저밀착성 재료에 상당한다고 생각된다.
그런데, SrO의 비율과, 생성된 SrO-Y2O3 의2원계 재료의 종류와의 관계에 관해, 상술한 상태도에 도시된 열처리 온도가 1970℃인 경우를 예로 들어 설명한다. 상태도에 의하면, SrO의 비율이 0mol%를 초과하여 1.5mol% 부근까지는, 고용체(Sr- Y2O3)가 생성된다. 마찬가지로, 1.5mol% 부근부터 50mol% 부근까지는, 고용체(Sr-Y2O3)와 복합산화물(SrY2O4)로 이루어지는 혼합물이 생성된다. 마찬가지로, 50mol%에서는, 복합산화물(SrY2O4) 단체가 생성된다.
또한, 열처리에 의해 생성된 SrO-Y2O3 의2원계 재료중에서, 고용체(Sr-Y2O3)와, 고용체(Sr-Y2O3)와 복합산화물(SrY2O4)로 이루어지는 혼합물과, 복합산화물(SrY2O4)은, 수지 성형틀로서 사용될 때에 가열되는 온도(180℃ 정도)에서도, 또는 실온에서도, 안정하게 존재한다.
따라서 이들의 SrO-Y2O3 의2원계 재료는, 상술한 온도(열처리 온도를 포함한다)에서 양호한 보형성을 갖는다. 이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 의하면, SrO-Y2O3 의2원계 재료로 이루어지고, 실온부터 열처리 온도까지의 범위에서 양호한 보 형성을 갖는 저밀착성 재료를 얻을 수 있다.
그런데, 이들의 SrO-Y2O3 의2원계 재료가 낮은 밀착력을 갖는 것에 관해서는, 실시예 1의 경우와 마찬가지로, 이온 반경과 염기성에 관한 다음의 2개의 이유에 기인하고 있다고 생각된다. 제 1의 이유는, SrO-Y2O3 의2원계 재료가, Y3 +다 큰 이 온 반경을 갖는 물질인 Sr을 포함하는 것이다. 제 2의 이유는, Y2O3보다 강한 염기성을 갖는 산화물인 SrO를 포함하는 것이다.
또한, 여기까지 설명한 바와 같이, 실시예 1, 2에서는, 본 발명에 관한 저밀착성 재료로서 다음의 6개의 재료를 들었다. 그것은, (1) 고용체(La-Y2O3), (2) 고용체(La-Y2O3)와 복합산화물(LaYO3)의 혼합물, (3) 복합산화물(LaYO3), (4) 고용체(Sr-Y2O3), (5) 고용체(Sr-Y2O3)와 복합산화물(SrY2O4)의 혼합물 및 (6) 복합산화물(SrY2O4)의 6개이다. 본 발명에 관한 저밀착성 재료로서는, 상술한 6개의 저밀착 성 재료의 각각에 대해 첨가물로서 다른 물질이 첨가되어도 좋다.
또한, 본 발명에 관한 저밀착성 재료로서는, 상술한 6개의 저밀착성 재료중 2개 이상이 적당한 조합과 적당한 비율로서 혼합됨에 의해 형성되어도 좋다. 이 경우에는, Y2O3와 La와 Sr이라는 3개의 계로 이루어지는 저밀착성 재료, 즉 La2O3-SrO-Y2O3의 3원계 재료가 형성되어도 좋다. 또한, Y2O3와 La와 Sr이라는 3개의 계에 하나 또는 복수의 다른 물질이 가하여진 저밀착성 재료, 즉, 보다 고차원의 다원계 재료라도, 본 발명에 관한 저밀착성 재료로서 사용할 수 있다.
또한, 저밀착성 재료로서는, 다음과 같은 혼합물도 사용될 수 있다. 그것은, 고용체(La-Y2O3), 고용체(La-Y2O3)와 복합산화물(LaYO3)의 혼합물 및 복합산화물(LaYO3)중 적어도 하나와, 제 1의 재료인 Y2O3 단체와의 혼합물이다. 또한, 고용체(Sr-Y2O3), 고용체(Sr-Y2O3)와 복합산화물(SrY2O4)의 혼합물 및 복합산화물(SrY2O4)중 적어도 하나와, 제 1의 재료인 Y2O3 단체와의 혼합물도 사용할 수 있다.
또한, 제 2의 재료로서, 제 1의 재료(Y2O3)에 포함되는 Y의 이온인 Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함하는 것과, Y2O3보다 강한 염기성을 갖는 것의 어느 하나의의 조건도 충족시킨 산화물에 관해 설명하였다. 그렇지만, 제 2의 재료는, 이것으로 한하지 않고, 염기성을 갖는 물질의 특성이나, 필요하게 되는 저밀착성의 정도에 의해서는, 제 2의 재료로서 다음과 같은 산화물을 채용할 수도 있다. 그 산화물이란, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함한다는 조건 및 Y2O3보다 강한 염기성을 갖는다는 조건중, 적어도 한쪽을 충족시키는 산화물이다.
또한, 실시예 1, 2에서는, 본 발명에 관한 저밀착성 재료는, Y2O3에 산화물이 첨가되어 생성된다. 그리고, Y2O3에 첨가되는 산화물에는, Y2O3에 포함되는 Y의 이온인 Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질이 포함되고, 그 물질로서 La와 Sr를 설명하였다. 본 발명의 저밀착성 재료는, 이것으로 한하지 않고, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질로서 La와 Sr의 어느것과도 다른 물질을 포함하는 산화물을, Y2O3에 첨가한 것이라도 좋다. 그와 같은 산화물을 사용하여 생성된 재료도, 본 발명에 관한 저밀착성 재료가 될 수 있다.
또한, 제 1의 재료인 Y2O3에 대해 제 2의 재료(첨가물)의 첨가량의 하한에 관해, 설명한다. 도 2 및 도 3로부터 분명한 바와 같이, Y2O3에 대해 첨가물이 첨가되면, 염기성을 갖는 물질에 대한 밀착력이 저하된다. 따라서, 제 1의 재료인 Y2O3에 대한 제 2의 재료(첨가물)의 첨가가, 밀착력의 저하라는 본 발명의 효과를 생기게 하게 된다. 환언하면, 제 2의 재료(첨가물)의 비율이 0mol%를 초과하고 있는 것이, 제 2의 재료의 비율의 하한이 될 수 있다.
실시예 3
본 발명의 실시예 3에 관한 수지 성형틀을, 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다. 도 4는 본 실시예에 관한 수지 성형틀을, 도 5은 도 4의 수지 성형틀의 변형예를, 각각 도시하는 단면도이다. 이하에 도시되는 어느 도면에서도, 알기 쉽게 하기 위해 과장하여 그려져 있다.
또한, 본 실시예에서는, 수지 성형 방법의 예로서 트랜스퍼 성형이 이용되고, 기판에 장착된 칩을 에폭시 수지에 의해 수지 밀봉하는 경우를 설명한다. 이 수지 밀봉에서는, 와이어에 의해 배선된 칩을 캐비티에 수용하고, 클로징한 상태에서 캐비티에 유동성 수지를 충전하고, 유동성 수지를 경화시켜서 경화수지를 형성하고, 기판과 경화수지를 갖는 성형체(패키지)를 완성시킨다.
도 4 및 도 5에 도시되어 있는 상형(1)와 하형(2)은, 아울러서 수지 밀봉형을 구성한다. 또한, 상형(1)이, 본 발명에 관한 수지 성형틀에 상당한다. 상형(1)은, 본 발명의 예를 들면 실시예 1에 관한 저밀착성 재료, 즉 고용체(La-Y2O3)로 이루어지는 고이형성 재료(3)에 의해 구성되어 있다.
또한, 상형(1)에는, 유동성 수지(도시 생략)이 유동하는 수지 유로(4)와, 유 동성 수지가 충전된 캐비티(5)가, 오목부 형상으로 마련되어 있다. 따라서 수지 유로(4)와 캐비티(5)에서의 형면(6), 즉, 수지 성형틀중 유동성 수지가 접촉하는 형면(6)에서는, 고이형성 재료(3)가 노출하여 있게 된다.
한편, 하형(2)은, 공구강 등에 의해 구성되어 있고, 그상에는 리드 프레임, 프린트 기판 등으로 이루어지는 기판(7)이 재치되어 있다. 기판(7)상에는 칩(8)이 장착되고, 기판(7)과 칩(8)의 전극(모두 도시 생략)끼리가 와이어(9)에 의해 전기적으로 접속되어 있다.
도 4 및 도 5에 도시된 수지 성형틀의 동작을 설명한다. 우선, 하형(2)의 위에 위치 결정하여 기판(7)을 배치하고, 흡착 등의 방법에 의해 기판(7)을 고정한다. 다음에, 상형(1)을 하강시켜서 하형(2)과의 클로징을 완료시킨다. 다음에, 플런저(도시 생략)을 사용하여 열경화성 수지로 이루어지고 일정한 점성을 갖는 유동성 수지를 가압함에 의해, 수지 유로(4)을 경유하여 캐비티(5)에 유동성 수지를 충전한다.
다음에, 상형(1)과 하형(2)에 마련된 히터(도시 생략)을 사용하여, 유동성 수지를 가열하고 이것을 경화시킴에 의해, 경화수지를 형성한다. 다음에, 상형(1)을 상승시켜서 오프닝을 행하고, 경화수지에 의해 기판(7)과 칩(8)과 와이어(9)가 일체적으로 밀봉된 성형품을 취출한다.
여기서, 본 실시예에 관한 수지 성형틀의 특징은, 수지 성형틀중 유동성 수지에 대해 접촉하는 상형(1)이, 실시예 1에서 설명한 고용체(La-Y2O3)로 이루어지는 고이형성 재료(3)에 의해 구성되어 있는 것이다. 이로써, 상형(1)중 유동성 수지가 접촉하는 형면(6)이, 고이형성 재료(3)에 의해 구성되어 있게 된다.
또한, 고이형성 재료(3)는, 유동성 수지가 경화하여 형성된 경화수지에 대한 우수한 저밀착성을 갖고 있음과 함께, 화학적으로 안정한 물질이다. 이 저밀착성에 기인하여, 경화수지에 대한 우수한 이형성과, 경화수지로 이루어지는 오염이 형면에 부착하기 어려운 특성과, 형면에 부착한 오염이 제거되기 쉬운 특성이 생긴다. 따라서 본 실시예에 의하면, 이젝트 기구를 필요로 하지 않고 장시간에 걸쳐서 우수한 이형성을 유지하고, 또한, 클리닝의 빈도를 저감할 수 있는 수지 성형틀이 실현된다. 또한, Cr, TiC, CrN 등과 같은 금속계 재료를 형면에 성막하는 경우에 비교하여, 이형성에 우수한 수지 성형틀이 실현된다.
또한, Y2O3와 La2O3로 생성된 고용체(La-Y2O3)와 같은, 산화물로 생성된 세라믹스계 재료는, 우수한 내마모성을 갖는다. 따라서 유기 재료를 형면에 코팅하는 경우에 생기는 그 유기 재료의 마모라는 문제도 발생하지 않는다.
본 실시예에 관한 수지 성형틀은, 실시예 1에서 제조된, 수지 유로(4), 캐비티(5) 등의 소정의 형상을 갖는 저밀착성 재료(고용체(La-Y2O3))에 대해, 부착 구멍 등의 필요한 가공을 행함에 의해 제조된다. 또한, 더욱 정밀한 형상이 필요하면, 블록상태의 저밀착성 재료, 또는, 소성에 의해 소정의 형상이 대략적으로 형성된 저밀착성 재료에 대해, 절삭가공 등에 의한 정밀 가공을 행하여도 좋다. 이로써, 예를 들면, 도 4 및 도 5의 상형(1)을 완성시킬 수 있다.
도 4에 도시되는 수지 성형틀의 변형예에 관해, 도 5를 참조하여 설명한다. 상형(10)은, 본 변형예에 관한 수지 성형틀이다. 수지 성형틀(10)은, 상형(10)에서, 종래의 수지 성형틀용 재료(공구강 등)로 이루어지는 성형틀 본체(11)가 사용되고 있음과 함께, 성형틀 본체(11)의 표면에서 실시예 1에 관한 저밀착성 재료(고용체(La-Y2O3))로 이루어지는 층상(막형상)의 이형층(12)이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
이 이형층(12)은, 주지하는 방법, 예를 들면, 진공 증착, 전자빔 증착, 스퍼터링, 플라즈마 용사, 이온 플레팅 등의 PVD(Physical Vapor Deposition), CVD(Chemical Vapor Deposition), 또는 시트형상 재료의 소성(燒成) 등의 방법중, 적절한 방법에 의해 형성된다. 형면(6)에서 이 이형층(12)이 존재함에 의해, 도 4에 도시된 수지 성형틀에 의해 얻어지는 효과와 같은 효과를 얻을 수 있다. 여기서, 실시예 1에 관한 저밀착성 재료는, 적어도 형면(6)에 형성되어 있으면 좋다. 이로써, 형면(6)에서, 경화수지에 대한 우수한 저밀착성, 즉 낮은 이형성이 실현된다.
본 변형예에서는, 저밀착성 재료로 이루어지는 이형층(12)의 두께를 적당하게 정할 수 있다. 저밀착성만을 고려하면, 이형층(12)은, 저밀착성 재료로 이루어지는 단위 격자가 형성될 정도의 두께(수㎚ 정도)를 갖고 있으면 된다. 그러나, 내구성 등을 고려하면, 실제로 수지 성형틀의 형면(6)을 구성하는 이형층(12)이 소정의 두께(예를 들면, 수 100㎛ 정도)를 갖고 있는 것이 바람직하다.
그런데, 본 변형예에서는, 공구강 등 이외의 재료에 의해 성형틀 본체(11)을 구성할 수도 있다. 예를 들면, 성형틀 본체(11)을, WC(텅스텐 카바이드)을 포함하는 초경합금이나, 3YSZ(3mol% 이트리아 안정화 산화지르코늄) 등으로 이루어지는 세라믹스계 재료에 의해 구성하여도 좋다.
또한, 본 실시예(변형예를 포함한다)에서는, 수지 성형틀의 형면을 구성하는 저밀착성 재료로서, 상술한 실시예 1에 관한 저밀착성 재료, 즉 고용체(La-Y2O3)에 관해 설명하였다. 본 발명의 저밀착성 재료는 이것으로 한하지 않고, 실시예 1 내지 2에서 설명된 저밀착성 재료를 채용하여도 좋다. 또한, 실시예 1 내지 2에서 설명된 저밀착성 재료에 대해 첨가물로서 다른 물질이 첨가된 재료를, 형면을 구성한 저밀착성 재료로서 채용하여도 좋다.
또한, 실시예 1 내지 2에서 설명된 저밀착성 재료중 2개 이상이 적당한 조합과 적당한 비율로서 혼합됨에 의해 형성된 재료를, 형면을 구성하는 저밀착성 재료로서 채용하여도 좋다. 또한, Y2O3에, Y3 +보다 큰 이온 반경을 갖는 물질로서 La와 Sr의 어느것과도 다른 물질을 포함하는 산화물을 첨가한 재료를, 형면을 구성하는 저밀착성 재료로서 채용하여도 좋다. 이들의 경우에도, 본 실시예 및 변형예에 의해 얻어지는 효과와 같은 효과를 얻을 수 있다.
또한, 수지 성형틀의 형면을 저밀착성 재료에 의해 구성하는 경우에는, 블록상태(직육면체형상)의 저밀착성 재료를, 캐비티의 저면 또는 천면을 구성하는 캐비티 블록으로서 사용하여도 좋다
또한, 본 실시예에서는, 기판(7)에 장착된 칩(8)을 수지 밀봉할 때에 사용되는 수지 성형틀을 예로 들어 설명하였다. 본 발명의 수지 성형틀은, 이것으로 한하지 않고, 일반적인 트랜스퍼 성형, 압축 성형, 사출 성형 등과 같이, 캐비티(5)에 유동성 수지가 충전된 상태에서, 그 유동성 수지를 경화시켜서 성형체를 제조할 때에 사용되는 수지 성형틀에 대해, 본 발명을 적용할 수 있다.
또한, 수지 성형틀중, 유동성 수지가 접촉하는 형면(6)의 전부가 고이형성 재료에 의해 구성되는 것으로 하였다. 본 발명의 수지 성형틀은, 이것으로 한하지 않고, 유동성 수지가 접촉하는 형면(6)의 일부, 예를 들면, 캐비티(5)에서의 내저면(도 4 및 도 5에서의 윗면)이 고이형성 재료에 의해 구성되는 것으로 하여도 좋다.
또한, 본 발명에 관한 저밀착성 재료를 사용한 수지 성형틀에 관해 설명하였다. 본 발명의 저밀착성 재료의 용도는 이것으로 한하지 않고, 저밀착성 재료를, 수지 성형틀 이외의 용도에, 즉, 염기성을 갖는 물질에 대한 젖음성이 낮은 것이 요구되는 다른 용도에, 사용할 수 있다. 구체적으로는, 이와 같은 저밀착성 재료를, 부재 등에서의 유동성 수지가 접촉하는 부분의 코팅 등에 사용할 수 있다.
또한, 본 발명에 관한 저밀착성 재료는, 수지 이외의 물질로서 염기성을 갖는 물질에 대한 저밀착성이 요구되는 용도에 사용되는 것이 가능하다. 예를 들면, 이와 같은 저밀착성 재료를, 유기물로 이루어지는 오염의 부착을 방지하는 기능을 갖는 재료로서 사용할 수 있다. 구체적으로는, 건물의 외요 등에 사용되는 건축 재료, 욕조, 위생 도기나 이것에 유사한 기기 등의 재료로서 사용하는 것이 생각된 다. 또한, 이들의 용도에 사용되는 부재의 표면을 코팅하는 재료로서, 본 발명에 관한 저밀착성 재료를 사용하여도 좋다.
또한, 전술의 저밀착성 재료(3)는, 유기물로 이루어지는 오염의 부착을 방지하는 기능을 갖는 방오성 재료로서도 이용될 수 있는 것이다.
본 발명을 상세히 설명하여 나타내어 왔지만, 이것은 예시를 위한 것일 뿐이여서, 한정으로 취하면 않되고, 발명의 범위는 첨부한 청구의 범위에 의해서만 한정되는 것이 분명히 이해될 것이다.

Claims (18)

  1. 염기성을 갖는 물질에 대한 낮은 밀착성을 가지며 소결체로 이루어지는 저밀착성 재료(3)로서,
    상기 저밀착성 재료(3)는, 산화물로 이루어지는 2종류의 재료로서 Y2O3로 이루어지고 원재료를 이루는 성분 중 가장 많이 포함된 성분인 제 1의 재료와 제 2의 재료를 포함하고, 또한, 상기 제 1의 재료와 상기 제 2의 재료의 전체에 대한 상기 제 2의 재료의 비율이 0mol%를 넘으며 또한 소정의 상한치 이하의 값인 경우에 보형성을 갖음과 함께,
    상기 제 2의 재료는, Y3+보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함한다는 조건 및 상기 제 1의 재료보다 강한 염기성을 갖는다는 조건중 적어도 한쪽을 충족시키고 있고, 또한, La2O3 및 SrO의 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 저밀착성 재료(3).
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 저밀착성 재료(3)는, 상기 제 1의 재료와 상기 제 2의 재료로 생성된 고용체를 적어도 포함하는 것을 특징으로 하는 저밀착성 재료(3).
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 저밀착성 재료(3)는, 상기 제 1의 재료와 상기 제 2의 재료로 생성된 복합산화물을 적어도 포함하는 것을 특징으로 하는 저밀착성 재료(3).
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2의 재료는 La2O3로 이루어지고,
    상기 저밀착성 재료(3)는, Y2O3와 La2O3로 생성된 고용체와, Y2O3와 La2O3로 생성된 복합산화물을 적어도 포함하는 혼합물인 것을 특징으로 하는 저밀착성 재료(3).
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2의 재료는 SrO로 이루어지고,
    상기 저밀착성 재료(3)는, Y2O3와 SrO로 생성된 고용체와, Y2O3와 SrO로 생성된 복합산화물을 적어도 포함하는 혼합물인 것을 특징으로 하는 저밀착성 재료(3).
  8. 염기성을 갖는 물질에 대한 낮은 밀착성을 가지며 소결체로 이루어지는 저밀착성 재료(3)로서,
    상기 저밀착성 재료(3)는, 산화물로 이루어지는 재료로서 Y2O3로 이루어지고 원재료를 이루는 성분 중 가장 많이 포함된 성분인 제 1의 재료와 해당 제 1의 재료 이외의 복수의 재료를 포함하고, 또한, 상기 제 1의 재료와 상기 복수의 재료의 전체에 대한 상기 복수의 재료의 각각의 비율이 0mol%를 넘으며 또한 소정의 상한치 이하의 값인 경우에 보형성을 갖음과 함께,
    상기 복수의 재료의 각각은, Y3+보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함한다는 조건 및 상기 제 1의 재료보다 강한 염기성을 갖는다는 조건중 적어도 한쪽을 충족시키는 것을 특징으로 하는 저밀착성 재료(3).
  9. 캐비티가 마련되고, 상기 캐비티에 충전되어 있으며 또한 염기성을 갖는 유동성 수지를 경화시켜서 경화수지를 형성하는 경우에 사용됨과 함께, 상기 유동성 수지가 접촉하는 면으로 이루어지는 형면(6)과 상기 경화수지 사이에서의 낮은 밀착성을 갖는 수지 성형틀(1)로서,
    상기 형면(6)의 적어도 일부가 소결체로 이루어지는 저밀착성 재료(3)로 구성되고,
    상기 저밀착성 재료(3)는, 산화물로 이루어지는 2종류의 재료로서 Y2O3로 이루어지고 원재료를 이루는 성분 중 가장 많이 포함된 성분인 제 1의 재료와 제 2의 재료를 포함하고, 또한, 상기 제 1의 재료와 상기 제 2의 재료의 전체에 대한 상기 제 2의 재료의 비율이 0mol%를 넘으며 또한 소정의 상한치 이하의 값인 경우에 보형성을 갖음과 함께,
    상기 제 2의 재료는, Y3+보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함한다는 조건 및 상기 제 1의 재료보다 강한 염기성을 갖는다는 조건중 적어도 한쪽을 충족시키고 있고, 또한, La2O3 및 SrO의 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수지 성형틀(1).
  10. 캐비티가 마련되고, 상기 캐비티에 충전되어 있고 염기성을 갖는 유동성 수지를 경화시켜서 경화수지를 형성하는 경우에 사용됨과 함께, 상기 유동성 수지가 접촉하는 면으로 이루어지는 형면(6)과 상기 경화수지 사이에서 낮은 밀착성을 갖는 수지 성형틀(1)로서,
    상기 형면(6)의 적어도 일부가 소결체로 이루어지는 저밀착성 재료(3)로 구성되고,
    상기 저밀착성 재료(3)는, 산화물로 이루어지는 재료로서 Y2O3로 이루어지고 원재료를 이루는 성분 중 가장 많이 포함된 성분인 제 1의 재료와 해당 제 1의 재료 이외의 복수의 재료를 포함하고, 상기 제 1의 재료와 상기 복수의 재료의 전체에 대한 상기 복수의 재료의 각각의 비율이 0mol%를 넘으며 또한 소정의 상한치 이하의 값인 경우에는 보형성을 갖음과 함께,
    상기 복수의 재료의 각각은, Y3+보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함한다는 조건 및 상기 제 1의 재료보다 강한 염기성을 갖는다는 조건중 적어도 한쪽을 충족시키는 것을 특징으로 하는 수지 성형틀(1).
  11. 유기물로 이루어지는 오염의 부착을 방지하는 기능을 가지며 소결체로 이루어지는 방오성 재료(3)로서,
    상기 방오성 재료(3)는, 산화물로 이루어지는 2종류의 재료로서 Y2O3로 이루어지고 원재료를 이루는 성분 중 가장 많이 포함된 성분인 제 1의 재료와 제 2의 재료를 포함하고, 또한, 상기 제 1의 재료와 상기 제 2의 재료의 전체에 대한 상기 제 2의 재료의 비율이 0mol%를 넘으며 또한 소정의 상한치 이하의 값인 경우에 보형성을 갖음과 함께,
    상기 제 2의 재료는, Y3+보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함한다는 조건 및 상기 제 1의 재료보다 강한 염기성을 갖는다는 조건중 적어도 한쪽을 충족시키고 있고, 또한, La2O3 및 SrO의 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방오성 재료(3).
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 방오성 재료는, 상기 제 1의 재료와 상기 제 2의 재료로 생성된 고용체를 적어도 포함하는 것을 특징으로 하는 방오성 재료(3).
  13. 제 11항에 있어서,
    상기 방오성 재료(3)는, 상기 제 1의 재료와 상기 제 2의 재료로 생성된 복합산화물을 적어도 포함하는 것을 특징으로 하는 방오성 재료(3).
  14. 제 11항에 있어서,
    상기 제 2의 재료는 La2O3로 이루어지고,
    상기 방오성 재료(3)는, Y2O3와 La2O3로 생성된 고용체와, Y2O3와 La2O3로 생성된 복합산화물을 적어도 포함하는 혼합물인 것을 특징으로 하는 방오성 재료(3).
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 제 11항에 있어서,
    상기 제 2의 재료는 SrO로 이루어지고,
    상기 방오성 재료(3)는, Y2O3와 SrO로 생성된 고용체와, Y2O3와 SrO로 생성된 복합산화물을 적어도 포함하는 혼합물인 것을 특징으로 하는 방오성 재료(3).
  18. 유기물로 이루어지는 오염의 부착을 방지하는 기능을 가지며 소결체로 이루어지는 방오성 재료(3)로서,
    상기 방오성 재료(3)는, 산화물로 이루어지는 재료로서 Y2O3로 이루어지고 원재료를 이루는 성분중 가장 많이 포함된 성분인 제 1의 재료와 해당 제 1의 재료 이외의 복수의 재료를 포함하고, 또한, 상기 제 1의 재료와 상기 복수의 재료의 전체에 대한 상기 복수의 재료의 각각의 비율이 0mol%를 넘으며 또한 소정의 상한치 이하의 값인 경우에 보형성을 갖음과 함께,
    상기 복수의 재료의 각각은, Y3+보다 큰 이온 반경을 갖는 물질을 포함한다는 조건 및 상기 제 1의 재료보다 강한 염기성을 갖는다는 조건중 적어도 한쪽을 충족시키는 것을 특징으로 하는 방오성 재료(3).
KR1020077027278A 2006-01-26 2006-12-27 저밀착성 재료, 수지 성형틀 및 방오성 재료 KR100961798B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2006-00017335 2006-01-26
JP2006017335A JP3974152B2 (ja) 2006-01-26 2006-01-26 低密着性材料、樹脂成形型及び防汚性材料

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020097013884A Division KR20090082293A (ko) 2006-01-26 2006-12-27 저밀착성 재료, 수지 성형틀 및 방오성 재료

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080015803A KR20080015803A (ko) 2008-02-20
KR100961798B1 true KR100961798B1 (ko) 2010-06-08

Family

ID=38309029

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020097013884A KR20090082293A (ko) 2006-01-26 2006-12-27 저밀착성 재료, 수지 성형틀 및 방오성 재료
KR1020077027278A KR100961798B1 (ko) 2006-01-26 2006-12-27 저밀착성 재료, 수지 성형틀 및 방오성 재료

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020097013884A KR20090082293A (ko) 2006-01-26 2006-12-27 저밀착성 재료, 수지 성형틀 및 방오성 재료

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20080296532A1 (ko)
EP (1) EP1978005A4 (ko)
JP (1) JP3974152B2 (ko)
KR (2) KR20090082293A (ko)
CN (1) CN101238081A (ko)
TW (1) TW200730467A (ko)
WO (1) WO2007086228A1 (ko)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3996138B2 (ja) * 2004-03-26 2007-10-24 Ｔｏｗａ株式会社 低密着性材料及び樹脂成形型
JP4230492B2 (ja) 2006-04-11 2009-02-25 Ｔｏｗａ株式会社 低密着性材料、樹脂成形型及び防汚性材料
JP5554898B2 (ja) * 2008-03-24 2014-07-23 Ｔｏｗａ株式会社 低密着性材料及びその製造方法、成形型及びその製造方法、並びに、防汚性材料及びその製造方法
JP5561992B2 (ja) * 2009-10-09 2014-07-30 Ｔｏｗａ株式会社 低密着性材料、防汚性材料、成形型、及び、それらの製造方法
US10376092B2 (en) * 2014-08-08 2019-08-13 Pullman Espresso Accessories Coffee tamper with step design

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1449899A (fr) * 1965-07-09 1966-05-06 Combustible Nucleaire Matériau réfractaire résistant aux métaux liquides réactifs, tels que l'uranium
US4040845A (en) * 1976-03-04 1977-08-09 The Garrett Corporation Ceramic composition and crucibles and molds formed therefrom
US4115134A (en) * 1977-07-11 1978-09-19 Gte Laboratories Incorporated Transparent yttria ceramics and method for producing same
EP0204674B1 (en) * 1985-06-06 1991-12-27 Remet Corporation Casting of reactive metals into ceramic molds
US4769353A (en) * 1986-11-04 1988-09-06 General Electric Company Strontium-containing yttrium oxide ceramic body
US4761390A (en) * 1987-02-02 1988-08-02 Raytheon Company Optically transparent yttrium oxide
JPH04164859A (ja) * 1990-10-30 1992-06-10 Onoda Cement Co Ltd 軽希土類酸化物焼結体、その製造方法及びそれよりなるルツボ
US5494866A (en) * 1991-06-17 1996-02-27 Alliedsignal Inc. Stress-rupture resistant sintered silicon nitride
JP2500631B2 (ja) * 1993-07-23 1996-05-29 品川白煉瓦株式会社 ＭｇＯ部分安定化ＺｒＯ２焼結体製ダイス又はニップル
JP4240516B2 (ja) * 1998-11-26 2009-03-18 Ｔｏｔｏ株式会社 防汚性部材
JP2005193610A (ja) * 2004-01-09 2005-07-21 Towa Corp 複合材料及び樹脂成形型
JP4518808B2 (ja) * 2004-02-09 2010-08-04 Ｔｏｗａ株式会社 導電性多孔質材料、その材料からなる樹脂成形型、及びその材料の製造方法
JP3996138B2 (ja) * 2004-03-26 2007-10-24 Ｔｏｗａ株式会社 低密着性材料及び樹脂成形型
JP2006131429A (ja) * 2004-11-02 2006-05-25 Towa Corp 低密着性材料及び樹脂成形型
DE102006027958A1 (de) * 2006-06-14 2007-12-20 Schott Ag Optokeramiken, daraus hergestellte optische Elemente sowie Abbildungsoptiken

Also Published As

Publication number Publication date
EP1978005A1 (en) 2008-10-08
CN101238081A (zh) 2008-08-06
US20080296532A1 (en) 2008-12-04
WO2007086228A1 (ja) 2007-08-02
JP2007197251A (ja) 2007-08-09
TWI339198B (ko) 2011-03-21
JP3974152B2 (ja) 2007-09-12
KR20080015803A (ko) 2008-02-20
TW200730467A (en) 2007-08-16
EP1978005A4 (en) 2011-05-25
KR20090082293A (ko) 2009-07-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100961798B1 (ko) 저밀착성 재료, 수지 성형틀 및 방오성 재료
KR100840831B1 (ko) 수지 성형용 틀
EP2955156A1 (en) Aluminum nitride powder
KR100923623B1 (ko) 저밀착성 재료, 수지 성형틀 및 방오성 재료
EP2418240B1 (en) Anti-thermally-expansive resin and anti-thermally-expansive metal
KR101317745B1 (ko) 반도체 밀봉용 에폭시 수지 조성물 및 반도체 장치
KR102216969B1 (ko) 에폭시 수지 조성물, 그 용도 및 에폭시 수지 조성물용 충전재
DE102019117534B4 (de) Anorganisches Verkapselungsmittel für eine elektronische Komponente mit Haftvermittler
JP5561992B2 (ja) 低密着性材料、防汚性材料、成形型、及び、それらの製造方法
JP5554898B2 (ja) 低密着性材料及びその製造方法、成形型及びその製造方法、並びに、防汚性材料及びその製造方法
JP2006131429A5 (ko)
RU2518032C1 (ru) Композиция для материала смачиваемого покрытия катода алюминиевого электролизера
TWI602795B (zh) 製備三維列印陶瓷及矽基金屬氧化物複合材料的方法
CN108117721A (zh) 透明环氧树脂组合物及光半导体装置
JPH01282264A (ja) 熱伝導性高分子成形材料
JP2007187678A (ja) 密着性の評価方法
KR102601431B1 (ko) 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물 및 이를 이용하여 밀봉된 반도체 장치
KR102645116B1 (ko) 세라믹 방열부재 및 세라믹 방열부재의 제조방법
EP4043124A1 (en) Additive manufacturing powder, method for producing same, additive manufactured product, and metal sintered body
JP2787463B2 (ja) 電子部品封止成形物
Verma et al. Development and thermal behavior of zirconia filled polyester composites
JPH0129813B2 (ko)

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
A107 Divisional application of patent
AMND Amendment
B601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial
E801 Decision on dismissal of amendment
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20090624

Effective date: 20100304

S901 Examination by remand of revocation
GRNO Decision to grant (after opposition)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130402

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee