KR100933039B1 - Dmd를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템 - Google Patents
Dmd를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (2)
- 광선을 조사하는 UV 광원(UV light source)과, 힌지를 중심으로 사선방향으로 각도 조절되고 상기 UV 광원으로부터 입사되는 광선을 반사시키기 위한 DMD(digital micromirror device)가 구비된 노광 엔진(exposure engine)과, 상기 노광 엔진의 하부에 배치되어 노광을 위해 가로 방향으로 움직이는 스테이지를 포함하는 DMD를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템에 있어서,상기 광원에서 나온 광선을 22.5도의 입사각과 22.5도의 반사각으로 반사시키기 위한 45도 반사거울;상기 45도 반사거울에 의해 반사된 광선을 두 방향으로 분리하기 위한 큐브형 빔 분할기; 및상기 큐브형 빔 분할기에 의해 분리된 광선을 반사시켜 상기 노광 엔진의 DMD에 입사시키기 위한 90도 반사거울;을 포함하는 것을 특징으로 하는 DMD를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 스테이지 상에 DMD가 구비된 노광 엔진이 추가되는 경우, 입사각이 22.5도이고 반사각이 22.5도인 45도 반사거울에 의해 반사된 광선을 분리하기 위한 하나의 큐브형 빔 분할기와, 상기 큐브형 빔 분할기에 의해 분리된 광선을 상기 추가된 노광 엔진의 DMD에 입사시키기 위한 하나의 90도 반사거울이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 DMD를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템.
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