KR100933039B1 - Ｄｍｄ를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템 - Google Patents

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Abstract

최근, DMD(Digital Micromirror Device)를 이용하여 포토 마스크 없이 바로 노광할 수 있는 기술이 개발되고 있으나, 이는 DMD를 포함하는 각 노광 엔진마다 광원(UV light source)을 배치해야 한다. 즉, 노광 엔진이 늘어남에 따라 광원도 함께 늘어나기 때문에 노광 시스템 전체의 부피가 커지고 제작비용이 늘어나는 문제점이 있다. 특히 여러 개 광원의 광량을 제어하기가 쉽지 않다.
본 발명은 상기 광원에서 나온 광선을 22.5도의 입사각과 22.5도의 반사각으로 반사시키기 위한 45도 반사거울과, 상기 45도 반사거울에 의해 반사된 광선을 두 방향으로 분리하기 위한 큐브형 빔 분할기 및 상기 큐브형 빔 분할기에 의해 분리된 광선을 반사시켜 상기 노광 엔진의 DMD에 입사시키기 위한 90도 반사거울을 구비하여, 노광 시스템의 세팅이 쉬워지고, 또한 노광 시스템의 확장이 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 DMD를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템이 특징이다.
노광, DMD, UV 광원, 반사거울, 빔 분할기, 노광 엔진.

Description

ＤＭＤ를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템{Exposure system of maskless type using Digital Micromirror Device}
본 발명은 DMD를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템에 관한 것이다. 특히 본 발명은 광원에서 입사되는 광선을 반사거울로 반사시킨 후 큐브형 빔 분할기로 분리시켜 노광 엔진의 DMD에 입사시켜 노광을 실시함으로써 노광 시스템의 세팅이 쉬워지고, 또한 노광 시스템의 확장이 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 DMD를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 노광 시스템(exposure system)은 PDP, 샤도우 마스크(Shadow Mask), PCB, 컬러 필터(Color Filter), LCD, 반도체 등을 제조하는 과정에서 사용되는 것으로서 마스크와 광학계, 조정용 스테이지 및 자외선을 이용하여 기판에 패널을 형성하는 시스템이다.
그 일 예로는 LCD 패널에 ITO 막을 소정 패턴 형태로 코팅하여 형성시키는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 작업자는 LCD 패널 즉, 유리기판상에 ITO 막을 형성한다. 상기 ITO 막은 코팅기술에 의해 형성되거나 별도의 ITO 필름이 유리기판상에 부착될 수도 있다.
그런 다음 상기 ITO 막 위에 포토레지스트 막을 마련한 뒤 소정의 마스크패턴을 포토레지스트 막에 대응되게 위치시킨 뒤 UV 램프를 이용하여 상기 포토 레지스트 막을 마스크 패턴에 따라 노광시키게 된다.
그리고 나서 포토레지스트 막의 노광된 부분을 현상하여 제거한다.
이어서 현상에 의해 제거된 포토레지스트 막 패턴을 통해 노출된 ITO 막을 에칭 공정에 의해 제거한 다음 포토레지스트 패턴을 제거하면 유리기판상에 ITO 막이 패턴으로 형성되게 된다.
상기와 같이 포토 리소그라피(photo lithography) 방법에 의해 유리기판 위에 ITO 막으로 패턴을 형성하는 경우 그 공정이 까다롭고 복잡하여 긴 제조시간을 필요로 하고 제조비용이 증가한다.
이를 감안하여 최근에는 DMD(Digital Micromirror Device)를 이용하여 포토 마스크 없이 바로 노광할 수 있는 기술이 개발되고 있으나, 이는 DMD를 포함하는 각 노광 엔진마다 광원(UV light source)을 배치해야 한다.
즉, 노광 엔진이 늘어남에 따라 광원도 함께 늘어나기 때문에 노광 시스템 전체의 부피가 커지고 제작비용이 늘어나는 문제점이 있다.
특히 광원이 다수인 경우 광량 제어가 쉽지 않다.
본 발명은 마스크리스 방식의 노광 시스템에서 노광 엔진의 수에 관계없이 하나의 광원만을 사용함으로써 시스템 구조를 간소화하여 시스템 전체의 부피를 줄이고 시스템의 제작비용을 대폭 줄일 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 DMD를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템은,
광선을 조사하는 UV 광원(UV light source)과, 힌지를 중심으로 사선방향으로 각도 조절되고 상기 UV 광원으로부터 입사되는 광선을 반사시키기 위한 DMD(digital micromirror device)가 구비된 노광 엔진(exposure engine)과, 상기 노광 엔진의 하부에 배치되어 노광을 위해 가로 방향으로 움직이는 스테이지를 포함하는 DMD를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템에 있어서,
상기 광원에서 나온 광선을 22.5도의 입사각과 22.5도의 반사각으로 반사시키기 위한 45도 반사거울;
상기 45도 반사거울에 의해 반사된 광선을 두 방향으로 분리하기 위한 큐브형 빔 분할기; 및
상기 큐브형 빔 분할기에 의해 분리된 광선을 반사시켜 상기 노광 엔진의 DMD에 입사시키기 위한 90도 반사거울;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 스테이지 상에 DMD가 구비된 노광 엔진이 추가되는 경우, 입사각이 22.5도이고 반사각이 22.5도인 45도 반사거울에 의해 반사된 광선을 분리하기 위한 하나의 큐브형 빔 분할기와,
상기 큐브형 빔 분할기에 의해 분리된 광선을 상기 추가된 노광 엔진의 DMD에 입사시키기 위한 하나의 90도 반사거울이 더 구비되는 것이 바람직하다.
따라서 본 발명에 의하면, DMD를 이용한 마스크리스 노광 광학계를 설계하는 경우 DMD의 특성인 45도로 움직이는 반사거울의 구조를 감안하여 반드시 DMD에 입사하는 광선을 45도 방향으로 해야 하기 때문에 노광되는 부분과 광학계가 서로 45도의 각만큼 차이가 생기게 되어 공간낭비 및 장비의 대형화를 피할 수 없으나, 본 발명은 광원에서 나온 광선을 반사거울에 의해 45도만 반사시키게 됨으로써 전체적인 광학 시스템이 차지하는 공간을 절약할 수 있다.
또한, 본 발명은 큐브형 빔 분할기를 이용하여 광선을 분리시켜 투과되는 광선이 진행방향에 대해 위치 편차를 일으키지 않으므로 광학 시스템의 세팅이 쉬워지고 노광 엔진을 추가시키는 경우에도 광학계의 확장이 용이하다.
도 1은 본 발명에 의한 실시 예를 보인 광학계의 도식으로서 본 발명에 의한 노광 시스템은 45도 반사거울(M1) 및 큐브형 빔 분할기(BS) 등을 이용하여 하나의 광원(UV light source)에서 나온 광선을 두 개의 노광 엔진(exposure engine)에 구비된 DMD(DMD1)(DMD2)에 입사시키는 광학계를 보여주고 있다.
즉, 하나의 광원(UV light source)에서 나온 광선은 반사거울(M1)에 의해 45도로 반사된다.
이때, 상기 반사거울(M1)은 도 4에서와 같이 22.5도의 입사각과 22.5도의 반사각을 갖는다. 이렇게 반사거울(M1)에 의해 반사된 광선은 큐브(cube)형 빔 분할기(BS)에 의해 분할된 후 그의 일부는 반사거울(M3)에 의해 90도 반사되어 스테이지(stage) 상의 하나의 노광 엔진에 구비된 DMD(DMD1)에 입사되고, 나머지는 반사거울(M2)(M4)에 의해 반사되어 나머지 하나의 노광 엔진에 구비된 DMD(DMD2)에 입사되게 된다.
상기 DMD(DMD1)(DMD2)는 도 9 및 도 10과 같은 개념과 힌지를 중심으로 사선방향으로 각도 조절되는 구조를 갖는다.
여기서 반사거울(M2)(M3)(M4)은 도 5에서와 같이 45도의 입사각과 45의 반사각을 갖는다.
또한 도 6 및 도 7과 같은 특성을 갖는 큐브형 빔 분할기(BS)는 도 8에 도시된 평면형태의 빔 분할기(BS)에서 발생하는 d만큼의 편차를 가지지 않으므로 반사거울의 조정이 용이하다.
도 2는 90도 반사거울을 이용했을 경우의 광학계의 도식으로서 노광 시스템은 90도 반사거울(M1) 및 큐브형 빔 분할기(BS) 등을 이용하여 하나의 광원(UV light source)에서 나온 광선을 두 개의 노광 엔진(exposure engine)에 구비된 DMD(DMD1)(DMD2)에 입사시키는 광학계를 보여주고 있다.
즉, 하나의 광원(UV light source)에서 나온 광선은 반사거울(M1)에 의해 90도로 반사된다.
이때, 상기 반사거울(M1)은 도 5에서와 같이 45도의 입사각과 45도의 반사각을 갖는다. 이렇게 반사거울(M1)에 의해 반사된 광선은 큐브형 빔 분할기(BS)에 의해 분할된 후 그의 일부는 반사거울(M3)에 의해 90도 반사되어 스테이지 상의 하나의 노광 엔진에 구비된 DMD(DMD1)에 입사되고, 나머지는 반사거울(M2)(M4)에 의해 반사되어 나머지 하나의 노광 엔진에 구비된 DMD(DMD2)에 입사되게 된다.
상기 DMD(DMD1)(DMD2)는 도 9 및 도 10과 같은 개념과 힌지를 중심으로 사선방향으로 각도가 조절되는 구조를 갖는다.
여기서 반사거울(M2)(M3)(M4)은 반사거울(M1)과 마찬가지로 도 5에서와 같이 45도의 입사각과 45의 반사각을 갖는다.
따라서 도 2의 경우 도 1 및 도 3과 달리 광원에서 나온 광선을 반사시키는 반사거울(M1)의 반사각과 입사각이 커서 노광 시스템을 설치하기 위해 넓은 공간을 확보해야 한다.
도 3은 도 1의 광학계를 사용하여 노광 엔진을 4개로 확장했을 경우의 도식으로서 본 발명에 의한 노광 시스템은 하나의 45도 반사거울(M1)과 3개의 큐브형 빔 분할기(BS1)(BS2)(BS3) 등을 이용하여 하나의 광원(UV light source)에서 나온 광선을 4개의 노광 엔진(exposure engine)에 구비된 DMD(DMD1)(DMD2)(DMD3)(DMD4) 에 입사시키는 광학계를 보여주고 있다.
즉, 하나의 광원(UV light source)에서 나온 광선은 반사거울(M1)에 의해 45도로 반사된다.
이때, 상기 반사거울(M1)은 도 4에서와 같이 22.5도의 입사각과 22.5도의 반사각을 갖는다. 이렇게 반사거울(M1)에 의해 반사된 광선은 큐브형 빔 분할기(BS1)(BS2)(BS3)에 의해 분할된 후 큐브형 빔 분할기(BS1)의 분리된 광선의 일부는 반사거울(M3)에 의해 90도 반사되어 스테이지 상의 하나의 노광 엔진에 구비된 DMD(DMD1)에 입사되고, 큐브형 빔 분할기(BS2)의 분리된 광선의 일부는 반사거울(M4)에 의해 90도 반사되어 스테이지 상의 하나의 노광 엔진에 구비된 DMD(DMD2)에 입사되며, 큐브형 빔 분할기(BS3)의 분리된 광선의 일부는 반사거울(M5)에 의해 90도 반사되어 스테이지 상의 하나의 노광 엔진에 구비된 DMD(DMD3)에 입사되며, 나머지는 반사거울(M2)(M6)에 의해 반사되어 나머지 하나의 노광 엔진에 구비된 DMD(DMD4)에 입사되게 된다.
상기 DMD(DMD1)(DMD2)(DMD3)(DMD4)는 도 9 및 도 10과 같은 개념과 힌지를 중심으로 사선방향으로 각도 조절되는 구조를 갖는다.
여기서 반사거울(M2)(M3)(M4)(M5)(M6)은 도 5에서와 같이 45도의 입사각과 45의 반사각을 갖는다.
또한 도 6 및 도 7과 같은 특성을 갖는 큐브형 빔 분할기(BS1)(BS2)(BS3)는 도 8에 도시된 평면형태의 빔 분할기(BS)에서 발생하는 d만큼의 편차를 가지지 않으므로 도 1의 실시예와 마찬가지로 반사거울의 조정이 용이하다.
도 1은 본 발명에 의한 실시 예를 보인 광학계의 도식이다.
도 2는 90도 반사거울을 이용했을 경우의 광학계의 도식이다.
도 3은 도 1의 광학계를 사용하여 노광 엔진을 확장했을 경우의 도식이다.
도 4는 도 1 및 도 3에서 사용된 반사거울(M1)의 입사광선과 반사광선의 도식이다.
도 5는 도 1 내지 도 3에서 사용된 반사거울(M2∼M6)의 입사광선과 반사광선의 도식이다.
도 6은 도1에서 사용된 큐브형 빔 분할기(BS)의 반사광선과 투과광선의 위치를 보인 도면이다.
도 7은 도6의 큐브형 빔 분할기(BS)의 입체도이다.
도 8은 평면형태의 빔 분할기(BS)를 사용하였을 경우 입사광선과 투과광선의 위치변화를 보인 도면이다.
도 9는 DMD의 개념도이다.
도 10은 DMD의 상세 구조도이다.
** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **
BS~BS3: 빔 분할기
DMD1~DMD4: DMD
M1~M6: 반사거울

Claims (2)

  1. 광선을 조사하는 UV 광원(UV light source)과, 힌지를 중심으로 사선방향으로 각도 조절되고 상기 UV 광원으로부터 입사되는 광선을 반사시키기 위한 DMD(digital micromirror device)가 구비된 노광 엔진(exposure engine)과, 상기 노광 엔진의 하부에 배치되어 노광을 위해 가로 방향으로 움직이는 스테이지를 포함하는 DMD를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템에 있어서,
    상기 광원에서 나온 광선을 22.5도의 입사각과 22.5도의 반사각으로 반사시키기 위한 45도 반사거울;
    상기 45도 반사거울에 의해 반사된 광선을 두 방향으로 분리하기 위한 큐브형 빔 분할기; 및
    상기 큐브형 빔 분할기에 의해 분리된 광선을 반사시켜 상기 노광 엔진의 DMD에 입사시키기 위한 90도 반사거울;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 DMD를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지 상에 DMD가 구비된 노광 엔진이 추가되는 경우, 입사각이 22.5도이고 반사각이 22.5도인 45도 반사거울에 의해 반사된 광선을 분리하기 위한 하나의 큐브형 빔 분할기와, 상기 큐브형 빔 분할기에 의해 분리된 광선을 상기 추가된 노광 엔진의 DMD에 입사시키기 위한 하나의 90도 반사거울이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 DMD를 이용한 마스크리스 방식의 노광 시스템.
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