KR100932147B1 - 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치 및 이를 이용한 트레이언로딩방법 - Google Patents

테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치 및 이를 이용한 트레이언로딩방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 테스트 핸들러에 구비된 챔버에서 반도체소자가 적재된 테스트 트레이를 언로딩하는 장치에 관한 것으로, 상기 챔버의 상부에 회동가능하도록 설치된 플레이트와, 상기 플레이트를 수직 및 수평상태로 방향 전환하는 회동구동부와, 상기 플레이트에 설치되고 상기 챔버 내부에 수직 상태로 승강되는 왕복이송부와, 상기 챔버 내부에 위치된 테스트 트레이를 픽업하는 그립부, 및 상기 테스트 트레이를 상기 챔버의 외부에서 수평 상태로 배출하는 언로딩부를 포함한다.
본 발명에 의하면, 반도체소자의 테스트가 완료된 테스트 트레이를 테스트 핸들러에 구비된 챔버에서 신속하게 배출시킬 수 있다.
Figure R1020080012903
테스트, 핸들러, 챔버, 언로딩, 배출, 테스트 트레이

Description

테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치 및 이를 이용한 트레이 언로딩방법{Tray unloading device for test handler, and method for unloading tray using the same}
본 발명은 테스트 핸들러에 구비된 챔버에서 반도체소자가 적재된 테스트 트레이를 언로딩하는 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상기 챔버 내부에 위치된 테스트 트레이를 수직으로 이송한 후, 수평 상태로 배출시키는 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체소자는 웨이퍼(Wafer)를 절단하여 얻어진 반도체칩을 프레임(Frame)에 탑재하여 와이어로 본딩(Bonding)한 후, 봉지재로 몰딩하여 외부를 감싸고 단위 패키지로 절단되어 테스트 트레이(Test Tray)에 적재된다.
이후, 첨부된 도 1에서 보는 바와 같이, 테스트 핸들러(TH : Test handler)에 구비된 챔버(C : Chamber)에 상기 반도체소자가 적재된 테스트 트레이(TT)를 이송하여 상기 반도체소자를 테스트하게 된다.
상기 테스트 핸들러(TH)는 상기 테스트 트레이(TT)를 개별적으로 공급하는 로딩영역(LA : Loading Area)과, 반도체소자의 테스트가 완료된 테스트 트레이를 배출하는 언로딩영역(UA : Unloading Area)을 포함한다. 그리고, 상기 로딩영역(LA)과 상기 언로딩영역(UA) 사이에는 다양한 조건의 테스트영역이 구비된 챔버가 위치된다.
상기 테스트영역은 밀폐된 챔버(C) 내부에 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 고온 및 저온의 극한 온도 상태의 환경을 조성하고, 이러한 조건에서 반도체소자의 기능이 수행되는지 여부를 테스트하게 된다.
그러나, 종래에는 도시된 도 2a 내지 도2c에서 보는 바와 같이, 반도체소자의 테스트가 완료된 테스트 트레이(TT)를 언로딩영역(UA)에서 배출할 때, 별도의 배출장치(10)가 상기 테스트 트레이(TT)를 잡아당기면서 배출한다.
즉, 도 2a에서 보는 바와 같이, 테스트영역에서 챔버(C)의 외부로 배출된 테스트 트레이(TT)는 상기 수평 상태로 위치된다. 이후, 도 2b에서 보는 바와 같이 실린더(11)가 구동되어 피스톤로드(12)가 상기 실린더(11) 외부로 위치 이동된다. 그리고, 이 피스톤로드(12)의 끝단부에 구비된 걸림후크(13)가 상기 테스트 트레이(TT)의 전방부 일부를 잡게 되고, 도 2c에서 보는 바와 같이 피스톤로드(12)가 실린더 내부로 위치 이동되어 상기 테스트 트레이(TT)를 배출하게 되는 것이다.
그런데, 상기 실린더(11)가 구동되어 피스톤로드(12)가 상기 테스트 트레이(TT)에 인접되는 위치까지 대략 1.4초 정도 걸리고, 상기 걸림후크(13)가 상기 테스트 트레이(TT)를 잡는데 0.2초 정도 걸린다. 그리고, 상기 테스트 트레이(TT)를 잡은 상태로 상기 피스톤로드(12)가 원위치로 복귀되는 데는 1.4초가 걸린다. 따라서, 하나의 테스트 트레이(TT)를 배출하기 위해서는 3초의 시간이 소요되는 것 이다.
그러나, 챔버(C)에서 언로딩영역(UA)으로 하나의 테스트 트레이(TT)를 이동하는 시간, 및 언로딩영역(UA)에서 그 외부로 하나의 테스트 트레이(TT)를 이동하는 시간이 3초보다 오히려 짧다.
따라서, 챔버(C)의 상부에 수평 상태로 위치된 테스트 트레이(TT)를 배출하는 시간으로 인해서, 후행 테스트 트레이의 배출을 지속적으로 지연시키게 되는 문제점이 발생된다.
또한, 선행 테스트 트레이를 배출시킨 후 후행 테스트 트레이를 배출시키기 위해서 실린더(11)를 두 번 동작시켜야만 하는 문제점이 발생된다.
뿐만 아니라, 상기 테스트 트레이(TT)를 배출시키기 위한 배출장치(10)가 테스트 핸들러(TA) 장비에 설치되기 때문에, 공간의 제약을 받는 문제점도 발생된다.
상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 언로딩영역의 상부에 수평 상태로 위치된 테스트 트레이를 신속하게 배출시킬 수 있는 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치를 제공하는 데 있다.
또한, 테스트 트레이를 수평 상태로 위치시키는 플레이트 내에 언로딩부를 설치하여 테스트 트레이를 배출시키기 위한 별도의 장치를 설치하지 않아도 되는 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치를 제공하는 데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치는, 테스트 핸들러에 구비된 챔버에서 반도체소자가 적재된 테스트 트레이를 언로딩하는 장치에 있어서, 상기 챔버의 상부에 회동가능하도록 설치된 플레이트; 상기 플레이트를 수직 및 수평상태로 방향 전환하는 회동구동부; 상기 플레이트에 설치되고, 상기 챔버 내부에 수직 상태로 승강되는 왕복이송부; 상기 챔버 내부에 위치된 테스트 트레이를 픽업하는 그립부; 및 상기 테스트 트레이를 상기 챔버의 외부에서 수평 상태로 배출하는 언로딩부;를 포함한다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치에 있어서, 상기 왕복이송부는 상기 언로딩부를 상기 플레이트에 대하여 왕복운동 되도록 구동한다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치에 있어서, 상기 그립부는 상기 플레이트와 이격된 상태로 설치되고, 수직 상태로 위치된 상기 테스트 트레이의 하단을 지지한 상태로 상승한다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치에 있어서, 상기 그립부는 실린더 또는 모터로 이루어진 동력원; 상기 동력원에 의해 왕복 이동되는 위치이동부재; 및 상기 위치이동부재의 끝단에 구비되어 상기 테스트 트레이의 하단을 지지하는 회동돌기;를 포함한다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치에 있어서, 상기 그립부는 상기 위치이동부재의 일측면 방향으로 90°회전되어 상기 테스트 트레이의 하단을 지지한다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치에 있어서, 상기 회동구동부는 상기 플레이트의 양측에 베어링으로 연결되는 제1ㆍ제2지지체; 및 상기 제1ㆍ제2지지체 중 어느 하나의 지지체에 힌지축으로 연결되어 상기 플레이트를 수직 및 수평 상태로 전환하는 구동기;를 포함한다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치에 있어서, 상기 왕복이송부는 상기 플레이트에 길이 방향으로 형성되고, 상기 언로딩부의 왕복 운동을 안내하는 가이드바; 및 상기 언로딩부를 왕복 운동시키는 이송구동기;를 포함한다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치에 있어서, 상기 언로딩부는 상기 그립부의 상측에 위치되어 수평 상태로 위치된 상기 테스트 트레이를 배출하는 가압부재;를 더 포함한다.
한편, 테스트 핸들러에 구비된 챔버에서 반도체소자가 적재된 테스트 트레이를 언로딩하는 방법에 있어서, (a) 상기 챔버의 상부에 수직 상태로 위치된 그립부 를 상기 챔버 내부로 하강하는 단계; (b) 상기 챔버 내부에 위치된 상기 테스트 트레이를 상기 그립부가 픽업하는 단계; (c) 상기 그립부가 상승하여 상기 챔버의 외부로 이송되는 단계; (d) 상기 그립부를 수평 상태로 변경하는 단계; 및 (e) 상기 언로딩부에 의해 상기 테스트 트레이를 배출하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩방법에 있어서, 상기 (e) 단계 후 (f) 상기 언로딩부가 후방으로 복귀되는 단계;를 더 포함한다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩방법에 있어서, 상기 (f) 단계 후 상기 그립부 및 상기 언로딩부를 수직 상태로 변경하여 상기 (a) 단계가 수행된다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩방법에 있어서, 상기 (e) 단계는 상기 언로딩부에 구비된 가압부재가 상기 테스트 트레이의 후방을 가압하여 배출한다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩방법에 있어서, 상기 (d) 단계는 (g) 상기 그립부가 상기 테스트 트레이의 픽업 상태를 해제하는 단계;를 더 포함한다.
본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩방법에 있어서, 상기 (g) 단계는 상기 테스트 트레이가 수평 상태로 위치되면 상기 그립부를 90°회전한다.
이상과 같은 특징을 갖는 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치 및 이를 이용한 트레이 언로딩방법으로 인해 반도체소자의 테스트가 완료된 테스트 트레이를 테스트 핸들러에 구비된 챔버에서 신속하게 배출시킬 수 있다.
즉, 트레이 언로딩장치는 선행 테스트 트레이를 배출시키는 동안 후행 테스트 트레이가 챔버 내부에 위치되고, 상기 트레이 언로딩장치가 수직 상태로 전환되어 상기 후행 테스트 트레이를 픽업하게 된다. 그리고, 상기 트레이 언로딩장치가 상승되어 수평 상태로 전환되어 상기 테스트 트레이를 배출시키게 되는 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치의 구성 및 작용을 설명하도록 한다.
도 3 내지 도 6에서 보는 바와 같이, 상기 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치(100)는 플레이트(110), 회동구동부(120), 왕복이송부(130), 그립부(140), 언로딩부(150)로 크게 이루어지며, 테스트 트레이(TT)에 적재된 반도체소자를 다양한 조건에서 테스트하는 챔버의 상부에 설치된다.
즉, 상기 챔버는 테스트 핸들러에 구비되는 것이며, 상기 챔버의 언로딩영역 상부에 상기 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치(100)가 설치된다.
따라서, 상기 챔버 내부에서 상기 반도체소자의 테스트를 수행한 후, 상기 챔버의 언로딩영역에 위치된 테스트 트레이(TT)를 하나씩 외부로 배출하기 위해서 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치(100)를 이용하게 된다.
상기 플레이트(110)는 상기 챔버의 상부에 위치되고, 수직과 수평 방향으로 회동가능하도록 설치된다. 즉, 상기 플레이트(110)는 그 양측이 베어링(112a,112b)으로 연결되는 제1ㆍ제2지지체(111a,111b)에 대하여 방향 전환을 할 수 있도록 구성된다.
상기 제1ㆍ제2지지체(111a,111b)는 그 하단이 상기 챔버의 상측에 결합되거나 별도의 다른 부재에 고정되어 움직이지 않도록 설치된다. 그리고, 상기 제1ㆍ제2지지체(111a,111b)의 상단에는 베어링(112a,112b)이 연결되고, 상기 제1ㆍ제2지지체(111a,111b) 중 어느 하나의 지지체(112a)에는 상기 베어링(112a)에 힌지축(113)이 결합된다.
즉, 상기 힌지축(113)은 그 내부 끝단이 상기 플레이트(110)의 측면에 결합되고, 상기 힌지축(113)의 중심부가 상기 베어링(112a) 내에 위치된다. 그리고, 상기 힌지축(113)의 외부 끝단은 후술되는 회동구동부(120)에 연결되고, 이 회동구동부(120)의 동작에 따라 상기 힌지축(113)이 정ㆍ역방향의 선택적 회전으로 인해 상기 플레이트(110)가 수직과 수평 방향으로 전환되는 것이다. 첨부된 도면에서는 상기 힌지축(113)을 상기 제1지지체(111a) 측에 위치되도록 도시하였다.
상기 회동구동부(120)는 상기 플레이트(110)를 수직과 수평 방향으로 각각 전환하기 위한 것으로서, 상기 제1지지체(111a)의 측부에 위치된다.
상기 회동구동부(120)는 구동기(121), 회전력전달부재(122)로 이루어지는데, 상기 구동기(121)는 실린더(cylinder) 또는 모터(moter)로 구성된다. 그러나, 첨부된 도면에서는 상기 구동기(121)를 에어실린더(121-1)로 도시하였다.
상기 에어실린더(121-1)는 수직 방향으로 설치되며 그 하단이 별도의 부재에 고정되도록 결합된다. 그리고, 상기 에어실린더(121-1)의 상단부에는 피스톤로드(121-2)가 위치되는데, 이 피스톤로드(121-2)의 끝단에는 상기 회전력전달부재(122)의 일단이 연결되고, 상기 회전력전달부재(122)의 끝단에는 상기한 힌지 축(113)에 결합된다. 여기서, 상기 피스톤로드(121-2)의 끝단과 상기 회전력전달부재(122)의 일단은 서로 회동 되도록 연결된다.
따라서, 상기 에어실린더(121-1)에 에어를 공급하면 상기 피스톤로드(121-2)가 상측 방향으로 이동되고, 상기 회전력전달부재(122)는 상기 힌지축(113)을 중심으로 상기 피스톤로드(121-2)와 연결된 부분이 상측 방향으로 회동된다.
그리고, 상기 회전력전달부재(122)와 결합된 힌지축(113)은 플레이트(110)에 결합되어 있기 때문에, 상기 플레이트(110)는 그 양측에 결합된 베어링(112a,112b)에 의해 회전이 안내되어 상측 방향으로 회동되는 것이다. 즉, 상기 피스톤로드(121-2)의 움직임에 의해서 상기 회전력전달부재(122) 및 힌지축(113)이 회동되어 상기 플레이트(110)가 수직 또는 수평 방향으로 전환되는 것이다.
앞서 언급한 에어실린더(121-1)는 에어를 공급할 경우에 상기 피스톤로드(121-2)가 상측 방향으로 이동된다고 하였으나, 반대로 상기 에어가 배출될 경우에 상기 피스톤로드(121-2)가 상측 방향으로 이동될 수도 있다.
한편, 상기 왕복이송부(130)는 전술되어진 플레이트(110)에 설치되어 후술되는 언로딩부(150)를 상기 플레이트(110)에 대하여 왕복운동시키는 역할을 한다. 상기 왕복이송부(130)는 가이드바(131)와 이송구동기(미도시)로 이루어지는데, 상기 가이드바(131)는 수평 상태로 위치된 상기 플레이트(110)의 상측에 위치된다.
상기 가이드바(131)는 그 양단이 각각 상기 플레이트(110)의 전방과 후방에 결합되고, 하나 또는 그 이상의 개수로 이루어진다. 또한, 이 가이드바(131)는 그 단면이 원형으로 이루어질 수도 있으나 외주면이 다각을 갖도록 구성될 수도 있다.
그리고, 상기 이송구동기는 상기 언로딩부(150)를 위치 이동시키기 위한 동력원으로서, 상기 가이드바(131) 내에 설치되거나 별도로 위치될 수도 있다.
그러나, 첨부된 도면에서는 상기 가이드바(131) 내에 왕복이동부재(132)가 설치되고, 이 왕복이동부재(132) 내부에 상기 이송구동기가 설치되도록 도시하였다.
상기 왕복이동부재(132)는 전체적으로 직육면체를 갖는 부피를 가지며 그 내부에는 모터와 감속기어, 그리고 피니언기어가 설치된다. 상기 모터의 회전축에는 상기 감속기어가 연결되고, 상기 감속기어에는 상기 피니언기어의 일면이 접촉되도록 연결된다.
또한, 상기 피니언기어의 또 다른 일면에는 랙기어가 접촉되도록 연결된다. 이 랙기어는 상기한 가이드바(131)의 하부에 위치되고 상기 가이드바(131)의 길이와 동일한 길이를 갖도록 상기 플레이트(110)에 양측이 결합되도록 구성된다.
상기 피니언기어와 상기 랙기어는 가장 바람직한 실시예를 일 예로 설명한 것이며 이러한 이송구동기에 의해 언로딩부(150)를 상기 가이드바(131) 내에서 왕복운동되도록 하는 또 다른 실시를 구성할 수도 있는 것이다.
즉, 상기 이송구동기는 에어실린더로 대체할 수 있으며 에어의 공급 유무에 따라 상기 왕복이동부재(132)가 상기 가이드바(131)를 따라 왕복 운동 될 수도 있다.
한편, 상기 가이드바(131)의 양측 끝단부에는 각각 센서(133a,133b)가 설치되며, 상기 센서(133a,133b)로 인해 상기 왕복이동부재(132)의 위치를 파악하게 된 다.
상기 그립부(140)는 동력원(미도시), 위치이동부재(141), 회동돌기(142)로 이루어지며 상기한 챔버 내부에 위치된 테스트 트레이(TT)를 상기 챔버의 외부로 이동시키는 역할을 한다.
상기 동력원은 실린더 또는 모터로 이루어지는데, 상기 동력원이 실린더로 이루어질 경우 상기 위치이동부재(141)는 상기 실린더 내부에 삽입된 피스톤로드(121-2)로 구성된다.
그리고, 상기 동력원이 모터로 이루어질 경우 상기 위치이동부재(141)는 봉 또는 바의 형상으로 구성된다. 여기서, 상기 위치이동부재(141)가 봉으로 구비될 경우에는 그 외주면에 나사산이 형성된 볼 스크류(ball screw)로 이루어질 수 있으며, 상기 위치이동부재(141)가 바로 구비될 경우 일면에 랙기어가 형성되도록 구성된다.
또한, 상기 회동돌기(142)는 상기 위치이동부재(141)의 끝단에 구비되고, 이 위치이동부재(141)에 대하여 90°회전된다. 즉, 상기 회동돌기(142)는 실질적으로 테스트 트레이(TT)의 하단을 지지하는 역할을 하는 것으로, 상기 회동돌기(142)가 회전되기 전에는 상기 위치이동부재(141)의 두께 내에 위치되고, 상기 회동돌기(142)가 회전될 경우 상기 위치이동부재(141)의 끝단에서 일측 방향으로 돌출되도록 회전되는 것이다.
그리고, 도면에는 도시하지 않았지만 상기 회동돌기(142)는 별도의 보조동력원에 의해 동작되는 것이다.
한편, 상기 언로딩부(150)는 테스트 트레이(TT)를 배출시키는 가압부재(151)로 이루어지며, 전술되어진 왕복이송부(130)의 동작에 의해 상기 가압부재(151)가 상기 테스트 트레이(TT)를 가압하여 배출하게 된다.
즉, 상기 가압부재(151)는 수평 상태로 위치된 플레이트(110)의 저면부에 위치되며, 그 상단은 상기 왕복이송부(130)에 구비된 왕복이동부재(132)에 결합된다.
상기 가압부재(151)는 상기 왕복이동부재(132)의 저면부에 밀착되도록 결합되는 결합부(151-1)와, 상기 결합부(151-1)에서 하측 방향으로 돌출 형성된 연장부(151-2)와, 상기 연장부(151-2)의 하단에서 횡 방향으로 절곡된 수평탄력부(151-3)와, 상기 수평탄력부(151-3)의 끝단에서 상측으로 절곡되어 테스트 트레이(TT)의 일측을 가압하는 가압부(151-4)로 이루어진다. 이러한 가압부재(151)의 전체적인 형상은 측면에서 봤을 때, "
Figure 112008010621697-pat00001
"과 같은 형상을 갖는다.
이상에서 설명된 바와 같이 이루어진 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치의 사용상태 및 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 7a에서 보는 바와 같이, 상기 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치(100)의 초기 상태는 플레이트(110)가 챔버의 상부에서 수평 상태로 위치된다. 이때, 왕복이송부(130)에 구비된 왕복이동부재(132) 및 언로딩부(150)에 구비된 가압부재(151)는 상기 플레이트(110)의 후방에 위치된다. 여기서 언급한 상기 "후방"은 첨부된 도면에서 봤을 때 좌측의 방향이다.
그리고, 그립부(140)는 상기 플레이트(110)의 전방 하측에 위치되며 이 그립 부(140)에 구비된 회동돌기(142)는 위치이동부재(141)의 두께 내에 위치된다.
이후, 첨부된 도 7b에서 보는 바와 같이, 회동구동부(120)에 구비된 구동기(121) 즉 에어실린더(121-1)에 공급되는 에어의 유무에 따라 피스톤로드(121-2)가 상측 방향으로 돌출된다.
이때, 상기 피스톤로드(121-2)의 상단에 회동되도록 연결된 회전력전달부재(122)는 상기 피스톤로드(121-2)와 회동되면서 힌지축(113)을 회전시키게 된다. 그리고, 상기 힌지축(113)이 회전하게 되면 이에 결합된 플레이트(110)가 수직 상태로 방향이 전환된다.
여기서, 상기 에어실린더(121-1)는 수평 상태로 위치된 상기 플레이트(110)를 수직 상태로 위치시킬 때까지 구동되는 것이다.
이러한 상태에서 첨부된 도 7c에서 보는 바와 같이, 동력원에 의해 그립부(140)가 동작되어 챔버 내부로 하강된다. 상기 그립부(140)가 최대로 하강되면 이 그립부(140)에 구비된 회동돌기(142)가 90°회전한다. 즉, 상기 회동돌기(142)는 상기 그립부(140)에 구비된 위치이동부재(141)의 두께 내에 위치되어 있다가 일측면 방향으로 돌출되는 것이다. 따라서, 상기 회동돌기(142)의 상면이 테스트 트레이(TT)의 저면을 지지하게 되는 것이다.
그리고, 첨부된 도 7d에서 보는 바와 같이, 상기 그립부(140)가 상기 동력원에 의해 상승되고, 이때 상기 테스트 트레이(TT)는 상기 회동돌기(142)에 지지된 상태로 상기 챔버의 외부로 이동되는 것이다.
이후, 첨부된 도 7e에서 보는 바와 같이, 회동구동부(120)에 구비된 구동 기(121), 즉 에어실린더(121-1)가 재차 동작되어 플레이트(110)를 수평 상태로 전환한다.
상기 플레이트(110)가 수평 상태로 위치되면 상기 회동돌기(142)를 원위치로 회동시켜 상기 테스트 트레이(TT)를 지지하고 있는 상태를 해제하게 된다.
그리고, 첨부된 도 7f에서 보는 바와 같이 왕복이송부(130)의 동작에 의해 언로딩부(150)에 구비된 가압부재(151)가 상기 테스트 트레이(TT)를 수평 상태로 배출하게 되는 것이다.
즉, 상기 왕복이송부(130)에 구비된 이송구동기가 동작되면 왕복이동부재(132)는 가이드바(131)를 따라 플레이트(110)의 전방으로 이동된다. 이때, 상기 왕복이동부재(132)의 저면에 결합된 가압부재(151)가 동일하게 위치 이동되며, 이 가압부재(151)는 상기 테스트 트레이(TT)의 일측면을 가압하면서 위치 이동되다. 따라서, 상기 테스트 트레이(TT)를 수직 상태로 챔버 내부에서 상승된 후 수평 상태로 배출하게 되는 것이다.
상기 테스트 트레이(TT)의 배출이 완료되면 상기 왕복이송부(130)는 원위치로 복귀되고, 이러한 상태에서 플레이트(110)가 재차 수직 방향으로 전환되고, 상술한 바와 같은 동작을 지속적으로 수행하게 되어 챔버 내부에 위치된 테스트 트레이(TT)를 하나씩 수평 상태로 배출하게 된다.
도 1은 테스트 트레이가 이송되는 경로를 개략적으로 도시한 테스트 핸들러의 평면도,
도 2a 내지 도 2c는 종래의 트레이 언로딩장치 및 이를 이용하여 테스트 트레이를 배출하는 상태를 개략적으로 도시한 순서도,
도 3은 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치의 사시도,
도 4는 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치의 평면도,
도 5는 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치의 측면도,
도 6은 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치의 저면도,
도 7a 내지 도 7f는 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치의 동작 상태를 도시한 측면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 언로딩장치 110 : 플레이트
111a : 제1지지체 111b : 제2지지체
112a,112b : 베어링 113 : 힌지축
120 : 회동구동부 121 : 구동기
121-1 : 에어실린더 121-2 : 피스톤로드
122 : 회전력전달부재 130 : 왕복이송부
131 : 가이드바 132 : 왕복이동부재
133a,133b : 센서 140 : 그립부
141 : 위치이동부재 142 : 회동돌기
150 : 언로딩부 151 : 가압부재
151-1 : 결합부 151-2 : 연장부
151-3 : 수평탄력부 151-4 : 가압부
TH : 테스트 핸들러 C : 챔버
TT : 테스트 트레이 UA : 언로딩영역

Claims (14)

  1. 테스트 핸들러에 구비된 챔버에서 반도체소자가 적재된 테스트 트레이를 언로딩하는 장치에 있어서,
    상기 챔버의 상부에 회동가능하도록 설치된 플레이트;
    상기 플레이트의 양측에 베어링으로 연결되는 제1ㆍ제2지지체, 및 상기 제1ㆍ제2지지체 중 어느 하나의 지지체에 힌지축으로 연결되어 상기 플레이트를 수직 및 수평 상태로 전환하는 구동기로 구성되어, 상기 플레이트를 수직 및 수평상태로 방향 전환하는 회동구동부;
    상기 왕복이송부는,
    상기 플레이트에 길이 방향으로 형성되고 상기 언로딩부의 왕복 운동을 안내하는 가이드바, 및 상기 언로딩부를 왕복 운동시키는 이송구동기로 구성되며, 상기 플레이트에 설치되어 상기 챔버 내부에 수직 상태로 승강되는 왕복이송부;
    실린더 또는 모터로 이루어진 동력원, 상기 동력원에 의해 왕복 이동되는 위치이동부재, 및 상기 위치이동부재의 끝단에 구비되어 상기 테스트 트레이의 하단을 지지하는 회동돌기로 구성되며, 상기 플레이트와 이격된 상태로 설치되어 수직 상태로 위치된 상기 테스트 트레이의 하단을 지지한 상태로 상승하여 상기 챔버 내부에 위치된 테스트 트레이를 픽업하는 그립부; 및
    상기 테스트 트레이를 상기 챔버의 외부에서 수평 상태로 배출하는 언로딩부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 왕복이송부는,
    상기 언로딩부를 상기 플레이트에 대하여 왕복운동 되도록 구동하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 그립부는,
    상기 위치이동부재의 일측면 방향으로 90°회전되어 상기 테스트 트레이의 하단을 지지하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 언로딩부는,
    상기 그립부의 상측에 위치되어 수평 상태로 위치된 상기 테스트 트레이를 배출하는 가압부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 언로딩장치.
  9. 테스트 핸들러에 구비된 챔버에서 반도체소자가 적재된 테스트 트레이를 언로딩하는 방법에 있어서,
    (a) 상기 챔버의 상부에 수직 상태로 위치된 그립부를 상기 챔버 내부로 하강하는 단계;
    (b) 그립부에 구비된 회동돌기가 회전하여 회돌돌기의 상면이 상기 테스트 트레이의 저면을 지지하여 상기 챔버 내부에 위치된 상기 테스트 트레이를 픽업하는 단계;
    (c) 상기 그립부가 상승하여 상기 챔버의 외부로 이송되는 단계;
    (d) 상기 그립부를 수평 상태로 변경하는 단계; 및
    (e) 상기 언로딩부에 구비된 가압부재가 상기 테스트 트레이의 후방을 가압하여 배출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 트레이 언로딩방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 (e) 단계 후,
    (f) 상기 언로딩부가 후방으로 복귀되는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 언로딩방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 (f) 단계 후,
    상기 그립부 및 상기 언로딩부를 수직 상태로 변경하여 상기 (a) 단계가 수행되는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 언로딩방법.
  12. 삭제
  13. 제 9항에 있어서,
    상기 (d) 단계는,
    (g) 상기 그립부가 상기 테스트 트레이의 픽업 상태를 해제하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 언로딩방법.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 (g) 단계는,
    상기 테스트 트레이가 수평 상태로 위치되면 상기 그립부를 90°회전하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 언로딩방법.
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KR20030040675A (ko) * 2001-11-15 2003-05-23 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러의 테스트 트레이 반송용로테이터

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