KR100930651B1

KR100930651B1 - 편의성이 향상된 측정 장치

Info

Publication number: KR100930651B1
Application number: KR1020090055784A
Authority: KR
Inventors: 함동일
Original assignee: (주)유니텍파슨스
Priority date: 2009-06-23
Filing date: 2009-06-23
Publication date: 2009-12-09

Abstract

본 발명은 지지체가 되는 테이블(110)과, 상기 테이블(110)의 상부로 고정 설치되는 판상의 스테이지(130)와, 상기 스테이지(130)에 대하여 수평 방향으로 이동 가능하게 스테이지(130)의 상부로 구비되는 판상의 제1 패널(140)과, 상기 제1 패널(140)에 대하여 제1 패널(140)의 이동 방향과 수직하게 수평 방향으로 이동 가능하게 제1 패널(140)의 상부로 구비되며 고정수단(154)을 구비하는 판상의 제2 패널(150)과, 상기 스테이지(130)의 상부로 고정되는 브릿지(160)에 설치되어 상기 제2 패널(150)의 상부로 위치하는 현미경(171)으로 이루어져, 현미경(171)을 통하여 제2 패널(150) 상에 위치하는 피측정물을 측정하는 편의성이 향상된 측정 장치(100)로서, 측정하려는 피측정물을 간단하면서도 견고하게 위치시킬 수 있으며, 측정자의 자세에 맞추어 입력부를 위치시키는 것이 가능하며, 피측정물의 위치 기준점을 제공함은 물론 피측정물이 수평 방향으로 흔들림이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

측정, 고정

Description

편의성이 향상된 측정 장치{Measuring Device Having Improved Conviences}

본 발명은 편의성이 향상된 측정 장치에 관한 것으로, 측정하려는 피측정물을 간단하면서도 견고하게 고정할 수 있으며, 측정자의 자세에 맞추어 입력부를 위치시키는 것이 가능하며, 피측정물의 위치시 기준점을 제공함은 물론 피측정물의 수평 방향 흔들림을 방지할 수 있는 편의성이 향상된 측정 장치에 관한 것이다.

도 1은 종래 기술에 의한 측정 장치의 예를 도시한 사시도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 베이스(1) 상에는 직동 공기베어링(3)에 의하여 안내됨과 동시에, 볼나사(5)에 의해 X축 방향으로 구동되는 정사각형상의 X 스테이지(6)가 배치되어 있다. 상기 볼나사(5)에는 전동모터(4)가 결합되어 자동으로 X축 방향으로 구동하는 것이 가능하다. 상기 X 스테이지(6) 상에는 판 형상의 미동 Z 스테이지(6a)가 설치되어 있다. 상기 미동 Z 스테이지(6a)는 자동 초점맞춤에 있어서 피측정물인 반도체 웨이퍼(46)를 수십㎛ 범위로 상하방향(Z축 방향)으로 이동시키기 위한 것으로, 압전소자에 의해 도면의 Z축 방향으로 구동된다.

상기 미동 Z 스테이지(6a) 상에는 원반 형상의 θ스테이지(6b)가 설치되고, 그 위에는 다시 피측정물인 웨이퍼(46)가 적치되는 웨이퍼유지부(6c)가 설치되어 있다. 도면부호 46a는 상기 웨이퍼(46) 상에 배열된 복수의 자기헤드를 도시한 것이다.

상기 베이스(1) 상에는 X 스테이지(6)를 타고 넘어 'ㄷ'자 형상의 서브베이스(21)가 고정되어 있고, 이 서브베이스(21) 상에는 상기 X 스테이지(6)와 직교하여 Y 스테이지(22)가 설치되어 있다. 상기 Y 스테이지(22)는 볼나사(25)에 의해 도면의 Y축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 상기 볼나사(25)에는 전동모터(45)가 결합되어, 이에 의하여 Y축 방향으로 구동한다. 상기 X 스테이지(6)와 Y 스테이지(22)는 독립하여 구동할 수 있게 되어 있다. 상기 Y 스테이지(22) 상에는 다시 Z 조동 스테이지(27)가 설치되고, Z 조동 스테이지(27) 상에는 촬상소자를 가지는 현미경(29)이 설치된다. 상기 현미경(29)에 의하여 얻어진 영상신호는 도면의 화상처리장치(17)에 접속되고, 컴퓨터장치(18)에 접속되어 있다.

상기와 같은 측정 장치는 피측정물인 웨이퍼(46)를 고정하기 위하여 제조하기 용이하지 않은 원반 형상의 θ스테이지(6b)를 구비하여야 하며, 피측정물의 크기에 따라 다른 형태나 크기를 가지는 θ스테이지(6b)로 교체하여야 하며, 웨이퍼(46)와 θ스테이지(6b) 사이에 공차가 있는 경우 측정 중 흔들림이 발생할 염려가 있으며, 측정중 사용자가 입력 작업을 용이하게 할 수 없는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 움직이는 제2 패널 상에 측정하려는 피측정물을 간단하면서도 견고하게 위치시켜 고정할 수 있으며, 측정자의 자세나 편의에 맞추어 입력부를 위치시키는 것이 가능하며, 피측정물의 위치 기준점을 제공함은 물론 피측정물이 수평 방향으로 흔들리는 것을 방지할 수 있는 편의성이 향상된 측정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 지지체가 되는 테이블과, 상기 테이블의 상부로 고정 설치되는 판상의 스테이지와, 상기 스테이지에 대하여 수평 방향으로 이동 가능하게 스테이지의 상부로 구비되는 판상의 제1 패널과, 상기 제1 패널에 대하여 제1 패널의 이동 방향과 수직하게 수평 방향으로 이동 가능하게 제1 패널의 상부로 구비되며 고정수단을 구비하는 판상의 제2 패널과, 상기 스테이지의 상부로 고정되는 브릿지에 설치되어 상기 제2 패널의 상부로 위치하는 현미경으로 이루어져, 현미경을 통하여 제2 패널 상에 위치하는 피측정물을 측정하며; 상기 고정수단은 제2 패널에 관통 형성되며 흡입펌프로 연결되는 흡입공과, 상기 흡입공으로부터 이격되어 제2 패널의 상면에 오목하게 형성되며 흡입공을 둘러싸는 하나 이상의 테두리홈과, 제2 패널의 상면에 오목하게 형성되어 상기 흡입공과 테두리홈을 연결하는 하나 이상의 연결홈으로 이루어지는 편의성이 향상된 측정 장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 연결홈과 테두리홈의 깊이와 상단부 폭은 3∼5㎜ 범위로 형성되는 편의성이 향상된 측정 장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 키보드나 조이스틱이 적치되는 입력부적치부를 더 포함하며, 상기 테이블은 스테이지의 전방으로 돌출 연장된 연장부를 구비하여 상기 입력 부적치부는 상기 연장부 상에 설치되며; 상기 입력부적치부는 연장부에 고정 설치되어 연장부와 함께 서로 마주하며 연장된 가이드홈을 형성하는 가이드부재와, 양측이 상기 가이드홈에 삽입되어 가이드부재를 따라 미끄럼 이동 가능하게 구비되는 가이드판과, 제1 힌지에 의하여 상기 가이드판에 회전 가능하게 구비되는 회전부재와, 상기 회전부재의 상부로 위치하여 제2 힌지에 의하여 상기 회전부재에 대하여 회전 가능하게 구비되는 판상의 적치판부로 이루어지며; 상기 회전부재는 제1 힌지로 연결되어 상기 가이드판의 상부로 위치하는 제1 판부와, 상기 제1 판부로부터 경사지게 상향 연장되는 경사부와, 상기 경사부의 단부로부터 수평 연장되며 제2 힌지가 설치되는 제2 판부로 이루어지는 편의성이 향상된 측정 장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 고정수단의 일측으로 이격되어 제2 패널 상에 고정 설치되는 판상의 지지부재를 더 포함하며; 상기 지지부재에는 고정수단을 향하여 오목하게 지지홈이 만곡 형성되며, 상기 지지홈의 양측으로 상기 지지부재를 제2 패널에 고정하는 나사가 체결되는 고정공이 관통 형성되는 편의성이 향상된 측정 장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 고정공은 고정수단을 향하여 평행하게 형성되어 길이를 가지는 장공인 편의성이 향상된 측정 장치를 제공한다.

본 발명에 따르는 편의성이 향상된 측정 장치(100)에 의하면, 제2 패널(150) 상에 측정하려는 피측정물을 간단하면서도 견고하게 위치시켜 측정 중에 외력이 가하여지는 경우에도 위치가 변경되지 않으며, 스테이지(130)의 일측으로 돌출된 돌 출부(113)를 구비하고 상기 돌출부(113)에 직선 변위와 회전 변위가 가능하며 경사부(1273)를 가지는 입력부적치부(120)를 설치함으로써 측정자의 자세에 맞추어 입력부를 위치시키는 것이 가능하며, 고정수단(154)의 일측으로 오목하게 만곡된 지지홈(1521)이 형성된 지지부재(152)를 구비하여 피측정물의 위치 기준점을 제공함은 물론 피측정물이 수평 방향으로 흔들림이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명의 설명에 있어서 종래 기술과 동등한 작용을 하는 구성에 대해서는 동일한 명칭을 사용하며, 종래 기술에 설명한 내용에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

이하의 설명에서 도 3의 상부를 향하는 면을 제2 패널의 '상면'이라 하며, 도 3 및 도 4에서 가로 방향을 '수평 방향'이라 하고, 도 3 및 도 4에서 세로 방향을 '수직 방향'이라 한다.

도 2는 본 발명에 따르는 편의성이 향상된 측정 장치를 도시한 사시도이며, 도 3은 도 2의 A방향에서 도시한 일부 측면도이며, 도 4는 도 2의 B방향에서 도시한 일부 측면도이며, 도 5는 본 발명 편의성이 향상된 측정 장치에 구비되는 지지부재를 도시한 개략적인 사시도이며, 도 6은 본 발명 편의성이 향상된 측정 장치에 형성된 고정수단을 확대 도시한 개략적인 사시도이며, 도 7은 도 6의 A-A선에 따르는 단면도이며, 도 8은 본 발명에 형성되는 고정수단의 변형 예를 도시한 것이며, 도 9는 본 발명 편의성이 향상된 측정 장치에 구비되는 입력부적치부를 도시한 개 략적인 사시도이다.

도 2 내지 도 9에 도시한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시 예에 따르는 편의성이 향상된 측정 장치(100)는 지지체가 되는 테이블(110)과, 상기 테이블(110)의 상부로 고정 설치되는 판상의 스테이지(130)와, 상기 스테이지(130)에 대하여 수평 방향으로 이동 가능하게 스테이지(130)의 상부로 구비되는 판상의 제1 패널(140)과, 상기 제1 패널(140)에 대하여 제1 패널(140)의 이동 방향과 수직하게 수평 방향으로 이동 가능하게 제1 패널(140)의 상부로 구비되며 고정수단(154)을 구비하는 판상의 제2 패널(150)과, 상기 스테이지(130)의 상부로 고정되는 브릿지(160)에 설치되어 상기 제2 패널(150)의 상부로 위치하는 현미경(171)으로 이루어진다.

도 2 및 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 스테이지(130)와 제1 패널(140)은 상하로 서로 이격되어 구비되며, 상기 스테이지(130)와 제1 패널(140) 사이에는 리니어가이드(133)가 설치된다. 상기 제1 패널(140)의 하부에는 볼나사너트(144)가 구비되며, 상기 스테이지(130) 상부에는 상기 볼나사너트(144)로 삽입되어 회전 가능하게 볼나사(143)가 구비된다. 상기 볼나사(143)는 제1 모터(131)에 의하여 구동된다. 도 4에서 도면부호 132는 복수로 구비되어 상기 볼나사(143)를 회전 가능하게 지지하는 회전지지부를 도시한 것이다. 제1 모터(131)가 회전하면 상기 제1 패널(140)은 스테이지(130)에 대하여 수평 방향으로 도 2에서 전후로 이동하게 된다. 도 2 및 도 4에서 도면부호 139는 상기 리니어가이드(133)가 설치되는 설치패널을 도시한 것이다. 상기 리니어가이드(133)는 스테이지(130) 상에 직접 설치되 는 것도 가능하다.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 제1 패널(140)과 제2 패널(150)은 상하로 서로 이격되어 구비되며, 상기 제1 패널(140)과 제2 패널(150) 사이에는 리니어가이드(143)가 설치된다. 상기 리니어가이드(143)와 리니어가이드(133)는 서로 직교하도록 설치된다. 상기 제2 패널(150)의 하부에는 볼나사너트(158)가 구비되며, 상기 제1 패널(140) 상부에는 상기 볼나사너트(158)로 삽입되어 회전 가능하게 볼나사(153)가 구비된다. 상기 볼나사(153)는 제2 모터(141)에 의하여 구동된다. 도 3에서 도면부호 142는 복수로 구비되어 상기 볼나사(153)를 회전 가능하게 지지하는 회전지지부를 도시한 것이다. 제2 모터(141)가 회전하면 상기 제2 패널(150)은 제1 패널(140)에 대하여 수평 방향으로 도 2에서 좌우로 이동하게 된다.

도 2에 도시한 바와 같이 상기 브릿지(160)는 '┎┒' 형태로서, 하단이 스테이지(130)의 상부로 고정되며, 제1 패널(140)과 제2 패널(150)은 상기 브릿지(160)의 양측 다리 사이에 위치하게 된다. 상기 현미경(171)은 브릿지(160)의 가로부재에 고정 설치되는 현미경조정부(170)에 고정된다. 상기 현미경조정부(170)에는 수직 방향으로 리니어가이드(도시하지 않음)와 볼나사(도시하지 않음)가 구비되어, 현미경조정부(170)에 구비되는 베이스(1711)는 수직 방향으로 이동 가능하게 된다. 상기 볼나사에는 제3 모터(173)가 연결된다. 상기 베이스(1711)의 상면에는 이동패널(1713)이 미끄럼 가능하게 구비되며, 상기 이동패널(1713)에 현미경(171)이 설치된다. 상기 현미경(171)에는 촬상소자가 구비되어, 도 2에서 도면부호 180으로 도시한 표시부(예를 들면, LCD패널)에 현미경(171)에서 관찰된 영상이 디스플레이 된다.

도 2 및 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 제2 패널(150)은 평판으로서 상기 제2 패널(150)의 상면으로 피측정물이 위치하게 된다. 상기 제2 패널(150)에 구비되는 고정수단(154)은 제2 패널(150)에 상하로 관통 형성되며 흡입펌프(156)로 연결되는 흡입공(1541)과, 상기 흡입공(1541)으로부터 이격되어 제2 패널(150)의 상면에 오목하게 형성되며 흡입공(1541)을 둘러싸는 하나 이상의 테두리홈(1545)과, 제2 패널(150)의 상면에 오목하게 형성되어 상기 흡입공(1541)과 테두리홈(1545)을 연결하는 하나 이상의 연결홈(1543)으로 이루어진다. 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 테두리홈(1545)은 흡입공(1541)과 이격되어 흡입공(1541)을 둘러싸는 사각형 형태로 형성하는 것도 가능하며, 도 8에 도시한 바와 같이 원형 형태로 형성하는 것도 가능하다. 그리고 테두리홈(1545)은 1개 이상 형성하는 것도 가능하다.

본 발명의 발명자는 도 2 및 도 6에 도시한 바와 같은 형태의 고정수단(154)을 형성하고 고정수단(154)을 덮도록 제2 패널(150)의 상면에 밑면이 평면인 피측정물을 위치시킨 후 흡입펌프(156)를 구동하였으며, 피측정물에 외력을 가하여 피측정물이 제2 패널(150)의 상면에 견고하게 고정되는지를 확인하였다. 고정수단(154)의 테두리홈(1545)의 한 변의 길이가 100㎜가 되도록 하고, 테두리홈(1545)의 변의 중간으로 연결홈(1543)을 형성하여 실험을 하였다. 동일한 외력을 수평 방향으로 가한 경우, 테두리홈(1545)과 연결홈(1543)의 깊이와 폭을 3∼5㎜ 범위로 한 경우 피측정물에 미끄럼이 발생하지 않았으나, 3㎜보다 작게 하거나 5㎜보다 크게 한 경우에는 미끄럼이 발생하였다. 따라서 테두리홈(1545)과 연결홈(1543)의 깊이(t)와 폭을 3∼5㎜ 범위로 하는 것이 바람직하다. 테두리홈(1545)과 연결홈(1543)의 단면 형상을 도 7에 도시한 바와 같이 원호 형상으로 하는 경우 연결홈(1543)과 테두리홈(1545)의 깊이(t)와 상단부 폭을 3∼5㎜ 범위로 형성하는 것이 바람직하였다.

도 2 및 도 9에 도시한 바와 같이 본 발명에 따르는 편의성이 향상된 측정 장치(100)는 키보드(190)나 조이스틱(193)이 적치되는 입력부적치부(120)를 더 포함하며, 상기 테이블(110)은 스테이지(130)의 일측에서 전방으로 돌출 연장된 연장부(113)를 구비하여 상기 입력부적치부(120)는 상기 연장부(113) 상에 설치된다.

도 2 및 도 9에 도시한 바와 같이, 상기 입력부적치부(120)는 연장부(113)에 고정 설치되어 연장부(113)와 함께 서로 마주하며 연장된 가이드홈(121a)을 형성하는 가이드부재(121)와, 양측이 상기 가이드홈(121a)에 삽입되어 가이드부재(121)를 따라 미끄럼 이동 가능하게 구비되는 가이드판(123)과, 제1 힌지(125)에 의하여 상기 가이드판(123)에 회전 가능하게 구비되는 회전부재(127)와, 상기 회전부재(127)의 상부로 위치하여 제2 힌지(129)에 의하여 상기 회전부재(127)에 대하여 회전 가능하게 구비되는 판상의 적치판부(122)로 이루어진다. 상기 회전부재(127)는 제1 힌지(125)로 연결되어 상기 가이드판(123)의 상부로 위치하는 제1 판부(1271)와, 상기 제1 판부(1271)로부터 경사지게 상향 연장되는 경사부(1273)과, 상기 경사부(1273)의 단부로부터 수평 연장되며 제2 힌지(129)가 설치되는 제2 판부(1275)로 이루어진다. 도 9에서 도면부호 1221은 상기 적치판부(122)의 측면으로 상향 돌출 형성되는 이탈방지돌기를 도시한 것이다.

상기 가이드홈(121a)은 연장부(113)의 돌출 방향과 수직하게 수평 방향으로 형성된다. 상기와 같이 미끄럼 이동 가능하게 하며 제1 힌지(125)와 제2 힌지(129) 사이에 경사 연장된 경사부(127)를 구비함으로써 측정자는 원하는 위치에 입력부(190)와 조이스틱(193)을 위치시킬 수 있게 된다.

도 2 및 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 고정수단(154)의 일측으로 이격되어 제2 패널(150) 상에 고정 설치되는 판상의 지지부재(152)를 더 포함한다. 상기 지지부재(152)에는 고정수단(154)을 향하여 오목하게 지지홈(1521)이 만곡 형성되며, 상기 지지홈(1521)의 양측으로 상기 지지부재(152)를 제2 패널(150)에 고정하는 나사가 체결되는 고정공(1523)이 관통 형성된다. 상기 고정공(1523)은 고정수단(154)을 향하여 평행하게 형성되어 길이를 가지는 장공으로 형성하여, 고정수단(154)과 지지부재(152) 사이의 거리를 필요에 따라서 변경시키는 것이 가능하며, 다양한 크기의 피측정물을 견고하게 고정하여 측정하는 것이 가능하게 된다.

상기에서 스테이지(130), 제1 패널(140) 및 제2 패널(150)은 유리나 석재로 하는 것이 가능하며, 상기 테이블(110)은 철재로 하는 것이 가능하다. 도 2에서 도면부호 111은 측정자의 측정 편의를 위하여 경사 오목지게 형성된 경사오목부를 도시한 것이다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시적으로 설명하였으나, 본원 발명의 권리 범위는 이 같은 특정 실시 예에만 한정되는 것이 아니며, 본원 발명이 속하는 당업자에게 자명한 범위는 본원 발명의 특허청구범위 내에 기재된 범주 내에 속하는 것으로 해석하여야 할 것이다.

도 1은 종래 기술에 의한 측정 장치를 도시한 사시도이다.

도 2는 본 발명에 따르는 편의성이 향상된 측정 장치를 도시한 사시도이다.

도 3은 도 2의 A방향에서 도시한 일부 측면도이다.

도 4는 도 2의 B방향에서 도시한 일부 측면도이다.

도 5는 본 발명 편의성이 향상된 측정 장치에 구비되는 지지부재를 도시한 개략적인 사시도이다.

도 6은 본 발명 편의성이 향상된 측정 장치에 형성된 고정수단을 확대 도시한 개략적인 사시도이다.

도 7은 도 6의 A-A선에 따르는 단면도이다.

도 8은 본 발명에 형성되는 고정수단의 변형 예를 도시한 것이다.

도 9는 본 발명 편의성이 향상된 측정 장치에 구비되는 입력부적치부를 도시한 개략적인 사시도이다.

Claims

지지체가 되는 테이블(110)과, 상기 테이블(110)의 상부로 고정 설치되는 판상의 스테이지(130)와, 상기 스테이지(130)에 대하여 수평 방향으로 이동 가능하게 스테이지(130)의 상부로 구비되는 판상의 제1 패널(140)과, 상기 제1 패널(140)에 대하여 제1 패널(140)의 이동 방향과 수직하게 수평 방향으로 이동 가능하게 제1 패널(140)의 상부로 구비되며 고정수단(154)을 구비하는 판상의 제2 패널(150)과, 상기 스테이지(130)의 상부로 고정되는 브릿지(160)에 설치되어 상기 제2 패널(150)의 상부로 위치하는 현미경(171)으로 이루어져, 현미경(171)을 통하여 제2 패널(150) 상에 위치하는 피측정물을 측정하며; 상기 고정수단(154)은 제2 패널(150)에 관통 형성되며 흡입펌프(156)로 연결되는 흡입공(1541)과, 상기 흡입공(1541)으로부터 이격되어 제2 패널(150)의 상면에 오목하게 형성되며 흡입공(1541)을 둘러싸는 하나 이상의 테두리홈(1545)과, 제2 패널(150)의 상면에 오목하게 형성되어 상기 흡입공(1541)과 테두리홈(1545)을 연결하는 하나 이상의 연결홈(1543)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 편의성이 향상된 측정 장치(100).
제1 항에 있어서, 상기 연결홈(1543)과 테두리홈(1545)의 깊이와 상단부 폭은 3∼5㎜ 범위로 형성되는 것을 특징으로 하는 편의성이 향상된 측정 장치(100).
제1 항에 있어서, 키보드나 조이스틱이 적치되는 입력부적치부(120)를 더 포 함하며, 상기 테이블(110)은 스테이지(130)의 전방으로 돌출 연장된 연장부(113)를 구비하여 상기 입력부적치부(120)는 상기 연장부(113) 상에 설치되며; 상기 입력부적치부(120)는 연장부(113)에 고정 설치되어 연장부(113)와 함께 서로 마주하며 연장된 가이드홈(121a)을 형성하는 가이드부재(121)와, 양측이 상기 가이드홈(121a)에 삽입되어 가이드부재(121)를 따라 미끄럼 이동 가능하게 구비되는 가이드판(123)과, 제1 힌지(125)에 의하여 상기 가이드판(123)에 회전 가능하게 구비되는 회전부재(127)와, 상기 회전부재(127)의 상부로 위치하여 제2 힌지(129)에 의하여 상기 회전부재(127)에 대하여 회전 가능하게 구비되는 판상의 적치판부(122)로 이루어지며; 상기 회전부재(127)는 제1 힌지(125)로 연결되어 상기 가이드판(123)의 상부로 위치하는 제1 판부(1271)와, 상기 제1 판부(1271)로부터 경사지게 상향 연장되는 경사부(1273)과, 상기 경사부(1273)의 단부로부터 수평 연장되며 제2 힌지(129)가 설치되는 제2 판부(1275)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 편의성이 향상된 측정 장치(100).
제1 항에 있어서, 상기 고정수단(154)의 일측으로 이격되어 제2 패널(150) 상에 고정 설치되는 판상의 지지부재(152)를 더 포함하며; 상기 지지부재(152)에는 고정수단(154)을 향하여 오목하게 지지홈(1521)이 만곡 형성되며, 상기 지지홈(1521)의 양측으로 상기 지지부재(152)를 제2 패널(150)에 고정하는 나사가 체결되는 고정공(1523)이 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 편의성이 향상된 측정 장치(100).
제4 항에 있어서, 상기 고정공(1523)은 고정수단(154)을 향하여 평행하게 형성되어 길이를 가지는 장공인 것을 특징으로 하는 편의성이 향상된 측정 장치(100).