KR100925881B1 - 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치 - Google Patents

Abstract

개시된 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치는 제어 유닛과, 검사 대상물과의 접촉력을 감지하여 제어 유닛에 전달하며, 검사 대상물에 초음파를 발진시키는 탐촉 유닛 및 탐촉 유닛으로부터 전달 받은 접촉력을 상기 제어 유닛에 미리 설정된 설정치와 비교하여 실제 측정치와 설정치가 다를 경우, 검사 대상물과 탐촉 유닛의 접촉력을 동일하게 하기 위하여, 제어 유닛에 의해 구동되어 탐촉 유닛에 구동력을 전달하는 구동 유닛을 포함할 수 있다. 이와 같은 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치에 의하면, 검사 도중 검사 대상물의 표면 상태가 변하는 경우에도 탐촉 유닛과 검사 대상물 사이의 접촉력을 미리 설정된 설정치로 자동 제어할 수 있으므로, 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

초음파 검사, 탐촉

Description

초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치{APPARATUS FOR CONTROLLING CONTACT PRESSURE OF ULTRASONIC PROBE}

도 1은 종래 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치를 나타낸 도면.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치를 나타낸 도면.

도 3은 도 2의 탐촉 유닛의 동작을 설명한 도면.

도 4a 및 도 4b는 도 2의 구동 바의 동작에 의해 회동하는 탐촉 유닛의 모습을 설명한 도면.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치를 나타낸 도면.

도 6a 내지 도 6f는 도 5의 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치의 동작을 순차적으로 나타낸 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100... 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치 110... 제어 유닛

120... 구동 유닛 121... 지지 바디

122... 구동 바디 123... 구동 바

140... 탐촉 유닛 141... 가이드 플레이트

142... 로드 셀 143... 슬라이더

144... 지지 바 145... 탐촉자

150... 이동 유닛 151... 이동 바디

152... 승강 바 153... 이동 바

154... 힌지 바 200... 검사 대상물

본 발명은 산업 설비의 이상유무를 검사하기 위한 장치로써, 특히 초음파를 이용하여 검사를 행하는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치에 관한 것이다.

산업 설비의 내부에 결함이 있는지 알기 위하여는 파괴해서 결함 유무를 확인하는 방법도 있겠으나, 이는 경제적인 손실이 크므로, 일반적으로 비파괴 검사에 의한다.

비파괴 검사는 산업 설비 내부의 기공이나 균열 등의 결함, 용접부의 내부 결함 등을 제품을 파괴하지 않고 외부에서 검사하는 방법으로, 방사선 투과법, 초음파 탐촉법, 맴돌이 전류시험 등이 있다.

초음파 탐촉법은 타진을 이용한 방법으로, 발진장치에서 나온 초음파를 검사 대상의 한 면에 넣어 다른 면에서 반사되어 오는 초음파에 의해 결함 여부를 검사한다.

도 1은 종래 초음파 탐촉법을 나타낸 도면이다.

도 1을 참조하면, 검사자(10)는 검사 장비(20)에 연결된 초음파 탐촉자(21)를 검사 대상(30)에 접촉시킨 상태로 검사 대상(30)에 초음파를 발진시켜 검사를 실시한다.

검사자(10)는 검사 대상(30)에 초음파 탐촉자(21)가 일정한 접촉력을 갖도록 압력을 가하여 검사 대상(30)으로 발진된 초음파 신호의 진폭을 일정하게 유지해야 한다.

상기의 초음파 탐촉법은 검사 대상(30)의 면들이 평평하거나, 일정한 형태를 가진 경우에는 초음파 탐촉자(21)와 검사 대상(30) 사이의 접촉력을 일정하게 유지할 수 있으나, 그렇지 않은 경우 검사 결과의 오류를 야기할 수 있는 문제점이 있다.

즉, 검사 도중, 검사 대상의 표면 굴곡으로 인하여 접촉력이 증가하는 경우와 같이, 검사 대상(30)의 면이 불균일한 형태인 경우, 초음파 탐촉자(21)는 검사 대상(30) 면 전체에 있어서 균일한 접촉력을 가질 수 없게 되는 경우가 발생한다.

초음파 탐촉자(21)와 검사 대상(30) 사이에 일정한 접촉력이 유지되지 않으면, 초음파의 전달 에너지에 차이가 발생되어, 검사 대상(30)으로부터의 반사 신호가 달라지게 되어 검사 오류가 발생될 수 있는 문제점이 있다.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 검사 대상 면의 형태 변화에 무관하게 자동으로 일정한 접촉력을 유지할 수 있는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은 제어 유닛과, 검사 대상물과의 접촉력을 감지하여 제어 유닛에 전달하며, 검사 대상물에 초음파를 발진시키는 탐촉 유닛 및 탐촉 유닛으로부터 전달 받은 접촉력을 상기 제어 유닛에 미리 설정된 설정치와 비교하여 실제 측정치와 설정치가 다를 경우, 검사 대상물과 탐촉 유닛의 접촉력을 동일하게 하기 위하여, 제어 유닛에 의해 구동되어 탐촉 유닛에 구동력을 전달하는 구동 유닛을 포함할 수 있다.

상기의 장치에 의하면, 검사 도중 검사 대상물의 표면 형상이 변하는 경우에도 탐촉 유닛과 검사 대상물 사이의 접촉력을 미리 설정된 설정치로 자동 제어할 수 있으므로, 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고, 다른 형태로도 구체화 될 수도 있다.

오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다.

명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치를 나타 낸 도면이다.

도 2를 참조하면, 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치(100)는 제어 유닛(110)과, 구동 유닛(120) 및 탐촉 유닛(140)을 포함할 수 있다.

제어 유닛(110)은 검사 대상물(미도시)과 탐촉 유닛(140) 사이의 접촉되는 모든 면에서 접촉력이 일정하게 유지되도록 하기 위해 구동 유닛(120)의 구동을 제어한다.

상기 제어 유닛(110)은 접촉력의 설정치와 검사 대상물에 접촉된 탐촉 유닛(140)의 실제 접촉력 값을 비교하고, 실제 접촉력이 설정치보다 높거나 또는 낮으면, 구동 유닛(120)을 구동하여 실제 접촉력을 설정치에 맞출 수 있다.

구동 유닛(120)은 지지 바디(121)와, 구동 바디(122) 및 구동 바(123)를 포함할 수 있다.

지지 바디(121)는 구동 바디(122) 및 구동 바(123)를 지지하는 지지 축과 같은 역할을 할 수 있다.

구동 바디(122)는 지지 바디(121)에 일측이 결합되고, 제어 유닛(110)에 의해 구동되며, 회전 운동을 하는 모터(122a)와 이 회전 운동을 직선 운동으로 변환하는 구동 변환기(122b)를 구비할 수 있다.

구동 바(123)는 구동 변환기(122b)의 타측에 결합되고, 구동 변환기(122b)의 직선 운동에 종속되어 수평으로 운동할 수 있다.

구동 바(123)의 수평 운동에 의하여, 구동 유닛(120)에 대하여 탐촉 유닛(140)이 회동 가능하게 될 수 있다.

탐촉 유닛(140)은 가이드 플레이트(guide plate;141)와, 로드 셀(load cell;142)과, 슬라이더(slider;143) 및 탐촉자(145)를 포함할 수 있다.

가이드 플레이트(141)는 구동 유닛(130)에 일측이 결합하며, 타측에 슬라이더(143)의 승강을 가이드 하기 위한 가이드 레일(미도시)이 형성된다.

구체적으로, 가이드 플레이트(141) 일측 하부는 제1 힌지(131)에 의해 지지 바디(121)에 회동 가능하게 결합할 수 있고, 상부는 제2 힌지(132)에 의해 구동 바(123)에 회동 가능하도록 결합할 수 있다.

로드 셀(142)은 가이드 플레이트(141) 타측 상부에 결합하고, 외부로부터 가해진 압력 변형량을 전기적 신호로 바꾸어 제어 유닛(110)에 전달할 수 있다.

예컨데, 로드 셀(142)에 외부 압력에 의해 압축 변형되는 감지 센서(142a)가 마련되어 있다면, 감지 센서(142a)의 압축 변형량을 전기적 신호로 변환하여 제어 유닛(110)에 전달할 수 있다.

탐촉자(145)는 검사 대상물의 검사면에 직접 접촉하여 초음파를 발진시킨다.

도 3은 슬라이더의 동작을 나타낸 도면이다.

도 3을 참조하면, 슬라이더(143)는 탐촉자(145)와 연결되어 탐촉자(145)와 검사 대상물(200) 사이의 접촉력에 의해 가이드 레일을 따라 상승 또는 하강할 수 있다.

상승 시, 로드 셀(142)을 압축시킬 수 있는데, 슬라이더(143)에 의한 압축력이 바로 탐촉자(145)와 검사 대상물(200) 사이의 접촉력이다.

즉, 탐촉자(145)가 검사 대상물(200)에 가한 압력의 반작용으로, 검사 대상 물(200)이 탐촉자(145)에 압력을 가하고, 이 압력이 슬라이더(143)에 전달되어 가이드 레일을 따라 로드 셀(142)을 압축시키게 된다.

이 압축력에 의한 로드 셀(142)의 변형량이 전기적 신호로 변환되어 제어 유닛(110)으로 보내지게 된다.

슬라이더(143)와 탐촉자(145) 사이에는 지지 바(144)가 더 구비될 수 있는데, 검사 대상물(200)의 검사면에 탐촉자(145)가 적절히 접촉되도록 탐촉자(145)는 지지 바(144)에 회동 가능하게 결합될 수 있다.

도 4a 및 도 4b는 구동 유닛의 구동에 의해 탐촉 유닛의 회동을 나타낸 도면이다.

도 4a 및 도 4b를 참조하면, 제1 힌지(131)에 의해 지지 바디(121)에 결합된 가이드 플레이트(141) 하부는 구동 바(123)의 수평 운동에 의한 전진 시, 고정된 지지 바디(121)에 결합되어 있으므로, 구동 바(123)의 수평 이동 거리에 맞추어 제1 힌지(131)의 회전 축을 중심으로 소정 각도 회전할 수 있다.

제2 힌지(132)에 의해 구동 바(123)에 결합된 가이드 플레이트(141) 상부는 구동 바(123)의 전진 시, 구동 바(123)와 함께 수평으로 이동함과 동시에 제자리에서 회동만 하는 가이드 플레이트(141) 하부에 대응하여 제2 힌지(132)의 회전 축을 중심으로 소정 각도 회전할 수 있다.

제1 힌지(132)와 제2 힌지(131)의 회전에 의해 가이드 플레이트(141)가 소정 각도 회전하여 검사 대상물(200)에 탐촉자(145)의 접촉을 가능하게 할 수 있다.

이와 같은 구조의 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치(100)는 제어 유닛(110)이 구동 유닛(120)을 구동시키고, 구동 유닛(120)에 의해 탐촉 유닛(140)이 동작하여 검사 대상물(200)로의 접촉 및 초음파를 발진시켜 검사를 수행할 수 있다.

구체적으로, 제어 유닛(110)의 지시에 따라 구동 바디(122)가 구동하여 구동 바(123)가 검사 대상물 측으로 수평 이동되도록 한다.

구동 바(123)의 수평 이동은 제1 힌지(131) 및 제2 힌지(132)에 의해 탐촉 유닛(140)을 회동시켜 탐촉자(145)가 일정한 접촉력을 가지며 검사 대상물(200)의 표면에 접촉되게 한다.

검사 대상물(200)에의 접촉 시, 지지 바(144)에 결합된 탐촉자(145)는 검사 대상물(200)로의 초음파 발진 경로를 맞추기 위하여 적절히 회전할 수 있다.

검사 대상물(200)의 표면에 접촉된 탐촉자(145)는 탐촉자(145)가 검사 대상물(200)에 가한 압력과 동일한 압력을 검사 대상물(200)로부터 받게 되어 슬라이더(143)를 상승시키게 된다.

상승된 슬라이더(143)는 로드 셀(142)과 접촉하고, 이 접촉에 의해 로드 셀(142)의 감지 센서(142a)는 압축 변형을 일으킬 수 있다.

감지 센서(142a)의 압축 변형량은 전기적 신호로 변환되어 제어 유닛(110)으로 보내어지고, 제어 유닛(110)에서는 미리 설정된 설정치와 로드 셀(142)로부터 보내어진 값을 비교하여 구동 유닛(120)의 재구동을 지시할 수 있다.

재구동은 정방향과 역방향 구동으로 나뉘어, 실제 측정치가 설정치보다 작으면 정방향으로 구동되어 탐촉자(145)와 검사 대상물(200) 사이의 접촉력을 증가시키고, 그 반대의 경우 역방향으로 구동되어 접촉력을 감소시킬 수 있다.

재구동을 통해 탐촉자(145)와 검사 대상물(200) 사이의 접촉력을 설정치와 같게 맞춘 후, 검사 대상물(200)에 초음파를 발진시켜 검사를 수행할 수 있다.

상기의 과정은 검사 도중 검사 대상물(200)의 표면 굴곡이 변하는 경우, 일정한 접촉력을 유지하기 위하여 계속해서 이루어진다.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예를 나타낸 도면이다.

도 5를 참조하면, 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치(100)는 제어 유닛(미도시)과, 구동 유닛(120) 및 탐촉 유닛(140)을 포함할 수 있고, 구동 유닛(120) 일측에 결합될 수 있는 이동 유닛(150)을 더 포함할 수 있다.

제어 유닛은 이동 유닛(150)에 내장될 수 있으며, 검사 대상물(미도시)과 탐촉 유닛(140) 사이의 접촉되는 모든 면에서 접촉력이 일정하게 유지되도록 하기 위해 구동 유닛(120)의 구동을 제어할 수 있다.

상기 제어 유닛은 접촉력의 설정치와 검사 대상물에 접촉된 탐촉 유닛(140)의 실제 접촉력 값을 비교하여, 실제 접촉력이 설정치보다 높거나 또는 낮으면, 구동 유닛(120)을 구동하여 실제 접촉력을 설정치에 맞출 수 있다.

구동 유닛(120)은 지지 바디(121)와, 구동 바디(122) 및 구동 바(123)를 포함할 수 있다.

지지 바디(121)는 구동 바디(122) 및 구동 바(123)를 지지하는 지지 축과 같은 역할을 할 수 있다.

구동 바디(122)는 지지 바디(121)에 일측이 결합되고, 제어 유닛에 의해 구동되며, 회전 운동을 하는 모터(122a)와 이 회전 운동을 직선 운동으로 변환하는 구동 변환기(122b)를 구비할 수 있다.

구동 바(123)는 구동 변환기(122b)의 타측에 결합되고, 구동 변환기(122b)의 직선 운동에 종속되어 수평으로 운동할 수 있다.

구동 바(123)의 수평 운동에 의해, 탐촉 유닛(140)은 구동 유닛(120)에 대하여 회동이 가능하게 된다.

탐촉 유닛(140)은 가이드 플레이트(141)와, 로드 셀(142)과, 슬라이더(143) 및 탐촉자(145)를 포함할 수 있다.

가이드 플레이트(141)는 구동 유닛(130)에 일측이 결합하며, 타측에 슬라이더(143)의 승강을 가이드 하기 위한 가이드 레일(미도시)이 형성된다.

구체적으로, 가이드 플레이트(141) 일측 하부는 제1 힌지(131)에 의해 지지 바디(121)에 회동 가능하게 결합하고, 상부는 제2 힌지(132)에 의해 구동 바(123)에 회동 가능하도록 결합할 수 있다.

로드 셀(142)은 가이드 플레이트(141) 타측 상부에 결합하고, 외부로부터 가해진 압력 변형량을 전기적 신호로 바꾸어 제어 유닛에 전달할 수 있다.

탐촉자(145)는 검사 대상물의 검사면에 직접 접촉하여 초음파를 발진시킨다.

슬라이더(143)는 탐촉자(145)와 연결되어 탐촉자(145)와 검사 대상물(200) 사이의 접촉력에 의해 가이드 레일을 따라 상승 또는 하강할 수 있다.

상승 시, 로드 셀(142)을 압축시킬 수 있는데, 슬라이더(143)에 의한 압축력이 바로 탐촉자(145)와 검사 대상물(200) 사이의 접촉력이다.

이 압축력에 의한 로드 셀(142)의 변형량이 전기적 신호로 변환되어 제어 유 닛으로 보내지게 된다.

슬라이더(143)와 탐촉자(145) 사이에는 지지 바(144)가 더 구비될 수 있는데, 검사 대상물(200)의 검사면에 탐촉자(145)가 적절히 접촉되도록 탐촉자(145)는 지지 바(144)에 회동 가능하게 결합될 수 있다.

제1 힌지(131)에 의해 지지 바디(121)에 결합된 가이드 플레이트(141) 하부는 구동 바(123)의 수평 운동에 의한 전진 시, 고정된 지지 바디(121)에 결합되어 있으므로, 구동 바(123)의 수평 이동 거리에 맞추어 제1 힌지(131)의 회전 축을 중심으로 소정 각도 회전할 수 있다.

제2 힌지(132)에 의해 구동 바(123)에 결합된 가이드 플레이트(141) 상부는 구동 바(123)의 전진 시, 구동 바(123)와 함께 수평으로 이동함과 동시에 제자리에서 회동만 하는 가이드 플레이트(141) 하부에 대응하여 제2 힌지(132)의 회전 축을 중심으로 소정 각도 회전할 수 있다.

제1 힌지(132)와 제2 힌지(131)의 회전에 의해 가이드 플레이트(141)가 소정 각도 회전하여 검사 대상물(200)에 탐촉자(145)의 접촉을 가능하게 할 수 있다.

이와 같은 구조의 초음파 탐촉 검사 장치(100)는 제어 유닛이 구동 유닛(120)을 구동시키고, 구동 유닛(120)에 의해 탐촉 유닛(140)이 동작하여 검사 대상물(200)로의 접촉 및 초음파를 발진시켜 검사를 수행할 수 있다.

이동 유닛(150)은 이동 바디(151)와, 승강 바(152)와, 힌지 바(154) 및 이동 바(153)를 포함할 수 있다.

이동 바디(151)는 제어 유닛(미도시)을 내장할 수 있으며, 구동 유닛(120)과 탐촉 유닛(140)의 전체적인 지지 및 탐촉 유닛(140)이 상하전후로 위치가 조절되도록 하여 검사 대상물로의 이동을 가능하게 할 수 있다.

승강 바(152)는 이동 바디(151)에 내장되며, 이동 바디(151) 상부로 승강 가능하다.

힌지 바(154)는 승강 바(152) 상단부에 회동 가능하도록 결합할 수 있다.

이동 바(153)는 힌지 바(154)에 수평 이동이 가능하게 결합하며, 구동 유닛(120)의 지지 바디(121) 일측에 결합될 수 있다.

도 6a 내지 도 6g는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치의 동작을 순차적으로 나타낸 도면이다.

도 6a를 참조하면, 검사 대상물(200)의 높이에 맞게 힌지 바(154)가 회동될 수 있도록 이동 바디(151)에 내장되어 있던 승강 바(152)가 상승한다.

도 6b를 참조하면, 상승된 승강 바(152)를 축으로, 탐촉자(145)가 검사 대상물(200)의 높이 및 거리에 근접하도록 힌지 바(154)가 회동한다.

도 6c를 참조하면, 이동 바(153)가 검사 대상물(200) 측으로 수평 이동한다.

도 6d를 참조하면, 탐촉자(145)가 검사 대상물(200)의 검사면에 접근하면, 제어 유닛에 의하여 구동 바디(122)를 구동시켜 구동 바(123)가 검사 대상물(200) 측으로 전진되도록 한다.

도 6e를 참조하면, 검사면에의 탐촉자(145) 접촉 시, 검사면에 가해진 접촉력의 반작용으로 검사면으로부터 탐촉자(145)로 접촉력과 동일한 압력이 가해져 슬라이더(143)가 상승한다.

도 6f를 참조하면, 가이드 레일을 따라 상승하던 슬라이더(143)는 로드 셀(142)의 감지 센서(142a)에 접촉하여, 검사면으로부터 전달된 압력으로 감지 센서(142a)를 압축한다.

로드 셀(142)은 감지 센서(142a)의 압축 변형량을 전기적 신호로 변환한 후, 제어 유닛에 이를 전달한다.

제어 유닛은 로드 셀(142)로부터 전달 받은 전기적 신호를 미리 설정된 설정치와 비교하여, 검사면으로부터 가해지는 압력이 설정치와 같게 되도록 구동 유닛(120)의 재구동을 지시한다.

즉, 검사면으로부터 가해진 압력이 설정치보다 작으면, 구동 유닛(120)을 정방향으로 구동시켜 탐촉자(145)와 검사면 사이의 접촉력을 증가시키고, 반대의 경우 구동 유닛(120)을 역방향으로 구동시켜 탐촉자(145)와 검사면 사이의 접촉력을 감소시킨다.

구동 유닛(120)의 재구동에 의해 탐촉자(145)와 검사 대상물(200) 사이의 접촉력이 설정치와 동일해지면, 검사 대상물(200)에 초음파를 발진시켜 검사를 수행한다.

이와 같은 구조의 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치에 의하면, 검사 대상물의 검사면이 불균일한 경우에도 모든 면에서 균일한 접촉력을 갖도록 자동으로 조절할 수 있어 초음파 검사의 정확성을 향상시킬 수 있게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 검사 도중 검사 대상물의 표면 상태가 변하는 경우에도 탐촉자와 검사 대상물 사이의 접촉력을 미리 설정된 설정치로 자동 제어하므로, 탐촉자로부터 검사 대상물로 발진하는 초음파의 전달에너지를 일정하게 유지할 수 있어, 검사 결과에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공할 수 있다.

Claims (13)

1. 검사 대상물에 초음파를 발진시키기 위해 접촉되고, 상기 검사 대상물과의 접촉력을 감지하는 탐촉 유닛;

   상기 탐촉 유닛을 구동하는 구동 유닛; 및

   상기 탐촉 유닛으로부터 상기 접촉력을 전달받아 상기 접촉력과 미리 설정된 설정치의 차이만큼 상기 구동 유닛을 구동하여 상기 접촉력을 보정하는 제어 유닛을 포함하되,

   상기 탐촉 유닛은:

   일측이 상기 구동 유닛에 결합된 가이드 플레이트;

   상기 가이드 플레이트의 타측에 승강 가능하게 결합된 슬라이더;

   상기 슬라이더에 일측이 결합되며, 검사 대상물과 접촉하여 초음파를 발진시키는 탐촉자; 및

   상기 가이드 플레이트의 타측에 결합하고, 상기 검사 대상물과 상기 탐촉자 사이의 접촉력을 감지하여 상기 제어 유닛에 전달하는 로드 셀을 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 탐촉 유닛은 상기 구동 유닛에 대하여 회동 가능한 것을 특징으로 하는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 구동 유닛은:

   지지 바디;

   상기 지지 바디에 일측이 결합하며, 회전 운동을 하는 모터 및 상기 회전 운동을 수평 운동으로 변환하는 구동 변환기를 구비한 구동 바디; 및

   일측이 상기 구동 변환기에 결합하여, 상기 수평 운동을 상기 탐촉 유닛에 전달하는 구동 바를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장 치.
4. 삭제
5. 제1항에 있어서,

   상기 로드 셀의 접촉력 감지는 상기 로드 셀과 상기 상승 이동에 의한 슬라이더의 접촉력에 의하는 것을 특징으로 하는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치.
6. 제1항에 있어서,

   상기 슬라이더와 상기 탐촉자 사이에는 지지 바가 더 구비된 것을 특징으로 하는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치.
7. 제6항에 있어서,

   상기 탐촉자는 상기 지지 바에 회동 가능하게 결합한 것을 특징으로 하는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치.
8. 제3항에 있어서,

   상기 지지 바디 일측에 결합하여 상기 탐촉 유닛의 상하전후의 위치를 조절하는 이동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치.
9. 제8항에 있어서,

   상기 이동 유닛은 상기 제어 유닛을 내장하는 것을 특징으로 하는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치.
10. 제8항에 있어서,

    상기 이동 유닛은:

    이동 바디;

    상기 이동 바디에 내장되며, 상기 이동 바디 상부로 승강 가능한 승강 바;

    상기 승강 바에 회동 가능하게 결합하는 힌지 바; 및

    상기 힌지 바에 수평 이동이 가능하게 결합하며, 타측이 상기 지지 바디와 결합하는 이동 바를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장 치.
11. 가이드 플레이트와, 일측이 상기 가이드 플레이트에 승강 가능하게 결합하는 슬라이더와, 일측이 상기 슬라이더에 결합하고, 검사 대상물에 초음파를 발진시키기 위해 상기 검사 대상물에 접촉하는 탐촉자 및 일측이 상기 가이드 플레이트에 결합하며, 상기 검사 대상물과 상기 탐촉자 사이의 접촉력을 감지하는 로드 셀을 구비하는 탐촉 유닛;

    지지 바디와, 상기 지지 바디에 일측이 결합되어 회전 운동을 하는 모터와 상기 회전 운동을 직선 운동으로 변환하는 구동 변환기를 구비한 구동 바디 및 상기 구동 바디에 일측이 결합되어 수평 운동을 하는 구동 바를 구비하며, 상기 탐촉 유닛을 구동하는 구동 유닛; 및

    상기 탐촉 유닛으로부터 상기 접촉력을 전달받아, 상기 접촉력과 미리 설정된 설정치의 차이만큼 상기 구동 유닛을 구동하여 상기 접촉력을 보정하는 제어 유닛을 포함하는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치.
12. 제11항에 있어서,

    상기 지지 바디 일측에 결합되어 상기 탐촉 유닛의 상하전후의 위치를 조절하는 이동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치.
13. 제12항에 있어서,

    상기 이동 유닛은:

    이동 바디;

    상기 이동 바디에 내장되며, 상기 이동 바디 상부로 승강 가능한 승강 바;

    상기 승강 바에 회동 가능하게 결합한 힌지 바; 및

    상기 힌지 바에 수평 이동이 가능하게 결합하며, 타측이 상기 지지 바디에 결합한 이동 바를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 탐촉자 접촉력 제어 장치.

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