KR100918382B1 - 반도체 제조 설비의 배기 장치 및 그의 설정 방법, 그리고 배기량 자동 조절 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 약액들을 사용하는 적어도 하나의 처리조를 구비하는 반도체 제조 설비의 배기 장치에 있어서:상기 반도체 제조 설비의 하부에 설치되어 상기 처리조에서 발생된 가스를 배출하는 배기 배관과;상기 배기 배관에 설치되어 상기 가스의 배기량을 자동으로 조절하는 오토 댐퍼 및;상기 오토 댐퍼의 폐쇄 위치 및 최대 개방 위치 간의 이동 범위를 감지하여 상기 오토 댐퍼의 상기 이동 범위의 단위 각도에 대한 단위 이동량을 산출하고, 실제 개폐량의 데이터를 입력받아서 상기 단위 이동량을 이용하여 상기 오토 댐퍼의 개폐량을 자동으로 조절하는 자동 조절 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 배기 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 자동 조절 장치는;상기 폐쇄 위치 및 상기 최대 개방 위치를 각각 감지하는 제 1 및 제 2 센서들과;상기 오토 댐퍼를 회전시키는 모터와;상기 모터의 회전에 의해 발생된 펄스 신호를 받아서 디지털 신호로 변환하여 출력하는 아날로그/디지털 컨버터와;상기 모터를 회전시키고, 상기 아날로그/디지털 컨버터로부터 상기 디지털 신호를 받아서 상기 모터의 회전에 의해 발생된 펄스량을 산출하는 구동부 및;상기 구동부를 제어하여 상기 모터를 회전시키고, 상기 구동부로부터 상기 펄스량을 받아서 상기 단위 이동량을 산출하고, 상기 데이터와 상기 단위 이동량을 이용하여 상기 오토 댐퍼의 개폐량을 자동 조절하도록 상기 구동부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 배기 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 제어부는;상기 제 1 및 상기 제 2 센서들로부터 감지된 상기 폐쇄 위치 및 상기 최대 개방 위치 각각에 대응하는 감지 신호를 받아들여서 상기 단위 이동량을 산출하고, 상기 데이터를 받아서 상기 오토 댐퍼의 개폐량을 자동 조절하도록 상기 구동부를 제어하는 메인 컨트롤러 및,상기 메인 컨트롤러와 전기적으로 연결되어 상기 오토 댐퍼의 개폐 동작을 모니터링하고, 상기 오토 댐퍼의 개폐량을 조절하기 위한 상기 데이터 및 복수 개의 명령들을 입력하여 상기 메인 컨트롤러로 제공하는 터치 스크린을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 배기 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 제어부는;상기 메인 컨트롤러와 전기적으로 연결되어 이동 가능하고, 상기 오토 댐퍼와 상기 메인 컨트롤러 사이를 인터페이스하기 위한 화면을 출력하는 디스플레이 장치를 구비하여, 상기 터치 스크린과 동일한 기능을 처리하는 리모콘을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 배기 장치.
- 다양한 약액들을 이용하는 복수 개의 처리조들을 구비하는 반도체 제조 설비에서, 오토 댐퍼를 구비하여 상기 처리조로부터 발생된 가스를 외부로 배기하는 배기 장치의 상기 오토 댐퍼의 설정 방법에 있어서:상기 오토 댐퍼의 폐쇄 위치와 최대 개방 위치 사이를 이동하여 상기 오토 댐퍼의 이동 범위를 감지하고;감지된 상기 이동 범위 사이에서 상기 오토 댐퍼가 회전하도록 모터를 구동하고;상기 모터의 회전에 의해 상기 오토 댐퍼를 이동시키고;상기 오토 댐퍼의 이동에 대응하는 상기 모터의 회전에 의해 발생된 펄스량을 산출하고; 이어서상기 펄스량을 이용하여 상기 오토 댐퍼의 상기 이동 범위의 단위 각도에 대한 단위 이동량을 산출하여 저장하는 것을 특징으로 하는 오토 댐퍼의 설정 방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 단위 이동량을 산출하는 것은;상기 펄스량을 상기 이동 범위의 각도로 나눈 값으로 산출하는 것을 특징으로 하는 오토 댐퍼의 설정 방법.
- 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 펄스량을 측정하는 것은;상기 모터의 회전에 의해 발생된 펄스 신호를 디지털 데이터로 변환하여, 상기 디지털 데이터로부터 상기 펄스량을 산출하는 것을 특징으로 하는 오토 댐퍼의 설정 방법.
- 다양한 약액들을 이용하는 복수 개의 처리조들을 구비하는 반도체 제조 설비에서, 오토 댐퍼를 구비하여 상기 처리조로부터 발생된 가스를 외부로 배기하는 배기 장치의 개폐량 자동 조절 방법에 있어서:상기 오토 댐퍼의 폐쇄 위치와 최대 개방 위치 사이를 이동하여 상기 오토 댐퍼의 이동 범위를 감지하여, 상기 오토 댐퍼의 상기 이동 범위의 단위 각도에 대한 단위 이동량을 산출하고;상기 오토 댐퍼의 실제 개폐량에 대응되는 데이터를 입력받고; 이어서상기 단위 이동량을 이용하여 자동으로 상기 오토 댐퍼를 상기 데이터에 대응하는 위치로 이동하는 것을 특징으로 하는 배기 장치의 개폐량 자동 조절 방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 산출하는 것은;상기 오토 댐퍼의 상기 이동 범위를 감지하고,감지된 상기 이동 범위 사이에서 상기 오토 댐퍼가 회전하도록 모터를 구동하고,상기 모터의 구동에 의해 상기 오토 댐퍼를 이동시키고,상기 오토 댐퍼의 이동에 대응하는 상기 모터의 회전에 의해 발생된 펄스량을 산출하고, 이어서상기 펄스량을 이용하여 상기 오토 댐퍼의 상기 단위 이동량을 산출하여 저장하는 것을 특징으로 하는 배기 장치의 개폐량 자동 조절 방법.
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- 제 9 항에 있어서,상기 데이터는 상기 오토 댐퍼의 회전 각도 또는 펄스량인 것을 특징으로 하는 배기 장치의 개폐량 자동 조절 방법.
- 제 9 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 단위 이동량은 상기 모터의 회전에 의해 발생되는 상기 펄스량을 상기 이동 범위의 각도로 나눈 값인 것을 특징으로 하는 배기 장치의 개폐량 자동 조절 방법.
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