KR100904532B1 - Apparatus for transfering substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 장치는, 자성체를 포함하며, 기판을 반송하는 다수의 반송 롤러, 상기 반송 롤러를 자유 회전 가능하게 지지하는 다수의 반송 샤프트, 전자기를 이용하여 상기 반송 롤러를 제 1 및 제 2 반송 방향으로 회전시키는 전자기 회전 봉, 및 상기 전자기 회전 봉에 전자기 발생 및 회전 구동을 위한 전기 신호의 공급을 제어하는 제어부를 포함한다. 본 발명에 의하면, 기판 반송시 자성에 의해 반송 롤러를 전 방향 회전시킴으로써 기판의 반송 효율을 증대시킬 수 있다.A substrate conveying apparatus according to an embodiment of the present invention includes a plurality of conveying rollers including a magnetic material, a plurality of conveying shafts for freely supporting the conveying rollers, and a conveying roller by electromagnetic. An electromagnetic rotating rod rotating in the first and second conveying directions, and a control unit controlling the supply of an electrical signal for electromagnetic generation and rotational driving to the electromagnetic rotating rod. According to the present invention, the conveyance efficiency of the substrate can be increased by rotating the conveyance roller in all directions by magnetism during substrate conveyance.

기판, 반송, 롤러, 자성 Board, Transfer, Roller, Magnetic

Description

기판 반송 장치{Apparatus for transfering substrate}Apparatus for transfering substrate

본 발명은 기판 반송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 반송시 자성에 의해 반송 롤러를 전 방향 회전시킴으로써 기판의 반송 효율을 증대시킬 수 있는 기판 반송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus capable of increasing the transfer efficiency of a substrate by rotating the transfer roller in all directions by magnetism during substrate transfer.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 기판 상에 증착, 식각, 세정, 에칭 등의 다양한 공정을 수행하게 된다. 따라서 이러한 각 공정들을 모두 수행하기 위해서 각 공정을 수행한 후 반도체 기판들이 다른 공정으로 이송되어야 한다. 이를 위해 각 반도체 소자 제조 공정이 진행되는 공정 챔버로 기판을 이송하기 위한 기판 반송 장치가 사용된다.Generally, in order to manufacture a semiconductor device, various processes such as deposition, etching, cleaning, and etching are performed on a substrate. Therefore, in order to perform all of these processes, the semiconductor substrates must be transferred to another process after each process. To this end, a substrate transfer device for transferring a substrate to a process chamber where each semiconductor device manufacturing process is performed is used.

도 1은 종래의 기판 반송 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing a conventional substrate transfer apparatus.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 기판 반송 장치는 다수의 반송 샤프트(1)의 회전 운동에 의해 기판(S)이 제 1 반송 방향(a)으로 이동하고, 승강 샤프트(2) 및 지지 롤러(3)의 상하 운동에 의해 기판(S)을 강제적으로 상승시켜 제 2 반송 방향(b)으로 전환하여 반송시킨다. As shown in FIG. 1, in the conventional substrate conveying apparatus, the substrate S moves in the first conveying direction a by the rotational movement of the plurality of conveying shafts 1, and the elevating shaft 2 and the supporting rollers are moved. The board | substrate S is forcibly raised by the up-down motion of (3), it switches to the 2nd conveyance direction b, and is conveyed.

그러나, 상기와 같은 종래의 기판 반송 장치는 기판(S) 반송 중에 승강 샤프 트(2)의 승강(Up/Down) 운동에 의해 동작이 지연됨으로써, 기판(S) 진행의 트랙 타임(track time)이 증가하여 생산성 효율이 저하되는 문제가 있다.However, in the above conventional substrate transfer apparatus, the operation is delayed by the up / down movement of the lifting shaft 2 during the transfer of the substrate S, so that the track time of the progress of the substrate S is progressed. This increases the problem that the productivity efficiency is lowered.

또한, 승강 샤프트(2) 등의 장비 장착 및 운동 반경으로 인한 설비 확장이 필요하므로 설치 공간이 많이 요구되며, 비용 상승의 문제가 있다.In addition, since the installation of equipment such as the lifting shaft 2 and the expansion of the equipment due to the radius of movement is required, a lot of installation space is required, and there is a problem of cost increase.

또한, 사용자가 반송 정확도를 조정하기에 어려운 문제가 있다.In addition, there is a problem that the user is difficult to adjust the conveying accuracy.

본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 목적은 기판 반송시 자성에 의해 반송 롤러를 전 방향 회전시킴으로써 기판의 반송 효율을 증대시킬 수 있는 기판 반송 장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a substrate conveying apparatus capable of increasing the conveying efficiency of a substrate by rotating the conveying roller in all directions by magnetism during substrate conveyance. .

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어질 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 장치는, 자성체를 포함하며, 기판을 반송하는 다수의 반송 롤러, 상기 반송 롤러를 자유 회전 가능하게 지지하는 다수의 반송 샤프트, 전자기를 이용하여 상기 반송 롤러를 제 1 및 제 2 반송 방향으로 회전시키는 전자기 회전 봉, 및 상기 전자기 회전 봉에 전자기 발생 및 회전 구동을 위한 전기 신호의 공급을 제어하는 제어부를 포함한다.In order to achieve the above object, a substrate conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, a magnetic material, a plurality of conveying rollers for conveying the substrate, a plurality of conveying shafts for supporting the conveying rollers freely rotatable, electromagnetic Electromagnetic rotary rod for rotating the conveying roller in the first and second conveying direction by using a, and a control unit for controlling the supply of electrical signals for electromagnetic generation and rotational drive to the electromagnetic rotating rod.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings.

상기한 바와 같은 본 발명의 기판 반송 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.According to the board | substrate conveying apparatus of this invention as mentioned above, there exist one or more of the following effects.

첫째, 기판 반송시 자성에 의해 반송 롤러를 전 방향 회전시킴으로써, 기판의 반송 효율을 증대시킬 수 있다.First, the conveyance efficiency of a board | substrate can be improved by rotating a conveyance roller all directions by magnetism at the time of board | substrate conveyance.

둘째, 종래의 승강 샤프트 및 로봇 제어에 의한 반송 장치의 전체적인 설비 형태의 변형이 불필요하므로, 장치의 비용을 절감할 수 있고, 트랙 타임을 감소시킬 수 있다.Second, since modification of the overall equipment form of the conveying apparatus by the conventional lifting shaft and robot control is unnecessary, the cost of the apparatus can be reduced and the track time can be reduced.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 특허청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 반송 장치를 상세히 설명하기로 한다. 참고로 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, a substrate transport apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. For reference, in the following description of the present invention, if it is determined that a detailed description of related known functions or configurations may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 반송 롤러의 내부 구조를 개략적으로 도시한 도면이며, 도 4는 반송 샤프트 및 반송 롤러의 지지 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.2 is a view schematically showing a substrate transport apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a view schematically showing an internal structure of a transport roller, and FIG. 4 is a support structure of a transport shaft and a transport roller. It is a schematic drawing.

도 2 내지 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 장치는 반송 롤러(10), 반송 샤프트(20), 전자기 회전 봉(30) 및 제어부(40) 등을 구비한다.As illustrated in FIGS. 2 to 4, the substrate conveying apparatus according to the exemplary embodiment includes a conveying roller 10, a conveying shaft 20, an electromagnetic rotating rod 30, a controller 40, and the like.

상기 반송 롤러(10)는 기판을 반송하기 위해 회전하는 롤러로서, 복수의 열로 다수개 구비된다.The said conveyance roller 10 is a roller which rotates in order to convey a board | substrate, and is provided in multiple numbers in several rows.

상기 반송 롤러(10)는 내부에 자성체(11), 예컨대 영구자석이 구비되며, 후술하는 전자기 회전 봉(30)이 회전시 자성에 의해 회전한다.The conveying roller 10 is provided with a magnetic body 11, for example, a permanent magnet, and the electromagnetic rotating rod 30, which will be described later, rotates by magnetism when rotating.

본 실시예에서 상기 반송 롤러(10)는 내부에 자성체(11)가 구비되는 구성을 예시하였으나, 이에 한정되지 않고 다양한 구성이 가능하다. 예를 들어, 도면에는 도시된 바 없지만, 상기 반송 롤러(10)는 외부에 자성체를 구비하거나, 롤러 전체를 자성체로 형성할 수 있다.In this embodiment, the conveying roller 10 has illustrated a configuration in which the magnetic body 11 is provided therein, but is not limited thereto, and various configurations are possible. For example, although not shown in the drawing, the conveying roller 10 may be provided with a magnetic material on the outside, or the entire roller may be formed of a magnetic material.

상기 반송 샤프트(20)는 반송 롤러(10)를 자유 회전 가능하게 지지하며, 다수개 구비된다.The conveying shaft 20 supports the conveying roller 10 so as to be freely rotatable and is provided in plural numbers.

상기 반송 샤프트(20)는 반송 롤러(10)를 수용하도록 일정한 간격을 두고 수용부(21)가 형성된다. The conveying shaft 20 is provided with an accommodating portion 21 at regular intervals to accommodate the conveying roller 10.

상기 수용부(21)는 반송 롤러(10)의 상하면이 노출되도록 외주면을 감싸는 원형 고리 형상을 갖는다. 이 수용부(21)는 후술하는 베어링(23)이 삽입된 상태로 유동하도록 가이드하는 유동가이드홈(21a, 21b)이 내주면에 수평방향으로 적어도 하나 형성된다.The receiving portion 21 has a circular ring shape surrounding the outer circumferential surface so that the upper and lower surfaces of the conveying roller 10 are exposed. At least one flow guide groove 21a, 21b for guiding the bearing 21 to flow in the inserted state of the bearing 23 is formed on the inner circumferential surface thereof in a horizontal direction.

상기 수용부(21)와 반송 롤러(10)의 사이에는 베어링(23)이 개재된다. 보다 상세하게는 베어링(23)은 반송 롤러(10)의 상측 외주면을 감싸도록 지지하는 제 1 열 볼베어링(23a)과, 반송 롤러(10)의 하측 외주면을 감싸도록 지지하는 제 2 열 볼베어링(23b)을 구비한다. 이때, 반송 롤러(10)는 베어링(23)에 의해 샤프트(20)의 수용부(21) 내에서 자유 회전 가능하게 지지된다.A bearing 23 is interposed between the receiving portion 21 and the conveying roller 10. More specifically, the bearing 23 includes a first row ball bearing 23a supporting the upper outer peripheral surface of the conveying roller 10 and a second row ball bearing 23b supporting the lower outer peripheral surface of the conveying roller 10. ). At this time, the conveyance roller 10 is supported by the bearing 23 so that rotation is possible in the accommodating part 21 of the shaft 20 freely.

상기 전자기 회전 봉(30)은 전자기를 이용하여 반송 롤러(10)를 제 1 및 제 2 반송 방향(a, b)으로 회전시킨다.The electromagnetic rotating rod 30 rotates the conveying roller 10 in the first and second conveying directions a and b using electromagnetic.

상기 전자기 회전 봉(30)은 제 1 전자기 회전 봉(31) 및 제 2 전자기 회전 봉(32)을 구비한다.The electromagnetic rotating rod 30 includes a first electromagnetic rotating rod 31 and a second electromagnetic rotating rod 32.

상기 제 1 전자기 회전 봉(31)은 상기 제 1 반송 방향(a)과 수직하게 일정 간격을 두고 다수 배치된다. The plurality of first electromagnetic rotating rods 31 are arranged at regular intervals perpendicular to the first conveying direction a.

상기 제 1 전자기 회전 봉(31)은 후술하는 제어부(40)로부터 공급되는 전기 신호에 의해 전자기를 띠며, 제 1 반송 모터(35)에 의해 회전된다.The first electromagnetic rotating rod 31 is electromagnetically driven by an electrical signal supplied from the controller 40 to be described later, and is rotated by the first transport motor 35.

상기 제 1 전자기 회전 봉(31)은 회전 운동에 따라 자성에 의해 반송 롤러(10)를 상기 제 1 반송 방향(a)으로 회전시킨다.The first electromagnetic rotating rod 31 rotates the conveying roller 10 in the first conveying direction a by magnetism in accordance with the rotational motion.

상기 제 2 전자기 회전 봉(32)은 상기 제 2 반송 방향(b)과 수직하게 일정 간격을 두고 다수 배치된다. 즉, 상기 제 1 반송 방향(a)과 상기 제 2 반송 방향(b)이 서로 수직인 경우, 상기 제 1 전자기 회전 봉(31)과 상기 제 2 전자기 회 전 봉(32)도 서로 수직하게 배치된다.The plurality of second electromagnetic rotating rods 32 are arranged at regular intervals perpendicular to the second conveying direction b. That is, when the first conveyance direction a and the second conveyance direction b are perpendicular to each other, the first electromagnetic rotating rod 31 and the second electromagnetic rotating rod 32 are also disposed perpendicular to each other. do.

상기 제 2 전자기 회전 봉(32)은 후술하는 제어부(40)로터 공급되는 전기 신호에 의해 전자기를 띠며, 제 2 반송 모터(36)에 의해 회전된다.The second electromagnetic rotating rod 32 is electromagnetically driven by an electrical signal supplied from the controller 40 to be described later, and is rotated by the second carrier motor 36.

상기 제 2 전자기 회전 봉(32)은 회전 운동에 따라 자성에 의해 반송 롤러(10)를 상기 제 2 반송 방향(b)으로 회전시킨다.The second electromagnetic rotating rod 32 rotates the conveying roller 10 in the second conveying direction b by magnetism in accordance with the rotational motion.

상기 제 1 및 제 2 전자기 회전 봉(31, 32)은 소정의 각도, 바람직하게는 90도 각도를 이루며, 상하로 교차되도록 배치된다.The first and second electromagnetic rotating rods 31 and 32 form a predetermined angle, preferably 90 degrees, and are arranged to intersect up and down.

상기 제 1 및 제 2 전자기 회전 봉(31, 32)은 반송 롤러(10)의 하부에 바로 위치하는 것이 바람직하지만, 반송 롤러(10)의 사이에 위치하는 구성도 가능하다. Although the said 1st and 2nd electromagnetic rotating rods 31 and 32 are preferably located directly under the conveyance roller 10, the structure located between the conveyance rollers 10 is also possible.

상기 제어부(40)는 제 1 및 제 2 전자기 회전 봉(31, 32)에 전자기 발생을 위한 전기 신호의 공급을 선택적으로 제어한다. 또한, 상기 제어부(40)는 제 1 및 제 2 전자기 회전 봉(31, 32)의 회전을 위한 제 1 및 제 2 반송 모터(35, 36)에 전기 신호의 공급을 선택적으로 제어한다. 보다 상세하게는, 상기 제어부(40)는 제 1 및 제 2 전자기 회전 봉(31, 32)에 동시에 전기 신호를 공급하는 경우에 서로의 인력에 의해 역학적 회전 운동이 불가능하므로 전기 신호 제어에 의한 선택적 전기 전송으로 전기를 전송받은 전자기 회전 봉(30) 만이 자성을 가지며 반송 롤러(10)를 인력에 의해 회전시키는 역할을 한다.The controller 40 selectively controls the supply of an electrical signal for electromagnetic generation to the first and second electromagnetic rotating rods 31 and 32. In addition, the controller 40 selectively controls the supply of an electrical signal to the first and second carrier motors 35 and 36 for the rotation of the first and second electromagnetic rotating rods 31 and 32. More specifically, the controller 40 is selective by the electrical signal control because mechanical rotation is impossible by mutual attraction when the electrical signals are simultaneously supplied to the first and second electromagnetic rotating rods 31 and 32. Only the electromagnetic rotating rod 30 which has received electricity by electric transmission has magnetic properties and serves to rotate the conveying roller 10 by a manpower.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 장치는, 제어부(40)에서 기판의 반송 방향이 감지된 신호를 받고 반송 방향에 대응하는 해당 반송 모터와 전자기 회전 봉에 전류를 선택적으로 전송한다. 보다 상세하게는, 제어 부(40)는 기판이 제 1 반송 방향(a)으로 이동하는 신호가 감지되는 경우에 제 1 반송 모터(35)와 제 1 전자기 회전 봉(31)에 전류를 전송하고, 기판이 제 2 반송 방향(b)으로 이동하는 신호가 감지되는 경우에 제 2 반송 모터(36)와 제 2 전자기 회전 봉(32)에 전류를 전송한다. 전류를 전송받은 전자기 회전 봉(30)은 자성을 가지며, 전류를 전송받은 반송 모터에 의해 전자기 회전 봉(30)은 회전 운동을 한다. 자성을 가진 전자기 회전 봉(30)은 반송 모터에 의해 회전하면서 근접한 부위의 반송 롤러(10)의 내부 자성체(11)와 인력으로 전자기 회전 봉의 회전 방향과 반대방향으로 반송 롤러(10)를 회전시킨다. 반송 롤러(10)의 회전에 의해 기판은 제 1 및 제 2 반송 방향(a, b)으로 반송된다. 제어부(40)는 지속적으로 기판 이동을 감지하면서 제 1 및 제 2 반송 방향(a, b)으로 기판의 반송을 반복적으로 선택 제어한다.In the substrate conveying apparatus according to the embodiment of the present invention configured as described above, the controller 40 receives a signal from which the conveying direction of the substrate is sensed, and selectively applies current to the corresponding conveying motor and the electromagnetic rotating rod corresponding to the conveying direction. send. More specifically, the control unit 40 transmits a current to the first conveying motor 35 and the first electromagnetic rotating rod 31 when a signal for moving the substrate in the first conveying direction a is detected. In response to a signal of moving the substrate in the second conveying direction b, a current is transmitted to the second conveying motor 36 and the second electromagnetic rotating rod 32. The electromagnetic rotating rod 30 receiving the electric current has magnetic properties, and the electromagnetic rotating rod 30 performs the rotary motion by the conveying motor receiving the electric current. The electromagnetic rotating rod 30 having magnetism rotates the conveying roller 10 in the direction opposite to the direction of rotation of the electromagnetic rotating rod by the magnetic force of the inner magnetic body 11 of the conveying roller 10 and the attraction force of the adjacent part while rotating by the conveying motor. . The substrate is conveyed in the first and second conveyance directions a and b by the rotation of the conveying roller 10. The controller 40 repeatedly selects and controls the transfer of the substrate in the first and second conveyance directions a and b while continuously detecting the movement of the substrate.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains may implement the present invention in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. I can understand that. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the above description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention. do.

도 1은 종래의 기판 반송 장치를 개략적으로 도시한 도면.1 is a view schematically showing a conventional substrate transport apparatus.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 장치를 개략적으로 도시한 도면.2 is a schematic view showing a substrate transport apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 반송 롤러의 내부 구조를 개략적으로 도시한 도면.3 schematically shows the internal structure of the conveying roller;

도 4는 반송 샤프트 및 반송 롤러의 지지 구조를 개략적으로 도시한 도면. 4 is a view schematically showing a supporting structure of a conveying shaft and a conveying roller;

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

10 : 반송 롤러 11 : 자성체 10 conveying roller 11 magnetic material

20 : 반송 샤프트 21 : 수용부 20: conveying shaft 21: receiving portion

23 : 베어링 30 : 전자기 회전 봉 23: bearing 30: electromagnetic rotating rod

31 : 제 1 전자기 회전 봉 32 : 제 2 전자기 회전 봉 31: first electromagnetic rotating rod 32: second electromagnetic rotating rod

35 : 제 1 반송 모터 36 : 제 2 반송 모터 35: first conveying motor 36: second conveying motor

40 : 제어부40: control unit

Claims (5)

전체 또는 일부가 자성체로 형성되며, 기판을 반송하는 다수의 반송 롤러;A plurality of conveying rollers, all or part of which is formed of a magnetic material and conveys a substrate; 상기 반송 롤러를 자유 회전 가능하게 지지하는 다수의 반송 샤프트;A plurality of conveying shafts for rotatably supporting the conveying roller; 전자기를 이용하여 상기 반송 롤러를 제 1 및 제 2 반송 방향으로 회전시키는 전자기 회전 봉; 및An electromagnetic rotating rod which rotates the conveying roller in the first and second conveyance directions by using electromagnetic; And 상기 전자기 회전 봉에 전자기 발생 및 회전 구동을 위한 전기 신호의 공급을 제어하는 제어부를 포함하는 기판 반송 장치.And a control unit for controlling supply of an electrical signal for electromagnetic generation and rotational driving to the electromagnetic rotating rod. 제 1 항에 있어서, 상기 전자기 회전 봉은,The method of claim 1, wherein the electromagnetic rotating rod, 상기 제 1 반송 방향과 수직하게 다수 배치되며, 회전 운동에 따라 자성에 의해 상기 반송 롤러를 상기 제 1 반송 방향으로 회전시키는 제 1 전자기 회전 봉; 및A plurality of first electromagnetic rotating rods disposed perpendicularly to the first conveying direction and rotating the conveying roller in the first conveying direction by magnetism according to a rotational motion; And 상기 제 2 반송 방향과 수직하게 다수 배치되며, 회전 운동에 따라 자성에 의해 상기 반송 롤러를 상기 제 2 반송 방향으로 회전시키는 제 2 전자기 회전 봉을 포함하는 기판 반송 장치.And a plurality of second electromagnetic rotating rods arranged perpendicularly to the second conveying direction and rotating the conveying roller in the second conveying direction by magnetism in accordance with a rotational motion. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 제 1 및 제 2 전자기 회전 봉은 소정의 각도를 이루며 상하로 교차되도록 배치되는 기판 반송 장치.And the first and second electromagnetic rotating rods are disposed to cross each other at a predetermined angle. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 반송 샤프트와 상기 반송 롤러의 사이에 베어링이 구비되는 기판 반송 장치.The board | substrate conveying apparatus provided with the bearing between the said conveyance shaft and the said conveying roller. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 반송 샤프트는 상기 베어링이 삽입된 상태로 유동하도록 가이드하는 유동가이드홈을 포함하는 기판 반송 장치.And the conveying shaft includes a flow guide groove for guiding the bearing to flow in the inserted state.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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