KR100903098B1 - 노즐 가열 기구를 가지는 증착 장치 - Google Patents

Abstract

노즐 가열 기구를 가지는 증착 장치를 개시한다. 본 발명은 증착원이 저장되며, 그 외면에 히이터가 설치된 가열 용기;와, 가열 용기의 상단부에 형성된 개구부를 밀폐시키도록 결합되며, 직경을 좁게 한 노우즈부가 돌출한 노즐;과, 노즐의 상면에 선택적으로 접촉가능하며, 노즐에 열을 인가하는 노즐 히이터;와, 승강 수단에 의하여 수직 방향으로 승강 운동 가능한 승강부;와, 노즐 히이터와 승강부를 상호 연결시키고, 승강부의 승강 운동에 따라서 노즐 히이터를 노즐의 상면에 접촉시키는 아암;을 포함하는 것으로서, 가열 용기의 개구부를 밀폐하는 노즐상에 유연성있게 접촉가능한 노즐 히이터를 설치함으로써, 노즐에 대하여 노즐 히이터의 균일한 접촉을 보장하게 된다. 이에 따라, 가열 용기와, 노즐을 균일하게 가열할 수 있다.

Description

노즐 가열 기구를 가지는 증착 장치{Vapor deposition apparataus having nozzle heating mechanism}

도 1은 종래의 일 예에 따른 증착 장치를 도시한 구성도,

도 2는 종래의 다른 예에 따른 증착 장치를 도시한 구성도,

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 도시한 구성도,

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 노즐 가열 기구를 도시한 사시도,

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 노즐 가열 기구를 도시한 사시도,

도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 노즐 가열 기구를 도시한 사시도,

도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 노즐 가열 기구를 도시한 사시도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

30...증착 장치 31...챔버

32...기판 장착부 33...기판

34...마스크 35...용기 수납부

36...가열 용기 37...노즐

40...노즐 가열 기구 41...승강부

42...실린더 44...아암

45...제2 링크 46...노즐 히이터

본 발명은 증착 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 가열 용기에 담긴 증발원을 피증착체에 증착시 가열 용기를 덮고 있는 노즐에 일정한 온도를 가할 수 있도록 구조가 개선된 노즐 가열 기구를 가지는 증착 장치에 관한 것이다.

통상적으로, 유기 전자 발광 소자(organic electro luminesence display)는 형광성 유기 화합물을 전기적으로 여기시켜서 발광시키는 자발광형 디스플레이로서, 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 박형등의 장점을 가진다. 또한, 유기 전자 발광 소자는 광시야각, 빠른 응답 속도등 액정 표시 소자에서 문제로 지적되는 단점을 해결할 수 있는 차세대 디스플레이로 주목받고 있다.

이러한 유기 전자 발광 소자는 기판 상부에 소정 패턴의 양극층이 형성되어 있고, 상기 양극층 상부로 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층 등의 유기막층이 형성되며, 이들 유기막층의 상부에 상기 양극층과 직교하는 방향으로 소정 패턴의 음극층이 형성되어 있는 구조이다.

이의 작동 원리는 전원이 공급되면 전자가 이동하면서 전류가 흐르게 되는데 음극에서는 전자가 전자 수송층의 도움으로 발광층으로 이동하고, 상대적으로 양극에서는 홀이 홀 수송층의 도움으로 발광층으로 이동하게 된다. 이들은 유기 물질인 발광층에서 만나 전자와 홀은 높은 에너지를 가지는 여기자를 생성하게 되는데, 이때, 여기자가 낮은 에너지로 떨어지면서 빛을 발생하게 되는 것이다. 발광층을 구 성하고 있는 유기 물질이 어떤 것이냐에 따라서 풀 칼라를 구현할 수 있다.

유기 전자 발광 소자의 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층 등 유기 박막을 형성시키는 기술로는 진공 증착법이 널리 알려져 있다. 이 진공 증착법은 내부 압력이 10^-6 내지 10^-7 torr로 제어되는 진공 챔버 내부에 유기 박막을 성막시킬 기판을 장착하고, 이 기판에 유기물이 담긴 가열 용기로부터 유기물을 승화시켜서 증착시키는 방법으로 수행된다.

도 1은 일본 특개소 제60-243266호에 개시된 증착 장치(10)를 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 상기 증착 장치(10)는 피증착체(11)의 하부에 수용기(14)(15)가 설치되고, 상기 수용기(14)(15)의 내부에 유기물과 같은 주증발원(12)과, 부증발원(13)이 수용되어 있다.

상기 수용기(14)(15)의 상면 개구부에는 노즐(16)(17)이 설치되며, 상기 각 노즐(16)(17)의 입구(16a)(17a)는 상기 피증착체(11)의 하부 표면에 향하도록 배치되어 있다. 상기 노즐(16)(17)의 외주면에는 히이터(18)(19)가 취부되어 있다. 상기 히이터(18)(19)는 상기 증발원(12)(13)으로부터 증발되는 증기가 노즐(16)(17)의 내주면에 부착되는 것을 방지하게 해 준다.

상기와 같은 구성을 가지는 증착 장치(10)는 피증착체(11)의 표면에 박막층을 증착시에 수용기(14)(15)의 상부에 히이터(18)(19)를 구비한 증기 안내용 노즐(16)(17)을 피증착체(11) 쪽으로 설치함에 따라서 주증발원(12)과, 부증발원(13)을 효율적으로 피증착체(11) 상에 증착시킬 수가 있다.

그런데, 종래의 증착 장치(10)는 노즐(16)(17)마다 그 외주면에 히이터(18)(19)가 설치되어야 함에 따라서, 복수개로 마련된 노즐(16)(17) 대비하여 설치비가 많이 발생하는 부담이 있다. 또한, 상기 노즐(16)(17)은 개구부(16a)(17a)가 완전히 개방되어 있기 때문에 확산되는 입구가 너무 넓게 되어서, 수용기(14)(15) 내에 수용된 주증발원(12)과 부증발원(13)이 상기 피증착체(11) 상에 균일하게 증착되는 것이 용이하지 않다.

또 다른 타입의 증착 장치(20)는 도 2에 도시된 바와 같다.

도면을 참조하면, 상기 증착 장치(20)는 피증착체의 하부에 가열 용기(21)가 설치되고, 상기 가열 용기(21) 내부에는 증발시키고자 하는 유기물과 같은 증발원이 수용되어 있다. 상기 가열 용기(21)의 개구부(21a)에는 이를 밀폐하도록 노즐(22)이 설치되어 있다. 상기 가열 용기(21)의 외주면에는 히이터(23)가 취부되어 있다.

상기 노즐(22)에는 이에 온도를 가하기 위하여 가열 기구(200)가 배치되어 있다. 상기 가열 기구(200)는 가이드부(210)와, 상기 가이드부(210)를 따라 수직 방향으로 승강가능한 수평 아암(220)과, 상기 수평 아암(220)의 단부에 결합되는 수직 아암(230)과, 상기 수직 아암(230)의 단부에 결합되며, 상기 노즐(22) 상에 안착되는 히이터(240)를 포함한다.

상기와 같은 구성을 가지는 증착 장치(20)는 상기 수평 아암(220)이 하강하여 상기 히이터(240)가 노즐(22)의 상면에 안착된 상태에서 노즐(22)에 열을 인가 하게 된다. 이에 따라, 노즐(22)에도 고온의 열을 발생시킬 수 있다.

그런데, 종래의 증착 장치(20)는 상기 노즐(22)의 상면에 대한 히이터(240)의 접촉이 불안하여서, 일부 영역에서는 상기 노즐(22)과 히이터(240) 사이에 간격(G)이 발생하게 된다. 이에 따라, 노즐(22) 전체 영역에 대하여 균일하게 열을 가할 수가 없다.

이렇게 노즐(22)에 대하여 온도의 균일성을 확보하지 못하면, 노즐(22)의 일부 영역은 가열이 제대로 되지 않는다. 상기 노즐(22)의 일부가 제대로 가열되지 않으면, 가열 용기(21)의 내부로부터 승화되어 토출되는 유기물은 그 부분에서 재결정화되거나 내벽에 부착된다. 따라서, 노즐(22)의 입구를 폐쇄시킬 수도 있다.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 증발원을 수용하고 있는 가열 용기의 개구부를 덮고 있는 노즐에 균일한 온도를 인가할 수 있도록 구조가 개선되어 가열 용기로부터 증발되는 증발원이 피증착체에 균일하게 증착될 수 있는 노즐 가열 기구를 가지는 증착 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 노즐 가열 기구를 가지는 증착 장치는,

증착원이 저장되며, 그 외면에 히이터가 설치된 가열 용기;

상기 가열 용기의 상단부에 형성된 개구부를 밀폐시키도록 결합되며, 직경을 좁게 한 노우즈부가 돌출한 노즐;

상기 노즐의 상면에 선택적으로 접촉가능하며, 상기 노즐에 열을 인가하는 노즐 히이터;

승강 수단에 의하여 수직 방향으로 승강 운동 가능한 승강부; 및

상기 노즐 히이터와 승강부를 상호 연결시키고, 상기 승강부의 승강 운동에 따라서 상기 노즐 히이터를 상기 노즐의 상면에 접촉시키는 아암;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 노즐 히이터와, 아암의 접속부는 링크에 의하여 접속되어 있고, 상기 노즐 히이터는 아암에 대하여 피칭 방향으로 결합된 것을 특징으로 한다.

더욱이, 상기 노즐 히이터와, 아암의 접속부는 링크에 의하여 접속되어 있고, 상기 노즐 히이터는 아암에 대하여 피칭 방향과 롤링 방향으로 결합되며, 상기 아암은 노즐 히이터의 충격을 흡수할 수 있도록 고탄성의 소재로 이루어진 것을 특징으로 한다.

아울러, 상기 노즐 히이터는 상기 아암에 의하여 승강부와 연결되어 있고, 상기 아암과 승강부 사이에는 상기 노즐에 대하여 노즐 히이터가 자유롭게 경사를 바꿀 수 있도록 탄성 바이어스 수단이 설치된 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 측면에 따른 노즐 가열 기구를 가지는 증착 장치는,

증착원이 저장되며, 그 외면에 히이터가 설치된 가열 용기;

상기 가열 용기의 상단부에 형성된 개구부를 밀폐시키도록 결합되는 노즐 형상을 가지며, 직경을 좁게 한 노우즈부가 돌출하여 있고, 소정 온도로 가열되는 노즐 히이터;

승강 수단에 의하여 수직 방향으로 승강 운동 가능한 승강부; 및

상기 노즐 히이터와 승강부를 상호 연결시키고, 상기 승강부의 승강 운동에 따라서 상기 노즐 히이터를 상기 가열 용기의 상단부에 접촉시키는 아암;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

게다가, 상기 노즐 히이터와, 아암의 접속부는 링크에 의하여 접속되어 있고, 상기 노즐 히이터는 아암에 대하여 피칭 방향과 롤링 방향으로 결합된 것을 특징으로 한다.

이하에서 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 상세하게 설명하고자 한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치(30)를 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 상기 증착 장치(30)는 진공 챔버(31) 내에 설치되어 있다.

상기 진공 챔버(31) 내의 상부측에는 기판 장착부(32)가 설치되어 있다. 상기 기판 장착부(32)의 하부에는 기판(33)이 위치하고 있다. 상기 기판(33)의 하부에는 상기 기판(33) 상에 형성시키고자 하는 패턴을 가지는 마스크(34)가 정렬되어 있다.

상기 진공 챔버(31) 내의 하부측에는 용기 수납부(35)가 마련되어 있다. 상기 용기 수납부(35)에는 다수개의 가열 용기(36)가 삽입되어 있다. 상기 가열 용기(36)에는 유기물과 같은 증발원이 내장되어 있다. 복수개의 가열 용기(36)중 증발시키고자 하는 대상 증발원이 담겨진 가열 용기(36)는 상기 기판(33)과 대향되게 위치하고 있다. 상기 가열 용기(36)의 상부에는 이를 밀폐하도록 노즐(37)이 설 치되어 있다.

상기 가열 용기(36)의 인접한 곳에는 노즐 가열 기구(300)가 설치되어 있다. 상기 노즐 가열 기구(300)는 상기 노즐(37)에 대하여 소정의 열을 인가하도록 아암(310)에 연결된 히이터(320)가 노즐(37) 상부에 결합되어 있다.

상기와 같이, 상기 챔버(31)의 상부측에는 기판(33)이 장착된 기판 장착부(32)가 설치되고, 하부측에는 가열 용기(36)가 삽입된 용기 수납부(35)가 위치하고 있다. 대안으로는, 하향 증착식일 경우에는 이와 반대 배열이 되도록 위치시킬 수 있을 것이다. 즉, 상기 챔버(31)의 상부측에 가열 용기(36)가 삽입된 용기 수납부(35)를 위치시키고, 하부측에 기판(33)이 장착된 기판 장착부(32)를 설치하여서 증착 공정을 수행할 수도 있을 것이다.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 노즐 가열 기구(40)가 설치된 증착 장치를 도시한 것이다.

이하에서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조 번호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다.

도면을 참조하면, 상기 가열 용기(36)의 내부에는 유기물과 같은 증발원이 내장되어 있다. 상기 가열 용기(36)의 외주면에는 히이터(38)가 이를 감싸도록 설치되어 있다. 상기 가열 용기(36)의 상단부에 개방된 개구부(36a)에는 이를 밀폐하도록 노즐(37)이 설치되어 있다.

상기 노즐(37)는 전체적인 개방형이 아니라, 상기 가열 용기(36)로부터 승화되는 증발원의 균일한 증발을 위하여 직경이 좁게 형성된 노우즈부(37a)가 상방으 로 돌출되어 있다. 상기 노우즈부(37a)의 형상은 대략 원뿔형이다.

상기 노즐(37)이 설치된 가열 용기(36)의 인접한 곳에는 노즐 가열 기구(40)가 설치되어 있다.

상기 노즐 가열 기구(40)에는 승강부(41)가 설치되어 있다. 상기 승강부(41)는 공압 실린더(42)등에 연결되어 별도로 공급되는 동력 공급원에 의하여 수직 방향으로 승강 운동 가능하다. 상기 승강부(41)의 승강 운동은 공압 실린더이외에도 유압 실린더나, 체인 수단등 다양한 실시예가 존재한다고 할 것이다.

상기 승강부(41)에는 제1 링크(43)에 의하여 상하로 회동할 수 있는 아암(44)이 연결되어 있다. 상기 아암(44)의 선단부에는 노즐 히이터(46)가 설치되어 있다. 상기 노즐 히이터(46)는 상기 노즐(37)의 상면 전 영역에 접촉가능하도록 이와 상응하는 형상으로 형성되어 있으며, 중앙에는 상기 노즐(37)의 노우즈부(37a)가 삽입될 수 있는 통공(46a)이 형성되어 있다. 이처럼, 상기 노즐 히이터(46)는 통공(46a)이 형성된 원판형이다.

상기 노즐 히이터(46)는 핀과 같은 제2 링크(45)에 의하여 상기 아암(44)에 결합되어 있다. 이에 따라, 상기 노즐 히이터(46)는 화살표로 표시한 피칭(pitching) 방향으로 회동이 가능하다.

상기와 같은 구성을 가지는 노즐 가열 기구(40)가 노즐(37) 상에 접촉하는 과정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 유기물과 같은 증발원이 저장된 가열 용기(36)의 상단부에는 그 개구부(36a)를 밀폐시키기 위하여 노즐(37)이 설치된다. 또한, 상기 가열 용기(36)의 외주면에는 히이터(38)가 감겨져 있다.

상기 노즐(37) 상에는 이에 열을 인가하기 위하여 노즐 히이터(46)가 설치된다. 이를 위하여, 상기 승강부(41)는 유압 실린더(42)에 의하여 상기 노즐 히이터(46)가 상기 노즐(37) 상면에 위치할 때까지 하강 운동하게 된다.

상기 노즐(37)의 상면으로 하강하는 노즐 히이터(46)는 중앙에 형성된 통공(46a)을 통하여 상기 노즐(37)의 노우즈부(37a)가 삽입되면서 상기 노즐(37)에 대한 노즐 히이터(46)의 위치를 설정하게 된다.

이때, 상기 노즐 히이터(46)는 제2 링크(45)에 의하여 아암(44)에 연결되어 있으므로, 상기 노즐(37) 상면에 접촉시 전후방의 피칭 방향으로 안정적으로 접촉하는 것이 가능하다.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 노즐 가열 기구(50)가 설치된 증착 장치를 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 상기 가열 용기(36)의 내부에는 증발원이 내장되어 있으며, 외주면에는 히이터(38)가 감싸도록 설치되어 있다. 상기 가열 용기(36)의 상단부에 개방된 개구부(36a)에는 이를 밀폐하도록 노즐(37)이 설치되어 있다. 상기 노즐(37)의 중앙에는 직경을 좁게 한 노우즈부(37a)가 돌출되어 있다.

상기 노즐(37)이 설치된 가열 용기(36)의 인접한 곳에는 노즐 가열 기구(50)가 설치되어 있다.

상기 노즐 가열 기구(50)에는 승강부(51)가 설치되어 있다. 상기 승강부(51)는 공압 실린더(52)나 엑튜에이터등에 의하여 수직 방향으로 승강 운동 가능하다.

상기 승강부(51)에는 아암(54)이 연결되어 있다. 상기 아암(54)의 선단부에는 노즐 히이터(56)가 설치되어 있다. 상기 아암(54)은 상기 노즐 히이터(56)가 노즐(37)에 접촉시 충격을 흡수할 수 있도록 탄성력을 가진 소재로 제조되는 것이 바람직하다.

상기 노즐 히이터(56)는 볼 조인트와 같은 링크(55)에 의하여 상기 아암(54)에 결합되어 있다. 상기 노즐 히이터(56)는 피칭 방향으로 회동가능하도록 결합되어 있을 뿐 아니라, 상기 링크(55)에 의하여 화살표로 표시한 롤링(rolling) 방향으로도 아암(54)에 결합되어 있다.

상기와 같은 구성을 가지는 노즐 가열 기구(50)는 가열 용기(36) 상에 설치되는 노즐(37)에 열을 가하기 위하여 노즐 히이터(56)가 설치된다. 이를 위하여, 상기 승강부(51)는 실린더(52)에 의하여 상기 노즐 히이터(56)가 노즐(37) 상면에 위치할 때까지 하강 운동하게 된다.

상기 노즐(37)의 상면으로 하강하는 노즐 히이터(56)는 중앙에 형성된 통공(56a)을 통하여 상기 노즐(37)의 노우즈부(37a)가 삽입되면서, 상기 노즐(37)에 대한 노즐 히이터(56)의 위치를 설정하게 된다.

상기 노즐 히이터(56)는 탄성력을 가지는 아암(54)에 의하여 승강부(51)와 연결되어 있으며, 전후좌우 방향인 피칭 및 롤링 방향으로 링크(55)에 의하여 아암(54)과 결합되어 있으므로, 상기 노즐(37) 상면의 전 영역에 걸쳐서 안정적으로 결합하는 것이 가능하게 된다.

도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 노즐 가열 기구(60)가 설치된 증착 장 치를 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 상기 가열 용기(36)의 내부에는 유기물과 같은 증발원이 내장되어 있으며, 외주면에는 히이터(38)가 이를 감싸도록 설치되어 있다.

상기 가열 용기(36)의 상단부에 개방된 개구부(36a) 상에는 노즐 히이터(66)가 설치되어 있다. 본 실시예에서 상기 노즐 히이터(66)는 전술한 실시예와는 달리 노즐 기능을 수행할 수 있도록 노즐과 상응한 형상으로 형성되어 있다.

상기 노즐 히이터(66)는 상기 개구부(36a)를 밀폐가능한 크기와 형상을 가진 대략 원판형이며, 상기 노즐 히이터(66)의 중앙에는 상기 가열 용기(36)로부터 승화되는 유기물과 같은 증발원의 균일한 증발을 위하여 직경이 좁게 형성된 노우즈부(66a)가 상방으로 돌출하여 있다.

상기 노즐 히이터(66)는 승강부(61)의 승강 운동에 의하여 상기 가열 용기(36)의 개구부(36a)를 밀폐가능하게 설치되어 있다. 상기 가열 용기(36)의 인접한 곳에는 승강부(61)가 설치되어 있고, 상기 승강부(61)는 공압 실린더(62)나 엑튜에이터등에 의하여 수직 방향으로 승강 운동 가능하다.

상기 승강부(61)에는 상기 노즐 히이터(66)가 가열 용기(36)의 개구부(36a)와 접촉할때의 충격을 흡수할 수 있는 고탄성의 소재로 된 아암(64)이 결합되어 있다. 상기 아암(64)의 선단부에는 볼 조인트와 같은 링크(65)에 의하여 피칭 및 롤링 방향으로 노즐 히이터(66)가 결합되어 있다.

상기와 같은 구성을 가지는 노즐 가열 기구(60)는 가열 용기(36)의 개구부(36a) 상에 노즐 히이터(66)가 위치할 수 있도록 이와 아암(64)에 의하여 연 결된 승강부(61)가 하강하게 된다.

상기 가열 용기(36)의 개구부(36a)로 하강한 노즐 히이터(66)는 그 아랫면이 상기 개구부(36a)이 형성된 가열 용기(36)의 상단부에 접촉하면서 상기 가열 용기(36)에 대한 노즐 히이터(66)의 위치를 설정하게 된다.

이때, 상기 노즐 히이터(66)는 탄성력을 가지는 아암(64)에 의하여 승강부(61)와 연결되어 있으므로, 상기 가열 용기(36)의 상단부에 안착시 충격량을 최소화하여 설치할 수 있다. 또한, 상기 노즐 히이터(66)는 링크(65)에 의하여 상기 아암(64)에 접속되어 있으므로 전후좌우 방향인 피칭 및 롤링 방향으로 동작하면서, 상기 가열 용기(36)의 상단부의 전 영역에 안정적으로 접촉하는 것이 가능하게 된다.

도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 노즐 가열 기구(70)가 설치된 증착 장치를 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 상기 가열 기구(36)의 내부에는 유기물과 같은 증발원(39)이 내장되어 있으며, 외주면에는 히이터(38)가 이를 감싸도록 설치되어 있다. 상기 가열 용기(36)의 상단부에 개방된 개구부(36a)에는 이를 밀폐하도록 노즐(37)이 설치되어 있다. 상기 노즐(37)의 중앙에는 직경을 좁게 한 노우즈부(37a)가 돌출되어 있다.

상기 노즐(37)이 설치된 가열 용기(36) 상에는 노즐 가열 기구(50)가 설치되어 있다.

즉, 상기 노즐(37)의 상면에는 이와 균등하게 접촉하는 노즐 히이터(76)가 설치되어 있다. 상기 노즐 히이터(76)는 상기 노즐(37)과 상응한 형상을 한 원판형이며, 중앙에 통공(76a)이 형성되어 있다. 상기 통공(76a)에는 노즐(37)의 노우즈부(37a)가 삽입가능하다.

상기 노즐 히이터(76)는 히이터 아암(74)에 의하여 지지되어 있다. 상기 히이터 아암(74)의 상부에는 승강부(71)가 위치하고 있다. 상기 승강부(71)는 전술한 바 있는 승강 수단에 의하여 수직 방향으로 승강 운동 가능하다.

상기 승강부(71)와, 히이터 아암(74) 사이에는 탄성 바이어스 수단, 예컨대 스프링(79)이 개재되어 있다. 상기 스프링(79)은 상기 승강부(71)의 아랫면과, 히이터 아암(74)의 윗면에 양 단부가 고정되어 있다.

상기와 같은 구성을 가지는 노즐 가열 기구(70)는 가열 용기(36) 상에 설치되는 노즐(37)에 열을 가하기 위하여 노즐 히이터(76)가 설치된다. 이를 위하여, 상기 노즐 히이터(76)는 히이터 아암(74)과, 스프링(79)을 거쳐서 승강부(71)가 승강 수단에 의하여 하강 운동하게 되고, 상기 노즐 히이터(76)는 중앙에 형성된 통공(76a)을 통하여 상기 노즐(37)의 노우즈부(37a)가 삽입되여서, 상기 노즐(37)의 상면에 노즐 히이터(76)의 아랫면이 접촉하게 된다.

이때, 상기 노즐 히이터(76)를 지지하는 히이터 아암(74)과, 승강 수단에 지지된 승강부(71) 사이에 스프링(79)이 설치되어 있으므로, 상기 노즐 히이터(76)는 전후좌우 방향으로 자유롭게 기울기를 바꾸면서 상기 노즐(76) 상면의 전 영역에 걸쳐서 균등하게 접촉하는 것이 가능하게 된다.

상술한 바와 같은 본 발명에 따른 노즐 가열 기구를 가지는 증착 장치는 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

첫째, 가열 용기의 개구부를 밀폐하는 노즐상에 유연성있게 접촉가능한 노즐 히이터를 설치함으로써, 노즐에 대하여 노즐 히이터의 균일한 접촉을 보장하게 된다. 이에 따라, 가열 용기와, 노즐을 균일하게 가열할 수 있다.

둘째, 노즐 히이터가 링크에 의하여 전후좌우 방향으로 그 위치를 정함에 따라서, 노즐에 대하여 노즐 히이터의 접촉이 전 영역에서 일정하다.

셋째, 노즐 히이터가 고탄성의 아암에 의하여 지지받고 있으므로, 가열 용기나 노즐에 접촉시 충격에 강하다.

넷째, 노즐 히이터가 탄성 바이어스 수단에 의하여 지지받고 있으므로, 경사를 바꾸면서 노즐의 상면에 안착가능하다.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (7)

1. 증착원이 저장되며, 그 외면에 히이터가 설치된 가열 용기;

   상기 가열 용기의 상단부에 형성된 개구부를 밀폐시키도록 결합되며, 직경을 좁게 한 노우즈부가 돌출한 노즐;

   상기 노즐의 상면에 선택적으로 접촉가능하며, 상기 노즐에 열을 인가하는 노즐 히이터;

   승강 수단에 의하여 수직 방향으로 승강 운동 가능한 승강부; 및

   상기 노즐 히이터와 승강부를 상호 연결시키고, 상기 승강부의 승강 운동에 따라서 상기 노즐 히이터를 상기 노즐의 상면에 접촉시키는 아암;을 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 가열 기구를 가지는 증착 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 노즐 히이터와, 아암의 접속부는 링크에 의하여 접속되어 있고, 상기 노즐 히이터는 아암에 대하여 피칭 방향으로 결합된 것을 특징으로 하는 노즐 가열 기구를 가지는 증착 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 노즐 히이터와, 아암의 접속부는 링크에 의하여 접속되어 있고, 상기 노즐 히이터는 아암에 대하여 피칭 방향과 롤링 방향으로 결합된 것을 특징으로 하는 노즐 가열 기구를 가지는 증착 장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 노즐 히이터는 상기 아암에 의하여 승강부와 연결되어 있고, 상기 아암과 승강부 사이에는 상기 노즐에 대하여 노즐 히이터가 자유롭게 경사를 바꿀 수 있도록 스프링이 설치된 것을 특징으로 하는 노즐 가열 기구를 가지는 증착 장치.
5. 증착원이 저장되며, 그 외면에 히이터가 설치된 가열 용기;

   상기 가열 용기의 상단부에 형성된 개구부를 밀폐시키도록 결합되는 노즐 형상을 가지며, 직경을 좁게 한 노우즈부가 돌출하여 있고, 소정 온도로 가열되는 노즐 히이터;

   승강 수단에 의하여 수직 방향으로 승강 운동 가능한 승강부; 및

   상기 노즐 히이터와 승강부를 상호 연결시키고, 상기 승강부의 승강 운동에 따라서 상기 노즐 히이터를 상기 가열 용기의 상단부에 접촉시키는 아암;을 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 가열 기구를 가지는 증착 장치.
6. 제5항에 있어서,

   상기 노즐 히이터와, 아암의 접속부는 링크에 의하여 접속되어 있고, 상기 노즐 히이터는 아암에 대하여 피칭 방향과 롤링 방향으로 결합된 것을 특징으로 하는 노즐 가열 기구를 가지는 증착 장치.
7. 삭제

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