KR100900830B1 - 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치 - Google Patents

면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100900830B1
KR100900830B1 KR1020070084262A KR20070084262A KR100900830B1 KR 100900830 B1 KR100900830 B1 KR 100900830B1 KR 1020070084262 A KR1020070084262 A KR 1020070084262A KR 20070084262 A KR20070084262 A KR 20070084262A KR 100900830 B1 KR100900830 B1 KR 100900830B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
probe
holder
measuring
sheet resistance
probe holder
Prior art date
Application number
KR1020070084262A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090019948A (ko
Inventor
강전홍
유광민
김한준
박영태
Original Assignee
한국표준과학연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국표준과학연구원 filed Critical 한국표준과학연구원
Priority to KR1020070084262A priority Critical patent/KR100900830B1/ko
Publication of KR20090019948A publication Critical patent/KR20090019948A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100900830B1 publication Critical patent/KR100900830B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601—Apparatus or methods therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Abstract

본 발명은 면저항 측정용 프로브 고정장치에 관한것으로 상세하게는 일측에 측정부가 형성되어지고, 타측에 측정장치와 연결되어지는 연결부가 형성되지는 휴대용 면저항 측정용 프로브를 고정하여 대상물을 측정하도록 하는 고정장치에 있어서, 바닥에 고정되는 고정판의 상측에 메인프레임이 결합되어지고, 상기 고정판의 상측에 회전판이 결합되어지고, 상기 메인프레임의 상측으로 보조프레임이 결합되어지며, 상기 보조프레임의 일측단에 상기 프로브가 고정되어지는 프로브 고정대가 결합되며, 상기 프로브 고정대의 타측에 설치되어 사용자에 의한 회동으로 프로브고정대를 상하로 이송시키는 회전손잡이를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 고정대의 일측에 사용자가 손으로 회전시키는 조임 나사가 설치되어 프로브가 삽입될시 프로브 고정대를 조여 프로브가 고정되도록 하는 것을 특징으로 하는 면저항 측정용 프로브 고정장치에 관한것이다.
프로브, 면저항, 고정대, 프로브고정대

Description

면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치 {Four Point Probe Fixing Apparatus for Sheet Resistance Measurement}
본 발명은 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치 에 관한것으로 상세하게는 일측에 측정부가 형성되어지고, 타측에 측정장치와 연결되어지는 연결부가 형성되지는 휴대용 면저항 측정용 프로브를 고정하여 대상물을 측정하도록 하는 고정장치에 있어서, 바닥에 고정되는 고정판의 상측에 메인프레임이 결합되어지고, 상기 고정판의 상측에 회전판이 결합되어지고, 상기 메인프레임의 상측으로 보조프레임이 결합되어지며, 상기 보조프레임의 일측단에 상기 프로브가 고정되어지는 프로브 고정대가 결합되며, 상기 프로브 고정대의 타측에 설치되어 사용자에 의한 회동으로 프로브고정대를 상하로 이송시키는 회전손잡이를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 고정대의 일측에 사용자가 손으로 회전시키는 조임 나사가 설치되어 프로브가 삽입될시 프로브 고정대를 조여 프로브가 고정되도록 하는 것을 특징으로 하는 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치 에 관한것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼 또는 박막 시료 등의 면저항을 측정하는 면저항 측정장치의 4탐침 프로브는 휴대용 및 이동용의 경우 사용자가 손에 들고 직접 측 정하는 경우가 대부분이다.
종래의 방법은 프로브를 손으로 들고 시료의 표면에 접촉시키고 측정하는 것이 대부분인데 이런 경우는 측정값의 재현성과 정밀도가 떨어지는 단점이 있다. 왜냐하면 측정시마다 프로브를 누르는 압력이 상이하고, 수직으로 시료의 표면에 접촉시켜야 정확한 측정을 할 수 있으나 손으로 사용하게 되면 사용조건이 측정시 마다 다르기 때문에 정밀한 측정을 할 수 없게 된다. 그리고 작은 시료를 측정할 경우에는 측정에 불편이 따를 뿐만 아니라 측정시 미세한 압력차이로도 시료가 파손되는 경우도 발생하게 된다. 따라서 면저항 측정시 대상 시료에 따라 일정한 압력과 프로브가 수직으로 시료의 표면에 접촉이 되어야 하는 필요성이 있다.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 바닥에 고정되는 고정판의 상측에 메인프레임이 결합되어지고, 상기 메인프레임의 상측으로 보조프레임이 결합되어지며, 상기 보조프레임의 일측단에 상기 프로브가 고정되어지는 프로브고정대가 결합되며, 상기 프로브고정대의 타측에 설치되어 사용자에 의한 회동으로 프로브고정대를 상하로 이송시키는 회전손잡이를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치 를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기에서 기술된 바와 같이 본 발명은, 대상물에 대한 면저항 측정시 측정의 재현성과 정밀도를 향상시킬 수 있는 4탐침 프로브 고정장치로서 프로브를 고정시켜 동일한 힘으로 대상물에 프로브가 접촉되어지도록 하며, 크기가 작은 대상물을 측정할 경우에도 일정한 위치에 프로브가 접촉되어지므로 측정하기 쉬운 장점이 있으며, 회전판이 구비되어 대상물을 회전시켜가며 사용자가 원하는 여러 위치에서 측정할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위하여 아래와 같은 특징을 갖는다.
일측에 측정부가 형성되어지고, 타측에 측정장치와 연결되어지는 연결부가 형성되지는 휴대용 면저항 측정용 프로브를 고정하여 대상물을 측정하도록 하는 고정장치에 있어서, 바닥에 고정되는 고정판(20)의 상측에 메인프레임(21)이 결합되어지고, 상기 고정판(20)의 상측에 회전판(30)이 결합되어지고, 상기 메인프레임(21)의 상측으로 보조프레임(22)이 결합되어지며, 상기 보조프레임(22)의 일측단에 상기 프로브(1)가 고정되어지도록 중심에 홀이 형성되고, 전측이 트임형상으로 형성된 프로브 고정대(10)가 결합되며, 상기 프로브 고정대(10)의 타측에 설치되어 상기 프로브 고정대(10)를 상하로 이송시키는 회전손잡이(12)가 설치되며, 상기 프로브 고정대(10)의 일측에 조임 나사(11)가 설치되어 상기 프로브(1)가 상기 프로브 고정대(10)에 삽입되면 일측의 트임부위를 상기 조임 나사(11)로 조여 프로브(1)가 고정되어진다.
삭제
이때, 상기 프로브(1)를 프로브고정대(10)에 삽입하여 조임나사(11)로 조여 고정시키고, 상기 고정판(20) 상에 대상물을 배치하고, 상기 회전손잡이(12)로 프로브고정대(10)를 상하로 이송시켜 대상물을 프로브(1)로 측정한다.
그리고, 상기 메인프레임(21)과 보조프레임(22)이 결합되어지는 부분의 메인프레임(21)타측에 면저항 측정장치를 올려놓는 거치대(23)가 서랍식으로 형성되어진다.
그리고, 또 다른 프로브 고정장치에 대한 것은 다음과 같다.
본 발명은 일측에 측정부가 형성되어지고, 타측에 측정장치와 연결되어지는 연결부가 형성되지는 휴대용 면저항 측정용 프로브를 고정하여 대상물을 측정하도록 하는 고정장치에 있어서, 바닥에 고정되는 고정판(120)의 일측의 상측에 대상물이 놓여져 회전되는 회전판(122)이 형성되며, 상기 고정판(120)의 타측 상측에 메인프레임(121)이 결합되어지고, 상기 메인프레임의 상측으로 보조프레임(123)이 결합되어지며, 상기 보조프레임(123)의 일측단에 상기 프로브(1)가 고정되어지도록 중심에 홀이 형성되고, 전측이 트임형상으로 형성된 프로브 고정대(110)가 결합되며, 상기 프로브 고정대(110)의 일측에 상기 프로브(110)가 상기 프로브 고정대(110)에 삽입되면 일측의 트임부위를 조여 고정시키는 조임 나사(111)가 형성되고, 상기 프로브 고정대(110)의 타측에 설치되어 상기 프로브 고정대(110)를 상하로 이송시키는 회전손잡이(112)가 형성되어지고, 상기 프로브 고정대(110)의 일측에 형성되어 일정 무게를 가지는 추를 올려놓는 추 받침대(113)가 형성되어지는 것을 포함하여 구성되어진다.
이때, 상기 프로브고정대(110)의 일측에 사용자가 손으로 회전시키는 조임나사(111)가 설치되어 프로브(1)가 삽입될시 프로브고정대(110)를 조여 프로브(1)가 고정되도록 한다.
그리고, 상기 프로브고정대(110)는 보조프레임(123)의 하측에 설치된 레일을 따라 전후 방향으로 이동되어지며, 상기 보조프레임(123)의 상측에 형성된 고정나사(124)로 측정 위치에 고정되어진다.
또한, 상기 프로브(1)를 프로브고정대(110)에 삽입하여 조임나사(111)로 조여 고정시키고, 상기 고정판(120)의 회전판(122) 상에 대상물을 배치하고, 상기 회전손잡이(112)로 프로브고정대(110)를 상하로 이송시켜 대상물을 프로브(1)로 측정하며, 상기 회전판(122)을 회전시켜 대면적 대상물의 여러 위치를 측정할 수 있고, 상기 프로브고정대(110)가 전후로 움직이며 대상물을 측정하게된다.
즉, 본 발명을 일 실시예를 들어 좀더 상세하게 설명하면 다음과 같다.
회전판(30)이 상측에 설치되어진 고정판(20) 상측에 메인프레임(21)이 결합되어지고, 상기 메인프레임(21)의 상측에 보조프레임(22)이 결합되어지며, 상기 보조프레임(22)의 끝단에 프로브(1)를 고정시키는 프로브고정대(10)가 설치되어 프로브(1)가 수직 설치되어 고정되어지고, 상기 프로브고정대(10)의 타측에 회동되어져 프로브고정대(10)를 상하 방향으로 이동시키는 회전손잡이(12)가 설치되어 대상물을 측정시 프로브(1)를 대상물에 접촉시키게되며, 상기 프로브(1)와 연결되어지는 측정장치가 거치되어지는 거치대(23)가 상기 메인프레임(21)의 후측에 형성되어진다.
이때, 상기 프로브고정대(10)의 일측에는 프로브고정대(10)를 조여 프로브(1)가 고정되도록하는 조임나사(11)가 형성되어진다.
그리고, 이보다 진화되어진 구성으로는 상기 프로브고정대(110)가 전후로 이동되어지고, 상기 보조프레임(123)의 상측에 프로브고정대(110)를 고정시키는 고정나사(124)가 형성되어지며, 상기 조임나사(111)의 옆에 일정 무게를 가지는 추를 놓을 수 있는 추받침대(113)가 형성되어 일정한 힘으로 지속적으로 프로브(1)를 고 정시켜 두어야 할 경우 사용되어진다.
또한, 고정판(120) 상측에 회전판(122)이 형성되어 대상물을 올려 놓은뒤 회전판(122)을 회전시켜가며 필요한 부분을 측정하게된다.
그리고, 상기 메인프레임(121)의 일측에 대상물등을 보관하는 보관부(125)가 형성되어진다.
도 1은 본 발명에 따른 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치 의 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치 의 평면도,
도 3은 본 발명에 따른 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치 의 프로브고정대가 전후로 이동되어지고, 고정판 상측에 회전판이 형성된 것을 나타낸 사시도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 프로브 10 : 프로브고정대
20 : 고정판 110 : 프로브고정대
120 : 고정판

Claims (6)

  1. 일측에 측정부가 형성되어지고, 타측에 측정장치와 연결되어지는 연결부가 형성되지는 휴대용 면저항 측정용 프로브를 고정하여 대상물을 측정하도록 하는 고정장치에 있어서,
    바닥에 고정되는 고정판(20)의 상측에 메인프레임(21)이 결합되어지고, 상기 고정판(20)의 상측에 회전판(30)이 결합되어지고, 상기 메인프레임(21)의 상측으로 보조프레임(22)이 결합되어지며, 상기 보조프레임(22)의 일측단에 상기 프로브(1)가 고정되어지도록 중심에 홀이 형성되고, 전측이 트임형상으로 형성된 프로브 고정대(10)가 결합되며, 상기 프로브 고정대(10)의 타측에 설치되어 상기 프로브 고정대(10)를 상하로 이송시키는 회전손잡이(12)가 설치되며, 상기 프로브 고정대(10)의 일측에 조임 나사(11)가 설치되어 상기 프로브(1)가 상기 프로브 고정대(10)에 삽입되면 일측의 트임부위를 상기 조임 나사(11)로 조여 프로브(1)가 고정되도록 하는 것을 특징으로 하는 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 프로브(1)를 프로브 고정대(10)에 삽입하여 조임나사(11)로 조여 고정시키고, 상기 고정판(20) 상에 대상물을 배치하고, 상기 회전손잡이(12)로 프로브 고정대(10)를 상하로 이송시켜 대상물을 프로브로 측정하는 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치 .
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 메인프레임(21)과 보조프레임(22)이 결합되어지는 부분의 메인프레임(21) 타측에 면저항 측정장치를 올려놓는 거치대(23)가 서랍식으로 형성된 것을 특징으로 하는 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치 .
  4. 일측에 측정부가 형성되어지고, 타측에 측정장치와 연결되어지는 연결부가 형성되지는 휴대용 면저항 측정용 프로브를 고정하여 대상물을 측정하도록 하는 고정장치에 있어서,
    바닥에 고정되는 고정판(120)의 일측의 상측에 대상물이 놓여져 회전되는 회전판(122)이 형성되며, 상기 고정판(120)의 타측 상측에 메인프레임(121)이 결합되어지고, 상기 메인프레임의 상측으로 보조프레임(123)이 결합되어지며, 상기 보조프레임(123)의 일측단에 상기 프로브(1)가 고정되어지도록 중심에 홀이 형성되고, 전측이 트임형상으로 형성된 프로브 고정대(110)가 결합되며, 상기 프로브 고정대(110)의 일측에 상기 프로브(110)가 상기 프로브 고정대(110)에 삽입되면 일측의 트임부위를 조여 고정시키는 조임 나사(111)가 형성되고, 상기 프로브 고정대(110)의 타측에 설치되어 상기 프로브 고정대(110)를 상하로 이송시키는 회전손잡이(112)가 형성되어지고, 상기 프로브 고정대(110)의 일측에 형성되어 일정 무게를 가지는 추를 올려놓는 추 받침대(113)가 형성되어지는 것을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 프로브 고정대(110)는 보조프레임(123)의 하측에 설치된 레일을 따라 전후 방향으로 이동되어지며, 상기 보조프레임(123)의 상측에 형성된 고정나사(124)로 측정 위치에 고정되어지는 것을 특징으로 하는 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치 .
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 프로브(1)를 프로브고정대(110)에 삽입하여 조임나사(111)로 조여 고정시키고, 상기 고정판(120)의 회전판(122) 상에 대상물을 배치하고, 상기 회전손잡이(112)로 프로브 고정대(110)를 상하로 이송시켜 대상물을 프로브(1)로 측정하며, 상기 회전판(122)을 회전시켜 대면적 대상물의 여러 위치를 측정할 수 있고, 상기 프로브 고정대(110)가 전후로 움직이며 대상물을 측정하는 것을 특징으로 하는 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치 .
KR1020070084262A 2007-08-22 2007-08-22 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치 KR100900830B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070084262A KR100900830B1 (ko) 2007-08-22 2007-08-22 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070084262A KR100900830B1 (ko) 2007-08-22 2007-08-22 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090019948A KR20090019948A (ko) 2009-02-26
KR100900830B1 true KR100900830B1 (ko) 2009-06-04

Family

ID=40687486

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070084262A KR100900830B1 (ko) 2007-08-22 2007-08-22 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100900830B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101104784B1 (ko) * 2010-12-14 2012-01-12 한국표준과학연구원 반데르포우법을 이용한 전도성 박막의 면저항 측정장치 및 그 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980035091A (ko) * 1996-11-11 1998-08-05 김광호 반도체 웨이퍼 측정장치
KR0125335Y1 (ko) * 1995-06-14 1999-04-15 문정환 웨이퍼 면저항 측정장치
KR20060036154A (ko) * 2004-10-25 2006-04-28 유광민 측정헤드 탐침의 누름하중 조절 및 계측용 측정시스템
JP2007064799A (ja) 2005-08-31 2007-03-15 Pentel Corp 膜面抵抗測定器

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0125335Y1 (ko) * 1995-06-14 1999-04-15 문정환 웨이퍼 면저항 측정장치
KR19980035091A (ko) * 1996-11-11 1998-08-05 김광호 반도체 웨이퍼 측정장치
KR20060036154A (ko) * 2004-10-25 2006-04-28 유광민 측정헤드 탐침의 누름하중 조절 및 계측용 측정시스템
JP2007064799A (ja) 2005-08-31 2007-03-15 Pentel Corp 膜面抵抗測定器

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090019948A (ko) 2009-02-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100900830B1 (ko) 면저항 측정용 4 탐침 프로브 고정장치
CN219551383U (zh) 一种用于建筑外墙保温的测量装置
CN218865005U (zh) 线宽线距测量仪
CN111720673A (zh) 一种测距仪支撑装置
CN210293091U (zh) 一种测量电梯导轨直线度的装置
CN210344825U (zh) 一种不动产测绘偏移架
CN217877696U (zh) 一种实用型建筑测量仪器
KR100634763B1 (ko) 반도체 웨이퍼 두께 측정장치
CN214149389U (zh) 一种智能光栅式指示表检定仪
CN212806925U (zh) 激光检测装置
CN201622054U (zh) 薄钢板残余曲率测量装置
CN211426127U (zh) 一种稳定效果好的液晶式摆锤冲击试验机
CN211954229U (zh) 一种仪器校准用夹持装置
CN212031515U (zh) 一种新型风速仪夹具
CN204535620U (zh) 新型可调式内径量表校准器
CN207689350U (zh) 一种用于光学元件吸收率测量的标定工装
CN210464259U (zh) 一种楔形塞尺校准装置
CN207351799U (zh) 一种陶瓷砖侧面回弹值测试装置
CN212300407U (zh) 一种组合式多功能校准测试仪
CN205449054U (zh) 一种cc型保持架倾斜度测量装置
CN220729923U (zh) 硬度测试仪
CN215447866U (zh) 一种粗糙度检测仪放置装置
CN220063612U (zh) 一种硬度计基座及硬度计
CN216954345U (zh) 一种快速检验键槽对称度的装置
CN112530240A (zh) 一种平面度和平行度测量教学仪器

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120330

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee