KR100896819B1

KR100896819B1 - 리니어 모터 스테이지

Info

Publication number: KR100896819B1
Application number: KR1020080084627A
Authority: KR
Inventors: 정훈택; 박홍원
Original assignee: 순환엔지니어링 주식회사
Priority date: 2008-08-28
Filing date: 2008-08-28
Publication date: 2009-05-11

Abstract

커버와 베이스 사이의 공간에 먼지, 자성체, 유체성분 등의 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있는 리니어 모터 스테이지가 개시된다.

상기 리니어 모터 스테이지는 베이스와, 상기 베이스의 길이방향으로 슬라이드 이동가능케 설치된 슬라이더와, 상기 슬라이더 상부에 설치되는 커버를 구비하는 리니어 모터 스테이지에 있어서, 상기 커버는 상기 베이스의 상면을 덮는 덮개부와, 상기 덮개부의 폭방향 양단에서 하측으로 연장되어 상기 베이스의 측면을 가리는 연장부를 구비하며, 상기 덮개부는 상기 베이스의 폭방향 단면상에서 중앙부의 높이가 양단의 높이보다 높도록 경사를 갖고, 상기 커버는 복수 개의 커버부재로 분리 형성되며, 상기 복수개의 커버부재는 상기 커버부재의 덮개부와 연장부를 덮는 연결부재에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 리니어 모터 스테이지에 의하면, 커버와 베이스 사이의 공간으로 먼지, 자성체, 유체성분 등 각종 이물질이 유입되는 것을 효과적으로 차단할 수 있게 된다.

리니어 모터 스테이지, 커버, 슬라이더, 베이스, 수분

Description

리니어 모터 스테이지{Linear motor stage}

본 발명은 직선 구동력을 직접 발생시키는 리니어 모터 스테이지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 커버와 베이스 사이의 공간에 먼지, 자성체, 유체성분 등의 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있는 리니어 모터 스테이지에 관한 것이다.

리니어 모터(리니어 모터 스테이지)는 회전형 모터와는 달리 직선 구동력을 직접 발생시키는 장치이다. 이러한 리니어 모터 스테이지는 회전형 모터와 비교할 때 기계적인 변환 시스템이 필요하지 않아 마찰에 의한 에너지 손실과 소음발생이 적으며, 비교적 단순한 구성으로 고속응답과 정밀한 위치제어를 할 수 있으므로 자동화기기, 엑스와이(XY) 테이블 등에 많이 사용되어 왔으며, 반도체의 제조 등 그 적용분야도 다양해지고 있다.

일반적인 리니어 모터 스테이지(10)는 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 위치 고정된 베이스와, 상기 베이스 위에서 직선이송되는 슬라이더와, 상기 베이스의 상면을 덮어 베이스 내부로 이물질이 유입되는 것을 방지하는 커버(31)를 포함하여 구성된다.

상기 베이스는 고정자 몸체(11)의 상면에 스테이지의 길이방향을 따라 일정간격을 두고 그 극성을 교번하여 배열되는 다수의 자석(12)과, 상기 자석(12)의 좌우측에 각각 설치되어 슬라이더의 직선 이송을 안내하는 가이드 레일(13)을 구비한다.

또한, 슬라이더는 슬라이더 몸체(21)의 저면 좌우에 상기 가이드 레일(13)과 결합하여 슬라이더 몸체(21)를 슬라이드 이동되도록 하는 슬라이드 블록(22)과, 베이스(10)에 설치된 자석(12)과 소정 거리 이격되도록 설치되는 코일 유닛(23)을 구비한다.

그리고, 상기 고정자 몸체(11)의 길이방향측 양단에는 지지부재(41)가 각각 고정됨과 동시에 그들 지지부재(41)의 상면에 다수의 볼트를 매개로 커버(31)가 설치되어 리니어 모터 스테이지(10)의 상부를 덮어 베이스 내부로 먼지, 자성체 등 이물질이 직접 유입되지 않도록 구성되어 있다.

이때, 상기 코일 유닛(23)은 그 상면이 상기 슬라이더 몸체(21)의 상측에서 삽입되는 다수의 볼트(24)에 의해 슬라이더 몸체(21)에 체결 고정된다.

상기 커버(31)는 일정두께를 가진 평판으로 형성되어 있고, 그 양단은 상기 지지부재(41)의 상면에 각각 안착된 상태에서 상부로부터 수직되게 삽입되는 볼트에 의해 지지부재(41)에 고정된다.

이와 같이 구성된 종래의 리니어 모터 스테이지(10)는 도시하지 않은 케이블을 통해 코일 유닛(23)에 전류가 인가되면, 코일 유닛(23)과 자석(12) 사이에서 와류 자계가 발생됨으로써 추력이 발생되어 슬라이더 몸체(21)가 이동하게 된다.

그러나, 종래기술에 의한 리니어 모터 스테이지(10)는, 슬라이더 몸체(21)가 커버(31)와 고정자 몸체(11) 사이에서 직선 운동을 하게 되므로 도 2b에 도시된 바와 같이 슬라이더 몸체(21)가 위치하지 않는 부분에서는 커버(31)와 고정자 몸체(11) 사이에 슬라이더 몸체(21)의 두께에 해당하는 공간(X)이 필연적으로 발생하게 되고, 이러한 공간으로 먼지, 자성체, 수분 등 이물질이 유입될 수 있다는 문제점이 있다.

즉, 종래기술에 의한 리니어 모터 스테이지(10)는 커버(31)와 고정자 몸체(11) 사이에 형성된 공간(X)을 통하여 커버(31)의 하부 공간으로 먼지, 자성체, 유체성분(물) 등 각종 이물질이 유입되어 자석(12), 각종 센서 등 베이스와 슬라이더에 설치된 각종 부품에 부착하게 되고, 이로 인해 고정밀도를 요하는 리니어 모터 스테이지의 정밀도에 악영향을 미칠 뿐만 아니라 오작동을 유발시켜 리니어 모터 스테이지에 심각한 훼손을 가져올 수 있다는 문제점이 있다.

또한, 반도체 제조 공정 등 냉각이나 세정을 위하여 물이나 세정액 등 수분이 투입되는 환경하에서도 고속, 고정밀도의 직선 이송을 구현하기 위해 리니어 모터 스테이지의 사용 필요성이 증대하고 있지만, 종래의 리니어 모터 스테이지(10)의 경우 커버(31)에 낙하한 유체 또는 고정자 몸체(11)의 측면에서 유입된 유체가 커버(31)와 고정자 몸체(11) 사이에 형성된 공간(X)을 통하여 고정자 몸체(11) 내부로 유입되어 리니어 모터 스테이지(10)의 성능이나 수명에 치명적인 결함을 야기한다는 문제점이 있다.

본 발명은 전술한 문제점 중 적어도 일부를 해결하기 위한 것으로서, 커버와 베이스(고정자 몸체) 사이의 공간에 먼저, 자성체, 물 등의 유체성분 등과 같은 각종 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있는 리니어 모터 스테이지를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명의 일 측면에 의하면 커버 위로 낙하하는 물을 용이하게 제거하고 커버와 베이스 사이의 공간에 유입되지 않도록 함으로써 수분이 제공되는 환경하에서 원활한 작업이 가능한 리니어 모터 스테이지를 제공하는 것을 목적으로 한다.

전술한 목적을 달성하기 위하여,
본 발명은 베이스와, 상기 베이스의 길이방향으로 슬라이드 이동가능케 설치된 슬라이더와, 상기 슬라이더 상부에 설치되는 커버를 구비하는 리니어 모터 스테이지에 있어서,
상기 커버는 상기 베이스의 상면을 덮는 덮개부와, 상기 덮개부의 폭방향 양단에서 하측으로 연장되어 상기 베이스의 측면을 가리는 연장부를 구비하며,
상기 덮개부는 상기 베이스의 폭방향 단면상에서 중앙부의 높이가 양단의 높이보다 높도록 경사를 갖고,
상기 커버는 복수 개의 커버부재로 분리 형성되며,
상기 복수개의 커버부재는 상기 커버부재의 덮개부와 연장부를 덮는 연결부재에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 리니어 모터 스테이지를 제공한다.

바람직하게, 상기 커버는 상기 베이스의 폭방향 너비보다 더 넓은 폭을 가질 수 있다.

또한 바람직하게, 상기 슬라이더는 상기 연장부를 수용하는 홈부가 상기 베이스의 길이방향으로 형성될 수 있다.

보다 바람직하게, 상기 홈부는 상측이 개방된 형상을 가질 수 있다.

또한, 상기 홈부는 길이방향의 양측 끝단이 개방된 구조를 가질 수 있다.

삭제

또한 바람직하게, 커버의 연장부는 상기 베이스의 측면부 상단보다 더 낮은 위치까지 연장될 수 있다.

삭제

전술한 구성을 갖는 본 발명의 일 측면에 따르면, 커버가 베이스의 폭방향 너비보다 더 넓은 폭을 갖는 덮개부와, 덮개부의 폭방향 양단에서 하측으로 연장되어 상기 베이스의 측면을 가리는 연장부를 구비하는 구조를 가지므로, 커버와 베이스(고정자 몸체) 사이의 공간으로 먼지, 자성체, 유체성분(수분) 등 각종 이물질이 유입되는 것을 효과적으로 차단할 수 있다는 효과를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명의 일 측면에 의하면, 슬라이더에 커버의 연장부를 수용하도록 상측과 양측 끝단이 개방된 홈부를 구비함으로써 커버 상부에서 흘러내리는 물이나 수분을 효과적으로 배출시켜 커버와 베이스 사이의 제품 공간으로 물이나 수분이 유입되는 것을 충분히 방지할 수 있다는 효과가 있게 된다.

그리고, 본 발명의 일 측면에 의하면, 베이스의 폭방향 단면상에서 덮개부의 중앙부 높이가 양단의 높이보다 높도록 경사를 갖도록 함으로써 커버 위로 낙하한 물이나 수분을 커버 외측으로 원활하게 배출시켜 물이 다량 공급되는 환경에서도 고정자 몸체 내부로 물이나 수분이 유입되는 것을 충분히 방지할 수 있게 된다.

또한, 본 발명의 일 측면에 의하면, 커버의 연장부가 베이스의 측면부 상단보다 더 낮은 위치까지 연장되어 있어, 커버의 연장부와 베이스의 측면부 사이에 이중 차단 구조가 형성되어 외부로부터 제품 내부로 유입되는 먼지, 자성체, 유체성분 등 이물질의 양을 최소화할 수 있다는 효과가 있게 된다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들에 대해 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것 으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다", "구비하다", "가지다(갖다)" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.

도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 모터 스테이지의 부분 절개 사시도이고, 도 3b는 도 3a 에 도시된 리니어 모터 스테이지의 커버지지부재가 결합된 상태를 도시한 부분 절개 사시도이고, 도 4는 도 3a 및 도 3b에 도시된 리니어 모터 스테이지의 폭방향 단면도이며, 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 의한 리니어 모터 스테이지의 폭방향 단면도이다.

도 3a, 도 3b, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 리니어 모터 스테이지(100)는 위치가 고정된 베이스(110)와, 상기 베이스(110) 위에서 베이스(110)의 길이방향으로 슬라이드 이동가능케 설치된 슬라이더(120)와, 상기 베이스(110)의 상면을 덮어 베이스(110)의 상면 또는 상부에 형성된 공간으로 이물질이 유입되는 것을 방지하는 커버(130)를 포함하여 구성된다.

이때, 상기 커버(130)는 상기 베이스(110)의 상면을 덮는 덮개부(131)와, 상기 덮개부(131)의 폭방향 양단에서 하측으로 연장되어 상기 베이스(110)의 측면을 가리는 연장부(132)를 구비하는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 커버(130)의 덮개부(131)는 상기 베이스(110)의 상면을 완전히 덮어 베이스(110) 상부로부터 유입되는 먼지, 자성체, 수분 등의 이물질을 완전히 차단할 수 있도록 상기 베이스(110)의 폭방향 너비보다 더 넓은 폭을 갖는 것이 바람직하다.

상기 베이스(110)는 고정자 몸체(113)의 상면에 스테이지의 길이방향을 따라 일정간격을 두고 극성을 교번하여 배열되는 다수의 자석(111)과, 상기 자석(111)의 좌우측에 각각 설치되어 슬라이더(120)의 직선 이송을 안내하는 가이드 레일(112)을 구비한다.

그리고, 슬라이더(120)는 슬라이더 몸체(121)의 저면 좌우에 상기 가이드 레일(112)과 결합하여 슬라이더 몸체(121)를 슬라이드 이동되도록 하는 슬라이드 블록(125)과, 베이스(110)에 설치된 자석(111)과 소정 거리 이격되도록 슬라이더 몸체(121)의 하면에 설치되는 코일 유닛(126)을 구비한다.

또한, 슬라이더(120)에는 커버(130)의 양측에 하측으로 연장형성된 연장부(132)를 수용하도록 상측이 개방된 홈부(123)가 베이스(110)의 길이방향으로 형성된다. 이를 위하여, 슬라이더(120)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 슬라이더 몸체(121)의 양측에 형성된 홈부(123)가 바닥면(124)을 저점으로 하여 측면부(122)가 상측으로 연장된 형태의 대략 U자 형상을 가질 수 있으나, 이러한 홈부(123)의 형상은 연장부(132)와 간섭되지 않는 범위 내에서 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 상기 홈부(123)는 커버(130)에서 흘러내린 유체가 슬라이더(120) 외측으로 원활하게 배출될 수 있도록 길이방향의 양측 끝단이 개방된 것이 바람직하다.

그리고, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 고정자 몸체(113)의 길이방향측 양단에는 커버 지지부재(150)가 위치하며, 커버 지지부재(150)는 지지부재 몸체(151)의 측면에 설치된 연결구멍(152)을 통하여 고정자 몸체(113)의 길이방향 양단에 고정된다. 또한, 커버 지지부재(150)의 상면에는 다수의 볼트구멍(153)이 형성되어 베이스(110)의 상부를 덮는 커버(130)가 결합된다[도 3b는 커버(130)가 절개된 상태를 도시하고 있음 커버(130)는 절개된 부분에서 커버 지지부재(150)의 상면까지 연장됨]. 이때, 커버 지지부재(150)의 상면은 커버(130)가 안착되도록 커버(130)에 대응하는 형상을 갖는다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 의한 커버(130)는 전술한 바와 같이, 베이스(110)의 상면을 덮되 상기 베이스(110)의 폭방향 너비보다 더 넓은 폭을 갖는 덮개부(131)와, 상기 덮개부(131)의 폭방향 양단에서 하측으로 연장되어 상기 베이스(110)의 측면을 가리는 연장부(132)를 구비한다.

이와 같이, 커버(130)의 덮개부(131)가 베이스(110)의 폭방향 너비보다 더 넓은 폭을 가지므로 베이스(110)의 상부에서 먼지, 자성체, 유체성분(수분) 등 이물질이 직접적으로 유입되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 커버(130)의 연장부(132)가 덮개부(131)의 양단에서 하측으로 연장되어 상기 베이스(110)의 측면을 가리므로 베이스(110)의 측면에서 먼지, 자성체, 유체성분 등 이물질이 직접적으로 유입되는 것을 방지할 수 있게 된다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 의하면 커버(130)의 덮개부(131)와 연장부(132)를 통하여 커버(130)와 고정자 몸체(113) 사이의 공간으로 먼지, 수분 등 각종 이물질이 유입되는 것을 효과적으로 차단할 수 있게 된다.

그리고, 냉각이나 세정을 위하여 물이나 세정액 등 수분이 투입되는 환경하에서 리니어 모터 스테이지(100)를 사용하는 경우라 하더라도, 슬라이더(120)에 커버(130)의 연장부(132)를 수용하도록 상측과 양측 끝단이 개방된 홈부(123)를 구비함으로써 커버(130)에서 흘러내리는 물이나 수분을 효과적으로 배출시켜 커버(130)과 베이스(110)[고정자 몸체(113)] 사이의 공간으로 물이나 수분이 유입되는 것을 충분히 방지할 수 있어, 리니어 모터 스테이지(100)의 안정적인 구동을 보장할 수 있게 된다.

또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 베이스(110) 폭방향 단면상에서 덮개부(131)의 중앙부 높이가 양단의 높이보다 높도록 경사를 갖도록 함으로써 커버(130) 위로 낙하한 물이나 수분을 커버(130)의 외측으로 원활하게 배출시키고, 커버(130)에서 낙하한 물을 상측과 양측 끝단이 개방된 홈부(123)를 통하여 흘려 보냄으로써 물이나 세정액 등이 다량 공급되는 환경에서도 커버(130)과 베이스(110)[고정자 몸체(113)] 사이의 공간으로 물이나 수분이 유입되는 것을 충분히 방지할 수 있어 베이스(110) 및 슬라이더(120)에 설치된 각종 부품의 원활한 작동을 확보할 수 있게 된다.

그러나, 이와 같이 물이나 세정액 등이 직접적으로 제공되는 환경이 아니라면 본 발명의 다른 실시예를 도시하는 도 5에 도시된 바와 같이, 덮개부(131')는 평평한 면을 갖도록 형성될 수 있다.

그리고, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 커버(130,130')의 연장부(132,132')는 고정자 몸체(113)의 측면부 상단(113a)보다 더 낮은 위치까지 연장되어 있어, 커버(130,130')의 연장부(132,132')와 베이스(110)의 측면부 사이에 이중 차단 구조가 형성되어 외부로부터 베이스(110) 내부로 유입되는 먼지, 유체성분(수분) 등 이물질의 양을 최소화할 수 있게된다. 즉, 하측으로 연장된 연장부(132,132')와 상측으로 돌출된 베이스(110)의 측면부는 이중 격벽 구조를 갖게 되므로 리니어 모터 스테이지(100)의 외부에서 커버(130)과 베이스(110) 사이의 공간으로의 공기의 흐름은 S자의 유로를 갖게 되어, 베이스(110)측으로 먼지, 자성체, 유체성분(수분) 등 이물질의 유입을 최소화할 수 있다는 이점이 있게 된다.

그리고, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 커버(130,130')는 강성의 확보를 위하여 복수개의 판을 접합 또는 밀착시켜 구성될 수도 있고, 비드(bead) 등 강성확보를 위한 구조가 형성될 수도 있다.

또한, 도 3a 및 도 3b에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 리니어 모터 스테이지(100)는 커버(130)가 복수개의 커버부재로 분리 형성되며, 커버부재는 연결부재(140)에 의해 서로 연결될 수 있다.

즉, 커버(130)의 길이가 긴 경우, 커버(130) 자체의 하중에 의하여 커 버(130)에 처짐이 발생하고 이로 인해 커버(130)와 슬라이더(120) 사이에 간섭이 발생할 수 있으므로, 커버(130)를 복수개로 분리 형성한 후 이를 연결부재(140)와 볼트 등 체결수단에 의해 결합하는 것도 가능하다. 이때, 연결부재(140)에는 다수의 볼트구멍(141)이 형성되어 양측의 커버(130)를 연결할 수 있고, 커버(130)의 타측은 각각 커버 지지부재(150)에 지지된다. 이러한 연결부재(140)도 커버(130)의 덮개부(131)와 연장부(132)에 각각 대응하는 형상을 가지도록 함으로써 커버(130)의 일단을 전체적으로 덮도록 구성되며, 이를 통하여 커버(130)과 베이스(110)[고정자 몸체(113)] 사이의 공간으로 이물질의 유입을 안정적으로 차단할 수 있게 된다.

한편, 도시되지는 않았지만, 커버(130)와 연결부재(140)의 연결부, 그리고 커버(130)와 커버 지지부재(150)의 연결부 사이에는 먼지, 자성체, 수분 등 이물질이 커버(130) 하측의 공간으로 유입되지 않도록 실링이 이루어지는 것이 바람직하다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 종래 기술에 의한 리니어 모터 스테이지의 길이방향 단면도.

도 2a는 도 1의 A-A 선에 따른 폭방향 단면도.

도 2b는 도 1의 B-B 선에 따른 폭방향 단면도.

도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 모터 스테이지의 부분 절개 사시도.

도 3b는 도 3a 에 도시된 리니어 모터 스테이지의 커버지지부재가 결합된 상태를 도시한 부분 절개 사시도.

도 4는 도 3a 및 도 3b에 도시된 리니어 모터 스테이지의 폭방향 단면도.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 의한 리니어 모터 스테이지의 폭방향 단면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

100... 리니어 모터 스테이지 110... 베이스

111... 자석 112... 가이드 레일

113... 고정자 몸체 120... 슬라이더

121... 슬라이더 몸체 122... 측면부

123... 홈부 124... 바닥면

125... 슬라이드 블록 126... 코일 유닛

130,130'... 커버 131,131'... 덮개부

132,132'... 연장부 140... 연결부재

150... 커버지지부재

Claims

베이스와, 상기 베이스의 길이방향으로 슬라이드 이동가능케 설치된 슬라이더와, 상기 슬라이더 상부에 설치되는 커버를 구비하는 리니어 모터 스테이지에 있어서,

상기 커버는 상기 베이스의 상면을 덮는 덮개부와, 상기 덮개부의 폭방향 양단에서 하측으로 연장되어 상기 베이스의 측면을 가리는 연장부를 구비하며,

상기 덮개부는 상기 베이스의 폭방향 단면상에서 중앙부의 높이가 양단의 높이보다 높도록 경사를 갖고,

상기 커버는 복수 개의 커버부재로 분리 형성되며,

상기 복수개의 커버부재는 상기 커버부재의 덮개부와 연장부를 덮는 연결부재에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 리니어 모터 스테이지.
제1항에 있어서,

상기 커버는 상기 베이스의 폭방향 너비보다 더 넓은 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 리니어 모터 스테이지.
제1항에 있어서,

상기 슬라이더는 상기 연장부를 수용하는 홈부가 상기 베이스의 길이방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 리니어 모터 스테이지.
제3항에 있어서,

상기 홈부는 상측이 개방된 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 리니어 모터 스테이지.
제3항에 있어서,

상기 홈부는 길이방향의 양측 끝단이 개방된 것을 특징으로 하는 리니어 모터 스테이지.
삭제
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 커버의 연장부는 상기 베이스의 측면부 상단보다 더 낮은 위치까지 연장되는 것을 특징으로 하는 리니어 모터 스테이지.
삭제