KR100894655B1 - Cassette and system for taking out board - Google Patents
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Abstract
판재를 고밀도로 수납 및 보관할 수 있도록 카세트의 판재적재부의 상하의 피치를 좁게 한 판재 취출 시스템을 제공하는 것이다. It is to provide a plate taking-out system in which the upper and lower pitches of the plate loading portion of the cassette are narrowed so that the plate can be stored and stored at a high density.
복수의 판재(G)를 수용하는 카세트(10)와, 이 카세트(10)로부터 판재(G)를 한 장씩 꺼내는 취출장치(20)로 이루어지고, 카세트(10) 및 취출장치(20)의 판재적재부(11, 25)에 판재적재부(11, 25)로부터 판재(G)를 들어올리는 에어의 취출구(12, 22)를 형성하며, 취출장치(20)에 부상된 판재(G)의 가장자리부를 유지해서 꺼내는 인출수단(21)을 설치했다. The cassette 10 which accommodates the several board | plate material G, and the take-out apparatus 20 which takes out the board | plate material G one by one from this cassette 10, The board | plate material of the cassette 10 and the take-out apparatus 20 is comprised. The outlets 12 and 22 of the air for lifting the plate G from the plate loading portions 11 and 25 are formed in the stacking portions 11 and 25, and the edges of the plate G floating on the take-out device 20 are lifted. The drawing means 21 which hold | maintains a part and takes out was provided.
Description
도 1은, 본 발명에 따른 판재 취출 시스템의 일실시예를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing an embodiment of a sheet material take-out system according to the present invention.
도 2는, 복수단으로 겹쳐 쌓인 상태의 카세트를 취출장치측으로부터 본 바를 개념적으로 나타내는 도면이다.Fig. 2 is a diagram conceptually showing a bar viewed from the take-out device side of a cassette stacked in multiple stages.
도 3은, 취출장치의 주요부를 도 2와 같은 방향으로부터 본 바를 개념적으로 나타내는 도면이다.FIG. 3 is a diagram conceptually showing a bar viewed from the same direction as that of FIG.
도 4는, 카세트에 판재를 넣고 빼는 상태를 측면에서 본 바를 개념적으로 나타내는 도면이다. 4 is a diagram conceptually showing a bar viewed from the side in a state where a sheet is put into and taken out of a cassette.
도 5의 (a), (b)는, 종래의 판재 취출 시스템을 예시하는 도면이다.5 (a) and 5 (b) are diagrams illustrating a conventional sheet material extraction system.
[부호의 설명][Description of the code]
10 카세트10 cassettes
11 판재적재부11 Plate Loading Department
12 취출구12 outlet
13 취입구13 entrances
20 취출장치20 Dispenser
21 핸드(인출수단)21 Hand
24 에어 공급관24 air supply line
25 판재적재부25 Plate Loading Department
본 발명은, 액정표시장치에 이용되는 유리판 등, 그 두께에 비해서 종횡치수가 큰 복수의 판재를 그 두께방향으로 간격을 두고 상하로 겹쳐서 수용하는 카세트와, 이 카세트로부터 판재를 한 장씩 랜덤으로 꺼내고, 또한 수납하는 취출장치로 이루어지는 판재 취출 시스템에 관한 것이다.The present invention provides a cassette for accommodating a plurality of plates having a larger vertical and horizontal dimension than the thickness thereof, such as a glass plate used in a liquid crystal display device, stacked up and down at intervals in the thickness direction thereof, and randomly removing the sheet materials one by one from the cassette. Moreover, it is related with the board | plate material taking-out system which consists of a take-out apparatus which accommodates.
상기 설명한 판재 취출 시스템은, 액정표시장치에 이용되는 유리판을 일시보존하거나, 그 장치의 제조공정에 있어서 공정에서 공정 사이의 저류, 운반수단 등으로서 산업계에서 널리 이용되고 있다.The plate material extraction system described above has been widely used in the industry as a temporary storage of a glass plate used in a liquid crystal display device, or as a storage between the processes in a process, a conveying means and the like in the manufacturing process of the device.
그때, 유리판을 수평상태에서 수용하고, 또한, 한 장씩 랜덤으로 꺼낼 수 있다는 요청에 대응할 필요가 있다. 또한 한편으로는 액정표시장치의 대형화, 생산성의 향상의 점으로부터 유리판의 종횡치수가 대형화되는 경향이 있고, 유리판의 수용상태에서의 휘어짐이 취출, 수납의 때에 지장이 되지 않도록 할 필요도 있었다.In that case, it is necessary to respond to the request that a glass plate is accommodated in a horizontal state and can be taken out at random one by one. On the other hand, from the point of increasing the size of the liquid crystal display device and improving the productivity, the vertical and horizontal dimensions of the glass plate tend to be increased, and it is also necessary to prevent the bending of the glass plate in the receiving state from being disturbed when taking out and storing the glass plate.
이들 과제를 해결하기 위해 여러 가지 판재 취출 시스템이 제안되어 있고, 특허문헌1에 기재된 것은, 그 일례이며 그 개요를 도 5에 나타낸다.In order to solve these problems, various board | substrate extraction systems are proposed, and what was described in patent document 1 is the example, and the outline is shown in FIG.
도 5(a)의 판재 취출 시스템(120)은, 판재인 유리판(G)을 상자형상의 카세트(112)에 설치된 복수의 선반형상의 판재적재부(115)의 다수의 지지봉(116)의 위에 적재되어 수용하고, 유리판(G)을 취출, 수납할 때에는 복수의 지지봉(116) 사이에 슬라이드 포크(도시생략)를 진퇴 상하이동시키고 있었다.The sheet material taking-out
그러나 이 시스템(120)에서는 슬라이드 포크를 진퇴 가능하게 하고, 또한, 상하이동시키기 위한 스페이스에 더해서 유리판(G) 및 슬라이드 포크의 휘어짐을 고려해서 지지봉(116)의 길이를 결정할 필요가 있어, 이 휘어짐의 정도만큼 그 길이가 길어져 있었다. 그 때문에, 판재적재부(115)의 피치를 그것 이상 작게 할 수 없어서, 카세트(112)로의 유리판(G)의 수납효율의 향상이 제한되어 있었다.However, in this
도 5(b)의 판재 취출 시스템(130)은 소위 와이어 방식의 카세트(123)를 이용하는 것이다. 이 시스템(130)의 카세트(123)에 있어서는 그 프레임체 사이에 와이어(124)를 당겨서 선반형상의 판재적재부로서 기능시키고, 여기에 유리판(G)을 적재시키고 있다.The sheet material taking-out
취출장치(121)는 상하 2단으로 구성되고, 각각 독립적으로 진퇴, 상하이동 가능하게 되어 있는 상측 포크(121-1)와 하측 포크(121-2)를 구비하고, 이 하측 포크(121-2)에 지지봉(122)이 다수 세워 설치되어 있다. 상측 포크(121-1)와 하측 포크(121-2)는 수평방향으로 서로 간섭하지 않는 것이고, 지지봉(122)도 수평방향으로는 카세트(123)측의 와이어(124)에 간섭하지 않는 것이다. The dispensing
이 취출장치(121)로 유리판(G)을 꺼낼 경우는, 우선, 하측 포크(121-2)만을 유리판(G)을 적재한 와이어(124)의 아래에 끼운다. 이어서, 하측 포크(121-2)를 상승시켜서 지지봉(122)의 위에 유리판(G)을 적재해서, 유리판(G)을 와이어(124)로부터 이간시킨다. When the glass plate G is taken out by this take-
다음에, 이렇게 해서 형성된 유리판(G)과 와이어(124)의 간극에 상측 포크(121-1)를 끼워서 진퇴 상하이동시키는 것이다.Next, the upper fork 121-1 is inserted into the gap between the glass plate G and the
그러나 이 시스템(130)에서도 상기 시스템(120)의 지지봉(116)과 같은 휘어짐의 문제가 지지봉(122)의 길이에 관해서 존재하고, 또한 취출장치(121)의 구성이 복잡해서 취출의 공정이 많아져 여분의 시간을 필요로 한다는 문제가 있었다.However, in this
[특허문헌1] 일본 특허공개 2004-304055호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Publication No. 2004-304055
본 발명은, 상기 문제를 해결하고자 하는 것으로, 판재를 보다 작은 피치로 수평수납하고, 또한 판재를 한 장씩 랜덤으로 취출, 수납할 수 있는 카세트 및 판재 취출 시스템을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.An object of the present invention is to provide a cassette and a plate taking-out system capable of horizontally storing a plate at a smaller pitch and taking out and storing plates at random one by one.
청구항 1에 기재된 카세트는, 복수의 판재를 수용하는 판재적재부를 가지는 카세트로서, 상기 카세트의 판재적재부에 상기 판재적재부로부터 공작물을 들어올리는 에어의 취출구를 설치한 것에 특징을 가진다.The cassette according to claim 1 is a cassette having a plate loading portion for accommodating a plurality of plate materials, and is provided with a plate outlet portion of the cassette provided with an air outlet for lifting a workpiece from the plate loading portion.
청구항 2에 기재된 판재 취출 시스템은, 복수의 판재를 수용하는 카세트와, 이 카세트로부터 판재를 한 장씩 꺼내는 취출장치로 이루어지고, 상기 카세트 및 상기 취출장치의 판재적재부에 상기 판재적재부로부터 공작물을 들어올리는 에어의 취출구를 형성하여, 상기 취출장치에 부상된 판재의 가장자리부를 유지해서 꺼내는 인출수단을 설치한 것에 특징을 가진다.The sheet material take-out system of Claim 2 consists of the cassette which accommodates a several board | plate material, and the take-out apparatus which takes out a board | plate material one by one from this cassette, The workpiece | work is carried out from the said plate loading part to the said cassette and the board | plate loading part of the said take-out apparatus. It is characterized by providing a take-out means for forming an air outlet for lifting air, and holding the edge of the plate material floating on the blow-out device.
여기서, 시스템 및 장치의 「취출」이란, 카세트로부터 밖으로 판재를 꺼내는 것과, 판재를 카세트에 수납하는 것을 의미한다.Here, " take out " of the system and the apparatus means taking out the plate material out of the cassette and storing the plate material in the cassette.
청구항 3에 기재된 판재 취출 시스템은, 청구항 2에 기재된 판재 취출 시스템에 있어서 카세트의 각 판재적재부에 에어의 취입구를 형성함과 아울러, 취출장치에, 취입구에 접속하는 에어 공급관을 설치한 것에 특징을 가진다.In the sheet taking-out system according to claim 3, in the sheet taking-out system according to claim 2, an air inlet is formed at each plate loading part of the cassette, and an air supply pipe connected to the inlet is provided in the take-out device. Has characteristics.
청구항 4에 기재된 판재 취출 시스템은, 청구항 2에 기재된 판재 취출 시스템에 있어서 인출수단을 비접촉상태에서 판재를 흡착유지하는 것으로 한 것에 특징을 가진다.The sheet | seat taking-out system of Claim 4 is characterized by making the drawer adsorb | suck and hold | maintain a board | plate material in a non-contact state in the sheet | seat taking-out system of Claim 2.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 형태를 도면을 이용하여 설명하지만, 본 발명의 취지를 넘지 않는 한 조금도 이하의 예에 한정되는 것은 아니다. 도 1은 본 발명의 판재 취출 시스템의 일실시예를 나타내는 사시도이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although the best form for implementing this invention is demonstrated using drawing, it is not limited to the following examples at all, unless the meaning of this invention is exceeded. 1 is a perspective view showing an embodiment of a sheet taking out system of the present invention.
이 판재 취출 시스템(100)은, 액정표시장치에 이용되는 유리판을 일시보존하거나, 상기 장치의 제조공정에 있어서 공정에서 공정 사이의 저류, 운반수단 등에 널리 이용되는 것이고, 유리판(G)을 두께방향으로 간격을 두어서 상하로 겹쳐서 수평수용하는 카세트(10)와, 카세트(10)로부터 유리판(G)을 한 장씩 취출, 수납하는 판재적재부(25)를 진퇴, 상하이동시킴과 아울러, 자체가 선회, 이동 가능하게 된 취출장치(20)를 구비하고 있다. This sheet material taking-out
카세트(10)는, 상자형상의 각(殼) 구조체로서, 유리판(G)을 수용한 상태에서, 전체가 이동, 운반 가능한 것이다. 카세트(10)내에는 평판형상으로 이루어지는 복수의 판재적재부(11)를 복수 설치하고 있고, 복수단의 선반을 구성하고 있다.The
그리고 카세트(10)는, 카세트(10)내에 수납되는 유리판(G)을 판재적재부(11) 의 면으로 지지하여 적재하도록 하고 있고, 수납된 유리판(G)의 자중에 의한 휘어짐을 작게 하도록 배려되어 있다. 또한, 유리판(G)의 넣고 꺼냄을 위해 앞면부의 개구부(10a)가 형성되어 있다. And the
한편, 취출장치(20)에 구비되어 있는 판재적재부(25)는, 유리판(G)을 수평으로 옮겨 싣기 위해 판재적재부(11)와 동일한 평면상이 되도록 형성되어 있다. 또한, 판재적재부(25)에는 유리판(G)의 가장자리부를 유지해서 꺼내는 인출수단인 핸드(21)가 설치되어 있다. On the other hand, the
도 2는, 도 1에 나타내는 카세트(10)를 취출장치(20)측으로부터 본 바를 개념적으로 나타내는 도면이다. 각 판재적재부(11)의 좌우에는 에어관(14)의 조인트부인 에어의 취입구(13)가 형성되어 있다. 그리고 각 판재적재부(11)내에는 에어관이 종횡으로 격자형상으로 둘러쳐져 있고, 각 판재적재부(11)의 유리판(G)과의 접촉면측에 에어가 분사되도록 에어의 취출구(12)가 복수 형성되어 있다. FIG. 2 is a diagram conceptually showing a bar of the
이 때문에, 에어의 취입구(13)로부터 에어가 공급되었을 경우에는 복수의 에어의 취출구(12)로부터 에어가 분사되고, 판재적재부(11) 위에 적재된 유리판(G)이 부상되도록 하고 있다.For this reason, when air is supplied from the
도 3은, 취출장치(20)의 판재적재부(25)및 핸드(21)를 도 2와 같은 방향으로부터 본 바를 개념적으로 나타내는 도면이다. 판재적재부(25) 및 핸드(21)는, 취출장치(20)의 제어부에 의해 판재적재부(25)가 상하로 승강 및 좌우방향으로 회전 가능하게 이동하고, 또한 판재적재부(25)의 핸드(21)가 판재적재부(25) 위에서 전후로 이동하여 이것에 의해 유리판(G)의 넣고 꺼냄을 행하도록 구성되어 있다.FIG. 3 is a diagram conceptually showing a
판재적재부(25)에는, 카세트(10)의 취입구(13)에 접속하는 에어의 공급구(23)가 형성되고, 에어의 공급구(23)를 통해서 취입구(13)에 접속하는 에어 공급관(24)이 설치되어 있다. 또한, 판재적재부(25)의 유리판(G)과의 접촉면측에 에어가 분사되도록 판재적재부(25)로부터 공작물(G)을 들어올리는 에어의 취출구(22)가 복수 형성되고, 이 취출구(22)에 에어를 공급하는 에어 공급관(26)이 설치되어 있다. The
한편, 핸드(21)는, 베르누이의 원리를 이용한 베르누이 척(chuck)이고, 비접촉상태에서 유리판(G)을 흡착유지하는 것이다. 판재적재부(25)의 핸드(21)의 내부에도 에어 공급관(26)으로부터 에어가 둘러져, 에어를 이용한 비접촉상태에서 유리판(G)을 흡착유지하도록 하고 있다.On the other hand, the
여기서, 베르누이의 원리를 이용한 베르누이 척이란, 핸드(21)의 흡착판의 중앙의 노즐로부터 기체(주로 질소가스)를 분출시켜, 유리판(G)의 표면을 따라 고속의 기체를 흐르게 해서 부압을 발생시키고, 이 부압에 의해 유리판(G)을 핸드(21)의 흡착판에 비접촉상태로 유지시키도록 한 척을 말한다. Here, the Bernoulli chuck using Bernoulli's principle ejects gas (mainly nitrogen gas) from the nozzle in the center of the suction plate of the
도 4는, 카세트(10)에 유리판(G)을 꺼내고 넣는 상태를 측면으로부터 본 바를 개념적으로 나타내는 도면이다. 유리판(G)의 카세트(10)에 대한 꺼내고 넣음은, 취출장치(20)가 카세트(10)의 개구부(10a) 앞으로 이동하고, 에어의 취입구(13)와 에어의 공급구(23)를 조인트하여, 에어관(14)과 에어 공급관(24)을 접속시킨다.4 is a diagram conceptually showing a bar viewed from the side of a state in which the glass plate G is taken out and put into the
이 때문에, 취출장치(20)로부터 공급되는 에어는, 취출장치(20)의 에어의 공급구(23)로부터 카세트(10)의 에어의 취입구(13)를 통해서 공작물인 유리판(G)이 적재되어 있는 판재적재부(11)에 들어간다. For this reason, the glass plate G which is a workpiece | work is loaded from the
이때, 에어관(14)은 판재적재부(11)내에 종횡으로 격자형상으로 배관되어 있으므로 판재적재부(11) 전체에 에어가 공급되고, 복수의 에어의 취출구(12)로부터 나간다. 이 결과, 공작물(G)이 판재적재부(11)로부터 부상한다.At this time, since the
한편, 취출장치(20)의 핸드(21) 및 판재적재부(25)에도 에어가 공급되고 있고, 부상된 유리판(G)의 가장자리부를 핸드(21)에 의해 흡착유지하여, 핸드(21)를 판재적재부(25) 위에서 전후방향으로 이동(진퇴)시킴으로써 유리판(G)의 취출이 행해진다.On the other hand, air is also supplied to the
이것에 의해 판재적재부(11)와 판재적재부(25)의 동일평면상을 유리판(G)이 비접촉상태에서 수평방향으로 평행이동해서 취출된다. 또한, 취출장치(20)로부터 카세트(10)로의 유리판(G)의 수납은 상기의 반대의 순서에 의해 행해진다.Thereby, the glass plate G is taken out by carrying out parallel movement in the horizontal direction in the non-contact state on the same plane of the board | plate
이상으로부터 판재 취출 시스템(100)에 의하면, 취출구(12)로부터 분사시킨 에어에 의해 유리판(G)을 판재적재부(11)로부터 부상시켜 하방으로부터 지지하면서, 핸드(21)를 진퇴시킴으로써 유리판(G)의 가장자리부를 유지해서, 판재적재부(11)에는 비접촉상태에서 유리판(G)을 한 장씩 랜덤으로 취출, 수납할 수 있다. As mentioned above, according to the board | plate material taking-out
즉, 취출 또는 수납 중인 유리판(G)은, 에어에 의해 유리판(G)의 전체면이 하방으로부터 지지되어 있으므로, 핸드(21)에 의한 캔틸레버 지지가 아니라, 유리판(G) 및 핸드(21)의 휘어짐을 고려할 필요가 없다. 또한, 취출구(22)를 빼면 판재적재부(11)가 평판형상으로 해서 있으므로, 적재상태의 유리판(G)의 휘어짐의 문제도 적다.That is, since the whole surface of the glass plate G is supported from below by the air, the glass plate G which is taking out or storing | retaining is not cantilever support by the
이와 같이 유리판(G)을 판재적재부(11)로부터 부상시켜 꺼낼 수 있으므로, 종래와 같이 슬라이드 포크의 휘어짐이나 판재의 휘어짐을 고려해서 판재적재부(11)의 상하의 피치를 넓게 할 필요가 없고, 이 때문에 판재적재부(11) 상호간의 피치를 짧게 할 수 있으며, 카세트(10)로의 수납효율을 향상시킬 수 있어서 유리판(G)을 보다 작은 피치로 수평수납할 수 있다.Since the glass plate G can be lifted out of the
또한, 취출 또는 수납 중인 유리판(G)은, 에어에 의해 유리판(G)의 전체면이 하방으로부터 지지되어 있으므로, 핸드(21)에 의한 취출 또는 수납은 유리판(G)을 수평방향으로 이동시키는 것만으로 좋고, 핸드를 유리판(G)의 하방에 삽입하거나, 상하 움직이게 할 필요가 없으므로, 취출장치(20)의 구성이 복잡하게 되는 일이 없고, 취출의 공정이 많지 않으며, 여분의 시간을 요하지 않는다.In addition, since the whole surface of the glass plate G is supported from below by the air in the glass plate G which is taking out or storing, only taking out or storing by the
또한, 판재적재부(25)로부터 공작물(G)을 들어올리는 에어의 취출구(22)를 복수 형성하고, 이 취출구(22)에 에어를 공급하는 에어 공급관(26)을 설치하고 있으며, 판재적재부(25)의 표면으로부터도 에어가 분출되도록 하고 있으므로, 유리판(G)은 판재적재부(25)에도 접촉하는 일 없이, 판재적재부(11)와 판재적재부(25)의 동일 평면상에 원활하게 옮겨 실어진다. 이것에 의해 유리판(G)의 휘어짐의 정도를 전혀 고려하지 않고 취출 또는 수납할 수 있고, 또한 유리판(G)을 손상시키지 않는다. In addition, a plurality of
각 판재적재부(11)에는 에어의 취입구(13)를 설치함과 아울러, 취출장치(20)에, 취입구(13)에 접속하는 에어의 공급구(23) 및 에어 공급관(24)이 설치되어 있으므로, 카세트(10)에 일단 공급된 에어를 어느 판재적재부(11)에 공급하는가를 선택해서 공급하는 에어의 공급수단을 각 판재적재부(11)마다 설치할 필요 없이, 심 플한 시스템으로 할 수 있다. 또한, 에어의 공급구(23)가 하나로 끝난다. In each
핸드(21)는 비접촉상태에서 유리판(G)을 흡착유지하는 것이므로, 이 점에 있어서도 유리판(G)에 전혀 접촉하는 일이 없고, 따라서 판재를 손상시키는 일 없이 인출, 취출, 또는 수납할 수 있다.Since the
그런데, 유리판(G)은 그 제조공정의 생산성, 수율을 좋게 하기 위해 대형화되는 경향이 있지만, 이와 같은 카세트(10)와 취출장치(20)의 조합에 의하면, 유리판(G)의 크기가 커지면 커질수록, 휘어짐의 영향을 회피할 수 있는 효과가 커져서 액정표시장치용 유리판의 대형화 경향에 적합하다.By the way, although the glass plate G tends to be enlarged in order to improve the productivity and yield of the manufacturing process, according to the combination of the
이상, 본 발명의 카세트 및 판재 취출 시스템(100)에 대한 최량의 형태를 실시예에 기초해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시예에 기재된 구성에 한정되는 것은 아니고, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 적절히 그 구성을 변경할 수 있다.As mentioned above, although the best form with respect to the cassette and the board | plate material taking-out
예를 들면, 본 발명의 카세트, 취출장치는 이와 같은 유리판뿐만 아니라, 수평상태에서의 수납이 요구되고, 그 두께에 비해서 종횡치수가 큰 판재에 바람직하게 적용할 수 있는 것이다. 판재로서 예를 들면, 액정용 패널, 플라즈마 디스플레이 패널, 혹은 유기 EL 디스플레이 패널용 유리, 수지가 이용된다.For example, the cassette and the take-out apparatus of the present invention require not only such a glass plate but also storage in a horizontal state, and can be suitably applied to a plate member having a large longitudinal dimension in comparison with the thickness thereof. As a board | plate material, glass, resin for liquid crystal panels, a plasma display panel, or an organic electroluminescent display panel is used, for example.
또한, 상기 실시예에 있어서는 인출수단으로서 비접촉상태에서 유리판(G)을 흡착유지하는 핸드(21)를 예시하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 전혀 아니다. 즉, 인출수단은 부상된 판재의 가장자리부를 유지해서 취출하는 것이면 좋고, 예를 들면 유리판(G)의 가장자리부를 직접 파지해서 유지하는 것이어도 좋다. In addition, in the said Example, although the
청구항 1에 기재된 카세트에 의하면, 복수의 판재를 수용하는 판재적재부에 상기 판재적재부로부터 공작물을 들어올리는 에어의 취출구를 형성했으므로, 에어에 의해 판재를 판재적재부로부터 부상시켜 하방으로부터 지지하면서, 그 판재를 한 장씩 랜덤으로 취출, 수납할 수 있다. 또한, 취출구를 빼면 판재적재부를 평판형상으로 할 수 있게 되므로 판재의 휘어짐의 문제도 적다. 따라서, 판재적재부 상호간의 피치를 짧게 할 수 있어 카세트로의 수납효율을 향상시킬 수 있다는 효과를 나타낸다. According to the cassette according to claim 1, since the air outlet port for lifting the workpiece from the plate loading portion is formed in the plate loading portion accommodating the plurality of plate materials, the plate is lifted from the plate loading portion by air to support it from below. The board can be taken out and stored at random one by one. In addition, since the plate loading part can be made into a flat plate shape by removing the outlet, the problem of bending of the plate is also less. Therefore, the pitch between the plate loading parts can be shortened, and the storage efficiency in the cassette can be improved.
청구항 2에 기재된 판재 취출 시스템에 의하면, 복수의 판재를 수용하는 카세트와, 이 카세트로부터 판재를 한 장씩 취출하는 취출장치로 이루어지고, 상기 카세트 및 상기 취출장치의 판재적재부에 상기 판재적재부로부터 공작물을 들어올리는 에어의 취출구를 형성하여, 상기 취출장치에 부상된 판재의 가장자리부를 유지해서 꺼내는 인출수단을 설치했으므로, 에어에 의해 판재를 판재적재부로부터 부상시켜 하방으로부터 지지하면서, 이 판재의 가장자리부를 유지해서 꺼내는 인출수단에 의해 판재를 수평방향으로 이동시켜 판재를 한 장씩 랜덤으로 취출, 수납할 수 있다. 이 때문에, 캔틸래버 지지는 아니므로, 판재 및 인출수단의 휘어짐을 고려할 필요가 없고, 또한 취출구를 빼면 판재적재부를 평판형상으로 할 수 있게 되므로, 판재의 휘어짐의 문제도 적다. 따라서, 판재적재부 상호간의 피치를 짧게 할 수 있어, 카세트로의 수납효율을 향상시킬 수 있다는 효과를 나타낸다.According to the sheet material taking-out system of Claim 2, it consists of a cassette which accommodates a several board | plate material, and the take-out apparatus which takes out a board | plate material one by one from this cassette, Comprising: From the said board | plate loading part to the said board | plate and the plate | board loading part of the said take-out apparatus. Since an air outlet for lifting the work is formed and a take-out means for holding and taking out the edge of the floating plate is installed in the take-out device, the edge of the plate is supported while the plate is lifted from the plate-loading portion by air to support it from below. The sheet material can be moved in the horizontal direction by the drawing means for retaining the portion, and the sheet material can be randomly taken out and stored one by one. For this reason, since it is not a cantilever support, it is not necessary to consider the bending of a board | plate material and a take-out means, and since a board | plate loading part can be made into a flat plate shape by removing a ejection opening, the problem of a board | plate bending is also small. Therefore, the pitch between the plate loading portions can be shortened, and the storage efficiency in the cassette can be improved.
청구항 3에 기재된 판재 취출 시스템에 의하면, 청구항 2에 기재된 판재 취 출 시스템이 나타내는 효과에 더해서, 카세트의 각 판재적재부에 에어의 취입구를 형성함과 아울러, 취출장치에, 취입구에 접속하는 에어 공급관을 설치했으므로, 각 판재적재부마다 에어의 공급수단을 설치할 필요가 없어서, 심플한 시스템으로 할 수 있다는 효과를 나타낸다. According to the sheet taking-out system of Claim 3, in addition to the effect which the sheet | seat taking-out system of Claim 2 shows, while forming an air inlet of each board | plate loading part of a cassette, it connects to a blower inlet, Since the air supply pipe is provided, it is not necessary to provide the air supply means for each plate loading part, and the effect can be made into a simple system.
청구항 4에 기재된 판재 취출 시스템에 의하면, 청구항 2에 기재된 판재 취출 시스템이 나타내는 효과에 더해서, 인출수단을 비접촉상태에서 판재를 흡착유지하는 것으로 했으므로, 판재를 손상시키는 일 없이, 인출, 취출 및 수납할 수 있다는 효과를 나타낸다.According to the sheet taking-out system according to claim 4, in addition to the effect exhibited by the sheet taking-out system according to claim 2, the drawing means adsorbs and holds the plate in a non-contact state, so that the sheet taking-out, take-out and storage can be carried out without damaging the plate. Effect.
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Patent Citations (4)
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---|---|---|---|---|
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JP2000174088A (en) | 1998-12-04 | 2000-06-23 | Super Silicon Kenkyusho:Kk | Wafer loader |
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